JP2015532512A - イメージシーケンスのイメージ同士を組み合わせることによる試料の電子ビームイメージングの方法 - Google Patents
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Abstract
Description
代えて、CMOS方式の電子カメラが、試料のイメージからなるシーケンスを収集してもよく、伴われる各イメージの間の不感時間はごく僅かであるので、1つの電子露出が、複数のイメージに区分けされることになる。いずれの場合においても、試料の複数のイメージからなるシーケンスは、1つの静的な試料イメージを形成するために組み合わせられる(例えば、加算による)。
。その方法は、最終的なイメージを生成するように、処理されたイメージを組み合わせる工程130をさらに備える。下記のように、ローパスイメージ処理フィルタを利用する上記の方法は、イメージングされる試料16に対する照射の損傷を補償又は補正するために特に適している。
4の電子束を測定することによって測定されたりすることがある。露出時間は、露出の開始とイメージシーケンスのイメージの取得との間に経過した時間である。イメージシーケンスが、イメージ同士の間に不感時間がなく、あるフレームレートにおいて取り込まれることを可能にする直接検出カメラについて、露出時間は、各イメージについての時間(フレームレートの数学的な逆数)と、イメージシーケンスのイメージのインデックス(一連の番号)とを乗算することによって単純に計算される。
数における、イメージ全体にわたる全情報を表す)との間においてイメージを変換する数学的技術である。TEMイメージの2次元フーリエ変換は、顕微鏡のコントラスト伝達関数(CTF)により示される特定の特性を有する。例えば、焦点が外れて収集されたTEMイメージの2次元フーリエ変換は、同心のリング(トーンリングと呼ばれる)のパターンを示す。そのリングの直径は、イメージの焦点が外れている程度に依存する。1つのイメージに対応するトーンリングの直径は、イメージシーケンスの別のイメージのトーンリングの直径と比較され得る。そのリングの振幅(又は輝度)は、対応する空間周波数(解像度)における情報の程度(信号対ノイズ比)に依存する。トーンリングの輝度の一様性(トーンリングについて、角度位置に関し)は、比較のために使用されてよい。さらに、トーンリングの全体的な形状(円形か楕円形か)は、照射の損傷の変化する度合いを示している。さらに、トーンリングの中央の明るい中心は、対応するイメージ同士の間における異なる形状及び輝度を示している場合がある。これらのパラメータ及び/又は組み合わせや相対的な重み付けの全ては、イメージ同士の間の対応の決定に利用されてよい。
の場合においても、整合される最終的なイメージは、試料16のコントラストを強調するように、ローパス又はバンドパスのフィルタリングがされ得る。互いにシーケンスのイメージ同士を比較したり、参照イメージに対しシーケンスのイメージを比較したりすることは、イメージシーケンスを通じた相対的な試料の動きを明らかにする。したがって、シーケンスの各イメージは、イメージからなるシーケンスを1つの最終的なイメージへと組み合わせる前に、試料の位置がシーケンスの全てのイメージにわたって一致するように変えられ得る。そのような手順に従うことによって、試料の動きによるぼやけが低減されるが、照射の損傷等の他の試料の動的な過程は考慮されない。
Claims (20)
- 電子ビーム信号に露出される試料のイメージングの方法において、
前記試料の一連のイメージからなるイメージシーケンスを取得する工程であって、前記イメージシーケンスにおける各後続のイメージは、前記試料に対する累積的な電子ビーム信号の露出の増大を示している、前記取得する工程と、
前記イメージシーケンスの各イメージに関する累積的な露出のデータを収集する工程と、
フィルタが適用される各イメージに対応する前記累積的な露出のデータを使用して前記イメージシーケンスのイメージにローパスイメージ処理フィルタを適用し、処理されたイメージを生成する工程と、
最終的なイメージを生成するように、前記処理されたイメージを組み合わせる工程と、を備える方法。 - 前記試料を前記電子ビーム信号に露出する工程をさらに備える、請求項1に記載の方法。
- 前記シーケンスの取得は、電子検出器を用いて行われる、請求項1に記載の方法。
- 前記電子検出器は、直接衝撃検出器である、請求項3に記載の方法。
- 前記取得する工程は、連続的なイメージストリームを収集するように電子検出器を使用することによって行われる、請求項1に記載の方法。
- 前記イメージの連続的なストリームは、5フレーム毎秒(fps)以上で取得される、請求項5に記載の方法。
- 前記イメージシーケンスの全体を通じた前記試料に対する前記累積的な露出は、10〜100電子/平方オングストローム(e−/Å2)である、請求項1に記載の方法。
- 前記ローパスイメージ処理フィルタは、フィルタの強度によって特徴付けられ、該フィルタの強度は、前記イメージシーケンスにおける各後続のイメージについて増大する、請求項1に記載の方法。
- 前記ローパスイメージ処理フィルタは、前記イメージシーケンスのイメージに対し選択的に適用される、請求項1に記載の方法。
- 前記ローパスイメージ処理フィルタは、前記イメージシーケンスの前記イメージのうちの最初の複数のイメージに適用されない、請求項9に記載の方法。
- 電子ビーム信号に露出される試料のイメージングの方法において、
前記試料の一連のイメージからなるイメージシーケンスを取得する工程であって、前記イメージシーケンスにおける各後続のイメージは、前記試料に対する累積的な電子ビーム信号の露出の増大を示している、前記取得する工程と、
前記イメージシーケンスにおいて前記イメージシーケンスにおける他のイメージと十分な対応を有しないイメージを選択的に破棄する工程と、
最終的なイメージを生成するように、残りの前記イメージを組み合わせる工程と、を備える方法。 - 前記イメージシーケンスにおけるイメージ間の対応は、破棄される前記イメージの2次
元フーリエ変換と、前記イメージの残りのうちの選択されるイメージの2次元フーリエ変換との比較によって決定される、請求項11に記載の方法。 - 前記破棄する工程は、破棄される前記イメージの2次元フーリエ変換と、前記イメージの残りのうちの選択されるイメージの2次元フーリエ変換とを比較することを含む、請求項11に記載の方法。
- 破棄される前記イメージは、前記イメージシーケンスの開始からの複数のイメージを含む、請求項11に記載の方法。
- 前記試料を前記電子ビーム信号に露出する工程をさらに備える、請求項11に記載の方法。
- 前記シーケンスの取得は、電子検出器を用いて行われる、請求項11に記載の方法。
- 前記電子検出器は、直接衝撃検出器である、請求項16に記載の方法。
- 前記取得する工程は、連続的なイメージストリームを収集するように電子検出器を使用することによって行われる、請求項1に記載の方法。
- 前記イメージの連続的なストリームは、5フレーム毎秒(fps)以上で取得される、請求項18に記載の方法。
- 前記イメージシーケンスの全体を通じた前記試料に対する前記累積的な露出は、10〜100電子/平方オングストローム(e−/Å2)である、請求項1に記載の方法。
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