JP2016064563A - 光学部材用版の製造方法、光学部材用原版 - Google Patents

Abstract

【課題】凹凸パターンを有する光学部材を製造する際に精度よい凹凸を形成することができる光学部材用版の製造方法を提供する。【解決手段】基板３０、低反射層３１、及びレジスト層３２がこの順に積層された原版作製用積層体３３のレジスト層に対して光学部材が有する凹凸のパターンに基づいてレジストを露光し、該露光した部位又は露光しなかった部位におけるレジスト層を除去して光学部材用原版３４を作製する工程と、光学部材用原版をエッチングすることなくレジスト層側の面に導電層３６を形成する導体化処理工程と、導電層に電解メッキ層３７を積層させる工程と、光学部材用原版を除去する工程と、を含み、低反射層は、レジストを露光する光の波長の光に対する反射率が０％以上２％以下である。【選択図】図４

Description

本発明は、表面に微細な凹凸を有する光学部材を作製するための型である光学部材用版の製造方法、及びここに用いられる光学部材用原版に関する。

表示装置の多様化によりテレビ等は画面が大きくなる一方、携帯型の端末ではその性質上、画面はある程度の大きさに抑えられる。ただし、小さな画面であっても表示される画像の質は高いものが要求される。そのため、用いられる光学部材にはより微細な凹凸が形成され、その屈折や反射を利用して所望の光が出射され質の向上が図られる。

このような光学部材を量産する方法の１つとして例えば特許文献１に記載のように、光学部材の凹凸に対応した凹凸を表面に有するロール状の型（ロール版）を用いる形態がある。これはロール版の表面に硬化前の樹脂を供給して硬化させてから離型するというものである。これによりロール版の表面に形成された凹凸が樹脂に反転して転写されて所望の凹凸を得ることができる。

また特許文献２には、光学部材の凹凸に対応した凹凸を表面に有するシート状の型を準備し、複数の当該シート状の型をロールに巻き付け、隣り合うシート状の型同士は接合される形態のロール版が開示されている。ロール版を形成した後は上記と同様にして光学部材を得ることができる。

特開２０１２−００６１７７号公報 特開２００８−２９６４６６号公報

上記のように、携帯型の端末の画面は小さいものの、出射光の質を高める観点から光学部材の表面に形成される凹凸がより微細となる傾向にある。

しかしながら、特許文献１に開示されたロール版では凹凸のパターンを切削により形成するので、微細な凹凸形状を精度よく形成することができない場合がある。

一方、特許文献２に記載のようなシート状の型を用いたロール版では、当該シート状の型（スタンパシート）を作製するための原版を製造する際に通常のフォトリソグラフィプロセスを用いるので、エッチングをする工程が含むことからエッチング方向の指向性制御に限界があり、凹凸形状の精度を高める要望がある。また、レジストの露光の際に、入射光と反射光とによってレジスト内に生じる定在波に起因してレジスト表面に微細な波状の凹凸が形成されてしまうことがあった。

そこで本発明は上記問題を鑑み、凹凸パターンを有する光学部材を製造する際に精度よい凹凸を形成することができる光学部材用版の製造方法を提供することを課題とする。また、これに用いる光学部材用原版を提供する。

以下、本発明について説明する。わかりやすさのため、ここでは括弧書きで図面の参照符号を付記するが、本発明はこれに限定されるものではない。

請求項１に記載の発明は、光学部材を作製するための版（２２）を製造する方法であって、基板（３０）、低反射層（３１）、及びレジスト層（３２）がこの順に積層された原版作製用積層体（３３）のレジスト層に対して光学部材が有する凹凸のパターンに基づいてレジストを露光し、該露光した部位又は露光しなかった部位におけるレジスト層を除去して光学部材用原版（３４）を作製する工程と、光学部材用原版をエッチングすることなくレジスト層側の面に導電層（３６）を形成する導体化処理工程と、導電層に電解メッキ層（３７）を積層させる工程と、光学部材用原版を除去する工程と、を含み、低反射層は、レジストを露光する光の波長の光に対する反射率が０％以上２％以下である、光学部材用版の製造方法である。

請求項２に記載の発明は、光学部材を作製するための原版（３５）であって、基板（３０）と、基板に積層された低反射層（３１）と、低反射層に積層され、光学部材が有する凹凸に対応するレジストからなるパターンが形成されたレジスト層（３４）と、を有し、低反射層はレジストを露光する際に用いる光の波長の光に対して０％以上２％以下の反射率とされている、光学部材用原版である。

請求項３に記載の発明は、請求項２に記載の光学部材用原版（３５）において、低反射層（３１）がクロムを含む材料からなる。

本発明によれば、光学部材用版を作製するに際し、凹凸を形成するときにエッチングをする必要がないので、エッチング特有の形状精度の低下を防止することができ、高い精度の凹凸を形成することができる。また、光学部材用原版には低反射層が備えられており、従来レジストの露光の際に発生していた定在波を抑制することができ、かかる観点からも精度のよい凹凸を形成することができる。

図１（ａ）は光学部材１０の平面図、図１（ｂ）は光学部材１０の一部の断面図である。 ロール版２０の斜視図である。 図３（ａ）は光学部材用版２２の平面図、図３（ｂ）はその一部を拡大した図である。 図４（ａ）〜図４（ｃ）は光学部材用版２２を作製する各場面を説明する図である。 従来において定在波が生じた場合の波状の凹凸発生について説明する図である。 図６（ａ）〜図６（ｃ）は光学部材用版２２を作製する各場面を説明する図である。 ロール２１に光学部材用版２２を巻きつける場面を説明する図である。 賦形シート４０を説明する図である。 ロール版２０により賦形シート４０を作製する過程の一場面を説明する図である。 賦形シート４０を用いて光学部材１０を作製する過程の一場面を説明する図である。 押し出し法にてロール版２０から光学部材１０を作製する過程の一場面を説明する図である。 他の形態の光学部材１１０を説明する図である。 光学部材１１０を作製する過程の一場面を説明する図である。

以下、本発明を図面に示す形態に基づき説明する。ただし、本発明はこれら形態に限定されるものではない。なお、以下に示す図面では分かりやすさのため部材の大きさや比率を変更または誇張して記載することがある。また、見やすさのため繰り返しとなる符号は省略することがある。

初めに、光学部材１０について説明する。光学部材１０は後述する光学部材用版２２を含むロール版２０を用いて製造される光学部材であり、シート状の光学部材である。ここで光学部材としては例えば導光板、プリズムシート、レンズシート、回折構造体、モスアイ構造体等、表面に形成された凹凸により光を制御する光学部材全般を対象とすることができる。
図１（ａ）は光学部材１０の平面図、図１（ｂ）は図１（ａ）にＩａ−Ｉａで示した矢視断面図である。図１（ａ）、図１（ｂ）には光学部材１０の「長手方向」、「幅方向」、及び「厚さ方向」をそれぞれ表している。

光学部材１０は光制御層１２を有しており、該光制御層１２は光透過性を有するシート状の部材である。また、光制御層１２は、その少なくとも一方の面には凹凸が形成され、凹凸部１３とされている。

本例の凹凸部１３では、図１（ａ）、図１（ｂ）からわかるように微小な凹凸が繰り返されている。例えば、凹凸部１３では、矩形断面の凸部１３ａと矩形断面の凹部１３ｂとが長手方向に繰り返され、この断面を維持して光制御層１２の幅方向に一次元的に延びている。この凹凸は微細に形成されており、凹部の深さは０．５μｍ以上３．０μｍ以下程度である。凹部の底幅及び凸部の頂部幅は１μｍ以上３０μｍ以下程度とされる。例えば凸形状の場合には凹部の底幅は５μｍ以上３０μｍ以下、凸部の頂部幅は１μｍ以上１０μｍ以下に形成され、凹形状の場合には凸部の頂部幅が５μｍ以上３０μｍ以下、凹部の底幅は１μｍ以上１０μｍ以下に形成される。

凹凸部の形状は本形態に限られることなく、他の形態が適用されたり、複数の態様が複合して用いられたりしてもよい。他の形態の凹凸部としては例えば、所定の断面を有して光制御層の幅方向に対して斜めになるように延びる形態、複数の錐状の凸部が平面視で縦横に配列されるような二次元的な形状を有する形態、等を挙げることができる。

光制御層１２を構成する材料としては種々の材料を使用することができる。また、光学部材用の材料として広く使用され、優れた機械的特性、光学特性、安定性および加工性等を有するとともに安価に入手可能な材料を用いることができる。これには例えば脂環式構造を有する重合体樹脂、メタクリル樹脂、ポリカーボネート、ポリスチレン、アクリロニトリル−スチレン共重合体、メタクリル酸メチル−スチレン共重合体、ＡＢＳ樹脂、ポリエーテルスルホン等の熱可塑性樹脂や、エポキシアクリレートやウレタンアクリレート系の反応性樹脂（電離放射線硬化型樹脂等）等を挙げることができる。

次に、以上のような光学部材１０を形成する際に用いる賦形シート４０を作製するためのロール版２０について説明する。図２はロール版２０の外観を概略的に示した斜視図である。また、図３（ａ）はロール版２０に備えられる光学部材用版２２の平面図、図３（ｂ）はその一部を拡大して表した図である。
図２からわかるように、ロール版２０は、ロール２１及び光学部材用版２２を有して構成されている。

ロール２１は円柱状のロール本体２１ａ及びロール本体２１ａの端面から軸線に沿って突出する回転軸２１ｂを有している。これによりロール２１は、回転軸２１ｂが支持されて、該回転軸２１ｂを中心に回動するように構成されている。
ロール本体２１ａは、剛性を確保するための部位で、ロール版２０の大部分を構成している。かかる観点からロール本体２１ａは、機械構造用の鉄系材料が用いられることが好ましい。また、必要な剛性を確保しつつも軽量化をする観点から、ロール本体２１ａは両側が有底である円筒状であってもよい。また、ロール本体２１ａの表面の温度調節ができるようにロール本体内部に冷水や温水、蒸気または高温の油を循環できるように２重構造にするのが一般的である。

光学部材用版２２は、賦形シート４０に対して光学部材１０の凹凸部１３に対応する凹凸形状を転写する型として機能する版であり、本形態ではシート状である。図３（ａ）には光学部材用版２２をロール本体２１ａから外して展開した平面図を示した。また、図３（ｂ）には図３（ａ）にＩＩＩｂで示した部分を拡大して表した。

光学部材用版２２にはこれら図からわかるように、その表面に縦横に複数の単位型部２２ａが配列され、これらは継ぎ目なく並べられている。図には隣り合う単位型部２２ａの境界を点線で表したが、これは理解しやすくするためのものであり、継ぎ目ではない。すなわち光学部材用版２２は接合部を有さずに一体である一枚のシートである。従って隣り合う単位型部２２ａ間には段差や意図しない位置ずれが生じることがなく、単位型部２２ａの正確な配置ができる。そして光学部材用版２２の大きさはその一辺が８００ｍｍ以上１５００ｍｍ以下であることが好ましい。これにより、１つの型シートに多くの単位型部２２ａを含ませることができるとともに、ロール２１の外周を一周させることができる。

各単位型部２２ａには、図３（ｂ）からわかるように、光学部材１０の凹凸部１３の形状に対応した凹凸が形成されている。

このような光学部材用版２２は電鋳板により構成することができる。詳しくは後でその作製方法を説明するが、導電層上に電解ニッケルメッキ層が形成された積層体により構成されており、導電層の表面に凹凸が形成されている。ここではニッケルによる電解メッキ層及び導電層で説明するが、他の材料によるものであってもよい。
なお、光学部材用版２２には位置決めのためのアライメントマークを設けておくことが好ましい。このアライメントマークも転写されて、光学部材１０の打ち抜きの際の位置決めの基準となる。

そしてロール２１の外周面に光学部材用版２２を巻きつけて固定することによりロール版２０となる。本形態では上記のように光学部材用版２２には継ぎ目が存在しないので、ロール版２０とされたときには図２に示したように継ぎ目は端部同士が突き合わされた突き合わせ部２３が唯一の継ぎ目となる。

次に光学部材用版２２の作製方法について説明する。図４（ａ）〜図４（ｃ）及び図６（ａ）〜図６（ｃ）に作製の順を追った図を表した。なお、ここで光学部材用原版の構成についても説明する。

初めに、図４（ａ）に示したよう原版作製用積層体３３を準備する。原版作成用積層体３３は、基板３０、低反射層３１、及びレジスト層３２がこの順で積層された積層体である。

基板３０は特に限定されることはなくフォトリソグラフィーの工程を行うに際して通常に用いられる公知の基板を適用することができる。これには例えばガラス、金属、セラミック、合成石英、プラスチック等により構成された、必要な強度、面精度を有する板状の部材である。

低反射層３１は基板３０の一方の面に積層され、ここに達した光（レジストを露光する光）の反射率が０％以上２％以下とされた層である。このような低反射層３１は例えばクロム４５％、酸素３５％、窒素２０％からなる酸化クロム層が挙げられる。これにより低反射であることに加えて基板３０とレジスト３２との密着性を高めることができる。クロムを含有する層の光の反射率を０％以上２％以下とするためには低反射層、レジスト、及び露光波長の関係に基づいて低反射層の酸素含有量を調整する。例えば１つの例として、厚さ１．５μｍのポジタイプのレジストを用い、露光波長を４１３ｎｍ（クリプトン−レーザ）を適用したときには低反射層にクロムを含有し、酸素含有量が３０％以上４０％以下とすることにより所望の反射率を得ることができる。

レジスト層３２は、低反射層３１の面のうち基板３０とは反対側の面に積層されたレジストからなる層である。レジストとしては、公知のものを用いることができるが、例えばナガセケムテックス株式会社製のＧＲＸ−Ｍ２２０やＧＲＸ−Ｍ１００が挙げられる。

次に図４（ｂ）に示したように、レジスト層３２に対して光学部材１０の凹凸部１３に基づいたパターンで露光する。この露光方法は特に限定されないが、本形態ではレーザービームＬの走査により露光を行っている。この他電子線の走査をしてもよい。この露光によりレジスト層３２を構成するレジスト樹脂が硬化した易溶化部分３２ａと、未露光部分３２ｂとが形成される。そして図４（ｃ）のように現像液を噴霧して行なうスプレー現像等によって、現像して易溶化部分３２ａを除去し、未露光部分３２ｂによりパターン化されたレジスト層であるレジストパターン層３４を得る。そして当該基板３０、低反射層３１、及びレジストパターン層３４の積層体が光学部材用原板３５である。

なお、ここまでの説明では露光された部分が除去される、いわゆるポジレジストによる過程を説明したが、レジスト材料を変更することにより、露光された部分が残り、露光されなかった部分が除去されるネガレジストによる過程が採用されてもよい。

本発明ではレジストパターン層３４に形成されたパターンを直接、光学部材用版の作製に用いることから、当該パターンを得る際に、従来のフォトマスクの手法のパターン形成で行われていたエッチングを必要としない。これにより本発明ではエッチング特有の意図しない方向への材料の除去によるパターン形状の精度低下を防止できる。また、エッチングの工程を要しないので、精度よく、工程を短縮して簡易に型シートを作製することができる。
さらにレジスト層３２と基板３０との間に低反射層３１を設けている。低反射層３１を設けないと、図５に概念的に示したように露光ため光の入射光Ｌ１とレジスト層１３２を透過して基板１３０との界面で反射した光Ｌ２による定在波が生じ、露光部Ａと未露光部Ｂとの界面がこの定在波の形状に沿って波状に凹凸となる。これに対して本発明では低反射層３１を設けることにより当該波状の凹凸の発生を防止することができる。かかる観点からも精度よくパターン形状を得ることが可能となる。

次に得られた原板３５を用いて電鋳により光学部材用版２２を作製する。
初めに図６（ａ）に示したように、基板３０のうち、パターンが形成されたレジストパターン層３４側に導電層（本形態では導電ニッケル層）３６を導電化処理により形成する。このとき導電層３６は、１０ｎｍ以上１μｍ以下の厚さがよい。
ここで導電化処理としては例えば無電解メッキや蒸着（スパッタリング）を挙げることができる。
次いで図６（ｂ）に示したように、導電層３６の上に電解ニッケルメッキ層３７を電鋳により形成する。このとき電解ニッケルメッキ層３７により、導電層３６と電解ニッケルメッキ層３７との総厚みが０．３ｍｍ程度となるように電解ニッケルメッキ層３７を形成する。
そして、図６（ｃ）に示したように光学部材用原板３５を離型することにより光学部材用版２２を得る。

以上示した光学部材用版２２の作製方法によれば、上記したようにエッチングを要しないので、エッチング特有の意図しない方向への材料の除去を防止することができ、凹凸形状を精度よく作製することができる。また、エッチングをする工程を設ける必要がないので工程の短縮、及びコストの削減も可能である。
また低反射層３１を形成することにより上記したようにレジスト露光時の定在波の発生が防止されているので、さらに精度良い凹凸形状が形成されている。

以上のように作製された光学部材用版２２は、図７に示したようにロール本体２１ａに巻き付けられ、ロール版２０（図２参照）とされる。

次に、上記ロール版２０を用いて、光学部材１０を製造する方法を説明する。図８〜図１０に説明のための図を示した。本形態では、押し出し法により光学部材１０を製作するに先立ち、凹凸部１３の形状を賦形できる賦形シート４０を作製する。図８に賦形シート４０の形態を概念的に斜視図で示した。

賦形シート４０は上記のように光学部材１０の凹凸部１３の形状を賦形できる帯状のシートである。賦形シート４０は透光性を有する基材４１、及び基材４１の一方の面に積層された型部４２を有して構成されている。そして型部４２には、光学部材１０の１つの凹凸部１３を形成するための単位型部４２ａが複数縦横に配列されている。

このような賦形シート４０は次のように作製される。図９に説明のための図を示した。図９に示したように、準備されたロール版２０と金型ニップロール４５との間に、図９に矢印ＩＸで示したように基材４１を送り出す。そして基材４１上に硬化する前の紫外線硬化樹脂組成物４２’をノズル４６から供給する。これにより基材４１とロール版２０との間に硬化前の紫外線硬化樹脂４２’が充填される。そして硬化前の紫外線硬化樹脂組成物４２’がロール版２０の光学部材用版２２に形成された凹凸に充填される。
このように充填された状態で、紫外線照射装置４７から紫外線が照射され、紫外線硬化樹脂組成物が硬化して型部４２となる。その後、剥離ロール４８により離型して賦形シート４０を得る。得られた賦形シート４０は巻き取られてロール状とされる。

次に、賦形シート４０を用いて押し出し法により光学部材１０を得る。図１０に説明のための図を示した。
第一ロール５１と、該第一ロール５１に対して所定の間隙を有して配置される第二ロール５２との間に図１０に矢印Ｘで示したように賦形シート４０を順次送り出し、賦形シート４０と第二ロール５２との間に溶融した熱可塑性樹脂組成物５５をノズル５６から流入させる。ここで賦形シート４０の送り方向は帯状である賦形シート４０の長手方向である。また、流入される熱可塑性樹脂組成物５５は第二ロール５２及び賦形シート４０の幅方向大きさと同程度の大きさ（幅）を有する帯状であることが好ましい。これにより幅方向に均一な材料供給が可能である。

供給された熱可塑性樹脂は第二ロール５２と賦形シート４０との間に所定の圧力を具備しつつ流入する。これにより熱可塑性樹脂が賦形シート４０の型部４２の表面に形成された凹凸に充填され、熱可塑性樹脂組成物５５がこの凹凸に沿った形状となる。そして第三ロール５３、及び第四ロール５４を経て冷却され、最終的に熱可塑性樹脂組成物５５が硬化して形状が固定される。これにより光学部材１０が縦横に継ぎ目なく配列された光学部材用帯状シート１０’を得る。そして剥離ロール５７により光学部材用帯状シート１０’と賦形シート４０とが分離される。
この状態では光学部材用帯状シート１０’にはアライメントマークも含まれていることが好ましい。

最終的に光学部材用帯状シート１０’の打ち抜きや切断により光学部材１０を得ることができる。その際にはアライメントマークが位置決めの基準となる。

このようにして作製された光学部材１０はその凹凸自体の精度、及び位置精度が高く、所望の光制御を精度良く行うことができる。

次に、賦形シート４０を用いることなく押し出し法により光学部材１０を得る方法を説明する。図１１に説明のための図を示した。この際にはロール版２０を用いて直接光学部材用帯状シート１０’を得る。従って本例のロール版２０は、直接光学部材用帯状シート１０’の凹凸部１３を転写できるパターンを具備している。

図１１からわかるように、第一ロール５１と、該第一ロール５１に対して所定の間隙を有して配置されるロール版２０との間に溶融した熱可塑性樹脂組成物５５をノズル５６から流入させる。流入される熱可塑性樹脂組成物５５はロール版２０の幅方向大きさと同程度の大きさ（幅）を有する帯状であることが好ましい。これにより幅方向に均一な材料供給が可能である。

供給された熱可塑性樹脂は第一ロール５１とロール版２０との間に所定の圧力を具備しつつ流入する。これにより熱可塑性樹脂がロール版２０の表面に形成された凹凸に充填され、熱可塑性樹脂組成物５５がこの凹凸に沿った形状となる。そして第三ロール５３、及び第四ロール５４を経て冷却され、最終的に熱可塑性樹脂組成物５５が硬化して形状が固定される。これにより光学部材１０が縦横に継ぎ目なく配列された光学部材用帯状シート１０’を得る。この状態では光学部材用帯状シート１０’にはアライメントマークも含まれていることが好ましい。

最終的に光学部材用帯状シート１０’の打ち抜きや切断により光学部材１０を得ることができる。その際にはアライメントマークが位置決めの基準となる。

このようにして作製された光学部材１０もその凹凸の位置精度が高く、所望の光制御を精度良く行うことができる。

図１２には他の形態の光学部材１１０を示した。図１２は図１（ｂ）と同じ視点による図である。光学部材１１０は、上記説明した光制御層１２が基材１１の一方の面に積層された２層の構造となっている。光制御層１２の構造は上記の通りである。

基材１１は、該基材１１の一方の面に光制御層１２を形成するための基材となる光透過性を有するシート状の部材である。このような基材１１を構成する材料としては、ポリカーボネート（ＰＣ）樹脂、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）樹脂、メタクリル酸メチル・ブタジエン・スチレン（ＭＢＳ）樹脂、メタクリル酸メチル・スチレン（ＭＳ）樹脂、アクリル・スチレン（ＡＳ）樹脂、及びアクリロニトリル・ブタジエン・スチレン樹脂（ＡＢＳ）等が挙げられる。

光学部材１１０は次のように製造することができる。すなわち、上記したロール版２０と同じ要領により、直接光学部材１１０の凹凸部１３を形成できる凹凸を有するロール版１２０を作製する。そして当該ロール版１２０を用いて図１３に示したように基材１１上に光制御層１２を積層する。

より詳しくは、図１３に示したように、準備されたロール版１２０と金型ニップロール４５との間に、図１３に矢印ＸＩＩＩで示したように基材１１を送り出す。そして基材１１上に硬化する前の紫外線硬化樹脂組成物１２’をノズル４６から供給する。これにより基材１１とロール版１２０との間に硬化前の紫外線硬化樹脂１２’が充填される。これにより硬化前の紫外線硬化樹脂組成物１２’がロール版１２０に形成された凹凸に充填される。
このように充填された状態で、紫外線照射装置４７から紫外線が照射され、紫外線硬化樹脂組成物が硬化して光制御層１２となる。その後、剥離ロール４８により離型する。これにより光学部材１１０が縦横に継ぎ目なく配列された光学部材用帯状シート１１０’を得る。
この状態では光学部材用帯状シート１１０’にはアライメントマークも含まれていることが好ましい。

最終的に光学部材用帯状シート１１０’の打ち抜きや切断により光学部材１１０を得ることができる。その際にはアライメントマークが位置決めの基準となる。

１０ 光学部材
１１ 基材
１２ 光制御層
１３ 凹凸部
２０ ロール版
２１ ロール
２２ 光学部材用版
３０ 基板
３１ 低反射層
３２ レジスト層
３３ 原板作製用積層体
３４ レジストパターン層（パターン化された後のレジスト層）
３５ 光学部材用原板
３６ 導電層（導電ニッケル層）
３７ 電解ニッケルメッキ層（電解メッキ層）

Claims (3)

1. 光学部材を作製するための版を製造する方法であって、
   基板、低反射層、及びレジスト層がこの順に積層された原版作製用積層体の前記レジスト層に対して前記光学部材が有する凹凸のパターンに基づいて前記レジストを露光し、該露光した部位又は露光しなかった部位におけるレジスト層を除去して光学部材用原版を作製する工程と、
   前記光学部材用原版をエッチングすることなく前記レジスト層側の面に導電層を形成する導体化処理工程と、
   前記導電層に電解メッキ層を積層させる工程と、
   前記光学部材用原版を除去する工程と、を含み、
   前記低反射層は、前記レジストを露光する光の波長の光に対する反射率が０％以上２％以下である、光学部材用版の製造方法。
2. 光学部材を作製するための原版であって、
   基板と、
   前記基板に積層された低反射層と、
   前記低反射層に積層され、前記光学部材が有する凹凸に対応するレジストからなるパターンが形成されたレジスト層と、を有し、
   前記低反射層は前記レジストを露光する際に用いる光の波長の光に対して０％以上２％以下の反射率とされている、光学部材用原版。
3. 前記低反射層がクロムを含む材料からなる請求項２に記載の光学部材用原版。

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