JP2016050215A - Encapsulant composition and semiconductor device using the same - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、コンプレッションモールド法のモールド樹脂や、キャピラリフロータイプのアンダーフィルとして使用される封止材組成物に関する。また、本発明は、半導体装置の製造時に、本発明の封止材組成物を用いた半導体装置に関する。 The present invention relates to a molding resin for compression molding and a sealing material composition used as a capillary flow type underfill. The present invention also relates to a semiconductor device using the encapsulant composition of the present invention at the time of manufacturing the semiconductor device.
チップサイズパッケージなど半導体集積回路（ＬＳＩ）を製造するには、半導体ウエハプロセスとパッケージプロセスとを各々組み合わせて行われていた。即ち、半導体ウエハプロセスにおいては、ベア・ウエハにウエルを形成し、絶縁膜を介してトランジスタを形成し、更に絶縁膜を介して配線層を形成しパシベーション膜の形成及び電極パッドの形成などが行われていた。パッケージプロセスにおいては、ウエハテストを行った後、チップに切断して、予めベースフィルムに配線層が形成されたサブストレートにダイボンディングし、ワイヤボンディングなどによりサブストレートと電気的に接続した後、半導体チップ搭載面を樹脂封止され、外部接続端子としてはんだボールが接合され、マーキングやトリミングが行われた後、機能テストなどが行われ、チップサイズパッケージが製造されていた。 In order to manufacture a semiconductor integrated circuit (LSI) such as a chip size package, a semiconductor wafer process and a package process are combined. That is, in the semiconductor wafer process, a well is formed in a bare wafer, a transistor is formed through an insulating film, a wiring layer is formed through an insulating film, a passivation film is formed, and an electrode pad is formed. It was broken. In the package process, after performing a wafer test, it is cut into chips, die-bonded to a substrate in which a wiring layer is previously formed on a base film, and electrically connected to the substrate by wire bonding or the like, and then a semiconductor The chip mounting surface was sealed with resin, solder balls were joined as external connection terminals, marking and trimming were performed, functional tests were performed, and chip size packages were manufactured.
近年のＬＳＩの高密度実装化、高集積化に伴い半導体チップの小型化が進んでおり、半導体ウエハ上にトランジスタや配線を形成する半導体ウエハプロセスでは半導体チップを小型化すればするほど１枚取り個数が増大して生産性が向上するため、生産コストを低下することが可能となった。しかしながら、パッケージプロセスにおいては、チップ寸法が縮小してもパッケージ寸法は変わらないため、外形寸法は一定のままであった。このため、パッケージプロセスの生産性は向上せず、パッケージの外形寸法がチップの外形寸法と同じになるようなパッケージの出現が望まれていた。 In recent years, the miniaturization of semiconductor chips has progressed as LSIs are mounted with higher density and higher integration. In the semiconductor wafer process in which transistors and wirings are formed on a semiconductor wafer, the smaller the semiconductor chip, the smaller the size of the semiconductor chip. Since the number increases and the productivity improves, the production cost can be reduced. However, in the package process, the package size does not change even if the chip size is reduced, so the outer dimensions remain constant. For this reason, the productivity of the package process is not improved, and the appearance of a package in which the outer dimension of the package is the same as the outer dimension of the chip has been desired.
そこで、最近になって、特許文献１に示すように、半導体ウエハレベルで切断した形でパッケージになる、即ちパッケージの外形寸法がチップの外形寸法と同じになる、いわゆる半導体ウエハレベルのチップサイズパッケージが提案されている。これは、半導体ウエハプロセスにおいて、半導体ウエハ上に複数のトランジスタと配線を形成した後、チップの周辺にある電極よりチップ中央部に向かって再配線し、ここに外部接続端子に接続するメタルポストを立ててその周囲をモールド樹脂で封止する。そして、成形品にマーキングをしてはんだボールをメタルポストに電気的に接続するよう接合した後、半導体ウエハを各チップ毎に切断して機能テストを行いチップサイズパッケージが製造される。これによって、パッケージプロセスを半導体ウエハプロセスと一体化して工程数を削減してスループットの向上を図り、パッケージプロセスに要する製造装置が省略できるので製造コストを削減でき、省スペースでしかもロット管理がしやすく、パッケージの生産性を著しく向上させることが可能となる。 Therefore, recently, as shown in Patent Document 1, a package is obtained by cutting at the semiconductor wafer level, that is, the package has the same external dimensions as the chip, so-called semiconductor wafer level chip size package. Has been proposed. This is because, in a semiconductor wafer process, after forming a plurality of transistors and wiring on a semiconductor wafer, rewiring from the electrodes around the chip toward the center of the chip, and metal posts connected to external connection terminals are provided here. The periphery is sealed with mold resin. Then, after marking the molded product and joining the solder balls to be electrically connected to the metal posts, the semiconductor wafer is cut for each chip and a function test is performed to manufacture a chip size package. As a result, the packaging process is integrated with the semiconductor wafer process to reduce the number of processes and improve the throughput, and the manufacturing equipment required for the packaging process can be omitted, so that the manufacturing cost can be reduced, and the lot management is facilitated while saving space. The package productivity can be significantly improved.
上記半導体ウエハレベルのチップサイズパッケージの製造工程において、モールド樹脂による封止工程では、半導体ウエハをモールド金型によりクランプして、モールド樹脂により封止するトランスファモールド法ではなく、下金型上に配置した半導体ウエハ上にモールド樹脂を塗布して圧縮成形し、この圧縮成形時にモールド樹脂を加熱硬化させるコンプレッションモールド法が採用されている（特許文献２参照）。このコンプレッションモールド法は、モールド樹脂とモールド金型との間に離型フィルムを介在させて、モールド樹脂がモールド金型に付着しないようになっている。 In the manufacturing process of the semiconductor wafer level chip size package, in the sealing step with the mold resin, the semiconductor wafer is clamped with a mold die and placed on the lower die instead of the transfer mold method of sealing with the mold resin. A compression molding method is employed in which a mold resin is applied onto a semiconductor wafer that has been subjected to compression molding, and the mold resin is heated and cured during the compression molding (see Patent Document 2). In this compression molding method, a release film is interposed between the mold resin and the mold die so that the mold resin does not adhere to the mold die.
コンプレッションモールド法で使用するモールド樹脂は、モールド時にフローマークや未充填部が生じないような流動性が求められる。具体的には、回転粘度計を用いて測定される、１０ｒｐｍで２５℃における粘度が５０００００ｍＰａ・ｓ以下であることが求められる。
上述したように、コンプレッションモールド法の実施時には、モールド樹脂とモールド金型との間に離型フィルムを介在させて、モールド樹脂がモールド金型に付着しないようにしている。このため、コンプレッションモールド法で使用するモールド樹脂は、離型フィルムの剥離温度より低温で硬化することが求められる。具体的には、後述する実施例に記載の手順による、１５０℃におけるゲルタイムが１２０ｓｅｃ以内であることが求められる。
また、再配線時やボールマウント時に影響が生じないように、コンプレッションモールド法の実施後にそりが小さいことが求められる。
また、半導体パッケージの最外面となるモールド樹脂には難燃性も求められる。具体的には、ＵＬ規格による難燃性でＶ−０相当の難燃性を有することが求められる。
The mold resin used in the compression molding method is required to have fluidity so that no flow mark or unfilled portion is generated during molding. Specifically, the viscosity at 25 ° C. at 10 rpm measured with a rotational viscometer is required to be 500,000 mPa · s or less.
As described above, when the compression molding method is performed, a release film is interposed between the mold resin and the mold die so that the mold resin does not adhere to the mold die. For this reason, the mold resin used in the compression molding method is required to be cured at a temperature lower than the peeling temperature of the release film. Specifically, it is required that the gel time at 150 ° C. is within 120 sec according to the procedure described in the examples described later.
In addition, the warpage is required to be small after the compression molding method so as not to affect the rewiring or ball mounting.
In addition, the mold resin that is the outermost surface of the semiconductor package is also required to have flame retardancy. Specifically, it is required to have flame retardancy equivalent to V-0 with the flame retardancy according to UL standards.
コンプレッションモールド法で使用するモールド樹脂としては、エポキシ樹脂を主成分とするものが従来使用されている（特許文献３、４参照）。エポキシ樹脂を主成分とするモールド樹脂は、流動性、低温での硬化性、コンプレッションモールド法の実施後にそりが小さい、という点では、上述した要求を満足するが、難燃性は十分ではなく、ＵＬ規格による難燃性がＨＢ相当であった。 As a mold resin used in the compression molding method, one having an epoxy resin as a main component has been conventionally used (see Patent Documents 3 and 4). The mold resin mainly composed of epoxy resin satisfies the above-mentioned requirements in terms of fluidity, curability at low temperature, and small warpage after the compression molding method, but the flame retardancy is not sufficient, The flame retardancy according to UL standards was equivalent to HB.
一方、コンプレッションモールド法で使用するモールド樹脂として、シアネートエステルを主成分とする液状樹脂組成物が特許文献５に開示されている。この液状樹脂組成物は、流動性、コンプレッションモールド法の実施後にそりが小さい、難燃性という点では、上述した要求を満足するが、低温での硬化性は十分ではなかった。特許文献１に記載の液状封止樹脂組成物では、シアネートエステルの硬化剤として金属錯体が使用されている。シアネートエステルの硬化材である金属錯体の添加量を増やした場合、低温硬化性は向上するが、製品としての可使時間（ポットライフ）や保管可使時間（シェルフライフ）が損なわれる。 On the other hand, Patent Document 5 discloses a liquid resin composition containing cyanate ester as a main component as a mold resin used in the compression molding method. This liquid resin composition satisfies the above-described requirements in terms of fluidity, small warpage after the compression molding method, and flame retardancy, but the curability at low temperatures is not sufficient. In the liquid sealing resin composition described in Patent Document 1, a metal complex is used as a curing agent for cyanate ester. When the addition amount of the metal complex that is a curing agent of cyanate ester is increased, the low-temperature curability is improved, but the pot life (pot life) and shelf life (shelf life) of the product are impaired.
また、電子機器の小型化、軽量化、高性能化に伴い半導体の実装形態がワイヤーボンド型からフリップチップ型へと変化してきている。
フリップチップ型の半導体装置は、バンプ電極を介して基板上の電極部と半導体素子とが接続された構造を持っている。この構造の半導体装置は、温度サイクル等の熱付加が加わった際に、エポキシ樹脂等の有機材料製の基板と、半導体素子と、の熱膨張係数の差によってバンプ電極に応力がかかり、バンプ電極にクラック等の不良が発生することが問題となっている。この不良発生を抑制するために、アンダーフィルと呼ばれる液状封止材を用いて、半導体素子と基板との間のギャップを封止し、両者を互いに固定することによって、耐サーマルサイクル性を向上させることが広く行われている（特許文献６参照）。
アンダーフィルの供給方法としては、半導体素子と、基板上の電極部と、を接続させた後、半導体素子の外周に沿ってアンダーフィルを塗布（ディスペンス）し、毛細管現象を利用して、両者の間隙にアンダーフィルを注入するキャピラリフロータイプのアンダーフィルが一般的である。アンダーフィルの注入後、該アンダーフィルを加熱硬化させることで両者の接続部位を補強する。
キャピラリフロータイプのアンダーフィル材、上述した流動性、低温での硬化性、および、硬化後のそりが小さいことが求められる。
In addition, with the reduction in size, weight, and performance of electronic devices, the semiconductor mounting form is changing from a wire bond type to a flip chip type.
A flip chip type semiconductor device has a structure in which an electrode portion on a substrate and a semiconductor element are connected via a bump electrode. In the semiconductor device having this structure, when heat application such as a temperature cycle is applied, a stress is applied to the bump electrode due to a difference in coefficient of thermal expansion between the substrate made of an organic material such as an epoxy resin and the semiconductor element. It is a problem that defects such as cracks occur. In order to suppress the occurrence of this defect, a liquid sealing material called underfill is used to seal the gap between the semiconductor element and the substrate and fix them together, thereby improving thermal cycle resistance. Is widely performed (see Patent Document 6).
As a method for supplying the underfill, after connecting the semiconductor element and the electrode part on the substrate, the underfill is applied (dispensed) along the outer periphery of the semiconductor element, and the capillary phenomenon is used to A capillary flow type underfill in which an underfill is injected into the gap is generally used. After injecting the underfill, the connecting portion between the two is reinforced by heat-curing the underfill.
Capillary flow type underfill material, fluidity described above, curability at low temperature, and warpage after curing are required to be small.
本発明は、上記した従来技術における問題点を解決するため、コンプレッションモールド法で使用するモールド樹脂、および、キャピラリフロータイプのアンダーフィルとして好適な、流動性、低温での硬化性、および、難燃性に優れ、かつ、硬化後のそりが小さい封止材組成物、ならびに、半導体装置の製造時に、本発明の封止材組成物を用いた半導体装置を提供することを目的とする。 In order to solve the above-mentioned problems in the prior art, the present invention provides fluidity, low temperature curability, and flame retardancy suitable as a mold resin used in the compression molding method and a capillary flow type underfill. An object of the present invention is to provide a sealing material composition that is excellent in properties and has a small warp after curing, and a semiconductor device using the sealing material composition of the present invention at the time of manufacturing a semiconductor device.
上記の目的を達成するため、本発明は、
（Ａ）下記式（１）で示される化合物、
（Ｃ）下記式（２）で示される化合物、
および、（Ｄ）金属錯体触媒を含有し、
前記（Ａ）、（Ｂ）成分の含有割合が質量部で９０：１０〜５０：５０であり、前記（Ａ）、（Ｂ）成分の合計１００質量部に対して、前記（Ｃ）成分を０．５〜９質量部含有し、前記（Ｄ）成分を０．１〜１．５質量部含有することを特徴とする封止剤組成物を提供する。
In order to achieve the above object, the present invention provides:
(A) a compound represented by the following formula (1),
(C) a compound represented by the following formula (2),
And (D) a metal complex catalyst,
The content ratio of the components (A) and (B) is 90:10 to 50:50 in parts by mass, and the component (C) is added to 100 parts by mass in total of the components (A) and (B). 0.5-9 mass parts is contained, 0.1-1.5 mass parts of said (D) component is contained, The sealing agent composition characterized by the above-mentioned is provided.
本発明の封止材組成物において、前記（Ｃ）成分が下記式（３）で示される化合物であることが好ましい。
本発明の封止材組成物において、前記（Ｃ）成分が下記式（４）で示される化合物であることが好ましい。
本発明の封止材組成物は、さらに、（Ｅ）フィラーを含有してもよい。 The sealing material composition of the present invention may further contain (E) a filler.
また、本発明は、半導体装置の製造時に、本発明の封止材組成物を用いることを特徴とする半導体装置を提供する。 Moreover, this invention provides the semiconductor device characterized by using the sealing material composition of this invention at the time of manufacture of a semiconductor device.
本発明の封止材組成物は、流動性、低温での硬化性、および、難燃性に優れ、かつ、硬化後のそりが小さいため、コンプレッションモールド法で使用するモールド樹脂、および、キャピラリフロータイプのアンダーフィルとして好適である。 Since the sealing material composition of the present invention is excellent in fluidity, low temperature curability, flame retardancy, and small warpage after curing, a mold resin used in the compression molding method, and capillary flow Suitable as a type of underfill.
以下、本発明の封止材組成物について詳細に説明する。
本発明の封止材組成物は、以下に示す（Ａ）〜（Ｄ）成分を必須成分として含有する。
Hereinafter, the sealing material composition of the present invention will be described in detail.
The sealing material composition of the present invention contains the following components (A) to (D) as essential components.
（Ａ）下記式（１）で示される化合物
（Ｂ）上記式（１）の化合物以外のシアネートエステル、および、液状エポキシ樹脂からなる群から選択される少なくとも一種
（Ｂ）成分は、（Ａ）成分とともに本発明の封止材組成物の主剤をなす成分である。
上述したように、式（１）の化合物は、常温における粘度が低いため、封止材組成物の流動性に寄与する。しかしながら、式（１）の化合物のみを主剤として使用した場合、保存時に封止材組成物が結晶化する問題がある。
そのため、本発明の封止材組成物では、本発明の封止材組成物の主剤として、（Ａ）成分とともに、（Ｂ）成分として、式（１）の化合物以外のシアネートエステル、および、液状エポキシ樹脂からなる群から選択される少なくとも一種を使用する。
(B) At least one selected from the group consisting of a cyanate ester other than the compound of the above formula (1) and a liquid epoxy resin (B) component is the main component of the encapsulant composition of the present invention together with component (A) It is a component that makes.
As described above, the compound of formula (1) contributes to the fluidity of the encapsulant composition because of its low viscosity at room temperature. However, when only the compound of formula (1) is used as the main agent, there is a problem that the encapsulant composition crystallizes during storage.
Therefore, in the sealing material composition of the present invention, as the main component of the sealing material composition of the present invention, together with the component (A), as the component (B), a cyanate ester other than the compound of the formula (1), and a liquid At least one selected from the group consisting of epoxy resins is used.
（Ｂ）成分として、式（１）の化合物以外のシアネートエステルを使用する場合、ノボラック型シアネートエステル、テトラメチルビスフェノールＦ型シアネートエステル等が挙げられる。 (B) When using cyanate ester other than the compound of Formula (1) as a component, novolak-type cyanate ester, tetramethylbisphenol F-type cyanate ester, etc. are mentioned.
（Ｂ）成分として使用する、液状エポキシ樹脂とは常温で液状のエポキシ樹脂を意味する。
（Ｂ）成分として使用する、本発明における液状エポキシ樹脂としては、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂の平均分子量が約４００以下のもの；ｐ−グリシジルオキシフェニルジメチルトリスビスフェノールＡジグリシジルエーテルのような分岐状多官能ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂；ビスフェノールＦ型エポキシ樹脂；フェノールノボラック型エポキシ樹脂の平均分子量が約５７０以下のもの；ビニル（３，４−シクロヘキセン）ジオキシド、３，４−エポキシシクロヘキシルカルボン酸（３，４−エポキシシクロヘキシル）メチル、アジピン酸ビス（３，４−エポキシ−６−メチルシクロヘキシルメチル）、２−（３，４−エポキシシクロヘキシル）５，１−スピロ（３，４−エポキシシクロヘキシル）−ｍ−ジオキサンのような脂環式エポキシ樹脂；３，３´，５，５´−テトラメチル−４，４´−ジグリシジルオキシビフェニルのようなビフェニル型エポキシ樹脂；ヘキサヒドロフタル酸ジグリシジル、３−メチルヘキサヒドロフタル酸ジグリシジル、ヘキサヒドロテレフタル酸ジグリシジルのようなグリシジルエステル型エポキシ樹脂；ジグリシジルアニリン、ジグリシジルトルイジン、トリグリシジル−ｐ−アミノフェノール、テトラグリシジル−ｍ−キシリレンジアミン、テトラグリシジルビス（アミノメチル）シクロヘキサンのようなグリシジルアミン型エポキシ樹脂；ならびに１，３−ジグリシジル−５−メチル−５−エチルヒダントインのようなヒダントイン型エポキシ樹脂；ナフタレン環含有エポキシ樹脂が例示される。また、１，３−ビス（３−グリシドキシプロピル）−１，１，３，３−テトラメチルジシロキサンのようなシリコーン骨格をもつエポキシ樹脂も使用することができる。さらに、（ポリ）エチレングリコールジグリシジルエーテル、（ポリ）プロピレングリコールジグルシジルエーテル、ブタンジオールジグリシジルエーテル、ネオペンチルグリコールジグリシジルエーテル、シクロヘキサンジメタノールジグリシジルエーテルのようなジエポキシド化合物；トリメチロールプロパントリグリシジルエーテル、グリセリントリグリシジルエーテルのようなトリエポキシド化合物等も例示される。
The liquid epoxy resin used as the component (B) means an epoxy resin that is liquid at room temperature.
The liquid epoxy resin used as the component (B) in the present invention includes a bisphenol A type epoxy resin having an average molecular weight of about 400 or less; a branched multi-chain such as p-glycidyloxyphenyldimethyltrisbisphenol A diglycidyl ether. Functional bisphenol A type epoxy resin; bisphenol F type epoxy resin; phenol novolac type epoxy resin having an average molecular weight of about 570 or less; vinyl (3,4-cyclohexene) dioxide, 3,4-epoxycyclohexylcarboxylic acid (3,4) -Epoxycyclohexyl) methyl, bis (3,4-epoxy-6-methylcyclohexylmethyl) adipate, 2- (3,4-epoxycyclohexyl) 5,1-spiro (3,4-epoxycyclohexyl) -m-dioxane Fat like Epoxy resin; biphenyl type epoxy resin such as 3,3 ′, 5,5′-tetramethyl-4,4′-diglycidyloxybiphenyl; diglycidyl hexahydrophthalate, diglycidyl 3-methylhexahydrophthalate, hexa Glycidyl ester type epoxy resin such as diglycidyl hydroterephthalate; glycidyl such as diglycidyl aniline, diglycidyl toluidine, triglycidyl-p-aminophenol, tetraglycidyl-m-xylylenediamine, tetraglycidyl bis (aminomethyl) cyclohexane Examples include amine type epoxy resins; and hydantoin type epoxy resins such as 1,3-diglycidyl-5-methyl-5-ethylhydantoin; naphthalene ring-containing epoxy resins. Moreover, an epoxy resin having a silicone skeleton such as 1,3-bis (3-glycidoxypropyl) -1,1,3,3-tetramethyldisiloxane can also be used. Furthermore, diepoxide compounds such as (poly) ethylene glycol diglycidyl ether, (poly) propylene glycol diglycidyl ether, butanediol diglycidyl ether, neopentyl glycol diglycidyl ether, cyclohexane dimethanol diglycidyl ether; trimethylolpropane triglycidyl Examples include ethers and triepoxide compounds such as glycerin triglycidyl ether.
（Ｂ）成分としては、これらの中でも、ノボラック型シアネートエステル、（テトラメチル）ビスフェノールＦ型シアネートエステル樹脂が好ましく、ノボラック型シアネートエステルが少量で結晶化が抑制できるためより好ましい。
（Ｂ）成分としてのシアネートエステルは、単独で使用してもよく、２種以上併用してもよい。（Ｂ）成分としての液状エポキシ樹脂も、単独で使用してもよく、２種以上併用してもよい。また、（Ｂ）成分として、シアネートエステルと液状エポキシ樹脂を併用してもよい。
Among these, as the component (B), a novolak-type cyanate ester and a (tetramethyl) bisphenol F-type cyanate ester resin are preferable, and a novolak-type cyanate ester is more preferable because crystallization can be suppressed with a small amount.
(B) The cyanate ester as a component may be used independently and may be used together 2 or more types. (B) The liquid epoxy resin as a component may also be used independently and may be used together 2 or more types. Moreover, you may use together cyanate ester and a liquid epoxy resin as (B) component.
本発明の封止材組成物は、（Ａ）、（Ｂ）成分の含有割合が質量部で９０：１０〜５０：５０である。（Ａ）成分の含有割合が９０：１０より多いと、保存時に封止材組成物が結晶化する問題がある。
一方、（Ａ）成分の含有割合が５０：５０より少ないと、封止材組成物の常温における粘度が高くなるため、コンプレッションモールド法で使用するモールド樹脂やキャピラリフロータイプのアンダーフィルとして使用する際に流動性が低下する。
（Ａ）、（Ｂ）成分の含有割合は、９０：１０〜７０：３０であることが好ましく、９０：１０〜８０：２０であることがより好ましい。
In the sealing material composition of the present invention, the content ratio of the components (A) and (B) is 90:10 to 50:50 in parts by mass. When the content ratio of the component (A) is more than 90:10, there is a problem that the sealing material composition is crystallized during storage.
On the other hand, if the content ratio of the component (A) is less than 50:50, the viscosity of the encapsulant composition at room temperature increases, and therefore when used as a mold resin or a capillary flow type underfill used in the compression molding method. The fluidity decreases.
The content ratio of the components (A) and (B) is preferably 90:10 to 70:30, and more preferably 90:10 to 80:20.
（Ｃ）下記式（２）で示される化合物、
上述したように、シアネートエステルを主成分とし、金属錯体触媒を用いる特許文献１
に記載の液状樹脂組成物は、低温での硬化性は十分ではなかった。これに対し、本発明の封止材組成物では、（Ｄ）成分の金属錯体触媒に加えて、（Ｃ）成分が酸発生剤として作用する、式（２）の化合物を特定量含有することにより、低温での硬化性が向上している。
(C) a compound represented by the following formula (2),
As described above, Patent Document 1 using a cyanate ester as a main component and a metal complex catalyst.
The liquid resin composition described in 1) did not have sufficient curability at low temperatures. On the other hand, in the sealing material composition of the present invention, in addition to the metal complex catalyst of the component (D), the compound of the formula (2) in which the component (C) acts as an acid generator is contained in a specific amount. As a result, curability at low temperature is improved.
式（２）中、Ｒ1及びＲ2はそれぞれ独立にアルキル基又はアラルキル基を表し、Ｒ3は水素、アルキル基、ヒドロキシ基、カルボキシル基、アルコキシ基、アリールオキシ基、アルキルカルボニル基、アリールカルボニル基、アラルキルカルボニル基、アルコキシカルボニル基、アリールオキシカルボニル基、アラルキルオキシカルボニル基、アルキルカルボニルオキシ基、アリールカルボニルオキシ基、アラルキルカルボニルオキシ基、アルコキシカルボニルオキシ基、アリールオキシカルボニルオキシ基、アラルキルオキシカルボニルオキシ基、アリールチオカルボニル基、アリールチオ基、アルキルチオ基、アリール基、複素環式炭化水素基、アルキルスルフィニル基、アリールスルフィニル基、アルキルスルホニル基、アリールスルホニル基、ヒドロキシ（ポリ）アルキレンオキシ基、置換されていてよいアミノ基、シアノ基、ニトロ基、および、ハロゲン原子からなる群から選択される少なくとも一種を表し、ｍは、Ｒ3の個数を表し、０〜５の整数である。Ｒｆは水素の８０％以上がフッ素原子で置換されたアルキル基を表す。ｂはその個数を表し、１〜５の整数である。Ｒｆはそれぞれ同一であっても異なっていてもよい。 In formula (2), R 1 and R 2 each independently represents an alkyl group or an aralkyl group, and R 3 represents hydrogen, an alkyl group, a hydroxy group, a carboxyl group, an alkoxy group, an aryloxy group, an alkylcarbonyl group, an arylcarbonyl group. Group, aralkylcarbonyl group, alkoxycarbonyl group, aryloxycarbonyl group, aralkyloxycarbonyl group, alkylcarbonyloxy group, arylcarbonyloxy group, aralkylcarbonyloxy group, alkoxycarbonyloxy group, aryloxycarbonyloxy group, aralkyloxycarbonyloxy Group, arylthiocarbonyl group, arylthio group, alkylthio group, aryl group, heterocyclic hydrocarbon group, alkylsulfinyl group, arylsulfinyl group, alkylsulfonyl group, arylsulfur group Group, hydroxy (poly) alkyleneoxy group, optionally substituted amino group, a cyano group, a nitro group, and represents at least one selected from the group consisting of halogen atom, m represents the number of R 3 , An integer from 0 to 5. Rf represents an alkyl group in which 80% or more of hydrogen is substituted with a fluorine atom. b represents the number thereof and is an integer of 1 to 5. Rf may be the same or different.
Ｒ1、Ｒ2としては、炭素数１〜１８のアルキル基又は炭素数６〜１０のアラルキル基が好ましい。炭素数１〜１８のアルキル基としては、メチル基、エチル基、ｎ−プロピル、ｎ−ブチル、ｎ−ベンチル、ｎ−オクチル、ｎ−デシル、ｎ−ドデシル、ｎ−テトラデシル、ｎ−ヘキサデシル、ｎ−オクタデエシル等が好ましく、メチル基、エチル基がより好ましい。炭素数６〜１０のアラルキル基としては、ベンジル基、２−メチルベンジル基、１−ナフチルメチル基、２−ナフチルメチル基が好ましく、ベンジル基、１−ナフチルメチル基がより好ましい。 R 1 and R 2 are preferably an alkyl group having 1 to 18 carbon atoms or an aralkyl group having 6 to 10 carbon atoms. Examples of the alkyl group having 1 to 18 carbon atoms include methyl group, ethyl group, n-propyl, n-butyl, n-bentyl, n-octyl, n-decyl, n-dodecyl, n-tetradecyl, n-hexadecyl, n -Octadecyl and the like are preferable, and a methyl group and an ethyl group are more preferable. The aralkyl group having 6 to 10 carbon atoms is preferably a benzyl group, a 2-methylbenzyl group, a 1-naphthylmethyl group, or a 2-naphthylmethyl group, and more preferably a benzyl group or a 1-naphthylmethyl group.
Ｒ3としては、ヒドロキシ基、メチルカルボニルオキシ基が好ましい。 R 3 is preferably a hydroxy group or a methylcarbonyloxy group.
ｍとしては、０〜２が好ましく、０又は1がより好ましい。 As m, 0-2 are preferable and 0 or 1 is more preferable.
Ｒｆとしては、水素の８０％以上がフッ素原子で置換された、炭素数１〜５のアルキル基が好ましく、炭素数１〜４のアルキル基がより好ましい。 Rf is preferably an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms in which 80% or more of hydrogen is substituted with a fluorine atom, and more preferably an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms.
ｂとしては、２〜４が好ましく、２又は３がより好ましい。 As b, 2-4 are preferable and 2 or 3 is more preferable.
（Ｃ）成分として、好ましい化合物の一例は、下記式（３）で示される化合物である。
（Ｃ）成分として、好ましい化合物の別の一例は、下記式（４）で示される化合物である。
（Ｃ）成分として使用する式（２）の化合物の具体例としては、４−ヒドロキシフェニル−メチル−ベンジルスルホニウム トリス（ペンタフルオロエチル）トリフルオロホスフェート、４−ヒドロキシフェニル−メチル−１−ナフチルメチルスルホニウム トリス（ペンタフルオロエチル）トリフルオロホスフェート、４−アセトキシフェニルベンジルメチルスルホニウム トリス（ペンタフルオロエチル）トリフルオロホスフェート、４−ヒドロキシフェニルジメチルスルホニウム トリス（ペンタフルオロエチル）トリフルオロホスフェート、４−アセトキシフェニルジメチルスルホニウム トリス（ペンタフルオロエチル）トリフルオロホスフェートが挙げられる。これらの中でも、４−ヒドロキシフェニル−メチル−ベンジルスルホニウム トリス（ペンタフルオロエチル）トリフルオロホスフェート、４−アセトキシフェニルジメチルスルホニウム トリス（ペンタフルオロエチル）トリフルオロホスフェートが好ましく、４−ヒドロキシフェニル−メチル−ベンジルスルホニウム トリス（ペンタフルオロエチル）トリフルオロホスフェートがより好ましい。 Specific examples of the compound of the formula (2) used as the component (C) include 4-hydroxyphenyl-methyl-benzylsulfonium tris (pentafluoroethyl) trifluorophosphate, 4-hydroxyphenyl-methyl-1-naphthylmethylsulfonium. Tris (pentafluoroethyl) trifluorophosphate, 4-acetoxyphenylbenzylmethylsulfonium Tris (pentafluoroethyl) trifluorophosphate, 4-hydroxyphenyldimethylsulfonium Tris (pentafluoroethyl) trifluorophosphate, 4-acetoxyphenyldimethylsulfonium tris (Pentafluoroethyl) trifluorophosphate is mentioned. Among these, 4-hydroxyphenyl-methyl-benzylsulfonium tris (pentafluoroethyl) trifluorophosphate and 4-acetoxyphenyldimethylsulfonium tris (pentafluoroethyl) trifluorophosphate are preferable, and 4-hydroxyphenyl-methyl-benzylsulfonium. Tris (pentafluoroethyl) trifluorophosphate is more preferred.
（Ｃ）成分の化合物は、一種のみを使用してもよく、２種以上併用してもよい。 As the compound (C), only one kind may be used, or two or more kinds may be used in combination.
本発明の樹脂組成物において、（Ｃ）成分の含有量は、（Ａ）、（Ｂ）成分の合計１００質量部に対して０．５〜９質量部である。（Ｃ）成分の含有量が、０．５質量部より少ない場合、（Ａ）、（Ｂ）成分の硬化反応を促進する作用が十分発揮されず、低温での硬化性が低下する。一方、（Ｃ）成分の含有量が、９質量部より多い場合、封止材組成物の貯蔵安定性が低下し、ポットライフが短くなる。
（Ｃ）成分の含有量は、（Ａ）、（Ｂ）成分の合計１００質量部に対して０．５〜５質量部であることが好ましい。
In the resin composition of the present invention, the content of the component (C) is 0.5 to 9 parts by mass with respect to 100 parts by mass in total of the components (A) and (B). When content of (C) component is less than 0.5 mass part, the effect | action which accelerates | stimulates hardening reaction of (A) and (B) component is not fully exhibited, but sclerosis | hardenability at low temperature falls. On the other hand, when there is more content of (C) component than 9 mass parts, the storage stability of a sealing material composition falls and a pot life becomes short.
It is preferable that content of (C) component is 0.5-5 mass parts with respect to a total of 100 mass parts of (A) and (B) component.
（Ｄ）金属錯体触媒
（Ｄ）成分の金属錯体触媒は、（Ａ）、（Ｂ）成分の硬化反応の触媒である。（Ｄ）成分の金属錯体触媒としては、コバルト、チタン、銅、亜鉛、鉄、ニッケル、マンガン、および、スズからなる群から選択される少なくとも一種の金属を含む有機金属錯体又は有機金属塩が好ましい。これらの中でも、コバルト、チタン、および、亜鉛からなる群から選択される少なくとも一種の金属を含む有機金属錯体又は有機金属塩が好ましく、コバルトを含む有機金属錯体又は有機金属塩が好ましい。
(D) Metal Complex Catalyst The metal complex catalyst of component (D) is a catalyst for the curing reaction of components (A) and (B). As the metal complex catalyst of component (D), an organometallic complex or an organometallic salt containing at least one metal selected from the group consisting of cobalt, titanium, copper, zinc, iron, nickel, manganese, and tin is preferable. . Among these, an organometallic complex or an organometallic salt containing at least one metal selected from the group consisting of cobalt, titanium, and zinc is preferable, and an organometallic complex or an organometallic salt containing cobalt is preferable.
（Ｄ）成分の金属錯体触媒は、一種のみを使用してもよく、２種以上併用してもよい。
本発明の樹脂組成物において、（Ｄ）成分の含有量は、（Ａ）、（Ｂ）成分の合計１００質量部に対して０．１〜１．５質量部である。（Ｄ）成分の含有量が、０．１質量部より少ない場合、（Ａ）、（Ｂ）成分の硬化反応を促進する作用が十分発揮されず、低温での硬化性が低下する。一方、（Ｄ）成分の含有量が、１．５質量部より多い場合、封止材組成物の貯蔵安定性が低下し、ポットライフが短くなる。
（Ｄ）成分の含有量は、（Ａ）、（Ｂ）成分の合計１００質量部に対して０．１〜１質量部であることが好ましく、０．１〜０．５質量部であることがより好ましい。
As the metal complex catalyst of component (D), only one type may be used, or two or more types may be used in combination.
In the resin composition of the present invention, the content of the component (D) is 0.1 to 1.5 parts by mass with respect to 100 parts by mass in total of the components (A) and (B). When content of (D) component is less than 0.1 mass part, the effect | action which accelerates | stimulates hardening reaction of (A) and (B) component is not fully exhibited, but sclerosis | hardenability at low temperature falls. On the other hand, when there is more content of (D) component than 1.5 mass parts, the storage stability of a sealing material composition falls and a pot life becomes short.
The content of the component (D) is preferably 0.1 to 1 part by mass, and 0.1 to 0.5 part by mass with respect to 100 parts by mass in total of the components (A) and (B). Is more preferable.
本発明の液状封止材は、上記（Ａ）〜（Ｄ）成分以外に、以下に述べる成分を必要に応じて含有してもよい。 The liquid sealing material of this invention may contain the component described below as needed other than the said (A)-(D) component.
（Ｅ）フィラー
本発明の封止材組成物を、コンプレッションモールド法で使用するモールド樹脂、または、キャピラリフロータイプのアンダーフィルとして使用する場合は、（Ｅ）成分として、フィラーを含有させることが好ましい。
（Ｅ）成分として、フィラーを含有させることで、本発明の封止材組成物を、コンプレッションモールド法で使用するモールド樹脂、または、キャピラリフロータイプのアンダーフィルとして使用した場合に、封止した部位の耐湿性および耐サーマルサイクル性、特に耐サーマルサイクル性が向上する。フィラーの使用により耐サーマルサイクル性が向上するのは、線膨張係数を下げることにより、基板などの媒体との線膨張係数の差を抑制できるからである。なお、基板などの媒体との線膨張係数の差が抑制されることにより、封止材組成物の硬化後のそりも小さくなる。
(E) Filler When the sealing material composition of the present invention is used as a mold resin used in a compression molding method or a capillary flow type underfill, it is preferable to contain a filler as the component (E). .
(E) By including a filler as a component, when the sealing material composition of the present invention is used as a molding resin used in a compression molding method or a capillary flow type underfill, the sealed site This improves the moisture resistance and thermal cycle resistance, particularly thermal cycle resistance. The reason why the thermal cycle resistance is improved by using the filler is that the difference in the linear expansion coefficient from a medium such as a substrate can be suppressed by lowering the linear expansion coefficient. In addition, the curvature after hardening of a sealing material composition also becomes small by suppressing the difference of a linear expansion coefficient with media, such as a board | substrate.
フィラーは、添加により線膨張係数を下げる効果を有するものである限り特に限定されず、各種フィラーを使用することができる。具体的には非晶質シリカ、結晶性シリカ、アルミナ、チッ化ホウ素、チッ化アルミニウム、チッ化珪素等が挙げられる。
これらの中でも、シリカ、特に、非晶質の球状シリカが、本発明の封止材組成物を、コンプレッションモールド法で使用するモールド樹脂として使用した際に流動性に優れ、硬化物の線膨張係数を低減できることから望ましい。
また、フィラーは、シランカップリング剤等で表面処理が施されたものであってもよい。表面処理が施されたフィラーを使用した場合、フィラーの凝集を防止する効果が期待される。これにより、本発明の封止材組成物の保存安定性の向上が期待される。
The filler is not particularly limited as long as it has an effect of lowering the linear expansion coefficient by addition, and various fillers can be used. Specific examples include amorphous silica, crystalline silica, alumina, boron nitride, aluminum nitride, silicon nitride, and the like.
Among these, silica, especially amorphous spherical silica is excellent in fluidity when the sealing material composition of the present invention is used as a molding resin used in the compression molding method, and the linear expansion coefficient of the cured product. This is desirable because it can be reduced.
The filler may be one that has been surface-treated with a silane coupling agent or the like. When a filler that has been subjected to surface treatment is used, an effect of preventing filler aggregation is expected. Thereby, the improvement of the storage stability of the sealing material composition of this invention is anticipated.
（Ｅ）成分としてのフィラーは、平均粒径が０．０１〜４０μｍであることが好ましく、０．１〜２０μｍであることがより好ましい。ここで、フィラーの形状は特に限定されず、球状、不定形、りん片状等のいずれの形態であってもよい。なお、フィラーの形状が球状以外の場合、フィラーの平均粒径とは該フィラーの平均最大径を意味する。 The filler as the component (E) preferably has an average particle size of 0.01 to 40 μm, and more preferably 0.1 to 20 μm. Here, the shape of the filler is not particularly limited, and may be any shape such as a spherical shape, an indeterminate shape, and a flake shape. When the shape of the filler is other than spherical, the average particle diameter of the filler means the average maximum diameter of the filler.
（Ｅ）成分として、フィラーを含有させる場合、本発明の封止材組成物におけるフィラーの含有量は３０〜９０質量％であることが好ましい。
フィラーの含有量が３０質量％未満だと、フィラーの添加により線膨張係数を下げる効果が不十分であり、本発明の封止材組成物をコンプレッションモールド法で使用するモールド樹脂として使用した場合に、耐サーマルサイクル性を向上させる効果が不十分となるおそれがある。
一方、フィラーの含有量が９０質量％超だと、本発明の封止材組成物をコンプレッションモールド法で使用するモールド樹脂として使用する際に、モールド樹脂の流動性が低下するおそれがある。
(E) When a filler is contained as a component, it is preferable that content of the filler in the sealing material composition of this invention is 30-90 mass%.
When the filler content is less than 30% by mass, the effect of lowering the linear expansion coefficient due to the addition of the filler is insufficient, and the sealing material composition of the present invention is used as a mold resin used in the compression molding method. The effect of improving the thermal cycle resistance may be insufficient.
On the other hand, when the filler content is more than 90% by mass, the fluidity of the mold resin may be lowered when the sealing material composition of the present invention is used as a mold resin used in the compression molding method.
（その他の配合剤）
本発明の封止材組成物は、上記（Ａ）〜（Ｅ）成分以外の成分を必要に応じてさらに含有してもよい。このような成分の具体例としては、シランカップリング剤、カーボン等の着色剤、レベリング剤、イオントラップ剤、消泡剤などを配合することができる。各配合剤の種類、配合量は常法通りである。
(Other ingredients)
The sealing material composition of this invention may further contain components other than the said (A)-(E) component as needed. Specific examples of such components include a silane coupling agent, a colorant such as carbon, a leveling agent, an ion trap agent, and an antifoaming agent. The type and amount of each compounding agent are as usual.
（封止材組成物の調製）
本発明の封止材組成物は、上記（Ａ）〜（Ｄ）成分、および、含有させる場合はさらに（Ｅ）成分、ならびに、さらに必要に応じて配合するその他の配合剤を所定量配合した後、ハイブリッドミキサやロールミルにて各成分を分散させ、その後、ハードミキサにて撹拌脱泡することにより調製される。
各成分の配合は同時に実施しても、一部成分を先に配合し、残りの成分を後から配合するなど、適宜変更しても差支えない。たとえば、（Ａ）、（Ｂ）成分を配合した後、（Ｄ）成分を配合し、次に（Ｃ）成分を配合して、さらに、（Ｅ）成分を配合してもよい。
(Preparation of encapsulant composition)
The encapsulant composition of the present invention was formulated with the above components (A) to (D), and, when included, the component (E), and other compounding agents further blended as necessary. Thereafter, each component is dispersed with a hybrid mixer or a roll mill, and then prepared by stirring and defoaming with a hard mixer.
Each component may be blended at the same time, or some components may be blended first, and the remaining components may be blended later. For example, after blending the components (A) and (B), the component (D) may be blended, the component (C) may be blended, and the component (E) may be blended.
次に本発明の封止材組成物の特性について述べる。 Next, the characteristics of the sealing material composition of the present invention will be described.
本発明の封止材組成物は、回転粘度計を用いて測定される、１０ｒｐｍで２５℃における粘度が５０００００ｍＰａ・ｓ以下であることが好ましい。上述した粘度であれば、コンプレッションモールド法で使用するモールド樹脂や、キャピラリフロータイプのアンダーフィルとして使用した際の流動性が良好である。
本発明の封止材組成物は、回転粘度計を用いて測定される、１０ｒｐｍで２５℃における粘度が３０００００ｍＰａ・ｓ以下であることがより好ましい。
The sealing material composition of the present invention preferably has a viscosity at 25 ° C. at 10 rpm of 500,000 mPa · s or less measured using a rotational viscometer. If it is the viscosity mentioned above, the fluidity | liquidity at the time of using it as a mold resin used by the compression mold method or a capillary flow type underfill will be favorable.
As for the sealing material composition of this invention, it is more preferable that the viscosity in 10 degreeC and 25 degreeC measured with a rotational viscometer is 300000 mPa * s or less.
本発明の封止材組成物は、常温での保存安定性が良好である。後述する実施例に記載の手順で測定される、調製直後の粘度に対する２４時間保管後の粘度の増加率が１．３倍以下であることが好ましい。 The sealing material composition of the present invention has good storage stability at room temperature. It is preferable that the rate of increase in viscosity after storage for 24 hours with respect to the viscosity immediately after preparation, measured by the procedure described in the examples described later, is 1.3 times or less.
本発明の封止材組成物は、後述する実施例に記載の手順による、１５０℃におけるゲルタイムが１２０ｓｅｃ以内であることが好ましい。上述した粘度であれば、低温での硬化性が良好であり、コンプレッションモールド法で通常使用される離型フィルムの剥離温度より低温で硬化する。そのため、コンプレッションモールド法で使用するモールド樹脂として好適である。 The sealing material composition of the present invention preferably has a gel time at 150 ° C. of 120 sec or less according to the procedure described in the examples described later. If it is the viscosity mentioned above, curability at low temperature is good, and it cures at a temperature lower than the peeling temperature of the release film usually used in the compression molding method. Therefore, it is suitable as a mold resin used in the compression molding method.
本発明の封止材組成物は、そりが小さいことが、コンプレッションモールド法で使用するモールド樹脂として使用した場合に、再線時やボールマウント時に影響が生じないため好ましい。 In the encapsulant composition of the present invention, it is preferable that the warp is small, because when it is used as a mold resin used in the compression molding method, there is no influence at the time of re-line or ball mounting.
本発明の封止材組成物は、ＵＬ規格による難燃性でＶ−０相当の難燃性を有することが好ましい。上記の難燃性を有していれば、コンプレッションモールド法で使用するモールド樹脂として好適である。 It is preferable that the sealing material composition of this invention has a flame retardance equivalent to V-0 by the flame retardance by UL specification. If it has said flame retardance, it is suitable as mold resin used by the compression mold method.
次に本発明の封止材組成物の使用方法を、モールド樹脂として、コンプレッションモールド法で使用する場合を例に説明する。
本発明の封止材組成物のモールド樹脂として、コンプレッションモールド法で使用する場合、以下の手順を実施する。
内面に離型フィルムが張設された下金型上に半導体ウエハを配置する。下金型上に配置された半導体ウエハ上に、本発明の封止材組成物を、モールド樹脂として常温で塗布する。次に、半導体ウエハの上方に位置する、内面に離型フィルムが張設された上金型と、下金型と、で、半導体ウェハをクランプして圧縮成形する。この状態で、離型フィルムの剥離温度より低温で、本発明の封止材組成物を加熱硬化させる。この際の加熱硬化条件は１５０℃以下で１５分以内であることが好ましい。
Next, the method of using the sealing material composition of the present invention will be described by taking as an example the case of using the compression molding method as a mold resin.
When using the compression molding method as the mold resin of the sealing material composition of the present invention, the following procedure is performed.
A semiconductor wafer is placed on a lower mold having a release film stretched on the inner surface. On the semiconductor wafer arranged on the lower mold, the sealing material composition of the present invention is applied at room temperature as a mold resin. Next, the semiconductor wafer is clamped and compression-molded with an upper mold and a lower mold, which are located above the semiconductor wafer and on which the release film is stretched. In this state, the sealing material composition of the present invention is heat-cured at a temperature lower than the peeling temperature of the release film. In this case, the heat curing conditions are preferably 150 ° C. or less and 15 minutes or less.
本発明の半導体装置は、半導体装置の製造時に、本発明の封止材組成物を、コンプレッションモールド法で使用されるモールド樹脂として、または、キャピラリフロータイプのアンダーフィルとして、使用したものである限り特に限定されない。本発明の半導体装置の具体例としては、回路基板、ＣＳＰなどの半導体封止パッケージが挙げられる。 As long as the semiconductor device of the present invention uses the sealing material composition of the present invention as a mold resin used in the compression molding method or as a capillary flow type underfill during the manufacture of the semiconductor device. There is no particular limitation. Specific examples of the semiconductor device of the present invention include a semiconductor sealed package such as a circuit board and CSP.
以下、実施例により、本発明を詳細に説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。 EXAMPLES Hereinafter, although an Example demonstrates this invention in detail, this invention is not limited to these.
（実施例１〜１２、比較例１〜７）
下記表に示す配合割合となるように、各原料を配合した後、３本ロールミルにて各成分を分散させ、その後、ハードミキサにて撹拌脱泡することにより、実施例１〜１２、比較例１〜７の封止材組成物を調製した。ここで、（Ａ）、（Ｂ）成分を配合した後、（Ｄ）成分を配合し、１５０℃で３０ｍｉｎ溶解させる。次に（Ｃ）成分を配合し、５０℃で３０ｍｉｎ溶解させる。実施例１０〜１２については、さらに、（Ｅ）成分を配合する。
なお、表中の各組成に関する数値は質量部を表している。
(Examples 1-12, Comparative Examples 1-7)
After blending each raw material so as to have the blending ratio shown in the following table, each component is dispersed with a three roll mill, and then stirred and defoamed with a hard mixer, thereby allowing Examples 1 to 12 and Comparative Examples. 1 to 7 sealing material compositions were prepared. Here, after blending the components (A) and (B), the component (D) is blended and dissolved at 150 ° C. for 30 minutes. Next, (C) component is mix | blended and it is made to melt | dissolve for 30 minutes at 50 degreeC. About Examples 10-12, (E) component is further mix | blended.
In addition, the numerical value regarding each composition in a table | surface represents the mass part.
（Ａ）下記式（１）で示される化合物（商品名プリマセット（Ｐｒｉｍａｓｅｔ）ＬＥＣＹ（Ｌｏｎｚａ Ｇｒｏｕｐ Ｌｔｄ．製））
（Ｂ）式（１）の化合物以外のシアネートエステル、または、液状エポキシ樹脂
（Ｂ）−１：ノボラック型シアネートエステル（商品名プリマセット（Ｐｒｉｍａｓｅｔ）ＰＴ３０（Ｌｏｎｚａ Ｇｒｏｕｐ Ｌｔｄ．製）
（Ｂ）−２：ビスフェノールＦ型エポキシ樹脂（商品名ＹＤＦ８１７０（新日鐵化学株式会社製）
(B) Cyanate ester other than the compound of formula (1), or liquid epoxy resin (B) -1: Novolac-type cyanate ester (trade name: Primaset PT30 (manufactured by Lonza Group Ltd.)
(B) -2: Bisphenol F type epoxy resin (trade name: YDF8170 (manufactured by Nippon Steel Chemical Co., Ltd.)
（Ｃ）下記式（２）で示される化合物、
（Ｃ）−２：４−アセトキシフェニルベンジルメチルスルホニウム トリス（ペンタフルオロエチル）トリフルオロホスフェート
(C) a compound represented by the following formula (2),
（Ｄ）金属錯体触媒
（Ｄ）−１：Ｃｏ（ＩＩＩ）アセチルアセトナート
（Ｄ）−２：ジブトキシチタンビスアセチルアセトナート（商品名ナーセムチタン（日本化学産業株式会社製））
(D) Metal Complex Catalyst (D) -1: Co (III) Acetylacetonate (D) -2: Dibutoxytitanium Bisacetylacetonate (Trade Name Nacem Titanium (Nippon Chemical Industry Co., Ltd.))
（Ｅ）シリカフィラー、平均粒径２０μｍ (E) Silica filler, average particle size 20 μm
調製した封止材組成物を評価用試料として以下の評価を実施した。
（粘度）
トキメック社製回転粘度計ＴＶＥ−２２Ｈを用いて、１０ｒｐｍで２５℃における粘度（ｍＰａ・ｓ）を測定して初期粘度とした。次に、封止材組成物を密閉容器に入れて２５℃、湿度５０％の環境にて２４時間保管した時点における粘度を同様の手順で測定した。また、調製直後の粘度に対する２４時間保管後の粘度の増加率を算出した。なお、（Ｅ）成分として、シリカフィラーを含有する実施例１０〜１２は、ブルックフィールド社製回転粘度計ＤＶ−１（スピンドルＳＣ４−１４使用）を用いて、上記と同様の手順で初期粘度および２４時間保管後の粘度を測定した。
The following evaluation was implemented by using the prepared sealing material composition as a sample for evaluation.
(viscosity)
Using a rotational viscometer TVE-22H manufactured by Tokimec Co., Ltd., the viscosity (mPa · s) at 25 ° C. was measured at 10 rpm to obtain the initial viscosity. Next, the viscosity at the time when the sealing material composition was put in an airtight container and stored for 24 hours in an environment of 25 ° C. and 50% humidity was measured in the same procedure. Moreover, the increase rate of the viscosity after 24 hours storage with respect to the viscosity immediately after preparation was computed. In addition, Examples 10-12 which contain a silica filler as (E) component use a Brookfield rotary viscometer DV-1 (spindle SC4-14 use), and the initial viscosity and the procedure similar to the above. The viscosity after storage for 24 hours was measured.
（ゲルタイム）
１５０±２℃の熱板上に液状封止材を約５ｍｍφの大きさに滴下し、糸引きがなくなるまでの時間を、ストップウォッチにより測定した。
(Geltime)
A liquid sealing material was dropped on a hot plate at 150 ± 2 ° C. to a size of about 5 mmφ, and the time until stringing disappeared was measured with a stopwatch.
実施例１〜１２の封止材組成物は、いずれも１０ｒｐｍで２５℃における粘度（初期粘度）が５０００００ｍＰａ・ｓ以下であり、コンプレッションモールド法で使用するモールド樹脂や、キャピラリフロータイプのアンダーフィルとして使用した際の流動性が良好である。また、調製直後の粘度に対する２４時間保管後の粘度の増加率が１．３倍以下であり、常温での保存安定性が良好である。また、１５０℃におけるゲルタイムが１２０ｓｅｃ以内であり、低温での硬化性が良好である。 As for the sealing material composition of Examples 1-12, as for all, the viscosity (initial viscosity) in 25 degreeC at 10 rpm is 500,000 mPa * s or less, As mold resin used by a compression molding method, or a capillary flow type underfill Good fluidity when used. Moreover, the increase rate of the viscosity after 24-hour storage with respect to the viscosity immediately after preparation is 1.3 times or less, and the storage stability at normal temperature is favorable. Moreover, the gel time in 150 degreeC is less than 120 sec, and the sclerosis | hardenability in low temperature is favorable.
（Ｃ）成分を含有しない比較例１、（Ｃ）成分の含有量が（Ａ）、（Ｂ）成分の合計１００質量部に対して０．５質量部より少ない比較例２は、１５０℃におけるゲルタイムが１２０ｓｅｃ超であり、低温での硬化性に劣る。一方、（Ｃ）成分の含有量が（Ａ）、（Ｂ）成分の合計１００質量部に対して９質量部より多い比較例３、（Ａ）成分の含有割合が５０：５０より少ない比較例（６）は、調製直後の粘度に対する２４時間保管後の粘度の増加率が１．３倍超であり、常温での保存安定性に劣る。
（Ｂ）成分を含有しない比較例４、（Ａ）成分の含有割合が９０：１０より多い比較例５は、調製後の封止材組成物で結晶化が起こり、２４時間保管後の粘度を測定できなかった。
（Ｄ）成分を含有しない比較例７は、１５０℃におけるゲルタイムが１２０ｓｅｃ超であり、低温での硬化性に劣る。
Comparative Example 1 containing no component (C), Comparative Example 2 containing less than 0.5 parts by mass with respect to a total of 100 parts by mass of the components (A) and (B) is 150 ° C. The gel time is over 120 sec, and the curability at low temperature is poor. On the other hand, the comparative example 3 in which the content of the component (C) is more than 9 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the components (A) and (B), and the comparative example in which the content ratio of the component (A) is less than 50:50 In (6), the rate of increase in viscosity after storage for 24 hours relative to the viscosity immediately after preparation is more than 1.3 times, and the storage stability at room temperature is poor.
Comparative Example 4 containing no component (B) and Comparative Example 5 having a content ratio of component (A) greater than 90:10 cause crystallization in the prepared sealing material composition, and the viscosity after storage for 24 hours. It was not possible to measure.
Comparative Example 7 containing no component (D) has a gel time at 150 ° C. of more than 120 sec, and is inferior in curability at low temperatures.
Claims (5)
（Ｃ）下記式（２）で示される化合物、
および、（Ｄ）金属錯体触媒を含有し、
前記（Ａ）、（Ｂ）成分の含有割合が質量部で９０：１０〜５０：５０であり、前記（Ａ）、（Ｂ）成分の合計１００質量部に対して、前記（Ｃ）成分を０．５〜９質量部含有し、前記（Ｄ）成分を０．１〜１．５質量部含有することを特徴とする封止材組成物。 (A) a compound represented by the following formula (1),
(C) a compound represented by the following formula (2),
And (D) a metal complex catalyst,
The content ratio of the components (A) and (B) is 90:10 to 50:50 in parts by mass, and the component (C) is added to 100 parts by mass in total of the components (A) and (B). 0.5-9 mass parts is contained, 0.1-1.5 mass parts of said (D) component is contained, The sealing material composition characterized by the above-mentioned.
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