JP2016051805A - 有機薄膜太陽電池およびその製造方法、電子機器 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板10と、基板10上に配置された透明電極層11と、透明電極層11上に配置された有機層14と、有機層14に配置された金属電極層16と、金属電極層16上に配置されたパッシベーション層26と、パッシベーション層26上に配置された光硬化樹脂層34と、光硬化樹脂層34上に配置されたバリアフィルム36とを備える有機薄膜太陽電池100およびその製造方法、およびこの有機薄膜太陽電池100を搭載した電子機器。
【選択図】図5
Description
多重積層保護膜によるセル封止を用いた比較例に係る有機薄膜太陽電池100Aおよび有機薄膜太陽電池セル1Aの模式的断面構造は、図1(a)に示すように表され、図1(a)において、多重積層保護膜に異AB物が混入した状態の模式的断面構造は、図1(b)に示すように表される。
比較例に係る有機薄膜太陽電池100Aの製造方法の一工程であって、受光面側の模式的平面パターン構成は図3(a)に示すように表され、図3(a)のI−I線に沿う部分の模式的断面構造に対応し、基板10上に透明電極層11をパターン形成する工程は図3(b)に示すように表され、透明電極層11上に有機層14をパターン形成する工程は図3(c)に示すように表される。
(a)まず、図5(b)に示すように、ウェツトエッチングにより、透明電極層(TCO)11をパターニングする。透明電極層11のパターニング工程では、時間と手間のかかるポジレジストを用いた王水エッチングを実施するため、5工程、例えば、約120分を要する。
(b)次に、図5(c)に示すように、スピンコート法による製膜と高密度プラズマエッチングによるパターニングにより、有機層14を形成する。有機層14は、正孔輸送層とバルクヘテロ接合有機活性層との積層構造で形成されるため、有機層14の塗布形成は、2工程、約60分を要する。ここで、スピンコート法は、材料使用効率が悪く、また、直接塗り分けできないため、高密度プラズマエッチングによるパターニング工程が必要になる。
(c)次に、図4(a)に示すように、真空蒸着法によりアルミニウムを蒸着し、金属電極層16を形成する。金属電極層16の形成には、1工程、約2分を要する。さらに、酸素プラズマにより余分な有機層を除去すると共に、アルミニウムの最表面に酸化被膜処理を実施しても良い。
(d)次に、図4(b)に示すように、大気中の水分と酸素による劣化を抑えるため、CVD技術を用いてSiN膜による封止を実施する。さらに、SiN膜のスポットなどの不良を無くし、モジュールの背面を平滑化するため、樹脂素材をスピンコート法などで塗布し、UV照射により硬化させる。以下、要求するモジュール耐久性に応じて、上記の作業工程を繰り返し、パッシベーション層26・28・30・32からなる多重積層保護膜を形成する。ここで、多重積層保護膜によるセル封止には、4工程、約120分を要する。
実施の形態に係る有機薄膜太陽電池100および有機薄膜太陽電池セル1の模式的断面構造は、図5に示すように表される。
有機薄膜太陽電池セル1の動作原理を説明する模式図は、図6に示すように表される。また、図6に示された有機薄膜太陽電池セル1の各種材料のエネルギーバンド構造は、図7に示すように表される。図6および図7を参照して、実施の形態に係る有機薄膜太陽電池セル1の原理的な構成と、その動作について説明する。
(a)まず、光を吸収すると、バルクへテロ接合有機活性層14A内で、励起子が生成される。
(b)次に、励起子は、バルクへテロ接合有機活性層14A内のpn接合界面において、自発分極によって、電子(e−)と正孔(h+)の自由キャリアに解離する。
(c)次に、解離した正孔(h+)は、アノード電極となる透明電極層11に向けて走行し、解離した電子(e−)は、カソード電極層16に向けて走行する。
(d)結果として、カソード電極層16・透明電極層11間には、逆方向電流が導通して、開放電圧VOCが発生し、有機薄膜太陽電池セル1が得られる。
実施の形態に係る有機薄膜太陽電池において適用した50μm厚のシートガラスの例は太陽電池で必要なガスバリア性のグレードを満足している。
比較例に係る多重積層保護膜によるセル封止では、ピンセットによる引っ掻き試験の結果、キズが生じていたが、シートガラスによるセル封止では、ピンセットによる引っ掻き試験の結果、キズは生じていない。
実施の形態に係る有機薄膜太陽電池において、耐熱性および耐湿性試験における発電量の時間変化特性は、図10に示すように表される。評価光源は、蛍光灯の明るさ1000(lux)を適用している。
実施の形態に係る有機薄膜太陽電池において、光連続照射試験における発電量の時間変化特性は、図11に示すように表される。試験光源は35mW/cm2(波長λ=365nm)を使用し、評価光源は、蛍光灯の明るさ1000(lux)を適用している。
実施の形態に係る有機薄膜太陽電池100は、ITO付きガラス基板10上に発電層となる数100nm程度の有機層14を積層し、アルミニウムなどの金属を蒸着して形成される。金属電極層として形成された純アルミニウムは酸化され易いため、耐久性を持たせるために、CVD法によるSiNやSiONなどの無機パッシベーション層26の単層保護膜に機械強度とバリア性に優れたバリアフィルム36を光(UV)硬化樹脂層34で貼り合せることで、耐久性に優れた有機薄膜太陽電池を提供することができる。
(a)まず、純水、アセトン、エタノールで洗浄したガラス基板10(例えば、長さ約50mm×幅約50mm×厚さ約0.7mm)をICPエッチャ−に入れ、O2プラズマにより、表面の付着物を取り除く(ガラス基板表面処理)。なお、基板10をガラス基板で形成し、有機層へ光を効率的に誘導するために、ガラス表面に反射防止処理を実施しても良い。なお、ガラス基板として、例えば、ITO付き無アルカリガラス基板を用いても良い。
(b)次に、図12(b)に示すように、ガラス基板10上に、例えば、ITOからなる透明電極層11をパターン形成する。具体的には、例えば、ポジレジストを用いた王水エッチングによるウェツトエッチングにより、TCOをパターニングする。透明電極層11のパターニングは、5工程、約120分要する。結果として、透明電極層11は溝部を挟んだストライプパターンで複数形成される。溝部の形成には、レーザパターニング技術などを適用することもできる。
(c)次に、図12(c)に示すように、各透明電極層11上に、有機層14(正孔輸送層12およびバルクヘテロ接合有機活性層14A)を形成する。有機層14の塗布形成は、2工程で約60分要する。例えば、スピンコート法、スプレー技術、スクリーン印刷技術などによる製膜と高密度プラズマエッチングによるパターニング工程からなる。
(c−1)正孔輸送層12の形成には、スピンコート技術、スプレー技術、スクリーン印刷技術などを適用することができる。ここで、正孔輸送層12の形成工程では、例えば、PEDOT:PSSをスピンコートによって製膜を行い、水分除去のために、アニ−ルを120℃で約10分間行う。溝部の形成には、酸素プラズマエッチング技術、レーザパターニング技術、ナノインプリント技術などを適用することができる。
(c−2)次に、各正孔輸送層12上に、バルクヘテロ接合有機活性層14Aを形成する。バルクヘテロ接合有機活性層14Aの形成工程においては、例えば、P3HTをスピンコートによって製膜を行う。
(d)次に、図13(a)に示すように、有機層14上に金属電極層(カソード電極層)16をパターン形成する。金属電極層16の形成には、例えばAl、W、Mo、Mn、Mgなどの金属層を真空加熱蒸着法により堆積することによって行われる。真空加熱蒸着法の代わりに、スクリーン印刷技術を適用しても良い。金属電極層16の形成工程は、1工程で約2分要する。
(e)次に、図示は省略するが、余分な有機層14をエッチング処理した後、金属電極層16の表面に酸化膜(不動態膜)を形成しても良い。不動態膜は、金属電極層16を酸素プラズマ処理することによって形成することができる。不動態膜の形成は、例えば、高密度プラズマエッチング装置を用いて行うことができる。なお、金属電極層16を酸素プラズマ処理することによって不動態膜を形成すると同時に、有機層14をエッチング処理することも可能である。
(f)次に、図13(b)に示すように、デバイス全面にパッシベーション層26を形成する。ここで、パッシベーション層26は、シリコン窒化膜などをCVD法で形成しても良い。シリコン窒化膜の厚さは、例えば、約0.5μm〜1.5μm程度である。大気中の水分と酸素による劣化を抑えるため、CVDにより形成したSiN膜による封止を行うことで、さらに耐久性を向上可能である。
(g)次に、図14に示すように、パッシベーション層26上に光硬化樹脂層34を介してバリアフィルム36を貼り付ける。ここでは、SiN膜で形成されたパッシベーション層26のスポットなどの不良を無くし、モジュールの背面を平滑化するために、光(UV)硬化樹脂層34をスピンコート法などで塗布し、バリアフィルム36を貼り付けてUV照射により硬化させる。実施の形態に係る有機薄膜太陽電池においては、バリアフィルムの採用で耐久性を確保し、プロセスを、多重積層保護膜の4工程・120分から、2工程・60分へと大幅に簡略化可能である。
(h)次に、図15(a)および図15(b)に示すように、基板10上にマトリックス状に配置された4セル直列構成の有機薄膜太陽電池モジュールを縦方向のスクライブラインCVL1・CVL2・CVL3・CVL4・…および横方向のスクライブラインCHL1・CHL2・CHL3・CVL4・…・CHLn−1・CHLnに沿ってスクライブする。
(i)次に、図19若しくは図20に示すように、端子電極2(+)を取り出す。
(i−1)すなわち、図19に示すように、基板10に対して面直方向に配置され、バリアフィルム36、光硬化樹脂層34およびパッシベーション層26を貫通してコンタクトホールを形成し、透明電極層11と接続された取り出し端子電極2(+)を形成しても良い。
(i−2)また、図20に示すように、基板10の端面で透明電極層11と接続された取り出し端子電極2(+)を形成しても良い。
(j)次に、図示は省略するが、直列接続された有機薄膜太陽電池のアノード端子A・カソード端子K用の端子電極とのボンディング接合を形成する。ボンディング接合には、例えば、カーボンペースト、Agペーストなどを用いる。端子電極には、例えば、金ワイヤなどで形成可能である。
(k)最後に、図示は省略するが、水分・酸素などが浸入しないように、UV硬化樹脂などでデバイス全体を保護しても良い。
実施の形態に係る有機薄膜太陽電池において、耐熱性(高温保存)試験における発電量の時間変化特性は、図16に示すように表される。試験規格は、JIS C 8938B−1を適用し、保存温度は85℃とした。図16において、白丸(○)プロットOTFは、実施の形態に係る有機薄膜太陽電池に対応し、正方形(□)プロットASは、アモルファスシリコン太陽電池に対応している。評価光源は、蛍光灯の明るさ1000(lux)を適用している。また、評価素子の形状は、4セル直列構成を備える。
実施の形態に係る有機薄膜太陽電池においては、セル劣化の原因となる酸素・水分からセルを保護するため、単層無機保護膜からなるパッシベーション層26に機械強度とバリア性に優れたバリアフィルム36をUV硬化樹脂層34で貼り合せることで、プロセスを簡略化し、耐久性を確保している。
実施の形態に係る有機薄膜太陽電池において、4セル直列構成の有機薄膜太陽電池モジュールの端子取出し面側の模式的平面パターン構成は、図18(a)に示すように表され、4セル直列構成の有機薄膜太陽電池モジュールの等価回路表現は、図18
(b)に示すように表される。また、図18(a)のIII−III線に沿う模式的断面構造は、図19に示すように表される。
一方、実施の形態の変形例に係る有機薄膜太陽電池において、4セル直列構成の有機薄膜太陽電池モジュールの端子取出し面側の模式的平面パターン構成は、図20に示すように表され、図20のIV−IV線に沿う模式的断面構造は、図21に示すように表される。
耐湿性試験は、60℃かつ湿度90%で500時間実施した。評価光源は、蛍光灯の明るさ1000(lux)―0.106mW/cm2を適用している。また、評価素子の形状は、4セル直列構成を備える。活性層には、P3HT:60PCBMをスピンコートにより形成している。
規格化曲線因子FF(a.u.)は、図24に示すように、時間t(h)が0〜500時間まで10%低下する破線ラインLLを上回っているのは、サンプルSA1・SA4・SA5・SA6・SA8である。
実施の形態に係る有機薄膜太陽電池100において、4セル直列構成の有機薄膜太陽電池モジュールの端子取出し面側の電極接続関係を説明する平面構成は、図30(a)に示すように表され、図30(a)に対応する等価回路表現は、図30(b)に示すように表される。
図33に示すフローチャートに基づいて、実施の形態に係る有機薄膜太陽電池100の作成手順について説明する。
(a)ステップS1では、ITO基板10上に、PEDOT:PSSを塗布する。例えば、0.45μmPTFEメンブレンフィルターでPEDOT:PSS水溶液を濾過し、溶け残りや不純物を取り除き、PEDOT:PSS水溶液をITO基板10上に塗布し、スピンコート(例えば、4000rpm,30sec)する。
(b)ステップS2では、PEDOT:PSSを焼結する。即ち、製膜後、水分除去のために120℃、10分間加熱処理をする。なお、基板10全体に熱が伝わるように予めホットプレートで温めておいたシャーレを被せると良い。ここまでの工程でITO基板10上の透明電極層11上に正孔輸送層12が形成される。
(c)ステップS3では、P3HT:PCBMを塗布する。具体的には、例えば、ジクロロベンゼン(o-dichlorobenzen)にP3HT16mgとPCBM16mgを溶解させる。溶液は、窒素雰囲気中の50℃で一晩攪拌を行った後に、50℃で1分間超音波処理を行う。溶液は窒素置換されたグローブボックス(<1ppmO2、H2O)内で洗浄処理したITO基板10上にスピンコートを行う。回転数は例えば550rpm・60secの後に2000rpm・1secである。
(d)ステップS4では、プレアニールを行う。即ち、ステップS3の塗布の後、120℃で10分間加熱を行う。なお、基板10全体に熱が伝わるように予めホットプレートで温めておいたシャーレを被せると良い。ここまでの工程で正孔輸送層12上にバルクへテロ接合有機活性層14Aが形成され、有機層14(12+14A)が形成される。
(e)ステップS5では、LiF真空蒸着を行う。具体的には、LiF(純度:99.98%)は、真空度:1.1×10−6torr・蒸着レートが0.1Å/secで真空加熱蒸着を行う。LiFはバルクへテロ接合有機活性層14Aへの電子注入層となる。
(f)ステップS6では、Al真空蒸着を行って有機層14上に第2電極層16を形成する。具体的には、Al(純度:99.999%)は、真空度:1.1×10−6torrで蒸着レートが〜2Å/secで真空加熱蒸着を行う。
(g)ステップS7では、第2電極層16について、電極酸化被膜処理を行う。具体的には、高密度プラズマエッチング装置を用いて酸素プラズマにより第2電極層16表面を酸化し、酸化膜(不動態膜)を形成する。
(h)ステップS8では、パッシベーション封止を行う。具体的には、デバイス全体に、パッシベーション層26を形成して、パッシベーション処理する。
(i)ステップS9では、パッシベーション層26上に光硬化樹脂層34を介してバリアフィルム36を貼り付ける。光(UV)硬化樹脂層34をスピンコート法などで塗布し、バリアフィルム36を貼り付けてUV照射により硬化させる。
(j)ステップS10では、取り出し端子電極2(+)を形成する。取り出し端子電極2(+)のボンディング接合部には、カーボンペースト、Agペーストなどを用いる。
(k)ステップS11では、封止を行う。具体的には、水分・酸素などが浸入しないように、UV硬化樹脂等の樹脂層などで周辺部を保護する。
実施の形態に係る有機薄膜太陽電池は、図34〜図38に示すように、複数のセルをマトリックス状に配置し、量産化工程によって製造することもできる。
(a)まず、純水、アセトン、エタノールで洗浄したガラス基板10をICPエッチャ−に入れ、O2プラズマにより、表面の付着物を取り除く(ガラス基板表面処理)。なお、有機活性層へ光を効率的に誘導するために、ガラス基板10の表面に反射防止処理を実施しても良い。
(b)次に、図34に示すように、基板10上に、例えば、ITOからなる透明電極層11を形成する。図34に示す例では、透明電極層11は隙間を挟んだ2本のストライプパターンで形成される。隙間の形成には、レーザパターニング技術などを適用することができる。
(c)次に、図35に示すように、基板10および透明電極層11上に、正孔輸送層12を形成する。正孔輸送層12の形成には、スピンコート技術、スプレー技術、スクリーン印刷技術などを適用することができる。ここで、正孔輸送層12の形成工程では、例えば、PEDOT:PSSをスピンコートによって製膜を行い、水分除去のために、アニ−ルを120℃で約10分間行う。
(d)次に、図36に示すように、正孔輸送層12上に、バルクヘテロ接合有機活性層14Aを形成する。バルクヘテロ接合有機活性層14Aの形成工程においては、例えば、P3HT:PCBMをスピンコートによって製膜を行う。バルクヘテロ接合有機活性層14Aの厚さは、例えば、約100nm〜約200nmである。
(e)次に、図37に示すように、バルクへテロ接合有機活性層14A上に、2本のストライプパターンのカソード電極層16を透明電極層11と直交させて形成する。
(f)次に、図示は省略するが、カソード電極層16の表面に酸化膜(不動態膜)を形成する。不動態膜は、カソード電極層16を酸素プラズマに暴露させて形成することができる。酸素プラズマによる酸化膜の形成は、例えば、プラズマエッチング装置を用いて行うことができる。
(g)次に、図示は省略するが、デバイス全体に、パッシベーション層26およびパッシベーション層26上に光硬化樹脂層34を介してバリアフィルム36を形成する。
(スピンコート法)
実施の形態に係る有機薄膜太陽電池100の製造方法において、正孔輸送層12および有機層14(12、14A)を形成する際のスピンコート法を示す概略は図39(a)に示すように表され、形成された正孔輸送層12および有機層14(12、14A)の例を示す模式的鳥瞰構成は、図39(b)に示すように表される。
実施の形態においては、単層保護膜に機械強度とバリア性に優れたバリアフィルムをUV硬化樹脂で貼り合せることで、製造プロセスが簡略化され、耐久性に優れた有機薄膜太陽電池が提供されることから、モバイル端末機器等の電子機器への搭載が容易になる。特にスマートホンやタブレット端末に代表される電子機器は、外観が重要であるため表示パネルのべゼル(ディスプレイの周辺部)や背面に有機薄膜太陽電池のセルを搭載することができる。
上記のように、実施の形態によって記載したが、この開示の一部をなす論述および図面は例示的なものであり、この発明を限定するものであると理解すべきではない。この開示から当業者には様々な代替実施の形態、実施例および運用技術が明らかとなろう。
10…基板(ITO基板)
11、111・112・113・114…第1電極層(アノード電極層、透明電極層)
12…正孔輸送層
14、141・142・143・144…有機層(正孔輸送層12+バルクヘテロ接合有機活性層14A)
14A…バルクへテロ接合有機活性層
16、161・162・163・164…第2電極層(金属電極層、カソード電極層)
26、28、30、32…パッシベーション層
34…光硬化樹脂層(UV硬化樹脂層)
36…バリアフィルム
62…スピンドル
63…テーブル
64…液滴
65…スポイト
100、100A…有機薄膜太陽電池
Claims (18)
- 基板と、
前記基板上に配置された透明電極層と、
前記透明電極層上に配置された有機層と、
前記有機層上に配置された金属電極層と、
前記金属電極層上に配置されたパッシベーション層と、
前記パッシベーション層上に配置された光硬化樹脂層と、
前記光硬化樹脂層上に配置されたバリアフィルムと
を備えることを特徴とする有機薄膜太陽電池。 - 前記バリアフィルムは、シートガラスを備えることを特徴とする請求項1に記載の有機薄膜太陽電池。
- 前記バリアフィルムは、プラスチックフィルムを備えることを特徴とする請求項1に記載の有機薄膜太陽電池。
- 前記基板に対して面直方向に配置され、前記バリアフィルム、前記光硬化樹脂層および前記パッシベーション層を貫通して、前記透明電極層と接続された取り出し端子電極を備えることを特徴とする請求項1に記載の有機薄膜太陽電池。
- 前記基板の端面に配置され、前記端面で前記透明電極層と接続された取り出し端子電極を備えることを特徴とする請求項1に記載の有機薄膜太陽電池。
- 前記パッシベーション層は、SiN膜若しくはSiON膜を備えることを特徴とする請求項1に記載の有機薄膜太陽電池。
- 基板と、
前記基板上に配置された透明電極層と、
前記第1電極層上に配置された有機層と、
前記有機層上に配置された金属電極層と、
前記金属電極層上に配置されたパッシベーション層と、
前記パッシベーション層上に配置された光硬化樹脂層と、
前記光硬化樹脂層上に配置されたバリアフィルムと
を備える有機薄膜太陽電池セルを複数個直列に接続したことを特徴とする有機薄膜太陽電池。 - 前記有機層は、
正孔輸送層と、
前記正孔輸送層上に配置されたバルクへテロ接合有機活性層と
を備えることを特徴とする請求項1〜7のいずれか1項に記載の有機薄膜太陽電池。 - 前記金属電極層は、表面に形成された不動態膜を備えることを特徴とする請求項1〜8のいずれか1項に記載の有機薄膜太陽電池。
- 請求項1〜9のいずれか1項に記載の有機薄膜太陽電池を備えることを特徴とする電子機器。
- 基板上に透明電極層を形成する工程と、
前記透明電極層上に有機層を形成する工程と、
前記有機層上に金属電極層を形成する工程と、
前記金属電極層上にパッシベーション層を形成する工程と、
前記パッシベーション層上に光硬化樹脂層を介してバリアフィルムを形成する工程と
を有することを特徴とする有機薄膜太陽電池の製造方法。 - 前記バリアフィルムは、シートガラスを備えることを特徴とする請求項11に記載の有機薄膜太陽電池の製造方法。
- 前記バリアフィルムは、プラスチックフィルムを備えることを特徴とする請求項11に記載の有機薄膜太陽電池の製造方法。
- 前記基板に対して面直方向に配置され、前記バリアフィルム、前記光硬化樹脂層および前記パッシベーション層を貫通して、前記透明電極層と接続される取り出し端子電極を形成する工程を有することを特徴とする請求項11に記載の有機薄膜太陽電池の製造方法。
- 前記基板の端面に配置され、前記端面で前記透明電極層と接続される取り出し端子電極を形成する工程を有することを特徴とする請求項11に記載の有機薄膜太陽電池の製造方法。
- 前記有機層を形成する工程は、スピンコート法若しくはインクジェット法による形成工程を有することを特徴とする請求項11に記載の有機薄膜太陽電池の製造方法。
- 前記有機層を形成する工程は、
正孔輸送層を形成する工程と、
前記正孔輸送層上にバルクへテロ接合有機活性層を形成する工程と
を有することを特徴とする請求項11に記載の有機薄膜太陽電池の製造方法。 - 前記金属電極層表面に不動態膜を形成する工程を有することを特徴とする請求項11に記載の有機薄膜太陽電池の製造方法。
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