JP2015196276A - 光学部材用ロール版の製造方法 - Google Patents

光学部材用ロール版の製造方法 Download PDF

Info

Publication number
JP2015196276A
JP2015196276A JP2014074205A JP2014074205A JP2015196276A JP 2015196276 A JP2015196276 A JP 2015196276A JP 2014074205 A JP2014074205 A JP 2014074205A JP 2014074205 A JP2014074205 A JP 2014074205A JP 2015196276 A JP2015196276 A JP 2015196276A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
optical member
sheet
roll
mold
roll plate
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2014074205A
Other languages
English (en)
Inventor
哲弥 貞弘
Tetsuya Sadahiro
哲弥 貞弘
陽祐 青木
Yosuke Aoki
陽祐 青木
啓太 本波
Keita Motonami
啓太 本波
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Dai Nippon Printing Co Ltd
Original Assignee
Dai Nippon Printing Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Dai Nippon Printing Co Ltd filed Critical Dai Nippon Printing Co Ltd
Priority to JP2014074205A priority Critical patent/JP2015196276A/ja
Publication of JP2015196276A publication Critical patent/JP2015196276A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Moulds For Moulding Plastics Or The Like (AREA)
  • Shaping Of Tube Ends By Bending Or Straightening (AREA)

Abstract

【課題】凹凸パターンを有する光学部材を製造する際に精度よい凹凸を形成することができるロール版を作製する方法を提供する。【解決手段】ロール21に型シート22を巻き付けて光学部材用のロール版20を製造する方法であって、型シートの表面には、光学部材10が具備する凹凸13に対応する凹凸が設けられており、型シートの作製は、基板30、及びレジスト層32を有する型シート作製用積層体33のレジスト層に対して凹凸のパターンに基づいて露光し、該露光した部位又は露光しなかった部位におけるレジスト層を除去する工程と、型シート作製用積層体をエッチングすることなくレジスト層側の面に無電解メッキ層35を電鋳により積層する工程と、無電解メッキ層に電解メッキ層36を積層させる工程と、型シート作製用積層体を除去する工程とを含む。【選択図】図2

Description

本発明は、表面に凹凸を有する光学部材を作製するためのロール状の型であるロール版を作製する方法に関する。
表示装置の多様化によりテレビ等は画面が大きくなる一方、携帯型の端末ではその性質上、画面はある程度の大きさに抑えられる。ただし、小さな画面であっても表示される画像の質は高いものが要求される。そのため、用いられる光学部材にはより微細な凹凸が形成され、その屈折や反射を利用して所望の光が出射され質の向上が図られる。
このような光学部材を量産する方法の1つとして例えば特許文献1に記載のように、光学部材の凹凸に対応した凹凸を表面に有するロール状の型(ロール版)を用いる形態がある。これはロール版の表面に硬化前の樹脂を供給して硬化させてから離型するというものである。これによりロール版の表面に形成された凹凸が樹脂に反転して転写されて所望の凹凸を得ることができる。
また特許文献2には、光学部材の凹凸に対応した凹凸を表面に有するシート状の型を準備し、複数のシート状の型をロールに巻き付け、隣り合うシート状の型同士は接合される形態のロール版が開示されている。ロール版を形成した後は上記と同様にして光学部材を得ることができる。
特開2012−006177号公報 特開2008−296466号公報
上記のように、携帯端末の画面は小さいものの、出射光の質を高める観点から光学部材の表面に形成される凹凸がより微細となる傾向にある。
しかしながら、特許文献1に開示されたロール版では凹凸のパターンを切削により形成するので、微細な凹凸形状を精度よく形成することができない場合がある。
一方、特許文献2に記載のようなシート状の型を用いたロール版では、当該シート状の型を作製する際にエッチングを用いるので、エッチング方向の指向性制御に限界があり、凹凸形状の精度を高める要望がある。
そこで本発明は上記問題を鑑み、凹凸パターンを有する光学部材を製造する際に精度よい凹凸を形成することができるロール版を作製する方法を提供することを課題とする。
以下、本発明について説明する。わかりやすさのため、ここでは括弧書きで図面の参照符号を付記するが、本発明はこれに限定されるものではない。
請求項1に記載の発明は、ロール(21)に型シート(22)を巻き付けて光学部材用のロール版(20)を製造する方法であって、型シートの表面には、光学部材(10)が具備する凹凸(13)に対応する凹凸が設けられており、型シートの作製は、基板(30)、及びレジスト層(32)を有する型シート作製用積層体(33)のレジスト層に対して凹凸のパターンに基づいて露光し、該露光した部位又は露光しなかった部位におけるレジスト層を除去する工程と、型シート作製用積層体をエッチングすることなくレジスト層側の面に無電解メッキ層(35)を電鋳により積層する工程と、無電解メッキ層に電解メッキ層(36)を積層させる工程と、型シート作製用積層体を除去する工程と、を含む、光学部材用ロール版の製造方法である。
請求項2に記載の発明は、請求項1に記載の光学部材用ロール版の製造方法において、型シート作製用積層体(33)には基板(30)とレジスト層(32)との間に中間層が設けられている。
請求項3に記載の発明は、請求項1又は2に記載の光学部材用ロール版(20)の製造方法において、型シート(22)の表面には、1つの光学部材(10)が具備する凹凸(13)を形成できる凹凸を単位型部(22a)としたとき、該単位型部が表面に沿って複数並べられて配列されている。
請求項4に記載の発明は、請求項3に記載の光学部材用ロール版(20)の製造方法において、単位型部(22a)の凹凸は、平面視で二次元的な形状の凹凸又はパターンが異なる2種類以上の凹凸の少なくとも一方が含まれる形状を有している。
本発明の光学部材用ロール版の製造方法によれば、型シートを作製するに際し、凹凸を形成するときにエッチングをする必要がないので、エッチング特有の形状精度の低下を防止することができ、高い精度の凹凸を有するロール版を提供することができる。
図1(a)は光学部材10の平面図、図1(b)は光学部材10の一部の断面図である。 ロール版20の斜視図である。 図3(a)は型シート22の平面図、図3(b)はその一部を拡大した図である。 図4(a)〜図4(c)は型シート22を作製する各場面を説明する図である。 図5(a)〜図5(c)は型シート22を作製する各場面を説明する図である。 ロール21に型シート22を巻きつける場面を説明する図である。 賦形シート40を説明する図である。 ロール版20により賦形シート40を作製する過程の一場面を説明する図である。 賦形シート40を用いて光学部材10を作製する過程の一場面を説明する図である。 他の形態の光学部材110を説明する図である。 光学部材110を作製する過程の一場面を説明する図である。
本発明の上記した作用及び利得は、次に説明する発明を実施するための形態から明らかにされる。以下、本発明を図面に示す実施形態に基づき説明する。ただし、本発明はこれら実施形態に限定されるものではない。なお、以下に示す図面では分かりやすさのため部材の大きさや比率を変更または誇張して記載することがある。また、見やすさのため繰り返しとなる符号は省略することがある。
初めに、光学部材10について説明する。光学部材10は後述するロール版20により製造される光学部材であり、シート状の光学部材である。ここで光学部材としては例えば導光板、プリズムシート、レンズシート、回折構造体、モスアイ構造体等、表面に形成された凹凸により光を制御する光学部材全般を対象することができる。
図1(a)は光学シート10の平面図、図1(b)は図1(a)にIa−Iaで示した矢視断面図である。
光学部材10は光制御層12を有して構成されている。
光制御層12は光透過性を有するシート状の部材であり、少なくとも一方の面に凹凸が形成された凹凸部13を有している。
本例では凹凸部13は、図1(a)からわかるように、区画された複数の単位凹凸部14、15、16、17、18が配列されている。各単位凹凸部14、15、16、17、18では、それぞれの態様で凹凸が繰り返されている。例えば、図1(a)、図1(b)に示したように、単位凹凸部16では矩形断面の凸部16aと矩形断面の凹部16bとが長手方向に繰り返され、この断面を維持して幅方向に平面視で一次元的に延びている。この凹凸は微細に形成されており、凹部の深さは0.5μm以上3.0μm以下に形成されている。凹部の底幅及び凸部の頂部幅は1μm以上30μm以下の範囲とされる。例えば凸形状の場合には凹部の底幅は5μm以上30μm以下、凸部の頂部幅は1μm以上10μm以下に形成され、凹形状の場合には凸部の頂部幅が5μm以上30μm以下、凹部の底幅は1μm以上10μm以下に形成される。
他の単位凹凸部14、15、17、18もその断面において矩形の凸部と矩形の凹部とが繰り返されているが、それぞれ次のような特徴を有している。
単位凹凸部14は、単位凹凸部16よりも凹凸のピッチが小さいとともに、幅方向の長さが半分程度である。そして単位凹凸部14は光制御層12の幅方向の一方側に寄せられて配置されている例である。
単位凹凸部15は、単位凹凸部14と同様の形態を有しているが、光制御層12の幅方向他方側に、単位凹凸部14に所定の間隔を有して並べて配置されている例である。
単位凹凸部17は幅方向に対して斜めになるように延びており、幅方向一方と他方とてその傾きが異なる例である。すなわち、単位凹凸部16が平面視で一方向(一次元的)に単調に延びる形態であることに対し、単位凹凸部17は平面視で二次元的に延びる形態の凹凸となっている。
単位凹凸部18は幅方向に平面視で一次元的に延び、長手方向に凹凸が繰り返される凹凸であるが、凹凸のピッチが変化する例である。
これら単位凹凸部14〜18の凹凸の形態は例示であるが、凹凸部にはこの他にも、複数の錐状の凸部が縦横に配列されるような平面視で二次元的な形状を有する凹凸等も考えられる。これにより凹凸部で屈折や反射する光を制御して所望の態様で出光させることができる。
光制御層12を構成する材料としては種々の材料を使用することができる。ただし、光学部材用の材料として広く使用され、優れた機械的特性、光学特性、安定性および加工性等を有するとともに安価に入手可能な材料を用いることができる。これには例えば脂環式構造を有する重合体樹脂、メタクリル樹脂、ポリカーボネート、ポリスチレン、アクリロニトリル−スチレン共重合体、メタクリル酸メチル−スチレン共重合体、ABS樹脂、ポリエーテルスルホン等の熱可塑性樹脂や、エポキシアクリレートやウレタンアクリレート系の反応性樹脂(電離放射線硬化型樹脂等)等を挙げることができる。
次に以上のような光学部材10を形成する際に用いる賦形シート40を作製するためのロール版20について説明する。図2はロール版20の外観を概略的に示した斜視図である。また、図3(a)はロール版20に備えられる型シート22の平面図、図3(b)はその一部を拡大して表した図である。
図2からわかるように、ロール版20は、ロール21及び型シート22を有して構成されている。
ロール21は円柱状のロール本体21a及びロール本体21aの端面から軸線に沿って突出する回転軸21bを有している。これによりロール21は、回転軸21bが支持されて、該回転軸21bを中心に回動するように構成されている。
ロール本体21aは、剛性を確保するための部位で、ロール版20の大部分を構成している。かかる観点からロール本体21aは、機械構造用の鉄系材料が用いられることが好ましい。また、必要な剛性を確保しつつも軽量化をする観点から、ロール本体21aは両側に底を有する円筒状であってもよい。また、ロール本体21aの表面の温度調節ができるようにロール本体内部に冷水や温水、蒸気または高温の油を循環できるように2重構造にするのが一般的である。
型シート22は、賦形シート40に対して光学部材10の凹凸部13に対応する凹凸形状を転写する型として機能するシート状の部材である。従って、型シート22の表面にもこれに対応した凹凸が形成されている。図3(a)には型シート22をロール本体21aから外して展開した平面図を示した。また、図3(b)には図3(a)にVbで示した部分を拡大して表した。
型シート22にはこれら図からわかるように、その表面に縦横に複数の単位型部22aが配列され、これらは継ぎ目なく並べられている。図には隣り合う単位型部22aの境界を点線で表したが、これは理解しやすくするためのものであり、継ぎ目ではない。すなわち型シート22は接合部を有することなく一体である一枚のシートである。従って隣あう単位型部22a間には段差や意図しない位置ずれが生じることがなく、単位型部22aの正確な配置ができる。そして型シート22の大きさはその一辺が800mm以上1500mm以下であることが好ましい。これにより、1つの型シートに多くの単位型部22aを含ませることができるとともに、ロール21の外周を一周させることができる。
各単位型部22aには、図3(b)からわかるように、光学部材10の凹凸部13に対応した凹凸が形成されている。
このような型シート22は電鋳板により構成することができる。詳しくは後でその作製方法を説明するが、電解ニッケルメッキ層上に無電解ニッケルメッキ層が形成された積層体により構成されており、無電解ニッケルメッキ層の表面に凹凸が形成されている。ここではニッケルによる電解メッキ層及び無電解メッキ層で説明するが、他の材料によるものであってもよい。
なお、型シート22には位置決めのためのアライメントを設けておくことが好ましい。このアライメントも転写されて、光学部材10の打ち抜きの際の位置決めの基準となる。
そしてロール21の外周面に型シート22を巻きつけて固定することによりロール版20となる。上記のように型シート22には継ぎ目が存在しないので、ロール版20とされたときには図2に示したように継ぎ目は端部同士が突き合わされた突き合わせ部23が唯一の継ぎ目となる。
次に型シート22の作製方法について説明する。図4(a)〜図5(c)に作製の順を追った図を表した。
初めに、図4(a)に示したように、ガラス、金属、セラミック、合成石英、プラスチック等により構成された、必要な強度、面精度を有する基板30上にレジスト層32を薄膜状に形成し、これを型シート作製用積層体33とする。レジストとしては、公知のものを用いることができるが、例えばナガセケムテックス株式会社製のGRX−M220やGRX−M100が挙げられる。
次に図4(b)に示したように、レジスト層32に対して光学部材10の凹凸部13に基づいたパターンで露光する。この露光方法は特に限定されないが、本形態ではレーザービームLの走査により露光を行っている。この他電子線の走査をしてもよい。この露光によりレジスト層32を構成するレジスト樹脂が硬化した易溶化部分32aと、未露光部分32bとが形成される。そして図4(c)のように現像液を噴霧して行なうスプレー現像等によって、現像して易溶化部分32aを除去し、未露光部分32bによりパターン化されたレジストパターン32cを得る。そして当該基板30及び該基板30の一方の面に形成されたレジストパターン32cから型シート22を作製する。
なお、ここまでの説明では露光された部分が除去される、いわゆるポジレジストによる過程を説明したが、レジスト材料を変更することにより、露光された部分が残り、露光されなかった部分が除去されるネガレジストによる過程が採用されてもよい。
ここまでの過程は、いわゆるラージサイズフォトマスク(LSPM)による微細形状形成により行われる。
以上の説明からわかるように本発明ではレジストに形成されたパターンを直接、型シート作製に用いることから、当該パターンを得る際に、従来のフォトマスクの手法のパターン形成で行われていたエッチングを必要としない。これにより本発明ではエッチング特有の意図しない方向への材料の除去によるパターン形状の精度低下を防止できる。また、エッチングの工程も要しない。従って、精度よく、工程を短縮して簡易に型シートを作製することができる。
なお、本形態では基板30に直接レジスト層32を積層する例を説明したが、基板とレジスト層との間にレジスト層の密着性を高める中間層を配置してもよい。例えば基板をガラス(クォーツ)とした場合に、レジスト層との間にクロム層を設ける形態であれば従来のエッチングを含むフォトレジスト用の積層体をそのまま適用でき、密着性も高いので汎用性が高い。
次に得られた基板30及びここに積層されたレジストパターン32c(型シート作製用積層体33)を用いて電鋳により型ロール22を作製する。
初めに図5(a)に示したように、基板30のうち、レジストパターン32cが形成された側に無電解ニッケルメッキ層35を電鋳により形成する。このとき無電解ニッケルメッキ層35は、10nm以上1μm以下の厚みがよい。
次いで図5(b)に示したように、無電解ニッケルメッキ層35の上に電解ニッケルメッキ層36を電鋳により形成する。このとき電解ニッケルメッキ層36により、無電解ニッケルメッキ層35と電解ニッケルメッキ層36との総厚みが0.3mm程度となるように電解ニッケルメッキ層36を形成する。
そして、図5(c)に示したように型シート作製用積層体33を剥離することにより型シート22を得る。
以上示した型シート22の作製方法によれば、上記したようにエッチングを要しないので、エッチング特有の意図しない方向への材料の除去を防止することができ、凹凸形状を精度よく作製することができる。また、エッチングをする工程を設ける必要がないので工程の短縮、及びコストの削減も可能である。
また単位型部22aを縦横に複数配列して形成しても、単位型部22a間に継ぎ目が形成されず、段差やずれが発生しない型シート22を容易に確実に作製することができる。
以上のように作製された型シート22は、図6に示したようにロール本体21aに巻き付けられ、ロール版20(図2参照)とされる。
次に、上記ロール版20を用いて、光学部材10を製造する方法を説明する。図7〜図9に説明のための図を示した。本形態では、押し出し法により光学部材10を製作するに先立ち、凹凸部13の形状を賦形できる賦形シート40を作製する。図7に賦形シート40の形態を概念的に斜視図で示した。
賦形シート40は上記のように光学部材10の凹凸部13の形状を賦形できる帯状のシートである。賦形シート40は透光性を有する基材41、及び基材41の一方の面に積層された型部42を有して構成されている。そして型部42には、光学部材10の1つの凹凸部13を形成するための単位型部42aが複数縦横に配列されている。
このような賦形シート40は次のように作製される。図8に説明のための図を示した。図8に示したように、準備されたロール版20と金型ニップロール45との間に、図8に矢印VIIIで示したように基材41を送り出す。そして基材41上に硬化する前の紫外線硬化樹脂組成物42’をノズル46から供給する。これにより基材41とロール版20との間に硬化前の紫外線硬化樹脂42’が充填される。これにより硬化前の紫外線硬化樹脂組成物42’がロール版20の型シート22に形成された凹凸に充填される。
このように充填された状態で、紫外線照射装置47から紫外線が照射され、紫外線硬化樹脂組成物が硬化して型部42となる。その後、剥離ロール48により離型して賦形シート40を得る。得られた賦形シート40は巻き取られてロール状とされる。
次に、賦形シート40を用いて押し出し法により光学部材10を得る。図9に説明のための図を示した。
第一ロール51と、該第一ロール51に対して所定の間隙を有して配置される第二ロール52との間に図9に矢印IXで示したように賦形シート40を順次送り出し、賦形シート40と第二ロール52との間に溶融した熱可塑性樹脂組成物55をノズル56から流入させる。ここで賦形シート40の送り方向は帯状である賦形シート40の長手方向である。また、流入される熱可塑性樹脂組成物55は第二ロール52及び賦形シート40の幅方向大きさと同程度の大きさ(幅)を有する帯状であることが好ましい。これにより幅方向に均一な材料供給が可能である。
供給された熱可塑性樹脂は第二ロール52と賦形シート40との間に所定の圧力を具備しつつ流入する。これにより熱可塑性樹脂が賦形シート40の型部42の表面に形成された凹凸に充填され、熱可塑性樹脂組成物55がこの凹凸に沿った形状となる。そして第三ロール53、及び第四ロール54を経て冷却され、最終的に熱可塑性樹脂組成物55が硬化して形状が固定される。これにより光学部材10が縦横に継ぎ目なく配列された光学部材用帯状シート10’を得る。そして剥離ロール57により光学部材用帯状シート10’と賦形シート40とが分離される。
この状態では光学部材用帯状シート10’にはアライメントも含まれていることが好ましい。
最終的に光学部材用帯状シート10’の打ち抜きや切断により光学部材10を得ることができる。その際にはアライメントが位置決めの基準となる。
このようにして作製された光学部材10はその凹凸自体の精度、及び位置精度が高く、所望の光制御を精度良く行うことができる。
図10には他の形態の光学部材110を示した。図10は図1(b)と同じ視点による図である。光学部材110は、上記説明した光制御層12が基材11の一方の面に積層された2層の構造となっている。光制御層12の構造は上記の通りである。
基材11は、該基材11の一方の面に光制御層12を形成するための基材となる光透過性を有するシート状の部材である。このような基材11を構成する材料としては、ポリカーボネート(PC)樹脂、ポリエチレンテレフタレート(PET)樹脂、メタクリル酸メチル・ブタジエン・スチレン(MBS)樹脂、メタクリル酸メチル・スチレン(MS)樹脂、アクリル・スチレン(AS)樹脂、及びアクリロニトリル・ブタジエン・スチレン樹脂(ABS)等が挙げられる。
光学部材110は次のように製造することができる。すなわち、上記したロール版20と同じ要領により、直接光学部材110の凹凸部13を形成できる凹凸を有するロール版120を作製する。そして当該ロール版120を用いて図11に示したように基材11上に光制御層12を積層する。
すなわち、図11に示したように、準備されたロール版120と金型ニップロール45との間に、図11に矢印XIで示したように基材11を送り出す。そして基材11上に硬化する前の紫外線硬化樹脂組成物12’をノズル46から供給する。これにより基材11とロール版120との間に硬化前の紫外線硬化樹脂12’が充填される。これにより硬化前の紫外線硬化樹脂組成物12’がロール版120に形成された凹凸に充填される。
このように充填された状態で、紫外線照射装置47から紫外線が照射され、紫外線硬化樹脂組成物が硬化して光制御層12となる。その後、剥離ロール48により離型する。これにより光学部材110が縦横に継ぎ目なく配列された光学部材用帯状シート110’を得る。
この状態では光学部材用帯状シート110’にはアライメントも含まれていることが好ましい。
最終的に光学部材用帯状シート110’の打ち抜きや切断により光学部材110を得ることができる。その際にはアライメントが位置決めの基準となる。
10 光学部材
11 基材
12 光制御層
13 凹凸部
20 ロール版
21 ロール
22 型シート
30 基板
32 レジスト層
33 型シート作製用積層体
35 無電解ニッケルメッキ層(無電解メッキ層)
36 電解ニッケルメッキ層(電解メッキ層)

Claims (4)

  1. ロールに型シートを巻き付けて光学部材用のロール版を製造する方法であって、
    前記型シートの表面には、光学部材が具備する凹凸に対応する凹凸が設けられており、
    前記型シートの作製は、
    基板、及びレジスト層を有する型シート作製用積層体の前記レジスト層に対して前記凹凸のパターンに基づいて露光し、該露光した部位又は露光しなかった部位におけるレジスト層を除去する工程と、
    前記型シート作製用積層体をエッチングすることなく前記レジスト層側の面に無電解メッキ層を電鋳により積層する工程と、
    前記無電解メッキ層に電解メッキ層を積層させる工程と、
    前記型シート作製用積層体を除去する工程と、を含む、光学部材用ロール版の製造方法。
  2. 前記型シート作製用積層体には、前記基板と前記レジスト層との間に中間層が設けられている請求項1に記載の光学部材用ロール版の製造方法。
  3. 前記型シートの表面には、1つの前記光学部材が具備する凹凸を形成できる凹凸を単位型部としたとき、該単位型部が前記表面に沿って複数並べられて配列されている請求項1又は2に記載の光学部材用ロール版の製造方法。
  4. 前記単位型部の前記凹凸は、平面視で二次元的な形状の凹凸又はパターンが異なる2種類以上の凹凸の少なくとも一方が含まれる形状を有している請求項3に記載の光学部材用ロール版の製造方法。
JP2014074205A 2014-03-31 2014-03-31 光学部材用ロール版の製造方法 Pending JP2015196276A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2014074205A JP2015196276A (ja) 2014-03-31 2014-03-31 光学部材用ロール版の製造方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2014074205A JP2015196276A (ja) 2014-03-31 2014-03-31 光学部材用ロール版の製造方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2015196276A true JP2015196276A (ja) 2015-11-09

Family

ID=54546311

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2014074205A Pending JP2015196276A (ja) 2014-03-31 2014-03-31 光学部材用ロール版の製造方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2015196276A (ja)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5670198B2 (ja) 光学要素およびウェハスケールアセンブリの製造方法
TW200416195A (en) Manufacturing structured elements
TWI532583B (zh) 轉印設備及導光膜片的製造方法
JP2006171753A (ja) 微細加工技術を用いたマイクロレンズアレイシート及びその製造方法
KR20170034890A (ko) 미세구조체의 제조방법
JP4604696B2 (ja) フィルム導光板とその製造方法
JP4712857B2 (ja) 傾斜構造体の製造方法、レンズ金型の製造方法およびレンズの製造方法
KR101655035B1 (ko) 포토마스크 및 포토마스크의 제조 방법
US20080061028A1 (en) Method for producing optical member and method for producing molding die for optical member
JP2016065967A (ja) 光学部材用版の製造方法、光学部材用ロール版の製造方法
JP4855768B2 (ja) 微細パターン成形用金型の製造方法
JP2013000961A (ja) ロール金型の製造方法と光学フィルムの製造方法、並びに、ロール金型と光学フィルム
JP2015196276A (ja) 光学部材用ロール版の製造方法
JP2005153271A (ja) 光学部品用金型の製造方法
JP2015196279A (ja) 光学部材用ロール版の製造方法
JP4850760B2 (ja) マイクロレンズフィルム及びそれを用いたバックライトユニット
JP5509566B2 (ja) 光学部品、および液晶ディスプレイユニット
JP2016064563A (ja) 光学部材用版の製造方法、光学部材用原版
JP2016068266A (ja) 光学部材用版の製造方法、光学部材用ロール版の製造方法、光学部材
TWI819231B (zh) 壓紋膜、單張膜、轉寫物、及壓紋膜之製造方法
JP2016064561A (ja) 光学部材用版の製造方法、及び光学部材用ロール版の製造方法
JP5353150B2 (ja) スタンパー
JP2007229996A (ja) マイクロレンズシートの製造方法およびマイクロレンズシート原版の製造方法
JP2016155325A (ja) マスター版、マスター版の製造方法、スタンパー版の製造方法
JP2005300715A (ja) 三次元構造体の製造方法