JP2015525438A - ガリウムイオン源及びその材料 - Google Patents
ガリウムイオン源及びその材料 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2015525438A JP2015525438A JP2015514039A JP2015514039A JP2015525438A JP 2015525438 A JP2015525438 A JP 2015525438A JP 2015514039 A JP2015514039 A JP 2015514039A JP 2015514039 A JP2015514039 A JP 2015514039A JP 2015525438 A JP2015525438 A JP 2015525438A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gallium
- species
- gas
- target
- plasma
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J27/00—Ion beam tubes
- H01J27/02—Ion sources; Ion guns
- H01J27/20—Ion sources; Ion guns using particle beam bombardment, e.g. ionisers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement, ion-optical arrangement
- H01J37/08—Ion sources; Ion guns
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/30—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects
- H01J37/317—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects for changing properties of the objects or for applying thin layers thereon, e.g. for ion implantation
- H01J37/3171—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects for changing properties of the objects or for applying thin layers thereon, e.g. for ion implantation for ion implantation
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J7/00—Details not provided for in the preceding groups and common to two or more basic types of discharge tubes or lamps
- H01J7/24—Cooling arrangements; Heating arrangements; Means for circulating gas or vapour within the discharge space
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S438/00—Semiconductor device manufacturing: process
- Y10S438/914—Doping
- Y10S438/919—Compensation doping
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Drying Of Semiconductors (AREA)
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Abstract
Description
Ga(s)+2F(g)>GaF2(g) (1)
GaF2(g)+e>GaF(g)+F(g)+e (2)
GaF(g)+e>Ga(g)+F(g)+e (3)
Ga(g)+e>Ga++e+e (4)
Claims (15)
- ガリウムイオンを有するイオンビームを発生する方法であって、
ガリウム化合物ターゲットの少なくとも一部分をプラズマチャンバ内に用意するステップであって、前記ガリウム化合物ターゲットは、ガリウム及び少なくとも1つの追加的元素を含むステップと;
少なくとも1つのガス種を用いて、前記プラズマチャンバ内でプラズマの発生を開始するステップと;
ガスエッチャント種の供給源を用意して、このガスエッチャント種を前記ガリウム化合物ターゲットと反応させて、揮発性のガリウム種を形成するステップと
を含むことを特徴とする方法。 - 前記ガスエッチャント種の供給源を用意するステップが、エッチャントガスを前記プラズマチャンバ内に送達することを含むことを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記ガスエッチャント種の供給源を用意するステップが、前記ガスエッチャント種の前駆体物質を、前記ガリウム化合物ターゲット中に設けることを含むことを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記ガリウム化合物ターゲットが、酸化ガリウム・ターゲット及びフッ化ガリウム・ターゲットのうちの1つを含むことを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記エッチャントガスを、前記ガリウム化合物ターゲットと反応して、ガリウム含有ガス種を生成すべく機能するガスとして供給することを、さらに含むことを特徴とする請求項2に記載の方法。
- フッ素含有ガスを、前記プラズマチャンバ内に供給することを、さらに含むことを特徴とする請求項4に記載の方法。
- NF3を、前記エッチャントガスとして供給し、酸化ガリウムを、前記ガリウム化合物ターゲットとして用意することを特徴とする請求項2に記載の方法。
- 前記ガスエッチャント種の供給源が、8eVより大きいイオン化エネルギーを有する気相種を発生すべく機能することを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記ガリウム化合物ターゲットが、プラズマに晒されると、固体として凝結する副産物を生成することなしに、揮発性のガリウム種を産出するように構成されていることを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記揮発性のガリウム種は、GaF2を含むことを特徴とする請求項1に記載の方法。
- ガリウムイオンビームを発生する装置であって、
少なくとも1つのガス種を有するプラズマを、プラズマチャンバ内に発生するプラズマ源と;
少なくとも部分的に前記プラズマチャンバ内に配置されたガリウム化合物とを具え、前記ガリウム化合物ターゲットが、ガリウム及び少なくとも1つの追加的元素を有し、前記少なくとも1つのガス種のうち1つ以上と、前記ガリウム化合物ターゲットとが相互作用して、ガスエッチャント種を発生し、このガスエッチャント種が、前記ガリウム化合物ターゲットと反応して、揮発性のガリウム含有種を形成すべく機能することを特徴とするガリウムイオンビーム発生装置。 - 前記ガリウム化合物ターゲットが、酸化ガリウム・ターゲット及びフッ化ガリウム・ターゲットのうちの1つを含むことを特徴とする請求項11に記載の装置。
- 前記プラズマチャンバが、前記ガリウム化合物ターゲットと反応してガリウム含有ガス種を生成すべく機能するエッチャントガスを受け入れるように構成されていることを特徴とする請求項11に記載の装置。
- 前記プラズマが、フッ素含有ガスを含むことを特徴とする請求項11に記載の装置。
- 前記プラズマがNF3を含み、前記ガリウム化合物ターゲットが酸化ガリウムを含むことを特徴とする請求項11に記載の装置。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US13/477,253 | 2012-05-22 | ||
US13/477,253 US9396902B2 (en) | 2012-05-22 | 2012-05-22 | Gallium ION source and materials therefore |
PCT/US2013/039437 WO2013176867A1 (en) | 2012-05-22 | 2013-05-03 | Gallium ion source and materials therefore |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015525438A true JP2015525438A (ja) | 2015-09-03 |
JP2015525438A5 JP2015525438A5 (ja) | 2016-05-19 |
JP6165241B2 JP6165241B2 (ja) | 2017-07-19 |
Family
ID=48430963
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015514039A Active JP6165241B2 (ja) | 2012-05-22 | 2013-05-03 | ガリウムイオンを有するイオンビームを発生する方法及び装置 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9396902B2 (ja) |
JP (1) | JP6165241B2 (ja) |
KR (1) | KR102044913B1 (ja) |
CN (1) | CN104603908B (ja) |
TW (1) | TWI602239B (ja) |
WO (1) | WO2013176867A1 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20210032539A (ko) * | 2018-09-12 | 2021-03-24 | 엔테그리스, 아이엔씨. | 갈륨을 이용한 이온 주입 방법 및 장치 |
JP2022552182A (ja) * | 2019-10-09 | 2022-12-15 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | 固体ドーパント材料用の挿入可能なターゲットホルダの温度制御 |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105655217B (zh) * | 2015-12-14 | 2017-12-15 | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 | 一种射频偏压供电的磁控溅射金属铝离子源 |
JP6948468B2 (ja) * | 2017-12-12 | 2021-10-13 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドApplied Materials, Inc. | イオン源および傍熱型陰極イオン源 |
US10832913B2 (en) * | 2018-02-14 | 2020-11-10 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company Ltd. | Method and apparatus for forming semiconductor structure |
US11404254B2 (en) * | 2018-09-19 | 2022-08-02 | Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. | Insertable target holder for solid dopant materials |
WO2020197938A1 (en) * | 2019-03-22 | 2020-10-01 | Axcelis Technologies, Inc. | Liquid metal ion source |
US10957509B1 (en) | 2019-11-07 | 2021-03-23 | Applied Materials, Inc. | Insertable target holder for improved stability and performance for solid dopant materials |
US11854760B2 (en) | 2021-06-21 | 2023-12-26 | Applied Materials, Inc. | Crucible design for liquid metal in an ion source |
US11887806B2 (en) | 2022-04-07 | 2024-01-30 | Applied Materials, Inc. | Composite ion source based upon heterogeneous metal-metal fluoride system |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5730250A (en) * | 1980-07-30 | 1982-02-18 | Oki Electric Ind Co Ltd | Ion generator |
JPS63211542A (ja) * | 1987-02-25 | 1988-09-02 | Nissin Electric Co Ltd | イオン源装置 |
JP2000003881A (ja) * | 1998-04-17 | 2000-01-07 | Toshiba Corp | イオン注入装置、イオン発生装置および半導体装置の製造方法 |
JP2012221629A (ja) * | 2011-04-05 | 2012-11-12 | Nissin Ion Equipment Co Ltd | イオン源及び反射電極構造体 |
Family Cites Families (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS57201527A (en) | 1981-06-01 | 1982-12-10 | Toshiba Corp | Ion implantation method |
KR20010039728A (ko) * | 1999-07-22 | 2001-05-15 | 가와하라 하지메 | 이온 소스 |
US6452338B1 (en) * | 1999-12-13 | 2002-09-17 | Semequip, Inc. | Electron beam ion source with integral low-temperature vaporizer |
US6583544B1 (en) * | 2000-08-07 | 2003-06-24 | Axcelis Technologies, Inc. | Ion source having replaceable and sputterable solid source material |
US6461972B1 (en) * | 2000-12-22 | 2002-10-08 | Lsi Logic Corporation | Integrated circuit fabrication dual plasma process with separate introduction of different gases into gas flow |
WO2002073652A2 (en) * | 2001-03-13 | 2002-09-19 | Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. | Methods and apparatus for oxygen implantation |
US20020179247A1 (en) * | 2001-06-04 | 2002-12-05 | Davis Matthew F. | Nozzle for introduction of reactive species in remote plasma cleaning applications |
US20030000921A1 (en) * | 2001-06-29 | 2003-01-02 | Ted Liang | Mask repair with electron beam-induced chemical etching |
TW589672B (en) * | 2002-12-31 | 2004-06-01 | Ind Tech Res Inst | Method of manufacturing p-type transparent conductive film and its system |
US7102139B2 (en) * | 2005-01-27 | 2006-09-05 | Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. | Source arc chamber for ion implanter having repeller electrode mounted to external insulator |
WO2010093380A1 (en) * | 2009-02-11 | 2010-08-19 | Advanced Technology Materials, Inc. | Ion source cleaning in semiconductor processing systems |
EP2248153B1 (en) | 2008-02-11 | 2016-09-21 | Entegris, Inc. | Ion source cleaning in semiconductor processing systems |
TW200940729A (en) * | 2008-03-18 | 2009-10-01 | Univ Nat Taiwan Science Tech | Capillaritron ion beam sputtering system and thin films producing method |
US7812321B2 (en) * | 2008-06-11 | 2010-10-12 | Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. | Techniques for providing a multimode ion source |
US7968441B2 (en) * | 2008-10-08 | 2011-06-28 | Applied Materials, Inc. | Dopant activation anneal to achieve less dopant diffusion (better USJ profile) and higher activation percentage |
US8501624B2 (en) * | 2008-12-04 | 2013-08-06 | Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. | Excited gas injection for ion implant control |
JP5343835B2 (ja) * | 2009-12-10 | 2013-11-13 | 日新イオン機器株式会社 | 反射電極構造体及びイオン源 |
US8368039B2 (en) * | 2010-04-05 | 2013-02-05 | Cymer, Inc. | EUV light source glint reduction system |
US20120024223A1 (en) * | 2010-07-02 | 2012-02-02 | Matheson Tri-Gas, Inc. | Thin films and methods of making them using cyclohexasilane |
-
2012
- 2012-05-22 US US13/477,253 patent/US9396902B2/en active Active
-
2013
- 2013-05-03 KR KR1020147035751A patent/KR102044913B1/ko active IP Right Grant
- 2013-05-03 WO PCT/US2013/039437 patent/WO2013176867A1/en active Application Filing
- 2013-05-03 JP JP2015514039A patent/JP6165241B2/ja active Active
- 2013-05-03 CN CN201380033131.3A patent/CN104603908B/zh active Active
- 2013-05-14 TW TW102116948A patent/TWI602239B/zh active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5730250A (en) * | 1980-07-30 | 1982-02-18 | Oki Electric Ind Co Ltd | Ion generator |
JPS63211542A (ja) * | 1987-02-25 | 1988-09-02 | Nissin Electric Co Ltd | イオン源装置 |
JP2000003881A (ja) * | 1998-04-17 | 2000-01-07 | Toshiba Corp | イオン注入装置、イオン発生装置および半導体装置の製造方法 |
JP2012221629A (ja) * | 2011-04-05 | 2012-11-12 | Nissin Ion Equipment Co Ltd | イオン源及び反射電極構造体 |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20210032539A (ko) * | 2018-09-12 | 2021-03-24 | 엔테그리스, 아이엔씨. | 갈륨을 이용한 이온 주입 방법 및 장치 |
JP2021527316A (ja) * | 2018-09-12 | 2021-10-11 | インテグリス・インコーポレーテッド | ガリウムを用いたイオン注入プロセスおよび装置 |
KR102367048B1 (ko) | 2018-09-12 | 2022-02-23 | 엔테그리스, 아이엔씨. | 갈륨을 이용한 이온 주입 방법 및 장치 |
JP7041321B2 (ja) | 2018-09-12 | 2022-03-23 | インテグリス・インコーポレーテッド | ガリウムを用いたイオン注入プロセスおよび装置 |
JP2022106692A (ja) * | 2018-09-12 | 2022-07-20 | インテグリス・インコーポレーテッド | ガリウムを用いたイオン注入プロセスおよび装置 |
JP2022552182A (ja) * | 2019-10-09 | 2022-12-15 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | 固体ドーパント材料用の挿入可能なターゲットホルダの温度制御 |
JP7423763B2 (ja) | 2019-10-09 | 2024-01-29 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | 固体ドーパント材料用の挿入可能なターゲットホルダの温度制御 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US9396902B2 (en) | 2016-07-19 |
US20130313971A1 (en) | 2013-11-28 |
KR20150016580A (ko) | 2015-02-12 |
WO2013176867A1 (en) | 2013-11-28 |
TWI602239B (zh) | 2017-10-11 |
CN104603908B (zh) | 2017-03-08 |
KR102044913B1 (ko) | 2019-11-14 |
JP6165241B2 (ja) | 2017-07-19 |
TW201349342A (zh) | 2013-12-01 |
CN104603908A (zh) | 2015-05-06 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6165241B2 (ja) | ガリウムイオンを有するイオンビームを発生する方法及び装置 | |
US7586109B2 (en) | Technique for improving the performance and extending the lifetime of an ion source with gas dilution | |
JP6480222B2 (ja) | イオンビーム装置、イオン注入装置、イオンビーム放出方法 | |
TWI571901B (zh) | 離子源及其操作方法 | |
US10446371B2 (en) | Boron implanting using a co-gas | |
JP2023548015A (ja) | アルミニウムイオンビームを発生させるためのソース材料としてジメチルアルミニウムクロリドを流す場合におけるフッ素系分子共ガス | |
US9034743B2 (en) | Method for implant productivity enhancement | |
WO2013068796A2 (en) | Molecular ion source for ion implantation | |
JP6412573B2 (ja) | ワークピースを処理する方法 | |
TWI757372B (zh) | 用於碳植入之膦共伴氣體 | |
JP6889181B2 (ja) | ワークピースの中に処理種を注入する方法及びワークピースにドーパントを注入する方法、並びに、ワークピースを処理する装置 | |
JPH11238485A (ja) | イオン注入方法 | |
Brown | Rare-earth doping by ion implantation and related techniques | |
Brown | RARE-EARTH DOPING BY ION IMPLANTATION | |
TW201737288A (zh) | 將加工物質植入工件中與將摻雜劑植入工件中的方法及用於加工工件的設備 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160318 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20160318 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20170126 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20170207 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20170501 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20170523 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20170620 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6165241 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |