JP2016040134A - 脆性材料基板用のブレイクバー - Google Patents
脆性材料基板用のブレイクバー Download PDFInfo
- Publication number
- JP2016040134A JP2016040134A JP2015252334A JP2015252334A JP2016040134A JP 2016040134 A JP2016040134 A JP 2016040134A JP 2015252334 A JP2015252334 A JP 2015252334A JP 2015252334 A JP2015252334 A JP 2015252334A JP 2016040134 A JP2016040134 A JP 2016040134A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- break
- brittle material
- scribe line
- material substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
Abstract
Description
図6は、一般的に用いられているブレイク方法の一例を示す図である。図6(a)に示すように、ダイシングリング(図示略)に支持された弾力性のある粘着性のダイシングテープ16に基板W’が貼り付けられる。基板W’の下面には、前段工程で互いに直交する複数条のスクライブラインSが形成されており、この基板W’を貼り付けたダイシングテープ16を、水平なテーブル17上にクッションシート18を介して載置する。このとき、基板W’のスクライブラインSが形成されている面が下側となるようにする。そして、図6(b)に示すように、基板W’の上方からブレイクバー19を降下させて基板W’をスクライブラインSに沿って撓ませることによりブレイクする。
しかし基板によっては、例えば図1(a)に示すように、凸部1が基板Wの周辺部に沿って形成され、この凸部1によって囲まれた領域内に、単位製品を区分けするX−Y方向のスクライブラインSが形成されている場合がある。
このような場合、図8のように先端稜線部19aがその全長にわたって直線状に形成されているブレイクバー19で図1の基板Wを押し付けると、凸部1近傍の押圧力が他の部分より強くなって基板Wの上面にかかる荷重が不均等になる。このため、スクライブラインSの亀裂(クラック)が斜めに走って分断されたり、分断面にチッピング(欠け)等が発生したりすることがあって不良品となり、製品歩留まりが悪化するといった問題点があった。
また、ブレイクバー19の刃先となる先端稜線部19aにおいて、基板Wの凸部1の当接する部分が他の部分より大きな荷重を受けるため、繰り返し使用するうちに局部的な摩耗が発生し、平坦な表面を有する基板のブレイク用として使用できなくなるといった問題点もあった。
これにより、ブレイクバーを基板の凸部並びに平坦な表面部分に対して均等な荷重で押し付けることができると共に、ブレイクバーの凹部が基板の凸部に嵌まり込むときに凸部のエッジに当たって破損するような不具合を防ぐことができる。
ブレイク装置Aは、基板Wを載置して保持するテーブル2を備えている。テーブル2は、水平なレール3に沿ってY方向に移動できるようになっており、モータMによって回転するネジ軸4により駆動される。さらにテーブル2は、モータを内蔵する回転駆動部5により水平面内で回動できるようになっている。
このブレイクバー9によるブレイク時において、図5(a)、(b)に示すように、基板Wの凸部1はブレイクバー9の凹部9bに嵌まり込むと共に、凹部9bの深さHが凸部1の高さhと等しく形成されているので、ブレイクバー9の凹部9bと直線状の稜線部9aの基板Wに対する押圧荷重が均等になる。これにより、従来のような荷重不均等による不規則な亀裂の発生や、分断面でのチッピングの発生を抑制して、基板WをスクライブラインSに沿ってきれいにブレイクすることができる。
S スクライブライン
W 脆性材料基板
1 凸部
2 テーブル
9 ブレイクバー
9a ブレイクバーの直線状の稜線部
9b ブレイクバーの凹部
11 ダイシングテープ
12 クッションシート
Claims (1)
- 一方の面に凸部が形成され、他方の面にスクライブラインが形成されている脆性材料基板を、当該スクライブラインが形成されている面とは反対側の面から押圧することにより前記スクライブラインに沿ってブレイクする脆性材料基板用のブレイクバーであって、
先端の直線状稜線部で、ブレイクされる脆性材料基板の前記凸部に相対する部分に、当該凸部が嵌まり込む凹部を有することを特徴とする脆性材料基板用のブレイクバー。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015252334A JP6072215B2 (ja) | 2015-12-24 | 2015-12-24 | 脆性材料基板用のブレイクバー |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015252334A JP6072215B2 (ja) | 2015-12-24 | 2015-12-24 | 脆性材料基板用のブレイクバー |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013203709A Division JP6154713B2 (ja) | 2013-09-30 | 2013-09-30 | 脆性材料基板のブレイク方法並びにブレイク装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016040134A true JP2016040134A (ja) | 2016-03-24 |
JP6072215B2 JP6072215B2 (ja) | 2017-02-01 |
Family
ID=55540687
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015252334A Active JP6072215B2 (ja) | 2015-12-24 | 2015-12-24 | 脆性材料基板用のブレイクバー |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6072215B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI632040B (zh) * | 2017-07-10 | 2018-08-11 | 煜峰投資顧問有限公司 | 脆性材料基板裂片裝置及使用該裝置之裂片方法 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62121906U (ja) * | 1986-01-24 | 1987-08-03 | ||
JP2013071335A (ja) * | 2011-09-28 | 2013-04-22 | Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd | マザー基板の分断方法 |
-
2015
- 2015-12-24 JP JP2015252334A patent/JP6072215B2/ja active Active
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62121906U (ja) * | 1986-01-24 | 1987-08-03 | ||
JP2013071335A (ja) * | 2011-09-28 | 2013-04-22 | Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd | マザー基板の分断方法 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI632040B (zh) * | 2017-07-10 | 2018-08-11 | 煜峰投資顧問有限公司 | 脆性材料基板裂片裝置及使用該裝置之裂片方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6072215B2 (ja) | 2017-02-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5376282B2 (ja) | ガラス板折割方法及びガラス板折割装置 | |
JP4965896B2 (ja) | 脆い破壊材料のけがきされた加工物を機械的に破壊する方法 | |
JP6243699B2 (ja) | 脆性材料基板の分断装置 | |
JP5187421B2 (ja) | 脆性材料基板のブレイク方法 | |
JP2013144421A (ja) | 脆性材料基板のブレイク方法 | |
KR102259441B1 (ko) | 파단 장치 및 분단 방법 | |
TWI620635B (zh) | Elastic support plate, breaking device and breaking method | |
JP2014019044A (ja) | 脆性材料基板のブレイク装置 | |
JP6154713B2 (ja) | 脆性材料基板のブレイク方法並びにブレイク装置 | |
JP2015209357A (ja) | ブレイク方法並びにブレイク装置 | |
KR20110067306A (ko) | 기판 절단 장치 및 이를 이용한 기판 절단 방법 | |
TWI620634B (zh) | Expander, breaking device and breaking method | |
JP2017039271A (ja) | ブレイク装置 | |
JP6085384B2 (ja) | 脆性材料基板のブレイク装置 | |
JP6627326B2 (ja) | ブレイク装置 | |
JP6072215B2 (ja) | 脆性材料基板用のブレイクバー | |
TW201516010A (zh) | 彈性支撐板、斷裂裝置及分斷方法 | |
JP5365390B2 (ja) | ブレイクユニット及びブレイク方法 | |
JP6185812B2 (ja) | 脆性材料基板のブレイク方法並びにブレイク装置 | |
JP5445748B2 (ja) | ブレイクバー及びブレイク方法 | |
JP2017039266A (ja) | ブレイク装置 | |
JP2019196281A (ja) | 基板分断装置 | |
KR20200111628A (ko) | 기판 분단방법 및 기판 분단장치 | |
JP2015166190A (ja) | 脆性材料基板のブレイク装置 | |
KR101180780B1 (ko) | 기판 절단 장치 및 이를 이용한 기판 절단 방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20151224 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20161028 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20161101 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20161220 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20161227 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6072215 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |