JP2016057534A - 圧縮支援方法、圧縮支援プログラム、および圧縮支援装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】OPC後のマスクパターンを少ないデータ量で規定すること。【解決手段】支援装置100は、設計データを取得する。支援装置100は、設計データに基づいて、複数の配線のうち、配線間で光近接効果の影響範囲に存在する配線同士が同一グループに含まれるように、複数の配線を複数のグループに分類する。支援装置100は、分類した複数のグループの中から、グループ間でグループに属する複数の配線のそれぞれの配線の形状と配線間の位置関係とが一致するグループの組み合わせを特定する。これにより、支援装置100は、OPCが行われ、それぞれのグループに属する複数の配線のそれぞれの配線の形状が変更されても、グループ間でグループに属する複数の配線のそれぞれの配線のOPC後の配線の形状と配線間の位置関係とが一致する組み合わせを特定することができる。【選択図】図1
Description
本発明は、圧縮支援方法、圧縮支援プログラム、および圧縮支援装置に関する。
従来、設計対象回路の基板に転写される複数のパターンを含むマスクパターンを規定した設計データの検証工程において、パターンの間隔やパターンの幅などについてチェックするDRC(Design Rule Check)が行われる。また、設計データの検証工程において、設計対象回路内で光近接効果(Optical Proximity Effect)の影響がある箇所をチェックしてマスクパターンを補正する光近接効果補正(Optical Proximity Correction(以下、省略して「OPC」とする。))が行われる。また、従来、例えば、レイアウトした各機能ブロックの露光データの周囲にデータ抽出領域を設け、データ抽出領域によって抽出されたデータを、近接効果補正のための参照データとして用いる技術が公知である。
しかしながら、上述した従来技術では、マスクパターンに対してOPCを行って補正したOPC後のマスクパターンを規定するためのデータ量が増大してしまうことがある。このため、例えば、OPC後のマスクパターンを規定するデータを一定期間保存しようとすると、大容量の記憶装置を用意することになり設備コストが増大してしまう。また、例えば、OPC後のマスクパターンを規定するデータを、記憶装置に対して読み書きしたり、外部装置に対して送受信する際にかかる時間が増大してしまう。
1つの側面では、本発明は、OPC後のマスクパターンを少ないデータ量で規定することができる圧縮支援方法、圧縮支援プログラム、および圧縮支援装置を提供することを目的とする。
本発明の一側面によれば、基板上に転写される複数の図形を示す設計データに基づいて、前記複数の図形のうち、図形間で光近接効果の影響範囲に存在する図形同士が同一グループに含まれるように、前記複数の図形を複数のグループに分類し、分類した前記複数のグループの中から、グループ間でグループに属する複数の図形のそれぞれの図形の形状と図形間の位置関係とが一致するグループの組み合わせを特定する圧縮支援方法、圧縮支援プログラム、および圧縮支援装置が提案される。
本発明の一態様によれば、OPC後のマスクパターンを少ないデータ量で規定することができるという効果を奏する。
以下に、図面を参照して、本発明にかかる圧縮支援方法、圧縮支援プログラム、および圧縮支援装置の実施の形態を詳細に説明する。
(圧縮支援方法の一例)
図1は、本実施の形態にかかる圧縮支援方法の一例を示す説明図である。ここで、設計データの検証工程において、設計対象回路内で光近接効果の影響がある箇所をチェックしてマスクパターンを補正するOPCが行われることがある。設計データは、設計対象回路の基板のいずれかの層に転写される複数のパターンを含むマスクパターンを規定したマスクレイアウトデータである。基板の層は、例えば、配線層、アクティブ層、ビア層、メタル層などである。パターンは、基板のいずれかの層に転写される図形である。図形は、例えば、配線層に転写される場合は配線の図形である。ここで、配線とは、配線層に形成される配線の他、例えばトランジスタのゲート電極、パッド電極、配線と別の配線、アクティブ層、ゲート電極、パッド電極、アクティブ層等とを接続するビア等を含む。また、図形は、例えば、アクティブ層に転写される場合は素子の図形である。
図1は、本実施の形態にかかる圧縮支援方法の一例を示す説明図である。ここで、設計データの検証工程において、設計対象回路内で光近接効果の影響がある箇所をチェックしてマスクパターンを補正するOPCが行われることがある。設計データは、設計対象回路の基板のいずれかの層に転写される複数のパターンを含むマスクパターンを規定したマスクレイアウトデータである。基板の層は、例えば、配線層、アクティブ層、ビア層、メタル層などである。パターンは、基板のいずれかの層に転写される図形である。図形は、例えば、配線層に転写される場合は配線の図形である。ここで、配線とは、配線層に形成される配線の他、例えばトランジスタのゲート電極、パッド電極、配線と別の配線、アクティブ層、ゲート電極、パッド電極、アクティブ層等とを接続するビア等を含む。また、図形は、例えば、アクティブ層に転写される場合は素子の図形である。
しかしながら、OPCが行われることにより、パターンの形状が複雑化してパターンの頂点の個数が増加したり、アシストパターンやダミーパターンが挿入されて、OPC後のマスクパターンを規定するためのデータ量が膨大になってしまう。アシストパターンは、解像度を向上させ光近接効果を抑制するために挿入される、電気信号の伝達には関係しないパターンである。ダミーパターンは、基板上の平坦性を向上させるために挿入される、電気信号の伝達には関係しないパターンである。具体的には、OPC後のマスクパターンを規定するためのデータ量が数百GBになってしまうこともある。
このため、OPC後のマスクパターンを規定したOPC後の設計データを記憶するために大容量の記憶装置を用意することになり、設備コストが増大してしまうことがある。また、OPC後のマスクパターンを規定したOPC後の設計データを、記憶装置から読み出したり、記憶装置に書き込んだり、外部装置から受信したり、外部装置に送信する際にかかる時間が増大してしまうことがある。以下の説明では、OPC後の設計データを「OPCデータ」と表記する場合がある。
そこで、本実施の形態では、OPC後のマスクパターンを規定するためのデータ量の低減を支援することができる圧縮支援方法について説明する。また、本実施の形態では、配線層のマスクパターンを例に挙げて、圧縮支援方法について説明する。
図1の例では、圧縮支援装置100は、圧縮支援プログラムを実行し、圧縮支援方法を実現するコンピュータである。以下の説明では、圧縮支援装置100を「支援装置100」と表記する場合がある。
図1の例では、支援装置100は、設計データを取得する。設計データは、基板のいずれかの層に転写される複数のパターンを含むマスクパターンを規定したマスクレイアウトデータである。基板の層は、例えば、配線層、アクティブ層、ビア層、メタル層などである。パターンは、配線層に転写される場合は、配線を示す多角形である。
以下の説明では、設計データは、基板の配線層に転写される複数の配線を含むマスクパターンを規定するデータであるとする。設計データは、例えば、複数の配線のそれぞれの配線の形状と配線の位置とを規定する。設計データは、例えば、GDSIIの形式で記述される。
設計データは、複数の配線を含むマスクパターンを階層構造にして規定してもよい。設計データは、例えば、最上位の階層110を規定し、最上位の階層110に配置される下位の階層120,130,140を規定する。下位の階層120は、最上位の階層110において4箇所に配置される。下位の階層130は、最上位の階層110において1箇所に配置される。下位の階層140は、最上位の階層110において1箇所に配置される。
設計データは、同一の階層が、複数の位置に配置される場合には、当該階層に属する複数の配線のそれぞれの配線の形状と位置とを1回規定し、当該階層が配置された複数の位置のそれぞれの位置を規定する。これにより、基板上の配線層に転写される全ての配線のそれぞれの配線の形状と位置とを用いてマスクパターンを規定する場合に比べて、マスクパターンを規定するためのデータ量は低減される。
図1の例では、(1)支援装置100は、設計データに基づいて、複数の配線のうち、配線間で光近接効果の影響範囲に存在する配線同士が同一グループに含まれるように、複数の配線を複数のグループに分類する。支援装置100は、例えば、配線間で光近接効果の影響範囲に存在する配線121,122,131を、グループ151に含まれるように分類する。支援装置100は、同様に、配線123,124,132をグループ152に含まれるように分類する。支援装置100は、同様に、配線125,126,133,141をグループ153に含まれるように分類する。支援装置100は、同様に、配線127,128,134,142をグループ154に含まれるように分類する。
(2)支援装置100は、分類した複数のグループの中から、グループ間でグループに属する複数の配線のそれぞれの配線の形状と配線間の位置関係とが一致するグループの組み合わせを特定する。支援装置100は、例えば、グループ151,152の組み合わせを特定する。また、支援装置100は、グループ153,154の組み合わせを特定する。組み合わせは、3つ以上のグループを含んでもよい。
これにより、支援装置100は、OPC後にそれぞれのグループに属する複数の配線のそれぞれの配線の形状が変更されても、グループ間でグループに属する複数の配線のそれぞれの配線の形状と配線間の位置関係とが一致する組み合わせを特定することができる。換言すれば、支援装置100は、OPCが行われた後も、同一の階層として規定することができるグループの組み合わせを特定することができる。
支援装置100は、例えば、OPCが行われた後も、同一の階層160として規定することができるグループ151,152の組み合わせを特定することができる。また、支援装置100は、OPCが行われた後も、同一の階層170として規定することができるグループ153,154の組み合わせを特定することができる。
結果として、支援装置100は、階層160,170のそれぞれの階層に属する複数の配線の形状と位置とを1回規定した配線パターン情報と、それぞれの階層が配置された位置を規定した階層情報とを生成すればよい。
そして、支援装置100は、階層ごとに、階層情報と、配線パターン情報とを対応付けた圧縮データを生成して、OPC後のマスクパターンを規定することができる。このため、支援装置100は、OPCが行われた後の全ての配線のそれぞれの配線の形状と位置とを用いてOPC後のマスクパターンを規定する場合に比べて、OPC後のマスクパターンを規定するためのデータ量を低減することができる。
ここでは、支援装置100が、基板の配線層に転写されるマスクパターンにOPCを行って補正したOPC後のマスクパターンを規定するためのデータ量を低減する場合について説明したが、これに限らない。例えば、支援装置100は、基板のアクティブ層に転写されるマスクパターンにOPCを行って補正したOPC後のマスクパターンを規定するためのデータ量を低減してもよい。
ここで、従来の情報処理装置が、元々の設計データに規定された階層120,130,140を流用して、OPC後のマスクパターンを規定するためのデータ量を低減しようとする場合がある。しかしながら、この場合、元々の設計データでは同一の階層として扱うことができる場合であっても、OPCが行われることにより配線の形状が変化することがあるため、OPCデータでは同一の階層として扱うことができないことがある。例えば、元々の設計データでは、階層120として扱われた配線121,122のグループと配線125,126のグループとは、OPCデータでは配線の形状が異なるグループになり同一の階層として扱うことができない。結果として、従来の情報処理装置は、OPC後のマスクパターンを規定するためのデータ量を低減することができないことがある。一方で、支援装置100によれば、OPCが行われた後も、同一の階層として規定することができるグループの組み合わせを特定することができ、OPC後のマスクパターンを規定するためのデータ量を低減することができる。
また、従来の情報処理装置が、階層間で光近接効果の影響範囲に存在する階層同士を結合し新たな階層として扱うことにより、OPCデータでも流用することができる階層を特定する場合がある。しかしながら、この場合、階層同士が密に配置されていたり、重なり合って配置されていると、階層同士を結合すると一つの大きな階層になってしまうことがある。例えば、階層120,130,140を結合すると一つの大きな階層になってしまい、全ての配線のそれぞれの配線の形状と位置とを規定することになってしまう。結果として、従来の情報処理装置は、OPC後のマスクパターンを規定するためのデータ量を低減することができないことがある。一方で、支援装置100によれば、OPCが行われた後も、同一の階層として規定することができるグループの組み合わせを特定することができ、OPC後のマスクパターンを規定するためのデータ量を低減することができる。
(支援装置100のハードウェア)
次に、図2を用いて、図1に示した支援装置100のハードウェアの一例について説明する。
次に、図2を用いて、図1に示した支援装置100のハードウェアの一例について説明する。
図2は、支援装置100のハードウェアの一例を示すブロック図である。図2において、支援装置100は、CPU(Central Processing Unit)201と、ROM(Read Only Memory)202と、RAM(Random Access Memory)203と、を有する。
また、支援装置100は、さらに、ディスクドライブ204と、ディスク205と、インターフェース(I/F:Interface)206と、入力装置207と、出力装置208とを有する。また、各構成部はバス200によってそれぞれ接続されている。
ここで、CPU201は、支援装置100の全体の制御を司る。ROM202は、ブートプログラム、本実施の形態にかかる圧縮支援プログラムなどの各種プログラムを記憶する。また、ROM202は、例えば、設計データ、光学データなどの各種データを記憶する。光学データは、配線間で光近接効果が影響を与える配線間の距離に基づく光近接効果の影響範囲を規定するデータである。
RAM203は、CPU201のワークエリアとして使用される。また、RAM203は、各種プログラムの実行により得られたデータなどの各種データを記憶する。ディスクドライブ204は、CPU201の制御にしたがってディスク205に対するデータのリード/ライトを制御する。ディスク205は、ディスクドライブ204の制御で書き込まれたデータを記憶する。ディスク205は、例えば、磁気ディスク、または光ディスクなどである。
I/F206は、通信回線を通じてネットワーク210に接続され、ネットワーク210を介して他の装置に接続される。そして、I/F206は、ネットワーク210と内部のインターフェースを司り、外部装置からのデータの入出力を制御する。I/F206には、例えば、モデムやLAN(Local Area Network)アダプタなどを採用することができる。
入力装置207は、キーボード、タッチパネルなど利用者の操作により、各種データの入力を行うインターフェースである。入力装置207は、マウス、スキャナなどであってもよい。出力装置208は、CPU201の指示により、データを出力するインターフェースである。出力装置208は、例えば、カーソル、アイコンあるいはツールボックスをはじめ、文書、画像、機能情報などのデータを表示するディスプレイである。出力装置208は、プリンタであってもよい。また、支援装置100は、光ディスクドライブ、光ディスクを有してもよい。
(支援装置100の機能的構成例)
次に、図3を用いて、支援装置100の機能的構成例について説明する。
次に、図3を用いて、支援装置100の機能的構成例について説明する。
図3は、支援装置100の機能的構成例を示すブロック図である。支援装置100は、制御部となる機能として、取得部301と、分類部302と、特定部303と、生成部304と、出力部305とを含む。
取得部301は、設計データを取得する。設計データは、設計対象回路の基板のいずれかの層に転写される複数のパターンを含むマスクパターンを規定したマスクレイアウトデータである。基板の層は、例えば、配線層、アクティブ層、ビア層、メタル層などである。パターンは、基板のいずれかの層に転写される図形である。図形は、例えば、配線層に転写される場合は配線を示す多角形である。ここで、配線とは、配線層に形成される配線の他、例えばトランジスタのゲート電極、パッド電極、配線と別の配線、アクティブ層、ゲート電極、パッド電極、アクティブ層等とを接続するビア等を含んでもよい。また、図形は、例えば、アクティブ層に転写される場合は素子を形成するアクティブ領域の図形である。
設計データは、例えば、配線層のマスクパターンを規定する場合には、基板の配線層に転写される複数の配線のそれぞれの配線の形状と位置とを規定する。設計データは、具体的には、階層情報と配線パターン情報とを有する。階層情報は、階層識別情報と、階層が配置される位置を規定する階層座標情報とを有する。配線パターン情報は、階層識別情報と、複数の配線のそれぞれの配線を規定する階層内の配線識別情報と、複数の配線のそれぞれの配線の形状と位置を規定する階層内の配線座標情報とを有する。階層内の配線座標情報は、階層に属する複数の配線のいずれかの配線の複数の頂点のそれぞれの頂点を示す。以下の説明では、階層内の配線座標情報が示す、それぞれの頂点の座標を「配線座標」と表記する場合がある。設計データのデータ構造の一例については、図4に後述する。
取得部301は、例えば、入力装置207を用いた利用者の操作入力により入力され、ROM202、RAM203、ディスク205などの記憶装置に記憶された設計データを取得する。また、取得部301は、ROM202、RAM203、ディスク205などの記憶装置に、予め記憶された設計データを取得してもよい。また、取得部301は、I/F206により、外部装置から設計データを受信してもよい。これにより、取得部301は、分類部302による分類対象になる複数の配線が規定された設計データを取得することができる。取得した設計データは、例えば、RAM203、ディスク205などの記憶領域に記憶される。
また、取得部301は、OPCデータを取得してもよい。OPCデータは、設計データに規定されたマスクパターンにOPCを行って得られた補正後のマスクパターンを規定したデータである。OPCデータは、基板の配線層に転写される、補正後の複数の配線のそれぞれの配線の形状と位置とを示すデータである。OPCデータは、基板の配線層に転写されるOPC後の配線を規定するOPC後の配線識別情報と、基板の配線層に転写されるOPC後の配線の形状と位置とを規定するOPC後の配線座標情報とを有する。OPC後の配線座標情報は、OPC後の複数の配線のいずれかの配線の複数の頂点のそれぞれの頂点の座標を示す。以下の説明では、OPC後の配線座標情報が示す、それぞれの頂点の座標を「OPC後の配線座標」と表記する場合がある。OPCデータのデータ構造の一例については、図8に後述する。
取得部301は、例えば、入力装置207を用いた利用者の操作入力により入力され、ROM202、RAM203、ディスク205などの記憶装置に記憶されたOPCデータを取得する。また、取得部301は、ROM202、RAM203、ディスク205などの記憶装置に、予め記憶されたOPCデータを取得してもよい。また、取得部301は、I/F206により、外部装置からOPCデータを受信してもよい。また、取得部301は、生成部304が設計データに基づいて生成したOPCデータを取得してもよい。これにより、取得部301は、生成部304による圧縮データの生成に用いられるOPCデータを取得することができる。
取得したOPCデータは、例えば、RAM203、ディスク205などの記憶領域に記憶される。取得部301は、例えば、図2に示したROM202、RAM203、ディスク205などの記憶装置に記憶されたプログラムをCPU201に実行させることにより、または、I/F206により、その機能を実現する。
分類部302は、設計データに基づいて、複数のパターンのうち、パターン間で光近接効果の影響範囲に存在するパターン同士が同一グループに含まれるように、複数のパターンを複数のグループに分類する。分類部302は、例えば、複数の配線のうち、配線間で光近接効果の影響範囲に存在する配線同士が同一グループに含まれるように、複数の配線を複数のグループに分類する。
光近接効果の影響範囲は、隣接するパターン間で光近接効果の影響が与えられるパターン間の距離に基づいて設定される。光近接効果の影響範囲は、例えば、光近接効果によってパターン間にホットスポットが発生してしまうパターン間の距離を、所定のマージンの分だけ拡大した距離の分だけ、パターンを一回り大きくした範囲である。
分類部302は、具体的には、複数の配線のそれぞれの配線を光近接効果の影響範囲に応じて拡大した場合に配線間で重複する配線同士が同一グループに含まれるように、複数の配線を複数のグループに分類する。
分類部302は、より具体的には、複数の配線のそれぞれの配線の形状を、光近接効果の影響範囲の分だけ拡大した形状を特定する。次に、分類部302は、それぞれの配線の形状を拡大した形状について論理和演算を行い、拡大した形状間で重複する形状同士を結合した形状を特定する。そして、分類部302は、結合した形状を、光近接効果の影響範囲の分だけ縮小した形状を特定する。
次に、分類部302は、縮小した形状に包含される配線を、一つのグループとして分類する。そして、分類部302は、分類したグループに対応する領域になる、縮小した形状を示す分類データを生成する。分類データは、分類した複数のグループのそれぞれのグループに対応し、それぞれのグループに属する複数の配線を含む領域を規定するグループ情報を有する。グループ情報は、領域座標情報と、外周座標情報とを有する。領域座標情報は、グループに対応する領域のいずれかの頂点の座標を示す。外周座標情報は、グループに対応する領域のそれぞれの頂点の座標を示す。以下の説明では、領域座標情報が示す、いずれかの頂点の座標を「領域座標」と表記する場合がある。また、外周座標情報が示す、それぞれの頂点の座標を「外周座標」と表記する場合がある。分類データのデータ構造の一例は、図6に後述する。
分類部302の処理内容の一例は、図5および図12に後述する。これにより、分類部302は、OPCを行った後も、一つの階層として扱うことができるグループの組み合わせを特定することができる。分類結果は、例えば、RAM203、ディスク205などの記憶領域に記憶される。分類部302は、例えば、図2に示したROM202、RAM203、ディスク205などの記憶装置に記憶されたプログラムをCPU201に実行させることにより、または、I/F206により、その機能を実現する。
特定部303は、分類した前記複数のグループの中から、グループ間でグループに属する複数のパターンのそれぞれのパターンの形状とパターン間の位置関係とが一致するグループの組み合わせを特定する。
特定部303は、例えば、分類した複数のグループの中からグループ間でグループに属する複数の配線の形状と配線間の位置関係とが一致するグループの組み合わせを特定する。特定部303は、具体的には、グループ間で、グループに属する複数の配線が含まれる領域の外枠の形状が一致するグループを特定する。そして、特定部303は、外枠の形状が一致するグループの中から、グループ間で、グループに属する複数の配線の形状と配線間の位置関係とが一致するグループを特定する。
特定部303は、より具体的には、分類データ内のそれぞれのグループ情報に含まれる外周座標情報が示す外周座標を、当該グループ情報に含まれる領域座標情報が示す領域座標を基準とした相対的な外周座標に変換する。次に、特定部303は、分類した複数のグループのうち、変換した相対的な外周座標が一致するグループの組み合わせを特定する。そして、特定部303は、分類データ内のそれぞれのグループ情報が示す領域内に存在する配線に対応する、設計データ内の階層内の配線座標情報が示す配線座標を、領域座標情報が示す領域座標を基準とした相対的な配線座標に変換する。次に、特定部303は、特定したグループの組み合わせのうち、変換した相対的な配線座標が一致するグループの組み合わせを特定する。これにより、特定部303は、OPC後も同一の階層として扱うことができるグループの組み合わせを特定することができる。
特定部303の処理内容の一例は、図7および図13に後述する。特定結果は、例えば、RAM203、ディスク205などの記憶領域に記憶される。特定部303は、例えば、図2に示したROM202、RAM203、ディスク205などの記憶装置に記憶されたプログラムをCPU201に実行させることにより、または、I/F206により、その機能を実現する。
生成部304は、特定した組み合わせに含まれるいずれかのグループに属する複数のパターンのそれぞれのパターンを光近接効果補正した補正後のパターンの形状と位置とを示す情報を生成する。次に、生成部304は、特定した組み合わせに含まれるそれぞれのグループの位置を示す情報を生成する。そして、生成部304は、生成した補正後のパターンの形状と位置とを示す情報と、それぞれのグループの位置を示す情報とを対応付けた情報を生成する。
生成部304は、例えば、OPCデータに基づいて、特定した組み合わせに含まれるいずれかのグループに属する複数の配線に対応する補正後の複数の配線の形状と位置とを示す情報を生成する。次に、生成部304は、OPCデータに基づいて、特定した組み合わせに含まれるそれぞれのグループに属する複数の配線に対応する補正後の複数の配線を有する領域が配置される基板上の位置を示す情報を生成する。そして、生成部304は、組み合わせごとに、生成した補正後の複数の配線の形状と位置とを示す情報と、生成した補正後の複数の配線を有する領域が配置される基板上の位置を示す情報とを対応付けた圧縮データを生成する。
生成部304は、具体的には、組み合わせごとに、OPC後の階層識別情報を設定する。次に、生成部304は、組み合わせごとに、当該組み合わせ内のそれぞれのグループに対応するグループ情報内の領域座標情報を、OPC後の階層座標情報として設定する。そして、生成部304は、OPC後の階層識別情報と、OPC後の階層座標情報とを対応付けたOPC後の階層情報を生成する。
次に、生成部304は、組み合わせごとに、OPCデータ内の配線パターン情報に含まれる配線座標情報が示す配線のうち、当該組み合わせ内のいずれかのグループのグループ情報が示す外周に包含され、または外周に重複する配線の組み合わせを特定する。そして、生成部304は、特定した配線の組み合わせ内のそれぞれの配線に、OPC後の階層内の配線識別情報を設定する。
次に、生成部304は、特定した配線の組み合わせ内のそれぞれの配線に対応する、OPCデータ内の配線パターン情報に含まれる配線座標情報が示す配線座標を、いずれかのグループの領域座標情報が示す座標を基準として、相対的な配線座標に変換する。そして、生成部304は、変換した相対的な配線座標を規定するOPC後の階層内の配線座標情報を生成する。
次に、生成部304は、OPC後の階層識別情報と、OPC後の階層内の配線識別情報と、OPC後の階層内の配線座標情報とを対応付けた、OPC後の配線パターン情報を生成する。そして、生成部304は、組み合わせごとに、OPC後の階層情報と、OPC後の配線パターン情報とを対応付けた圧縮データを生成する。これにより、生成部304は、OPCデータよりもデータ量が少なくなる、OPC後のマスクパターンを規定した圧縮データを生成することができる。
生成部304の処理内容の一例は、図9および図14に後述する。生成した圧縮データは、例えば、RAM203、ディスク205などの記憶領域に記憶される。生成部304は、例えば、図2に示したROM202、RAM203、ディスク205などの記憶装置に記憶されたプログラムをCPU201に実行させることにより、または、I/F206により、その機能を実現する。
出力部305は、圧縮データを出力する。出力部305は、例えば、圧縮データを、ディスプレイへ表示し、プリンタへ印刷出力し、I/F206により外部装置へ送信し、または、RAM203、ディスク205などの記憶領域に記憶する。これにより、支援装置100の利用者は、圧縮データを使用することができる。
また、支援装置100は、設計データを用いなくてもよく、OPCデータに基づいて圧縮データを生成してもよい。この場合、分類部302は、OPCデータに基づいて、複数のOPC後のパターンのうち、OPC後のパターン間で光近接効果の影響範囲に存在するパターン同士が同一グループに含まれるように、複数のOPC後のパターンを複数のグループに分類する。これにより、分類部302は、一つの階層として扱うことができるグループの組み合わせを特定することができる。
この場合、特定部303は、分類した前記複数のグループの中から、グループ間でグループに属する複数のOPC後のパターンのそれぞれのパターンの形状とパターン間の位置関係とが一致するグループの組み合わせを特定する。これにより、特定部303は、同一の階層として扱うことができるグループの組み合わせを特定することができる。
この場合、生成部304は、特定した組み合わせに含まれるいずれかのグループに属する複数のパターンのそれぞれのパターンの形状と位置とを示す情報を生成する。また、生成部304は、特定した組み合わせに含まれるそれぞれのグループの位置を示す情報を生成する。そして、生成部304は、生成したそれぞれのパターンの形状と位置とを示す情報と、それぞれのグループの位置を示す情報とを対応付けた情報を生成する。これにより、生成部304は、設計データを用いなくても、圧縮データを生成することができる。
(OPCデータから圧縮データを生成する実施例)
次に、図4〜図10を用いて、OPCデータから圧縮データを生成する実施例について説明する。
次に、図4〜図10を用いて、OPCデータから圧縮データを生成する実施例について説明する。
〈設計データ400のデータ構造〉
まず、図4を用いて、設計データ400のデータ構造の一例について説明する。
まず、図4を用いて、設計データ400のデータ構造の一例について説明する。
図4は、設計データ400のデータ構造の一例を示す説明図である。設計データ400は、例えば、図2に示したROM202、RAM203、ディスク205などの記憶領域によって実現される。
図4に示すように、設計データ400は、階層情報と、配線パターン情報とを有する。階層情報は、階層識別情報と、階層座標情報とを有する。階層識別情報は、階層の種類を示す情報である。階層座標情報は、階層の位置を示す情報である。
配線パターン情報は、階層識別情報と、階層内の配線識別情報と、階層内の配線座標情報とを有する。階層識別情報は、階層の種類を示す情報である。階層内の配線識別情報は、配線の種類を示す情報である。階層内の配線座標情報は、階層に属する配線の頂点の座標値を示す情報である。
〈複数のグループに分類する一例〉
次に、図5を用いて、図4に示した設計データ400に規定された複数の配線を複数のグループに分類する一例について説明する。
次に、図5を用いて、図4に示した設計データ400に規定された複数の配線を複数のグループに分類する一例について説明する。
図5は、複数のグループに分類する一例を示す説明図である。図5に示すように、支援装置100は、設計データ400に規定された複数の配線を複数のグループに分類して、図6に後述する複数のグループに対応する領域を規定した分類データを記憶する。
(11)支援装置100は、例えば、設計データ400に規定された複数の配線のそれぞれの配線511,512,513,514,515,516を特定する。
(12)支援装置100は、それぞれの配線511,512,513,514,515,516の形状をそれぞれの配線の光近接効果の影響範囲の分だけ拡大して、拡大した形状521,522,523,524,525,526を生成する。
(13)支援装置100は、拡大した形状521,522,523,524,525,526について論理和演算を行い、拡大した形状521,522,523,524,525,526のうちの重複する形状同士を結合した形状531,532を生成する。
(14)支援装置100は、結合した形状531,532から光近接効果の影響範囲の分だけ除去して、縮小した形状541,542を生成する。
(15)支援装置100は、それぞれの配線511,512,513,514,515,516の形状と縮小した形状541とについて論理積演算を行い、縮小した形状541内の配線511,512,513を一つのグループに分類する。支援装置100は、縮小した形状541を、当該グループに対応する領域として設定する。
同様に、支援装置100は、それぞれの配線511,512,513,514,515,516の形状と縮小した形状542とについて論理積演算を行い、縮小した形状542内の配線514,515,516を一つのグループに分類する。支援装置100は、縮小した形状542を、当該グループに対応する領域として設定する。
そして、支援装置100は、分類したグループに対応する領域となる形状541,542を規定する分類データを生成する。これにより、支援装置100は、複数の配線を、OPCデータでも階層として扱うことができる複数のグループに分類することができる。
〈分類データ600のデータ構造〉
次に、図6を用いて、図5において分類したグループを示す分類データ600のデータ構造の一例について説明する。
次に、図6を用いて、図5において分類したグループを示す分類データ600のデータ構造の一例について説明する。
図6は、分類データ600のデータ構造の一例を示す説明図である。分類データ600は、例えば、図2に示したROM202、RAM203、ディスク205などの記憶領域によって実現される。
図6に示すように、分類データ600は、グループ情報を有する。グループ情報は、グループ識別情報と領域座標情報と外周座標情報とフラグ情報を有する。
グループ識別情報は、グループの種類を示す情報である。領域座標情報は、グループを包含する領域になる、図5において縮小した形状の頂点のうちで、最も左端にある頂点のうちの最も下端にある頂点を示す情報である。外周座標情報は、グループを包含する領域になる、図5において縮小した形状の頂点を示す情報である。フラグ情報は、グループ内の複数の配線に対応するOPC後の複数の配線を、省略して規定するか否かを示すフラグを示す情報である。
〈グループの組み合わせを特定する一例〉
次に、図7を用いて、図6に示した分類データ600に基づいて、グループの組み合わせを特定する一例について説明する。
次に、図7を用いて、図6に示した分類データ600に基づいて、グループの組み合わせを特定する一例について説明する。
図7は、グループの組み合わせを特定する一例を示す説明図である。図7に示すように、支援装置100は、グループ間で、グループを包含する領域が一致するグループの組み合わせを特定して、グループ情報に含まれるフラグ情報を更新する。
(21)支援装置100は、例えば、分類データ600内のグループ情報に含まれる外周座標情報を、当該グループ情報に含まれる領域座標情報が示す領域座標を基準とした相対的な座標に変換して、相対的な外周座標を生成する。
支援装置100は、グループ情報の外周座標情報が示す領域内に存在する配線に対応する、設計データ400内の配線パターン情報に含まれる階層内の配線座標情報が示す配線座標を抽出する。支援装置100は、抽出した配線座標を、グループ情報に含まれる領域座標情報が示す領域座標を基準とした相対的な配線座標に変換する。
(22)支援装置100は、変換した相対的な外周座標が一致するグループの組み合わせを特定する。
(23)支援装置100は、特定したグループ情報の組み合わせのうち、変換した相対的な配線座標が一致するグループの組み合わせを特定する。支援装置100は、例えば、排他的論理和演算を行うことにより、グループ間で、グループ内の複数の配線のそれぞれの配線の形状と配線間の位置関係が一致するグループの組み合わせを特定する。
(24)支援装置100は、特定したグループの組み合わせのうち、それぞれのグループのグループ情報の識別情報に、同一の情報を設定する。また、支援装置100は、特定したグループの組み合わせのうち、いずれかのグループのグループ情報のフラグ情報を1のままにして、残余のグループのグループ情報のフラグ情報に0を設定する。
これにより、支援装置100は、OPCデータを圧縮する際に、同一の階層として扱うことができるグループの組み合わせを特定することができる。
〈OPCデータ800のデータ構造〉
次に、図8を用いて、圧縮対象になるOPCデータ800のデータ構造の一例について説明する。
次に、図8を用いて、圧縮対象になるOPCデータ800のデータ構造の一例について説明する。
図8は、OPCデータ800のデータ構造の一例を示す説明図である。OPCデータ800は、例えば、図2に示したROM202、RAM203、ディスク205などの記憶領域によって実現される。
図8に示すように、OPCデータ800は、OPC後の配線パターン情報を有する。OPC後の配線パターン情報は、OPC後の配線識別情報と、OPC後の配線座標情報とを有する。OPC後の配線識別情報は、OPC後の配線の種類を示す情報である。OPC後の配線座標情報は、OPC後の配線の頂点の座標値を示す情報である。このように、OPCデータ800は、階層化されていないため、全ての配線のそれぞれの配線について配線識別情報と配線座標情報とを対応付けて記憶することになり、データ量が増大してしまう。
〈OPCデータ800の圧縮データを生成する一例〉
次に、図9を用いて、図6に示された分類データ600に基づいて、図8に示したOPCデータ800の圧縮データを生成する一例について説明する。
次に、図9を用いて、図6に示された分類データ600に基づいて、図8に示したOPCデータ800の圧縮データを生成する一例について説明する。
図9は、圧縮データを生成する一例を示す説明図である。図9に示すように、支援装置100は、特定したグループの組み合わせに対応する、OPCデータ800内のOPC後の配線パターン情報が示す配線のグループを同一階層として扱って、OPCデータ800に対応する圧縮データを生成する。
(31)支援装置100は、例えば、グループ情報の組み合わせごとに、グループ情報の組み合わせ内のそれぞれのグループ情報に含まれるグループ識別情報と領域座標情報とを、OPC後の階層識別情報とOPC後の階層座標情報とに決定する。支援装置100は、OPC後の階層識別情報と、OPC後の階層座標情報とを対応付けた、OPC後の階層情報を生成する。
(32)支援装置100は、OPCデータ800内の配線パターン情報が示す配線のうち、フラグ情報に1が設定されたグループ情報の外周座標情報が示す外周に包含され、または外周に重複する配線の組み合わせを特定する。
支援装置100は、特定した配線の組み合わせ内のそれぞれの配線に、OPC後の階層内の配線識別情報を生成する。支援装置100は、特定した配線の組み合わせ内のそれぞれの配線に対応する、OPCデータ800の配線座標情報が示す配線座標を、グループ情報の領域座標情報が示す座標を基準として、相対的な配線座標に変換する。支援装置100は、変換した相対的な配線座標を規定するOPC後の階層内の配線座標情報を生成する。支援装置100は、OPC後の階層内の配線識別情報と、OPC後の階層内の配線座標情報とを対応付けたOPC後の階層内の配線パターン情報を生成する。
(33)支援装置100は、OPC後の階層情報とOPC後の階層内の配線パターン情報とを対応付けた圧縮データを生成する。これにより、支援装置100は、OPCデータ800よりも記憶領域の使用量が少なくなるOPCデータ800に対応する圧縮データを生成することができる。
〈圧縮データ1000のデータ構造〉
次に、図10を用いて、図9において生成された圧縮データ1000のデータ構造の一例について説明する。
次に、図10を用いて、図9において生成された圧縮データ1000のデータ構造の一例について説明する。
図10は、圧縮データ1000のデータ構造の一例を示す説明図である。圧縮データ1000は、例えば、図2に示したROM202、RAM203、ディスク205などの記憶領域によって実現される。
図10に示すように、圧縮データ1000は、OPC後の階層情報と、OPC後の階層内の配線パターン情報とを有する。OPC後の階層情報は、OPC後の階層識別情報と、OPC後の階層座標情報とを有する。OPC後の階層識別情報は、OPC後の階層の種類を示す情報である。OPC後の階層座標情報は、OPC後の階層の位置を示す情報である。
OPC後の階層内の配線パターン情報は、OPC後の階層識別情報と、OPC後の階層内の配線識別情報と、OPC後の階層内の配線座標情報とを有する。OPC後の階層識別情報は、OPC後の階層の種類を示す情報である。OPC後の階層内の配線識別情報は、OPC後の階層内の配線の種類を示す情報である。OPC後の階層内の配線座標情報は、OPC後の階層に属する配線の頂点の座標値を示す情報である。このように、圧縮データ1000は、階層化されているため、OPCデータ800と比べて、OPC後のマスクパターンを規定するためのデータ量を低減することができる。
(圧縮処理手順)
次に、図11を用いて、圧縮処理手順の一例について説明する。
次に、図11を用いて、圧縮処理手順の一例について説明する。
図11は、圧縮処理手順の一例を示すフローチャートである。図11において、支援装置100は、設計データ400と光学データとを取得する(ステップS1101)。次に、支援装置100は、OPCを行って設計データ400を補正して、OPCデータ800を生成する(ステップS1102)。そして、支援装置100は、設計データ400と光学データとに基づいて、図12に後述する分類処理を実行して、分類データ600を生成する(ステップS1103)。
次に、支援装置100は、分類データ600に基づいて、図13に後述する特定処理を実行して、分類データ600を更新する(ステップS1104)。そして、支援装置100は、分類データ600とOPCデータ800とに基づいて、図14に後述する生成処理を実行して、圧縮データ1000を生成する(ステップS1105)。
次に、支援装置100は、圧縮データ1000を出力する(ステップS1106)。そして、支援装置100は、圧縮処理を終了する。これにより、支援装置100は、OPCデータ800よりも少ないデータ量で、OPC後のマスクパターンを規定することができる圧縮データ1000を生成することができる。
(分類処理手順)
次に、図12を用いて、ステップS1103に示した分類処理手順の一例について説明する。
次に、図12を用いて、ステップS1103に示した分類処理手順の一例について説明する。
図12は、分類処理手順の一例を示すフローチャートである。図12において、支援装置100は、光学データに基づいて、設計データ400に規定された複数の配線のそれぞれの配線の形状を、それぞれの配線の光近接効果の影響範囲の分だけ拡大した形状を特定する(ステップS1201)。
次に、支援装置100は、拡大した形状について論理和演算を行い、拡大した形状のうちの重複する形状同士を結合した形状を特定する(ステップS1202)。そして、支援装置100は、光学データに基づいて、結合した形状から光近接効果の影響範囲の分だけ除去した形状を特定する(ステップS1203)。
次に、支援装置100は、それぞれの配線の形状と、除去した形状とについて論理積演算を行い、除去した形状内の配線を一つのグループに分類して、分類したグループを示す分類データ600を生成する(ステップS1204)。そして、支援装置100は、分類処理を終了する。これにより、支援装置100は、互いに光近接効果の影響範囲に存在し、OPCによる形状が変化することがありうる配線同士を、グループ化することができる。
(特定処理手順)
次に、図13を用いて、ステップS1104に示した特定処理手順の一例について説明する。
次に、図13を用いて、ステップS1104に示した特定処理手順の一例について説明する。
図13は、特定処理手順の一例を示すフローチャートである。図13において、支援装置100は、分類データ600のいずれかのグループ情報を選択する(ステップS1301)。次に、支援装置100は、選択したグループ情報の外周座標情報が示す外周座標を、領域座標情報が示す領域座標を基準とした相対的な座標に変換する(ステップS1302)。
そして、支援装置100は、選択したグループ情報の外周座標情報が示す領域内に存在する配線に対応する、設計データ400の配線パターン情報の配線座標情報が示す配線座標を、領域座標情報が示す領域座標を基準とした相対的な座標に変換する(ステップS1303)。
次に、支援装置100は、分類データ600のグループ情報に未選択のグループ情報があるか否かを判定する(ステップS1304)。ここで、未選択のグループ情報がある場合(ステップS1304:Yes)、支援装置100は、ステップS1301の処理に戻る。
一方で、未選択のグループ情報がない場合(ステップS1304:No)、支援装置100は、グループ識別情報が設定されていないグループ情報のうちの1つのグループ情報を選択する(ステップS1305)。ここでは、選択したグループ情報を第1グループ情報とする。
次に、支援装置100は、ステップS1305で選択したグループ情報にグループ識別情報を設定する(ステップS1306)。このとき、既にグループ識別情報が設定されたグループ情報が存在する場合、既に設定されたグループ識別情報とは異なるグループ識別情報を設定する。
次に、支援装置100は、グループ識別情報が設定されていないグループ情報のうちの1つのグループ情報を選択する(ステップS1307)。ここでは、選択したグループ情報を第2グループ情報とする。
次に、支援装置100は、第1グループ情報の相対的な外周座標と、第2グループ情報の相対的な外周座標とが、一致するか否かを判定する(ステップS1308)。
相対的な外周座標が一致した場合(ステップS1308:Yes)、支援装置100は、第1グループ情報の相対的な配線座標と、第2グループ情報の相対的な配線座標とが一致するか否かを判定する(ステップS1309)。
相対的な配線座標が一致した場合(ステップS1309:Yes)、支援装置100は、第1グループ情報のグループ識別情報と同じグループ識別情報を、第2グループ情報に設定する(ステップS1310)。
次に、支援装置100は、グループ識別情報が設定されていない全てのグループ情報について、第1グループ情報と相対的な外周座標または相対的な配線座標が一致するかの判定が行われたか否かを判定する(ステップS1311)。また、ステップS1308でNoだった場合又はステップS1309でNoだった場合にも、同様の判定を行う。
ステップS1311でNoだった場合(ステップS1311:No)、支援装置100は、ステップS1307の処理に戻り、新たに第2グループ情報を設定する。一方、ステップS1311でYesだった場合(ステップS1311:Yes)、支援装置100は、同一のグループ識別情報が設定されたグループ情報のうちの1つにフラグ情報1を設定し、当該1つのグループ情報以外にグループ情報にフラグ情報0を設定する(ステップS1312)。
次に、支援装置100は、全てのグループ情報について、グループ識別情報が設定されているか否かを判定する(ステップS1313)。全てのグループ情報にグループ識別情報が設定されていた場合(ステップS1313:Yes)、処理を終了する。一方、グループ識別情報が設定されていないグループ情報があった場合(ステップS1313:No)、支援装置100は、グループ識別情報が設定されていないグループ情報を新たに選択し、第1グループ情報とする(ステップS1305)。これにより、支援装置100は、OPCが行われた後も、同一の階層として規定することができるグループの組み合わせを特定することができる。
(生成処理手順)
次に、図14を用いて、ステップS1105に示した生成処理手順の一例について説明する。
次に、図14を用いて、ステップS1105に示した生成処理手順の一例について説明する。
図14は、生成処理手順の一例を示すフローチャートである。図14において、支援装置100は、いずれかのグループ情報を選択する(ステップS1401)。次に、支援装置100は、選択したグループ情報のフラグ情報が1であるか否かを判定する(ステップS1402)。ここで、0である場合(ステップS1402:No)、支援装置100は、ステップS1406の処理に移行する。
一方で、1である場合(ステップS1402:Yes)、支援装置100は、OPCデータ800の配線パターン情報が示す配線のうち、選択したグループ情報の外周座標情報が示す外周に包含され、または外周に重複する配線の組み合わせを特定する(ステップS1403)。
次に、支援装置100は、特定した配線の組み合わせ内のそれぞれの配線に対応する、OPCデータ800の配線座標情報が示す配線座標を、グループ情報の領域座標情報が示す座標を基準として相対的な配線座標に変換する(ステップS1404)。そして、支援装置100は、選択したグループ情報の識別情報と、変換した相対的な配線座標とを、OPC後の階層識別情報とOPC後の階層内の配線座標情報とに設定したOPC後の配線パターン情報を生成して、圧縮データ1000に追加する(ステップS1405)。
次に、支援装置100は、選択したグループ情報のグループ識別情報と領域座標情報とを、OPC後の階層識別情報とOPC後の階層座標情報とに設定したOPC後の階層情報を生成して、圧縮データ1000に追加する(ステップS1406)。そして、支援装置100は、未選択のグループ情報があるか否かを判定する(ステップS1407)。ここで、未選択のグループ情報がある場合(ステップS1407:Yes)、支援装置100は、ステップS1401の処理に戻る。
一方で、未選択のグループ情報がない場合(ステップS1407:No)、支援装置100は、生成処理を終了する。これにより、支援装置100は、OPCデータ800よりも、OPC後のマスクパターンを規定するためのデータ量が少なくなる圧縮データ1000を生成することができる。
以上説明したように、支援装置100によれば、設計データ400に基づいて、複数のパターンのうち、パターン間で光近接効果の影響範囲に存在するパターン同士が同一グループに含まれるように、複数のパターンを複数のグループに分類することができる。そして、支援装置100によれば、分類した複数のグループの中から、グループ間でグループに属する複数のパターンのそれぞれのパターンの形状とパターン間の位置関係とが一致するグループの組み合わせを特定することができる。
これにより、支援装置100は、OPC後にも、グループ間でグループに属する複数のパターンのそれぞれのパターンの形状とパターン間の位置関係とが一致する組み合わせを特定することができる。換言すれば、支援装置100は、OPCが行われた後も、同一の階層として規定することができるグループの組み合わせを特定することができる。
また、支援装置100によれば、特定した組み合わせに含まれるいずれかのグループに属する複数のパターンのそれぞれのパターンを光近接効果補正した補正後のパターンの形状と位置とを示す情報を生成することができる。また、支援装置100によれば、特定した組み合わせに含まれるそれぞれのグループの位置を示す情報を生成することができる。そして、支援装置100によれば、生成した補正後のパターンの形状と位置とを示す情報と、それぞれのグループの位置を示す情報とを対応付けた情報を生成することができる。
これにより、支援装置100は、階層化した圧縮データ1000を生成して、OPC後のマスクパターンを規定することができる。このため、支援装置100は、OPC後の全ての配線のそれぞれの配線の形状と位置とを用いてOPC後のマスクパターンを規定する場合に比べて、OPC後のマスクパターンを規定するためのデータ量を低減することができる。
また、支援装置100によれば、基板上に転写される複数のパターンのそれぞれのパターンを光近接効果の影響範囲に応じて拡大した場合に重複するパターン同士が同一グループに含まれるように、複数のパターンを複数のグループに分類することができる。これにより、支援装置100は、配線ごとに、当該配線が他の配線の光近接効果の影響範囲に含まれるか否かを判定する場合に比べて、処理量を低減することができる。
また、支援装置100によれば、グループ間で、グループに属する複数のパターンを含む領域の外枠の形状が一致するグループを特定することができる。そして、支援装置100によれば、外枠の形状が一致するグループの中から、グループ間で、グループに属する複数のパターンのそれぞれのパターンの形状とパターン間の位置関係とが一致するグループを特定することができる。これにより、支援装置100は、グループに属する複数のパターンだけを比較してグループを特定する場合に比べて、処理量を低減することができる。
また、支援装置100によれば、OPCデータ800に基づいて、複数のOPC後のパターンのうち、パターン間で光近接効果の影響範囲に存在するパターン同士が同一グループに含まれるように、複数のパターンを複数のグループに分類することができる。そして、支援装置100によれば、分類した複数のグループの中から、グループ間でグループに属する複数のパターンのそれぞれのパターンの形状とパターン間の位置関係とが一致するグループの組み合わせを特定することができる。これにより、支援装置100は、設計データ400が破棄され、OPCデータ800のみが記憶されている場合であっても、同一の階層として規定することができるグループの組み合わせを特定することができる。
なお、本実施の形態で説明した圧縮支援方法は、予め用意されたプログラムをパーソナル・コンピュータやワークステーション等のコンピュータで実行することにより実現することができる。本圧縮支援プログラムは、ハードディスク、フレキシブルディスク、CD−ROM、MO、DVD等のコンピュータで読み取り可能な記録媒体に記録され、コンピュータによって記録媒体から読み出されることによって実行される。また本圧縮支援プログラムは、インターネット等のネットワークを介して配布してもよい。
上述した実施の形態に関し、さらに以下の付記を開示する。
(付記1)コンピュータが、
基板上に転写される複数の図形を示す設計データに基づいて、前記複数の図形のうち、図形間で光近接効果の影響範囲に存在する図形同士が同一グループに含まれるように、前記複数の図形を複数のグループに分類し、
分類した前記複数のグループの中から、グループ間でグループに属する複数の図形のそれぞれの図形の形状と図形間の位置関係とが一致するグループの組み合わせを特定する、
処理を実行することを特徴とする圧縮支援方法。
基板上に転写される複数の図形を示す設計データに基づいて、前記複数の図形のうち、図形間で光近接効果の影響範囲に存在する図形同士が同一グループに含まれるように、前記複数の図形を複数のグループに分類し、
分類した前記複数のグループの中から、グループ間でグループに属する複数の図形のそれぞれの図形の形状と図形間の位置関係とが一致するグループの組み合わせを特定する、
処理を実行することを特徴とする圧縮支援方法。
(付記2)前記コンピュータが、
特定した前記組み合わせに含まれるいずれかのグループに属する複数の図形のそれぞれの図形を光近接効果補正した補正後の図形の形状と位置とを示す情報を生成し、特定した前記組み合わせに含まれるそれぞれのグループの位置を示す情報を生成し、生成した前記補正後の図形の形状と位置とを示す情報と、前記それぞれのグループの位置を示す情報とを対応付けた情報を生成する、
処理を実行することを特徴とする付記1に記載の圧縮支援方法。
特定した前記組み合わせに含まれるいずれかのグループに属する複数の図形のそれぞれの図形を光近接効果補正した補正後の図形の形状と位置とを示す情報を生成し、特定した前記組み合わせに含まれるそれぞれのグループの位置を示す情報を生成し、生成した前記補正後の図形の形状と位置とを示す情報と、前記それぞれのグループの位置を示す情報とを対応付けた情報を生成する、
処理を実行することを特徴とする付記1に記載の圧縮支援方法。
(付記3)前記分類する処理は、
前記設計データに基づいて、前記基板上に転写される複数の図形のそれぞれの図形を光近接効果の影響範囲に応じて拡大した場合に重複する図形同士が同一グループに含まれるように、前記複数の図形を複数のグループに分類する、
ことを特徴とする付記1または2に記載の圧縮支援方法。
前記設計データに基づいて、前記基板上に転写される複数の図形のそれぞれの図形を光近接効果の影響範囲に応じて拡大した場合に重複する図形同士が同一グループに含まれるように、前記複数の図形を複数のグループに分類する、
ことを特徴とする付記1または2に記載の圧縮支援方法。
(付記4)前記特定する処理は、
グループ間で、グループに属する複数の図形を含む領域の外枠の形状が一致するグループを特定し、
外枠の形状が一致するグループの中から、グループ間で、グループに属する複数の図形のそれぞれの図形の形状と図形間の位置関係とが一致するグループを特定する、
ことを特徴とする付記1〜3のいずれか一つに記載の圧縮支援方法。
グループ間で、グループに属する複数の図形を含む領域の外枠の形状が一致するグループを特定し、
外枠の形状が一致するグループの中から、グループ間で、グループに属する複数の図形のそれぞれの図形の形状と図形間の位置関係とが一致するグループを特定する、
ことを特徴とする付記1〜3のいずれか一つに記載の圧縮支援方法。
(付記5)前記光近接効果の影響範囲は、隣接する図形間で光近接効果の影響が与えられる前記図形間の距離に基づいて設定されることを特徴とする付記1〜4のいずれか一つに記載の圧縮支援方法。
(付記6)前記設計データは、基板上に転写される複数の図形に光近接効果補正を行って得られた前記基板上に転写される補正後の複数の図形を示すデータであって、
前記コンピュータが、
特定した前記組み合わせに含まれるいずれかのグループに属する複数の図形のそれぞれの図形の形状と位置とを示す情報を生成し、特定した前記組み合わせに含まれるそれぞれのグループの位置を示す情報を生成し、生成した前記それぞれの図形の形状と位置とを示す情報と、前記それぞれのグループの位置を示す情報とを対応付けた情報を生成する、
処理を実行することを特徴とする付記1に記載の圧縮支援方法。
前記コンピュータが、
特定した前記組み合わせに含まれるいずれかのグループに属する複数の図形のそれぞれの図形の形状と位置とを示す情報を生成し、特定した前記組み合わせに含まれるそれぞれのグループの位置を示す情報を生成し、生成した前記それぞれの図形の形状と位置とを示す情報と、前記それぞれのグループの位置を示す情報とを対応付けた情報を生成する、
処理を実行することを特徴とする付記1に記載の圧縮支援方法。
(付記7)コンピュータに、
基板上に転写される複数の図形を示す設計データに基づいて、前記複数の図形のうち、図形間で光近接効果の影響範囲に存在する図形同士が同一グループに含まれるように、前記複数の図形を複数のグループに分類し、
分類した前記複数のグループの中から、グループ間でグループに属する複数の図形のそれぞれの図形の形状と図形間の位置関係とが一致するグループの組み合わせを特定する、
処理を実行させることを特徴とする圧縮支援プログラム。
基板上に転写される複数の図形を示す設計データに基づいて、前記複数の図形のうち、図形間で光近接効果の影響範囲に存在する図形同士が同一グループに含まれるように、前記複数の図形を複数のグループに分類し、
分類した前記複数のグループの中から、グループ間でグループに属する複数の図形のそれぞれの図形の形状と図形間の位置関係とが一致するグループの組み合わせを特定する、
処理を実行させることを特徴とする圧縮支援プログラム。
(付記8)基板上に転写される複数の図形を示す設計データに基づいて、前記複数の図形のうち、図形間で光近接効果の影響範囲に存在する図形同士が同一グループに含まれるように、前記複数の図形を複数のグループに分類し、分類した前記複数のグループの中から、グループ間でグループに属する複数の図形のそれぞれの図形の形状と図形間の位置関係とが一致するグループの組み合わせを特定する、
制御部を有することを特徴とする圧縮支援装置。
制御部を有することを特徴とする圧縮支援装置。
100 圧縮支援装置
301 取得部
302 分類部
303 特定部
304 生成部
305 出力部
301 取得部
302 分類部
303 特定部
304 生成部
305 出力部
Claims (6)
- コンピュータが、
基板上に転写される複数の図形を示す設計データに基づいて、前記複数の図形のうち、図形間で光近接効果の影響範囲に存在する図形同士が同一グループに含まれるように、前記複数の図形を複数のグループに分類し、
分類した前記複数のグループの中から、グループ間でグループに属する複数の図形のそれぞれの図形の形状と図形間の位置関係とが一致するグループの組み合わせを特定する、
処理を実行することを特徴とする圧縮支援方法。 - 前記コンピュータが、
特定した前記組み合わせに含まれるいずれかのグループに属する複数の図形のそれぞれの図形を光近接効果補正した補正後の図形の形状と位置とを示す情報を生成し、特定した前記組み合わせに含まれるそれぞれのグループの位置を示す情報を生成し、生成した前記補正後の図形の形状と位置とを示す情報と、前記それぞれのグループの位置を示す情報とを対応付けた情報を生成する、
処理を実行することを特徴とする請求項1に記載の圧縮支援方法。 - 前記分類する処理は、
前記設計データに基づいて、前記基板上に転写される複数の図形のそれぞれの図形を光近接効果の影響範囲に応じて拡大した場合に重複する図形同士が同一グループに含まれるように、前記複数の図形を複数のグループに分類する、
ことを特徴とする請求項1または2に記載の圧縮支援方法。 - 前記特定する処理は、
グループ間で、グループに属する複数の図形を含む領域の外枠の形状が一致するグループを特定し、
外枠の形状が一致するグループの中から、グループ間で、グループに属する複数の図形のそれぞれの図形の形状と図形間の位置関係とが一致するグループを特定する、
ことを特徴とする請求項1〜3のいずれか一つに記載の圧縮支援方法。 - コンピュータに、
基板上に転写される複数の図形を示す設計データに基づいて、前記複数の図形のうち、図形間で光近接効果の影響範囲に存在する図形同士が同一グループに含まれるように、前記複数の図形を複数のグループに分類し、
分類した前記複数のグループの中から、グループ間でグループに属する複数の図形のそれぞれの図形の形状と図形間の位置関係とが一致するグループの組み合わせを特定する、
処理を実行させることを特徴とする圧縮支援プログラム。 - 基板上に転写される複数の図形を示す設計データに基づいて、前記複数の図形のうち、図形間で光近接効果の影響範囲に存在する図形同士が同一グループに含まれるように、前記複数の図形を複数のグループに分類し、分類した前記複数のグループの中から、グループ間でグループに属する複数の図形のそれぞれの図形の形状と図形間の位置関係とが一致するグループの組み合わせを特定する、
制御部を有することを特徴とする圧縮支援装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014185497A JP2016057534A (ja) | 2014-09-11 | 2014-09-11 | 圧縮支援方法、圧縮支援プログラム、および圧縮支援装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2014185497A JP2016057534A (ja) | 2014-09-11 | 2014-09-11 | 圧縮支援方法、圧縮支援プログラム、および圧縮支援装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JP2016057534A true JP2016057534A (ja) | 2016-04-21 |
Family
ID=55758416
Family Applications (1)
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JP2014185497A Pending JP2016057534A (ja) | 2014-09-11 | 2014-09-11 | 圧縮支援方法、圧縮支援プログラム、および圧縮支援装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP2016057534A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105759561A (zh) * | 2016-05-17 | 2016-07-13 | 上海华力微电子有限公司 | 基于掩模板规则限制优化光学临近修正结果的方法 |
JP2019124768A (ja) * | 2018-01-12 | 2019-07-25 | Alitecs株式会社 | テストパターンの抽出方法及び抽出プログラム |
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2014
- 2014-09-11 JP JP2014185497A patent/JP2016057534A/ja active Pending
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