JP2016071992A - Organic el display device manufacturing method - Google Patents

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JP2016071992A JP2014198236A JP2014198236A JP2016071992A JP 2016071992 A JP2016071992 A JP 2016071992A JP 2014198236 A JP2014198236 A JP 2014198236A JP 2014198236 A JP2014198236 A JP 2014198236A JP 2016071992 A JP2016071992 A JP 2016071992A
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俊昭 鬼丸
Toshiaki Onimaru
俊昭 鬼丸
一大 小林
Ichihiro Kobayashi
一大 小林
哲郎 近藤
Tetsuro Kondo
哲郎 近藤
芳樹 林田
Yoshiki Hayashida
芳樹 林田
木村 亮
Makoto Kimura
亮 木村
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To manufacture an organic EL display device having favorable display characteristics by easily repairing a bank when a burst or a defective part due to a foreign substance occurs in the bank.SOLUTION: An organic EL display device manufacturing method comprises the steps of: preliminarily burning a bank compact 14a formed on a base substrate 11; detecting a defective part 3 occurring in the bank compact 14a; and repairing the bank when the defective part 3 is detected. The bank repairing method comprises the steps of: coating a surface of the base substrate 11 with repairing materials for formation of a dam from a dispenser 21 so as to surround the defective part 3 to form a dam compound 5a; and performing final burning on the dam compact 5a and the bank compound 14a. A heating temperature T1 at the time of preliminary burning is set at a temperature over a temperature where thermal hardening of a thermosetting resin of the bank compound 14a starts, the heating temperature T1 being set to be lower than a heating temperature T2 at the time of final burning.SELECTED DRAWING: Figure 5

Description

本発明は、有機EL表示装置の製造方法に関し、特にバンクを形成する工程に関する。   The present invention relates to a method for manufacturing an organic EL display device, and more particularly to a step of forming a bank.

近年、発光型の表示装置として、基板上に複数の有機EL素子をマトリックス状に配列した有機EL表示パネルが実用化されている。この有機EL表示パネルは、各有機EL素子が自己発光を行うので視認性が高く、完全固体素子であるため耐衝撃性に優れる。
有機EL表示パネルにおいて、各有機EL素子は、陽極と陰極の一対の電極対の間に有機発光材料を含む発光層が配設された基本構造を有し、駆動時には、一対の電極対間に電圧を印加し、陽極から発光層に注入されるホールと、陰極から発光層に注入される電子との再結合に伴って発生する電流駆動型の発光素子である。
In recent years, an organic EL display panel in which a plurality of organic EL elements are arranged in a matrix on a substrate has been put to practical use as a light-emitting display device. This organic EL display panel has high visibility because each organic EL element performs self-emission, and is excellent in impact resistance because it is a complete solid element.
In the organic EL display panel, each organic EL element has a basic structure in which a light emitting layer containing an organic light emitting material is disposed between a pair of electrodes of an anode and a cathode. This is a current-driven light-emitting element that is generated by recombination of holes injected from the anode into the light-emitting layer and electrons injected from the cathode into the light-emitting layer.

有機EL表示パネルにおいて、一般に各有機EL素子の発光層と、隣接する有機EL素子の発光層とは、絶縁材料からなるバンクで仕切られている。
また、陽極と発光層との間には、ホール注入層、ホール輸送層、ホール注入兼輸送層といった有機層が必要に応じて介挿され、陰極と発光層との間にも、必要に応じて電子注入層、電子輸送層または電子注入兼輸送層が介挿されている。
In an organic EL display panel, the light emitting layer of each organic EL element and the light emitting layer of an adjacent organic EL element are generally partitioned by a bank made of an insulating material.
In addition, an organic layer such as a hole injection layer, a hole transport layer, and a hole injection / transport layer is interposed between the anode and the light emitting layer as necessary, and also between the cathode and the light emitting layer as necessary. An electron injection layer, an electron transport layer, or an electron injection / transport layer is interposed.

フルカラー表示の有機EL表示パネルにおいては、このような有機EL素子が、RGB各色のサブピクセルを形成し、隣り合うRGBのサブピクセルが合わさって一画素が形成されている。
このような有機EL表示パネルを製造する上で、基板上にバンクを形成しておいて、バンクで区画された凹空間に発光層などを形成する工程がある。バンクは、感光性の熱硬化性樹脂を用いてフォトリソグラフィー法でバンク形状にパターニングして、加熱焼成することによって形成される。
In an organic EL display panel for full color display, such organic EL elements form RGB subpixels, and adjacent RGB subpixels are combined to form a single pixel.
In manufacturing such an organic EL display panel, there is a step of forming a bank on a substrate and forming a light emitting layer or the like in a concave space partitioned by the bank. The bank is formed by patterning into a bank shape by a photolithography method using a photosensitive thermosetting resin, followed by heating and baking.

発光層の形成には、高分子材料や薄膜形成性の良い低分子を含む発光層形成用のインクを、インクジェット法等で凹空間に塗布するウェット方式が多く用いられている。このウェット方式によれば、大型のパネルにおいても発光層をはじめとする有機機能層を比較的容易に形成することができる。   For forming the light emitting layer, a wet method is often used in which ink for forming a light emitting layer containing a polymer material or a low molecule having good thin film formability is applied to a concave space by an inkjet method or the like. According to this wet method, an organic functional layer including a light emitting layer can be formed relatively easily even in a large panel.

WO2010/013654号WO2010 / 013654

上記のような有機EL表示パネルにおいて、製造過程においてバンクに部分的な決壊が生じていたり、異物が付着したりして欠陥が発生すると、発光層を形成するときに、その欠陥部が存在するバンクを挟んで塗布される異なる色のインク同士が混合されて混色が生じることがある。
その混色が生じたパネルを用いて製造した有機EL表示パネルにおいては、混色が生じた範囲での発光色が本来の色と異なり、表示不良となることがある。
In the organic EL display panel as described above, when the bank is partially broken in the manufacturing process or when a defect occurs due to foreign matter adhering to the bank, the defect exists when the light emitting layer is formed. Ink of different colors applied across the bank may be mixed and color mixing may occur.
In an organic EL display panel manufactured using a panel in which the color mixture has occurred, the emission color in the range where the color mixture has occurred is different from the original color and may cause a display failure.

そこで、欠陥が生じたバンクを補修することによって、表示パネルにおける表示不良の発生を抑える技術が求められる。
フラットディスプレイ基板の製造技術において、例えば、特許文献1には、隔壁材料をパターン形成した後、決壊箇所の周囲の一部を除去し、除去した箇所に撥インク性のポリマーからなる補修材を塗布して、決壊箇所を補修する技術が開示されている。
Therefore, there is a demand for a technique for suppressing the occurrence of display defects in the display panel by repairing the bank in which the defect has occurred.
In the flat display substrate manufacturing technology, for example, in Patent Document 1, after patterning the partition wall material, a part around the breaking portion is removed, and a repair material made of an ink-repellent polymer is applied to the removed portion. And the technique of repairing a broken part is disclosed.

このような技術を用いて、基板上にバンク成形体を形成して、そのバンク成形体に欠陥部があるときは、その欠陥部に対して補修材を塗布して補修した後、バンク成形体を加熱焼成することによって、欠陥部が補修された状態でバンクが形成される。従って、形成されたバンクで区画された領域にインクを塗布することで、互いに色が異なるインク同士の混合を防止することができる。   By using such a technique, a bank molded body is formed on a substrate, and when the bank molded body has a defective portion, a repair material is applied to the defective portion for repair, and then the bank molded body is repaired. By heating and baking, a bank is formed with the defective portion repaired. Therefore, it is possible to prevent inks having different colors from being mixed by applying ink to the area partitioned by the formed bank.

しかし、バンク成形体における欠陥部に補修材を塗布して補修すると、補修した箇所の周囲でバンク成形体の形状が崩れることがある。そして形成されるバンクの形状が崩れると、バンク同士の間に形成する発光層などが、本来の形状に形成されないので、表示不良の原因となる。
本発明は、上記課題に鑑み、有機EL表示装置の製造過程において、バンクに決壊や異物による欠陥部が発生したときにも、良好に表示できる有機EL表示装置の製造方法を提供することを目的とする。
However, when a repair material is applied to the defective portion of the bank molded body for repair, the shape of the bank molded body may be broken around the repaired portion. If the shape of the formed bank collapses, the light emitting layer formed between the banks is not formed in the original shape, which causes display defects.
The present invention has been made in view of the above problems, and an object of the present invention is to provide a method for manufacturing an organic EL display device that can display well even when a bank is damaged or a defective portion due to foreign matter occurs in a bank during the manufacturing process of the organic EL display device. And

上記目的を達成するため、本発明の一態様にかかる有機EL表示装置の製造方法は、基板上に、熱硬化性樹脂を含むバンク材料をバンク形状に成形し、形成されたバンク成形体における欠陥部を検出し、欠陥部が検出された場合に、バンク成形体における欠陥部が存在する箇所に、熱硬化性樹脂を含む補修材を塗布することによって欠陥部の補修を行い、補修材が塗布されたバンク成形体を加熱して本焼成することによってバンクを形成し、形成されたバンクで区画された凹空間のそれぞれに発光層を形成することによって有機EL表示装置を製造する方法であって、バンク成形体を形成した後、補修材を塗布する前に、バンク成形体を加熱することによって予備焼成し、予備焼成時における加熱温度を、バンク材料に含まれる熱硬化性樹脂が熱硬化を開始する温度以上で、且つ本焼成時における加熱温度よりも低く設定した。   In order to achieve the above object, a method for manufacturing an organic EL display device according to one aspect of the present invention includes: forming a bank material including a thermosetting resin into a bank shape on a substrate; When a defective part is detected, the defective part is repaired by applying a repair material containing a thermosetting resin to the location where the defective part is present in the bank molded body, and the repair material is applied. A method for manufacturing an organic EL display device by forming a bank by heating and firing the formed bank molded body, and forming a light emitting layer in each of the recessed spaces partitioned by the formed bank. After the bank molded body is formed and before the repair material is applied, the bank molded body is pre-fired by heating, and the heating temperature at the time of pre-baking is determined by the thermosetting resin contained in the bank material. Above a temperature for starting thermal curing, it is set lower than the heating temperature and the time of the firing.

上記態様の有機EL表示装置の製造方法によれば、バンク成形体の欠陥部は、補修材を塗布することによって補修されるので、バンクで区画された凹空間にインクを塗布して発光層を形成するときに、インク層が欠陥部を介して混色する領域が広がるのを抑えることができる。
また、バンク成形体の欠陥部に対して補修材が塗布される前に、バンク成形体は、バンク材料に含まれる熱硬化性樹脂が熱硬化を開始する温度以上に加熱されて予備焼成されるので、補修材の塗布に伴うバンク成形体の形状劣化を防止できる。
According to the manufacturing method of the organic EL display device of the above aspect, since the defective portion of the bank molded body is repaired by applying a repair material, the light emitting layer is formed by applying ink to the concave space partitioned by the bank. When forming, it can suppress that the area | region where an ink layer mixes a color through a defect part spreads.
Further, before the repair material is applied to the defective part of the bank molded body, the bank molded body is pre-fired by being heated above the temperature at which the thermosetting resin contained in the bank material starts thermosetting. Therefore, it is possible to prevent the shape deterioration of the bank molded body accompanying the application of the repair material.

ここで、予備焼成を行うことによってバンク表面の撥液性は多少低下するものの、予備焼成における加熱温度が、補修材が塗布されたバンク成形体を本焼成するときの加熱温度よりも低く設定されているので、バンク表面の撥液性低下の度合いは小さく抑えられる。
従って、上記態様の有機EL表示装置の製造方法によれば、有機EL表示装置の表示性能を良好にすることができる。
Here, although the liquid repellency of the bank surface is somewhat lowered by performing pre-baking, the heating temperature in the pre-baking is set lower than the heating temperature in main baking the bank molded body to which the repair material is applied. Therefore, the degree of decrease in liquid repellency on the bank surface can be kept small.
Therefore, according to the manufacturing method of the organic EL display device of the above aspect, the display performance of the organic EL display device can be improved.

有機EL表示装置1の構成例を示す模式ブロック図である。2 is a schematic block diagram illustrating a configuration example of an organic EL display device 1. FIG. 有機EL表示パネル100の部分平面図である。2 is a partial plan view of an organic EL display panel 100. FIG. 表示パネル100を図2のA−A'線で切断した一部拡大断面図である。FIG. 3 is a partially enlarged cross-sectional view of the display panel 100 taken along line AA ′ in FIG. 2. 表示パネル100の製造過程を示す模式工程図である。5 is a schematic process diagram illustrating a manufacturing process of the display panel 100. FIG. 表示パネル100の製造工程の一部を模式的に示す断面図である。4 is a cross-sectional view schematically showing a part of the manufacturing process of the display panel 100. FIG. (a)は、バンクに生じる欠陥部の一例を示す斜視図、(b)は、実施の形態1にかかる堰が欠陥部の周囲に形成されている様子を示す斜視図である。(A) is a perspective view which shows an example of the defective part which arises in a bank, (b) is a perspective view which shows a mode that the weir concerning Embodiment 1 is formed around the defective part. (a),(b)は、異物によってバンクに生じた欠陥部、(c)は決壊によってバンクに生じた欠陥部を示す図である。(A), (b) is a figure which shows the defective part which arose in the bank by the foreign material, (c) is the defect part which arose in the bank by the breakdown. バンク欠陥部の検出と補修に用いる補修装置の一例を示す概略構成図である。It is a schematic block diagram which shows an example of the repair apparatus used for the detection and repair of a bank defect part. 欠陥部の周辺の画像において設定された塗布位置を示す図である。It is a figure which shows the application | coating position set in the image around a defect part. (a)〜(g)は、補修材を塗布することによって、堰が形成される様子を示す図である。(A)-(g) is a figure which shows a mode that a weir is formed by apply | coating a repair material. 実施の形態1にかかる堰の形成による効果を示す図であって、(a)は、堰が形成されている場合、(b)は堰が形成されていない比較例を示す。It is a figure which shows the effect by formation of the weir concerning Embodiment 1, Comprising: (a) shows the comparative example in which the weir is not formed, when (a) is formed. (a)は、図11(a)におけるC−C線の断面図、(b)は、下地基板11上にインク層15aを形成した状態を示す断面図である。11A is a cross-sectional view taken along the line CC in FIG. 11A, and FIG. 11B is a cross-sectional view illustrating a state where the ink layer 15a is formed on the base substrate 11. FIG. (a),(b)は、本実施形態のバンク形成方法による効果を説明する模式図である。(A), (b) is a schematic diagram explaining the effect by the bank formation method of this embodiment. 実験1を行ったサンプルの写真である。It is the photograph of the sample which conducted experiment 1. FIG. (a)は実験2,3の方法を説明する図、(b)は実験3の結果を示す図である。(A) is a figure explaining the method of Experiment 2 and 3, (b) is a figure which shows the result of Experiment 3. FIG. (a)は実施の形態2にかかる堰の形状を示す斜視図、(b)は溝空間に堰を形成した後、インク層を形成した状態の平面図である。(A) is a perspective view which shows the shape of the dam concerning Embodiment 2, (b) is a top view of the state which formed the ink layer, after forming a dam in a groove space. (a)は実施の形態3にかかる堰の形状を示す斜視図、(b)は溝空間に堰を形成した後インク層を形成した状態の平面図である。(A) is a perspective view which shows the shape of the weir concerning Embodiment 3, (b) is a top view of the state which formed the ink layer after forming a weir in groove space. (a)〜(d)は、実施の形態4にかかる表示パネルにおいて、ピクセルバンクに生じた欠陥部を補修する例を示す図である。(A)-(d) is a figure which shows the example which repairs the defective part which arose in the pixel bank in the display panel concerning Embodiment 4. FIG. 実施の形態5かかる表示パネルにおいて、(a)は、バンク14aの一部が欠損して欠陥部3が生じた図、(b)は、その欠陥部3にディスペンサで補修材を埋め込んで補修部6を形成した図である。In the display panel according to the fifth embodiment, (a) is a diagram in which a part of the bank 14a is lost and a defective portion 3 is generated, and (b) is a repair portion in which a repair material is embedded in the defective portion 3 with a dispenser. 6 is a diagram in which 6 is formed.

<発明に到った経緯>
補修材の塗布に伴ってバンク成形体の形状が崩れる原因について以下のように考察した。
バンク材料や補修材には、一般に熱硬化性樹脂が用いられており、基板上にバンク材料をバンク形状に塗布し、補修材を塗布した後に、バンク成形体及び補修材を200〜220℃の温度で加熱焼成することによって、基板上に補修されたバンクが形成される。
<Background to Invention>
The reason why the shape of the bank molded body collapses with the application of the repair material was considered as follows.
A thermosetting resin is generally used for the bank material and the repair material. After the bank material is applied in a bank shape on the substrate and the repair material is applied, the bank formed body and the repair material are 200 to 220 ° C. A repaired bank is formed on the substrate by heating and baking at a temperature.

ここで、塗布される補修材には、溶剤をはじめとする液体成分を含まれているので、補修材をバンク成形体に接触するように塗布すると、補修材中の液体成分がバンク成形体の表面を伝って塗れ広がる。
またバンク成形体は、未焼成の段階では熱硬化性樹脂の重合がそれほど進行していないので、濡れ拡がった溶剤等に接触すると、バンク成形体が部分的に再溶解し、それによってバンク成形体の形状が崩れると考えられる。
Here, since the repair material to be applied contains a liquid component such as a solvent, when the repair material is applied so as to come into contact with the bank molded body, the liquid component in the repair material is removed from the bank molded body. It spreads along the surface.
In addition, since the polymerization of the thermosetting resin does not progress so much in the unfired stage, the bank molded body partially re-dissolves when it comes into contact with the wet-spread solvent, etc. It is thought that the shape of

ここで、補修材の塗布によるバンク成形体の形状劣化を防止するには、補修材を塗布する前にバンク成形体を焼成すればよいと考えられる。しかしその場合、補修材を塗布した後に、補修材に含まれる熱硬化性樹脂を硬化させるために再度焼成を行う必要があるので、基板及びバンク成形体に対して2度の焼成が行われることになる。
そして、バンク成形体に対して200℃以上の高温で2度の焼成が行われると、形成されるバンクの表面の撥液性が低下するので、バンク同士の間に発光層を形成するインクを塗布したときに、インクの混色が生じる原因となる。また、基板にTFT層が形成されている場合、200℃以上の高温で焼成が2度行われると、TFT層の特性が低下する可能性もある。
Here, in order to prevent the shape deterioration of the bank molded body due to the application of the repair material, it is considered that the bank molded body may be fired before the repair material is applied. However, in that case, after applying the repair material, it is necessary to perform firing again to cure the thermosetting resin contained in the repair material, so that the substrate and the bank molded body are fired twice. become.
And, if the bank molded body is baked twice at a high temperature of 200 ° C. or higher, the liquid repellency of the surface of the formed bank is lowered, so that the ink for forming the light emitting layer between the banks is removed. When applied, it causes ink color mixing. In addition, when the TFT layer is formed on the substrate, the characteristics of the TFT layer may be deteriorated if baking is performed twice at a high temperature of 200 ° C. or higher.

そこで、補修材を塗布する前に、バンク成形体に含まれる熱硬化性樹脂の重合をある程度進めて、補修材の塗布によるバンク成形体の形状劣化を防止すると共に、バンク成形体が200℃以上の高温で2度焼成されることがないようにする方法を検討して、本発明を案出するに到った。
<発明の態様>
本発明の一態様にかかる有機EL表示装置の製造方法は、基板上に、熱硬化性樹脂を含むバンク材料をバンク形状に成形し、形成されたバンク成形体における欠陥部を検出し、欠陥部が検出された場合に、成形体における欠陥部が存在する箇所に、熱硬化性樹脂を含む補修材を塗布することによって欠陥部の補修を行い、補修材が塗布されたバンク成形体を加熱焼成することによってバンクを形成し、形成されたバンクで区画された凹空間のそれぞれに発光層を形成することによって有機EL表示装置を製造する方法であって、バンク成形体を形成した後、補修材を塗布する前に、バンク成形体を加熱することによって予備焼成し、当該予備焼成時における加熱温度は、バンク材料に含まれる熱硬化性樹脂が熱硬化を開始する温度以上であり、且つ補修材が塗布された成形体を本焼成するときの加熱温度よりも低く設定した。
Therefore, before applying the repair material, the polymerization of the thermosetting resin contained in the bank molded body is advanced to some extent to prevent the shape deterioration of the bank molded body due to the application of the repair material, and the bank molded body is 200 ° C. or higher. The present invention has been devised by investigating a method of preventing firing twice at a high temperature.
<Aspect of the Invention>
A method for manufacturing an organic EL display device according to an aspect of the present invention includes: forming a bank material including a thermosetting resin into a bank shape on a substrate; detecting a defect portion in the formed bank formed body; Is detected, the defective part is repaired by applying a repair material containing a thermosetting resin to the part where the defective part exists in the molded body, and the bank molded body to which the repair material is applied is heated and fired. A method for manufacturing an organic EL display device by forming a bank and forming a light emitting layer in each of the concave spaces partitioned by the formed bank, and after forming the bank molded body, a repair material Before the coating, the bank molding is pre-baked by heating, and the heating temperature at the pre-baking is equal to or higher than the temperature at which the thermosetting resin contained in the bank material starts thermosetting. And repair material is set lower than the heating temperature at which the fired molded body coated.

上記態様の有機EL表示装置の製造方法によれば、バンク成形体の欠陥部は、補修材を塗布することによって補修されるので、バンクで区画された凹空間にインクを塗布して発光層を形成するときに、インク層が欠陥部を介して混色する領域が広がるのを抑えることができる。
また、バンク成形体の欠陥部に対して補修材が塗布される前に、バンク成形体は、バンク材料に含まれる熱硬化性樹脂が熱硬化を開始する温度以上に加熱されて予備焼成されるので、補修材の塗布に伴うバンク成形体の形状劣化を防止できる。
According to the manufacturing method of the organic EL display device of the above aspect, since the defective portion of the bank molded body is repaired by applying a repair material, the light emitting layer is formed by applying ink to the concave space partitioned by the bank. When forming, it can suppress that the area | region where an ink layer mixes a color through a defect part spreads.
Further, before the repair material is applied to the defective part of the bank molded body, the bank molded body is pre-fired by being heated above the temperature at which the thermosetting resin contained in the bank material starts thermosetting. Therefore, it is possible to prevent the shape deterioration of the bank molded body accompanying the application of the repair material.

ここで、予備焼成を行うことによってバンク表面の撥液性は多少低下するものの、予備焼成における加熱温度が、補修材が塗布された成形体を本焼成するときの加熱温度よりも低く設定されているので、バンク表面の撥液性低下の度合いは小さく抑えられる。
従って、上記態様の有機EL表示装置の製造方法によれば、有機EL表示装置の表示性能を良好にすることができる。
Here, although the liquid repellency of the bank surface is somewhat lowered by performing pre-baking, the heating temperature in the pre-baking is set lower than the heating temperature in main baking the molded body on which the repair material is applied. Therefore, the degree of decrease in liquid repellency on the bank surface can be kept small.
Therefore, according to the manufacturing method of the organic EL display device of the above aspect, the display performance of the organic EL display device can be improved.

上記態様の有機EL表示装置の製造方法において、予備焼成時における加熱温度は、100℃以上とすることが好ましい。また、150℃以下とすることが好ましい。
上記態様の有機EL表示装置の製造方法において、補修材を塗布することによって、バンク成形体における欠陥部が存在する部分の両側に隣接する凹空間の各々の中に、凹空間を、欠陥部に近接する空間部分からなる第1空間と、欠陥部に近接しない空間部分からなる第2空間とに仕切る堰を形成してもよい。
In the method for manufacturing an organic EL display device according to the above aspect, the heating temperature during the pre-baking is preferably 100 ° C. or higher. Moreover, it is preferable to set it as 150 degrees C or less.
In the method for manufacturing an organic EL display device according to the above aspect, by applying a repair material, in each of the concave spaces adjacent to both sides of the portion where the defective portion is present in the bank molded body, the concave space is formed into the defective portion. You may form the weir which partitions off into the 1st space which consists of a space part which adjoins, and the 2nd space which consists of a space part which is not close to a defect part.

<実施の形態1>
[有機EL表示装置の全体構成]
図1は、実施形態1に係る表示パネル100を有する有機EL表示装置1の構成を示す模式ブロック図である。
図1に示すように、有機EL表示装置1は、表示パネル100と、これに接続された駆動制御部101とを有している。表示パネル100は、有機材料の電界発光現象を利用したパネルであり、図2に示すように、複数の有機EL素子10が基板上にマトリクス状に配列されている。駆動制御部101は、4つの駆動回路102〜105と制御回路106とから構成されている。
<Embodiment 1>
[Overall configuration of organic EL display device]
FIG. 1 is a schematic block diagram illustrating a configuration of an organic EL display device 1 having a display panel 100 according to the first embodiment.
As shown in FIG. 1, the organic EL display device 1 includes a display panel 100 and a drive control unit 101 connected thereto. The display panel 100 is a panel using an electroluminescence phenomenon of an organic material, and as shown in FIG. 2, a plurality of organic EL elements 10 are arranged in a matrix on a substrate. The drive control unit 101 includes four drive circuits 102 to 105 and a control circuit 106.

なお、表示パネル100に対する駆動制御部101の配置などは、これに限られない。
[有機EL表示パネルの構成]
図2は、表示パネル100の表示面側から見た概略構成を模式的に示す平面図である。図3は、表示パネル100を図2のA−A'線で切断した一部拡大断面図である。表示パネル100は、いわゆるトップエミッション型であって、Z方向側が表示面となっている。
The arrangement of the drive control unit 101 with respect to the display panel 100 is not limited to this.
[Configuration of organic EL display panel]
FIG. 2 is a plan view schematically showing a schematic configuration viewed from the display surface side of the display panel 100. 3 is a partially enlarged cross-sectional view of the display panel 100 taken along the line AA ′ of FIG. The display panel 100 is a so-called top emission type, and has a display surface on the Z direction side.

表示パネル100の構成について、図2,3を参照しながら説明する。
図3に示すように、表示パネル100は、その主な構成として、下地基板11、画素電極12、ホール注入層13、バンク14、有機発光層15、電子輸送層16、共通電極17、封止層18を備える。そして、赤(R),緑(G),青(B)の何れかの発光色に対応する有機発光層15を有する有機EL素子10をサブピクセルとし、図2に示すように、サブピクセルがマトリクス状に配設されている。
The configuration of the display panel 100 will be described with reference to FIGS.
As shown in FIG. 3, the display panel 100 includes, as main components, a base substrate 11, a pixel electrode 12, a hole injection layer 13, a bank 14, an organic light emitting layer 15, an electron transport layer 16, a common electrode 17, and a sealing. Layer 18 is provided. Then, the organic EL element 10 having the organic light emitting layer 15 corresponding to any one of the emission colors of red (R), green (G), and blue (B) is set as a sub pixel, and as shown in FIG. Arranged in a matrix.

なお、図2においては、電子輸送層16、共通電極17、封止層18を取り除いた状態を示している。
[下地基板]
下地基板11は、基板本体部11a、TFT(薄膜トランジスタ)層11b、層間絶縁層11cを有する。
2 shows a state in which the electron transport layer 16, the common electrode 17, and the sealing layer 18 are removed.
[Base substrate]
The base substrate 11 includes a substrate body 11a, a TFT (thin film transistor) layer 11b, and an interlayer insulating layer 11c.

基板本体部11aは、表示パネル100の基材となる部分であり、例えば、無アルカリガラス、ソーダガラス、ポリカーボネート系樹脂、ポリエステル樹脂、アルミナ等の絶縁性材料のいずれかで形成することができる。
TFT層11bは、基板本体部11aの表面にサブピクセル毎に設けられており、各々には薄膜トランジスタ素子を含む画素回路が形成されている。
The substrate body 11a is a part that becomes a base material of the display panel 100, and can be formed of any of insulating materials such as alkali-free glass, soda glass, polycarbonate resin, polyester resin, and alumina.
The TFT layer 11b is provided for each subpixel on the surface of the substrate main body 11a, and a pixel circuit including a thin film transistor element is formed in each.

層間絶縁層11cは、TFT層11b上に形成されている。層間絶縁層11cは、ポリイミド系樹脂、アクリル系樹脂、ノボラック型フェノール樹脂等の有機絶縁材料、SiO(酸化シリコン)やSiN(窒化シリコン)等の無機絶縁材料からなり、TFT層11bと画素電極12との間の電気的絶縁性を確保すると共に、TFT層11bの上面に段差が存在してもそれを平坦化して、画素電極12を形成する下地面への影響を抑える機能を持つ。   The interlayer insulating layer 11c is formed on the TFT layer 11b. The interlayer insulating layer 11c is made of an organic insulating material such as polyimide resin, acrylic resin, or novolak type phenol resin, or an inorganic insulating material such as SiO (silicon oxide) or SiN (silicon nitride). The TFT layer 11b and the pixel electrode 12 are formed. And has a function of flattening even if a step exists on the upper surface of the TFT layer 11b and suppressing the influence on the base surface on which the pixel electrode 12 is formed.

[画素電極]
画素電極12は、サブピクセル毎に個別に設けられた画素電極であり、例えば、Ag(銀)、Al(アルミニウム)、アルミニウム合金、Mo(モリブデン)、APC(銀、パラジウム、銅の合金)等の光反射性導電材料からなる。本実施形態において、画素電極12は、陽極である。
[Pixel electrode]
The pixel electrode 12 is a pixel electrode provided for each sub-pixel, for example, Ag (silver), Al (aluminum), aluminum alloy, Mo (molybdenum), APC (silver, palladium, copper alloy), etc. The light-reflective conductive material. In the present embodiment, the pixel electrode 12 is an anode.

なお、画素電極12の表面にさらに公知の透明導電膜を設けてもよい。透明導電膜の材料としては、例えば酸化インジウムスズ(ITO)や酸化インジウム亜鉛(IZO)を用いることができる。透明導電膜は、画素電極12とホール注入層13の間に介在し、各層間の接合性を良好にする機能を有する。
[ホール注入層]
ホール注入層13は、例えば、銀(Ag)、モリブデン(Mo)、クロム(Cr)、バナジウム(V)、タングステン(W)、ニッケル(Ni)、イリジウム(Ir)などの酸化物、あるいは、PEDOT(ポリチオフェンとポリスチレンスルホン酸との混合物)などの導電性ポリマー材料からなる層である。上記の内、酸化金属からなるホール注入層13は、ホールを安定的に、またはホールの生成を補助して、有機発光層15に対しホールを注入および輸送する機能を有する。
A known transparent conductive film may be further provided on the surface of the pixel electrode 12. As a material of the transparent conductive film, for example, indium tin oxide (ITO) or indium zinc oxide (IZO) can be used. The transparent conductive film is interposed between the pixel electrode 12 and the hole injection layer 13 and has a function of improving the bonding property between the respective layers.
[Hole injection layer]
The hole injection layer 13 is made of, for example, an oxide such as silver (Ag), molybdenum (Mo), chromium (Cr), vanadium (V), tungsten (W), nickel (Ni), iridium (Ir), or PEDOT. It is a layer made of a conductive polymer material such as (mixture of polythiophene and polystyrene sulfonic acid). Among the above, the hole injection layer 13 made of metal oxide has a function of injecting and transporting holes to the organic light emitting layer 15 in a stable manner or assisting the generation of holes.

[バンク]
ホール注入層13の表面には、Y方向に伸長する平面視にて短冊状のバンク14が複数本並列に設けられている。このバンク14は、絶縁性の有機材料(例えばアクリル系樹脂、ポリイミド系樹脂、ノボラック型フェノール樹脂等)からなる。
各バンク14の断面は、図3に示されるように台形であって、バンク14同士の間には、バンク14によって区画された溝空間が形成され、そこに有機発光層15が形成されている。
[bank]
A plurality of strip-shaped banks 14 are provided in parallel on the surface of the hole injection layer 13 in a plan view extending in the Y direction. The bank 14 is made of an insulating organic material (for example, an acrylic resin, a polyimide resin, a novolac type phenol resin, or the like).
The cross section of each bank 14 is trapezoidal as shown in FIG. 3, and a groove space defined by the bank 14 is formed between the banks 14, and the organic light emitting layer 15 is formed there. .

このバンク14は、有機発光層15をウェット法で形成するときに、塗布されたインクがあふれ出ないようにする構造物として機能する。
[有機発光層]
有機発光層15は、キャリア(正孔と電子)が再結合して発光する部位であって、R,G,Bのいずれかの色に対応する有機材料を含む。
The bank 14 functions as a structure that prevents the applied ink from overflowing when the organic light emitting layer 15 is formed by a wet method.
[Organic light emitting layer]
The organic light emitting layer 15 is a site where carriers (holes and electrons) recombine and emits light, and includes an organic material corresponding to any of R, G, and B colors.

この有機発光層15は、上記のバンク14によって区画されたY方向に伸長する溝状の凹空間(図6の溝空間20)に形成されている。
そして、互いに色の異なる有機発光層15は、バンク14を挟んで配置されている。
有機発光層15の材料としては、例えば、ポリパラフェニレンビニレン(PPV)、ポリフルオレン、オキシノイド化合物、ペリレン化合物、クマリン化合物、アザクマリン化合物、オキサゾール化合物、オキサジアゾール化合物、ペリノン化合物、ピロロピロール化合物、ナフタレン化合物、アントラセン化合物、フルオレン化合物、フルオランテン化合物、テトラセン化合物、ピレン化合物、コロネン化合物、キノロン化合物及びアザキノロン化合物、ピラゾリン誘導体及びピラゾロン誘導体、ローダミン化合物、クリセン化合物、フェナントレン化合物、シクロペンタジエン化合物、スチルベン化合物、ジフェニルキノン化合物、スチリル化合物、ブタジエン化合物、ジシアノメチレンピラン化合物、ジシアノメチレンチオピラン化合物、フルオレセイン化合物、ピリリウム化合物、チアピリリウム化合物、セレナピリリウム化合物、テルロピリリウム化合物、芳香族アルダジエン化合物、オリゴフェニレン化合物、チオキサンテン化合物、シアニン化合物、アクリジン化合物、8−ヒドロキシキノリン化合物の金属錯体、2−ビピリジン化合物の金属錯体、シッフ塩とIII族金属との錯体、オキシン金属錯体、希土類錯体等の蛍光物質等が挙げられる。
The organic light emitting layer 15 is formed in a groove-like concave space (groove space 20 in FIG. 6) that extends in the Y direction and is partitioned by the bank 14.
The organic light emitting layers 15 having different colors are arranged with the bank 14 in between.
Examples of the material of the organic light emitting layer 15 include polyparaphenylene vinylene (PPV), polyfluorene, oxinoid compound, perylene compound, coumarin compound, azacoumarin compound, oxazole compound, oxadiazole compound, perinone compound, pyrrolopyrrole compound, naphthalene. Compound, anthracene compound, fluorene compound, fluoranthene compound, tetracene compound, pyrene compound, coronene compound, quinolone compound and azaquinolone compound, pyrazoline derivative and pyrazolone derivative, rhodamine compound, chrysene compound, phenanthrene compound, cyclopentadiene compound, stilbene compound, diphenylquinone Compound, styryl compound, butadiene compound, dicyanomethylenepyran compound, dicyanomethylenethiopyran compound , Fluorescein compound, pyrylium compound, thiapyrylium compound, serenapyrylium compound, telluropyrylium compound, aromatic ardadiene compound, oligophenylene compound, thioxanthene compound, cyanine compound, acridine compound, 8-hydroxyquinoline compound metal complex, 2-bipyridine compound And fluorescent materials such as Schiff salt and group III metal complexes, oxine metal complexes and rare earth complexes.

[電子輸送層]
電子輸送層16は、共通電極17から注入された電子を有機発光層15へ輸送する機能を有し、例えば、オキサジアゾール誘導体(OXD)、トリアゾール誘導体(TAZ)、フェナンスロリン誘導体(BCP、Bphen)などで形成されている。
[共通電極]
共通電極17は、例えば、ITO、IZO等の導電性を有する光透過性材料で形成され全てのサブピクセルに亘って設けられている。
[Electron transport layer]
The electron transport layer 16 has a function of transporting electrons injected from the common electrode 17 to the organic light-emitting layer 15, and includes, for example, an oxadiazole derivative (OXD), a triazole derivative (TAZ), a phenanthroline derivative (BCP, Bphen) or the like.
[Common electrode]
The common electrode 17 is formed of, for example, a light-transmitting material having conductivity such as ITO or IZO, and is provided over all subpixels.

本実施形態において、共通電極17は陰極である。
[封止層18]
封止層18は、ホール注入層13、有機発光層15、電子輸送層16、共通電極17を水分及び酸素から保護するために設けられている。
なお、図示はしないが、封止層18の上に、ブラックマトリクス、カラーフィルター等が形成されていてもよい。
In the present embodiment, the common electrode 17 is a cathode.
[Sealing layer 18]
The sealing layer 18 is provided to protect the hole injection layer 13, the organic light emitting layer 15, the electron transport layer 16, and the common electrode 17 from moisture and oxygen.
Although not shown, a black matrix, a color filter, or the like may be formed on the sealing layer 18.

[表示パネルの製造方法]
図4は、表示パネル100の製造過程を示す模式工程図である。
図5は、表示パネル100の製造工程の中、バンク形成工程、発光層形成工程を模式的に示す断面図である。
表示パネル100の製造方法について、図4の工程図に基づいて図3、5を参照しながら説明する。
[Display panel manufacturing method]
FIG. 4 is a schematic process diagram showing the manufacturing process of the display panel 100.
FIG. 5 is a cross-sectional view schematically showing a bank forming process and a light emitting layer forming process in the manufacturing process of the display panel 100.
A method for manufacturing the display panel 100 will be described with reference to FIGS.

まず、基板本体部11a上にTFT層11bを形成する(ステップS1)。
続いて、TFT層11bの上に、絶縁性に優れる有機材料を用いてフォトレジスト法で層間絶縁層11cを形成して下地基板11を得る(ステップS2)。層間絶縁層11cの厚みは例えば約4μmである。なお、図3の断面図および図4の工程図には現れないが、層間絶縁層11cを形成するときに、コンタクトホール2(図2参照)を形成する。
First, the TFT layer 11b is formed on the substrate body 11a (step S1).
Subsequently, an interlayer insulating layer 11c is formed on the TFT layer 11b by a photoresist method using an organic material having excellent insulating properties to obtain the base substrate 11 (step S2). The thickness of the interlayer insulating layer 11c is about 4 μm, for example. Although not shown in the sectional view of FIG. 3 and the process diagram of FIG. 4, the contact hole 2 (see FIG. 2) is formed when the interlayer insulating layer 11c is formed.

次に、下地基板11上に、真空蒸着法またはスパッタ法によって、厚み400[nm]程度の金属材料からなる画素電極12を、サブピクセル毎に形成する(ステップS3)。
続いて、スパッタ法などで酸化タングステンを、下地基板11および画素電極12上に一様に成膜することによって、ホール注入層13を形成する(ステップS4)。
バンク形成:
次に、バンク14を形成する(ステップS5〜S9)。
Next, the pixel electrode 12 made of a metal material having a thickness of about 400 [nm] is formed on the base substrate 11 for each sub-pixel by vacuum deposition or sputtering (step S3).
Subsequently, a hole injection layer 13 is formed by uniformly depositing tungsten oxide on the base substrate 11 and the pixel electrode 12 by sputtering or the like (step S4).
Bank formation:
Next, the bank 14 is formed (steps S5 to S9).

まずバンク材料として、ネガ型感光性樹脂組成物を用意し、このバンク材料を、図5(a)に示すように、ホール注入層13上に一様に塗布する(ステップS5)。
バンク材料としては、熱を加えることによって硬化する熱硬化型の樹脂のからなる組成物を用いる。そして、この組成物には、UV光を照射することによって重合を開始させる光重合開始剤などが含まれる。
First, a negative photosensitive resin composition is prepared as a bank material, and this bank material is uniformly applied on the hole injection layer 13 as shown in FIG. 5A (step S5).
As the bank material, a composition made of a thermosetting resin that is cured by applying heat is used. The composition includes a photopolymerization initiator that initiates polymerization by irradiation with UV light.

樹脂の種類としては、例えば、(メタ)アクロイル基、アリル基、ビニル基、ビニルオキシ基などのエチレン性の二重結合を有する熱硬化性の樹脂が挙げられる。また、これらの樹脂に対して架橋する架橋剤、例えば、エポキシ化合物、ポリイソシアネート化合物を添加してもよい。
また、この樹脂構造の中に、フッ素を含むフッ化ポリマーを導入してもよい。フッ化ポリマーとしては、フッ素化ポリオレフィン系樹脂、フッ素化ポリイミド樹脂、フッ素化ポリアクリル樹脂などのフッ素樹脂を含む感光性レジストが挙げられる。
As a kind of resin, the thermosetting resin which has ethylenic double bonds, such as a (meth) acryloyl group, an allyl group, a vinyl group, a vinyloxy group, is mentioned, for example. Moreover, you may add the crosslinking agent which bridge | crosslinks with respect to these resin, for example, an epoxy compound, a polyisocyanate compound.
Further, a fluorinated polymer containing fluorine may be introduced into the resin structure. Examples of the fluorinated polymer include a photosensitive resist containing a fluorinated resin such as a fluorinated polyolefin resin, a fluorinated polyimide resin, and a fluorinated polyacrylic resin.

フッ化ポリマーを導入した樹脂の具体例としては、フルオロエチレンとビニルエーテルとの共重合体であるルミフロン(LUMIFLON、登録商標、旭硝子)が挙げられる。
樹脂にフッ素が導入されることによって、形成される堰5に撥インク性を付与することができる。
あるいは、樹脂に撥インク剤を添加してもよい。撥インク剤の添加量は0.01〜10wt%とする。撥インク剤の添加量をこの範囲にすることにより、樹脂組成物の貯蔵安定性が良好で、且つ形成される堰5のインクに対する撥液性も良好となる。そして、塗布したバンク材料の層をフォトリソグラフィー法でバンク形状にパターニング形成する(ステップS6)。
Specific examples of the resin into which the fluorinated polymer is introduced include LUMIFLON (registered trademark, Asahi Glass), which is a copolymer of fluoroethylene and vinyl ether.
By introducing fluorine into the resin, ink repellency can be imparted to the weir 5 formed.
Alternatively, an ink repellent agent may be added to the resin. The amount of ink repellent added is 0.01 to 10 wt%. By making the addition amount of the ink repellent within this range, the storage stability of the resin composition is good and the liquid repellency of the formed weir 5 to the ink is also good. Then, the applied bank material layer is patterned into a bank shape by photolithography (step S6).

すなわち、図5(b)に示すように、そのバンク材料層上に、形成しようとするバンク14のパターンに合わせた開口を有するマスクを重ねて、マスクの上から露光する。
その後、余分なバンク材料をアルカリ現像液で洗い出すことによって、バンク材料をパターニングして、バンクパターンを形成する。図5(c)に示すように、下地基板11上に、バンク成形体14a(未焼成のバンク)がパターン形成される。そして、隣接するバンク成形体14a同士の間には、溝空間20が形成されている。
That is, as shown in FIG. 5B, a mask having an opening corresponding to the pattern of the bank 14 to be formed is overlaid on the bank material layer and exposed from above the mask.
Thereafter, the bank material is patterned by washing out the excess bank material with an alkaline developer to form a bank pattern. As shown in FIG. 5 (c), a bank molded body 14 a (unfired bank) is pattern-formed on the base substrate 11. A groove space 20 is formed between adjacent bank molded bodies 14a.

次に、形成したバンク成形体14aを加熱して予備焼成する(ステップS6)。
予備焼成時の加熱方法としては、例えば、図5(d)に示すように、熱風乾燥炉において、下地基板11上に形成されたバンク成形体14aに熱風を当てて加熱する。その他、赤外線ランプで熱線を照射する方法、ホットプレートで加熱する方法で行うこともできる。
Next, the formed bank molded body 14a is heated and pre-baked (step S6).
As a heating method at the time of pre-baking, for example, as shown in FIG. 5D, in a hot air drying furnace, hot air is applied to the bank molded body 14 a formed on the base substrate 11 to heat it. In addition, it can also carry out by the method of irradiating a heat ray with an infrared lamp, and the method of heating with a hot plate.

下地基板11の温度は加熱に伴って徐々に上昇し、最高温度である加熱温度T1で一定の時間維持した後、徐々に下降する。
このときの加熱温度T1は、バンク材料の熱硬化(重合反応)をある程度進めることができ、且つ重合反応の完了までは至らない温度である。加熱時間(加熱温度T1で維持する時間)は20分〜30分程度である。
The temperature of the base substrate 11 gradually rises with heating, and after gradually maintaining at the heating temperature T1, which is the highest temperature, gradually falls.
The heating temperature T1 at this time is a temperature at which the thermosetting (polymerization reaction) of the bank material can proceed to some extent and does not reach the completion of the polymerization reaction. The heating time (time for maintaining at the heating temperature T1) is about 20 to 30 minutes.

通常、熱硬化性樹脂は100℃以上になれば熱硬化が開始されて重合が進むので、加熱温度T1は100℃以上設定することが好ましい。
一方、加熱温度T1を200℃程度の高温にすると、予備焼成の段階で熱硬化性樹脂の重合が進み過ぎて、本焼成後のバンク成形体14の表面の撥液性が損なわれやすい。従って、加熱温度T1は、本焼成時における加熱温度T2と比べて低い温度に設定し、150℃以下に設定することが好ましい。
Usually, when the thermosetting resin reaches 100 ° C. or higher, thermosetting is started and polymerization proceeds. Therefore, the heating temperature T1 is preferably set to 100 ° C. or higher.
On the other hand, when the heating temperature T1 is set to a high temperature of about 200 ° C., the polymerization of the thermosetting resin proceeds excessively in the preliminary baking stage, and the liquid repellency of the surface of the bank molded body 14 after the main baking is likely to be impaired. Therefore, the heating temperature T1 is preferably set to a temperature lower than the heating temperature T2 at the time of the main firing, and is set to 150 ° C. or lower.

次に、各バンク成形体14aにおける欠陥部の有無を調べて(ステップS7)、欠陥部があればその補修を行う。
このバンク補修については、後で詳述するが、検出した欠陥部3の近傍において、バンク成形体14aの同士の間の溝空間20に補修材を塗布し乾燥することによって行う(ステップS8)。図5(e)には、欠陥部3が存在するバンク成形体14aに隣接する溝空間20に補修材が塗布されて、堰成形体5aが形成された状態を示している。
Next, the presence / absence of a defective portion in each bank formed body 14a is checked (step S7), and if there is a defective portion, it is repaired.
Although this bank repair will be described in detail later, a repair material is applied to the groove space 20 between the bank formed bodies 14a in the vicinity of the detected defective portion 3 and dried (step S8). FIG. 5 (e) shows a state in which the repair material is applied to the groove space 20 adjacent to the bank molded body 14a in which the defect portion 3 exists, and the dam molded body 5a is formed.

その後、図5(f)に示すように、バンク成形体14aと堰成形体5aとを、加熱して本焼成することによって、バンク14及び堰5が出来上がり、欠陥部の3の補修が完了する(ステップS9)。この本焼成では、バンク成形体14a及び堰成形体5aを加熱して、熱硬化性樹脂の重合反応を完了させる。
加熱方法としては、上記予備焼成のときと同様、熱風乾燥炉で、下地基板11上に形成されたバンク成形体14aに熱風を当てて加熱する方法の他、赤外線ランプで熱線を照射する方法や、ホットプレートで加熱する方法を用いることができる。そして、下地基板11の温度は加熱に伴って徐々に上昇し、最高温度である加熱温度T2で一定の時間維持した後、徐々に下降する。
Thereafter, as shown in FIG. 5 (f), the bank molded body 14a and the dam molded body 5a are heated and subjected to main firing, whereby the bank 14 and the dam 5 are completed, and the repair of the defective portion 3 is completed. (Step S9). In the main firing, the bank molded body 14a and the dam molded body 5a are heated to complete the polymerization reaction of the thermosetting resin.
As a heating method, as in the case of the pre-baking, in addition to a method in which hot air is applied to the bank molded body 14a formed on the base substrate 11 in a hot air drying furnace, a method of irradiating heat rays with an infrared lamp, A method of heating with a hot plate can be used. Then, the temperature of the base substrate 11 gradually increases with heating, and after gradually maintaining at the heating temperature T2 that is the maximum temperature, it gradually decreases.

本焼成における加熱温度T2は、熱硬化性樹脂の重合を完了させるため、高温(200℃〜220℃)に設定し、加熱時間は例えば60分程度とする。
図5(f)には、本焼成によって、バンク14が形成されると共に堰5が形成された状態、すなわち、補修されたバンク14が形成された状態を示している。
このように形成されたバンク14に対して、さらに、次の工程で塗布するインクに対するバンク14の表面の接触角を調節する処理をしてもよい。あるいは、バンク14の表面に撥液性を付与するために、所定のアルカリ性溶液や水、有機溶媒等によって表面処理したり、プラズマ処理を施してもよい。
The heating temperature T2 in the main baking is set to a high temperature (200 ° C. to 220 ° C.) in order to complete the polymerization of the thermosetting resin, and the heating time is, for example, about 60 minutes.
FIG. 5F shows a state in which the bank 14 is formed and the weir 5 is formed by the main firing, that is, a state in which the repaired bank 14 is formed.
The bank 14 thus formed may be further subjected to a process of adjusting the contact angle of the surface of the bank 14 with respect to the ink applied in the next step. Alternatively, in order to impart liquid repellency to the surface of the bank 14, a surface treatment may be performed with a predetermined alkaline solution, water, an organic solvent, or the like, or a plasma treatment may be performed.

続いて、図5(g)に示すように、バンク14同士の間の溝空間20に、発光層形成用のインクを塗布する。このインクは、有機発光層15を構成する有機材料と溶媒を混合したものであって、各溝空間20内にインクジェット法を用いて塗布する。
そして、塗布されたインク層15aに含まれる溶媒を蒸発させて乾燥し、必要に応じて加熱焼成することによって、図5(h)に示すように、各溝空間20内に有機発光層15が形成される(ステップS10)。
Subsequently, as shown in FIG. 5G, ink for forming a light emitting layer is applied to the groove space 20 between the banks 14. This ink is a mixture of an organic material constituting the organic light emitting layer 15 and a solvent, and is applied to each groove space 20 by an ink jet method.
Then, the solvent contained in the applied ink layer 15a is evaporated and dried, and heated and fired as necessary, whereby the organic light emitting layer 15 is formed in each groove space 20 as shown in FIG. It is formed (step S10).

次に、有機発光層15およびバンク14の上に、電子輸送層16を構成する材料を真空蒸着法で成膜して、電子輸送層16を形成する(ステップS11)。
そして、ITO、IZO等の材料を、スパッタ法等で成膜して、共通電極17を形成する(ステップS12)。
そして、共通電極17の表面に、SiN、SiON等の光透過性材料をスパッタ法あるいはCVD法等で成膜して、封止層18を形成する(ステップS13)。
Next, on the organic light emitting layer 15 and the bank 14, the material which comprises the electron carrying layer 16 is formed into a film by the vacuum evaporation method, and the electron carrying layer 16 is formed (step S11).
Then, a material such as ITO or IZO is formed by sputtering or the like to form the common electrode 17 (step S12).
Then, a light transmissive material such as SiN or SiON is formed on the surface of the common electrode 17 by a sputtering method or a CVD method to form the sealing layer 18 (step S13).

以上の工程を経て表示パネル100が完成する。
[バンクの欠陥部を検出し補修する方法]
(欠陥部3)
まず、バンク成形体14aに存在する欠陥部3について説明する。
この欠陥部3は、バンク成形体14aに存在する異物、またはバンク成形体14aの一部が欠損した部分である。
The display panel 100 is completed through the above steps.
[Method to detect and repair defective bank]
(Defect 3)
First, the defect portion 3 present in the bank molded body 14a will be described.
The defective portion 3 is a portion in which foreign matter existing in the bank molded body 14a or a part of the bank molded body 14a is lost.

異物は、例えば、製造装置に由来する金属片、空気中に存在する塵・埃の類である。そして、塵・埃は、繊維片であることが多い。
図6(a)に示す例では、1本のバンク成形体14aの上に、異物が付着して欠陥部3となっている。
このようにバンク成形体14a上に異物があると、図5(g)に示すようにバンク14を挟んで隣接する溝空間20にインクを塗布してドーム状に盛ったインク層15aが形成されると、インク層15aが異物に接触して、発光色の異なるインク(例えば赤色インクと緑色インク)が混ざってしまうことがある。
The foreign object is, for example, a metal piece derived from the manufacturing apparatus, or dust / dust that exists in the air. And dust is often a fiber piece.
In the example shown in FIG. 6A, foreign matter adheres to the defective portion 3 on one bank molded body 14a.
When there is a foreign substance on the bank molded body 14a as described above, an ink layer 15a is formed which is applied in the groove space 20 adjacent to the bank 14 and is piled up in a dome shape as shown in FIG. 5 (g). Then, the ink layer 15a may come into contact with the foreign matter, and inks with different emission colors (for example, red ink and green ink) may be mixed.

図7(a)に示す例では、1本のバンク成形体14aの中に異物が入り込み、その異物がバンク14の壁面を隣の溝空間まで貫通して欠陥部3となっている。
図7(b)に示す例では、1本のバンク成形体14aの下に異物が入り込んで、その異物が隣の溝空間まで貫通して欠陥部3となっている。
このように、バンク成形体14aの中や下に異物が存在する場合でも、異物とバンク材料との密着性が悪い場合には、隙間が生じてインクの流通路ができたり、異物が繊維片の場合はインクを吸収するので、異物自体がインクの流通路となる。従って、異物を挟んで隣り合う溝空間に形成されたインク層15aの間で混色が生じる原因となる。
In the example shown in FIG. 7A, foreign matter enters one bank molded body 14a, and the foreign matter penetrates the wall surface of the bank 14 to the adjacent groove space to form the defective portion 3.
In the example shown in FIG. 7B, foreign matter enters under one bank molded body 14a, and the foreign matter penetrates to the adjacent groove space to form the defective portion 3.
As described above, even when foreign matter exists in or below the bank molded body 14a, if the adhesion between the foreign matter and the bank material is poor, a gap is formed to form an ink flow path, or the foreign matter may be a fiber fragment. In this case, since the ink is absorbed, the foreign matter itself becomes an ink flow path. Accordingly, color mixing occurs between the ink layers 15a formed in the adjacent groove spaces with the foreign matter in between.

図7(c)に示す例では、バンク成形体14aの一部が決壊して欠陥部3となっている。このようなバンク成形体14aにおける決壊は、例えば、図5(b)に示すバンク材料層に対する露光工程で、露光が不十分で重合があまりなされたかった箇所が、次の現像工程で洗い流されることによって発生する。このように決壊が生じた場合も、その決壊を介して隣り合う溝空間に形成されたインク層15aの間で混色が生じる。   In the example shown in FIG. 7C, a part of the bank molded body 14 a is broken and becomes the defective portion 3. Such breakdown in the bank formed body 14a is caused, for example, in the exposure process for the bank material layer shown in FIG. 5B, where the exposure was insufficient and the polymerization was not so much performed in the next development process. Caused by. Even when a breakdown occurs in this way, color mixing occurs between the ink layers 15a formed in adjacent groove spaces through the breakdown.

発光層に混色領域が生じたパネルを用いて表示パネル100を製造すると、混色領域は、本来の発光色とは異なった発光色で発光する。一般に、異なる発光色の蛍光体が混合された場合、波長の長い蛍光体の発光色が優勢になる。
例えば図11(b)に示すような赤色インクと緑色インクが混合されて生じた混色領域は、赤色で発光することになる。従って、緑色で発光すべき領域の中で、混色領域となった領域では、赤色で発光することになるので、この混色領域が広がると発光色不良の原因となる。
When the display panel 100 is manufactured using a panel in which a color mixture region is generated in the light emitting layer, the color mixture region emits light with a light emission color different from the original light emission color. Generally, when phosphors having different emission colors are mixed, the emission color of the phosphor having a long wavelength becomes dominant.
For example, a mixed color region generated by mixing red ink and green ink as shown in FIG. 11B emits red light. Therefore, in the region that should emit light in green, the region that is a mixed color region emits light in red, and if this mixed color region is widened, it causes light emission color defects.

以上説明したように、バンク成形体14aにおいて異物や決壊が生じている箇所は、発光色が異なるインクの混色が生じて、発光色不良の原因となるので、この箇所を欠陥部3としている。
なお、図7(a),(b)のようにバンク成形体14aの下あるいは中に異物が入り込むと、その箇所では、バンク14が上に膨らんでバンク高さが高くなり、一方、図7(c)のようにバンク成形体14aが決壊した箇所では、バンク14の高さが低くなる。
As described above, the portion where the foreign matter or breakage has occurred in the bank molded body 14a is caused by the color mixture of inks having different emission colors and causes the emission color defect.
7A and 7B, when foreign matter enters under or inside the bank molded body 14a, the bank 14 swells upward at that location, and the bank height increases. On the other hand, FIG. As shown in (c), the height of the bank 14 is lowered at the place where the bank molded body 14a is broken.

[欠陥部3の検出]
バンク成形体14aにおける欠陥部3の検出は、例えば、下地基板11上に形成したバンク成形体14aの表面画像を撮影し、その表面画像のパターン検査によって行う。
図8は、バンク欠陥部の検出と、その補修に用いる補修装置の一例を示す概略構成図である。
[Detection of defective part 3]
Detection of the defective portion 3 in the bank molded body 14a is performed, for example, by photographing a surface image of the bank molded body 14a formed on the base substrate 11 and pattern inspection of the surface image.
FIG. 8 is a schematic configuration diagram showing an example of a repair device used for detecting a bank defect portion and repairing it.

この補修装置200においては、ベース201上に、上記の下地基板11を載置するテーブル202と、撮像素子211及びディスペンサ212が取り付けられたヘッド部210とを有している。そして、テーブル202は、コントローラ230の指示に基づいてY方向に移動でき、ヘッド部210は、コントローラ230の指示によって、X方向及びZ方向に移動できるようになっている。   The repair device 200 includes a table 202 on which the base substrate 11 is placed and a head unit 210 to which an image sensor 211 and a dispenser 212 are attached. The table 202 can be moved in the Y direction based on an instruction from the controller 230, and the head unit 210 can be moved in the X direction and the Z direction according to an instruction from the controller 230.

従って、ヘッド部210に取り付けられている撮像素子211及びディスペンサ212は、コントローラ230の指示によって、テーブル202上に載置された下地基板11の上方で、下地基板11に対して、X方向、Y方向、Z方向に相対移動することができる。
この補修装置200を用いて、下地基板11の上面に沿って撮像素子211を移動させながら、下地基板11の上面の画像データを取得し、コントローラ230の記憶部231に記憶する。
Accordingly, the image pickup device 211 and the dispenser 212 attached to the head unit 210 are in the X direction and Y direction with respect to the base substrate 11 above the base substrate 11 placed on the table 202 according to an instruction from the controller 230. Direction relative to the Z direction.
Using the repair device 200, image data on the upper surface of the base substrate 11 is acquired while moving the imaging device 211 along the upper surface of the base substrate 11, and stored in the storage unit 231 of the controller 230.

コントローラ230は、その画像データにおいて、各バンク成形体14aにおける部分同士を次々に比較して、相違点を検出することによって、欠陥部3の検出を行う。そして、欠陥部3が検出された場合、検出された欠陥部3の位置(欠陥部3の中心OのX方向及びY方向の位置)を記憶部231に記憶する。
なお、このような検出工程において、下地基板11上に形成されるバンク成形体14aの中で、いくつかのバンク成形体14aに欠陥部3が検出される可能性もあれば、すべてのバンク成形体14aにおいて欠陥部3がゼロである可能性もある。
The controller 230 detects the defect portion 3 by comparing the portions of the bank molded bodies 14a one after another in the image data and detecting a difference. When the defective part 3 is detected, the detected position of the defective part 3 (the position of the center O of the defective part 3 in the X direction and the Y direction) is stored in the storage unit 231.
Note that, in such a detection process, there is a possibility that the defective portion 3 is detected in some of the bank molded bodies 14a formed on the base substrate 11, and all the bank molded bodies are detected. There is a possibility that the defect portion 3 is zero in the body 14a.

そして、いずれかのバンク成形体14aで欠陥部3が検出された場合には、その補修を行う。
[欠陥部を有するバンクの補修方法]
次に、補修装置200におけるテーブル202に載置されている下地基板11の上に、ディスペンサ21から堰形成用の補修材を、欠陥部3の周囲を囲むように塗布して、堰5を形成することによって、バンク成形体14aの補修を行う。
And when the defect part 3 is detected in any bank molded object 14a, the repair is performed.
[How to repair banks with defects]
Next, a repair material for dam formation is applied from the dispenser 21 so as to surround the periphery of the defective portion 3 on the base substrate 11 placed on the table 202 in the repair device 200 to form the dam 5. By doing so, the bank molded body 14a is repaired.

ここでは、図6(b)に示すように、欠陥部3を有するバンク成形体14aの両側に隣接する各溝空間20の中に、欠陥部3をY方向に挟んだ2つの点A1、A2から、欠陥部3が存在するバンク成形体14aの隣のバンク成形体14aに亘る形状で堰成形体5aを形成する。すなわち、欠陥部3の周囲を取り囲む溝空間20の中に、X方向に仕切る合計4つの堰5が井桁状に形成する。   Here, as shown in FIG. 6B, two points A1 and A2 sandwiching the defective portion 3 in the Y direction in each groove space 20 adjacent to both sides of the bank formed body 14a having the defective portion 3. From the above, the dam molded body 5a is formed in a shape extending over the bank molded body 14a adjacent to the bank molded body 14a in which the defect portion 3 exists. That is, a total of four weirs 5 partitioned in the X direction are formed in a cross-beam shape in the groove space 20 surrounding the periphery of the defect portion 3.

補修装置200が備えるディスペンサ212は、ニードル式のディスペンサであって、その先端部分に補修材を収納するタンク214が取り付けられ、タンク214内を貫通するようにニードル213が上下に移動することによって、ニードル213に付着させた補修材をマイクロリットル単位で塗布できるようになっている。
このディスペンサ212におけるニードル213の駆動は、コントローラ230からの制御信号に基づいてなされる。
The dispenser 212 provided in the repair device 200 is a needle-type dispenser, and a tank 214 that stores a repair material is attached to a tip portion thereof, and the needle 213 moves up and down so as to penetrate the tank 214. The repair material adhered to the needle 213 can be applied in units of microliters.
The needle 213 in the dispenser 212 is driven based on a control signal from the controller 230.

補修材としては、光や熱を加えることによって硬化する樹脂の組成物を用いることができる。
樹脂としては、例えば、(メタ)アクロイル基、アリル基、ビニル基、ビニルオキシ基などのエチレン性の二重結合を有する硬化性の樹脂が挙げられる。
また、樹脂に対して架橋する架橋剤、例えば、エポキシ化合物、ポリイソシアネート化合物を添加してもよい。
As the repair material, a resin composition that is cured by applying light or heat can be used.
Examples of the resin include curable resins having an ethylenic double bond such as a (meth) acryloyl group, an allyl group, a vinyl group, and a vinyloxy group.
Moreover, you may add the crosslinking agent which bridge | crosslinks with respect to resin, for example, an epoxy compound and a polyisocyanate compound.

また、この樹脂構造の中に、フッ素が導入されているフッ化ポリマーを用いてもよい。 補修材の樹脂にフッ素が導入されることによって、形成される堰5に撥インク性を付与することができる。あるいは、樹脂に各種の撥インク剤を添加してもよい。撥インク剤の添加量を0.01〜10wt%とすることで、樹脂組成物の貯蔵安定性が良好で、且つ形成される堰5の撥インク性も良好となる。   Moreover, you may use the fluoropolymer in which the fluorine was introduce | transduced in this resin structure. By introducing fluorine into the resin of the repair material, ink repellency can be imparted to the formed weir 5. Alternatively, various ink repellent agents may be added to the resin. By making the addition amount of the ink repellent agent 0.01 to 10 wt%, the storage stability of the resin composition is good and the ink repellency of the weir 5 to be formed is also good.

なお、補修材の樹脂として、バンク成形体14aを形成するバンク材料の樹脂と同じものを用いてもよい。ただしバンク材料の場合は、アルカリ現像液に可溶の酸成分が含まれているが、堰を形成する補修材には、アルカリ現像液に可溶の酸成分は含有しないことが好ましい。これは、堰成形体5aを形成するときには現像は行われず、酸成分が堰5に残存すると堰5の耐溶剤性が低下するためである。   Note that, as the resin for the repair material, the same resin as the bank material for forming the bank molded body 14a may be used. However, in the case of the bank material, an acid component soluble in the alkali developer is contained, but it is preferable that the repair material forming the weir does not contain an acid component soluble in the alkali developer. This is because the development is not performed when the weir molded body 5a is formed, and the solvent resistance of the weir 5 is reduced when the acid component remains in the weir 5.

補修材には、このような樹脂組成物に、溶剤、光重合開始剤を適宜添加する。
溶剤としては、樹脂に対する溶解性を有するもので、沸点が150〜250℃程度の溶剤を1種類あるいは2種類以上用いることができる。
光重合開始剤としては、市販の各種光重合開始剤を用いることができる。
補修材の塗布時において、補修材の固形分は、例えば20〜90wt%に調整し、粘度は例えば10〜50cP(センチポイズ)に調整する。
To the repair material, a solvent and a photopolymerization initiator are appropriately added to such a resin composition.
As a solvent, it has the solubility with respect to resin, The solvent whose boiling point is about 150-250 degreeC can use 1 type, or 2 or more types.
Various commercially available photopolymerization initiators can be used as the photopolymerization initiator.
At the time of applying the repair material, the solid content of the repair material is adjusted to, for example, 20 to 90 wt%, and the viscosity is adjusted to, for example, 10 to 50 cP (centipoise).

光重合開始剤の添加量は、例えば全固形分に対して0.1〜50wt%、好ましくは5重量%〜30重量%である。
堰成形体5aの形成は、溝空間20内において、堰5を形成しようとするライン(堰形成ライン)に沿って設定された複数の位置に、ディスペンサ212から補修材を塗布することによって行う。
The addition amount of a photoinitiator is 0.1-50 wt% with respect to the total solid content, for example, Preferably it is 5 weight%-30 weight%.
The formation of the dam body 5a is performed by applying a repair material from the dispenser 212 to a plurality of positions set along a line (weir formation line) in which the dam 5 is to be formed in the groove space 20.

補修装置200のコントローラ230においては、上記のようにバンク成形体14aの画像データ、欠陥部3の位置が保存されているので、その位置を基準にして、欠陥部3の周辺に設定された位置に正確に塗布することが出来る。
図9(a)は、この画像において欠陥部3の周辺に設定された塗布位置を示す図である。
In the controller 230 of the repairing apparatus 200, the image data of the bank formed body 14a and the position of the defective part 3 are stored as described above, so positions set around the defective part 3 on the basis of the position. Can be applied accurately.
FIG. 9A is a diagram showing application positions set around the defect portion 3 in this image.

当図に示すように、欠陥部3を有するバンク成形体14aの両側に隣接する溝空間20の中に、欠陥部3の中央部を基準Oとして、Y方向に距離a1離れた点A1を通ってX方向に伸長する堰形成ラインと、Y方向と反対の方向に距離a2離れた点A2を通ってX方向に伸長する堰形成ラインに沿って、それぞれ塗布点P1,P2,P3,P4を設定する。
ここで、距離a1と距離a2は同じであっても、異なっていてもよいが、点A1と点A2とで欠陥部3の全体が挟み込まれ、且つあまり大き過ぎないように、適度な長さに設定する。
As shown in this figure, a point A1 that is a distance a1 away in the Y direction passes through the groove space 20 adjacent to both sides of the bank formed body 14a having the defective portion 3 with the central portion of the defective portion 3 as a reference O. Coating points P1, P2, P3, and P4 along the weir formation line extending in the X direction and the weir formation line extending in the X direction through the point A2 separated by a distance a2 in the direction opposite to the Y direction. Set.
Here, the distance a1 and the distance a2 may be the same or different, but the length is appropriate so that the entire defect portion 3 is sandwiched between the points A1 and A2 and is not too large. Set to.

図9(b)は、下地基板11において、点A1を通る堰形成ラインに沿った断面を模式的に示す図である。
補修装置200は、このように設定した塗布点P1,P2,P3,P4において、順次、ニードル213で補修材を塗布することによって堰成形体5aを形成する。
図10(a)〜(g)は、塗布点P1,P2…に、補修材を順次塗布することによって、堰成形体5aが形成される様子を示す図である。
FIG. 9B is a diagram schematically showing a cross section along the weir formation line passing through the point A <b> 1 in the base substrate 11.
The repair device 200 forms the weir molded body 5a by sequentially applying the repair material with the needle 213 at the application points P1, P2, P3, and P4 thus set.
10 (a) to 10 (g) are diagrams showing how the weir molded body 5a is formed by sequentially applying repair materials to the application points P1, P2,...

まず図10(a),(b)に示すように、ニードル213、タンク214を塗布点P1に位置させて、ニードル213を下方に移動してニードル213に補修材を付着させて、ニードル213を塗布点P1に近づけることによって補修材を塗布点P1に塗布する。
補修材は、塗布されるまでは流動性を有するが、塗布後は山形状が維持され、図10(c)に示すように、塗布点P1に補修材の山が形成される。
First, as shown in FIGS. 10A and 10B, the needle 213 and the tank 214 are positioned at the application point P1, the needle 213 is moved downward, and the repair material is attached to the needle 213. The repair material is applied to the application point P1 by approaching the application point P1.
The repair material has fluidity until it is applied, but after application, the mountain shape is maintained, and as shown in FIG. 10C, a pile of repair material is formed at the application point P1.

続いて、図10(d)に示すように、ニードル213をタンク241内に引き上げて、ニードル213、タンク214を、塗布点P2に移動させる。そして、ニードル213を下方に移動して、補修材を付着させたニードル213を塗布点P2に近づけることによって補修材を塗布点P2に塗布する。
それによって図10(e)に示すように、塗布点P2に形成される補修材の山は、塗布点P1に形成されている補修材の山と繋がる。
Subsequently, as shown in FIG. 10D, the needle 213 is pulled up into the tank 241 and the needle 213 and the tank 214 are moved to the application point P2. Then, the repair material is applied to the application point P2 by moving the needle 213 downward and bringing the needle 213 to which the repair material is attached closer to the application point P2.
Accordingly, as shown in FIG. 10E, the pile of repair material formed at the application point P2 is connected to the pile of repair material formed at the application point P1.

続いて、図10(f)に示すように、ニードル213を引き上げて、塗布点P3に移動させる。そして、同様にして、塗布点3に補修材の山を形成して、塗布点P2に補修材の山とつなげる。
このようにして、欠陥部3を有するバンク成形体14a上の点A1から、隣のバンク成形体14aに亘る形状で、補修材の山が連なることになる。そして、この塗布された補修材の山を、乾燥し、必要に応じて露光することによって堰成形体5aが形成される。
Subsequently, as shown in FIG. 10 (f), the needle 213 is pulled up and moved to the application point P3. In the same manner, a pile of repair material is formed at the application point 3 and connected to the pile of repair material at the application point P2.
In this way, the piles of the repair material are connected in a shape extending from the point A1 on the bank molded body 14a having the defective portion 3 to the adjacent bank molded body 14a. Then, the applied pile of repair material is dried and exposed as necessary to form the weir molded body 5a.

また、その後の本焼成工程において、塗布された補修材が硬化するので、より安定した物性を有する堰5が形成される。
図6(b)に示すように、欠陥部3を有するバンク14の両側にある溝空間20の各々には、堰5が対で設けられており、この堰5によって溝空間20は、欠陥部3に近接する空間部分からなる第1空間SAと、欠陥部3に近接しない空間部分からなる2つの第2空間SBとに仕切られている。そして、欠陥部3は、2つの第1空間SAによって囲まれている。
In the subsequent main firing step, the applied repair material is cured, so that the weir 5 having more stable physical properties is formed.
As shown in FIG. 6B, each of the groove spaces 20 on both sides of the bank 14 having the defect portion 3 is provided with a pair of weirs 5. 3 is partitioned into a first space SA composed of a space portion close to 3 and two second spaces SB composed of a space portion not close to the defect portion 3. The defective portion 3 is surrounded by the two first spaces SA.

このように、バンク14の欠陥部3が補修した上で、次のステップS9の発光層形成工程で、各溝空間20に有機発光層15を形成すると、第1空間SA、第2空間SBにも、インクが塗布され、有機発光層15が形成される。従って、発光層が形成された後のパネルにおいては、第1空間SAに形成された有機発光層15と、第2空間SBに形成された有機発光層15とが、堰5によって仕切られた状態となる。   As described above, after repairing the defective portion 3 of the bank 14 and forming the organic light emitting layer 15 in each groove space 20 in the light emitting layer forming step of the next step S9, the first space SA and the second space SB are formed. Also, the ink is applied to form the organic light emitting layer 15. Therefore, in the panel after the light emitting layer is formed, the organic light emitting layer 15 formed in the first space SA and the organic light emitting layer 15 formed in the second space SB are partitioned by the weir 5. It becomes.

[上記バンク形成方法による効果]
図11(a)は、実施の形態にかかるパネルにおいて、欠陥部3を有するバンク14の周囲に堰5が形成された後、そのバンク14に隣接する一方の溝空間20に、赤色のインクが塗布されてインク層15a(R)、他方の溝空間20に緑色のインクが塗布されてインク層15a(G)が形成された状態を示す平面図である。また、図11(b)は、堰5を形成しない比較例において、同様にバンク14を挟んで隣接する溝空間20にインク層15a(R)とインク層15a(G)が形成された状態を示す平面図である。
[Effects of the above bank forming method]
FIG. 11A shows a panel according to the embodiment in which, after the weir 5 is formed around the bank 14 having the defect portion 3, red ink is placed in one groove space 20 adjacent to the bank 14. FIG. 6 is a plan view showing a state in which an ink layer 15a (R) is applied and green ink is applied to the other groove space 20 to form an ink layer 15a (G). FIG. 11B shows a state in which the ink layer 15a (R) and the ink layer 15a (G) are formed in the adjacent groove space 20 across the bank 14 in the comparative example in which the weir 5 is not formed. FIG.

図11(b)に示すように、欠陥部3を有するバンク14の周囲に堰5が形成されていないと、赤色インクと青色インクが、欠陥部3を介して混ざり合ってできる混色領域は、各インク層15a内で広がる。この混色領域は、Y方向に長く伸びることがあり、その長さが1cm程度になることもある。
表示パネル100が製造されたときに、この混色領域は、本来の発光色とは異なった発光色で発光する。上記のように、赤色インクと緑色インクが混合された混色領域は、赤色で発光することになる。従って、緑色で発光すべき領域の中で、混色領域となった領域では、赤色で発光することになり、発光色不良の原因となる。
As shown in FIG. 11B, when the dam 5 is not formed around the bank 14 having the defect portion 3, the color mixture region formed by mixing the red ink and the blue ink through the defect portion 3 is as follows. It spreads within each ink layer 15a. This color mixture region may extend long in the Y direction, and its length may be about 1 cm.
When the display panel 100 is manufactured, the mixed color region emits light with a light emission color different from the original light emission color. As described above, the mixed color region where the red ink and the green ink are mixed emits red light. Therefore, in the region that should emit light in green, the region that is a mixed color region emits light in red, which causes defective emission color.

これに対して、本実施の形態では、上記のように、欠陥部3を有するバンク14の周囲に堰5が対で形成され、溝空間20が、堰5の対に挟まれた欠陥部3に近接する第1空間SAと、堰5の対の外側にある欠陥部3に近接しない2つの第2空間SBとに仕切られている。それによって、以下のように混色領域は制限される。
図12(a)は、図11(a)におけるC−C線の断面図であって、堰5が形成された溝空間20にインクが塗布されてインク層15a(G)が形成されたところを、Y方向に切断した断面を表している。
On the other hand, in the present embodiment, as described above, the weirs 5 are formed in pairs around the banks 14 having the defect portions 3, and the groove portions 20 are sandwiched between the pairs of the weirs 5. Is partitioned into a first space SA that is close to and a second space SB that is not close to the defective portion 3 outside the pair of weirs 5. As a result, the color mixture area is limited as follows.
FIG. 12A is a cross-sectional view taken along the line CC in FIG. 11A, and the ink layer 15a (G) is formed by applying ink to the groove space 20 where the weir 5 is formed. Is a cross section cut in the Y direction.

バンク14間の各溝空間20に、発光層形成用のインクが塗布されると、図12に示すように、1対の堰5で挟まれた第1空間SAと、1対の堰5よりも外側にある2つの第2空間SBには、ぞれぞれインク層15a(G)が形成される。
ここで、図11(a)に示すように、赤色インクと緑色インクが、欠陥部3を介して混ざり合って、空間部分SAが混色領域となることはあるが、第1空間SAに形成されたインク層15aと、1対の堰5よりも外側の第2空間SBに形成されたインク層15aとは、堰5によって隔てられているので、相互に混ざり合わない。
When ink for forming a light emitting layer is applied to each groove space 20 between the banks 14, the first space SA sandwiched between the pair of weirs 5 and the pair of weirs 5, as shown in FIG. Ink layers 15a (G) are formed in the two second spaces SB on the outside.
Here, as shown in FIG. 11A, the red ink and the green ink may be mixed through the defect portion 3 and the space portion SA may become a mixed color region, but is formed in the first space SA. The ink layer 15a and the ink layer 15a formed in the second space SB outside the pair of weirs 5 are separated by the weirs 5, and thus do not mix with each other.

従って、第1空間SAには混色領域ができることがあっても、その混色領域は堰5を超えて第2空間SBが広がることがない。
このように本実施の形態においては、欠陥部3によって生じる混色領域の範囲が、欠陥部3に近接する狭い第1空間SAに制限されるので、混色範囲の広がりを抑制する効果が得られ、表示パネル100における発光色不良を低減できる。
Therefore, even if there is a mixed color area in the first space SA, the mixed space does not extend beyond the weir 5 and the second space SB does not spread.
As described above, in the present embodiment, the range of the color mixture region generated by the defect portion 3 is limited to the narrow first space SA close to the defect portion 3, so that an effect of suppressing the spread of the color mixture range is obtained. Luminous color defects in the display panel 100 can be reduced.

欠陥部3と堰5との隙間については、この隙間が狭すぎると、堰5で挟まれた領域内に、インクが着弾しても、はじかれてしまうなどの理由で、発光層が形成されないことがある。従って、点A1と点A2間の距離として、堰5で挟まれた領域内にインクが塗布されるのに十分なだけの距離を確保することが好ましい。
一方、発光色不良を低減する効果を得る上では、点A1と点A2との距離は、できるだけ小さく設定することが好ましく、その点で、サブピクセルのY方向の長さ以下に設定することが好ましい。
As for the gap between the defective portion 3 and the weir 5, if this gap is too narrow, the light emitting layer is not formed for the reason that the ink is landed in the region sandwiched between the weirs 5, for example, to be repelled. Sometimes. Therefore, it is preferable to secure a sufficient distance for applying ink in the region sandwiched between the weirs 5 as the distance between the points A1 and A2.
On the other hand, in order to obtain the effect of reducing the luminescent color defect, it is preferable to set the distance between the points A1 and A2 as small as possible, and at this point, it should be set to be equal to or less than the length of the subpixel in the Y direction. preferable.

堰5の幅については、この幅が大きすぎると、表示パネル100を見たときにその堰5自体が目立つ可能性もあるので、50μm以下にすることが好ましい。
なお、ラインバンクにおいては、インクの混色が生じると混色範囲が広がって発光色不良が生じやすいので、特にラインバンクに対しては、堰5を形成する補修によって得られる効果も大きい。ただし、変形例のところで後述するように、ラインバンクに限らず、ピクセルバンクにおいても、堰5を形成することによって効果を得ることができる。
The width of the weir 5 is preferably 50 μm or less because if the width is too large, the weir 5 itself may stand out when the display panel 100 is viewed.
In the line bank, when ink color mixture occurs, the color mixture range is widened and light emission color defects are likely to occur. Therefore, particularly for the line bank, the effect obtained by repairing the weir 5 is great. However, as will be described later in the modification, the effect can be obtained by forming the weir 5 not only in the line bank but also in the pixel bank.

(予備焼成工程による効果)
上述したバンク形成方法によれば、欠陥部を有するバンク成形体に対して補修材で補修を行う前に、予備焼成を行っているので、補修材の塗布に伴ってバンク成形体の形状が崩れるのを防止できる。
この効果について以下に詳述する。
(Effect of pre-baking process)
According to the bank forming method described above, since the pre-baking is performed before repairing the bank molded body having a defective portion with the repair material, the shape of the bank molded body collapses as the repair material is applied. Can be prevented.
This effect will be described in detail below.

図13(a),(b)は、本実施形態のバンク形成方法による効果を説明する模式図であって、(a)は予備焼成を行った実施例、(b)は予備焼成を行っていない比較例を示している。
比較例においては、図13(b)に示すように、バンク成形体14aの縁における堰成形体5aと接触している箇所の近傍の形状が劣化する現象が生じる。
FIGS. 13A and 13B are schematic diagrams for explaining the effect of the bank forming method of the present embodiment, in which FIG. 13A is an example in which preliminary firing is performed, and FIG. 13B is in which preliminary firing is performed. There is no comparative example.
In the comparative example, as shown in FIG. 13B, a phenomenon occurs in which the shape in the vicinity of the portion in contact with the weir molded body 5a at the edge of the bank molded body 14a deteriorates.

このようなバンクの形状劣化が生じるのは、塗付した補修材がバンク成形体14aに接触しているので、補修材に含まれている樹脂モノマーや溶剤等の液体成分が、図中白抜矢印で示すようにバンク成形体14aの表面を伝って塗れ広がること、そして、その濡れ拡がった液体成分に、バンク成形体14aが部分的に再溶解することによると考えられる。
これに対して実施例では、図13(a)に示すように、バンク成形体14aの形状劣化は生じない。これは、補修材を塗布する前にバンク成形体14を予備焼成しているので、バンク成形体14aの熱硬化性樹脂は熱硬化が開始してある程度重合が進行した状態となっているためと考えられる。
Such deterioration of the shape of the bank occurs because the applied repair material is in contact with the bank molded body 14a, so that liquid components such as a resin monomer and a solvent contained in the repair material are white in the figure. It is considered that this is due to spreading and spreading along the surface of the bank molded body 14a as indicated by an arrow, and partial dissolution of the bank molded body 14a in the wet-spread liquid component.
On the other hand, in the embodiment, as shown in FIG. 13A, the shape deterioration of the bank molded body 14a does not occur. This is because the bank molded body 14 is pre-fired before the repair material is applied, and therefore the thermosetting resin of the bank molded body 14a is in a state where the thermosetting has started and the polymerization has progressed to some extent. Conceivable.

すなわち、バンク成形体14aにおける熱硬化性樹脂の熱硬化が開始して重合がある程度進めば、塗付した補修材がバンク成形体14aに接触しても、液体成分がバンク成形体14aの縁を伝って塗れ広がりにくく、液体成分がバンク成形体14aの縁を伝って濡れ拡がったとしても、塗れ広がった液体成分にバンク成形体14aの縁部が再溶解はしないためと考えられる。   That is, if thermosetting of the thermosetting resin in the bank molded body 14a starts and the polymerization proceeds to some extent, even if the applied repair material comes into contact with the bank molded body 14a, the liquid component will block the edge of the bank molded body 14a. This is probably because the edge of the bank molded body 14a is not re-dissolved in the spread liquid component even if the liquid component is difficult to spread and spreads through the edge of the bank molded body 14a.

また、実施例では予備焼成を行うことによってバンク14表面の撥液性が多少低下するものの、予備焼成における加熱温度T1は、本焼成時の加熱温度T2よりも低いので、バンク成形体14aが予備焼成時において200℃程度の高温に晒されることはない。従って、バンク14表面の撥液性低下の度合いは少なく抑えられる。よって、発光層を良好な形状に形成して、有機EL表示装置における表示性能を良好にすることができる。   In the embodiment, although the liquid repellency of the surface of the bank 14 is slightly reduced by performing preliminary firing, the heating temperature T1 in the preliminary firing is lower than the heating temperature T2 in the main firing. It is not exposed to a high temperature of about 200 ° C. during firing. Therefore, the degree of liquid repellency reduction on the surface of the bank 14 can be suppressed to a small level. Therefore, the light emitting layer can be formed in a favorable shape, and the display performance in the organic EL display device can be improved.

また下地基板11に含まれるTFT層11bも、予備焼成時の加熱温度T1は、本焼成時の加熱温度T2より低いので、熱によるTFT層11bの特性低下を抑えることもできる。
以上のような予備焼成による効果を確認するため、以下の実験を行った。
(実験1)予備焼成の温度とバンク成形体の形状劣化
試験用の基板上に、バンク成形体14aをフォトリソグラフィー法で形成し、30mm×30mmのサイズにカットしたサンプルを複数枚作製した。バンク材料として、バンク材料として、フッ素含有ポリマー(フルオロエチレンとビニルエーテルとの共重合体)を用いた。
Further, the TFT layer 11b included in the base substrate 11 also has a lower heating temperature T1 at the time of pre-baking than the heating temperature T2 at the time of main baking, so that it is possible to suppress deterioration in characteristics of the TFT layer 11b due to heat.
In order to confirm the effect of the pre-baking as described above, the following experiment was conducted.
(Experiment 1) Pre-baking temperature and shape deterioration of bank molded body A bank molded body 14a was formed on a test substrate by a photolithography method, and a plurality of samples cut to a size of 30 mm x 30 mm were produced. As the bank material, a fluorine-containing polymer (a copolymer of fluoroethylene and vinyl ether) was used as the bank material.

そして各サンプルをホットプレート上で加熱することにより予備焼成を行った。ここで、予備焼成時の加熱温度T1は、3つの温度(50℃,100℃,150℃)に設定し、加熱時間は3つの時間(20分,40分,60分)に設定して、その組み合わせで合計9種類の加熱条件で行った。
次に、各条件で予備焼成を行ったサンプルに、補修材を塗布することによって堰成形体5aを形成して、バンク成形体14aの縁部分に形状の劣化がどの程度生じるかを観察した。補修材にもバンク材料と同様のフッ素含有ポリマーを用いた。
And each sample was pre-baked by heating on a hot plate. Here, the heating temperature T1 at the time of preliminary firing is set to three temperatures (50 ° C., 100 ° C., 150 ° C.), and the heating time is set to three times (20 minutes, 40 minutes, 60 minutes), The combination was performed under a total of nine heating conditions.
Next, a weir molded body 5a was formed by applying a repair material to the sample that had been pre-fired under each condition, and the degree of deterioration of the shape at the edge portion of the bank molded body 14a was observed. The same fluorine-containing polymer as the bank material was used for the repair material.

実験1を行った各サンプルの写真を図14に示している。
予備焼成時の加熱温度T1が50℃のサンプルは、加熱時間が20分,40分,60分いずれの場合でも、バンク成形体14aの縁部分(図中に矢印で示した箇所)が崩れて、形状劣化が生じているのが観察された。
一方、予備焼成時の加熱温度T1が100℃及び150℃のサンプルは、加熱時間が20分,40分,60分いずれの場合でも、バンク成形体14aの縁部分に形状劣化は観察されなかった。
A photograph of each sample in which Experiment 1 was performed is shown in FIG.
In the sample with the heating temperature T1 at the pre-baking of 50 ° C., the edge part (the part indicated by the arrow in the figure) of the bank molded body 14a collapses regardless of whether the heating time is 20 minutes, 40 minutes, or 60 minutes. It was observed that shape deterioration occurred.
On the other hand, in the samples with heating temperatures T1 of 100 ° C. and 150 ° C. at the time of preliminary firing, no shape deterioration was observed in the edge portion of the bank molded body 14a even when the heating time was 20 minutes, 40 minutes, or 60 minutes. .

以上の結果から、バンク成形体14aを100℃以上の温度で加熱して予備焼成を行うことによって、補修材を塗布したときにバンク成形体14aの形状劣化を防止できることがわかる。
また、バンク材料に含まれる熱硬化樹脂の熱硬化を開始させるには、50℃程度での加熱では十分でなく、100℃程度以上で加熱を行うのが望ましいことを示している。
From the above results, it can be seen that the shape deterioration of the bank molded body 14a can be prevented when the repair material is applied by heating the bank molded body 14a at a temperature of 100 ° C. or higher and performing preliminary firing.
Further, it indicates that heating at about 50 ° C. is not sufficient for starting thermosetting of the thermosetting resin contained in the bank material, and it is desirable to perform heating at about 100 ° C. or higher.

(実験2)予備焼成の温度とインクの接触角
試験用の基板上に、バンク材料をベタで塗布してバンク材料層を形成し、30mm×30mmのサイズにカットしたサンプルを複数枚作製し、各サンプルをホットプレート上で加熱した。 ここでの加熱条件は上記実験1と同じであって、加熱温度は50℃,100℃,150℃の各温度、加熱時間は20分,40分,60分の各時間に設定し、この3つの加熱温度と3つの加熱時間を組み合わせて、合計9種類の加熱条件で行った。
(Experiment 2) Pre-baking temperature and ink contact angle A bank material was applied on a test substrate to form a bank material layer, and a plurality of samples cut to a size of 30 mm × 30 mm were prepared. Each sample was heated on a hot plate. The heating conditions here are the same as in Experiment 1 above, the heating temperature is set to 50 ° C, 100 ° C, and 150 ° C, and the heating time is set to 20 minutes, 40 minutes, and 60 minutes. A total of nine heating conditions were carried out by combining one heating temperature and three heating times.

そして、各加熱条件で加熱を行ったサンプルについて、図15(a)に示すように、バンク材料層の表面に発光層形成用のインク液滴を滴下し、バンク材料層表面に対するインクの接触角を測定した。
ここで用いたインクは、溶媒が安息香酸ブチル、溶質はポリフルオレンポリマー(品名:Poly(9,9-di-n-dodecylfluorenyl-2,7-diyl)、アルドリッチ製)であり、濃度は1.0wt%である。
Then, for the sample heated under each heating condition, as shown in FIG. 15A, ink droplets for forming a light emitting layer are dropped on the surface of the bank material layer, and the contact angle of the ink with respect to the surface of the bank material layer. Was measured.
The ink used here is a butyl benzoate solvent, a polyfluorene polymer (product name: Poly (9,9-di-n-dodecylfluorenyl-2,7-diyl), manufactured by Aldrich), and the concentration is 1. 0 wt%.

この接触角が大きいほど、バンク材料層の表面のインクに対する撥液性が大きいことを表す。
接触角の測定結果を図14に記載している。
加熱温度50℃のときと比べると、加熱温度100℃,150℃のときは、接触角が低下はしているものの、接触角60°以上が確保されている。
The larger the contact angle, the greater the liquid repellency with respect to the ink on the surface of the bank material layer.
The measurement result of the contact angle is shown in FIG.
Compared to when the heating temperature is 50 ° C., when the heating temperature is 100 ° C. and 150 ° C., the contact angle is reduced, but a contact angle of 60 ° or more is secured.

この結果から、予備焼成時の加熱温度が高いほどバンク成形体14aの表面のインクに対する撥液性は低下するが、加熱温度が150℃以下であれば、バンク成形体14aの表面のインクに対する撥液性をある程度確保できることがわかる。
このようにバンク14の表面のインクに対する撥液性を確保することによって、インクの混色防止効果を得ることができる。
From this result, the higher the heating temperature at the time of preliminary firing, the lower the liquid repellency with respect to the ink on the surface of the bank molded body 14a. It can be seen that liquidity can be secured to some extent.
Thus, by ensuring the liquid repellency with respect to the ink on the surface of the bank 14, the effect of preventing ink color mixing can be obtained.

図12(b)は、下地基板11上におけるバンク14同士の間の各溝空間20に発光層形成用のインクを充填してインク層15aを形成した状態を示す断面図である。当図から、バンク14の上面に対するインク層15aの接触角が小さいと、バンク14を挟んで隣接するインク層15a同士が接触して混色が生じやすくなることがわかる。
一方、バンク14の表面のインクに対する撥液性が高いと、バンク14の上面に対するインク層15aの接触角が大きくなるので、バンク14を挟んで隣接するインク層15a同士の接触が生じにくくなり、混色も生じにくくなる。
FIG. 12B is a cross-sectional view showing a state in which each groove space 20 between the banks 14 on the base substrate 11 is filled with ink for forming a light emitting layer to form an ink layer 15a. From this figure, it can be seen that when the contact angle of the ink layer 15a with respect to the upper surface of the bank 14 is small, the adjacent ink layers 15a contact each other across the bank 14 and color mixing is likely to occur.
On the other hand, when the liquid repellency with respect to the ink on the surface of the bank 14 is high, the contact angle of the ink layer 15a with respect to the upper surface of the bank 14 is increased, so that the ink layers 15a adjacent to each other across the bank 14 are less likely to contact each other. Color mixing is also less likely to occur.

(実験3)
上記実験2と同様に、試験用の基板上に、バンク材料をベタで塗布してバンク材料層を形成し、30mm×30mmのサイズにカットしたサンプルを複数枚作製し、各サンプルをホットプレート上で加熱した。
ここでの加熱条件は、一部のサンプルは、本焼成時の加熱温度である220℃−60分焼成を1回行った。別のサンプルは、220℃−60分で2回繰り返して焼成した。
(Experiment 3)
As in Experiment 2 above, a bank material layer was formed by applying a solid bank material on a test substrate, and a plurality of samples cut to a size of 30 mm × 30 mm were prepared. Each sample was placed on a hot plate. And heated.
As for the heating conditions here, some of the samples were baked once at 220 ° C. for 60 minutes, which is the heating temperature during the main baking. Another sample was fired twice at 220 ° C.-60 minutes.

そして、各条件で加熱焼成を行ったサンプルについて、実験2と同様の方法で、バンク材料層表面に対するインクの接触角を測定した。
接触角の測定結果を図15のグラフに示している。
上記実験2の結果によると、焼成前のバンク材料層表面に対するインクの接触角は60°以上あるが、図15に示されるように、本焼成に相当する加熱温度(220℃)で1回焼成すると、接触角は53°程度に低下している。また、この焼成を2回行ったものでは、焼成1回だけのものと比べて、接触角がさらに0.5°程度低下している。
And the contact angle of the ink with respect to the bank material layer surface was measured by the method similar to Experiment 2 about the sample which heat-fired on each condition.
The measurement result of the contact angle is shown in the graph of FIG.
According to the result of the experiment 2, the contact angle of the ink with respect to the surface of the bank material layer before firing is 60 ° or more, but as shown in FIG. 15, firing is performed once at the heating temperature (220 ° C.) corresponding to the main firing. Then, the contact angle is reduced to about 53 °. Further, in the case where the firing is performed twice, the contact angle is further reduced by about 0.5 ° as compared with the case where the firing is performed only once.

この結果から、バンク14の表面のインクに対する撥液性を保つ上で、本焼成時のような高温での焼成の回数は、2回よりも1回の方が好ましいことがわかる。
また、バンク14の表面のインクに対する撥液性を保つ上で、予備焼成における加熱温度T1を、本焼成における加熱温度T2よりも低く設定することが好ましいということもわかる。
From this result, it can be seen that the number of firings at a high temperature as in the main firing is preferably one rather than two in order to maintain the liquid repellency with respect to the ink on the surface of the bank 14.
It can also be seen that, in order to maintain the liquid repellency with respect to the ink on the surface of the bank 14, it is preferable to set the heating temperature T1 in the preliminary firing lower than the heating temperature T2 in the main firing.

なお、上記実験1〜3では、バンク材料の熱硬化性樹脂として、フルオロエチレンとビニルエーテルとの共重合体を用いて実験を行ったが、エチレン性の二重結合を有する熱硬化性の樹脂であれば、熱硬化を開始させて重合を進行させる加熱温度はこれをほぼ同等である。従って、実験1〜3の結果は、バンク材料としてエチレン性の二重結合を有する熱硬化性樹脂を用いたときに広く適用できる。   In Experiments 1 to 3, an experiment was performed using a copolymer of fluoroethylene and vinyl ether as the thermosetting resin of the bank material. However, the experiment was performed using a thermosetting resin having an ethylenic double bond. If present, the heating temperature at which the thermosetting is started and the polymerization proceeds is substantially the same. Therefore, the results of Experiments 1 to 3 can be widely applied when a thermosetting resin having an ethylenic double bond is used as the bank material.

さらに、一般的にバンク材料として用いられている熱硬化性樹脂は、概ね100℃以上の温度においては熱硬化が開始され、200〜220℃で加熱することによって、熱硬化を完了させることができるので、実験1〜3の結果は、バンク材料として熱硬化性樹脂を用いた場合に広く適用できる。
<実施の形態2>
実施の形態2にかかる表示パネル100の構成、並びにその製造方法は、実施の形態1で説明した構成、並びに製造方法と同様である。
Furthermore, the thermosetting resin generally used as a bank material starts thermosetting at a temperature of about 100 ° C. or higher, and can be completed by heating at 200 to 220 ° C. Therefore, the results of Experiments 1 to 3 can be widely applied when a thermosetting resin is used as the bank material.
<Embodiment 2>
The configuration of the display panel 100 according to the second embodiment and the manufacturing method thereof are the same as the configuration and the manufacturing method described in the first embodiment.

また、欠陥部3が存在するバンク成形体14aの両側に隣接する各溝空間20に、堰成形体5aを形成する点も同様であるが、形成する堰成形体5aの形状が異なっている。
バンク形成工程については、実施の形態1で説明したとおりであって、バンク成形体14aを予備焼成してから欠陥部3を有するバンク成形体14aに対して補修材で補修を行う。バンク材料、補修材、予備焼成、本焼成の加熱温度などについても、実施の形態1で説明したとおりである。
Moreover, although the point which forms the dam molding 5a in each groove space 20 adjacent to the both sides of the bank molding 14a in which the defect part 3 exists is also the same, the shape of the dam molding 5a to be formed is different.
The bank forming step is as described in the first embodiment, and after the bank molded body 14a is pre-fired, the bank molded body 14a having the defective portion 3 is repaired with a repair material. The bank material, the repair material, the preliminary firing, the heating temperature of the main firing, and the like are also as described in the first embodiment.

図16(a)は、実施の形態2にかかる堰成形体5aの形状を示す斜視図、(b)は、溝空間に堰5を形成した後、インク層を形成した平面図である。
本実施形態にかかる堰成形体5aは、図16(b)に示すように、X-Y面を平面視するとき、欠陥部3をY方向に挟む2点(点A1及び点A2)の一方(点A1)から欠陥部3を迂回して他方(点A2)に亘る形状に形成されている。また、点A1から点A2に到る途中の点A3で、欠陥部3が存在するバンク14の隣のバンク14に接している。
FIG. 16A is a perspective view showing the shape of the dam body 5a according to the second embodiment, and FIG. 16B is a plan view in which the ink layer is formed after the dam 5 is formed in the groove space.
As shown in FIG. 16B, the weir molded body 5a according to the present embodiment has one of two points (point A1 and point A2) sandwiching the defect portion 3 in the Y direction when the XY plane is viewed in plan view. It is formed in a shape extending from the (point A1) to the other (point A2), bypassing the defect portion 3. In addition, a point A3 on the way from the point A1 to the point A2 is in contact with the bank 14 adjacent to the bank 14 where the defect portion 3 exists.

堰成形体5aの形成方法は、実施の形態1において図10(a)〜(f)を参照しながら説明した方法と同様であって、点A1から点A3を経由して点A2に到る堰形成ラインに沿って設定した複数の塗布点に、補修材を順次塗布することによって、堰成形体5aを形成することができる。
このようにして欠陥部3を有するバンク14の両側に隣接する各溝空間20に形成される堰成形体5aによって、図16(a)に示すように、各溝空間20は、欠陥部3に近接する空間部分からなる第1空間SAと、欠陥部3に近接しない空間部分からなる2つの第2空間SBとに仕切られる。そして、欠陥部3は2つの第1空間SAによって囲まれる。
The method of forming the weir molded body 5a is the same as the method described with reference to FIGS. 10A to 10F in the first embodiment, and reaches the point A2 from the point A1 through the point A3. By sequentially applying repair materials to a plurality of application points set along the weir formation line, the weir molded body 5a can be formed.
As shown in FIG. 16A, the groove spaces 20 are formed in the defect portions 3 by the dam moldings 5 a formed in the groove spaces 20 adjacent to both sides of the bank 14 having the defect portions 3 in this way. It is partitioned into a first space SA composed of adjacent space portions and two second spaces SB composed of space portions not adjacent to the defect portion 3. The defective portion 3 is surrounded by the two first spaces SA.

従って、実施の形態1と同様に混色範囲を抑制する効果が得られる。
すなわち、図16(b)に示すように、バンク14同士の間の溝空間20に、発光層形成用のインクが塗布されるときに、赤色インクと青色インクが、欠陥部3を介して混ざり合って、混色領域ができても、その混色領域は堰5を超えて第2空間SBに広がることがない。そして、欠陥部3によって生じる混色領域の範囲は、欠陥部3に近接する狭い第1空間SAに制限されるので、表示パネル100における発光色不良を低減できることになる。
Therefore, the effect of suppressing the color mixture range is obtained as in the first embodiment.
That is, as shown in FIG. 16B, when ink for forming a light emitting layer is applied to the groove space 20 between the banks 14, the red ink and the blue ink are mixed through the defect portion 3. Accordingly, even if a color mixture region is formed, the color mixture region does not extend beyond the weir 5 and into the second space SB. Since the range of the color mixture region generated by the defective portion 3 is limited to the narrow first space SA close to the defective portion 3, the light emission color defect in the display panel 100 can be reduced.

また、欠陥部3の周囲を囲むように補修材を塗布することによって堰成形体5aを形成するので、補修が容易である点についても、実施の形態1と同様である。
一方、実施の形態1の堰5と比べると、本実施形態の堰5においては、第1空間SAが占める面積がより小さくなっているので、表示パネル100における発光色不良をさらに抑えることができる。
Further, since the weir molded body 5a is formed by applying a repair material so as to surround the periphery of the defect portion 3, the point that repair is easy is the same as in the first embodiment.
On the other hand, as compared with the weir 5 of the first embodiment, in the weir 5 of the present embodiment, the area occupied by the first space SA is smaller, so that the emission color defects in the display panel 100 can be further suppressed. .

また、本実施形態のバンク形成工程においても、実施の形態1と同様に、バンク成形体14aを予備焼成してから欠陥部3を有するバンク成形体14aに対して補修材で補修を行っているので、補修材の塗布に伴ってバンク成形体の形状が崩れるのを防止できる。
<実施の形態3>
実施の形態3にかかる表示パネル100の構成、並びにその製造方法も、実施の形態1で説明した構成、並びに製造方法と同様である。
Also, in the bank forming process of the present embodiment, as in the first embodiment, the bank molded body 14a having the defective portion 3 is repaired with a repair material after the bank molded body 14a is pre-fired. Therefore, it can prevent that the shape of a bank fabrication object collapses with application of repair material.
<Embodiment 3>
The configuration and the manufacturing method of the display panel 100 according to the third embodiment are the same as the configuration and the manufacturing method described in the first embodiment.

また、バンク成形体14aにおける欠陥部3を補修するときに、欠陥部3が存在するバンク成形体14aに隣接する各溝空間20に、堰成形体5aを形成する点も同様であるが、形成する堰成形体5aの形状が異なっている。
バンク形成工程については、実施の形態1で説明したとおりであって、バンク成形体14aを予備焼成してから、欠陥部3を有するバンク成形体14aに対して補修材で補修を行う。バンク材料、補修材、予備焼成、本焼成の加熱温度なども実施の形態1で説明したとおりである。
Moreover, when repairing the defective part 3 in the bank molded body 14a, the point that the dam molded body 5a is formed in each groove space 20 adjacent to the bank molded body 14a in which the defective part 3 exists is the same. The shape of the weir molded body 5a is different.
The bank forming step is as described in the first embodiment, and after the bank formed body 14a is pre-fired, the bank formed body 14a having the defective portion 3 is repaired with a repair material. The bank material, the repair material, the preliminary firing, the heating temperature of the main firing, and the like are as described in the first embodiment.

図17(a)は、実施の形態3にかかる堰成形体5aの形状を示す斜視図、(b)は、溝空間20に、堰5を形成した後、インク層15aを形成した平面図である。
本実施形態にかかる堰成形体5aも、実施の形態2と同様に、図17(a)に示すように、X-Y面を平面視するとき、欠陥部3をY方向に挟む2点A1,A2の一方から欠陥部3を迂回して他方に亘って形成されているが、欠陥部3が存在するバンク14の隣のバンク14とは非接触である点が実施の形態2と異なっている。すなわち、本実施形態において、各堰成形体5aが欠陥部3の中央からX方向に離間する最大距離bが、溝空間20の幅(X方向幅)よりも小さく設定されている。
FIG. 17A is a perspective view showing the shape of the weir molded body 5a according to the third embodiment, and FIG. 17B is a plan view in which the ink layer 15a is formed after the weir 5 is formed in the groove space 20. FIG. is there.
Similarly to the second embodiment, the dam molded body 5a according to the present embodiment also has two points A1 that sandwich the defect portion 3 in the Y direction when the XY plane is viewed in a plan view, as shown in FIG. , A2 is formed so as to bypass the defect portion 3 from one side and the other, but is different from the second embodiment in that it is not in contact with the bank 14 adjacent to the bank 14 where the defect portion 3 exists. Yes. In other words, in the present embodiment, the maximum distance b at which each weir molded body 5a is separated from the center of the defect portion 3 in the X direction is set to be smaller than the width of the groove space 20 (X direction width).

この堰成形体5aの形成方法も、実施の形態1において図10(a)〜(g)を参照しながら説明した方法と同様であって、点A1から点A2に到る堰形成ラインに沿って設定した複数の塗布点に、補修材を順次塗布することによって、堰成形体5aを形成することができる。
このように、欠陥部3を有するバンク14の両側に隣接する各溝空間に堰成形体5aを形成することによって、図17(a)に示すように、各溝空間20は、欠陥部3に近接する空間部分からなる第1空間SAと、欠陥部3に近接しない空間部分からなる第2空間SBとに仕切られるので、実施の形態1と同様に混色範囲を抑える効果を奏する。
The formation method of this dam molding 5a is also the same as the method described with reference to FIGS. 10A to 10G in the first embodiment, and is along the dam formation line from point A1 to point A2. The weir molded body 5a can be formed by sequentially applying the repair material to the plurality of application points set in the above.
In this way, by forming the weir molded body 5a in each groove space adjacent to both sides of the bank 14 having the defect portion 3, as shown in FIG. Since it is partitioned into a first space SA made up of adjacent space portions and a second space SB made up of space portions not close to the defect portion 3, the effect of suppressing the color mixing range is obtained as in the first embodiment.

すなわち、図17(b)に示すように、バンク14間の溝空間20に、発光層形成用のインクが塗布されるときに、赤色インクと青色インクが、欠陥部3を介して混ざり合って、混色領域ができても、その混色領域は堰5を超えないので、第2空間SBに広がらない。
また、欠陥部3の周囲を囲むように補修材を塗布することによって堰成形体5aを形成するので、補修が容易である点についても同様である。
That is, as shown in FIG. 17B, when the light emitting layer forming ink is applied to the groove space 20 between the banks 14, the red ink and the blue ink are mixed through the defect portion 3. Even if a mixed color area is formed, the mixed color area does not exceed the weir 5 and therefore does not spread into the second space SB.
Moreover, since the dam molded body 5a is formed by applying a repair material so as to surround the periphery of the defective portion 3, the same applies to the point that the repair is easy.

一方、本実施の形態では、上記実施の形態1,2と比べて、堰5によって仕切られた欠陥部3に近接する第1空間SAが占める面積がさらに小さくなっているので、表示パネル100における発光色不良をさらに抑えることができる。
また、本実施形態のバンク形成工程においても、実施の形態1と同様に、バンク成形体14aを予備焼成してから欠陥部3を有するバンク成形体14aに対して補修材で補修を行っているので、補修材の塗布に伴ってバンク成形体の形状が崩れるのを防止できる。
On the other hand, in the present embodiment, the area occupied by the first space SA adjacent to the defect portion 3 partitioned by the weir 5 is further reduced as compared with the first and second embodiments. Luminous color defects can be further suppressed.
Also, in the bank forming process of the present embodiment, as in the first embodiment, the bank molded body 14a having the defective portion 3 is repaired with a repair material after the bank molded body 14a is pre-fired. Therefore, it can prevent that the shape of a bank fabrication object collapses with application of repair material.

<実施の形態4>
上記実施の形態1〜3では、ラインバンクについて、欠陥部を補修する場合を説明したが、ピクセルバンクについても同様に実施することができる。
図18(a)〜(d)は、ピクセルバンクを有する表示パネルにおいて、そのピクセルバンクに生じる欠陥部を補修する例を示す図である。
<Embodiment 4>
In the first to third embodiments, the case where the defective portion is repaired with respect to the line bank has been described, but the same can be applied to the pixel bank.
FIGS. 18A to 18D are diagrams showing an example of repairing a defective portion generated in a pixel bank in a display panel having the pixel bank.

図18(a)〜(d)に示すピクセルバンクは、Y方向に伸長する複数のバンク14(縦バンク)に加えて、X方向に伸長する複数のバンク24(横バンク)を備えている。そして、これらのバンク14及びバンク24で囲まれた矩形領域に有機EL素子10が形成されている。
そして、いずれの場合も、Y方向に伸長するバンク14の中で、欠陥部3が存在するバンクの両側に隣接する凹空間20の各々の中に堰5が形成され、その堰5は、凹空間20を、欠陥部3に近接する空間と、欠陥部3に近接しない空間とに仕切っている。
The pixel banks shown in FIGS. 18A to 18D include a plurality of banks 24 (horizontal banks) extending in the X direction in addition to a plurality of banks 14 (vertical banks) extending in the Y direction. The organic EL element 10 is formed in a rectangular region surrounded by the banks 14 and 24.
In any case, in the bank 14 extending in the Y direction, a weir 5 is formed in each of the recessed spaces 20 adjacent to both sides of the bank in which the defect portion 3 exists, and the weir 5 is recessed. The space 20 is partitioned into a space close to the defect portion 3 and a space not close to the defect portion 3.

(a)では、実施の形態1と同様に、欠陥部3が存在するバンク14の両側の各凹空間20に、点A1及び点A2の各々から、対向するバンク14に亘る形態で、堰5が対で形成されている。
この場合も、インクを塗布するときに欠陥部3に起因する混色が形成されても、混色が広がる範囲は、対となる堰5同士の間に限られるので、発光色不良を抑える効果が得られる。
In (a), in the same manner as in the first embodiment, the weir 5 is formed in each concave space 20 on both sides of the bank 14 where the defect portion 3 exists, from each of the points A1 and A2 to the opposing bank 14. Are formed in pairs.
In this case as well, even if a color mixture due to the defective portion 3 is formed when the ink is applied, the range in which the color mixture spreads is limited between the pair of weirs 5, so that the effect of suppressing the emission color defect is obtained. It is done.

(b)では、実施の形態2と同様に、欠陥部3が存在するバンク14の両側の各凹空間20に、点A1から欠陥部3を迂回して点A2に亘る形態で堰5が形成されている。
この場合も、インクを塗布したときに欠陥部3に起因して混色が生じても、混色が広がる範囲は、堰5で囲まれた範囲に限られるので、発光色不良を抑える効果が得られる。
また図示はしないが、ピクセルバンクに対して、実施の形態3の堰5を適用することもでき、同様に発光色不良を抑える効果が得られる。
In (b), as in the second embodiment, the weir 5 is formed in each concave space 20 on both sides of the bank 14 where the defective portion 3 exists, in a form that bypasses the defective portion 3 from the point A1 and extends to the point A2. Has been.
In this case as well, even if color mixing occurs due to the defective portion 3 when the ink is applied, the range in which the color mixing spreads is limited to the range surrounded by the weirs 5, so that the effect of suppressing the emission color defect can be obtained. .
Although not shown, the weir 5 of the third embodiment can be applied to the pixel bank, and the effect of suppressing the emission color defect can be obtained.

(c)では、バンク14における欠陥部3の位置が比較的バンク24に近い位置である。そして、欠陥部3が存在するバンク14の両側の各凹空間20に、点A1から欠陥部3を迂回して当該バンク24に亘る形態で堰5が形成されている。
この場合も、インクを塗布したときに欠陥部3に起因する混色が形成されても、混色が広がる範囲は、2つの堰5とバンク24とで囲まれた範囲に限られるので、発光色不良を抑える効果が得られる。
In (c), the position of the defective portion 3 in the bank 14 is a position relatively close to the bank 24. The weirs 5 are formed in the concave spaces 20 on both sides of the bank 14 where the defect portion 3 exists, in a form that bypasses the defect portion 3 from the point A1 and extends to the bank 24.
Also in this case, even if a color mixture caused by the defective portion 3 is formed when the ink is applied, the range in which the color mixture spreads is limited to the range surrounded by the two weirs 5 and the bank 24. The effect which suppresses is acquired.

(d)では、欠陥部3の位置が、バンク14とバンク24とが交差する位置であって、欠陥部3は4つの凹空間20にまたがっている。
そして、この4つの凹空間20には、各々に堰5が形成されている。
すなわち、2つの堰5は点A1から欠陥部3を迂回して当該バンク24に亘る形態で堰5が形成され、残り2つの堰5は点A2から欠陥部3を迂回して当該バンク24に亘る形態で堰5が形成されている。
In (d), the position of the defect portion 3 is a position where the bank 14 and the bank 24 intersect, and the defect portion 3 extends over the four concave spaces 20.
In each of the four recessed spaces 20, a weir 5 is formed.
That is, the two weirs 5 are formed so as to bypass the defective portion 3 from the point A1 and extend to the bank 24, and the remaining two weirs 5 bypass the defective portion 3 from the point A2 to the bank 24. The weir 5 is formed in a wide form.

この場合、インクを塗布したときに欠陥部3に起因して4つの凹空間20の間で混色が生じる可能性があるが、混色が形成されても、混色が広がる範囲は、4つの堰5で囲まれた範囲に限られるので、発光色不良を抑える効果が得られる。
このようなピクセルバンクにおいても、バンク形成工程については、実施の形態1で説明したとおり、バンク成形体14aを予備焼成してから、欠陥部3を有するバンク成形体14aに対して補修材で補修することによって、補修材の塗布に伴うバンク成形体の形状劣化を防止できる。
In this case, when ink is applied, color mixing may occur between the four concave spaces 20 due to the defective portion 3, but even if the color mixing is formed, the range where the color mixing spreads is four weirs 5. Therefore, it is possible to obtain an effect of suppressing defective emission color.
Even in such a pixel bank, as described in the first embodiment, the bank forming process is performed by pre-sintering the bank molded body 14a and repairing the bank molded body 14a having the defective portion 3 with a repair material. By doing so, it is possible to prevent the shape deterioration of the bank molded body accompanying the application of the repair material.

<実施の形態5>
上記実施の形態1〜4では、欠陥部3を有するバンク14を補修するのに、凹空間20内に堰5を形成する方法を用いたが、本実施の形態では、欠陥部3自体に補修材を充填して補修する。
図19(a)に示す例では、バンク成形体14aの一部が欠損して欠陥部3となっている。
<Embodiment 5>
In the above first to fourth embodiments, the method of forming the weir 5 in the concave space 20 was used to repair the bank 14 having the defective portion 3, but in this embodiment, the defective portion 3 itself is repaired. Repair with filling material.
In the example shown in FIG. 19A, a part of the bank molded body 14 a is lost and becomes a defective portion 3.

図19(b)に示す例では、この欠陥部3に補修材を埋め込んで補修部6を形成している。欠陥部3に補修材を埋め込むには、実施の形態1で説明したディスペンサ212を用いて行うことができる。
このように欠陥部3に補修材を埋め込んで、バンク14の欠陥部3を補修する場合においても、実施の形態1で説明したのと同様に、バンク成形体14aの予備焼成を行ってから、補修材の塗布を行うことによって、補修材の塗布に伴ってバンク成形体14aの形状が崩れるのを防止できる。
In the example shown in FIG. 19B, the repair portion 6 is formed by embedding a repair material in the defect portion 3. The repair material can be embedded in the defective portion 3 using the dispenser 212 described in the first embodiment.
Even when the repair material is embedded in the defect portion 3 to repair the defect portion 3 of the bank 14 as described in the first embodiment, after the preliminary firing of the bank molded body 14a is performed, By applying the repair material, it is possible to prevent the shape of the bank molded body 14a from collapsing with the application of the repair material.

<変形例>
1.上記実施の形態1〜4では、欠陥部3の検出前に、バンク成形体14aの予備焼成を行ったが、欠陥部3の検出後にバンク成形体14aの予備焼成を行ってもよく、同様の効果を奏する。
2.上記実施の形態では、バンク成形体14aをフォトリソグラフィー法で形成したが、バンク成形体14aの形成方法はフォトリソグラフィー法に限らない。
<Modification>
1. In the first to fourth embodiments, the pre-baking of the bank molded body 14a is performed before the detection of the defective portion 3. However, the pre-baking of the bank molded body 14a may be performed after the detection of the defective portion 3. There is an effect.
2. In the above embodiment, the bank molded body 14a is formed by a photolithography method, but the method of forming the bank molded body 14a is not limited to the photolithography method.

例えば、熱硬化性樹脂を含むバンク材をインプリント法で基板上にバンク形状に塗布することによってバンク成形体14aを形成することもできる。
その場合も、上記実施の形態と同様に、バンク成形体14a予備焼成、欠陥部3の検出、補修材の塗布を行うことによって、同様に補修されたバンク14を形成し、同様の効果を得ることができる。
For example, the bank molded body 14a can be formed by applying a bank material containing a thermosetting resin onto the substrate in a bank shape by an imprint method.
Even in that case, similarly to the above-described embodiment, the bank formed body 14a is pre-fired, the defect portion 3 is detected, and the repair material is applied, so that the repaired bank 14 is formed and the same effect is obtained. be able to.

3.上記実施の形態では、トップエミッション型有機ELパネルを例にとって説明したが、ボトムエミッション型有機ELパネルにおいても適用可能である。   3. In the above embodiment, the top emission type organic EL panel has been described as an example. However, the present invention can also be applied to a bottom emission type organic EL panel.

本発明にかかる有機EL表示装置の製造方法は、例えば、家庭用もしくは公共施設、あるいは業務用の各種表示装置、テレビジョン装置、携帯型電子機器用ディスプレイ等に用いられる有機EL表示装置を製造するのに利用可能である。   The manufacturing method of the organic EL display device according to the present invention manufactures an organic EL display device used for, for example, various display devices for home use or public facilities, or for business use, television devices, displays for portable electronic devices, and the like. Is available.

1 有機EL表示装置
3 欠陥部
5 堰
5a 堰成形体
6 補修部
10 有機EL素子
11 下地基板
12 画素電極
13 ホール注入層
14 バンク
14a バンク成形体
15a インク層
15 有機発光層
16 電子輸送層
17 共通電極
18 封止層
20 凹空間(溝空間)
24 バンク
100 表示パネル
200 補修装置
212 ディスペンサ
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Organic EL display device 3 Defect part 5 Weir 5a Weir molding 6 Repair part 10 Organic EL element 11 Base substrate 12 Pixel electrode 13 Hole injection layer 14 Bank 14a Bank molding 15a Ink layer 15 Organic light emitting layer 16 Electron transport layer 17 Common Electrode 18 Sealing layer 20 Concave space (groove space)
24 Bank 100 Display panel 200 Repair device 212 Dispenser

Claims (3)

基板上に、熱硬化性樹脂を含むバンク材料をバンク形状に成形し、
形成されたバンク成形体における欠陥部を検出し、
欠陥部が検出された場合に、前記バンク成形体における欠陥部が存在する箇所に、熱硬化性樹脂を含む補修材を塗布することによって欠陥部の補修を行い、
補修材が塗布されたバンク成形体を加熱して本焼成することによってバンクを形成し、
形成されたバンクで区画された凹空間のそれぞれに発光層を形成することによって有機EL表示装置を製造する方法であって、
前記バンク成形体を形成した後、前記補修材を塗布する前に、前記バンク成形体を加熱することによって予備焼成し、
当該予備焼成時における加熱温度は、
前記バンク材料に含まれる熱硬化性樹脂が熱硬化を開始する温度以上であり、且つ本焼成時における加熱温度よりも低い、
有機EL表示装置の製造方法。
On the substrate, bank material containing thermosetting resin is molded into bank shape,
Detect defects in the formed bank molding,
When a defective part is detected, repair the defective part by applying a repair material containing a thermosetting resin to a place where the defective part is present in the bank molded body,
A bank is formed by heating and firing the bank molded body to which the repair material is applied,
A method of manufacturing an organic EL display device by forming a light emitting layer in each of recessed spaces partitioned by a formed bank,
After the bank formed body is formed, before the repair material is applied, the bank formed body is pre-fired by heating,
The heating temperature during the preliminary firing is
The thermosetting resin contained in the bank material is at or above the temperature at which thermosetting starts, and is lower than the heating temperature at the time of main firing,
A method for manufacturing an organic EL display device.
前記予備焼成時における加熱温度は、
100℃以上、150℃以下である、
請求項1記載の有機EL表示装置の製造方法。
The heating temperature during the preliminary firing is
100 ° C or higher and 150 ° C or lower,
A method for producing an organic EL display device according to claim 1.
前記補修材を塗布することによって、
前記バンク成形体における欠陥部が存在する部分の両側に隣接する凹空間の各々の中に、
当該凹空間を、前記欠陥部に近接する空間部分からなる第1空間と、前記欠陥部に近接しない空間部分からなる第2空間とに仕切る堰を形成する、
請求項1又は2記載の有機EL表示装置の製造方法。
By applying the repair material,
In each of the recessed spaces adjacent to both sides of the portion where the defect portion exists in the bank molded body,
Forming a weir that partitions the concave space into a first space composed of a space portion close to the defect portion and a second space composed of a space portion not close to the defect portion;
The manufacturing method of the organic electroluminescence display of Claim 1 or 2.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2019040803A (en) * 2017-08-28 2019-03-14 株式会社Joled Method for manufacturing self-luminous display panel and self-luminous display panel
US10804502B2 (en) 2017-05-19 2020-10-13 Joled Inc. Display device
CN113439294A (en) * 2019-02-08 2021-09-24 株式会社日本有机雷特显示器 Organic EL display panel and method for manufacturing organic EL display panel

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10804502B2 (en) 2017-05-19 2020-10-13 Joled Inc. Display device
JP2019040803A (en) * 2017-08-28 2019-03-14 株式会社Joled Method for manufacturing self-luminous display panel and self-luminous display panel
CN109585495A (en) * 2017-08-28 2019-04-05 株式会社日本有机雷特显示器 The manufacturing method and light-emitting display panel of light-emitting display panel
US10644085B2 (en) 2017-08-28 2020-05-05 Joled Inc. Self-luminous display panel manufacturing method and self-luminous display panel
CN113439294A (en) * 2019-02-08 2021-09-24 株式会社日本有机雷特显示器 Organic EL display panel and method for manufacturing organic EL display panel
CN113439294B (en) * 2019-02-08 2023-06-02 株式会社日本有机雷特显示器 Organic EL display panel and method for manufacturing organic EL display panel

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