JP2016000381A

JP2016000381A - 酸性ガス処理方法および酸性ガス処理装置

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Publication number: JP2016000381A
Application number: JP2014121010A
Authority: JP
Inventors: 広田　健; Takeshi Hirota; 健広田; 横山　公一; Koichi Yokoyama; 公一横山; 宮本　英治; Eiji Miyamoto; 英治宮本; 島村　潤; Jun Shimamura; 潤島村
Original assignee: Mitsubishi Hitachi Power Systems Ltd
Current assignee: Mitsubishi Power Ltd
Priority date: 2014-06-11
Filing date: 2014-06-11
Publication date: 2016-01-07

Abstract

【課題】ＣＯ2吸収液の使用寿命を延ばし、被処理ガスに含まれる二酸化窒素、二酸化硫黄、および二酸化炭素を効率的且つ安価に除去するための酸性ガス処理方法および酸性ガス処理装置を提供する。【解決手段】二酸化窒素、二酸化硫黄および二酸化炭素を含む被処理ガスを冷却水に向流接触させ、向流接触させた前記被処理ガスを別の冷却水に並流接触させ、並流接触させた前記被処理ガスをフィルタに通して該被処理ガス中のミストを除去し、次いで、ミスト除去された前記被処理ガスをアミン化合物を含有するＣＯ2リーン吸収液に接触させることを含む方法によって酸性ガスを処理する。【選択図】図１

Description

本発明は、酸性ガス処理方法および酸性ガス処理装置に関する。より詳細に、本発明は、ＣＯ₂吸収液の使用寿命を延ばし、被処理ガスに含まれる二酸化窒素、二酸化硫黄、および二酸化炭素（これらを酸性ガスと呼ぶことがある。）を効率的且つ安価に除去するための酸性ガス処理方法および酸性ガス処理装置に関する。

火力発電所などで使用されるボイラは二酸化炭素、二酸化硫黄、一酸化窒素、二酸化窒素などの酸性ガスを多量に排出する設備の一つである。酸性ガスは、地球温暖化、酸性雨、光化学スモッグなどの原因物質と考えられている。この中で、地球温暖化は、全世界的な環境変動を引き起こし、異常気象による、災害の発生、農作物の生育不良などをもたらす恐れがある。そのため、温暖化原因物質のひとつと考えられている二酸化炭素の排出抑制に向けた対策が講じられている。二酸化炭素の排出抑制手段として、アルカノールアミンなどのアミン化合物を含む液（ＣＯ₂吸収液）による二酸化炭素の吸収を利用した脱炭酸装置が知られている。

環境規制の厳しい地域においては、ボイラなどから発生する燃焼排ガス中の、二酸化窒素、二酸化硫黄、および二酸化炭素は、それぞれ、脱硝装置、脱硫装置、および脱炭酸装置によって除去されている。脱硝装置としては、アンモニウム接触還元法を利用した装置などが用いられる。脱硫装置としては、湿式石灰石膏法を利用した装置、アルカリ溶液吸収法や石灰スラリー吸収法を利用した装置、スプレードライ法を利用した装置、活性炭吸着法を利用した装置などが用いられる。また、特許文献１や２に開示されるように、脱硫部とガス冷却部とを脱炭素装置の前段に設けてなる装置が提案されている。

このような脱硝、脱硫、冷却の処理が施された燃焼排ガスであっても、二酸化窒素および二酸化硫黄が微量に含まれている。燃焼排ガスに含まれている一酸化窒素は、脱硫部または冷却部（ブレスクラバ）を通っても、ほとんど除去されない。一部の一酸化窒素は酸素との反応によって二酸化窒素に転化する。
二酸化硫黄および二酸化窒素は、ＣＯ₂吸収液に含まれるアミン化合物との反応によって、アミン硫酸塩、アミン亜硫酸塩、アミン亜硝酸塩、アミン硝酸塩などを生成する。これらのアミン塩は、ＣＯ₂吸収液の性能を低下させる。燃焼排ガスの処理量は膨大であるので、微量に残る二酸化窒素および二酸化硫黄を無視することができない。

特開２００８−１２６１５４号公報特開２０１３−１８０２８１号公報

本発明の目的は、ＣＯ₂吸収液の使用寿命を延ばし、被処理ガスに含まれる二酸化窒素、二酸化硫黄、および二酸化炭素を効率的且つ安価に除去するための酸性ガス処理方法および酸性ガス処理装置を提供することである。

上記目的を達成するために検討した結果、以下の実施形態を包含する本発明を完成するに至った。

〔１〕二酸化窒素、二酸化硫黄および二酸化炭素を含む被処理ガスを冷却水に向流接触させ、向流接触させた前記被処理ガスを別の冷却水に並流接触させ、並流接触させた前記被処理ガスをミスト除去具に通して該被処理ガス中のミストを除去し、次いで、ミスト除去された前記被処理ガスをアミン化合物を含有するＣＯ₂リーン吸収液に接触させることを含む、酸性ガス処理方法。

〔２〕並流接触させた前記被処理ガスを６秒以下の平均滞留時間でアミン化合物を含有するＣＯ₂リーン吸収液に接触させる、〔１〕に記載の処理方法。
〔３〕向流接触に使用した冷却水と並流接触に使用した冷却水とを混ぜ合わせ、該混合冷却水を向流接触または並流接触させる冷却水に再使用する、〔１〕または〔２〕に記載の処理方法。
〔４〕冷却水の水素イオン濃度を７〜１０に調整する、〔１〕〜〔３〕のいずれかひとつに記載の処理方法。
〔５〕冷却水が、水酸化ナトリウムを含む水溶液または水酸化カリウムを含む水溶液である、〔１〕〜〔４〕のいずれかひとつに記載の処理方法。

〔６〕二酸化窒素、二酸化硫黄および二酸化炭素を含む被処理ガスと冷却水とを向流接触させるための第一冷却部、第一冷却部で冷やされた前記被処理ガスと別の冷却水とを並流接触させるための第二冷却部、第二冷却部を通過した前記被処理ガスからミストを除去するためのミスト除去具、およびミスト除去された前記被処理ガスとアミン化合物を含有するＣＯ₂リーン吸収液とを接触させるための吸収部を有する酸性ガス処理装置。

〔７〕第二冷却部のガス出口から吸収部のガス入口までの前記被処理ガスの平均滞留時間が６秒以下である、〔６〕に記載の処理装置。
〔８〕第一冷却部向に使用された冷却水と第二冷却部に使用された冷却水とからなる混合冷却水を貯留するための槽、および混合冷却水を第一冷却部および第二冷却部のそれぞれに供給するための循環ラインをさらに有する、〔６〕または〔７〕に記載の処理装置。
〔９〕冷却水の水素イオン濃度を７〜１０に調整するための手段をさらに有する、〔６〕〜〔８〕のいずれかひとつに記載の処理装置。
〔１０〕冷却水が、水酸化ナトリウムを含む水溶液または水酸化カリウムを含む水溶液である、〔６〕〜〔９〕のいずれかひとつに記載の処理装置。

本発明の酸性ガス処理方法および酸性ガス処理装置によれば、二酸化窒素、二酸化硫黄及び二酸化炭素を含有する排気ガス中から、二酸化炭素、二酸化窒素及び二酸化硫黄を効率良く且つ安価に除去することができる。また、二酸化炭素の吸収に使用されるＣＯ₂吸収液の使用寿命を延ばすことができる。

本発明の酸性ガス処理方法を実施するための装置の一例を示す図である。冷却塔から吸収塔までの平均滞留時間に対する二酸化窒素生成量との関係を示す図である。比較例１を実施するための装置を示す図である。比較例２を実施するための装置を示す図である。

火力発電設備からの燃焼排ガスには、二酸化硫黄５００〜１５００ｐｐｍ、一酸化窒素３００〜５００ｐｐｍ、および二酸化窒素６〜２０ｐｐｍが含まれている。このような燃焼排ガスを脱炭酸装置で処理すると、ＣＯ₂吸収液に含まれるアミン化合物と二酸化窒素及び二酸化硫黄が反応して、アミン亜硝酸塩、アミン硝酸塩、アミン亜硫酸塩、アミン硫酸塩などのアミン塩を生成する。

脱炭酸装置におけるアミン塩の生成を減らすために、脱炭酸装置の前段に冷却塔を設置することが知られている。冷却塔は、二酸化硫黄を高率で除去できるが、二酸化窒素を高率で除去することができない。操業条件によって異なるが、冷却塔は、例えば、二酸化硫黄を５００〜１５００ｐｐｍから０．５〜２ｐｐｍに減らすことができるが、二酸化窒素を６〜２０ｐｐｍから２〜１０ｐｐｍに減らすだけである。

冷却塔を通過した燃焼排ガスには、３００〜５００ｐｐｍの一酸化窒素が未だに含まれている。一酸化窒素は酸素と反応して二酸化窒素に転化することがある。向流型冷却塔では、通常、ガスを底部から頂部に向けて流す。向流型吸収塔でも、通常、ガスを底部から頂部に向けて流す。よって、向流型冷却塔の頂部から出たガスは向流型ＣＯ₂吸収塔の底部に送られる。向流型冷却塔の頂部から向流型ＣＯ₂吸収塔の底部までの平均滞留時間が１０秒程度である場合、他の操業条件によっても異なるが、この１０秒間に、例えば、一酸化窒素が約４〜６．５ｐｐｍの二酸化窒素に転化する。その結果、ＣＯ₂吸収塔の底部にあるガス供給口に入るガスは二酸化窒素を約６〜１６．５ｐｐｍ含有することになる。

本発明では、冷却塔を少なくとも二段にし、一段目は被処理ガスを冷却水に向流接触させ、二段目は被処理ガスを冷却水に並流接触させる。このようにすることによって、被処理ガス中から二酸化窒素を効率よく除去することができる。また、並流型冷却塔では、通常、ガスを頂部から底部に向けて流す。よって、一段目の向流型冷却塔の頂部から出たガスは二段目の並流型冷却塔の頂部に送られ、二段目の並流型冷却塔の底部から出たガスは向流型ＣＯ₂吸収塔の底部に送られる。二段目の並流型冷却塔のガス出口から向流型ＣＯ₂吸収塔のガス入口までの距離は、従来の冷却塔を用いた場合の１／２以下である。二段目の並流型冷却塔の底部から向流型ＣＯ₂吸収塔の底部までの平均滞留時間を大幅に短くすることができる。その結果、一酸化窒素から二酸化窒素に転化する量を減らすことができる。平均滞留時間に対する生成二酸化窒素濃度の関係を図２に示す。二段目の並流型冷却塔の底部から向流型ＣＯ₂吸収塔の底部までの平均滞留時間を、好ましくは６秒以下に、より好ましくは３秒以下にすると、二酸化窒素の生成が大幅に減る。

並流型冷却塔を通過したガスには冷却水のミストが同伴している。そこで、二段目の冷却塔のガス出口と吸収塔のガス入口との間にミスト除去具（例えば、ミストエルミネータなど）を設置することが望ましい。
１段目冷却塔および２段目冷却塔には、同種の冷却水を用いてもよいし、異種の冷却水を用いてもよい。同種冷却水を用いることにすれば、冷却水の貯槽をひとつにすることができる。また、冷却水は水素イオン濃度（ｐＨ）が７〜１０であることが酸性ガスの除去効率の観点から好ましい。また、冷却水は、水酸化ナトリウム水溶液または水酸化カリウム水溶液であることが効率良く酸性ガスを除去することができるという観点から好ましい。
さらに、本発明においては、冷却塔を二段設けているので、冷却塔の前段に設置することがある脱硫装置を省略することが可能である。

次に、図１に基づいて本発明に係る酸性ガス処理方法をより詳細に説明する。
排ガス22を第一冷却塔2の底部に流入させる。冷却水槽1から冷却水が熱交換器6で冷やされ第一冷却塔2の頂部に供給される。ｐＨ測定値に基いて供給量が制御された苛性ソーダ水溶液を供給ライン7から冷却水に添加することによって、冷却水のｐＨ制御を行う。
第一冷却塔2の第一充填床4にて排ガス22と冷却水とが向流接触する。排ガス22に含まれる二酸化硫黄及び二酸化窒素が冷却水に吸収され排ガス22から除去される。

続いて、排ガスを第一冷却塔の頂部から第二冷却塔3の頂部に流入させる。冷却水槽1から冷却水が熱交換器8で冷やされ第二冷却塔3の頂部に供給される。ｐＨ測定値に基いて供給量が制御された苛性ソーダ水溶液を供給ライン9から冷却水に添加することによって、冷却水のｐＨ制御を行う。
第二冷却塔3の第二充填床5にて排ガスと冷却水とが並流接触する。排ガスに残留する二酸化硫黄及び二酸化窒素が冷却水に吸収され排ガスから除去される。

第二冷却塔3の底部からミストエルミネータを経てＣＯ₂吸収塔に排ガスを送る。ミストエルミネータにおいて排ガス（ＣＯ₂リッチ排ガス）に同伴する冷却水ミストが除去される。第一冷却塔2および第二冷却塔3を下降した冷却水はそれぞれ冷却水槽1に戻され再使用される。

ミストが除去されたＣＯ₂リッチ排ガスは、ＣＯ₂吸収塔内を上昇する。吸収部14の直上にあるノズルからＣＯ₂リーン吸収液が降り注がれる。ＣＯ₂リーン吸収液はアミン化合物を含有する水溶液である。

ＣＯ₂吸収液に含まれるアミン化合物としては、モノエタノールアミン、２−アミノ−２−メチル−１−プロパノールのようなアルコール性水酸基含有１級アミン類、ジエタノールアミン、２−メチルアミノエタノールのようなアルコール性水酸基含有２級アミン類、トリエタノールアミン、Ｎ−メチルジエタノールアミンのようなアルコール性水酸基含有３級アミン類、エチレンジアミン、トリエチレンジアミン、ジエチレントリアミンのようなポリエチレンポリアミン類、ピペラジン類、ピペリジン類、ピロリジン類のような環状アミン類、キシリレンジアミンのようなポリアミン類、メチルアミノカルボン酸のようなアミノ酸類などが挙げられる。また、前記ＣＯ₂吸収液には二酸化炭素吸収促進剤或いは腐食防止剤、更には、その他の媒体としてメタノール、ポリエチレングリコール、スルフォラン等が含まれていてもよい。

吸収部14にてＣＯ₂リッチ吸収排ガスとＣＯ₂リーン吸収液とを向流接触させて、二酸化炭素をＣＯ₂リーン吸収液に吸収させる。そして、吸収部の頂部からＣＯ₂リーン排ガスを排出し、吸収部の底部からＣＯ₂リッチ吸収液を排出する。吸収部14の構造は特に制限されず、例えば、ラシヒリングなどを充填した充填床であってもよいし、棚段であってもよい。ＣＯ₂リーン排ガスは、水洗部15にて該排ガスに同伴するＣＯ₂リーン吸収液が洗い流されて、吸収塔頂部のガス出口16から放出される。

吸収塔の底部13から抜き出されたＣＯ₂リッチ吸収液は熱交換器17にて加熱されて再生塔（脱離塔）の脱離部20の上部に在るノズルから降り注がれる。降り注がれた液は脱離部20を下降し、再生塔の底部19に溜まる。再生塔の底部に溜まる液は、二酸化炭素の含有量が少なく、ＣＯ₂リーン吸収液と呼ばれる。再生塔の底部にはリボイラ（図示せず。）が付設されている。リボイラでＣＯ₂リーン吸収液が加熱され気化された蒸気が脱離部20を上昇し、脱離部20を下降するＣＯ₂リッチ吸収液を加熱して約１００〜１２５℃の温度にし二酸化炭素を脱離させる。脱離部20の構造は特に制限されず、例えば、ラシヒリングなどを充填した充填床であってもよいし、棚段であってもよい。

再生塔の底部に溜まったＣＯ₂リーン吸収液は抜き出されて熱交換器17にて冷却され、吸収塔に戻される。なお、熱交換器17では再生塔底部から抜き出されたＣＯ₂リーン吸収液（１１０〜１２０℃程度）と吸収塔底部から抜き出されたＣＯ₂リッチ吸収液（５０〜６０℃程度）との間で熱交換が行われる。熱交換器としては、スパイラル式熱交換器、プレート式熱交換器、多管円筒式熱交換器など、既存の熱交換器を用いることができる。

以下に実施例を示して本発明をより具体的に説明する。なお、本発明はこれら実施例によって限定されるものではない。

実施例１
図１に示すシステムを用いて試験を行った。
第一冷却塔は直径２ｍ及び高さ３ｍの第一充填床を有する。第二冷却塔は直径２ｍ及び高さ３ｍの第二充填床を有する。冷却水貯槽に２００Ｌの水を入れた。第一冷却塔の上部に設置した噴霧ノズルからＬ／Ｇ＝３となるように送液ポンプで冷却水を供給した。また、第二冷却塔の上部に設置した噴霧ノズルからＬ／Ｇ＝３となるように送液ポンプで冷却水を供給した。小型ポンプを用いて３０％水酸化ナトリウム水溶液を冷却水に注入して、冷却水のｐＨを８に調整した。

表１に示すガス組成の模擬排ガスを用意した。模擬排ガスは、二酸化硫黄１０００ｐｐｍ、一酸化窒素５００ｐｐｍ、二酸化窒素１０ｐｐｍ、二酸化炭素１０％、および酸素１２％を体積比で含むものである。模擬排ガスと冷却水とを、第一冷却塔では向流接触させるように、第二冷却塔では並流接触させるようにした。

第二冷却塔のガス出口からＣＯ₂吸収塔のガス入口までを４ｍの配管で繋いで、模擬ガスの平均滞留時間を２秒に設定した。

３０％モノエタノールアミン水溶液１２０ＬをＣＯ₂吸収液として用意した。ＣＯ₂吸収塔の吸収部の上からＬ／Ｇ＝３となるようにＣＯ₂吸収液を供給した。

以上の条件にて運転を開始し、定常状態になったところで、第一冷却塔のガス入口、第二冷却塔のガス出口、およびＣＯ₂吸収塔のガス入口において、二酸化硫黄および二酸化窒素の濃度を測定した。また、ＣＯ₂吸収液に蓄積されたＳＯ₂化合物及びＮＯ₂化合物の量を測定した。それらの結果を表２に示す。
なお、表２中のＣＯ₂吸収液中のＳＯ₂化合物及びＮＯ₂化合物の相対蓄積量は、実施例１におけるＣＯ₂吸収液中のＳＯ₂化合物及びＮＯ₂化合物の蓄積量を基準にした相対値である。

実施例２
３０％水酸化ナトリウム水溶液の注入を止め、洗浄水のｐＨ制御を行わなかったこと以外は実施例１と同じ方法で試験を行った。結果を表２に示す。

実施例３
洗浄水のｐＨが７になるように制御したこと以外は実施例１と同じ方法で試験を行った。結果を表２に示す。

実施例４
洗浄水のｐＨが９になるように制御したこと以外は実施例１と同じ方法で試験を行った。結果を表２に示す。

実施例５
洗浄水のｐＨが１０になるように制御したこと以外は実施例１と同じ方法で試験を行った。結果を表２に示す。

実施例６
第二冷却塔のガス出口からＣＯ₂吸収塔のガス入口までの配管の長さを１２ｍに変えて、模擬ガスの平均滞留時間を６秒に設定したこと以外は実施例１と同じ方法で試験を行った。結果を表２に示す。

比較例１
図３に示すシステムを用いて試験を行った。
冷却塔は直径１ｍ及び高さ６ｍの充填床を有する。冷却水貯槽に２００Ｌの水を入れた。冷却塔の上部に設置した噴霧ノズルからＬ／Ｇ＝３となるように送液ポンプで冷却水を供給した。小型ポンプを用いて３０％水酸化ナトリウム水溶液を冷却水に注入して、冷却水のｐＨを８に調整した。模擬排ガスと冷却水とを冷却塔内にて向流接触させるようにした。

表１に示すガス組成の模擬排ガスを用意した。冷却塔のガス出口からＣＯ₂吸収塔のガス入口までを２０ｍの配管で繋いで、模擬ガスの平均滞留時間を１０秒に設定した。

以上の条件にて運転を開始し、定常状態になったところで、冷却塔のガス入口、冷却塔のガス出口、およびＣＯ₂吸収塔のガス入口において、二酸化硫黄および二酸化窒素の濃度を測定した。また、ＣＯ₂吸収液に蓄積されたＳＯ₂化合物およびＮＯ₂化合物の量を測定した。それらの結果を表２に示す。

比較例２
図４に示すシステムを用いて試験を行った。
第一冷却塔は直径１ｍ及び高さ３ｍの第一充填床を有する。第二冷却塔は直径１ｍ及び高さ３ｍの第二充填床を有する。冷却水貯槽に２００Ｌの水を入れた。第一冷却塔の上部に設置した噴霧ノズルからＬ／Ｇ＝３となるように送液ポンプで冷却水を供給した。また、第二冷却塔の上部に設置した噴霧ノズルからＬ／Ｇ＝３となるように送液ポンプで冷却水を供給した。小型ポンプを用いて３０％水酸化ナトリウム水溶液を冷却水に注入して、冷却水のｐＨを８に調整した。

表１に示すガス組成の模擬排ガスを用意した。模擬排ガスと冷却水とを、第一冷却塔および第二冷却塔ではともに向流接触させるようにした。

第二冷却塔のガス出口からＣＯ₂吸収塔のガス入口までを２４ｍの配管で繋いで、模擬ガスの平均滞留時間を１２秒に設定した。

以上の条件にて運転を開始し、定常状態になったところで、第一冷却塔のガス入口、第二冷却塔のガス出口、およびＣＯ₂吸収塔のガス入口において、二酸化硫黄および二酸化窒素の濃度を測定した。また、ＣＯ₂吸収液に蓄積されたＳＯ₂化合物およびＮＯ₂化合物の量を測定した。それらの結果を表２に示す。

表２に示すとおり、模擬排ガスと冷却水とを、第一冷却塔では向流接触させるように、第二冷却塔では並流接触させるようにしたシステム（実施例）では、ＣＯ₂吸収塔のガス入口におけるＮＯ₂濃度およびＳＯ₂濃度が低い。さらに、ＣＯ₂吸収液に蓄積するＳＯ₂化合物およびＮＯ₂化合物の量が少ない。

１冷却水槽
２第一冷却塔
３第二冷却塔
４第一充填床
５第一充填床
６第一熱交換器
７苛性ソーダ水溶液供給ライン
８第二熱交換器
９苛性ソーダ水溶液供給ライン
１０送液ポンプ
１１送液ポンプ
１２ミストエルミネータ
１３ＣＯ₂リッチ吸収液槽
１４吸収部（充填床）
１５水洗部
１６ＣＯ₂リーン排ガス出口
１７熱交換器
１８送液ポンプ
１９ＣＯ₂リッチ吸収液槽
２０脱離部（充填床）
２１回収されたＣＯ₂ガス出口
２２燃焼排ガス（酸性ガス含有）

Claims

二酸化窒素、二酸化硫黄および二酸化炭素を含む被処理ガスを冷却水に向流接触させ、
向流接触させた前記被処理ガスを別の冷却水に並流接触させ、
並流接触させた前記被処理ガスをミスト除去具に通して該被処理ガス中のミストを除去し、
次いで、ミスト除去された前記被処理ガスをアミン化合物を含有するＣＯ₂リーン吸収液に接触させることを含む、酸性ガス処理方法。
並流接触させた前記被処理ガスを６秒以下の平均滞留時間でアミン化合物を含有するＣＯ₂リーン吸収液に接触させる、請求項１に記載の処理方法。
向流接触に使用した冷却水と並流接触に使用した冷却水とを混ぜ合わせ、該混合冷却水を向流接触または並流接触させる冷却水に再使用することを含む、請求項１または２に記載の処理方法。
冷却水の水素イオン濃度を７〜１０に調整する、請求項１〜３のいずれかひとつに記載の処理方法。
冷却水が、水酸化ナトリウムを含む水溶液または水酸化カリウムを含む水溶液である、請求項１〜４のいずれかひとつに記載の処理方法。
二酸化窒素、二酸化硫黄および二酸化炭素を含む被処理ガスと冷却水とを向流接触させるための第一冷却部、
第一冷却部で冷やされた前記被処理ガスと別の冷却水とを並流接触させるための第二冷却部、
第二冷却部を通過した前記被処理ガスからミストを除去するためのミスト除去具、
および
ミスト除去された前記被処理ガスとアミン化合物を含有するＣＯ₂リーン吸収液とを接触させるための吸収部
を有する酸性ガス処理装置。
第二冷却部のガス出口から吸収部のガス入口までの前記被処理ガスの平均滞留時間が６秒以下である、請求項６に記載の処理装置。
第一冷却部向に使用された冷却水と第二冷却部に使用された冷却水とからなる混合冷却水を貯留するための槽、および
混合冷却水を第一冷却部および第二冷却部のそれぞれに供給するための循環ラインをさらに有する、請求項６または７に記載の処理装置。
冷却水の水素イオン濃度を７〜１０に調整するための手段をさらに有する、請求項６〜８のいずれかひとつに記載の処理装置。
冷却水が、水酸化ナトリウムを含む水溶液または水酸化カリウムを含む水溶液である、請求項６〜９のいずれかひとつに記載の処理装置。