JP2016075513A - 光計測装置 - Google Patents
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Abstract
Description
図1は、本発明の実施例1の光計測装置の概略の構成を示す図である。光計測装置100は、SS−OCT装置として動作し、光源1からの信号光によって被測定対象物(以下、被測定物とする)10の内部の内部イメージを取得することが可能である。測定の対象物は生体だけに限られず、信号光の反射散乱が得られる限り、本発明は非生体の工業製品などにも適用できる。
N=ΔF/FSR 式(1)
したがって、光ビームスキャンの往復回数Nは、AWG11の設計パラメータを適切に選択することによって任意に設定できる。式(1)からも、前記回折格子のFSRは、前記掃引幅ΔFよりも狭いことになる。
干渉縞のピーク周波数間隔=c/(nS・Δ) 式(2)
一般に、用語「干渉縞」は、例えば、2つのスリットから出た光が相互に干渉して、空間的に明暗のパターン(縞)を生じるように物理空間で観察されるものを言う。本発明では、時間的な変動(経過)により認識される干渉光のレベル変動をすなわち干渉縞として使用されている点に留意されたい。例えば、時間的な干渉光のレベル変動としての「干渉縞」については、非特許文献2を参照されたい。
Δ<c/(2FSR) 式(3)
ここで、経路差Δは、先にも定義したように、図1における被測定物の反射散乱点および光カプラ3間の距離と、参照光ミラー6および光カプラ3間の距離の差Δである。すなわち本実施例の光計測装置は、被測定物10の光軸(z軸)方向の厚みが上記条件、c/(2FSR)以下であることを満たすことが分かっている場合に好適な構成例である。
図5は、本発明の実施例2の光計測装置における光スキャニング部の構成を示す図である。本実施例では、光計測装置全体の構成は図1に示したものと同一であり、光スキャニング部9の構成だけが実施例1と異なっている。実施例2の光スキャニング部9は、アレイ導波路格子(AWG)11、AWG11から出力された信号光を平行光とするためのシリンドリカルレンズ12、回折格子31、および集光レンズ32から構成される。本実施例では、第2の波長分散素子として動作する回折格子31をさらに含んでいる点で実施例1の光スキャニング部と相違している。回折格子31の波長分散の方向は、第1の波長分散素子であるAWG11の分散方向(x軸方向)と直交する方向、すなわちy軸方向に設定される。回折格子31は、例えば、高次の回折次数をもつエシェル格子でとすることができる。さらに、回折格子31の回折次数をmg、AWG11の回折次数maとするとき、次式の関係を満たすように各回折次数が設定される。
2≦mg<ma 式(4)
したがって、本発明の光計測装置では、光スキャニング部9は、信号光の進行方向(z軸)および第1の方向(x軸)に直交する第2の方向(y軸)に波長分波作用を持つ第2の回折格子31をさらに含むことができる。また、第1の回折格子11は、アレイ導波路回折格子(AWG)であってその回折次数をmaとし、前記第2の回折格子31の回折次数をmgとするとき、2≦mg<maの関係を満たすように各回折次数が設定されることになる。
図7は、本発明の実施例3の光計測装置における受光部の構成を示した図である。本実施例の受光部8は、上述の図1の構成を持つ実施例1、実施例2の受光部にそれぞれ適用可能である。受光部8は、大別して、干渉光を解析する検出部と検出タイミングを生じさせるタイミング信号生成部47から構成される。受光ファイバ7を伝搬する、反射散乱光と参照光の干渉光は、フォトディテクタ41へ入力され、干渉光は電気信号に変換される。この電気信号はアナログ信号であり、アナログディジタル(A/D)変換器42によりディジタル信号へ変換される。A/D変換器2は、どのタイミングでどの周波数の光が検出されているかを知ることが必要である。波長可変光源1からの信号光の特定の光周波数におけるタイミング検出を実現するには、一例として、以下に述べるエタロンフィルタを利用した方法を用いることができる。
SS−OCT装置などの光計測装置においては、生体などの被測定物の安定した断層イメージを取得するために、通常、光源の周波数スキャンをできるだけ高速に行うことが望ましい。しかしながら、実施例3のタイミング信号生成部47の構成では、エタロンフィルタ43のFSRが狭くなると、フォトディテクタ44から出力されるトリガ信号のパルス周波数(パルスの出力頻度)は非常に高速になる。このため、A/D変換器42に要求されるサンプリング周波数(変換時間)も同程度に高速である必要がある。また、一般に、高速なA/D変換器は変換分解能が良くないことも知られている。このように、A/D変換器のサンプリング速度の上限は、本発明の光測定装置の高速スキャン動作にも制限を与える。そこで以下においては、干渉光のより高速なサンプリングおよび解析が可能な光測定装置のいくつかの実施例について、詳細に説明する。
上述の実施例4では、A/D変換器による干渉光の検出において、1次元のリニアセンサを使用していた。このセンサアレイを2次元配置のものとすることによって、さらに低速の電気回路によって、受光部を構成できる。本実施例では、センサアレイを2次元配置とすることで、実施例2の3次元スキャンが可能な光計測装置に対応した受光部を構成することができる。
前述のように、実施例1の光計測装置では、被測定物の反射散乱点が式(3)によって規定される位置よりも、z軸方向の被測定物のより内部側にある場合は、その内部側の反射散乱点からの散乱光は干渉縞の信号周波数内にエイリアシング効果として見えていた。本実施例の光計測装置では、上述のエイリアシングに起因するゴーストを低減する構成を説明する。
2、5,7、4 光ファイバ
3、72、77 光カプラ
6、79 ミラー
8 光検出部
9 光スキャニング部
10、76 被測定物
11、51 AWG
12、13、32、52 シリンドリカルレンズ
31 回折格子
41、44 ディテクタ
42、56−1、56−2〜56−K A/D変換器
43、58 エタロンフィルタ
45、57 ディジタル信号処理装置
54 リニアセンサ(センサアレイ)
54−1、54−2〜54−K センサ素子
70、100 光計測装置
75 レンズ
101、102 入力ポート
103、104 出力ポート
Claims (8)
- 周波数の掃引幅ΔFを有する掃引された信号光を供給する波長可変光源と、
前記波長掃引された信号光を入力する第1のポートと、前記波長掃引された信号光を分岐して参照光を出力する第2のポートおよび被測定物への信号光を出力する第3のポートを少なくとも有するカプラと、
前記参照光が伝搬する伝搬路を有し、所定の第1の光路長を経て前記第2のポートに前記参照光を再入力する参照光処理部と、
前記カプラからの信号光を、該信号光の進行方向に垂直な第1の方向にスキャンしながら空間に出力して前記被測定物に入射させる往路と、前記被測定物の表層または内部から反射または散乱された信号光が前記往路を逆方向に伝搬する復路とを有し、前記カプラの前記第3のポートに前記反射または散乱された信号光を入力するよう構成された光スキャンニング部と、
前記カプラの第4のポートから、前記第2のポートに再入力された前記参照光、および、前記第3のポートに入力された前記反射または散乱された信号光の干渉光が入力され、前記干渉光の干渉縞の繰り返しピーク周波数間隔と、前記参照光処理部における前記所定の第1の光路長、並びに、前記光スキャンニング部における前記被測定物までの前記往路および前記復路で決定される第2の光路長の差分に基づいて、前記光進行方向における前記被測定物の反射または散乱点の位置を特定するよう構成された受光部と
を備え、
前記光スキャニング部は、前記第1の方向に波長分波作用を持つ回折格子を含むことを特徴とする光計測装置。 - 前記回折格子のFSRは、前記掃引幅ΔFよりも狭いことを特徴とする請求項1に記載の光計測装置。
- 前記光スキャニング部は、
前記信号光の進行方向および前記第1の方向に直交する第2の方向に波長分波作用を持つ第2の回折格子をさらに含むことを特徴とする請求項1または2に記載の光計測装置。 - 前記回折格子は、アレイ導波路回折格子(AWG)であってその回折次数をmaとし、前記第2の回折格子の回折次数をmgとするとき、2≦mg<maの関係を満たすように各回折次数が設定されることを特徴とする請求項3に記載の光計測装置。
- 前記掃引幅ΔFは、前記回折格子のFSR、および、前記第2の回折格子のFSRの、それぞれ整数倍の関係にあり、前記掃引された信号光の掃引開始周波数が、前記回折格子のFSRの開始周波数に一致していることを特徴とする請求項3または4に記載の光計測装置。
- 前記回折格子および前記第2の回折格子のうち、少なくとも1つは、その出力フィールドが矩形形状を持っていることを特徴とする請求項3または4に記載の光計測装置。
- 前記受光部は、
前記光スキャニング部に含まれた前記回折格子と同一のFSRを持ち、前記光スキャニング部からの前記干渉光が入力される第3の回折格子と、
前記第3の回折格子の波長分波方向について、前記干渉光を収束させる集光レンズと、
前記第3の回折格子の波長分波方向に平行に配列された複数のセンサ素子を含むセンサアレイであって、前記同一のFSRの開始周波数に対応するセンサ素子と、前記同一のFSRの終了周波数に対応するセンサ素子とが、前記配列された複数のセンサ素子の概ね両端に配置されたセンサアレイと、
前記センサアレイの前記複数のセンサ素子の各々において、前記光スキャニング部における信号光の前記第1の方向のスキャンと同期して、前記干渉光から光電気変換された電気信号を、それぞれディジタル信号へ変換する複数のアナログディジタル変換器と、
前記複数のアナログディジタル変換器の各々からのディジタル信号に基づいて、前記被測定物の反射または散乱点の位置の特定を行うよう構成されたディジタル信号処理装置と
を含むことを特徴とする請求項1乃至6いずれかに記載の光計測装置。 - 周波数の掃引幅ΔFを有する掃引された信号光を供給する波長可変光源と、
前記波長掃引された信号光を入力する第1のポートと、前記波長掃引された信号光を分岐して参照光を出力する第2のポートおよび被測定物への信号光を出力する第3のポートを少なくとも有するカプラと、
前記参照光が伝搬する伝搬路を有し、所定の第1の光路長を経て前記第2のポートに前記参照光を再入力する参照光処理部と、
前記カプラからの信号光を、該信号光の進行方向に垂直な第1の方向にスキャンしながら空間に出力して前記被測定物に入射させる往路と、前記被測定物の表層または内部から反射または散乱された信号光が前記往路を逆方向に伝搬する復路とを有し、前記カプラの前記第3のポートに前記反射または散乱された信号光を入力するよう構成された光スキャンニング部と、
前記カプラの第4のポートから、前記第2のポートに再入力された前記参照光、および、前記第3のポートに入力された前記反射または散乱された信号光の干渉光が入力され、前記干渉光の干渉縞の繰り返しピーク周波数間隔と、前記参照光処理部における前記所定の第1の光路長、並びに、前記光スキャンニング部における前記被測定物までの前記往路および前記復路で決定される第2の光路長の差分に基づいて、前記光進行方向における前記被測定物の反射または散乱点の位置を特定するよう構成された受光部と
を備え、
前記光スキャニング部は、
前記掃引幅ΔFよりも狭いFSRを有し、前記第1の方向に波長分波作用を持し、その出力フィールドが矩形形状を持っている回折格子と、
前記回折格子の波長分波方向について、前記掃引された信号光を収束させる集光レンズとを含み、
前記受光部は、
前記光スキャニング部に含まれた前記回折格子と同一のFSRを持ち、前記光スキャニング部からの前記干渉光が入力される第3の回折格子と、
前記第3の回折格子の波長分波方向について、前記干渉光を収束させる集光レンズと、
前記第3の回折格子の波長分波方向に平行に配列された複数のセンサ素子を含むセンサアレイであって、前記同一のFSRの開始周波数に対応するセンサ素子と、前記同一のFSRの終了周波数に対応するセンサ素子とが、前記配列された複数のセンサ素子の概ね両端に配置されたセンサアレイと、
前記センサアレイの前記複数のセンサ素子の各々において、前記光スキャニング部における信号光の前記第1の方向のスキャンと同期して、前記干渉光から光電気変換された電気信号を、それぞれディジタル信号へ変換する複数のアナログディジタル変換器と、
前記複数のアナログディジタル変換器の各々からのディジタル信号に基づいて、前記被測定物の反射または散乱点の位置の特定を行うよう構成されたディジタル信号処理装置とを含むこと
を特徴とする光計測装置。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2019537845A (ja) * | 2016-11-14 | 2019-12-26 | 寧波傲視智絵光電科技有限公司Ningbo Onsight Co., Ltd. | レーザ走査方法及びレーザ走査装置 |
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