JP2016039495A - Imaging device and control method therefor - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an imaging device in which image quality deterioration due to variation in the power supply voltage supplied to a solid imaging element can be reduced, and to provide a control method therefor.SOLUTION: An imaging device includes a solid imaging element having a capacitor CTs1 for holding optical signals outputted from a plurality of pixels, a capacitor CTn1 for holding noise signals outputted from a plurality of pixels, a capacitor CTs2 connected with a capacitor CTs1, and holding optical signals via the capacitor CTs1, and a capacitor CTn2 connected with a capacitor CTn1, and holding noise signals via the capacitor CTn1. The optical signals are held in the capacitor CTs2 at a timing of superposing noise of the same phase as the noise superposed when the noise signal is held in the capacitor CTn1, and the noise signals are held in the capacitor CTn2 at a timing of superposing noise of the same phase as the noise superposed when the optical signal is held in the capacitor CTs1.SELECTED DRAWING: Figure 4

Description

本発明は、固体撮像素子を有する撮像装置及びその制御方法に関する。   The present invention relates to an imaging apparatus having a solid-state imaging device and a control method thereof.

一般に、デジタルカメラ等の撮像装置においては、CCD又はCMOSイメージセンサ等の固体撮像素子が用いられており、光学像に応じて固体撮像素子から出力された電気信号を、静止画像又は動画像として記録・再生している。固体撮像素子としてCMOSイメージセンサが用いられた撮像装置においては、撮影の際、光学像に応じてCMOSイメージセンサのフォトダイオードに発生した電荷を読み出し回路で信号電圧に変換し、当該信号電圧を増幅して出力端子から出力している。   In general, in an imaging apparatus such as a digital camera, a solid-state imaging device such as a CCD or CMOS image sensor is used, and an electric signal output from the solid-state imaging device according to an optical image is recorded as a still image or a moving image.・ Playing. In an imaging device using a CMOS image sensor as a solid-state image sensor, the charge generated in the photodiode of the CMOS image sensor is converted into a signal voltage by a readout circuit according to the optical image at the time of shooting, and the signal voltage is amplified. And output from the output terminal.

このような撮像装置においては、固体撮像素子で光学像を電気信号に変換して出力する過程において、画像の画質劣化の原因となる様々なノイズが発生する。代表的なノイズとして、画素毎の製造バラツキに起因して発生する画素欠陥によるノイズや読み出し回路を構成するアンプ等の部品の製造バラツキに起因する固定パターンノイズ等が挙げられる。さらに、画素及び読み出し回路のリセットノイズや画素領域において発生する暗電流等の撮像動作を行う度に変動するランダムノイズも代表的なノイズとして知られている。   In such an imaging apparatus, various noises that cause image quality degradation occur in the process of converting an optical image into an electrical signal and outputting the electrical signal by a solid-state imaging device. Typical noise includes noise due to pixel defects generated due to manufacturing variation for each pixel, fixed pattern noise due to manufacturing variation of components such as an amplifier constituting the readout circuit, and the like. Furthermore, random noise that changes every time an imaging operation such as reset noise of pixels and readout circuits and dark current generated in the pixel region is performed is also known as representative noise.

前述のようなノイズを固体撮像素子の内部で除去する手法として、以下に説明するような『S−N動作』が知られている(例えば、特許文献1参照)。まず、画素内のフォトダイオードをリセットした後に、固体撮像素子を露光させることで、フォトダイオードで光電変換及び電荷の蓄積が行われる。そして、固体撮像素子の露光が終了するタイミングに合わせて、フォトダイオードを除いて、画素内のフォトダイオード後段の回路(以下、「後段回路」ともいう)及び読み出し回路をリセットする。   As a method for removing the noise as described above inside the solid-state imaging device, “SN operation” as described below is known (for example, see Patent Document 1). First, after resetting the photodiode in the pixel, the solid-state imaging device is exposed to perform photoelectric conversion and charge accumulation in the photodiode. Then, in accordance with the timing when the exposure of the solid-state imaging device is completed, the photodiode rear-stage circuit in the pixel (hereinafter, also referred to as “rear-stage circuit”) and the readout circuit are reset except for the photodiode.

リセットが完了すると、フォトダイオードに蓄積された電荷を後段回路に出力しない状態で、画素のリセットレベルの信号を、ノイズ成分として読み出し回路が有する第1のラインメモリに転送して、当該ノイズ成分を第1のラインメモリに保持する。以下、ノイズ成分の信号を「N信号」とも呼び、N信号の転送動作を「N転送」とも呼ぶ。続いて、フォトダイオードに光信号として蓄積された電荷を後段回路に出力し、読み出し回路が有する第2のラインメモリに保持する。以下、光信号を「S信号」とも呼び、S信号の転送を「S転送」とも呼ぶ。   When the reset is completed, a signal at a pixel reset level is transferred as a noise component to the first line memory of the readout circuit without outputting the charge accumulated in the photodiode to the subsequent circuit, and the noise component is Hold in the first line memory. Hereinafter, the noise component signal is also referred to as “N signal”, and the transfer operation of the N signal is also referred to as “N transfer”. Subsequently, the charge accumulated as an optical signal in the photodiode is output to the subsequent circuit and held in the second line memory included in the reading circuit. Hereinafter, the optical signal is also referred to as “S signal”, and the transfer of the S signal is also referred to as “S transfer”.

S転送が終了した後、第2のラインメモリに保持されたS信号と第1のラインメモリに保持されたN信号とは、順次最後段の出力回路ブロックに送られる。最後に、出力回路ブロック等に設けられた差動回路で、S信号とN信号との差分を求める。この差分信号が画像信号として固体撮像素子の後段の画像処理回路に送られる。以上の動作のうち、N転送、S転送、及びN信号とS信号との差分演算動作が、一般的にS−N動作と呼ばれる動作の概要である。前述のS−N動作を行うことによって、画素及び読み出し回路毎に異なるノイズ成分を、撮像動作の都度適切に除去して、良好な画質の画像信号を得ることが可能となる。   After the S transfer is completed, the S signal held in the second line memory and the N signal held in the first line memory are sequentially sent to the last output circuit block. Finally, the difference between the S signal and the N signal is obtained by a differential circuit provided in the output circuit block or the like. This difference signal is sent as an image signal to an image processing circuit at the subsequent stage of the solid-state imaging device. Among the operations described above, the N transfer, the S transfer, and the difference calculation operation between the N signal and the S signal are the outline of an operation generally called an SN operation. By performing the above-described SN operation, it is possible to appropriately remove noise components that differ for each pixel and readout circuit and obtain an image signal with good image quality at every imaging operation.

特開2004−134752号公報JP 2004-134752 A

しかしながら、前述のS−N動作を行うことによって、新たにノイズ成分が生成されて、画質を劣化させてしまう場合がある。固体撮像素子に供給される電源やGND(グランド)が常に安定しており、N転送時とS転送時とで電源電圧が一定であれば、S−N動作を行うことによってノイズ成分を過不足なく除去することができる。しかし、固体撮像素子に供給される電源電圧は、固体撮像素子の外部の負荷変動等によって変動してしまう。   However, when the above-described SN operation is performed, a new noise component may be generated and the image quality may be deteriorated. If the power supply and GND (ground) supplied to the solid-state image sensor are always stable, and the power supply voltage is constant during N transfer and S transfer, excessive and insufficient noise components are obtained by performing SN operation. Can be removed. However, the power supply voltage supplied to the solid-state image sensor varies due to a load variation outside the solid-state image sensor.

N転送からS転送までの間に、固体撮像素子に供給される電源電圧が変動した場合には、N転送時とS転送時との各々のタイミングにおいて、異なるレベルのオフセットが重畳されてしまう。この状態でS信号とN信号との差分演算を行うと、N信号に重畳されたオフセットとS信号に重畳されたオフセットの差分が、新たなノイズとなって画像信号に現れ、画質を劣化させてしまう。   If the power supply voltage supplied to the solid-state imaging device fluctuates between N transfer and S transfer, different level offsets are superimposed at each timing of N transfer and S transfer. If the difference between the S signal and the N signal is calculated in this state, the difference between the offset superimposed on the N signal and the offset superimposed on the S signal appears as new noise in the image signal, degrading the image quality. End up.

一般に、S−N動作は同一の画素行に配された画素群の信号に対して、同一のタイミングで行われる。したがって、同一行の画素からのN信号同士には同じレベルのオフセットが重畳され、同一行の画素からのS信号同士には、N信号に重畳されたレベルとは異なる、同じレベルのオフセットが重畳されることとなる。すなわち、N信号に重畳されたオフセットとS信号に重畳されたオフセットとの差分に起因するノイズは、同一行の画素同士で等しいレベルとなり、画像中に横縞状のパターンノイズとなって現れる。   In general, the SN operation is performed at the same timing with respect to signals of pixel groups arranged in the same pixel row. Therefore, the same level offset is superimposed on the N signals from the pixels in the same row, and the same level offset different from the level superimposed on the N signals is superimposed on the S signals from the pixels in the same row. Will be. That is, the noise resulting from the difference between the offset superimposed on the N signal and the offset superimposed on the S signal is the same level between pixels in the same row, and appears as horizontal stripe pattern noise in the image.

本発明の目的は、固体撮像素子に供給される電源電圧の変動に起因する画質劣化を低減させることのできる撮像装置及びその制御方法を提供することである。   An object of the present invention is to provide an imaging apparatus capable of reducing image quality degradation caused by fluctuations in power supply voltage supplied to a solid-state imaging device, and a control method therefor.

本発明に係る撮像装置は、複数の画素と、前記複数の画素から出力される光信号を保持する第1の光信号保持手段と、前記複数の画素から出力されるノイズ信号を保持する第1のノイズ信号保持手段と、前記第1の光信号保持手段に接続され、前記第1の光信号保持手段を介して前記光信号を保持する第2の光信号保持手段と、前記第1のノイズ信号保持手段に接続され、前記第1のノイズ信号保持手段を介して前記ノイズ信号を保持する第2のノイズ信号保持手段とを有する固体撮像素子と、前記第1のノイズ信号保持手段に前記ノイズ信号を保持する際に重畳されたノイズと同位相のノイズが重畳されるタイミングで前記第2の光信号保持手段に前記光信号を保持させ、前記第1の光信号保持手段に前記光信号を保持する際に重畳されたノイズと同位相のノイズが重畳されるタイミングで前記第2のノイズ信号保持手段に前記ノイズ信号を保持させる制御手段とを備えることを特徴とする。   An imaging apparatus according to the present invention includes a plurality of pixels, a first optical signal holding unit that holds optical signals output from the plurality of pixels, and a first that holds noise signals output from the plurality of pixels. Noise signal holding means, second optical signal holding means connected to the first optical signal holding means and holding the optical signal via the first optical signal holding means, and the first noise A solid-state imaging device connected to the signal holding means and having a second noise signal holding means for holding the noise signal via the first noise signal holding means; and the noise to the first noise signal holding means The second optical signal holding unit holds the optical signal at a timing at which noise having the same phase as the superimposed noise is held, and the first optical signal holding unit holds the optical signal. Superimposed when holding And a controlling means for noise size and same phase to hold the noise signal to said second noise signal holding means at a timing to be superimposed.

本発明によれば、固体撮像素子に供給される電源電圧の変動による光信号とノイズ信号との間に発生するノイズを打ち消し、供給される電源電圧の変動に起因する画質劣化を低減させることができる。   According to the present invention, it is possible to cancel noise generated between a light signal and a noise signal due to fluctuations in a power supply voltage supplied to a solid-state imaging device, and to reduce image quality deterioration due to fluctuations in the supplied power supply voltage. it can.

本発明の実施形態に係る撮像装置の構成例を示す図である。It is a figure which shows the structural example of the imaging device which concerns on embodiment of this invention. 本実施形態における固体撮像素子の構成例を示す等価回路図である。It is an equivalent circuit diagram which shows the structural example of the solid-state image sensor in this embodiment. 本実施形態における固体撮像素子の信号読み出し動作を説明するためのタイミングチャートである。It is a timing chart for demonstrating the signal read-out operation | movement of the solid-state image sensor in this embodiment. 第1の実施形態における第2垂直転送期間の駆動タイミングの決定方法を示す図である。It is a figure which shows the determination method of the drive timing of the 2nd vertical transfer period in 1st Embodiment. 第2の実施形態における第2垂直転送期間の駆動タイミングの決定方法を示す図である。It is a figure which shows the determination method of the drive timing of the 2nd vertical transfer period in 2nd Embodiment.

以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

(第1の実施形態)
本発明の第1の実施形態について説明する。図1は、本発明の実施形態に係る撮像装置の構成例を示すブロック図である。本実施形態に係る撮像装置は、固体撮像素子3を有する。レンズ1は、被写体の光学像を固体撮像素子3に結像させる。絞り2は、レンズ1を通過した光の光量を変化させる。固体撮像素子3は、光学像を光電変換によって電気信号(画像信号)に変換し出力する。
(First embodiment)
A first embodiment of the present invention will be described. FIG. 1 is a block diagram illustrating a configuration example of an imaging apparatus according to an embodiment of the present invention. The imaging apparatus according to the present embodiment includes a solid-state imaging element 3. The lens 1 forms an optical image of the subject on the solid-state image sensor 3. The diaphragm 2 changes the amount of light that has passed through the lens 1. The solid-state image sensor 3 converts an optical image into an electrical signal (image signal) by photoelectric conversion and outputs the electrical signal.

固体撮像素子3から出力された画像信号(撮像信号ともいう)は、撮像信号処理回路4に供給される。撮像信号処理回路4は、画像信号を増幅するゲイン可変アンプ部とそのゲイン値を補正するためのゲイン補正回路部とを有する。撮像信号処理回路4から出力された画像信号は、アナログ−デジタル(A/D)変換部5によってA/D変換されて、画像データとして信号処理部6に供給される。   An image signal (also referred to as an imaging signal) output from the solid-state imaging device 3 is supplied to the imaging signal processing circuit 4. The imaging signal processing circuit 4 has a variable gain amplifier for amplifying the image signal and a gain correction circuit for correcting the gain value. The image signal output from the imaging signal processing circuit 4 is A / D converted by an analog-digital (A / D) converter 5 and supplied to the signal processor 6 as image data.

信号処理部6は、A/D変換部5から出力された画像データに対して各種の補正を行うとともに、必要に応じてデータ圧縮を行う。なお、固体撮像素子3、撮像信号処理回路4、A/D変換部5、及び信号処理部6に対してタイミング発生部13から各種のタイミングパルスが供給される。   The signal processing unit 6 performs various corrections on the image data output from the A / D conversion unit 5 and performs data compression as necessary. Various timing pulses are supplied from the timing generation unit 13 to the solid-state imaging device 3, the imaging signal processing circuit 4, the A / D conversion unit 5, and the signal processing unit 6.

全体制御・演算部12は、各種の演算を行うとともに、撮像装置の制御を行う。メモリ部7には画像データが一時的に記憶される。外部インターフェース(I/F)部10は、例えば、外部コンピュータ等の外部機器11と通信を行う。なお、外部I/F部10は、無線ユニット18を介して画像データを送信する等の外部機器11との通信を無線で行うこともできる。   The overall control / arithmetic unit 12 performs various calculations and controls the imaging apparatus. The memory unit 7 temporarily stores image data. An external interface (I / F) unit 10 communicates with an external device 11 such as an external computer, for example. Note that the external I / F unit 10 can also perform wireless communication with the external device 11 such as transmitting image data via the wireless unit 18.

記録媒体制御インターフェース(I/F)部8には、記録媒体9を着脱可能である。記録媒体9が記録媒体制御I/F部8に装着されている場合、記録媒体制御I/F部8によって記録媒体9に対して画像データの記録及び読み出しが行われる。なお、記録媒体9は、例えば、半導体メモリで構成されている。   A recording medium 9 can be attached to and detached from the recording medium control interface (I / F) unit 8. When the recording medium 9 is attached to the recording medium control I / F unit 8, image data is recorded on and read from the recording medium 9 by the recording medium control I / F unit 8. The recording medium 9 is composed of, for example, a semiconductor memory.

ストロボ部14は、AF(オートフォーカス)補助光の投光及びフラッシュ調光を行う。電源回路15は、電源供給手段としての電池等から供給された電圧を所望の電圧に変換するDC/DC回路を有し、撮像装置で必要な電圧を必要な期間だけ、記録媒体9を含む各部に供給する。なお、レンズ1の鏡筒は、全体制御・演算部12の制御下でモータ16によって駆動され、絞り2は、モータ17によって駆動される。   The strobe unit 14 performs AF (autofocus) auxiliary light projection and flash light control. The power supply circuit 15 includes a DC / DC circuit that converts a voltage supplied from a battery or the like as a power supply means into a desired voltage, and includes each part including the recording medium 9 for a required period of time in the imaging apparatus for a necessary period. To supply. The lens barrel of the lens 1 is driven by a motor 16 under the control of the overall control / arithmetic unit 12, and the diaphragm 2 is driven by a motor 17.

前述のような構成の撮像装置においては、固体撮像素子3に供給される電源電圧を変動させるノイズ源となりうる機器や部品が、固体撮像素子の近傍、すなわち撮像装置の内部や撮像装置の至近に配置されている。例えば、ストロボ14等の機器や、電源回路15のDC/DC回路や、レンズ1の鏡筒や絞り2等を駆動するためのモータ16、17や、コンピュータ等の外部機器11と通信を行うための外部I/F部10や無線ユニット18等である。   In the imaging apparatus having the above-described configuration, devices and components that can be a noise source that fluctuates the power supply voltage supplied to the solid-state imaging device 3 are in the vicinity of the solid-state imaging element, that is, in the imaging apparatus or in the vicinity of the imaging apparatus. Has been placed. For example, to communicate with an external device 11 such as a strobe 14, a DC / DC circuit of a power supply circuit 15, motors 16 and 17 for driving a lens barrel or a diaphragm 2 of the lens 1, or a computer. External I / F unit 10 and wireless unit 18.

これらノイズ源となりうる各部が動作すると、各部の駆動に伴って所定周期の電源変動や電磁波が発生し、その影響を受けて固体撮像素子3に供給される電源電圧が不安定になる。固体撮像素子の信号読み出し中にこのような電源変動や電磁波が発生すると、固体撮像素子に供給される電源の電位が経時変化することにより、読み出された画素信号にノイズを生じさせ、画質を劣化させてしまう。なお、図1に示した機器や部品以外にも、動作によって撮像装置の電源及び固体撮像素子周辺の磁場を変動させうる機器や部品はノイズ源となりうる。   When each part that can be a noise source operates, power fluctuations and electromagnetic waves with a predetermined period are generated as each part is driven, and the power supply voltage supplied to the solid-state imaging device 3 becomes unstable due to the influence. When such power supply fluctuations or electromagnetic waves occur during signal readout of the solid-state image sensor, the potential of the power source supplied to the solid-state image sensor changes with time, causing noise in the read pixel signal and improving image quality. It will deteriorate. In addition to the devices and components shown in FIG. 1, devices and components that can change the power supply of the imaging apparatus and the magnetic field around the solid-state imaging device by operation can be noise sources.

図2は、図1に示した固体撮像素子3の等価回路図を示す図である。図3に示すトランジスタのそれぞれは、例えばMOS(Metal Oxide Semiconductor)トランジスタである。固体撮像素子3を構成する各回路素子は、半導体集積回路製造技術によって、例えば、単結晶シリコンのような1つの半導体基板上に形成される。ここでは、画素アレイの行数及び列数は、n行×m列(n及びmの各々は2以上の整数)であるとする。   FIG. 2 is a diagram showing an equivalent circuit diagram of the solid-state imaging device 3 shown in FIG. Each of the transistors shown in FIG. 3 is, for example, a MOS (Metal Oxide Semiconductor) transistor. Each circuit element constituting the solid-state imaging element 3 is formed on one semiconductor substrate such as single crystal silicon by a semiconductor integrated circuit manufacturing technique. Here, the number of rows and the number of columns of the pixel array are assumed to be n rows × m columns (each of n and m is an integer of 2 or more).

固体撮像素子3は、2次元マトリックス状に配列された複数の単位画素300を有しており、これら単位画素300によって画素部が構成される。単位画素300は、フォトダイオードPDを有しており、フォトダイオードPDは、光を受けて電気信号である光信号を発生する。図示の例では、フォトダイオードPDは、そのアノードが接地されている。フォトダイオードPDのカソードは、フォトダイオードPDに蓄積された光信号電荷を転送するための転送トランジスタMTxを介して、増幅トランジスタMAmpのゲートに接続されている。増幅トランジスタMAmpのゲートには、当該増幅トランジスタMAmpをリセットするためのリセットトランジスタMResのソースが接続され、リセットトランジスタMResのドレインはリセット電源に接続されている。また、増幅トランジスタMAmpのドレインは直接電源に接続されている。   The solid-state imaging device 3 has a plurality of unit pixels 300 arranged in a two-dimensional matrix, and a pixel unit is configured by these unit pixels 300. The unit pixel 300 includes a photodiode PD, and the photodiode PD receives light and generates an optical signal that is an electrical signal. In the illustrated example, the anode of the photodiode PD is grounded. The cathode of the photodiode PD is connected to the gate of the amplification transistor MAmp through a transfer transistor MTx for transferring the optical signal charge accumulated in the photodiode PD. The gate of the amplification transistor MAmp is connected to the source of the reset transistor MRes for resetting the amplification transistor MAmp, and the drain of the reset transistor MRes is connected to the reset power source. The drain of the amplification transistor MAmp is directly connected to the power supply.

i行目(1≦i≦n)の単位画素300における転送トランジスタMTxのゲートは、横方向に延長して配置される画素信号転送線PTxiに接続される。i行目の単位画素300におけるリセットトランジスタMResのゲートは、横方向に延長して配置される画素リセット線PResiに接続される。i行目の単位画素300における選択トランジスタMSelのゲートは、横方向に延長して配置される画素選択線PSeliに接続される。画素信号転送線PTxi、画素リセット線PResi、及び画素選択線PSeliは、垂直走査回路(VSR)ブロック302に接続されている。   The gate of the transfer transistor MTx in the unit pixel 300 in the i-th row (1 ≦ i ≦ n) is connected to a pixel signal transfer line PTxi arranged extending in the horizontal direction. The gate of the reset transistor MRes in the unit pixel 300 in the i-th row is connected to a pixel reset line PREsi arranged extending in the horizontal direction. The gate of the selection transistor MSel in the unit pixel 300 in the i-th row is connected to a pixel selection line PSeli arranged extending in the horizontal direction. The pixel signal transfer line PTxi, the pixel reset line PREsi, and the pixel selection line PSeli are connected to the vertical scanning circuit (VSR) block 302.

画素信号転送線PTxiには、垂直走査回路ブロック302で生成され画素信号の転送を制御するための制御パルス(画素信号転送パルス)が、後述するタイミングで供給される。画素リセット線PResiには、垂直走査回路ブロック302で生成され単位画素300のリセットを制御するための制御パルス(画素リセットパルス)が、後述するタイミングで供給される。画素選択線PSeliには、垂直走査回路ブロック302で生成され信号転送を行う画素行を選択するための制御パルス(画素選択パルス)が、後述するタイミングで供給される。   The pixel signal transfer line PTxi is supplied with a control pulse (pixel signal transfer pulse) generated by the vertical scanning circuit block 302 for controlling the transfer of the pixel signal at a timing described later. A control pulse (pixel reset pulse) generated by the vertical scanning circuit block 302 and used to control resetting of the unit pixel 300 is supplied to the pixel reset line PREsi at a timing described later. To the pixel selection line PSeli, a control pulse (pixel selection pulse) for selecting a pixel row generated by the vertical scanning circuit block 302 and performing signal transfer is supplied at a timing described later.

j列目(1≦j≦m)の単位画素300における増幅トランジスタMAmpのソースは、縦方向に延長して配置される垂直(列方向)出力線VLjに選択トランジスタMSelを介して接続される。垂直出力線VLjは、定電流源Iに接続されるととともに、クランプ容量C0に接続される。また、クランプ容量C0は、演算増幅器301の反転入力端子に接続される。演算増幅器301の反転入力端子には、帰還容量Cfを介して出力端子が接続される。帰還容量Cfと並列に、演算増幅器301に接続される各容量を放電するための容量リセットトランジスタMC0Rが接続される。演算増幅器301の非反転入力端子は、クランプ電圧VC0R(VREF)に接続される。   The source of the amplification transistor MAmp in the unit pixel 300 in the j-th column (1 ≦ j ≦ m) is connected via a selection transistor MSel to a vertical (column direction) output line VLj arranged extending in the vertical direction. The vertical output line VLj is connected to the constant current source I and to the clamp capacitor C0. The clamp capacitor C0 is connected to the inverting input terminal of the operational amplifier 301. An output terminal is connected to the inverting input terminal of the operational amplifier 301 via a feedback capacitor Cf. In parallel with the feedback capacitor Cf, a capacitor reset transistor MC0R for discharging each capacitor connected to the operational amplifier 301 is connected. The non-inverting input terminal of the operational amplifier 301 is connected to the clamp voltage VC0R (VREF).

演算増幅器301の出力端子は、第1のノイズ信号転送トランジスタMTn1を介してノイズ信号(撮像信号の基準信号)を一時保持するための容量CTn1(第1のノイズ信号保持手段)に接続される。また、演算増幅器301の出力端子は、第1の光信号転送トランジスタMTs1を介して光信号(撮像信号)を一時保持するための容量CTs1(第1の光信号保持手段)に接続される。容量CTn1、CTs1の逆側の端子は、基準電位(GND)に接続されている。なお、容量CTn1、CTs1の逆側の端子が接続されたGNDは、他のGNDと高インピーダンスで接続されており、電源レベルが変動しやすい構成となっている。   The output terminal of the operational amplifier 301 is connected to a capacitor CTn1 (first noise signal holding means) for temporarily holding a noise signal (reference signal of the imaging signal) via the first noise signal transfer transistor MTn1. The output terminal of the operational amplifier 301 is connected to a capacitor CTs1 (first optical signal holding means) for temporarily holding an optical signal (imaging signal) via the first optical signal transfer transistor MTs1. The terminals on the opposite side of the capacitors CTn1 and CTs1 are connected to a reference potential (GND). Note that the GND to which the terminals on the opposite side of the capacitors CTn1 and CTs1 are connected is connected to other GNDs with high impedance, and the power supply level is likely to fluctuate.

第1のノイズ信号転送トランジスタMTn1と容量CTn1との接続点は、第2のノイズ信号転送トランジスタMTn2を介して、ノイズ信号を一時保持するための容量CTn2(第2のノイズ信号保持手段)に接続される。第1の光信号転送トランジスタMTs1と容量CTs1との接続点は、第2の光信号転送トランジスタMTs2を介して、光信号を一時保持するための容量CTs2(第2の光信号保持手段)に接続される。容量CTn2、CTs2の逆側の端子は接地されている。   A connection point between the first noise signal transfer transistor MTn1 and the capacitor CTn1 is connected to a capacitor CTn2 (second noise signal holding means) for temporarily holding the noise signal via the second noise signal transfer transistor MTn2. Is done. A connection point between the first optical signal transfer transistor MTs1 and the capacitor CTs1 is connected to a capacitor CTs2 (second optical signal holding unit) for temporarily holding an optical signal via the second optical signal transfer transistor MTs2. Is done. The terminals on the opposite side of the capacitors CTn2 and CTs2 are grounded.

第2のノイズ信号転送トランジスタMTn2と容量CTn2との接続点、及び第2の光信号転送トランジスタMTs2と容量CTs2との接続点は、水平転送トランジスタMCHn、MCHsを介して、それぞれ水平出力線OUTn、OUTsに接続される。水平出力線OUTn、OUTsは、ノイズ信号と光信号とを不図示の後段の回路に伝達する。不図示の後段の回路には、ノイズ信号(N信号)と光信号(S信号)との差分演算を行うことが可能な差分手段が設けられ、ノイズ信号と光信号との差分処理が行われる。   A connection point between the second noise signal transfer transistor MTn2 and the capacitor CTn2 and a connection point between the second optical signal transfer transistor MTs2 and the capacitor CTs2 are respectively connected to the horizontal output lines OUTn, MCHn and MCHs, respectively. Connected to OUTs. The horizontal output lines OUTn and OUTs transmit a noise signal and an optical signal to a subsequent circuit (not shown). A subsequent circuit (not shown) is provided with a differential means capable of performing a differential operation between the noise signal (N signal) and the optical signal (S signal), and performs differential processing between the noise signal and the optical signal. .

各列の第1のノイズ信号転送トランジスタMTn1のゲートは、第1のノイズ信号転送線PTn1に共通に接続され、後述するタイミングで制御パルス(第1のノイズ信号転送パルス)が供給される。各列の第1の光信号転送トランジスタMTs1のゲートは、第1の光信号転送線PTs1に共通に接続され、後述するタイミングで制御パルス(第1の光信号転送パルス)が供給される。   The gates of the first noise signal transfer transistors MTn1 in each column are commonly connected to the first noise signal transfer line PTn1, and a control pulse (first noise signal transfer pulse) is supplied at a timing described later. The gates of the first optical signal transfer transistors MTs1 in each column are commonly connected to the first optical signal transfer line PTs1, and a control pulse (first optical signal transfer pulse) is supplied at a timing described later.

各列の第2のノイズ信号転送トランジスタMTn2のゲートは、第2のノイズ信号転送線PTn2に共通に接続され、後述するタイミングで制御パルス(第2のノイズ信号転送パルス)が供給される。各列の第2の光信号転送トランジスタMTs2のゲートは、第2の光信号転送線PTs2に共通に接続され、後述するタイミングで制御パルス(第2の光信号転送パルス)が供給される。j列目の水平転送トランジスタMCHn、MCHsのゲートは、列選択線PHjを介して水平走査回路(HSR)ブロック303に接続され、後述するタイミングで列毎に制御パルス(水平転送パルス)が供給される。   The gates of the second noise signal transfer transistors MTn2 in each column are commonly connected to the second noise signal transfer line PTn2, and a control pulse (second noise signal transfer pulse) is supplied at a timing described later. The gates of the second optical signal transfer transistors MTs2 in each column are commonly connected to the second optical signal transfer line PTs2, and a control pulse (second optical signal transfer pulse) is supplied at a timing described later. The gates of the horizontal transfer transistors MCHn and MCHs in the j-th column are connected to the horizontal scanning circuit (HSR) block 303 via the column selection line PHj, and a control pulse (horizontal transfer pulse) is supplied for each column at a timing described later. The

図3は、本実施形態における固体撮像素子3の信号読み出し動作を説明するための駆動タイミングを示すタイミングチャートである。ここで、固体撮像素子3における画素領域のうち、1行目からn行目までの信号読み出し動作を1フレームとする。このとき、1フレーム分の信号読み出し動作は、読み出しを行う画素領域の1行目から開始し、1行目、2行目、…、(i−1)行目、i行目、(i+1)行目、…、n行目の順に行われるものとする。   FIG. 3 is a timing chart showing drive timings for explaining the signal readout operation of the solid-state imaging device 3 in the present embodiment. Here, the signal reading operation from the first row to the n-th row in the pixel region in the solid-state imaging device 3 is defined as one frame. At this time, the signal readout operation for one frame starts from the first row of the pixel region to be read out, the first row, the second row,..., (I−1) th row, ith row, (i + 1) It is assumed that the processing is performed in the order of the line,.

図2及び図3を参照して、固体撮像素子3のi行目に注目して、その読み出し動作を説明する。以下では、固体撮像素子3が有する各トランジスタのゲートに対して、“H”(ハイレベル)の制御パルスが入力されたときに、各トランジスタがオンする(導通状態となる)ものとして説明する。   With reference to FIG. 2 and FIG. 3, focusing on the i-th row of the solid-state imaging device 3, the reading operation will be described. In the following description, it is assumed that each transistor is turned on (becomes conductive) when an “H” (high level) control pulse is input to the gate of each transistor included in the solid-state imaging device 3.

まず、第1垂直転送期間として、i行目の画素を選択して、容量CTn1にノイズ信号(撮像信号の基準信号、N信号)を保持し、容量CTs1に光信号(撮像信号、S信号)を保持するまでの動作について説明する。時刻T1に、行送りパルスPVがトリガクロック信号として垂直走査回路(VSR)302に入力される。行送りパルスPVが“H”となった瞬間に、読み出し対象として選択される画素行の行送りが行われて読み出し対象が(i−1)行目の画素からi行目の画素に移る。時刻T2に、画素選択パルスPSeliが“H”となり、i行目の画素の選択トランジスタMSelがオンとなって、i行目の画素300が、各々の画素列に対応する垂直出力線VLjに接続される。   First, as a first vertical transfer period, a pixel in the i-th row is selected, a noise signal (reference signal of imaging signal, N signal) is held in the capacitor CTn1, and an optical signal (imaging signal, S signal) is held in the capacitor CTs1. The operation until holding is described. At time T1, the line feed pulse PV is input to the vertical scanning circuit (VSR) 302 as a trigger clock signal. At the moment when the line feed pulse PV becomes “H”, the line feed of the pixel row selected as the read target is performed, and the read target moves from the pixel in the (i−1) -th row to the pixel in the i-th row. At time T2, the pixel selection pulse PSeli becomes “H”, the selection transistor MSel of the i-th row pixel is turned on, and the i-th row pixel 300 is connected to the vertical output line VLj corresponding to each pixel column. Is done.

時刻T3に、画素リセットパルスPResiが“L”となって、i行目の画素300のフローティングディフュージョン部のリセットが解除され、フローティングディフュージョン部のリセットレベルが決定される。時刻T4に、第1の光信号転送パルスPTs1及び第1のノイズ信号転送パルスPTn1が“H”となって、容量CTs1及びCTn1のリセットが開始される。時刻T5に、第1の光信号転送パルスPTs1及び第1のノイズ信号転送パルスPTn1が“L”となって、容量CTs1、CTn1のリセットが終了される。時刻T6に、クランプパルスPC0Rが“L”となり、クランプ容量C0のリセットが終了される。   At time T3, the pixel reset pulse PREsi becomes “L”, the reset of the floating diffusion portion of the pixel 300 in the i-th row is released, and the reset level of the floating diffusion portion is determined. At time T4, the first optical signal transfer pulse PTs1 and the first noise signal transfer pulse PTn1 become “H”, and resetting of the capacitors CTs1 and CTn1 is started. At time T5, the first optical signal transfer pulse PTs1 and the first noise signal transfer pulse PTn1 become “L”, and the resetting of the capacitors CTs1 and CTn1 is completed. At time T6, the clamp pulse PC0R becomes “L”, and the reset of the clamp capacitor C0 is completed.

時刻T7に、第1のノイズ信号転送パルスPTn1が“H”となり、画素300のフローティングディフュージョン部の電位(電圧)が容量CTn1に出力される。時刻T8に、第1のノイズ信号転送パルスPTn1が“L”となり、この時点におけるフローティングディフュージョン部の電位(電圧)が、ノイズ信号として容量CTn1に保持される。   At time T7, the first noise signal transfer pulse PTn1 becomes “H”, and the potential (voltage) of the floating diffusion portion of the pixel 300 is output to the capacitor CTn1. At time T8, the first noise signal transfer pulse PTn1 becomes “L”, and the potential (voltage) of the floating diffusion portion at this time is held in the capacitor CTn1 as a noise signal.

時刻T9に、第1の光信号転送パルスPTs1が“H”となり、画素300のフローティングディフュージョン部の電位(電圧)が容量CTs1に出力される。第1の光信号転送パルスPTs1が“H”である期間の時刻T10に、画素信号転送パルスPTxiが“H”となる。画素信号転送パルスPTxiが“H”となることで、i行目の画素の転送トランジスタMTxがオンとなって、i行目の画素のフォトダイオードPDに蓄積されていた電荷がフローティングディフュージョン部に転送される。   At time T9, the first optical signal transfer pulse PTs1 becomes “H”, and the potential (voltage) of the floating diffusion portion of the pixel 300 is output to the capacitor CTs1. The pixel signal transfer pulse PTxi becomes “H” at time T10 during a period in which the first optical signal transfer pulse PTs1 is “H”. When the pixel signal transfer pulse PTxi becomes “H”, the transfer transistor MTx of the pixel in the i-th row is turned on, and the charge accumulated in the photodiode PD of the pixel in the i-th row is transferred to the floating diffusion portion. Is done.

時刻T11に、画素信号転送パルスPTxiが“L”となり、転送トランジスタMTxがオフされて、フォトダイオードPDからフローティングディフュージョン部への電荷転送が終了する。演算増幅器301が、垂直出力線VLjの、画素のフォトダイオードPDから転送された電荷量に応じた電位変動に応答するのを待った後、次の動作に移る。時刻T12に、第1の光信号転送パルスPTs1が“L”となり、この時点でフローティングディフュージョン部に蓄積された電荷量に応じた電位(電圧)が、光信号として容量CTs1に保持される。   At time T11, the pixel signal transfer pulse PTxi becomes “L”, the transfer transistor MTx is turned off, and charge transfer from the photodiode PD to the floating diffusion portion is completed. After waiting for the operational amplifier 301 to respond to the potential fluctuation corresponding to the amount of charge transferred from the photodiode PD of the pixel of the vertical output line VLj, the operation proceeds to the next operation. At time T12, the first optical signal transfer pulse PTs1 becomes “L”, and a potential (voltage) corresponding to the amount of charge accumulated in the floating diffusion portion at this time is held in the capacitor CTs1 as an optical signal.

以上に説明した時刻T1〜T12の期間に行われる動作が、第1垂直転送期間として、i行目の画素を選択して、容量CTn1にノイズ信号を保持し、容量CTs1に光信号を保持するまでの動作である。   The operation performed during the period of time T1 to T12 described above selects the pixel in the i-th row as the first vertical transfer period, holds the noise signal in the capacitor CTn1, and holds the optical signal in the capacitor CTs1. It is operation until.

第1垂直転送期間の後、時刻T13に、画素リセットパルスPResiが“H”となって、フローティングディフュージョン部のリセットが開始される。なお、フローティングディフュージョン部のリセットは、第1垂直転送期間が終了した後から、後述するi行目の画素行の選択解除(時刻T19)よりも前の任意のタイミングで行ってよい。時刻T14に、クランプパルスPC0Rが“H”となり、クランプ容量C0のリセットが開始される。なお、クランプ容量のリセットは、第1垂直転送期間が終了した後から、次の行(ここではi+1行目)を読み出し対象とするために行送りパルスPVが垂直走査回路(VSR)302に入力されるよりも前の任意のタイミングで行ってよい。   After the first vertical transfer period, the pixel reset pulse PREsi becomes “H” at time T13, and resetting of the floating diffusion portion is started. Note that the reset of the floating diffusion portion may be performed at an arbitrary timing after the end of the first vertical transfer period and before the deselection of an i-th pixel row (time T19) described later. At time T14, the clamp pulse PC0R becomes “H”, and reset of the clamp capacitor C0 is started. The clamp capacitor is reset after the first vertical transfer period is over, and the row feed pulse PV is input to the vertical scanning circuit (VSR) 302 in order to set the next row (here, i + 1th row) as a reading target. It may be performed at an arbitrary timing before being performed.

次に、第2垂直転送期間として、容量CTn1に保持されたノイズ信号(撮像信号の基準信号、N信号)を容量CTn2に保持し、容量CTs1に保持された光信号(撮像信号、S信号)を容量CTs2に保持するまでの動作について説明する。時刻T15に、信号保持容量リセットパルスPCTRが“H”となり、容量CTn2、CTs2のリセットが開始される。時刻T16に、信号保持容量リセットパルスPCTRが“L”となり、容量CTn2、CTs2のリセットが終了される。   Next, as the second vertical transfer period, the noise signal (reference signal of imaging signal, N signal) held in the capacitor CTn1 is held in the capacitor CTn2, and the optical signal (imaging signal, S signal) held in the capacitor CTs1 Will be described until the capacitor CTs2 is held. At time T15, the signal holding capacitor reset pulse PCTR becomes “H”, and resetting of the capacitors CTn2 and CTs2 is started. At time T16, the signal holding capacitor reset pulse PCTR becomes “L”, and the resetting of the capacitors CTn2 and CTs2 is completed.

時刻T17に、第2の光信号転送パルスPTs2が“H”となり、容量CTs1と容量CTs2とが接続される。時刻T18に、第2の光信号転送パルスPTs2が“L”となり、容量CTs1に保持されていた光信号が、容量CTs2に保持される。時刻T20に、第2のノイズ信号転送パルスPTn2が“H”となり、容量CTn1と容量CTn2とが接続される。時刻T21に、第2のノイズ信号転送パルスPTn2が“L”となり、容量CTn1に保持されていたノイズ信号が、容量CTn2に保持される。   At time T17, the second optical signal transfer pulse PTs2 becomes “H”, and the capacitors CTs1 and CTs2 are connected. At time T18, the second optical signal transfer pulse PTs2 becomes “L”, and the optical signal held in the capacitor CTs1 is held in the capacitor CTs2. At time T20, the second noise signal transfer pulse PTn2 becomes “H”, and the capacitor CTn1 and the capacitor CTn2 are connected. At time T21, the second noise signal transfer pulse PTn2 becomes “L”, and the noise signal held in the capacitor CTn1 is held in the capacitor CTn2.

以上に説明した時刻T15〜T21の期間に行われる動作が、第2垂直転送期間として、容量CTn1に保持されたノイズ信号を容量CTn2に保持し、容量CTs1に保持された光信号を容量CTs2に保持するまでの動作である。   The operation performed during the period of time T15 to T21 described above is performed as the second vertical transfer period, the noise signal held in the capacitor CTn1 is held in the capacitor CTn2, and the optical signal held in the capacitor CTs1 is held in the capacitor CTs2. This is the operation until holding.

第2垂直転送期間における各動作のタイミングの決め方についての詳細は後述する。なお、ここでは時刻T19に、画素選択パルスPSeliを“L”とすることで、i行目の画素の選択トランジスタMSelをオフさせてi行目の画素の選択を解除しているが、本動作は、第2垂直転送期間中に行うことが必須ではない。本動作は、第1垂直転送期間が終了した後から、次の行(ここではi+1行目)を読み出し対象とするために行送りパルスPVが垂直走査回路(VSR)302に入力されるよりも前の任意のタイミングで行ってよい。   Details of how to determine the timing of each operation in the second vertical transfer period will be described later. Here, at time T19, the pixel selection pulse PSeli is set to “L” to turn off the selection transistor MSel of the pixel in the i-th row to cancel the selection of the pixel in the i-th row. Is not essential during the second vertical transfer period. This operation is performed after the first vertical transfer period ends, rather than when the row feed pulse PV is input to the vertical scanning circuit (VSR) 302 in order to set the next row (here, i + 1th row) as a reading target. It may be performed at any previous timing.

次に、水平転送期間として、容量CTn2に保持されたノイズ信号(撮像信号の基準信号、N信号)、及び容量CTs2に保持された光信号(撮像信号、S信号)を、後段の回路へと出力するまでの動作について説明する。第2垂直転送期間の後、列送りパルスPHがトリガクロック信号として水平走査回路(HSR)303に入力されると、列転送パルスが、読み出し領域の先頭列から末尾の列まで順に列選択線PHjへと入力される。したがって、容量CTs2、CTn2に保持された信号は、時刻T22から時刻T23までの間に、1列分ずつ順番に水平出力線OUTs、OUTnに送られ、後段の回路へと出力される。以上に説明した時刻T22〜T23の期間に行われる動作が、水平転送期間として、容量CTn2に保持されたノイズ信号及び容量CTs2に保持された光信号を、後段の回路へと出力するまでの動作である。   Next, as a horizontal transfer period, the noise signal (reference signal of the imaging signal, N signal) held in the capacitor CTn2 and the optical signal (imaging signal, S signal) held in the capacitor CTs2 are transferred to the subsequent circuit. The operation until output will be described. After the second vertical transfer period, when the column feed pulse PH is input to the horizontal scanning circuit (HSR) 303 as a trigger clock signal, the column transfer pulse is sequentially selected from the first column to the last column in the readout region. Is input. Therefore, the signals held in the capacitors CTs2 and CTn2 are sequentially sent to the horizontal output lines OUTs and OUTn one column at a time from time T22 to time T23, and output to the subsequent circuit. The operation performed during the period of time T22 to T23 described above is an operation until the noise signal held in the capacitor CTn2 and the optical signal held in the capacitor CTs2 are output to the subsequent circuit as a horizontal transfer period. It is.

以上に説明した、第1垂直転送期間、第2垂直転送期間、及び水平転送期間の一連の動作が、i行目の画素1行分の信号読み出し動作である。この動作を繰り返すことにより、1フレーム分の信号読み出しを行う。なお、i行目の第2垂直転送期間が終了した時点で、i行目の画素の光信号は容量CTs2に保持され、i行目の画素のノイズ信号は容量CTn2に保持されている。したがって、容量CTs1、CTn1をリセットして、次の行(i+1行)の画素からの信号を保持することができる。すなわち、図3に示したように、i行目の水平転送期間の動作と、(i+1)行目の第1垂直転送期間の動作とは、並行して行うことができる。   A series of operations in the first vertical transfer period, the second vertical transfer period, and the horizontal transfer period described above is a signal read operation for one row of pixels in the i-th row. By repeating this operation, signal reading for one frame is performed. Note that when the second vertical transfer period of the i-th row ends, the optical signal of the pixel of the i-th row is held in the capacitor CTs2, and the noise signal of the pixel of the i-th row is held in the capacitor CTn2. Therefore, the capacitors CTs1 and CTn1 can be reset to hold signals from the pixels in the next row (i + 1 row). That is, as shown in FIG. 3, the operation in the i-th horizontal transfer period and the operation in the (i + 1) -th first vertical transfer period can be performed in parallel.

図4(A)〜(C)は、第1垂直転送期間〜第2垂直転送期間における各動作の駆動タイミングの決定方法を示す概念図である。ここで、第2垂直転送期間における各動作の駆動タイミングの決定方法について説明する前に、図4(A)を参照して固体撮像素子3に入力される基準電位が変動することによるノイズ発生のメカニズムについて述べる。   4A to 4C are conceptual diagrams illustrating a method for determining the drive timing of each operation in the first vertical transfer period to the second vertical transfer period. Here, before describing the method for determining the drive timing of each operation in the second vertical transfer period, noise generation due to fluctuations in the reference potential input to the solid-state imaging device 3 with reference to FIG. Describe the mechanism.

図1に示した撮像装置は、前述したようにその内部又は近傍に固体撮像素子3に供給される電源電圧を変動させる、ノイズ源となり得る要素を多数有している。これらの機器等が動作すると、その動作による所定周期の電源変動や電磁波などによって、固体撮像素子3に供給される電源電圧が不安定になる。なお、各々のノイズ源は、それぞれに固有の周期でノイズである電磁波や電源変動を生じさせる。図2に示した固体撮像素子3において、容量CTn1及び容量CTs1が接続されるGNDは、他のGNDと高インピーダンスで接続されており、電源レベルが変動しやすい構成となっている。   The image pickup apparatus shown in FIG. 1 has many elements that can be a noise source that fluctuate the power supply voltage supplied to the solid-state image pickup device 3 in or near the inside as described above. When these devices and the like operate, the power supply voltage supplied to the solid-state imaging device 3 becomes unstable due to power fluctuations or electromagnetic waves in a predetermined cycle due to the operation. In addition, each noise source produces electromagnetic waves and power supply fluctuations that are noises with a specific period. In the solid-state imaging device 3 shown in FIG. 2, the GND to which the capacitor CTn1 and the capacitor CTs1 are connected is connected to other GND with high impedance, and the power supply level is likely to fluctuate.

図4(A)中のVinには、容量CTn1及び容量CTs1が接続されるGNDに供給される電源電圧が、ノイズ源によって変動する様を模式的に示している。ここで、ノイズ源が固体撮像素子の信号読み出し中に動作し、固体撮像素子に供給される電源電圧Vinが、図4(A)に示したように周波数f1[Hz]で変動した場合について考える。   In FIG. 4A, Vin schematically shows that the power supply voltage supplied to the GND to which the capacitor CTn1 and the capacitor CTs1 are connected varies depending on the noise source. Here, consider a case where the noise source operates during signal readout of the solid-state image sensor, and the power supply voltage Vin supplied to the solid-state image sensor fluctuates at a frequency f1 [Hz] as shown in FIG. .

前述したように時刻T8において、ノイズ信号が容量CTn1に保持されるが、その際、その時点での電源電圧Vinの振幅Vrn1をノイズとして重畳した状態でノイズ信号が容量CTn1に保持されることとなる。また、時刻T12において、光信号が容量CTs1に保持されるが、その際、その時点での電源電圧Vinの振幅Vrs1をノイズとして重畳した状態で光信号が容量CTs1に保持されることとなる。時刻T8と時刻T12との間で電源電圧Vinは変動しているので、容量CTn1に保持されたノイズ信号と容量CTs1に保持された光信号との間には、
(Vrs1−Vrn1)
のノイズが発生したことに相当する。
As described above, the noise signal is held in the capacitor CTn1 at time T8. At this time, the noise signal is held in the capacitor CTn1 in a state where the amplitude Vrn1 of the power supply voltage Vin at that time is superimposed as noise. Become. At time T12, the optical signal is held in the capacitor CTs1, and at this time, the optical signal is held in the capacitor CTs1 with the amplitude Vrs1 of the power supply voltage Vin at that time superimposed as noise. Since the power supply voltage Vin fluctuates between time T8 and time T12, between the noise signal held in the capacitor CTn1 and the optical signal held in the capacitor CTs1,
(Vrs1-Vrn1)
This corresponds to the occurrence of noise.

また、時刻T18aにおいて、光信号が容量CTs2に保持されるが、その際、その時点での電源電圧Vinの振幅Vrs2をノイズとして重畳した状態で光信号が容量CTs2に保持されることとなる。また、時刻T21aにおいて、ノイズ信号が容量CTn2に保持されるが、その際、その時点での電源電圧Vinの振幅Vrn2をノイズとして重畳した状態でノイズ信号が容量CTn2に保持されることとなる。時刻T18aと時刻T21aとの間で電源電圧Vinは変動しているので、容量CTn2に保持されたノイズ信号と容量CTs2に保持された光信号との間には、
(Vrs2−Vrn2)
のノイズが発生したことに相当する。
At time T18a, the optical signal is held in the capacitor CTs2. At this time, the optical signal is held in the capacitor CTs2 with the amplitude Vrs2 of the power supply voltage Vin at that time superimposed as noise. At time T21a, the noise signal is held in the capacitor CTn2. At this time, the noise signal is held in the capacitor CTn2 in a state where the amplitude Vrn2 of the power supply voltage Vin at that time is superimposed as noise. Since the power supply voltage Vin varies between the time T18a and the time T21a, between the noise signal held in the capacitor CTn2 and the optical signal held in the capacitor CTs2,
(Vrs2-Vrn2)
This corresponds to the occurrence of noise.

したがって、容量CTs2、CTn2から出力される最終的な信号には、
(Vrs1−Vrn1)+(Vrs2−Vrn2)
のノイズが発生することとなる。この値が画素行毎に変化した場合、ノイズは画像信号に横縞状のパターンノイズとして現れる。以上が、固体撮像素子に入力される電源電圧が変動することによる、ノイズ発生のメカニズムである。
Therefore, the final signals output from the capacitors CTs2 and CTn2 are
(Vrs1-Vrn1) + (Vrs2-Vrn2)
Noise will occur. When this value changes for each pixel row, the noise appears as horizontal stripe pattern noise in the image signal. The above is the mechanism of noise generation due to fluctuations in the power supply voltage input to the solid-state imaging device.

次に、図4(A)を参照して、このようなノイズを低減させるための第2垂直転送期間における各動作の駆動タイミングの決定方法について説明する。前述のようなノイズを低減させるためには、
|(Vrs1−Vrn1)+(Vrs2−Vrn2)|
の値が最小となるタイミングで、容量CTs2及び容量CTn2における信号保持を行えばよい。
Next, with reference to FIG. 4A, a method for determining the drive timing of each operation in the second vertical transfer period for reducing such noise will be described. In order to reduce the noise as described above,
| (Vrs1-Vrn1) + (Vrs2-Vrn2) |
The signal may be held in the capacitor CTs2 and the capacitor CTn2 at a timing at which the value becomes the minimum.

なお、ノイズ信号が容量CTn1に保持される時刻T8と光信号が容量CTs1に保持される時刻T12との間隔が長いほど、画素に発生する暗電流によって、時刻T8と時刻T12との間に暗電流ノイズの差が発生してしまう。そのため、時刻T8と時刻T12との間隔を必要以上に長くすることは好ましくない。一方で、時刻T12については、演算増幅器301が、垂直出力線VLjの最大の電位変動に十分応答するまでの期間を確保して設定する必要がある。したがって、時刻T8と時刻T12との間隔は、演算増幅器301が、垂直出力線VLjの最大の電位変動に十分応答するために過不足ない期間に設定されるものとする。   Note that the longer the interval between the time T8 when the noise signal is held in the capacitor CTn1 and the time T12 when the optical signal is held in the capacitor CTs1, the darker current is generated between the time T8 and the time T12 due to the dark current generated in the pixel. A difference in current noise occurs. Therefore, it is not preferable to make the interval between time T8 and time T12 longer than necessary. On the other hand, for the time T12, it is necessary to secure and set a period until the operational amplifier 301 sufficiently responds to the maximum potential fluctuation of the vertical output line VLj. Therefore, the interval between time T8 and time T12 is set to a period that is not excessive or insufficient in order for the operational amplifier 301 to sufficiently respond to the maximum potential fluctuation of the vertical output line VLj.

したがって、このように設定された駆動タイミングにおいて電源電圧に重畳されるノイズVrn1、Vrs1に対し、
|(Vrs1−Vrn1)+(Vrs2−Vrn2)|
の値が最小となるノイズVrs2、Vrn2が保持されるように容量CTs2及び容量CTn2における信号保持のタイミングを決定する。
Therefore, for the noises Vrn1 and Vrs1 superimposed on the power supply voltage at the drive timing set in this way,
| (Vrs1-Vrn1) + (Vrs2-Vrn2) |
The timing of signal holding in the capacitors CTs2 and CTn2 is determined so that the noises Vrs2 and Vrn2 that minimize the value of are held.

例えば、固体撮像素子3の信号読み出し動作中に駆動される可能性のある機器をすべて駆動させた状態で、固体撮像素子から信号を読み出し、ノイズの最も少なくなるような駆動パターンを決定して撮像装置に記憶させておけばよい。具体的には、固体撮像素子の信号読み出し動作中に駆動される可能性のある機器をすべて駆動させた状態で、固体撮像素子から信号を読み出す。これを、容量CTs2及び容量CTn2における信号保持のタイミングを変えながら繰り返す。   For example, in a state where all devices that may be driven during the signal reading operation of the solid-state image sensor 3 are driven, signals are read from the solid-state image sensor, and a drive pattern that minimizes noise is determined and imaged. You can memorize it in the device. Specifically, signals are read from the solid-state image sensor while all devices that may be driven during the signal readout operation of the solid-state image sensor are driven. This is repeated while changing the signal holding timing in the capacitors CTs2 and CTn2.

前述したとおり、ノイズ成分|(Vrs1−Vrn1)+(Vrs2−Vrn2)|は、画像信号に横縞状のノイズとして現れる。したがって、得られた画像信号から、例えば、行方向の写像を求め、写像の振幅が最小となるような画像を取得した際の駆動パターンを、ノイズの最も少なくなるような駆動パターンとして選択すればよい。あるいは、固体撮像素子に供給される電源電圧の波形や変動周波数を、固体撮像素子の信号読み出し動作中に駆動される可能性のある機器をすべて駆動させた状態で測定するか、又はシミュレーション等によって求める。求めた波形や変動周波数から、ノイズの最も少なくなるような駆動パターンを演算によって決定し、撮像装置の出荷前に予め撮像装置に記憶させておけばよい。   As described above, the noise component | (Vrs1−Vrn1) + (Vrs2−Vrn2) | appears as horizontal stripe noise in the image signal. Therefore, for example, if the mapping in the row direction is obtained from the obtained image signal, and the driving pattern when the image having the minimum mapping amplitude is acquired is selected as the driving pattern with the least noise. Good. Alternatively, the waveform or fluctuation frequency of the power supply voltage supplied to the solid-state imaging device is measured in a state where all devices that may be driven during the signal readout operation of the solid-state imaging device are driven, or by simulation or the like Ask. A drive pattern that minimizes noise may be determined by calculation from the obtained waveform and fluctuation frequency, and stored in the imaging device in advance before the imaging device is shipped.

測定やシミュレーション等で得た変動周波数から、演算によってノイズの最も少なくなるような駆動パターンを求める方法としては、下記のような方法がある。例えば、電源電圧Vinが周波数f1[Hz]で変動するとき、図4(A)に示したように容量CTn1及び容量CTs2の保持タイミングの間隔ΔT1が、電源電圧Vinの変動周期1/f1[s]の整数倍となるようにタイミングT18aを決定する。
ΔT1=T18a−T8=k×(1/f1) (k=整数)
また、容量CTs1及び容量CTn2の保持タイミングの間隔ΔT2が、電源電圧Vinの変動周期1/f1[s]の整数倍となるようにタイミングT21aを決定する。
ΔT2=T21a−T12=l×(1/f1) (l=整数)
There are the following methods as a method for obtaining a drive pattern that minimizes the noise by calculation from the fluctuating frequency obtained by measurement or simulation. For example, when the power supply voltage Vin fluctuates at the frequency f1 [Hz], as shown in FIG. 4A, the holding timing interval ΔT1 between the capacitors CTn1 and CTs2 is the fluctuation cycle 1 / f1 [s of the power supply voltage Vin. ] Is determined so as to be an integral multiple of the timing T18a.
ΔT1 = T18a−T8 = k × (1 / f1) (k = integer)
Further, the timing T21a is determined so that the holding timing interval ΔT2 of the capacitors CTs1 and CTn2 is an integral multiple of the fluctuation period 1 / f1 [s] of the power supply voltage Vin.
ΔT2 = T21a−T12 = 1 × (1 / f1) (1 = integer)

図4(B)及び図4(C)に示す例についても、容量CTs2の保持タイミングと容量CTn2の保持タイミングとの決定方法は、図4(A)と同様である。すなわち、容量CTn1及び容量CTs2の保持タイミングの間隔ΔT1が、電源電圧Vinの変動周期1/f1[s]の整数倍となるようにタイミングT18b、T18cを決定する。また、容量CTs1及び容量CTn2の保持タイミングの間隔ΔT2が、電源電圧Vinの変動周期1/f1[s]の整数倍となるようにタイミングT21b、T21cを決定する。しかし、図4(A)においてはl=kとしているのに対し、図4(B)や図4(C)に示すように、l≠kとしてもよい。なお、図4(C)では、容量CTs2の保持タイミングと容量CTn2の保持タイミングとの順序が、図4(A)や図4(B)に示した例とは逆になっているが、容量CTs2への保持と容量CTn2への保持とは、どちらを先に行ってもよい。以上が第2垂直転送期間における各動作の駆動タイミングの決定方法である。   In the example shown in FIGS. 4B and 4C, the method for determining the holding timing of the capacitor CTs2 and the holding timing of the capacitor CTn2 is the same as that in FIG. That is, the timings T18b and T18c are determined so that the holding timing interval ΔT1 of the capacitors CTn1 and CTs2 is an integral multiple of the fluctuation period 1 / f1 [s] of the power supply voltage Vin. Further, the timings T21b and T21c are determined so that the holding timing interval ΔT2 of the capacitors CTs1 and CTn2 is an integral multiple of the fluctuation period 1 / f1 [s] of the power supply voltage Vin. However, while l = k in FIG. 4A, l ≠ k as shown in FIGS. 4B and 4C. Note that in FIG. 4C, the order of the holding timing of the capacitor CTs2 and the holding timing of the capacitor CTn2 is reversed from the example shown in FIGS. 4A and 4B. Either the holding in CTs2 or the holding in the capacitor CTn2 may be performed first. The above is the method for determining the drive timing of each operation in the second vertical transfer period.

このようにすることで、容量CTn1の保持タイミングT8と容量CTs2の保持タイミングT18とが電源電圧の変動に対して同位相に設定され、基準電圧に重畳されるノイズVrn1、Vrs2が同じレベルとなる。また、容量CTs1の保持タイミングT12と容量CTn2の保持タイミングT21とが電源電圧の変動に対して同位相に設定され、基準電圧に重畳されるノイズVrs1、Vrn2が同じレベルとなる。したがって、容量CTn2に保持されたノイズ信号と容量CTs2に保持された光信号との間に発生したノイズによって、容量CTn1に保持されたノイズ信号と容量CTs1に保持された光信号との間に発生したノイズを打ち消すことができる。すなわち、(Vrs1−Vrn1)+(Vrs2−Vrn2)=(Vrs1−Vrn2)+(Vrs2−Vrn1)=0となる。したがって、本実施形態に述べた方法で決定した駆動タイミングによれば、固体撮像素子に供給される電源電圧の変動に起因する画質劣化を低減させることができる。   By doing so, the holding timing T8 of the capacitor CTn1 and the holding timing T18 of the capacitor CTs2 are set in the same phase with respect to the fluctuation of the power supply voltage, and the noises Vrn1 and Vrs2 superimposed on the reference voltage become the same level. . Further, the holding timing T12 of the capacitor CTs1 and the holding timing T21 of the capacitor CTn2 are set in the same phase with respect to the fluctuation of the power supply voltage, and the noises Vrs1 and Vrn2 superimposed on the reference voltage are at the same level. Therefore, noise generated between the noise signal held in the capacitor CTn2 and the optical signal held in the capacitor CTs2 generates between the noise signal held in the capacitor CTn1 and the optical signal held in the capacitor CTs1. Can cancel the noise. That is, (Vrs1-Vrn1) + (Vrs2-Vrn2) = (Vrs1-Vrn2) + (Vrs2-Vrn1) = 0. Therefore, according to the drive timing determined by the method described in the present embodiment, it is possible to reduce image quality degradation caused by fluctuations in the power supply voltage supplied to the solid-state imaging device.

(第2の実施形態)
次に、本発明の第2の実施形態について説明する。以下、第2の実施形態による固体撮像素子に供給される電源電圧の変動に起因する画質劣化を低減させるための駆動タイミングの決定方法について説明する。本実施形態では、撮像装置に複数のノイズ源を有し、各々のノイズ源が、タイミング毎にそれぞれ異なる複数の組み合わせで動作するものとする。また、各々のノイズ源が発生させるノイズの周期が、各々異なるものとする。
(Second Embodiment)
Next, a second embodiment of the present invention will be described. Hereinafter, a driving timing determination method for reducing image quality degradation caused by fluctuations in the power supply voltage supplied to the solid-state imaging device according to the second embodiment will be described. In the present embodiment, the imaging apparatus has a plurality of noise sources, and each noise source operates in a plurality of combinations different from each other at each timing. In addition, it is assumed that the period of noise generated by each noise source is different.

本実施形態では、このような撮像装置において、同時に動作するノイズ源の組み合わせ毎に、それぞれのノイズ低減に適した複数の固体撮像素子の駆動パターンを用意しておく。そして、どのノイズ源が動作しているかに応じて、適した駆動パターンを選択するようにする。この点が、第2の実施形態と第1の実施形態との差異である。本実施形態に係る撮像装置の構成は、図1に示した第1の実施形態に係る撮像装置の構成と同様であるので、説明は割愛する。また、本実施形態における固体撮像素子の構成や基本的な駆動タイミングは、図2に示した第1の実施形態における固体撮像素子の構成や図3に示した第1の実施形態における固体撮像素子の駆動タイミングと同様であるので、説明は割愛する。   In the present embodiment, in such an imaging apparatus, a plurality of solid-state imaging element drive patterns suitable for noise reduction are prepared for each combination of noise sources operating simultaneously. A suitable drive pattern is selected according to which noise source is operating. This is the difference between the second embodiment and the first embodiment. Since the configuration of the imaging apparatus according to the present embodiment is the same as the configuration of the imaging apparatus according to the first embodiment illustrated in FIG. 1, description thereof is omitted. In addition, the configuration and basic drive timing of the solid-state imaging device in the present embodiment are the same as the configuration of the solid-state imaging device in the first embodiment shown in FIG. 2 and the solid-state imaging device in the first embodiment shown in FIG. Since this is the same as the drive timing, the description is omitted.

図1に示したような構成の撮像装置においては、固体撮像素子3に供給される電源電圧を変動させるノイズ源となりうる機器や部品が、固体撮像素子の近傍、すなわち撮像装置の内部や撮像装置の至近に配置されている。例えば、ストロボ14等の機器や、電源回路15のDC/DC回路や、レンズ1の鏡筒や絞り2等を駆動するためのモータ16、17や、コンピュータ等の外部機器11と通信を行うための外部インターフェース部10や無線ユニット18等である。なお、図1に示した機器や部品以外にも、動作によって撮像装置の電源及び固体撮像素子周辺の磁場を変動させうる機器や部品はノイズ源となりうる。   In the imaging apparatus having the configuration as shown in FIG. 1, equipment or components that can be a noise source that fluctuates the power supply voltage supplied to the solid-state imaging element 3 are in the vicinity of the solid-state imaging element, that is, inside the imaging apparatus or imaging apparatus. Located in the immediate vicinity. For example, to communicate with an external device 11 such as a strobe 14, a DC / DC circuit of a power supply circuit 15, motors 16 and 17 for driving a lens barrel or a diaphragm 2 of the lens 1, or a computer. External interface unit 10 and wireless unit 18. In addition to the devices and components shown in FIG. 1, devices and components that can change the power supply of the imaging apparatus and the magnetic field around the solid-state imaging device by operation can be noise sources.

これらのノイズ源は、各々のノイズ源毎に固有の周期で電源変動や電磁波を生じさせるので、どのノイズ源が動作しているかによって、固体撮像素子に供給される電源の変動周期も異なることとなる。固体撮像素子に供給される電源電圧の変動に起因するノイズを低減させるために適した駆動タイミングは、固体撮像素子に供給される電源電圧の変動周波数によって異なる。そこで本実施形態においては、固体撮像素子から信号を読み出す際に、どのノイズ源が動作しているかに応じて、ノイズを低減させるために適した駆動パターンを選択する。   Since these noise sources generate power fluctuations and electromagnetic waves with a specific period for each noise source, the fluctuation period of the power supplied to the solid-state imaging device differs depending on which noise source is operating. Become. The drive timing suitable for reducing noise caused by fluctuations in the power supply voltage supplied to the solid-state image sensor varies depending on the fluctuation frequency of the power supply voltage supplied to the solid-state image sensor. Therefore, in the present embodiment, when reading a signal from the solid-state imaging device, a driving pattern suitable for reducing noise is selected according to which noise source is operating.

例えば、電源回路15のDC/DC回路等の常時動作しているようなノイズ源に加えて、それ以外の第1のノイズ源が動作することによって、固体撮像素子に供給される電源電圧が周波数f1[Hz]で変動するものとする。このとき、例えば図4(A)に示したように、容量CTn1の保持タイミングT8と容量CTs1の保持タイミングT12との間で生じるノイズを打ち消すように、容量CTs2の保持タイミングT18aと容量CTn2の保持タイミングT21aを決定する。これを第1の駆動タイミングとして、撮像装置に記憶しておく。   For example, in addition to a noise source such as a DC / DC circuit that is constantly operating in the power supply circuit 15, the first noise source other than the noise source operates, so that the power supply voltage supplied to the solid-state image sensor is a frequency. It fluctuates at f1 [Hz]. At this time, as shown in FIG. 4A, for example, the holding timing T18a of the capacitor CTs2 and the holding of the capacitor CTn2 are canceled so as to cancel the noise generated between the holding timing T8 of the capacitor CTn1 and the holding timing T12 of the capacitor CTs1. Timing T21a is determined. This is stored in the imaging apparatus as the first drive timing.

また、電源回路15のDC/DC回路等の常時動作しているようなノイズ源に加えて、第1のノイズ源とは異なる第2のノイズ源が動作することによって、固体撮像素子に供給される電源電圧が周波数f2[Hz]で変動するものとする。このとき、例えば図5に示すように、容量CTn1の保持タイミングT8と容量CTs1の保持タイミングT12との間で生じるノイズを打ち消すように、容量CTs2の保持タイミングT18dと容量CTn2の保持タイミングT21dを決定する。これを第2の駆動タイミングとして、撮像装置に記憶しておく。   In addition to a noise source that is always operating, such as a DC / DC circuit of the power supply circuit 15, a second noise source that is different from the first noise source is operated to supply the solid-state imaging device. Assume that the power supply voltage fluctuates at a frequency f2 [Hz]. At this time, for example, as shown in FIG. 5, the holding timing T18d of the capacitor CTs2 and the holding timing T21d of the capacitor CTn2 are determined so as to cancel out noise generated between the holding timing T8 of the capacitor CTn1 and the holding timing T12 of the capacitor CTs1. To do. This is stored in the imaging apparatus as the second drive timing.

そして、固体撮像素子から信号を読み出す際、読み出し開始前に各ノイズ源が動作しているか否かの判定動作を行う。固体撮像素子から信号を読み出す際に、第1のノイズ源が動作していれば、第1の駆動タイミングによって信号の読み出しを行うようにし、第2のノイズ源が動作していれば、第2の駆動タイミングによって信号の読み出しを行うようにする。このようにすることで、動作するノイズ源の組み合わせに応じた適切な駆動パターンで固体撮像素子を駆動し、固体撮像素子に供給される電源電圧の変動に起因する画質劣化を低減させることができる。   And when reading a signal from a solid-state image sensor, the operation of determining whether or not each noise source is operating is performed before starting the reading. When the signal is read from the solid-state imaging device, if the first noise source is operating, the signal is read at the first drive timing, and if the second noise source is operating, the second noise source is operating. The signal is read out according to the drive timing. By doing so, it is possible to drive the solid-state imaging device with an appropriate driving pattern according to the combination of operating noise sources, and to reduce image quality degradation due to fluctuations in the power supply voltage supplied to the solid-state imaging device. .

なお、2通りの周波数の例について述べたが、同時に動作するノイズ源の組み合わせ毎に異なるタイミングを記憶しておき、各ノイズ源の動作判定の結果に従って使用する駆動タイミングを選択すればよい。例えば、図1に示した構成の撮像装置では、ストロボ14や、電源回路15のDC/DC回路、レンズ1の鏡筒や絞り2等を駆動するためのモータ16、17、外部機器11と通信を行うための外部I/F部10や無線ユニット18等がノイズ源となる。したがって、電源回路15のDC/DC回路に加えて、モータ16、17が動作したとき、ストロボ14が動作したとき、外部I/F部10や無線ユニット18が動作したときのそれぞれについてノイズ低減に適した駆動パターンを記憶しておけばよい。そして、各ノイズ源の動作判定の結果に従い、使用する駆動タイミングを選択すればよい。   Although two examples of frequencies have been described, different timings may be stored for each combination of noise sources that operate simultaneously, and drive timings to be used may be selected according to the results of operation determination of each noise source. For example, the imaging apparatus having the configuration shown in FIG. 1 communicates with the strobe 14, the DC / DC circuit of the power supply circuit 15, the motors 16 and 17 for driving the lens barrel and the diaphragm 2 of the lens 1, and the external device 11. The external I / F unit 10 and the wireless unit 18 for performing the above are noise sources. Therefore, in addition to the DC / DC circuit of the power supply circuit 15, noise reduction is performed for each of the motors 16 and 17, the strobe 14, and the external I / F unit 10 and the wireless unit 18. A suitable drive pattern may be stored. Then, the drive timing to be used may be selected according to the result of the operation determination of each noise source.

なお、ノイズが最も少なくなるような駆動パターンを求める方法は、第1の実施形態と同様である。レンズやストロボ、無線ユニット等の機器が交換可能である場合には、接続可能な機器のそれぞれについて、同様にノイズ低減に適した駆動パターンを記憶しておけばよい。そして、接続された機器のノイズ源の周波数が取得できるような情報を通信によって取得し、各々の機器が動作した際に使用する駆動タイミングを選択すればよい。通信によって、接続された機器のノイズ源の周波数が取得できないような場合には、本撮影前にプリ撮影として接続された各ノイズ源を同時に動作するノイズ源の組み合わせ毎に駆動させながら、記憶してある各駆動タイミングで遮光画像を取得しておく。そして、同時に動作するノイズ源の組み合わせに応じて、最もノイズが少なくなる駆動タイミングを、該当の機器が動作したときの駆動パターンとして選択すればよい。   A method for obtaining a drive pattern that minimizes noise is the same as in the first embodiment. If devices such as a lens, strobe, and wireless unit are replaceable, a drive pattern suitable for noise reduction may be stored for each connectable device. Then, information that can acquire the frequency of the noise source of the connected device is acquired by communication, and the drive timing to be used when each device operates is selected. When the frequency of the noise source of the connected device cannot be acquired through communication, the noise sources connected as pre-photographing are driven and stored for each combination of simultaneously operating noise sources before the main shooting. A shaded image is acquired at each driving timing. Then, the drive timing with the least noise may be selected as the drive pattern when the corresponding device operates according to the combination of noise sources that operate simultaneously.

(第3の実施形態)
次に、本発明の第3の実施形態について説明する。以下、第3の実施形態による固体撮像素子に供給される電源電圧の変動に起因する画質劣化を低減させるための駆動タイミングの決定方法について説明する。本実施形態に係る撮像装置の構成は、図1に示した第1の実施形態に係る撮像装置の構成と同様であるので、説明は割愛する。また、本実施形態における固体撮像素子の構成や基本的な駆動タイミングは、図2に示した第1の実施形態における固体撮像素子の構成や図3に示した第1の実施形態における固体撮像素子の駆動タイミングと同様であるので、説明は割愛する。
(Third embodiment)
Next, a third embodiment of the present invention will be described. Hereinafter, a driving timing determination method for reducing image quality degradation caused by fluctuations in the power supply voltage supplied to the solid-state imaging device according to the third embodiment will be described. Since the configuration of the imaging apparatus according to the present embodiment is the same as the configuration of the imaging apparatus according to the first embodiment illustrated in FIG. 1, description thereof is omitted. In addition, the configuration and basic drive timing of the solid-state imaging device in the present embodiment are the same as the configuration of the solid-state imaging device in the first embodiment shown in FIG. 2 and the solid-state imaging device in the first embodiment shown in FIG. Since this is the same as the drive timing, the description is omitted.

図1に示したような構成の撮像装置においては、固体撮像素子3に供給される電源電圧を変動させるノイズ源となりうる機器や部品が、固体撮像素子の近傍、すなわち撮像装置の内部や撮像装置の至近に配置されている。例えば、ストロボ14等の機器や、電源回路15のDC/DC回路や、レンズ1の鏡筒や絞り2等を駆動するためのモータ16、17や、コンピュータ等の外部機器11と通信を行うための外部インターフェース部10や無線ユニット18等である。なお、図1に示した機器や部品以外にも、動作によって撮像装置の電源及び固体撮像素子周辺の磁場を変動させうる機器や部品はノイズ源となりうる。   In the imaging apparatus having the configuration as shown in FIG. 1, equipment or components that can be a noise source that fluctuates the power supply voltage supplied to the solid-state imaging element 3 are in the vicinity of the solid-state imaging element, that is, inside the imaging apparatus or imaging apparatus. Located in the immediate vicinity. For example, to communicate with an external device 11 such as a strobe 14, a DC / DC circuit of a power supply circuit 15, motors 16 and 17 for driving a lens barrel or a diaphragm 2 of the lens 1, or a computer. External interface unit 10 and wireless unit 18. In addition to the devices and components shown in FIG. 1, devices and components that can change the power supply of the imaging apparatus and the magnetic field around the solid-state imaging device by operation can be noise sources.

これらのノイズ源は、各々のノイズ源毎に固有の周波数で電源変動や電磁波を生じさせるが、特に、電源回路15のDC/DC回路が発する電磁波の周波数については電源供給手段から供給される電圧によっても異なることとなる。例えば、一般的な撮像装置では、電源供給手段として電池が使用される。電池の放電の進み具合等により、電池から供給される電圧が異なるため、DC/DC回路の駆動周波数が変化することでDC/DC回路が発する電磁波の周波数も変化するため、固体撮像素子に供給される電源の変動の周波数が変化してしまう。   These noise sources generate power fluctuations and electromagnetic waves at a specific frequency for each noise source. In particular, the frequency of the electromagnetic waves generated by the DC / DC circuit of the power supply circuit 15 is a voltage supplied from the power supply means. It will be different depending on. For example, in a general imaging device, a battery is used as power supply means. Since the voltage supplied from the battery varies depending on the progress of the discharge of the battery, etc., the frequency of the electromagnetic wave generated by the DC / DC circuit also changes as the drive frequency of the DC / DC circuit changes, so it is supplied to the solid-state image sensor. The frequency of fluctuations in the power supply will change.

固体撮像素子に供給される電源電圧の変動に起因するノイズを低減させるために、適した駆動タイミングは、固体撮像素子に供給される電源電圧の変動周波数によって異なる。そこで本実施形態においては、固体撮像素子から信号を読み出す際に、電源供給手段から電源回路15のDC/DC回路に供給される電源電圧に応じて、ノイズを低減させるために適した駆動パターンを選択する。   In order to reduce noise caused by fluctuations in the power supply voltage supplied to the solid-state imaging device, a suitable drive timing varies depending on the fluctuation frequency of the power supply voltage supplied to the solid-state imaging device. Therefore, in the present embodiment, when a signal is read from the solid-state imaging device, a driving pattern suitable for reducing noise according to the power supply voltage supplied from the power supply means to the DC / DC circuit of the power supply circuit 15 is used. select.

例えば、電源供給手段から電源回路15のDC/DC回路に供給される電圧レベルが第1の電圧レベルであるとき、固体撮像素子に供給される電源電圧が周波数f1[Hz]で変動するものとする。このとき、例えば図4(A)に示したように、容量CTn1の保持タイミングT8と容量CTs1の保持タイミングT12との間で生じるノイズを打ち消すように、容量CTs2の保持タイミングT18aと容量CTn2の保持タイミングT21aを決定する。これを第1の駆動タイミングとして、撮像装置に記憶しておく。   For example, when the voltage level supplied from the power supply means to the DC / DC circuit of the power supply circuit 15 is the first voltage level, the power supply voltage supplied to the solid-state imaging device fluctuates at the frequency f1 [Hz]. To do. At this time, as shown in FIG. 4A, for example, the holding timing T18a of the capacitor CTs2 and the holding of the capacitor CTn2 are canceled so as to cancel the noise generated between the holding timing T8 of the capacitor CTn1 and the holding timing T12 of the capacitor CTs1. Timing T21a is determined. This is stored in the imaging apparatus as the first drive timing.

また、電源供給手段から電源回路15のDC/DC回路に供給される電圧レベルが第1の電圧レベルより低い第2の電圧レベルであるとき、固体撮像素子に供給される電源電圧が周波数f2[Hz]で変動するものとする。このとき、例えば図5に示したように、容量CTn1の保持タイミングT8と容量CTs1の保持タイミングT12との間で生じるノイズを打ち消すように、容量CTs2の保持タイミングT18dと容量CTn2の保持タイミングT21dを決定する。これを第2の駆動タイミングとして、撮像装置に記憶しておく。   Further, when the voltage level supplied from the power supply means to the DC / DC circuit of the power supply circuit 15 is the second voltage level lower than the first voltage level, the power supply voltage supplied to the solid-state imaging device has the frequency f2 [ Hz]. At this time, as shown in FIG. 5, for example, the holding timing T18d of the capacitor CTs2 and the holding timing T21d of the capacitor CTn2 are set so as to cancel noise generated between the holding timing T8 of the capacitor CTn1 and the holding timing T12 of the capacitor CTs1. decide. This is stored in the imaging apparatus as the second drive timing.

そして、電源供給手段から電源回路15のDC/DC回路に供給される電圧レベルが、第1の電圧レベルと第2の電圧レベルの間の所定の閾値以上であるときには、固体撮像素子から信号を読み出す際に、第1の駆動タイミングを用いるようにする。また、電源供給手段から電源回路15のDC/DC回路に供給される電圧レベルが、第1の電圧レベルと第2の電圧レベルの間の所定の閾値未満であるときには、固体撮像素子から信号を読み出す際に、第2の駆動タイミングを用いるようにする。このようにすることで、電源供給手段から電源回路15のDC/DC回路に供給される電圧レベルに応じた適切な駆動パターンで固体撮像素子を駆動し、固体撮像素子に供給される電源電圧の変動に起因する画質劣化を低減させることができる。   When the voltage level supplied from the power supply means to the DC / DC circuit of the power supply circuit 15 is equal to or higher than a predetermined threshold value between the first voltage level and the second voltage level, a signal is output from the solid-state imaging device. When reading, the first drive timing is used. Further, when the voltage level supplied from the power supply means to the DC / DC circuit of the power supply circuit 15 is less than a predetermined threshold value between the first voltage level and the second voltage level, a signal is output from the solid-state imaging device. When reading, the second drive timing is used. By doing so, the solid-state imaging device is driven with an appropriate driving pattern in accordance with the voltage level supplied from the power supply means to the DC / DC circuit of the power supply circuit 15, and the power supply voltage supplied to the solid-state imaging device can be reduced. It is possible to reduce image quality deterioration due to fluctuations.

なお、2通りの周波数の例について述べたが、電圧レベルをより子細に分割してそれぞれに異なる駆動タイミングを記憶しておき、電源供給手段から電源回路15のDC/DC回路に供給される電圧レベルに従って、使用する駆動タイミングを選択してもよい。   Although two examples of frequencies have been described, the voltage level is further divided into sub-divisions, and different driving timings are stored for the respective voltages, and the voltage supplied from the power supply means to the DC / DC circuit of the power supply circuit 15 is stored. The driving timing to be used may be selected according to the level.

(本発明の他の実施形態)
また、本発明は、以下の処理を実行することによっても実現される。即ち、前述した実施形態の機能を実現するソフトウェア(プログラム)を、ネットワーク又は各種記憶媒体を介してシステム或いは装置に供給し、そのシステム或いは装置のコンピュータ(またはCPUやMPU等)がプログラムを読み出して実行する処理である。
(Other embodiments of the present invention)
The present invention can also be realized by executing the following processing. That is, software (program) that realizes the functions of the above-described embodiments is supplied to a system or apparatus via a network or various storage media, and a computer (or CPU, MPU, or the like) of the system or apparatus reads the program. It is a process to be executed.

なお、前記実施形態は、何れも本発明を実施するにあたっての具体化のほんの一例を示したものに過ぎず、これらによって本発明の技術的範囲が限定的に解釈されてはならないものである。すなわち、本発明はその技術思想、又はその主要な特徴から逸脱することなく、様々な形で実施することができる。   The above-described embodiments are merely examples of implementation in carrying out the present invention, and the technical scope of the present invention should not be construed as being limited thereto. That is, the present invention can be implemented in various forms without departing from the technical idea or the main features thereof.

3:固体撮像素子 4:撮像信号処理回路 7:メモリ部 12:全体制御・演算部 13:タイミング発生部 15:電源回路 300:画素 CTs1:容量(第1の光信号保持手段) CTn1:容量(第1のノイズ信号保持手段) CTs2:容量(第2の光信号保持手段) CTn2:容量(第2のノイズ信号保持手段) MTs1:第1の光信号転送トランジスタ MTn1:第1のノイズ信号転送トランジスタ MTs2:第2の光信号転送トランジスタ MTn2:第2のノイズ信号転送トランジスタ PTs1:第1の光信号転送パルス PTn1:第1のノイズ信号転送パルス PTs2:第2の光信号転送パルス PTn2:第2のノイズ信号転送パルス 3: Solid-state imaging device 4: Imaging signal processing circuit 7: Memory unit 12: Overall control / calculation unit 13: Timing generation unit 15: Power supply circuit 300: Pixel CTs1: Capacitance (first optical signal holding means) CTn1: Capacitance ( CTs2: Capacitance (second optical signal holding means) CTn2: Capacitance (second noise signal holding means) MTs1: First optical signal transfer transistor MTn1: First noise signal transfer transistor MTs2: second optical signal transfer transistor MTn2: second noise signal transfer transistor PTs1: first optical signal transfer pulse PTn1: first noise signal transfer pulse PTs2: second optical signal transfer pulse PTn2: second Noise signal transfer pulse

Claims (6)

複数の画素と、前記複数の画素から出力される光信号を保持する第1の光信号保持手段と、前記複数の画素から出力されるノイズ信号を保持する第1のノイズ信号保持手段と、前記第1の光信号保持手段に接続され、前記第1の光信号保持手段を介して前記光信号を保持する第2の光信号保持手段と、前記第1のノイズ信号保持手段に接続され、前記第1のノイズ信号保持手段を介して前記ノイズ信号を保持する第2のノイズ信号保持手段とを有する固体撮像素子と、
前記第1のノイズ信号保持手段に前記ノイズ信号を保持する際に重畳されたノイズと同位相のノイズが重畳されるタイミングで前記第2の光信号保持手段に前記光信号を保持させ、前記第1の光信号保持手段に前記光信号を保持する際に重畳されたノイズと同位相のノイズが重畳されるタイミングで前記第2のノイズ信号保持手段に前記ノイズ信号を保持させる制御手段とを備えることを特徴とする撮像装置。
A plurality of pixels, first optical signal holding means for holding optical signals output from the plurality of pixels, first noise signal holding means for holding noise signals output from the plurality of pixels, Connected to the first optical signal holding means, connected to the second optical signal holding means for holding the optical signal through the first optical signal holding means, and to the first noise signal holding means, A solid-state imaging device having second noise signal holding means for holding the noise signal via first noise signal holding means;
The second optical signal holding unit holds the optical signal at a timing at which noise having the same phase as the noise superimposed when holding the noise signal is held by the first noise signal holding unit; Control means for causing the second noise signal holding means to hold the noise signal at a timing at which noise having the same phase as the noise superimposed when holding the optical signal is held in one optical signal holding means. An imaging apparatus characterized by that.
前記第2の光信号保持手段に前記光信号を保持させるタイミング及び前記第2のノイズ信号保持手段に前記ノイズ信号を保持させるタイミングは、重畳される前記ノイズの周期と、前記第1の光信号保持手段が前記光信号を保持するタイミングと、前記第1のノイズ信号保持手段が前記ノイズ信号を保持するタイミングとに基づいて決定されることを特徴とする請求項1記載の撮像装置。   The timing at which the second optical signal holding unit holds the optical signal and the timing at which the second noise signal holding unit holds the noise signal are the period of the superimposed noise and the first optical signal. The imaging apparatus according to claim 1, wherein the imaging apparatus is determined based on a timing at which the holding unit holds the optical signal and a timing at which the first noise signal holding unit holds the noise signal. それぞれの周期で前記ノイズを発生させる複数のノイズ源のうち、同時に動作する前記ノイズ源の組み合わせ毎に、前記第2の光信号保持手段に前記光信号を保持させるタイミング及び前記第2のノイズ信号保持手段に前記ノイズ信号を保持させるタイミングを記憶しておき、
前記制御手段は、前記固体撮像素子からの信号読み出し動作と同時に動作する前記ノイズ源の組み合わせに応じて、前記第2の光信号保持手段に前記光信号を保持させるタイミング及び前記第2のノイズ信号保持手段に前記ノイズ信号を保持させるタイミングを選択することを特徴とする請求項2記載の撮像装置。
The timing at which the second optical signal holding unit holds the optical signal and the second noise signal for each combination of the noise sources that operate simultaneously among the plurality of noise sources that generate the noise in each cycle. The timing for holding the noise signal in the holding means is stored,
The control means is configured to cause the second optical signal holding means to hold the optical signal and the second noise signal in accordance with a combination of the noise sources that operate simultaneously with a signal readout operation from the solid-state imaging device. The imaging apparatus according to claim 2, wherein a timing for holding the noise signal in a holding unit is selected.
前記第2の光信号保持手段に前記光信号を保持させるタイミング及び前記第2のノイズ信号保持手段に前記ノイズ信号を保持させるタイミングは、さらに供給される電源電圧に基づいて決定されることを特徴とする請求項2又は3記載の撮像装置。   The timing at which the second optical signal holding unit holds the optical signal and the timing at which the second noise signal holding unit holds the noise signal are further determined based on a supplied power supply voltage. The imaging apparatus according to claim 2 or 3. 前記第1のノイズ信号保持手段が前記ノイズ信号を保持するタイミングとの間隔が、重畳される前記ノイズの周期の整数倍になるように前記第2の光信号保持手段に前記光信号を保持させるタイミングが決定され、前記第1の光信号保持手段が前記光信号を保持するタイミングとの間隔が、重畳される前記ノイズの周期の整数倍になるように前記第2のノイズ信号保持手段に前記ノイズ信号を保持させるタイミングが決定されることを特徴とする請求項2〜4の何れか1項に記載の撮像装置。   Causing the second optical signal holding unit to hold the optical signal so that an interval from the timing at which the first noise signal holding unit holds the noise signal is an integral multiple of the period of the superimposed noise. Timing is determined, and the second noise signal holding unit is set to the second noise signal holding unit so that an interval from the timing at which the first optical signal holding unit holds the optical signal is an integral multiple of the period of the superimposed noise. The imaging apparatus according to claim 2, wherein a timing for holding the noise signal is determined. 複数の画素と、前記複数の画素から出力される光信号を保持する第1の光信号保持手段と、前記複数の画素から出力されるノイズ信号を保持する第1のノイズ信号保持手段と、前記第1の光信号保持手段に接続され、前記第1の光信号保持手段を介して前記光信号を保持する第2の光信号保持手段と、前記第1のノイズ信号保持手段に接続され、前記第1のノイズ信号保持手段を介して前記ノイズ信号を保持する第2のノイズ信号保持手段とを有する固体撮像素子を備える撮像装置の制御方法であって、
前記複数の画素から出力される前記光信号を前記第1の光信号保持手段に保持し、
前記複数の画素から出力される前記ノイズ信号を前記第1のノイズ信号保持手段に保持し、
前記第1のノイズ信号保持手段に前記ノイズ信号を保持する際に重畳されたノイズと同位相のノイズが重畳されるタイミングで前記第2の光信号保持手段に前記光信号を保持し、
前記第1の光信号保持手段に前記光信号を保持する際に重畳されたノイズと同位相のノイズが重畳されるタイミングで前記第2のノイズ信号保持手段に前記ノイズ信号を保持することを特徴とする撮像装置の制御方法。
A plurality of pixels, first optical signal holding means for holding optical signals output from the plurality of pixels, first noise signal holding means for holding noise signals output from the plurality of pixels, Connected to the first optical signal holding means, connected to the second optical signal holding means for holding the optical signal through the first optical signal holding means, and to the first noise signal holding means, A control method for an imaging apparatus comprising a solid-state imaging device having second noise signal holding means for holding the noise signal via first noise signal holding means,
Holding the optical signals output from the plurality of pixels in the first optical signal holding means;
Holding the noise signal output from the plurality of pixels in the first noise signal holding means;
Holding the optical signal in the second optical signal holding means at a timing at which noise having the same phase as the noise superimposed when holding the noise signal in the first noise signal holding means is superimposed;
The noise signal is held in the second noise signal holding unit at a timing at which noise having the same phase as the noise superimposed when holding the optical signal is held in the first optical signal holding unit. A method for controlling the imaging apparatus.
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