JP2016038217A - レンズまたはミラー検査装置およびその検査方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】レンズの良品不良品を精度よく判定することができ、また、作業者の疲労が比較的小さく、しかも、不良品の発見率が高く、加えて検査装置が安価であるレンズまたはミラーの検査装置を提供することを目的とする。【解決手段】コヒーレントな光を発する光源10と、上記光源が発したコヒーレントな光を集光する集光手段20と、上記集光手段を通過した光を通過させるピンホール30であって、上記集光手段による光の焦点に設けられているピンホールと、上記ピンホールを通過した光を投影し、非結像面に設けられているスクリーンS1とを有し、上記ピンホールと上記スクリーンとの間に、被検査レンズ40または被検査ミラーを設置することを特徴とする。【選択図】図1
Description
本発明は、レンズまたはミラー検査装置、およびレンズまたはミラーの検査方法に関する。
従来のプラスティックレンズを製造する場合、予め作られた型に、液体のプラスティックを射出して成型することによってプラスティックレンズおよびプラスティックミラーを製造する。
この場合、射出成型する前の液体のプラスティックに気体、固体等の不純物が混入されていると、射出成型した後のレンズのうちで、上記不純物及びその周辺で屈折率が異なり、不良品のレンズが製造される。
従来、射出成型されたレンズが良品であるか、不良品であるかを判別する場合、作業者が目視で検査している。
しかし、レンズ中の不純物が極めて小さいので、不純物を発見することが困難であり、目視検査は、非常に煩雑であり、また、精度よく検査することが困難であり、さらに作業者の疲労が大きく、加えて、不良品の発見率が高くはないという問題がある。
一方、点光源からのレーザー光を放物凹面鏡で平行光とし、これを被検レンズに照射して結像し、この結像を観測用顕微鏡で観測することによって結像性能を検査するレンズ検査装置が知られている(たとえば、特許文献1参照)。
しかし、特許文献1に記載の発明は、観測用顕微鏡を使用するので、検査装置全体のコストが高いという問題がある。
レンズの問題と同様に、ミラーについても上記と同様の問題がある。
本発明は、レンズまたはミラーの良品不良品を精度よく判定することができ、また、作業者の疲労が比較的小さく、しかも、不良品の発見率が高く、加えて検査装置が安価であるレンズまたはミラー検査装置およびレンズまたはミラーの検査方法を提供することを目的とする。
本発明のレンズ検査装置は、コヒーレントな光を発する光源と、上記光源が発したコヒーレントな光を集光する集光手段と、上記集光手段を通過した光を通過させるピンホールであって、上記集光手段による光の焦点に設けられているピンホールと、上記ピンホールを通過した光を投影し、非結像面に設けられているスクリーンとを有し、上記ピンホールと上記スクリーンとの間に、被検査レンズを設置することを特徴とする。
本発明によれば、レンズまたはミラーの良品不良品を精度よく判定することができ、また、作業者の疲労が比較的小さく、しかも、不良品の発見率が高く、加えて検査装置が安価であるという効果を奏する。
発明を実施するための形態は、以下の実施例である。
図1は、本発明の実施例1であるレンズ検査装置100を示す図である。
レンズ検査装置100は、宇宙望遠鏡用レンズの検査装置であり、レーザー10と、集光レンズ20と、ピンホール30と、被検査レンズ40と、スクリーンS1とを有する。
レーザー10は、コヒーレントな光を発する手段の例である。レーザー10の代わりに、水銀ランプ、ナトリウムランプ等のコヒーレントな光を発するランプを使用するようにしてもよい。
ピンホール30は、集光レンズ20を通過したレーザー光を通過させるピンホールであって、集光レンズ20による光の焦点に設けられ、直径10μm程度の透孔である。なお、ピンホール30の直径は、10μm以外の直径でもよい。
集光レンズ20は、レーザー10が発したレーザー光がピンホール30を通過するように、レーザー光を集光する。
被検査レンズ40は、検査対象のレンズであり、ピンホール30とスクリーンS1との間にセットする。また、被検査レンズ40は、非球面レンズであるが、非球面レンズ以外のレンズであってもよく、また、凸レンズであっても、凹レンズであってもよい。
スクリーンS1は、ピンホール30を通過した光を投影し、非検査レンズ40の非結像面に設けられている。スクリーンS1を非結像面に設けることが、実施例1の特徴である。
次に、レンズ検査装置100において被検査レンズ40の良否を判断する動作について説明する。
まず、レンズ検査装置100が、図1に示すように配置され、被検査レンズ40がピンホールとスクリーンS1との間であって、非結像面に設けられ、後述する光束の円錐形に入るように設置される。
そして、レーザー10を駆動すると、レーザー光が発せられ、このレーザー光が集光レンズ20で集光され、ピンホール30の透孔を集光が通過する。ピンホール30を出たデータ光は極めてきれいであり、完全な球面波面である。換言すれば、ノイズがない。逆に言えば、ピンホール30がなければ、試験光の均一性が悪くなる。
ピンホール30を通過したレーザー光の光路は、光束の円錐形を形成する。この光束の円錐形の中に、被検査レンズ40を設置すると、レーザー光が被検査レンズ40を通過し、この通過したレーザー光によって、スクリーンS1にその投影像50が投影される。
図2は、レンズ検査装置100において、スクリーンS1に投影された投影像の例を示す図である。
図2(1)は、正常な被検査レンズの投影像51を示す図である。被検査レンズ40が正常であれば、被検査レンズ40の屈折率が被検査レンズ40の全ての部位で一定であり、被検査レンズの投影像51に、たとえば黒点像が発生していない。
図2(2)は、不良品の被検査レンズ40の投影像52を示す図である。被検査レンズ40の一部に不純物が混入する等、被検査レンズ40が不良品であれば、被検査レンズ40の屈折率が一定ではなく、上記不純物に対応するスクリーンS1の部位に、たとえば黒点像52が発生し、不純物が混入していない部位の投影像とは異なる像が投影される。すなわち、レーザー光の均一性を利用して、被検査レンズ40中に存在している不純物を発見することができる。
また、被検査レンズの良否を自動的に検査するようにしてもよい。つまり、レンズ検査装置100において、スクリーンS1に投影された画像を、スクリーンS1の裏側から撮影する撮影手段を設け、また、この撮影手段が撮影した画像に基づいて、ピンホール30とスクリーンS1との間に設置されている被検査レンズ40の良否を判別する判別手段を設けるようにしてもよい。
さらに、レンズ検査装置100において、スクリーンS1の代わりに、ピンホール30を通過した光を受光するCCD等の受光手段を設け、この受光手段が受光し、電気信号に変換された画像情報に基づいて、ピンホール30と受光手段との間に設置されている被検査レンズ40の良否を判別する判別手段を設けるようにしてもよい。
図3は、本発明の実施例2であるミラー検査装置200を示す図である。
ミラー検査装置200は、宇宙望遠鏡用ミラーの検査装置であり、レンズ検査装置100において、被検査レンズ40の代わりに被検査ミラー40aを検査し、スクリーンS1の代わりにスクリーンS1aを設置し、スクリーンS1aに投影像50aが投影される。
被検査ミラー40aは、一方の面がレンズであり、他の面がミラーであり、裏面鏡またはマンジンミラーと言われている。
ミラー検査装置200を使用して被検査ミラー40aを検査する場合、基本的には、レンズ検査装置100で被検査レンズ40を検査する場合と同様である。ただ、ピンホール30を通過した光を被検査ミラー40aが反射するので、スクリーンS1aの配置位置、向きが、レンズ検査装置100におけるそれらとは異なる。
また、スクリーンS1aを被検査ミラー40aの非結像面に設けるが、このようにする点が実施例2の特徴である。
図4は、本発明の実施例3であるレンズ検査装置300を示す図である。
レンズ検査装置300は、宇宙望遠鏡用レンズの検査装置であり、2つの色のレーザー光を使用して被検査レンズ41の良否を判断する装置である。つまり、レンズ検査装置300は、赤レーザー11と、緑レーザー12と、ハーフミラー60と、集光レンズ21と、ピンホール31と、被検査レンズ41と、スクリーンS2とを有する。
赤レーザー11が発する赤レーザー光の光軸と、緑レーザー12が発する緑レーザー光の光軸とが、直交するように、赤レーザー11と緑レーザー12とが設置されている。
ハーフミラー60は、赤レーザー11が発する赤レーザー光を透過し、緑レーザー12が発する緑レーザー光を反射し、赤レーザー光の光軸と緑レーザー光の光軸とが一致するように、ハーフミラー60が設置されている。
集光レンズ21は、光軸が一致した赤レーザー光と緑レーザー光とを集光し、ピンホール31で焦点を結び、ピンホール31とスクリーンS2との間で、赤レーザー光と緑レーザー光とが光束の円錐形を形成する。被検査レンズ41が上記光束の円錐形の中に設けられ、光軸が一致した赤レーザー光と緑レーザー光とが被検査レンズ41を透過する。
スクリーンS2は、ピンホール31を通過した光を投影し、非検査レンズ41の非結像面に設けられている。スクリーンS2を非結像面に設けることが、実施例3の特徴である。
次に、レンズ検査装置300において被検査レンズ41の良否を判断する動作について説明する。
図5は、レンズ検査装置300において、スクリーンS2に投影された投影像の例を示す図である。
図5(1)は、正常な被検査レンズの投影像71を示す図である。被検査レンズ41が正常であれば、被検査レンズ41の屈折率が一定であり、被検査レンズの投影像71が、赤の光と緑の光とが混合された結果の色である黄色の像71Yになる。つまり、被検査レンズ41が正常であれば、被検査レンズ41の投影像71の全面が黄色になる。
図5(2)は、不良品の被検査レンズの投影像72を示す図である。被検査レンズ41の一部に不純物が混入する等して、被検査レンズ41が不良品であれば、被検査レンズ41の屈折率が一定ではなく、投影像72の色が均一ではなくなり、投影像72中、不純物に対応する部位では、たとえば、赤の像72Rと緑の像72Gとが存在する。
また、被検査レンズの良否を自動的に検査するようにしてもよい。
つまり、レンズ検査装置300において、スクリーンS2に投影された画像を、スクリーンS2の裏側から撮影する撮影手段と、この撮影手段が撮影した画像に基づいて、ピンホール31とスクリーンS2との間に設置されている被検査レンズ41の良否を判別する判別手段とを設けるようにしてもよい。
図7は、実施例で使用する被検査レンズ42、43、44の断面図である。
被検査レンズ42は、レンズ中央部に凸レンズ部421を有し、レンズ周縁部に凹レンズ部422を有する。凸レンズ部421、凹レンズ部422は、球面収差、コマ収差を補正するために施されたものである。
被検査レンズ43は、レンズ中央部に凹レンズ部432を有し、レンズ周縁部に凸レンズ部431を有する。被検査レンズ44は、レンズの両面が平面である。
これらの被検査レンズ41、42、43を、レンズ検査装置100に装着して検査すると、上記と同様に、被検査レンズ40が正常であれば、被検査レンズ40の屈折率が被検査レンズ40の全ての部位で一定であり、被検査レンズの投影像51に、たとえば黒点像52が発生していない。
一方、被検査レンズ40の一部に不純物が混入する等、被検査レンズ40が不良品であれば、被検査レンズ40の屈折率が一定ではなく、黒点像等が発生し、不純物が混入していない部位の投影像とは異なる像が投影される。
また、被検査レンズ41、42、43を、レンズ検査装置300に装着して検査すると、上記と同様に、被検査レンズ41が正常であれば、被検査レンズ41の屈折率が一定であり、被検査レンズ41の投影像が、赤の光と緑の光とが混合された結果の色である黄色の像になり、投影像71の全面に亘って黄色になる。一方、被検査レンズ41の一部に不純物が混入する等して、被検査レンズ41が不良品であれば、被検査レンズ41の屈折率が一定ではなく、投影像の色が均一ではなくなり、不純物に対応する投影像の部位では、たとえば、赤の像72Rと緑の像72Gとが存在する。
なお、上記実施例において、緑レーザー11の代わりに赤レーザーを使用し、赤レーザー12の代わりに緑レーザーを使用するようにしてもよい。また、上記実施例において、緑レーザー11の代わりに青レーザーを使用するようにしてもよい。さらに、上記実施例において、赤レーザー12の代わりに、青レーザーを使用するようにしてもよい。
また、コヒーレントな光を発する赤レーザーと、赤レーザーが発する光の色とは異なる色の光を発し、しかもコヒーレントな光を発する緑レーザーと、赤レーザーが発したレーザー光の光軸と緑レーザーが発したレーザー光の光軸とを一致させる光軸一致手段とを設ける。そして、光軸一致手段によって光軸が一致した2つのレーザー光を集光する集光手段と、集光手段を通過した光を通過させるピンホールであって、集光手段による光の焦点に設けられているピンホールと、ピンホールを通過した光を受光する受光手段と、受光手段が受光し、電気信号に変換された画像情報に基づいて、ピンホールとスクリーンとの間に設置されている被検査レンズの良否を判別する判別手段とを設けるようにしてもよい。
図6は、本発明の実施例4であるミラー検査装置400を示す図である。
ミラー検査装置400は、宇宙望遠鏡用ミラーの検査装置であり、レンズ検査装置300において、被検査レンズ41の代わりに被検査ミラー41aを検査し、スクリーンS2の代わりにスクリーンS2aを設置し、スクリーンS2aに投影像70aが投影される。
被検査ミラー41aは、一方の面がレンズであり、他の面がミラーであり、裏面鏡またはマンジンミラーと言われている。
また、スクリーンS1aを、被検査ミラー40aの非結像面に設けるが、このようにする点が実施例4の特徴である。
ミラー検査装置400を使用して被検査ミラー41aを検査する場合、基本的には、レンズ検査装置300で被検査レンズ41を検査する場合と同様である。ただ、ピンホール30を通過した光を被検査ミラー41aが反射するので、スクリーンS2aの配置位置、向きが、レンズ検査装置300におけるそれらとは異なる。
ところで、実施例3、4では、赤レーザー光と緑レーザー光とを使用している。また、上記のように、赤レーザー光、緑レーザー光、青レーザー光のうちの2つのレーザー光の任意の組み合わせを使用することができる。さらに、光の三原色以外の2つの可視光を含めた、可視光の2つの波長の光を組み合わせて、実施例3、4を実現することもできる。この他、赤外光、紫外光、可視光の種々の光のうちで、波長が互いに異なる2つの光を組み合わせて、実施例3、4を実現することもできる。この場合、赤外光、紫外光は人間が見ることができないので、スペクトルメータを使用すればよい。スペクトルメータは、ある点における光に着目し、横方向にその光の波長、縦方向にその光の強度を表示し、上記ある点を移動し(スイープし)ながら表示を繰り返す装置である。
スクリーンS2、S2aに対応する位置に、上記スペクトルメータの受光面をセットし、スペクトルメータの表示面を測定者が見た場合、2つのレーザー光源のレーザー光の混合色の波長のみがピークとしてスペクトルメータに表示されれば、被検査レンズ、ミラーは正常であると判断できる。一方、スペクトルメータの表示面を測定者が見た場合、2つのレーザー光源のそれぞれのレーザー光の波長がピークとしてスペクトルメータに表示されれば(つまり、2つのピークが表示されれば)、被検査レンズ、ミラーは異常であると判断できる。また、可視光についても、上記スペクトルメータを使用して検査を可視化するようにしてもよい。
さらに、実施例1、2においても、上記のようにスペクトルメータを使用して検査するようにしてもよい。
レンズ検査装置100、300、ミラー検査装置200,400は、宇宙望遠鏡に使用されるレンズ、ミラーを検査する装置であるが、宇宙望遠鏡以外の光学機器に使用するレンズ、ミラーを検査するようにしてもよい。
100、300…レンズ検査装置、
10…レーザー、
20…集光レンズ、
30…ピンホール、
40、40a…被検査レンズ、
S1、S1a…スクリーン、
50、50a…投影像、
200、400…ミラー検査装置、
21…集光レンズ、
31…ピンホール、
41、41a…被検査ミラー、
S2、S2a…スクリーン、
60…ハーフミラー、
70、70a…投影像。
10…レーザー、
20…集光レンズ、
30…ピンホール、
40、40a…被検査レンズ、
S1、S1a…スクリーン、
50、50a…投影像、
200、400…ミラー検査装置、
21…集光レンズ、
31…ピンホール、
41、41a…被検査ミラー、
S2、S2a…スクリーン、
60…ハーフミラー、
70、70a…投影像。
Claims (14)
- コヒーレントな光を発する光源と;
上記光源が発したコヒーレントな光を集光する集光手段と;
上記集光手段を通過した光を通過させるピンホールであって、上記集光手段による光の焦点に設けられているピンホールと;
上記ピンホールを通過した光を投影し、非結像面に設けられているスクリーンと;
を有し、上記ピンホールと上記スクリーンとの間に、被検査レンズまたは被検査ミラーを設置することを特徴とするレンズまたはミラー検査装置。 - 請求項1において、
上記被検査レンズを通過した光が上記スクリーンに投影された像のうちで、所定の部位の輝度がその周囲の部位の輝度とは異なる部分があれば、上記被検査レンズが故障レンズであると判断することを特徴とするレンズまたはミラー検査装置。 - 請求項1において、
上記スクリーンに投影された画像を撮影する撮影手段と;
上記撮影手段が撮影した画像に基づいて、上記ピンホールと上記スクリーンとの間に設置されている上記被検査レンズの良否を判別する判別手段と;
を有することを特徴とするレンズまたはミラー検査装置。 - コヒーレントな光を発する光源と;
上記光源が発したコヒーレントな光を集光する集光手段と;
上記集光手段を通過した光を通過させるピンホールであって、上記集光手段の焦点に設けられているピンホールと;
上記ピンホールを通過した光を受光し、この受光した光を電気信号に変換する受光手段と;
上記受光手段が変換した電気信号に基づいて、上記被検査レンズの良否を判別する判別手段と;
を有することを特徴とするレンズまたはミラー検査装置。 - コヒーレントな光を発する光源が発したコヒーレントな光を集光する集光工程と;
上記集光工程による光の焦点に設けられているピンホールを、上記集光工程で集光した光を通過させる通過工程と;
上記ピンホールを通過した光をスクリーンに投影する投影工程と;
を有し、上記ピンホールと上記スクリーンとの間に、被検査レンズを設置し、スクリーンに投影された像に基づいて上記被検査レンズの良否を判断することを特徴とするレンズまたはミラーの検査方法。 - コヒーレントな光を発する光源が発したコヒーレントな光を集光する集光工程と;
上記集光工程による光の焦点に設けられているピンホールを、上記集光工程で集光した光を通過させる通過工程と;
上記ピンホールを通過した光を受光手段が受光し、この受光した光を電気信号に変換する受光工程と;
上記受光工程で変換された電気信号に基づいて、上記ピンホールと上記受光手段との間に設置されている上記被検査レンズの良否を判別する判別工程と;
を有することを特徴とするレンズまたはミラーの検査方法。 - コヒーレントな光を発する第1の光源と;
上記第1の光源が発する光の色とは異なる色の光を発し、しかもコヒーレントな光を発する第2の光源と;
上記第1の光源が発した第1の光の光軸と上記第2の光源が発した第2の光の光軸とを一致させる光軸一致手段と;
上記光軸一致手段によって光軸が一致した上記第1の光と上記第2の光とを集光する集光手段と;
上記集光手段を通過した光を通過させるピンホールであって、上記集光手段による光の焦点に設けられているピンホールと;
上記ピンホールを通過した光を投影し、非結像面に設けられているスクリーンと;
を有し、上記ピンホールと上記スクリーンとの間に、被検査レンズまたは被検査ミラーを設置することを特徴とするレンズまたはミラー検査装置。 - 請求項7において、
上記第1の光源が発する光の色が、光の三原色のうちの1つの光であり、
上記第2の光源が発する光の色が、光の三原色のうちの他の1つの光であることを特徴とするレンズまたはミラー検査装置。 - 請求項7において、
上記被検査レンズを通過した光が上記スクリーンに投影された像が、上記第1の光と上記第2の光との混合色の像であれば、上記被検査レンズが正常レンズであると判断することを特徴とするレンズまたはミラー検査装置。 - 請求項7において、
上記被検査レンズを通過した光が上記スクリーンに投影された像が、上記第1の光と上記第2の光との混合色以外の色を含む像であれば、上記被検査レンズが故障レンズであると判断することを特徴とするレンズまたはミラー検査装置。 - 請求項7において、
上記スクリーンに投影された画像を撮影する撮影手段と;
上記撮影手段が撮影した画像に基づいて、上記ピンホールと上記スクリーンとの間に設置されている上記被検査レンズの良否を判別する判別手段と;
を有することを特徴とするレンズまたはミラー検査装置。 - コヒーレントな光を発する第1の光源と;
上記第1の光源が発する光の色とは異なる色の光を発し、しかもコヒーレントな光を発する第2の光源と;
上記第1の光源が発した第1の光の光軸と上記第2の光源が発した第2の光の光軸とを一致させる光軸一致手段と;
上記光軸一致手段によって光軸が一致した上記第1の光と上記第2の光とを集光する集光手段と;
上記集光手段を通過した光を通過させるピンホールであって、上記集光手段による光の焦点に設けられているピンホールと;
上記ピンホールを通過した光を受光する受光手段と;
上記受光手段が受光し、電気信号に変換された画像情報に基づいて、上記ピンホールと上記スクリーンとの間に設置されている上記被検査レンズの良否を判別する判別手段と;
を有することを特徴とするレンズまたはミラー検査装置。 - 所定の光源がコヒーレントな光を発する工程と;
上記コヒーレントな光を集光する集光工程と;
上記集光された光を通過させるピンホールを通過した光をスクリーンに投影する工程と;
を有し、上記ピンホールと上記スクリーンとの間に、被検査レンズまたは被検査ミラーを設置することを特徴とするレンズまたはミラーの検査方法。 - 第1の光源がコヒーレントな第1の光を発する工程と;
第2の光源が上記第1の光の色とは異なる色の光を発し、しかもコヒーレントな第2の光を発する工程と;
上記第1の光の光軸と上記第2の光の光軸とを一致させる光軸一致工程と;
上記光軸が一致した上記第1の光と上記第2の光とを集光手段が集光する集光工程と;
上記集光した光を通過させるピンホールであって、上記集光手段による光の焦点に設けられているピンホールを通過した光をスクリーンに投影する工程と;
を有し、上記ピンホールと上記スクリーンとの間に、被検査レンズまたは被検査ミラーを設置することを特徴とするレンズまたはミラーの検査方法。
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Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20180514 |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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