JP2016008644A - 球面軸受、軸受装置、およびロール装置 - Google Patents

球面軸受、軸受装置、およびロール装置 Download PDF

Info

Publication number
JP2016008644A
JP2016008644A JP2014128679A JP2014128679A JP2016008644A JP 2016008644 A JP2016008644 A JP 2016008644A JP 2014128679 A JP2014128679 A JP 2014128679A JP 2014128679 A JP2014128679 A JP 2014128679A JP 2016008644 A JP2016008644 A JP 2016008644A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
spherical
bearing
bush
spherical bearing
roll
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2014128679A
Other languages
English (en)
Other versions
JP6387254B2 (ja
Inventor
琢哉 平山
Takuya Hirayama
琢哉 平山
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Oiles Industry Co Ltd
Original Assignee
Oiles Industry Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Oiles Industry Co Ltd filed Critical Oiles Industry Co Ltd
Priority to JP2014128679A priority Critical patent/JP6387254B2/ja
Publication of JP2016008644A publication Critical patent/JP2016008644A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6387254B2 publication Critical patent/JP6387254B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Sliding-Contact Bearings (AREA)
  • Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
  • Rolls And Other Rotary Bodies (AREA)

Abstract

【課題】支持対象を傾斜かつ回転自在に非接触で支持可能であり、ロール装置の軸受装置に好適な球面軸受を提供する。
【解決手段】第一球面軸受6aおよび第二球面軸受6bは、凸球面状支持対象面42を有する球面ブッシュ4を傾斜かつ回転自在に非接触で支持する。第一球面軸受6aおよび第二球面軸受6bは、それぞれ、凸球面状支持対象面42と対面する凹球面状軸受面601a、601bを有する多孔質焼結層60a、60bと、多孔質焼結層60a、60bに圧縮気体を供給する通気路616a、616bが形成された多孔質焼結層60a、60bの台金61a、61bと、を備える。また、球面ブッシュ4の貫通穴40には、シャフトが摺動自在に挿入される円筒ブッシュ5が装着されている。
【選択図】図4

Description

本発明は、球面軸受に関し、特にロールを非接触で支持するロール装置の軸受装置に好適な球面軸受に関する。
球面を備えた支持対象を、この球面によって定義される球体の中心に対して回動自在に支持する球面軸受が知られている。例えば、特許文献1には、シャフトを保持するための挿入孔が形成された内部保持具(支持対象)の凸球面状滑り面(支持対象面)が一様なTiAlN化合物の薄膜層で形成され、外部保持具(球面軸受)の凹球面状滑り面(軸受面)がポリテトラフルオロエチレン系ライナーで形成された軸受装置が開示されている。外部保持具が内部保持具をこの内部保持具の凸球面状滑り面によって定義される球体の中心に対して回動自在に支持することにより、この内部保持部に挿入穴に挿入されたシャフトが傾斜かつ回転自在に保持される。
また、テープ、シート、フィルム等の搬送に、ロールおよびロールの両端を回転自在に支持する一対の軸受装置を備えたロール装置が用いられている。このようなロール装置において、ロールの両端部を支持する一対の軸受装置として、特許文献1に記載の球面軸受を用いた軸受装置が好適である。特許文献1に記載の球面軸受を用いた軸受装置は、内部保持部の挿入穴に挿入されたロールのシャフトを傾斜かつ回転自在に保持するため、軸受装置間の設置位置のずれ、ロールの撓み等を吸収することができる。
特開2005−30492号公報
しかしながら、特許文献1に記載の軸受装置において、球面軸受である外部保持具は滑り軸受であり、軸受面である凹球面状滑り面が支持対象である内部保持部の支持対象面である凸球面状滑り面と摺接する。このため、外部保持具の凹球面状滑り面と支持対象の凸球面状滑り面との間に摩擦力が発生し、ロールの円滑な回転を阻害する。
本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、支持対象を傾斜かつ回転自在に非接触で支持可能であり、ロール装置の軸受装置に好適な球面軸受、この球面軸受を用いた軸受装置、およびこの軸受装置を用いたロール装置を提供することにある。
上記課題を解決するために、本発明の球面軸受では、凹球面状軸受面を多孔質焼結層で形成し、この多孔質焼結層に圧縮気体を供給することにより、圧縮気体を凹球面状軸受面の全面から噴出させる。
例えば、本発明の球面軸受は、凸球面状支持対象面を有する支持対象を非接触で支持する球面軸受であって、
前記凸球面状支持対象面と対面する凹球面状軸受面を有する多孔質焼結層と、
前記多孔質焼結層に圧縮気体を供給する通気路が形成された前記多孔質焼結層の台金と、を備える。
また、本発明の軸受装置では、外周面に凸球面状支持対象面が形成された球面ブッシュを前記球面軸受により非接触で支持するとともに、この球面ブッシュにシャフトが挿入されることにより、シャフトを傾斜かつ回転自在に保持する。
例えば、本発明の軸受装置は、シャフトを支持する軸受装置であって、
前記シャフトに装着され、外周面に凸球面状支持対象面が形成された球面ブッシュと、
前記球面ブッシュの前記凸球面状支持対象面と対面する凹球面状軸受面を有し、前記球面ブッシュを非接触で支持する一対の前記球面軸受と、を備え、
前記球面軸受の前記台金には、貫通穴が形成されており、
前記球面軸受の前記多孔質焼結層は、前記貫通穴の内壁面上に形成されており、
一対の前記球面軸受は、それぞれの前記凹球面状軸受面が同じ球体の球面を構成するように互いに対面し、
前記球面ブッシュは、
前記一対の球面軸受の前記凹球面状軸受面間に配置されている。
また、本発明のロール装置では、ロールに連結されたシャフトを前記軸受装置の球面ブッシュの挿入穴に挿入して、ロールを非接触で傾斜かつ回転自在に保持する。
例えば、本発明のロール装置は、ロールを非接触で支持するロール装置であって、
前記ロールに連結されたシャフトと、
前記シャフトを支持する前記軸受装置と、を備える。
本発明によれば、凹球面状軸受面を多孔質焼結層で形成し、この多孔質焼結層に圧縮気体を供給して、圧縮気体を凹球面状軸受面の全面から噴出させることにより、凹球面状軸受面と対面する凸球面状支持対象面を有する支持対象を非接触で支持することができる。このため、凹球面状軸受面と凸球面状支持対象面との間に摩擦力は発生せず、支持対象の円滑な回転を実現できる。したがって、支持対象にシャフトを保持させることにより、シャフトを傾斜かつ回転自在に保持することができ、ロールを非接触で支持するロール装置の軸受装置に好適な球面軸受を提供できる。
図1は、本発明の一実施の形態に係るロール装置1の一部省略かつ一部断面とした正面図である。 図2は、図1に示すロール装置1の側面図である。 図3は、ロール2の一部省略した正面図である。 図4(A)は、軸受装置3の平面図であり、図4(B)は、図4(A)に示す軸受装置のA−A断面図である。 図5(A)は、円筒ブッシュ5が装着された球面ブッシュ4の平面図であり、図5(B)は、図5(A)に示す円筒ブッシュ5が装着された球面ブッシュ4のB−B断面図である。 図6(A)は、第一球面軸受6aの平面図であり、図6(B)は、図6(A)に示す第一球面軸受6aのC−C断面図である。 図7(A)は、第二球面軸受6bの平面図であり、図7(B)は、図7(A)に示す第二球面軸受6bのD−D断面図である。 図8(A)は、ハウジング7の正面図であり、図8(B)は、図8(A)に示すハウジング7のE−E断面図である。 図9は、図1のF部拡大図であり、軸受装置3への給気中におけるロール2の支持状態を模式的に示した図である。
以下、本発明の一実施の形態について説明する。
図1は、本実施の形態に係るロール装置1の一部省略かつ一部断面とした正面図であり、図2は、図1に示すロール装置1の側面図である。
図示するように、本実施の形態に係るロール装置1は、ロール2と、ロール2を支持する一対の軸受装置3と、各軸受装置3を保持する一対のハウジング7と、各軸受装置3の各ハウジング7からの抜け落ちを防止する一対のストッパ8と、を備えている。
図3は、ロール2の一部省略した正面図である。
図示するように、ロール2は、テープ、シート、フィルム等の被搬送物を搬送するためのロール本体20と、ロール本体20の両端面22に一体的に形成されたシャフト21と、を備えている。シャフト21は、ロール本体20と同軸に、ロール本体20の両端面22から突出するように形成されている。シャフト21は、根元部(ロール本体20の端面22との連結部分)23が先端部24よりも大径の段付きシャフトとなっており、このため、シャフト21の根元部23と先端部24との連結部分には段差面25が形成されている。
図4(A)は、軸受装置3の平面図であり、図4(B)は、図4(A)に示す軸受装置のA−A断面図である。
図示するように、軸受装置3は、ロール2のシャフト21の先端部24が摺動自在に挿入される円筒ブッシュ5が装着された球面ブッシュ4と、球面ブッシュ5を非接触で支持する第一球面軸受6aおよび第二球面軸受6bと、を備えている。
図5(A)は、円筒ブッシュ5が装着された球面ブッシュ4の平面図であり、図5(B)は、図5(A)に示す円筒ブッシュ5が装着された球面ブッシュ4のB−B断面図である。
図示するように、球面ブッシュ4は、円筒ブッシュ5が装着された貫通穴40を有する。なお、本実施の形態では、二つの円筒ブッシュ5が球面ブッシュ4の貫通穴40に装着されているが、少なくとも一つの円筒ブッシュ5が球面ブッシュ4の貫通穴40に装着されていればよい。また、球面ブッシュ4の外周面41には、貫通穴40の軸心O上の任意の点(好ましくは貫通穴40の中央に位置する軸心O上の点)を中心とする球体の一部を構成する凸球面状支持対象面42が形成されている。
円筒ブッシュ5の内周面50には、滑り軸受面51が形成されている。滑り軸受面51は、円筒ブッシュ5に挿入されたロール2のシャフト21の先端部24の外周面26と摺接する。
図6(A)は、第一球面軸受6aの平面図であり、図6(B)は、図6(A)に示す第一球面軸受6bのC−C断面図である。
図示するように、第一球面軸受6aは、多孔質焼結層60aと、多孔質焼結層60aの台金(バックメタル)61aと、を備えている。
台金61aは、円板状に形成されており、内壁614aに環状溝615aが形成された円錐台状の貫通穴610aを備えている。この貫通穴610aの小径開口側に位置する台金61aの端面である小径開口側端面611aには、この貫通穴610aの大径開口側に位置する台金61aの端面である大径開口側端面612aを貫く座繰り貫通穴613aが等間隔に複数形成されている。また、台金61aには、小径開口側端面611aから貫通穴610aの内壁614aに形成された環状溝615aおよび大径開口側端面612aに繋がる通気路616aが形成されている。
多孔質焼結層60aは、台金61aの貫通穴610aの内壁614a上に形成されており、多孔質焼結層60aの表面600aには、第一球面軸受6aおよび第二球面軸受6bによって非接触で支持される球面ブッシュ4の外周面41に形成された凸球面状支持対象面42を構成する球体と同心の球体(凸球面状支持対象面42を構成する球体よりも僅かに大径の球体)の一部を構成する凹球面状軸受面601aが形成されている。この凹球面状軸受面601aは、例えば、円錐台状に形成された貫通穴610aの内壁614a上に多孔質焼結層60aを均一な厚さで形成し、この多孔質焼結層60aの表面600aを切削加工することにより形成される。
図7(A)は、第二球面軸受6bの平面図であり、図7(B)は、図7(A)に示す第二球面軸受6bのD−D断面図である。
図示するように、第二球面軸受6bも、第一球面軸受6aと同様、多孔質焼結層60bと、多孔質焼結層60bの台金(バックメタル)61bと、を備えている。
台金61bは、台金61aと略同径の円板状に形成されており、内壁614bに環状溝615bが形成された円錐台状の貫通穴610bを備えている。この貫通穴610bの大径開口側に位置する台金61bの端面である大径開口側端面612bにおいて、第一球面軸受6aの台金61aの大径開口側端面612aにおける各座繰り貫通穴613aに対応する位置には、座繰り貫通穴613aに挿入されたボルト8と螺合するネジ穴613bが形成されている。また、台金61bの大径開口側端面612bにおいて、第一球面軸受6aの台金61aの大径開口側端面612aにおける通気路616aに対応する位置には、貫通穴610bの内壁614bに形成された環状溝615bに繋がる通気路616bが形成されている。
多孔質焼結層60bは、台金61bの貫通穴610bの内壁614b上に形成されており、多孔質焼結層60bの表面600bには、第一球面軸受6aの多孔質焼結層60aの表面600aに形成された凹球面状軸受面601aとともに、第一球面軸受6aおよび第二球面軸受6bによって非接触で支持される球面ブッシュ4の外周面41に形成された凸球面状支持対象面42を構成する球体と同心の球体(凸球面状支持対象面42を構成する球体よりも僅かに大径の球体)の一部を構成する凹球面状軸受面601bが形成されている。この凹球面状軸受面601bは、例えば、円錐台状に形成された貫通穴610bの内壁614b上に多孔質焼結層60bを均一な厚さで形成し、この多孔質焼結層60bの表面600bを切削加工することにより形成される。
円筒ブッシュ5が装着された球面ブッシュ4の外周面41に形成された凸球面状支持対象面42が、第一球面軸受6aの多孔質焼結層60aの表面600aに形成された凹球面状軸受面601aおよび第二球面軸受6bの多孔質焼結層60bの表面600bに形成された凹球面状軸受面601bのそれぞれと対面するように、第一球面軸受6aと第二球面軸受6bとの間にこの球面ブッシュ4を挟み込み、第一球面軸受6aの大径開口側端面612aと第二球面軸受6bの大径開口側端面612bとを重ね合わせて、第一球面軸受6aの台金61aに形成された座繰り貫通穴613aにボルト8を挿入して、第二球面軸受6bの台金61bに形成されたネジ穴613bにボルト8を螺合させ、第一球面軸受6aおよび第二球面軸受6bを連結することにより、軸受装置3は、図4に示すように組み立てられる。
図8(A)は、ハウジング7の正面図であり、図8(B)は、図8(A)に示すハウジング7のE−E断面図である。
ハウジング7には、一方の面71から他方の面72に貫通した軸受装置3保持用の貫通穴70と、一方の面71側に形成されたストッパ8取付用のネジ穴73と、が形成されている。ハウジング7の貫通穴70は、軸受装置3抜け止め用の段差74を有する段付き穴であり、円環状のストッパ8の内径より大径の大径部75を有する。軸受装置3を、ハウジング7の一方の面71から貫通穴70に挿入して、この段差74と当接させることにより貫通穴70の大径部75に収容するとともに、ハウジング7の一方の面71にストッパ8を配置し、このストッパ8を介してボルト92をストッパ8取付用のネジ穴73に螺合させて、ストッパ8をハウジング7の一方の面71に取り付けることにより、貫通穴70の大径部75に収容された軸受装置3はハウジング7に固定される。
以上のようにしてハウジング7に固定された軸受装置3の円筒ブッシュ5には、ロール2のシャフト21の先端部24が挿入される。ロール2のロール本体20の両端面22から突出したシャフト21のそれぞれの先端部24がハウジング7に固定された軸受装置3の円筒ブッシュ5に挿入されることにより、ロール2は、図1に示すように一対の軸受装置3によって支持される。
つぎに、上記構成のロール装置1において、軸受装置3への給気中におけるロール2の支持状態を説明する。
図9は、図1のF部拡大図であり、軸受装置3への給気中におけるロール2の支持状態を模式的に示した図である。
図示するように、ロール装置1において、ポンプ(不図示)から、軸受装置3の第一球面軸受6a内に形成された通気路616aに圧縮気体が供給されると、第一球面軸受6aの台金61aの貫通穴610aの内壁614aに形成された環状溝615aを介して、多孔質焼結層60aの凹球面状軸受面601aから圧縮気体が均一に放出される。また、第一球面軸受6aの台金61a内に形成された通気路616aに供給された圧縮気体は、軸受装置3の第二球面軸受6bの台金61b内に形成された通気路616bに供給され、第二球面軸受6bの台金61bの貫通穴610bの内壁614bに形成された環状溝615bを介して、多孔質焼結層60bの凹球面状軸受面601bから均一に放出される。その結果、第一球面軸受6aの多孔質焼結層60aの凹球面状軸受面601aおよび第二球面軸受6bの多孔質焼結層60bの凹球面状軸受面601bと、球面ブッシュ4の凸球面状支持対象面42との間の隙間Δtに圧縮気体膜が形成される。これにより、第一球面軸受6aおよび第二球面軸受6bは、この圧縮気体膜を介して球面ブッシュ4を、球面ブッシュ4の凸球面状支持対象面42によって定義される球体の中心に対して回動自在に非接触で支持する。このため、球面ブッシュ4の貫通穴40に装着された円筒ブッシュ5に挿入されたロール2のシャフト21は、傾斜かつ回転自在に保持される。また、第一球面軸受6aの多孔質焼結層60aの凹球面状軸受面601aおよび第二球面軸受6bの多孔質焼結層60bの凹球面状軸受面601bと、球面ブッシュ40の凸球面状支持対象面42との間に摩擦力は発生せず、ロール2の円滑な回転を実現できる。
また、球面ブッシュ4の貫通穴40に装着された円筒ブッシュ5の内周面50には滑り軸受面51が形成されており、ロール2のシャフト21の先端部24の外周面26が円筒ブッシュ5の滑り軸受面51と摺接するので、ロール2の撓み等によるシャフト21のスラスト方向の変動を許容することができ、これにより、ロール2のより円滑な回転を実現できる。
以上、本発明の一実施の形態について説明した。
なお、本発明は上記の実施の形態に限定されるものではなく、その要旨の範囲内で数々の変形が可能である。
例えば、上記の実施の形態において、円筒ブッシュ5を省略してもよい。この場合、球面ブッシュ4の貫通穴40の内壁に滑り軸受面を形成して、この滑り軸受面とロール2のシャフト21の先端部24の外周面26とを摺接させることが好ましい。なお、ロール2の尺が短く、このためロール2の撓み等によるシャフト21のスラスト方向の変動を考慮する必要がない場合には、球面ブッシュ4の貫通穴40の内壁に滑り軸受面を形成することなく、シャフト21をこの貫通穴40に挿入して、球面ブッシュ4をシャフト21に装着させてもよい。
また、上記の実施の形態では、軸受装置3をロール装置1に用いた場合を例にとり説明したが、本発明はこれに限定されない。本発明の軸受装置は、回転体を傾斜かつ回転自在に非接触で支持する装置に広く適用できる。また、上記の実施の形態では、第一球面軸受6aおよび第二球面軸受6bを軸受装置3に用いた場合を例にとり説明したが、本発明はこれに限定されない。本発明の球面軸受は、凸球面状支持対象面を有する支持対象を非接触で支持するものであればよい。
1:ロール装置、 2:ロール、 3:軸受装置、 4:球面ブッシュ、 5:円筒ブッシュ、 6a:第一球面軸受、 6b:第二球面軸受、 7:ハウジング、 8:ストッパ、 20:ロール本体、 21:シャフト、 22:ロール本体の端面、 23:シャフトの根元部、 24:シャフトの先端部、 25:シャフトの段差面、 26:シャフトの先端部の外周面、 40:球面ブッシュの貫通穴、 41:球面ブッシュの外周面、 42:凸球面状支持対象面、 50:円筒ブッシュの内周面、 51:滑り軸受面、 60a、60b:多孔質焼結層、 61a、61b:台金、 70:ハウジングの貫通穴、 71、72:ハウジングの面、 73:ネジ穴、 74:ハウジングの貫通穴の段差、 75:ハウジングの貫通穴の大径部、 600a、600b:多孔質焼結層の表面、 601a、601b:凹球面状軸受面、 610a、610b:台金の貫通穴、 611a、611b:小径開口側端面、 612a、612b:大径開口側端面、 613a:座繰り貫通穴、 613b:ネジ穴、 614a、614b:台金の貫通穴の内壁、 615a、615b:環状溝、 616a、616b:通気路

Claims (8)

  1. 凸球面状支持対象面を有する支持対象を非接触で支持する球面軸受であって、
    前記凸球面状支持対象面と対面する凹球面状軸受面を有する多孔質焼結層と、
    前記多孔質焼結層に圧縮気体を供給する通気路が形成された前記多孔質焼結層の台金と、を備える
    ことを特徴とする球面軸受。
  2. 請求項1に記載の球面軸受であって、
    前記台金には、貫通穴が形成されており、
    前記多孔質焼結層は、前記台金の貫通穴の内壁面上に形成されている
    ことを特徴とする球面軸受。
  3. 請求項2に記載の球面軸受であって、
    前記台金の前記貫通穴の内壁面は、円錐台状に形成されている
    ことを特徴とする球面軸受。
  4. 請求項3に記載の球面軸受であって、
    前記凹球面状軸受面は、
    前記台金の貫通穴の円錐台状の内壁面上に形成された前記多孔質焼結層の表面を加工することにより形成されている
    ことを特徴とする球面軸受。
  5. シャフトを支持する軸受装置であって、
    前記シャフトに装着され、外周面に凸球面状支持対象面が形成された球面ブッシュと、
    前記球面ブッシュの前記凸球面状支持対象面と対面する凹球面状軸受面を有し、前記球面ブッシュを非接触で支持する一対の請求項2ないし4のいずれか一項に記載の球面軸受と、を備え、
    一対の前記球面軸受は、それぞれの前記凹球面状軸受面が同じ球体の球面を構成するように互いに対面し、
    前記球面ブッシュは、
    前記一対の球面軸受の前記凹球面状軸受面間に配置されている
    ことを特徴とする軸受装置。
  6. 請求項5に記載の軸受装置であって、
    前記球面ブッシュは、
    前記シャフトを装着するための挿入孔の内壁に、前記シャフトの外周面と摺接する軸受面を有する
    ことを特徴とする軸受装置。
  7. 請求項5に記載の軸受装置であって、
    前記球面ブッシュは、
    前記シャフトを装着するための挿入孔に挿入された円筒ブッシュを有し、
    前記シャフトは、
    前記円筒ブッシュに挿入されている
    ことを特徴とする軸受装置。
  8. ロールを非接触で支持するロール装置であって、
    前記ロールに連結されたシャフトと、
    前記シャフトを支持する請求項5ないし7のいずれか一項に記載の軸受装置と、を備える
    ことを特徴とするロール装置。
JP2014128679A 2014-06-23 2014-06-23 軸受装置およびロール装置 Active JP6387254B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2014128679A JP6387254B2 (ja) 2014-06-23 2014-06-23 軸受装置およびロール装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2014128679A JP6387254B2 (ja) 2014-06-23 2014-06-23 軸受装置およびロール装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2016008644A true JP2016008644A (ja) 2016-01-18
JP6387254B2 JP6387254B2 (ja) 2018-09-05

Family

ID=55226348

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2014128679A Active JP6387254B2 (ja) 2014-06-23 2014-06-23 軸受装置およびロール装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP6387254B2 (ja)

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR972570A (fr) * 1948-09-29 1951-01-31 Coussinet lisse
FR975246A (fr) * 1948-11-18 1951-03-02 Mecanique Ind Soc D Perfectionnements aux roulements
JPH04126016U (ja) * 1991-05-08 1992-11-17 三菱重工業株式会社 すべり軸受
JP2011520074A (ja) * 2008-05-01 2011-07-14 ローラー ベアリング カンパニー オブ アメリカ インコーポレーテッド 自己潤滑性の表面被覆複合材料
JP2012077870A (ja) * 2010-10-04 2012-04-19 Ntn Corp 球面滑り軸受およびその製造方法
JP2013092223A (ja) * 2011-10-26 2013-05-16 Oiles Corp エアロールユニット
JP2013224848A (ja) * 2012-04-20 2013-10-31 Oiles Ind Co Ltd 調心機構、スラスト回転試験機、およびトルク測定装置

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR972570A (fr) * 1948-09-29 1951-01-31 Coussinet lisse
FR975246A (fr) * 1948-11-18 1951-03-02 Mecanique Ind Soc D Perfectionnements aux roulements
JPH04126016U (ja) * 1991-05-08 1992-11-17 三菱重工業株式会社 すべり軸受
JP2011520074A (ja) * 2008-05-01 2011-07-14 ローラー ベアリング カンパニー オブ アメリカ インコーポレーテッド 自己潤滑性の表面被覆複合材料
JP2012077870A (ja) * 2010-10-04 2012-04-19 Ntn Corp 球面滑り軸受およびその製造方法
JP2013092223A (ja) * 2011-10-26 2013-05-16 Oiles Corp エアロールユニット
JP2013224848A (ja) * 2012-04-20 2013-10-31 Oiles Ind Co Ltd 調心機構、スラスト回転試験機、およびトルク測定装置

Also Published As

Publication number Publication date
JP6387254B2 (ja) 2018-09-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO2004081994A3 (en) Substrate support lift mechanism
EP1564791A3 (en) Substrate support bushing
CN104541077B (zh) 静压气体轴承单元
JP2018140597A (ja) カッターホルダ取付構造並びにホルダジョイント
JP5851780B2 (ja) エアベアリングユニット
KR20180016241A (ko) 스크라이브 헤드 및 그것을 구비한 스크라이브 장치
US10605302B2 (en) Tilting pad gas bearing
JP6387254B2 (ja) 軸受装置およびロール装置
JP2004225897A (ja) 遊星サテライトのアセンブリ構成
JP5281542B2 (ja) チップホルダユニット
CN203730561U (zh) 静压气体轴承
US20170298991A1 (en) Bearing housing incorporating cooling passages
WO2016080000A1 (ja) ティルティングパッド軸受
JP5997428B2 (ja) エアロールユニット
US10158269B1 (en) Electric motor and heat sink apparatus using the same
WO2015125958A1 (ja) ロール装置
US20070223852A1 (en) Ceramic bearing
JP2011093188A (ja) チップホルダユニット
JP2010025208A (ja) ロール装置
JP2016041946A (ja) ロール装置
JP2014065213A (ja) チップホルダユニット
JP2013202637A (ja) ガイドローラー
CN105782222A (zh) 一种阶梯型转轴
JP2010133489A (ja) 外面ねじ溝付き直動軸受及びその製造方法
WO2018158905A1 (ja) 回転操作部品

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20170508

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20180119

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20180206

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20180326

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20180724

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20180813

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6387254

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250