JP2016009778A - 光伝導アンテナ、テラヘルツ波発生装置、カメラ、イメージング装置、および計測装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】テラヘルツ波の放射強度を増加させることができる光伝導アンテナを提供する。【解決手段】光伝導アンテナ100は、光パルスPが照射されてキャリアを形成するキャリア発生層10と、キャリア発生層10の上方に位置し、キャリア発生層10に電圧を印加する第1電極20および第2電極30と、を含み、第1電極20および第2電極30は、平面視においてキャリア発生層10に光パルスPが照射される領域12を挟んで第1の方向に対向して設けられ、平面視において第1電極20と第2電極30とに挟まれる領域12の中心O12における前記第1の方向に沿った第1電極20と第2電極30との間の距離G1が、平面視において第1電極20と第2電極30とに挟まれる領域12の端部E12における前記第1の方向に沿った第1電極20と第2電極30との間の距離G2よりも大きい。【選択図】図2
Description
本発明は、光伝導アンテナ、テラヘルツ波発生装置、カメラ、イメージング装置、および計測装置に関する。
近年、100GHz以上30THz以下の周波数を有する電磁波であるテラヘルツ波が注目されている。テラヘルツ波は、例えば、イメージング、分光計測等の各種計測、非破壊検査等に用いることができる。
このテラヘルツ波を発生させるテラヘルツ波発生装置は、例えば、サブピコ秒(数百フェムト秒)程度のパルス幅をもつ光パルスを発生させる光パルス発生装置と、光パルス発生装置で発生した光パルスが照射されることによりテラヘルツ波を発生させる光伝導アンテナ(Photo Conductive Antenna:PCA)と、を有している。
光伝導アンテナとして、例えば、特許文献1には、光パルスが照射されてキャリアを形成するi型半導体層と、i型半導体層に電圧を印加する第1電極および第2電極と、を備えた光伝導アンテナが開示されている。第1電極は、配線として機能する帯状部と、帯状部から第2電極側に突出する突出部と、で構成されている。同様に、第2電極は、配線として機能する帯状部と、帯状部から第1電極側に突出する突出部と、で構成されている。特許文献1の光伝導アンテナでは、平面視において第1電極の突出部と第2電極の突出部との間のギャップに光パルスが照射され、テラヘルツ波を発生させる。第1電極の突出部の平面形状および第2電極の突出部の平面形状は、矩形である。
光伝導アンテナに照射される光パルスは、円形や楕円形の断面形状を有し、かつ、光強度はガウス分布である。この場合、特許文献1の光伝導アンテナにおいて、ギャップに照射される光パルスはその強度がギャップの端部にいくほど小さくなる。また、第1電極の突出部の平面形状および第2電極の突出部の平面形状は矩形であるため、第1電極および第2電極によってギャップに印加される電圧はギャップのどの位置でも一定である。
そのため、特許文献1の光伝導アンテナでは、ギャップの端部ほど発生するテラヘルツ波の強度が小さくなり、光伝導アンテナから放射されるテラヘルツ波のトータルの強度を低下させていた。
本発明のいくつかの態様に係る目的の1つは、テラヘルツ波の放射強度を増加させることができる光伝導アンテナを提供することにある。また、本発明のいくつかの態様に係る目的の1つは、上記の光伝導アンテナを含むカメラ、イメージング装置、および計測装置を提供することにある。
本発明に係る光伝導アンテナは、
光パルスが照射されてテラヘルツ波を発生する光伝導アンテナであって、
前記光パルスが照射されてキャリアを形成するキャリア発生層と、
前記キャリア発生層の上方に位置し、前記キャリア発生層に電圧を印加する第1電極および第2電極と、
を含み、
前記第1電極および前記第2電極は、平面視において前記キャリア発生層に光パルスが照射される領域を挟んで第1の方向に対向して設けられ、
平面視において前記第1電極と前記第2電極とに挟まれる領域の中心における前記第1の方向に沿った前記第1電極と前記第2電極との間の距離が、平面視において前記第1電極と前記第2電極とに挟まれる領域の端部における前記第1の方向に沿った前記第1電極と前記第2電極との間の距離よりも大きい。
光パルスが照射されてテラヘルツ波を発生する光伝導アンテナであって、
前記光パルスが照射されてキャリアを形成するキャリア発生層と、
前記キャリア発生層の上方に位置し、前記キャリア発生層に電圧を印加する第1電極および第2電極と、
を含み、
前記第1電極および前記第2電極は、平面視において前記キャリア発生層に光パルスが照射される領域を挟んで第1の方向に対向して設けられ、
平面視において前記第1電極と前記第2電極とに挟まれる領域の中心における前記第1の方向に沿った前記第1電極と前記第2電極との間の距離が、平面視において前記第1電極と前記第2電極とに挟まれる領域の端部における前記第1の方向に沿った前記第1電極と前記第2電極との間の距離よりも大きい。
このような光伝導アンテナでは、平面視において第1電極と第2電極とに挟まれる領域の端部における電界強度を、平面視において第1電極と第2電極とに挟まれる領域の中心における電界強度よりも大きくすることができる。光パルスの光強度分布はガウス分布であるため、平面視において第1電極と第2電極とに挟まれる領域の端部では、平面視において第1電極と第2電極とに挟まれる領域の中心と比べて、光パルスの光強度が小さい。したがって、このような光伝導アンテナでは、光パルスの光強度が小さい領域の電界強度を大きくして、光伝導アンテナから放射されるトータルのテラヘルツ波の強度を増加させることができる。
なお、本発明に係る記載では、「上方」という文言を、例えば、「特定のもの(以下、「A」という)の「上方」に他の特定のもの(以下、「B」という)を形成する」などと用いる場合に、A上に直接Bを形成するような場合と、A上に他のものを介してBを形成するような場合とが含まれるものとして、「上方」という文言を用いている。
本発明に係る光伝導アンテナにおいて
前記第1の方向に沿った前記第1電極と前記第2電極との間の距離は、平面視において前記第1電極と前記第2電極とに挟まれる領域の中心から端部に向かって漸減してもよい。
前記第1の方向に沿った前記第1電極と前記第2電極との間の距離は、平面視において前記第1電極と前記第2電極とに挟まれる領域の中心から端部に向かって漸減してもよい。
このような光伝導アンテナでは、光パルスの光強度が小さい領域の電界強度を大きくして、光伝導アンテナから放射されるトータルのテラヘルツ波の強度を増加させることができる。
本発明に係る光伝導アンテナにおいて
平面視において前記第1電極と前記第2電極とに挟まれる領域に面する前記第1電極の端部の形状および前記第2電極の端部の形状は、凹状であってもよい。
平面視において前記第1電極と前記第2電極とに挟まれる領域に面する前記第1電極の端部の形状および前記第2電極の端部の形状は、凹状であってもよい。
このような光伝導アンテナでは、光パルスの光強度が小さい領域の電界強度を大きくして、光伝導アンテナから放射されるトータルのテラヘルツ波の強度を増加させることができる。
本発明に係る光伝導アンテナにおいて
平面視において前記第1電極と前記第2電極とに挟まれる領域に面する前記第1電極の端部の形状および前記第2電極の端部の形状は、楕円の一部であってもよい。
平面視において前記第1電極と前記第2電極とに挟まれる領域に面する前記第1電極の端部の形状および前記第2電極の端部の形状は、楕円の一部であってもよい。
このような光伝導アンテナでは、光パルスの光強度が小さい領域の電界強度を大きくして、光伝導アンテナから放射されるトータルのテラヘルツ波の強度を増加させることができる。
本発明に係る光伝導アンテナにおいて
平面視において前記第1電極と前記第2電極とに挟まれる領域に面する前記第1電極の端部の形状および前記第2電極の端部の形状は、円の一部であってもよい。
平面視において前記第1電極と前記第2電極とに挟まれる領域に面する前記第1電極の端部の形状および前記第2電極の端部の形状は、円の一部であってもよい。
このような光伝導アンテナでは、光パルスの光強度が小さい領域の電界強度を大きくして、光伝導アンテナから放射されるトータルのテラヘルツ波の強度を増加させることができる。
本発明に係るテラヘルツ波発生装置は、
前記光パルスを発生する光パルス発生装置と、
前記光パルスが照射されて前記テラヘルツ波を発生する本発明に係る光伝導アンテナと、
を含む。
前記光パルスを発生する光パルス発生装置と、
前記光パルスが照射されて前記テラヘルツ波を発生する本発明に係る光伝導アンテナと、
を含む。
このような光伝導アンテナでは、本発明に係る光伝導アンテナを含むため、高い検出感度を有することができる。
本発明に係るカメラは、
前記光パルスを発生する光パルス発生装置と、
前記光パルスが照射されて前記テラヘルツ波を発生する本発明に係る光伝導アンテナと、
前記光伝導アンテナから射出され、対象物を透過した前記テラヘルツ波または対象物で反射された前記テラヘルツ波を検出するテラヘルツ波検出部と、
前記テラヘルツ波検出部の検出結果を記憶する記憶部と、
を含む。
前記光パルスを発生する光パルス発生装置と、
前記光パルスが照射されて前記テラヘルツ波を発生する本発明に係る光伝導アンテナと、
前記光伝導アンテナから射出され、対象物を透過した前記テラヘルツ波または対象物で反射された前記テラヘルツ波を検出するテラヘルツ波検出部と、
前記テラヘルツ波検出部の検出結果を記憶する記憶部と、
を含む。
このようなカメラでは、本発明に係る光伝導アンテナを含むため、高い検出感度を有することができる。
本発明に係るイメージング装置は、
前記光パルスを発生する光パルス発生装置と、
前記光パルスが照射されて前記テラヘルツ波を発生する本発明に係る光伝導アンテナと、
前記光伝導アンテナから射出され、対象物を透過した前記テラヘルツ波または対象物で反射された前記テラヘルツ波を検出するテラヘルツ波検出部と、
前記テラヘルツ波検出部の検出結果に基づいて、前記対象物の画像を生成する画像形成部と、
を含む。
前記光パルスを発生する光パルス発生装置と、
前記光パルスが照射されて前記テラヘルツ波を発生する本発明に係る光伝導アンテナと、
前記光伝導アンテナから射出され、対象物を透過した前記テラヘルツ波または対象物で反射された前記テラヘルツ波を検出するテラヘルツ波検出部と、
前記テラヘルツ波検出部の検出結果に基づいて、前記対象物の画像を生成する画像形成部と、
を含む。
このようなイメージング装置では、本発明に係る光伝導アンテナを含むため、高い検出感度を有することができる。
本発明に係る計測装置は、
前記光パルスを発生する光パルス発生装置と、
前記光パルスが照射されて前記テラヘルツ波を発生する本発明に係る光伝導アンテナと、
前記光伝導アンテナから射出され、対象物を透過した前記テラヘルツ波または対象物で反射された前記テラヘルツ波を検出するテラヘルツ波検出部と、
前記テラヘルツ波検出部の検出結果に基づいて、前記対象物を計測する計測部と、
を含む。
前記光パルスを発生する光パルス発生装置と、
前記光パルスが照射されて前記テラヘルツ波を発生する本発明に係る光伝導アンテナと、
前記光伝導アンテナから射出され、対象物を透過した前記テラヘルツ波または対象物で反射された前記テラヘルツ波を検出するテラヘルツ波検出部と、
前記テラヘルツ波検出部の検出結果に基づいて、前記対象物を計測する計測部と、
を含む。
このような計測装置では、本発明に係る光伝導アンテナを含むため、高い検出感度を有することができる。
以下、本発明の好適な実施形態について、図面を用いて詳細に説明する。なお、以下に説明する実施形態は、特許請求の範囲に記載された本発明の内容を不当に限定するものではない。また、以下で説明される構成の全てが本発明の必須構成要件であるとは限らない。
1. 第1実施形態
1.1. 光伝導アンテナ
まず、第1実施形態に係る光伝導アンテナについて、図面を参照しながら説明する。図1および図2は、第1実施形態に係る光伝導アンテナ100を模式的に示す平面図である。図3は、第1実施形態に係る光伝導アンテナ100を模式的に示す断面図である。なお、図2は、図1に示す領域IIの拡大図である。また、図3は、図2のIII−III線断面図である。また、図1〜図3では、互いに直交する3つの軸として、X軸、Y軸、Z軸を図示している。
1.1. 光伝導アンテナ
まず、第1実施形態に係る光伝導アンテナについて、図面を参照しながら説明する。図1および図2は、第1実施形態に係る光伝導アンテナ100を模式的に示す平面図である。図3は、第1実施形態に係る光伝導アンテナ100を模式的に示す断面図である。なお、図2は、図1に示す領域IIの拡大図である。また、図3は、図2のIII−III線断面図である。また、図1〜図3では、互いに直交する3つの軸として、X軸、Y軸、Z軸を図示している。
光伝導アンテナ100は、図1〜図3に示すように、半絶縁性基板(キャリア発生層)10と、第1電極20と、第2電極30と、を含む。光伝導アンテナ100は、光パルスPが照射されてテラヘルツ波Tを発生する。
なお、光パルスPとは、短時間に急峻に強度が変化する光をいう。光パルスPのパルス幅(半値全幅FWHM)は、特に限定されないが、例えば、1fs(フェムト秒)以上800fs以下である。光パルスPは、例えば、円形や楕円形の断面形状を有し、かつ、光強度がガウス分布である。図2に示す例では、光パルスPの断面形状は、楕円形である。また、テラヘルツ波Tとは、周波数が、100GHz以上30THz以下の電磁波、特に、300GHz以上3THz以下の電磁波をいう。
半絶縁性基板10は、光伝導アンテナ100においてキャリア発生層として機能する。ここで、半絶縁性基板10とは、化合物半導体によって構成される基板であって、高抵抗(例えば、比抵抗が107Ω・cm以上)な基板のことをいう。具体的には、半絶縁性基板10は、例えば、不純物を含まない(ドーピングされていない)GaAs基板である。半絶縁性基板10を構成するGaAsは、ストイキオメトリーな状態であってもよい。すなわち、半絶縁性基板10を構成するGaとAsとは、1:1の割合で存在していてもよい。なお、半絶縁性基板10は、InP基板や、InAs基板、InSb基板であってもよい。
半絶縁性基板10は、光パルスPが照射されてキャリアを形成する。光パルスPは、半絶縁性基板10の、平面視において(半絶縁性基板10と電極20,30の積層方向から見て)第1電極20と第2電極30との間の領域12に照射される。領域12は、半絶縁性基板10の表面(上面)14の一部である。より具体的には、領域12は、半絶縁性基板10の表面14の、平面視において第1電極20の第1電圧印加部22と第2電極30の第2電圧印加部32とに挟まれる領域である。
光パルスPは、例えば、光パルスPの中心(光パルスPの断面形状が楕円である場合、その楕円の中心)が領域12の中心O12と重なるように照射される。領域12における光パルスPの断面形状(照射領域の形状)は、例えば、縦横比が1:1.5〜1:5の楕円である。また、光パルスPは、領域12にのみ照射され、電極20,30上に照射されないことが望ましい。電極20,30上に照射された光パルスPは、キャリアの発生に寄与しないためである。
半絶縁性基板10が半絶縁性GaAs基板からなる場合、半絶縁性基板10のキャリア移動度(電子移動度)は、例えば、3000cm2/Vs以上8500cm2/Vs以下である。なお、キャリア移動度とは、キャリア(電子および正孔)が固体の物質中を移動するとき、単位電界強度の下で単位時間当たりに移動する距離のことであり、固体の物質中でのキャリアの移動のしやすさをいう。
半絶縁性基板10において発生したキャリアは、半絶縁性基板10中を走行することができる。半絶縁性基板10は、LT−GaAs層に比べて高いキャリア移動度(電子移動度)を有することができる。そのため、光伝導アンテナ100では、キャリア発生層がLT−GaAs層からなる場合に比べて、キャリア移動度を高め、強度の大きなテラヘルツ波Tを放射することができる。
第1電極20および第2電極30は、半絶縁性基板10上に位置している。第1電極20および第2電極30は、キャリア発生層(半絶縁性基板10)に電圧を印加する電極である。電極20,30は、半絶縁性基板10に直流(DC)電圧を印加してもよいし、交流(AC)電圧を印加してもよい。電極20,30は、半絶縁性基板10とオーミックコンタクトしていてもよい。
第1電極20および第2電極30は、例えば、Au層、Pt層、Ag層、Ti層、Al層、Cu層、Cr層、またはこれらの積層体である。電極20,30としてAu層とCr層との積層体を用いた場合、Cr層は、半絶縁性基板10とAu層との密着性を向上させることができる。電極20,30の厚さは、例えば、50nm以上400nm以下である。
第1電極20および第2電極30は、平面視において半絶縁性基板10に光パルスPが照射される領域12を挟んでX軸方向(第1の方向)に対向して設けられている。第1電極20の平面形状(半絶縁性基板10と電極20,30の積層方向から見た形状)と第2電極30の平面形状は、例えば、線対称である。
第1電極20は、第1電圧印加部22と、第1パッド部24と、第1ライン部26と、を有している。第2電極30は、第2電圧印加部32と、第2パッド部34と、第2ライン部36と、を有している。
第1電圧印加部22および第2電圧印加部32は、半絶縁性基板10に電圧を印加する部分である。平面視において、第1電圧印加部22と第2電圧印加部32とによって、半絶縁性基板10の領域12に電圧が印加される。
平面視において領域12に面する第1電圧印加部22の端部23の形状は、凹状である。平面視において第1電圧印加部22の端部23は、中心が窪んだ形状である。図示の例では、平面視において第1電圧印加部22の端部23の形状は、楕円の一部である。より具体的には、平面視において第1電圧印加部22の端部23の形状は、領域12の中心O12を中心とし、Y軸方向に沿った長軸(X軸方向に沿った短軸)を有する楕円の一部である。なお、領域12の中心O12は、平面視において、第1電圧印加部22の端部23の中心と第2電圧印加部32の端部33の中心とを結ぶ仮想直線の中点と重なる点である。
第1電圧印加部22の端部23は、例えば、平面視において光パルスPの断面の外縁に沿うように設けられている。図2に示す例では、光パルスPの断面形状は楕円であり、第1電圧印加部22の端部23は、平面視において断面形状が楕円である光パルスPの断面の外縁に沿うように設けられている。
平面視において第2電圧印加部32の領域12に面する端部33の形状は、凹状である。平面視において第1電圧印加部22の端部23は、中心が窪んだ形状である。図示の例では、平面視において第2電圧印加部32の端部33の形状は、楕円の一部である。より具体的には、平面視において第2電圧印加部32の端部33の形状は、領域12の中心O12を中心とし、Y軸方向に沿った長軸(X軸方向に沿った短軸)を有する楕円の一部である。平面視において第1電圧印加部22の端部23と第2電圧印加部の端部23とは、領域12の中心O12を通りY軸方向に沿った仮想直線に関して線対称である。
第2電圧印加部32の端部33は、例えば、平面視において光パルスPの断面の外縁に沿うように設けられている。図2に示す例では、光パルスPの断面形状は楕円であり、第2電圧印加部32の端部33は、平面視において断面形状が楕円である光パルスPの断面の外縁に沿うように設けられている。
第1電圧印加部22は、第1ライン部26から、第1ライン部26の長手方向と直交する方向に突出している。第1電圧印加部22は、第1ライン部26から、第2電極30側に突出している。第2電圧印加部32は、第2ライン部36から、第2ライン部36の長手方向と直交する方向に突出している。第2電圧印加部32は、第2ライン部36から、第1電極20側に突出している。図示の例では、第1電圧印加部22は第1ライン部26から+X軸方向に突出し、第2電圧印加部32は第2ライン部36から−X軸方向に突出している。
第1電圧印加部22は、図示の例では、第1ライン部26から第2電極30側に向かって一定の幅で突出している。同様に、第2電圧印加部32は、第2ライン部36から第1電極20側に向かって一定の幅で突出している。電圧印加部22,32の幅(Y軸方向の大きさ)は、例えば、2μm以上10μm以下である。
なお、第1電圧印加部22は、第1ライン部26から第2電極30側に向かって幅が狭くなるように突出してもよい。同様に、第2電圧印加部32は、第2ライン部36から第1電極20側に向かって幅が狭くなるように突出してもよい。
平面視において第1電極20と第2電極30とに挟まれる領域12の中心O12におけるX軸方向に沿った第1電極20と第2電極30との間の距離G1は、平面視において第1電極20と第2電極30とに挟まれる領域12の端部E12におけるX軸方向に沿った第1電極20と第2電極30との間の距離G2よりも大きい。なお、領域12の端部E12は、領域12のY軸方向の端である。すなわち、領域12の端部E12は、領域12のうち中心O12からY軸方向に最も離れた位置である。
距離G1は、第1電極20と第2電極30とを結び、かつ、領域12の中心O12を通りX軸に平行な仮想直線の長さといえる。また、距離G1は、領域12の中心O12における電極20,30間のギャップの大きさともいえる。また、距離G1は、領域12の中心O12におけるX軸方向に沿った第1電圧印加部22と第2電圧印加部32との間の距離である。
距離G2は、第1電極20と第2電極30とを結び、かつ、領域12の端部E12を通りX軸に平行な仮想直線の長さである。また、距離G2は、領域12の端部E12における電極20,30間のギャップの大きさともいえる。また、距離G2は、領域12の端部E12におけるX軸方向に沿った第1電圧印加部22と第2電圧印加部32との間の距離である。
X軸方向に沿った第1電極20(第1電圧印加部22)と第2電極30(第2電圧印加部32)との間の距離は、図2に示すように、領域12の中心O12から端部E12に向かって漸減している。言い換えると、電極20,30間のギャップの大きさは、領域12の中心O12から端部E12に向かって漸減している。第1電極20と第2電極30との間の距離は、例えば、1μm以上10μm以下の範囲である。
第1パッド部24および第2パッド部34は、外部配線(図示せず)と接続される部分である。第1パッド部24は、例えば、2つ設けられている。第2パッド部34は、例えば、2つ設けられている。
第1ライン部26は、第1電圧印加部22と第1パッド部24とを接続している。第2ライン部36は、第2電圧印加部32と第2パッド部34とを接続している。ライン部26,36は、平面視において、帯状の形状を有しており、第1ライン部26と第2ライン部36とは、例えば、平行である。ライン部26,36の長さ(Y軸方向の大きさ)は、例えば、1mm以上9mm以下である。また、ライン部26,36の幅(X軸方向の大きさ)は、例えば、2μm以上30μm以下である。また、第1ライン部26と第2ライン部36との間の距離は、例えば、10μm以上100μm以下である。
次に、光伝導アンテナ100の動作について説明する。電極20,30により半絶縁性基板10に電圧を印加した状態で、電極20,30間に(電圧印加部22,32間に)光パルスPを照射する。光パルスPは、半導体レーザー等の光源から射出され、半絶縁性基板10の領域12を照射する。
光パルスPの照射によって、半絶縁性基板10中にキャリア(例えば電子)が瞬時に生成する。キャリアは、電極20,30により印加された電圧によって加速されて半絶縁性基板10中を移動し(走行し)、半絶縁性基板10中に瞬間的に電流(光電流)が流れる。そして、光電流の時間変化に比例した強度を有するテラヘルツ波Tが発生する。光電流の時間変化は、半絶縁性基板10のキャリア移動度に比例する。したがって、光伝導アンテナ100には、半絶縁性基板10のキャリア移動度に比例した強度を有するテラヘルツ波Tが発生し、光伝導アンテナ100からテラヘルツ波Tが放射される。
なお、キャリアは、第1電極20側から第2電極30側に向けて移動してもよいし、第2電極30側から第1電極20側に向けて移動していてもよい。
光伝導アンテナ100は、例えば、以下の特徴を有する。
光伝導アンテナ100では、領域12の中心O12におけるX軸方向に沿った第1電極20と第2電極30との間の距離G1が、領域12の端部E12におけるX軸方向に沿った第1電極20と第2電極30との間の距離G2よりも大きい。そのため、光伝導アンテナ100では、光パルスPの光強度が小さい領域12の端部E12における電界強度を大きくして、光伝導アンテナ100から放射されるトータルのテラヘルツ波Tの強度を増加させることができる。以下、その理由について説明する。
光伝導アンテナにおいて、テラヘルツ波Tの放射電力PTHzは、下記式(1)で表される。
なお、Ioptは光パルスPの光強度であり、Ebiasはバイアス電界強度である。
光伝導アンテナ100においてX軸方向に沿った電極20,20間の距離(電極20,30間のギャップ)をGとし、電極20,30間に印加される電圧(バイアス電圧)をVbiasとすると、バイアス電界強度Ebiasは下記式(2)で表される。
ここで、光伝導アンテナ100に照射される光パルスPの光強度の分布はガウス分布である。そのため、領域12の中心O12では光パルスPの光強度Ioptが大きく、領域12の端部E12では光パルスPの光強度Ioptが小さくなる。そのため、仮に、距離G1と距離G2とが等しい場合、領域12の端部E12と領域12の中心O12とでは、バイアス電界強度Ebiasが等しくなるため、領域12の端部E12の放射電力PTHzは領域12の中心O12の放射電力PTHzに比べて小さくなる。
これに対して、光伝導アンテナ100では、距離G1が距離G2よりも大きいため、領域12の端部E12では、領域12の中心O12と比べて、バイアス電界強度Ebiasが大きくなる。そのため、光伝導アンテナ100では、距離G1と距離G2とが等しい場合と比べて、領域12の端部E12の放射電力PTHzを大きくすることができ、光伝導アンテナ100から放射されるトータルのテラヘルツ波Tの強度(放射電力PTHz)を増加させることができる。
光伝導アンテナ100では、X軸方向に沿った第1電極20と第2電極30との間の距離は、領域12の中心O12から端部E12に向かって漸減する。上述したように、光パルスPの光強度はガウス分布である。すなわち、領域12に照射される光パルスPの光強度は、領域12の中心O12から端部E12に向かって漸減する。したがって、光伝導アンテナ100では、光パルスPの光強度が小さい領域における電界強度を大きくして、光伝導アンテナ100から放射されるトータルのテラヘルツ波Tの強度を増加させることができる。
光伝導アンテナ100では、第1電極20の端部23の形状および第2電極30の端部33の形状は、平面視において、凹状である。そのため、光伝導アンテナ100では、光パルスPの光強度が小さい領域における電界強度を大きくして、光伝導アンテナ100から放射されるトータルのテラヘルツ波Tの強度を増加させることができる。
光伝導アンテナ100では、第1電極20の端部23の形状および第2電極30の端部33の形状は、平面視において、楕円の一部である。上述したように、光パルスPの断面形状は、楕円である。そのため、光伝導アンテナ100では、第1電極20の端部23および第2電極30の端部33を、光パルスPの断面の外縁に沿わせることができる。したがって、光伝導アンテナ100では、例えば第1電極20の端部23の形状および第2電極30の端部33の形状がY軸に平行な直線状である場合と比べて、距離G2を小さくすることができる。したがって、光伝導アンテナ100では、光パルスPの光強度が小さい領域12の端部E12における電界強度を大きくして、光伝導アンテナ100から放射されるトータルのテラヘルツ波Tの強度を増加させることができる。
1.2. 光伝導アンテナの製造方法
次に、第1実施形態に係る光伝導アンテナ100の製造方法について、図1〜3を参照しながら説明する。
次に、第1実施形態に係る光伝導アンテナ100の製造方法について、図1〜3を参照しながら説明する。
図3に示すように、半絶縁性基板10上に、第1電極20および第2電極30を形成する。電極20,30は、例えば、真空蒸着法およびリフトオフ法の組合せなどにより形成される。このとき、電圧印加部22,32は、図2に示すように、距離G1が距離G2よりも大きくなるように形成される。
以上の工程により、光伝導アンテナ100を製造することができる。
1.3. 光伝導アンテナの変形例
次に、第1実施形態に係る光伝導アンテナの変形例について説明する。以下に説明する各変形例に係る光伝導アンテナ200,300,400,500において、上述した光伝導アンテナ100の構成部材と同様の機能を有する部材については同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
次に、第1実施形態に係る光伝導アンテナの変形例について説明する。以下に説明する各変形例に係る光伝導アンテナ200,300,400,500において、上述した光伝導アンテナ100の構成部材と同様の機能を有する部材については同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
1.3.1. 第1変形例
まず、第1変形例に係る光伝導アンテナについて、図面を参照しながら説明する。図4は、第1変形例に係る光伝導アンテナ200を模式的に示す平面図であって図2に対応している。
まず、第1変形例に係る光伝導アンテナについて、図面を参照しながら説明する。図4は、第1変形例に係る光伝導アンテナ200を模式的に示す平面図であって図2に対応している。
上述した光伝導アンテナ100では、図2に示すように、第1電圧印加部22の端部23の形状および第2電圧印加部32の端部33の形状は、平面視において楕円の一部であった。
これに対して、光伝導アンテナ200では、図4に示すように、第1電圧印加部22の端部23の形状および第2電圧印加部32の端部33の形状は、平面視において円の一部である。
第1電圧印加部22の端部23の形状は、平面視において領域12の中心O12を中心とする円の一部である。図4に示す例では、光パルスPの断面形状は円であり、第1電圧印加部22の端部23は、平面視において、断面形状が円である光パルスPの断面の外縁に沿うように設けられている。
同様に、第2電圧印加部32の端部33の形状は、平面視において領域12の中心O12を中心とする円の一部である。図4に示す例では、光パルスPの断面形状は円であり、第2電圧印加部32の端部33は、平面視において、断面形状が円である光パルスPの断面の外縁に沿うように設けられている。第1電圧印加部22の端部23と第2電圧印加部32の端部33とは、平面視において領域12の中心O12を通りY軸に沿った仮想直線に関して線対称である。
光伝導アンテナ200では、第1電極20の端部23の形状および第2電極30の端部33の形状は、平面視において、円の一部である。上述したように、光伝導アンテナ200に照射される光パルスPの断面形状は、円である。そのため、光伝導アンテナ200では、第1電極20の端部23および第2電極30の端部33を、光パルスPの断面の外縁に沿わせることができる。したがって、光伝導アンテナ200では、例えば第1電極20の端部23の形状および第2電極30の端部33の形状がY軸に平行な直線状である場合と比べて、距離G2を小さくすることができる。したがって、光伝導アンテナ100では、光パルスPの光強度が小さい領域12の端部E12における電界強度を大きくして、光伝導アンテナ200から放射されるトータルのテラヘルツ波Tの強度を増加させることができる。
1.3.2. 第2変形例
次に、第2変形例に係る光伝導アンテナについて、図面を参照しながら説明する。図5は、第2変形例に係る光伝導アンテナ300を模式的に示す平面図であって図2に対応している。
次に、第2変形例に係る光伝導アンテナについて、図面を参照しながら説明する。図5は、第2変形例に係る光伝導アンテナ300を模式的に示す平面図であって図2に対応している。
上述した光伝導アンテナ100では、図2に示すように、第1電圧印加部22の端部23の形状および第2電圧印加部32の端部33の形状は、平面視において楕円の一部であった。
これに対して、光伝導アンテナ300では、図5に示すように、第1電圧印加部22の端部23は、平面視において、第1の辺23aと第2の辺23bとを有し、第1の辺23aと第2の辺23bとが端部23の中心で接続された形状を有している。また、第2電圧印加部32の端部33は、平面視において、第1の辺33aと第2の辺33bとを有し、第1の辺33aと第2の辺33bとが端部33の中心で接続された形状を有している。
光伝導アンテナ300では、X軸方向に沿った第1電極20と第2電極30との間の距離は、領域12の中心O12から端部E12に向かって直線的に漸減する。したがって、光伝導アンテナ300では、光パルスPの光強度が小さい領域12の端部E12における電界を大きくして、光伝導アンテナ300から放射されるトータルのテラヘルツ波Tの強度を増加させることができる。
1.3.3. 第3変形例
次に、第3変形例に係る光伝導アンテナについて、図面を参照しながら説明する。図6は、第3変形例に係る光伝導アンテナ400を模式的に示す平面図であって図2に対応している。
次に、第3変形例に係る光伝導アンテナについて、図面を参照しながら説明する。図6は、第3変形例に係る光伝導アンテナ400を模式的に示す平面図であって図2に対応している。
上述した光伝導アンテナ100では、図2に示すように、第1電圧印加部22の端部23の形状および第2電圧印加部32の端部33の形状は、平面視において楕円の一部であった。
これに対して、光伝導アンテナ400では、図6に示すように、第1電圧印加部22の端部23は、平面視において、第1の辺23aと第2の辺23bと第3の辺23cと、を有し、第1の辺23aと第2の辺23bとが、端部23の中心に位置している第3の辺23cで接続された形状を有している。また、第2電圧印加部32の端部33は、平面視において、第1の辺33aと第2の辺33bと第3の辺33cと、を有し、第1の辺33aと第2の辺33bとが、端部33の中心に位置している第3の辺33cで接続された形状を有している。
光伝導アンテナ400では、X軸方向に沿った第1電極20と第2電極30との間の距離は、領域12の中心O12および中心O12近傍において一定であり、当該中心O12近傍から端部E12に向かって直線的に漸減する。したがって、光伝導アンテナ400では、光パルスPの光強度が小さい領域12の端部E12における電界強度を大きくして、光伝導アンテナ400から放射されるトータルのテラヘルツ波Tの強度を増加させることができる。
1.3.4. 第4変形例
次に、第4変形例に係る光伝導アンテナについて、図面を参照しながら説明する。図7は、第4変形例に係る光伝導アンテナ500を模式的に示す平面図であって図2に対応している。
次に、第4変形例に係る光伝導アンテナについて、図面を参照しながら説明する。図7は、第4変形例に係る光伝導アンテナ500を模式的に示す平面図であって図2に対応している。
上述した光伝導アンテナ100では、図2に示すように、第1電圧印加部22の端部23の形状および第2電圧印加部32の端部33の形状は、平面視において楕円の一部であった。
これに対して、光伝導アンテナ500では、図7に示すように、第1電圧印加部22の端部23の形状および第2電圧印加部32の端部33の形状は、平面視においてX軸方向に沿った第1電極20と第2電極30との間の距離が、領域12の中心O12から端部E12に向かって段階的に減少するような形状である。したがって、光伝導アンテナ500では、光パルスPの光強度が小さい領域12の端部E12における電界強度を大きくして、光伝導アンテナ500から放射されるトータルのテラヘルツ波Tの強度を増加させることができる。
2. 第2実施形態
2.1. 光伝導アンテナ
次に、第2実施形態に係る光伝導アンテナについて、図面を参照しながら説明する。図8は、第2実施形態に係る光伝導アンテナ600を模式的に示す平面図であり、図2に対応している。図9は、光伝導アンテナ600を模式的に示す断面図であって図8に示すIX−IX線断面図である。以下、光伝導アンテナ600において、上述した光伝導アンテナ100の構成部材と同様の機能を有する部材については同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
2.1. 光伝導アンテナ
次に、第2実施形態に係る光伝導アンテナについて、図面を参照しながら説明する。図8は、第2実施形態に係る光伝導アンテナ600を模式的に示す平面図であり、図2に対応している。図9は、光伝導アンテナ600を模式的に示す断面図であって図8に示すIX−IX線断面図である。以下、光伝導アンテナ600において、上述した光伝導アンテナ100の構成部材と同様の機能を有する部材については同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
上述した光伝導アンテナ100では、図3に示すように、半絶縁性基板10がキャリア発生層として機能していた。
これに対して、光伝導アンテナ600では、図9に示すように、LT−GaAs層610がキャリア発生層として機能する。
LT−GaAs層610は、半絶縁性基板10上に配置されている。LT−GaAs層610上には、電極20,30が配置されている。LT−GaAs層610は、低温MBE(分子線エピタキシー)法によって形成されたGaAs層である。
LT−GaAs層610は、光パルスPが照射されてキャリアを形成する。光パルスPは、LT−GaAs層610の、平面視において(半絶縁性基板10とLT−GaAs層610の積層方向から見て)第1電極20と第2電極30との間の領域612に照射される。領域612は、LT−GaAs層610の表面(上面)614の一部である。より具体的には、領域612は、LT−GaAs層610の表面614の、平面視において第1電圧印加部22と第2電圧印加部32とに挟まれる領域である。光パルスPは、例えば、光パルスPの中心(光パルスPの断面形状が楕円である場合、その楕円の中心)が領域612の中心O612と重なるように照射される。
次に、光伝導アンテナ600の動作について説明する。電極20,30によりLT−GaAs層610に電圧を印加した状態で、電極20,30間に(電圧印加部22,32間に)光パルスPを照射する。光パルスPは、半導体レーザー等の光源から射出され、LT−GaAs層610の領域612を照射する。
光パルスPの照射によって、LT−GaAs層610中にキャリア(例えば電子)が瞬時に生成する。キャリアは、電極20,30により印加された電圧によって加速されてLT−GaAs層610中を移動し、LT−GaAs層610中に瞬間的に電流(光電流)が流れる。そして、光電流の時間変化に比例した強度を有するテラヘルツ波Tが発生し、光伝導アンテナ600からテラヘルツ波Tが放射される。
光伝導アンテナ600では、上述した光伝導アンテナ100と同様の作用効果を奏することができる。
2.2. 光伝導アンテナの製造方法
次に、第2実施形態に係る光伝導アンテナの製造方法について、図8および図9を参照しながら説明する。
次に、第2実施形態に係る光伝導アンテナの製造方法について、図8および図9を参照しながら説明する。
図9に示すように、半絶縁性基板10上にLT−GaAs層610を形成する。LT−GaAs層610は、低温MBE(分子線エピタキシー)法によって形成される。次に、図8および図9に示すように、LT−GaAs層610上に、第1電極20および第2電極30を形成する。電極20,30は、例えば、真空蒸着法およびリフトオフ法の組合せなどにより形成される。
以上の工程により、光伝導アンテナ600を製造することができる。
2.3. 光伝導アンテナの変形例
次に、第2実施形態に係る光伝導アンテナ600の変形例について説明する。第2実施形態に係る光伝導アンテナ600においても、上述した光伝導アンテナ100の変形例(図4〜図7参照)を適用することができ、同様の作用効果を奏することができる。
次に、第2実施形態に係る光伝導アンテナ600の変形例について説明する。第2実施形態に係る光伝導アンテナ600においても、上述した光伝導アンテナ100の変形例(図4〜図7参照)を適用することができ、同様の作用効果を奏することができる。
3. 第3実施形態
次に、第3実施形態に係るテラヘルツ波発生装置1000について、図面を参照しながら説明する。図10は、第3実施形態に係るテラヘルツ波発生装置1000の構成を示す図である。
次に、第3実施形態に係るテラヘルツ波発生装置1000について、図面を参照しながら説明する。図10は、第3実施形態に係るテラヘルツ波発生装置1000の構成を示す図である。
テラヘルツ波発生装置1000は、図10に示すように、光パルス発生装置1010と、本発明に係る光伝導アンテナと、を含む。以下では、本発明に係る光伝導アンテナとして、光伝導アンテナ100を用いた例について説明する。
光パルス発生装置1010は、励起光である光パルス(例えば図2および図3に示す光パルスP)を発生する。光パルス発生装置1010は、発生した光パルスを光伝導アンテナ100に照射する。光パルス発生装置1010が発生させる光パルスの幅は、例えば、1fs以上800fs以下である。光パルス発生装置1010としては、例えば、フェムト秒ファイバーレーザー、チタンサファイヤレーザー、半導体レーザー等を用いる。
光伝導アンテナ100は、上記のとおり、光パルスが照射されて、テラヘルツ波を発生することができる。
テラヘルツ波発生装置1000は、光伝導アンテナ100を含むため、テラヘルツ波の放射強度を増加させることができる。
4. 第4実施形態
次に、第4実施形態に係るイメージング装置1100について、図面を参照しながら説明する。図11は、第4実施形態に係るイメージング装置1100を示すブロック図である。図12は、第4実施形態に係るイメージング装置1100のテラヘルツ波検出部1120を模式的に示す平面図である。
次に、第4実施形態に係るイメージング装置1100について、図面を参照しながら説明する。図11は、第4実施形態に係るイメージング装置1100を示すブロック図である。図12は、第4実施形態に係るイメージング装置1100のテラヘルツ波検出部1120を模式的に示す平面図である。
イメージング装置1100は、図11に示すように、テラヘルツ波を発生するテラヘルツ波発生部1110と、テラヘルツ波発生部1110から出射され、対象物Oを透過したテラヘルツ波または対象物Oで反射されたテラヘルツ波を検出するテラヘルツ波検出部1120と、テラヘルツ波検出部1120の検出結果に基づいて、対象物Oの画像、すなわち、画像データを生成する画像形成部1130と、を含む。
テラヘルツ波発生部1110としては、本発明に係るテラヘルツ波発生装置を用いることができる。ここでは、本発明に係るテラヘルツ波発生装置として、テラヘルツ波発生装置1000を用いた場合について説明する。
テラヘルツ波検出部1120は、図12に示すように、複数の画素1122を含む。図示の例では、画素1122の形状は、正方形である。画素1122は、マトリックス状に配置されている。画素1122の数は、特に限定されない。画素1122は、複数のテラヘルツ波検出装置900(テラヘルツ波検出装置900a,900b,900c,900d)により構成されている。
図13は、テラヘルツ波検出部1120の画素1122を構成するテラヘルツ波検出装置900を模式的に示す平面図である。図14は、テラヘルツ波検出装置900のテラヘルツ波検出素子902を模式的に示す断面図である。図15は、テラヘルツ波検出装置900のテラヘルツ波検出素子902を模式的に示す平面図である。なお、図14は、図15のXIV−XIV線断面図である。また、便宜上、図13では、テラヘルツ波検出素子902を簡略化して図示している。
テラヘルツ波検出装置900は、図13〜図15に示すように、基板910と、テラヘルツ波検出素子902と、を含む。テラヘルツ波検出素子902は、変換部930と、吸収部960と、を含む。さらに、テラヘルツ波検出素子902は、柱部916,918と、メンブレン920と、配線層940,942と、コンタクト部944,946と、絶縁層950と、を含むことができる。
基板910は、支持基板903と、層間絶縁層904と、第1保護層906と、を有している。
テラヘルツ波検出素子902は、基板910上に設けられている。テラヘルツ波検出素子902は、複数設けられることができるが、その数は特に限定されない。テラヘルツ波検出素子902は、例えば、マトリックス状に配列される。
柱部916,918は、メンブレン920を支持している。なお、基板910上であって、複数のテラヘルツ波検出素子902の周囲には、枠部919が設けられていてもよい。
メンブレン920は、柱部916,918によって、基板910の上方に支持されている。図示の例では、メンブレン920の下には、第2保護層908が設けられている。メンブレン920は、支持部922と、腕部924a,924bと、固定部926a,926bと、を有している。支持部922は、変換部930および吸収部960を支持することができる。第1腕部924aは、支持部922と第1固定部926aとを連結している。第2腕部924bは、支持部922と第2固定部926bとを連結している。腕部924a,924bおよび支持部922は、基板910と離間して設けられている。固定部926a,926bは、柱部916,918上に設けられている。
変換部930は、吸収部960にて発生した熱を電気信号に変換することができる。変換部930は、金属層932と、焦電体層934と、金属層936と、を有している。焦電体層934の材質は、焦電効果を発揮することができる誘電体(例えば、チタン酸ジルコン酸鉛(PZT))である。
変換部930では、焦電体層934の焦電効果に応じて、金属層932,936に電流が流れる。すなわち、焦電体層934の温度変化に応じて、焦電体層934の電気分極量の変化分が、焦電流として金属層932,936に流れる。つまり、変換部930は、焦電センサーである。このように、変換部930は、温度変化を、電気信号に変換することができる。
第1配線層940は、金属層932および第1コンタクト部944に接続されている。第1コンタクト部944は、第1コンタクトホール912に設けられている。第2配線層942は、金属層936および第2コンタクト部946に接続されている。第2コンタクト部946は、第2コンタクトホール914に設けられている。
コンタクト部944,946は、例えば支持基板903上に設けられた図示しない回路部と電気的に接続されている。そのため、焦電体層934の焦電効果に応じて金属層932,936に流れる電流(電気信号)は、回路部に至ることできる。回路部では、該電気信号からテラヘルツ波を検出することができる。絶縁層950によって、金属層932と第2配線層942とを電気的に分離することができる。
吸収部960は、変換部930上に設けられている。吸収部960は、金属層936と、誘電体層962と、金属構造体964と、を有している。金属構造体964および金属層936は、誘電体層962を挟んでいる。金属構造体964は、メタマテリアルである。ここで、「メタマテリアル」とは、電磁波(テラヘルツ波)の波長に比べて十分に小さい単位構造(具体的には金属構造体964)が周期的に配列されていて、電磁波に対して均質な媒質として振舞うように構成された人工物質のことである。メタマテリアルは、単位構造の構造・配置によって、自由にその物性値(誘電率・透磁率)を調整することができる。
吸収部960では、テラヘルツ波を吸収して熱を発生させることができる。具体的には、吸収部960にテラヘルツ波が照射されると、例えば電界の振動方向が所定の方向(図15に示すX方向)であるテラヘルツ波の偏波は、金属構造体964と金属層936との間の誘電体層962に侵入し、金属構造体964と金属層936との間で多重反射する。これにより、誘電体層962に誘電損失が生じ、熱が発生する。吸収部960において発生した熱は、変換部930に伝わり、変換部930にて電気信号に変換される。このようにして、テラヘルツ波検出装置900では、テラヘルツ波を電気信号として検出することができる。
図12に示すテラヘルツ波検出装置900a,900b,900c,900dは、互いに異なる波長のテラヘルツ波を選択的に検出することができる。具体的には、テラヘルツ波検出装置900a,900b,900c,900dにおいて、図14および図15に示す金属構造体964の形状および大きさの少なくとも一方は、異なっており、これにより、テラヘルツ波検出装置900a,900b,900c,900dは、互いに異なる波長のテラヘルツ波を吸収することができる。すなわち、各画素1122において、4つの波長のテラヘルツ波を検出することができる。
なお、ここでは、テラヘルツ波検出部1120の画素1122を構成するテラヘルツ波検出装置として、テラヘルツ波検出装置900を用いた例について説明したが、テラヘルツ波検出装置の構成は、これに限定されない。例えば、テラヘルツ波検出装置として、目的の波長のテラヘルツ波を通過させるフィルターと、当該フィルターを通過した目的の波長のテラヘルツ波を検出する検出部と、を備えたものを用いてもよい。
次に、イメージング装置1100の使用例について説明する。図16は、対象物のテラヘルツ帯でのスペクトルを示すグラフである。図17は、対象物の物質A、BおよびCの分布を示す画像の図である。
まず、分光イメージングの対象となる対象物Oが、3つの物質A、B、およびCで構成されているとする。イメージング装置1100は、この対象物Oの分光イメージングを行う。また、ここでは、一例として、テラヘルツ波検出部1120は、対象物Oで反射されたテラヘルツ波を検出することとする。
また、テラヘルツ波検出部1120の各画素1122においては、テラヘルツ波検出装置900aおよびテラヘルツ波検出装置900bを使用する。テラヘルツ波検出装置900aにおいて検出される波長(吸収される波長)をλ1、テラヘルツ波検出装置900bにおいて検出される波長(吸収される波長)をλ2とし、対象物Oで反射されたテラヘルツ波の波長λ1の成分の強度をα1、波長λ2の成分の強度をα2としたとき、その強度α2と強度α1の差分(α2−α1)が、物質Aと物質Bと物質Cとで、互いに顕著に区別できるように、テラヘルツ波検出装置900aにおいて検出される波長λ1、およびテラヘルツ波検出装置900bで検出される波長λ2が設定されている。
図16に示すように、物質Aにおいては、対象物Oで反射したテラヘルツ波の波長λ2の成分の強度α2と波長λ1の成分の強度α1との差分(α2−α1)は、正値となる。また、物質Bにおいては、強度α2と強度α1との差分(α2−α1)は、零となる。また、物質Cにおいては、強度α2と強度α1との差分(α2−α1)は、負値となる。
イメージング装置1100により、対象物Oの分光イメージングを行う際は、まず、テラヘルツ波発生部1110により、テラヘルツ波を発生し、そのテラヘルツ波を対象物Oに照射する。そして、対象物Oで反射されたテラヘルツ波をテラヘルツ波検出部1120で、α1およびα2として検出する。この検出結果は、画像形成部1130に送出される。なお、この対象物Oへのテラヘルツ波の照射および対象物Oで反射したテラヘルツ波の検出は、対象物Oの全体に対して行う。
画像形成部1130においては、前記検出結果に基づいて、テラヘルツ波検出装置900bにおいて検出されたテラヘルツ波の波長λ2の成分の強度α2と、テラヘルツ波検出装置900aにおいて検出されたテラヘルツ波の波長λ1の成分の強度α1と、の差分(α2−α1)を求める。そして、対象物Oのうち、前記差分が正値となる部位を物質A、前記差分が零となる部位を物質B、前記差分が負値となる部位を物質Cと判断し、特定する。
また、画像形成部1130では、図17に示すように、対象物Oの物質A、B、およびCの分布を示す画像の画像データを作成する。この画像データは、画像形成部1130から図示しないモニターに送出され、そのモニターにおいて、対象物Oの物質A、B、およびCの分布を示す画像が表示される。この場合、例えば、対象物Oの物質Aの分布する領域は黒色、物質Bの分布する領域は灰色、物質Cの分布する領域は白色に色分けして表示される。このイメージング装置1100では、以上のように、対象物Oを構成する各物質の同定と、その各部質の分布測定とを同時に行うことができる。
なお、イメージング装置1100の用途は、上記のものに限らず、例えば、人物に対してテラヘルツ波を照射し、その人物を透過または反射したテラヘルツ波を検出し、画像形成部1130において処理を行うことにより、その人物が、拳銃、ナイフ、違法な薬物等を所持しているか否かを判別することもできる。
イメージング装置1100では、テラヘルツ波の放射強度を増加させることができる光伝導アンテナ100を含む。そのため、イメージング装置1100は、高い検出感度を有することができる。
5. 第5実施形態
次に、第5実施形態に係る計測装置1200について、図面を参照しながら説明する。図18は、第5実施形態に係る計測装置1200を示すブロック図である。
次に、第5実施形態に係る計測装置1200について、図面を参照しながら説明する。図18は、第5実施形態に係る計測装置1200を示すブロック図である。
以下、第5実施形態に係る計測装置1200において、第4実施形態に係るイメージング装置1100の構成部材と同様の機能を有する部材については同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。このことは、以下に示す第6実施形態に係るカメラ1300においても同様である。
計測装置1200は、図18に示すように、テラヘルツ波を発生するテラヘルツ波発生部1110と、テラヘルツ波発生部1110から出射され、対象物Oを透過するテラヘルツ波または対象物Oで反射されたテラヘルツ波を検出するテラヘルツ波検出部1120と、テラヘルツ波検出部1120の検出結果に基づいて、対象物Oを計測する計測部1210と、を含む。
次に、計測装置1200の使用例について説明する。計測装置1200により、対象物Oの分光計測を行う際は、まず、テラヘルツ波発生部1110により、テラヘルツ波を発生させ、そのテラヘルツ波を対象物Oに照射する。そして、対象物Oを透過したテラヘルツ波または対象物Oで反射されたテラヘルツ波をテラヘルツ波検出部1120で検出する。この検出結果は、計測部1210に送出される。なお、この対象物Oへのテラヘルツ波の照射および対象物Oを透過したテラヘルツ波または対象物Oで反射されたテラヘルツ波の検出は、対象物Oの全体に対して行う。
計測部1210においては、前記検出結果から、各画素1122を構成するテラヘルツ波検出装置900a,900b,900c,900dにおいて検出されたテラヘルツ波のそれぞれの強度を把握し、対象物Oの成分およびその分布の分析等を行う。
計測装置1200では、テラヘルツ波の放射強度を増加させることができる光伝導アンテナ100を含む。そのため、計測装置1200は、高い検出感度を有することができる。
6. 第6実施形態
次に、第6実施形態に係るカメラ1300について、図面を参照しながら説明する。図19は、第6実施形態に係るカメラ1300を示すブロック図である。図20は、第6実施形態に係るカメラ1300を模式的に示す斜視図である。
次に、第6実施形態に係るカメラ1300について、図面を参照しながら説明する。図19は、第6実施形態に係るカメラ1300を示すブロック図である。図20は、第6実施形態に係るカメラ1300を模式的に示す斜視図である。
カメラ1300は、図19および図20に示すように、テラヘルツ波を発生するテラヘルツ波発生部1110と、テラヘルツ波発生部1110から出射され、対象物Oで反射されたテラヘルツ波または対象物Oを透過したテラヘルツ波を検出するテラヘルツ波検出部1120と、テラヘルツ波検出部1120の検出結果を記憶する記憶部1301と、を含む。そして、これらの各部1110,1120,1301は、カメラ1300の筐体1310に収められている。また、カメラ1300は、対象物Oで反射したテラヘルツ波をテラヘルツ波検出部1120に収束(結像)させるレンズ(光学系)1320と、テラヘルツ波発生部1110で発生したテラヘルツ波を筐体1310の外部へ出射させるための窓部1330と、を備える。レンズ1320や窓部1330は、テラヘルツ波を透過・屈折させるシリコン、石英、ポリエチレンなどの部材によって構成されている。なお、窓部1330は、スリットのように単に開口が設けられている構成としてもよい。
次に、カメラ1300の使用例について説明する。カメラ1300により、対象物Oを撮像する際は、まず、テラヘルツ波発生部1110により、テラヘルツ波を発生させ、そのテラヘルツ波を対象物Oに照射する。そして、対象物Oで反射されたテラヘルツ波をレンズ1320によってテラヘルツ波検出部1120に収束(結像させて)検出する。この検出結果は、記憶部1301に送出され、記憶される。なお、この対象物Oへのテラヘルツ波の照射および対象物Oで反射されたテラヘルツ波の検出は、対象物Oの全体に対して行う。また、前記検出結果は、例えば、パーソナルコンピューター等の外部装置に送信することもできる。パーソナルコンピューターでは、前記検出結果に基づいて、各処理を行うことができる。
カメラ1300は、テラヘルツ波の放射強度を増加させることができる光伝導アンテナ100を含む。そのため、カメラ1300は、高い検出感度を有することができる。
上述した実施形態および変形例は一例であって、これらに限定されるわけではない。例えば、各実施形態および各変形例を適宜組み合わせることも可能である。本発明は、実施の形態で説明した構成と実質的に同一の構成(例えば、機能、方法及び結果が同一の構成、あるいは目的及び効果が同一の構成)を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成の本質的でない部分を置き換えた構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成と同一の作用効果を奏する構成又は同一の目的を達成することができる構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成に公知技術を付加した構成を含む。
10…半絶縁性基板、12…領域、14…表面、20…第1電極、22…第1電圧印加部、23…端部、23a…第1の辺、23b…第2の辺、23c…第3の辺、24…第1パッド部、26…第1ライン部、30…第2電極、32…第2電圧印加部、33…端部、33a…第1の辺、33b…第2の辺、33c…第3の辺、34…第2パッド部、36…第2ライン部、100,200,300,400,500,600…光伝導アンテナ、610…LT−GaAs層、612…領域、614…表面、900,900a,900b,900c,900d…テラヘルツ波検出装置、902…テラヘルツ波検出素子、903…支持基板、904…層間絶縁層、906…第1保護層、908…第2保護層、910…基板、912…第1コンタクトホール、914…第2コンタクトホール、916,918…柱部、919…枠部、920…メンブレン、922…支持部、924a…第1腕部、924b…第2腕部、926a…第1固定部、926b…第2固定部、930…変換部、932…金属層、934…焦電体層、936…金属層、940…第1配線層、942…第2配線層、944…第1コンタクト部、946…第2コンタクト部、950…絶縁層、960…吸収部、962…誘電体層、964…金属構造体、1000…テラヘルツ波発生装置、1010…光パルス発生装置、1100…イメージング装置、1110…テラヘルツ波発生部、1120…テラヘルツ波検出部、1122…画素、1130…画像形成部、1200…計測装置、1210…計測部、1300…カメラ、1301…記憶部、1310…筐体、1320…レンズ、1330…窓部
Claims (9)
- 光パルスが照射されてテラヘルツ波を発生する光伝導アンテナであって、
前記光パルスが照射されてキャリアを形成するキャリア発生層と、
前記キャリア発生層の上方に位置し、前記キャリア発生層に電圧を印加する第1電極および第2電極と、
を含み、
前記第1電極および前記第2電極は、平面視において前記キャリア発生層に前記光パルスが照射される領域を挟んで第1の方向に対向して設けられ、
平面視において前記第1電極と前記第2電極とに挟まれる領域の中心における前記第1の方向に沿った前記第1電極と前記第2電極との間の距離が、平面視において前記第1電極と前記第2電極とに挟まれる領域の端部における前記第1の方向に沿った前記第1電極と前記第2電極との間の距離よりも大きい、ことを特徴とする光伝導アンテナ。 - 前記第1の方向に沿った前記第1電極と前記第2電極との間の距離は、平面視において前記第1電極と前記第2電極とに挟まれる領域の中心から端部に向かって漸減する、ことを特徴とする請求項1に記載の光伝導アンテナ。
- 平面視において前記第1電極と前記第2電極とに挟まれる領域に面する前記第1電極の端部の形状および前記第2電極の端部の形状は、凹状である、ことを特徴とする請求項1または2に記載の光伝導アンテナ。
- 平面視において前記第1電極と前記第2電極とに挟まれる領域に面する前記第1電極の端部の形状および前記第2電極の端部の形状は、楕円の一部である、ことを特徴とする請求項1ないし3のいずれか1項に記載の光伝導アンテナ。
- 平面視において前記第1電極と前記第2電極とに挟まれる領域に面する前記第1電極の端部の形状および前記第2電極の端部の形状は、円の一部である、ことを特徴とする請求項1ないし3のいずれか1項に記載の光伝導アンテナ。
- 前記光パルスを発生する光パルス発生装置と、
前記光パルスが照射されて前記テラヘルツ波を発生する請求項1ないし5のいずれか1項に記載の光伝導アンテナと、
を含む、ことを特徴とするテラヘルツ波発生装置。 - 前記光パルスを発生する光パルス発生装置と、
前記光パルスが照射されて前記テラヘルツ波を発生する請求項1ないし5のいずれか1項に記載の光伝導アンテナと、
前記光伝導アンテナから射出され、対象物を透過した前記テラヘルツ波または対象物で反射された前記テラヘルツ波を検出するテラヘルツ波検出部と、
前記テラヘルツ波検出部の検出結果を記憶する記憶部と、
を含む、ことを特徴とするカメラ。 - 前記光パルスを発生する光パルス発生装置と、
前記光パルスが照射されて前記テラヘルツ波を発生する請求項1ないし5のいずれか1項に記載の光伝導アンテナと、
前記光伝導アンテナから射出され、対象物を透過した前記テラヘルツ波または対象物で反射された前記テラヘルツ波を検出するテラヘルツ波検出部と、
前記テラヘルツ波検出部の検出結果に基づいて、前記対象物の画像を生成する画像形成部と、
を含む、ことを特徴とするイメージング装置。 - 前記光パルスを発生する光パルス発生装置と、
前記光パルスが照射されて前記テラヘルツ波を発生する請求項1ないし5のいずれか1項に記載の光伝導アンテナと、
前記光伝導アンテナから射出され、対象物を透過した前記テラヘルツ波または対象物で反射された前記テラヘルツ波を検出するテラヘルツ波検出部と、
前記テラヘルツ波検出部の検出結果に基づいて、前記対象物を計測する計測部と、
を含む、ことを特徴とする計測装置。
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