JP2015523297A - 感光性耐熱材料、その製造方法及びその使用方法 - Google Patents

感光性耐熱材料、その製造方法及びその使用方法 Download PDF

Info

Publication number
JP2015523297A
JP2015523297A JP2015506280A JP2015506280A JP2015523297A JP 2015523297 A JP2015523297 A JP 2015523297A JP 2015506280 A JP2015506280 A JP 2015506280A JP 2015506280 A JP2015506280 A JP 2015506280A JP 2015523297 A JP2015523297 A JP 2015523297A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
ato
ito
graphene
mixture
weight
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2015506280A
Other languages
English (en)
Inventor
アブデルカデル・アリアンヌ
モハメド・ベンワディ
Original Assignee
コミッサリア ア レネルジー アトミーク エ オ ゼネルジ ザルタナテイヴ
コミッサリア ア レネルジー アトミーク エ オ ゼネルジ ザルタナテイヴ
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by コミッサリア ア レネルジー アトミーク エ オ ゼネルジ ザルタナテイヴ, コミッサリア ア レネルジー アトミーク エ オ ゼネルジ ザルタナテイヴ filed Critical コミッサリア ア レネルジー アトミーク エ オ ゼネルジ ザルタナテイヴ
Publication of JP2015523297A publication Critical patent/JP2015523297A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C01INORGANIC CHEMISTRY
    • C01GCOMPOUNDS CONTAINING METALS NOT COVERED BY SUBCLASSES C01D OR C01F
    • C01G19/00Compounds of tin
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L31/00Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L31/0248Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by their semiconductor bodies
    • H01L31/0256Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by their semiconductor bodies characterised by the material
    • H01L31/0264Inorganic materials
    • H01L31/028Inorganic materials including, apart from doping material or other impurities, only elements of Group IV of the Periodic Table
    • H01L31/0288Inorganic materials including, apart from doping material or other impurities, only elements of Group IV of the Periodic Table characterised by the doping material
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C01INORGANIC CHEMISTRY
    • C01BNON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
    • C01B32/00Carbon; Compounds thereof
    • C01B32/05Preparation or purification of carbon not covered by groups C01B32/15, C01B32/20, C01B32/25, C01B32/30
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C01INORGANIC CHEMISTRY
    • C01GCOMPOUNDS CONTAINING METALS NOT COVERED BY SUBCLASSES C01D OR C01F
    • C01G19/00Compounds of tin
    • C01G19/02Oxides
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01CRESISTORS
    • H01C17/00Apparatus or processes specially adapted for manufacturing resistors
    • H01C17/06Apparatus or processes specially adapted for manufacturing resistors adapted for coating resistive material on a base
    • H01C17/065Apparatus or processes specially adapted for manufacturing resistors adapted for coating resistive material on a base by thick film techniques, e.g. serigraphy
    • H01C17/06506Precursor compositions therefor, e.g. pastes, inks, glass frits
    • H01C17/06513Precursor compositions therefor, e.g. pastes, inks, glass frits characterised by the resistive component
    • H01C17/06533Precursor compositions therefor, e.g. pastes, inks, glass frits characterised by the resistive component composed of oxides
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01CRESISTORS
    • H01C7/00Non-adjustable resistors formed as one or more layers or coatings; Non-adjustable resistors made from powdered conducting material or powdered semi-conducting material with or without insulating material
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01CRESISTORS
    • H01C7/00Non-adjustable resistors formed as one or more layers or coatings; Non-adjustable resistors made from powdered conducting material or powdered semi-conducting material with or without insulating material
    • H01C7/006Thin film resistors
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01CRESISTORS
    • H01C7/00Non-adjustable resistors formed as one or more layers or coatings; Non-adjustable resistors made from powdered conducting material or powdered semi-conducting material with or without insulating material
    • H01C7/008Thermistors
    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03KPULSE TECHNIQUE
    • H03K17/00Electronic switching or gating, i.e. not by contact-making and –breaking
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C01INORGANIC CHEMISTRY
    • C01PINDEXING SCHEME RELATING TO STRUCTURAL AND PHYSICAL ASPECTS OF SOLID INORGANIC COMPOUNDS
    • C01P2006/00Physical properties of inorganic compounds
    • C01P2006/32Thermal properties
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C01INORGANIC CHEMISTRY
    • C01PINDEXING SCHEME RELATING TO STRUCTURAL AND PHYSICAL ASPECTS OF SOLID INORGANIC COMPOUNDS
    • C01P2006/00Physical properties of inorganic compounds
    • C01P2006/40Electric properties
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C01INORGANIC CHEMISTRY
    • C01PINDEXING SCHEME RELATING TO STRUCTURAL AND PHYSICAL ASPECTS OF SOLID INORGANIC COMPOUNDS
    • C01P2006/00Physical properties of inorganic compounds
    • C01P2006/60Optical properties, e.g. expressed in CIELAB-values

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Carbon And Carbon Compounds (AREA)
  • Inorganic Compounds Of Heavy Metals (AREA)
  • Thermistors And Varistors (AREA)

Abstract

錫ベースの材料は、50から100重量部のグラフェン;0から50重量部のアンチモンドープ二酸化錫(ATO);0から50重量部のインジウムドープ二酸化錫(ITO);を含む錫ベースの材料であって、前記材料が、少なくともATO及び/又はITOを含む。

Description

本発明は、グラフェン及び錫酸化物ベースの感光性耐熱材料に関する。本発明の利用分野は、触知性の用途、特にディスプレイ、キーボード、タッチパネル等を含む。
光抵抗性又は感光性の材料の抵抗率は、入射光の量によって変化する。言い換えると、入射光が増加すると抵抗が減少する。
従来の光抵抗性材料は、一般的に、元素の周期律表のII族からVI族の元素を含む。例えば、硫化カドミウム(CdS)又はセレン化カドミウム(CdSe)は、特に低コストのために可視領域の用途において現在使用されている。しかしながら、このような材料は、通常、赤外用途に不適当である。この場合、硫化鉛(PdS)が使用され得る。
さらに、従来の材料は、多くの欠点を有し、それらは、特に時間の経過に伴うそれらの安定性の欠如、又は、光度が変化するときにおけるそれらの比較的長い応答時間である。
耐熱材料に関して、それらの抵抗又は抵抗率が温度によって変化する。これらの材料は、金属又は金属酸化物ベースであり得る。フォトレジスタとは異なり、サーミスタは通常、時間に伴って安定する。
出願人によって開発された材料は、近赤外と同様に可視範囲において検出することができる。さらに、それは、捕捉された放射線の量によって低下する電気抵抗を有する。この材料はまた、触知性の用途に関して指によって放出された近赤外線の変化として反映することができる熱変化を検出することを可能にする。
本出願人は、錫及びカーボンベースの新規な光抵抗耐熱材料を開発する。
グラフェンとは異なり、この材料は、一方で、特に可視スペクトル及び近赤外スペクトルの波長において幅広い放射スペクトルを感知し、他方で、集められた放射線の量によって低下する電気抵抗を有するという二重の利点を有する。触知性の用途に関して、それは、特に指であり得、多量の赤外線を放射する。そのため、周囲の可視光が非常に弱い場合でさえ、感光性放射線の変化は検出され得る。
特に、本発明は、
100から50重量部のグラフェン;
0から50重量部のアンチモンドープ二酸化錫(ATO);
0から50重量部のインジウムドープ二酸化錫(ITO);
を含む錫ベースの材料に関する。
本発明の対象物をなす材料は、グラフェン、ATO及び/又はITOを含む。言い換えると、前記材料は、必ずグラフェンを含み、少なくともATO及び/又はITOを含む。
より明確には、有利には重量部で表される量が、100から200重量部の量の錫ベースの材料を参考として有することが特定される。
言い換えると、錫ベースの材料は、有利には、
100から50重量部のグラフェン;
0から50重量部のアンチモンドープ二酸化錫(ATO);
0から50重量部のインジウムドープ二酸化錫(ITO);
の100から200重量部の材料を含む。
アンチモン又はインジウムの何れかがドープされた錫酸化物の含有による錫の存在によって、材料の感度を調整することができ、それは、光に対する検出感度又は温度による抵抗変化の観点である。そのため、この材料の最終的な用途によってそれぞれの量を調整することは、当業者の能力範囲内であろう。
しかしながら、好ましい実施形態によれば、この材料は、10から20重量部のATO及び/又はITO、80から90重量部のグラフェンを含む。
他の特定の実施形態によれば、錫ベースの材料は、有利には100重量部の材料において、20重量部のATO及び/又はITO、並びに、80重量部のグラフェンを含む。
本発明の対象物をなす材料は、その成分間の結合を含み得る。そのため、何らの仮定なしに、その熱抵抗及び光抵抗特性に対してこのような結合の存在からもたらされることが可能である。
グラフェンは、二次元の炭素結晶である。グラフェン層の三次元の積層体は、グラファイトを形成する。
アンチモンドープ二酸化錫(ATO)は、有利には5から10の範囲のSn/Sb重量比を有する。ATOの式は、有利にはSnO:Sb、又は、SnO:Sbである。より有利には、それは、SnO:Sbである。
インジウムドープ二酸化錫(ITO)に関して、それは、有利には5から10の範囲のSn/In重量比を有する。ITOは、有利には、式SnO:In、又は、SnO:Inに相当する。より有利には、それは、SnO:Inである。
本発明の対象物をなす錫ベースの材料において一般的に、グラフェン/ATO及び/又はITO重量比は、1から5の範囲であり、より有利には3から4の範囲である。言い換えると、グラフェン重量は、ATO及び/又はITOの重量の1から5倍であり、より有利には3から4倍である。特定の実施形態によれば、この比は、4であり得る。
有利には、本発明の対象物をなす材料は、ATO又はITOの何れかを含む。
さらに、特定の実施形態によれば、本発明の対象物をなす材料は、金属及び/又は半導体ナノ粒子を含み得る。
ナノ粒子は、それらの導電特性によれば、本発明の対象物をなす材料の導電性を調整することができるかもしれない。
さらに、ナノ粒子、特に金属酸化物又は半導体ナノ粒子は、非常に感光性であり、従って、材料の光学的吸収を調整するのに貢献し得る。
有利には、これは限定ではないが、ナノ粒子は、球形で、10から100ナノメートルの範囲の直径、より有利には20から50ナノメートルの直径を有し得る。
しかしながら、この材料の性能を調整するために、特に光に対するこの材料の感度を増加させるために、所望の特性に従ってそれらの形状及び大きさを適合させることは、当業者の能力の範囲内であろう。
好ましい実施形態によれば、ナノ粒子は、金属ナノ粒子及び金属酸化物粒子の混合物で形成され、この材料の重量に対して1から10重量部の範囲である。ナノ粒子は、特に、銀、In、InZnO、ZnO、CuO、NiOナノ粒子及びそれらの混合物を含む群から選択され得る。
他の好ましい実施形態によれば、ナノ粒子は、金属ナノ粒子及び半導体ナノ粒子の混合物で形成され、この材料の重量に対して1から5重量部の範囲である。それは、特に、銀ナノ粒子及びInGaZnOの混合物であり得る。
そのため、電気抵抗は、検出感度を増加させるために調整され得る。
本発明はまた、
グラフェンインクを調製する段階と、
アンチモン及び/又はインジウムがドープされた二酸化錫のインクを調製する段階と、
グラフェンインク並びにアンチモン及び/又はインジウムがドープされ二酸化錫のインクを加える段階と、
必要があれば、金属ナノ粒子及び金属酸化物ナノ粒子の混合物、又は、金属ナノ粒子及び半導体ナノ粒子の混合物を加える段階と、
好ましくは30から60℃の範囲の温度で、得られた混合物を撹拌する段階と、
有利には溶媒の蒸発によって前記混合物を乾燥してグラフェン並びにATO及び/又はITOベースの材料を提供する段階と、
による、グラフェン並びにATO及び/又はITOベースの上記材料を調製する方法に関する。
ATO及びITOを含む材料の調製の場合、二酸化錫ベースのインクは、ATO又はITOを含み得る。他の実施形態によれば、2つの異なるインクが調製され、同時であるか又はそうではなく加えられ得る。
混合物の撹拌は、有利には、機械的であり、前記混合物を均一化することができる。
特定の実施形態によれば、二酸化錫ベースのインクは、少なくとも1つの溶媒に分散された60から80重量%のATO及び/又はITOを含み得る。溶媒は、シクロペンタノン、酢酸エチル、テトラヒドロフラン、3−ヘキサノン、2−ペンタノンを特に含む群から選択され得る。
一方で、グラフェンインクは、少なくとも1つの溶媒中に40から80重量%のグラフェンを含み得る。溶媒は、特にシクロヘキサノン、シクロペンタノンであり得る。
しかしながら、本発明に関連して使用される種々のインクはまた、水溶液ベースであり得る。
さらに、グラフェン並びにATO及び/又はITOインクのそれぞれの濃度を調整することは、当業者の能力の範囲内であろう。以上に特定された値は、例示的であり、決して本発明を制限するものではない。
本発明はまた、上記の材料を含むフォトレジスタ及びサーミスタに関連する。
本発明の対象物をなすフォトレジスタ又はサーミスタの用意は、特に、ATO及び/又はITOインク、グラフェンインク並びに場合によってはナノ粒子を含む混合物の基板への堆積によって行われる。
有利には、基板は、少なくとも部分的に可視光に対して透明な材料で作られる。そのため、それは、PEN(ポリ(エチレン2,6−ナフタレン))又はPET(ポリエチレンテレフタレート)であり得る。このタイプの基板は、フレキシブルである、可視スペクトル及び近赤外に対して透過性である、低コストを有する、という三重の利点を有する。
さらに、基板は、有利には、25マイクロメートルから200マイクロメートルの範囲の厚さを有する。
光抵抗性及び/又は耐熱材料を含む混合物の堆積は、シルクスクリーニング、インクジェット、又は当業者に周知のあらゆる他の堆積技術によって行われ得る。
堆積の厚さは、100ナノメートルから数ミリメートルの範囲であり得る。目的とする用途によってこの厚さを調整することは、当業者の能力の範囲内であろう。
混合物の堆積の後に、有利には焼き鈍し段階が行われ、それは、100から120℃の範囲の温度で、10から60分間の範囲の期間にわたって行われ得る。基板、堆積厚さ及び他のパラメータに従ってこの条件(期間及び温度)を調整することは、当業者の能力の範囲内であろう。
一般的に、グラフェンインク並びにATO及び/又はITOインクの溶媒は、有利には、非常に均一な堆積層を形成するために、近い蒸発温度を有する。このような蒸発温度はまた、有利には、焼き鈍し温度に適合し得るものである。特に、蒸発温度は、有利には、110から180℃の範囲であり得る。
焼き鈍し段階は、特に、フォトレジスタ又はサーミスタを用意するために使用されるインクに存在する溶媒を除去することが可能である。
既に示されたように、本発明の対象物をなす錫ベースの材料は、グラフェン、ATO及び/又はITOを含む。言い換えると、前記材料は、必ずグラフェンを含み、少なくともATO及び/又はITOを含む。この材料は、ゼロではない量のATO又はITOを含む。そのため、この材料が0部のITOを含む場合、0<x≦50であるx部のATOを必ず含む。
同様に、この材料が0部のATOを含む場合、0<y≦50であるy部のITOを必ず含む。
100から200重量部の材料に関して、前記材料は、有利には、
100から50重量部のグラフェン;
0≦x≦50重量部のアンチモンドープ二酸化錫(ATO);
0≦y≦50重量部のインジウムドープ二酸化錫(ITO);
を含み、x+yが0ではない。
特定の実施形態によれば、x+yは、5、10、15、20、25、30、35、40、45、50、55、60、65、70、75、80、85、90、95又は100であり得、x+y≠0であり、x+yがこれらの値の2つの間であり得る。例えば、x+yは、5から100、10から50、又は10から85の範囲であり得る。
可視光の日光への露出による本発明の対象物をなす材料の抵抗を示す。 50重量%のグラフェン及び50重量%のATOを含む材料における温度による抵抗変化を示す。
本発明及び得られる利点は、本発明の例示として与えられる以下の限定的ではない図面及び実施例から明らかになるだろう。
(本発明による光抵抗耐熱材料の調製)
例えば10mlのシクロペンタノン中に6gのグラフェン(VORBECK)を分散させることによってグラフェンインクを調製した。
同時に、10mlのシクロペンタノン中に6gのATO(DUPONT)を分散させることによってATOインクを調製した。
次いで、4のグラフェン/ATO重量比を得るようにグラフェン及びATOインクを混合した。
次いで、この混合物に、0から10mgの、銀、In、InZnO、ZnO、CuO、NiOナノ粒子、又は、他の実施形態による銀及びInGaZnOナノ粒子の混合物を加えた。
次いで、得られた混合物を60℃の温度で機械的に撹拌した。
次いで、得られた溶液を空気中において100℃で溶媒の蒸発によって乾燥した。
(本発明によるフォトレジスタ又はサーミスタの用意)
以上で得られた混合物を、溶媒の蒸発前に、シルクスクリーニングによって基板に堆積した。
PEN基板は、125マイクロメートルの厚さを有し、一方で5マイクロメートルの混合物を堆積した。
混合物の堆積後、焼鈍しを100℃の温度で20分間行った。
フォトレジスタの感光特性が図1に示される。実際に、この材料の抵抗は、光に曝されていない場合における13000オーム付近から、日光に曝された場合における12000オームまで変化する。この材料は、1マイクロ秒から10ミリ秒までの極端に短い反応時間を有する。
温度によるこの材料の抵抗変化は、図2に示される。この材料の抵抗は、温度が増加すると減少する。この材料の抵抗が、20℃において32000オームを超える一方で、90℃において29500オームである。

Claims (15)

  1. 50から100重量部のグラフェン;
    0から50重量部のアンチモンドープ二酸化錫(ATO);
    0から50重量部のインジウムドープ二酸化錫(ITO);
    を含む錫ベースの材料であって、
    前記材料が、少なくともATO及び/又はITOを含む、錫ベースの材料。
  2. 1から10重量部の金属ナノ粒子及び金属酸化物粒子の混合物をさらに含むことを特徴とする、請求項1に記載の材料。
  3. 前記混合物が、銀、In、InZnO、ZnO、CuO、NiOナノ粒子及びそれらの混合物を含む群から選択されるナノ粒子を含むことを特徴とする、請求項2に記載の材料。
  4. 1から5重量部の金属ナノ粒子及び半導体ナノ粒子の混合物をさらに含むことを特徴とする、請求項1に記載の材料。
  5. 前記混合物が、銀及びInGaZnOナノ粒子を含むことを特徴とする、請求項4に記載の材料。
  6. グラフェン並びにATO及び/又はITOの重量比が、1から5の範囲であることを特徴とする、請求項1から5の何れか一項に記載の材料。
  7. グラフェン並びにATO及び/又はITOの重量比が、3から4の範囲であることを特徴とする、請求項1から6の何れか一項に記載の材料。
  8. 前記ATO及び前記ITOがそれぞれ、5から10の範囲のSn/Sb及びSn/In重量比を有することを特徴とする、請求項1から7の何れか一項に記載の材料。
  9. 前記ATOが、式SnO:Sb、又は、SnO:Sbに相当することを特徴とする、請求項1から8の何れか一項に記載の材料。
  10. 前記ITOが、式SnO:In、又は、SnO:Inに相当することを特徴とする、請求項1から9の何れか一項に記載の材料。
  11. グラフェンインクを調製する段階と、
    ATO及び/又はITOインクを調製する段階と、
    前記グラフェンインク並びに前記ATO及び/又はITOインクを加える段階と、
    必要があれば、金属ナノ粒子及び金属酸化物ナノ粒子の混合物、又は、金属ナノ粒子及び半導体ナノ粒子の混合物を加える段階と、
    得られた混合物を撹拌する段階と、
    前記混合物を乾燥してグラフェン並びにATO及び/又はITOベースの材料を提供する段階と、
    による、請求項1から10のグラフェン並びにATO及び/又はITOベースの材料を調製する方法。
  12. 前記得られた材料の撹拌が、30から60℃の範囲の温度で行われることを特徴とする、請求項11に記載の方法。
  13. 前記混合物の乾燥が、前記溶媒を蒸発することによって行われることを特徴とする、請求項11に記載の方法。
  14. 請求項1から10の何れか一項に記載の材料を含むフォトレジスタ。
  15. 請求項1から10の何れか一項に記載の材料を含むサーミスタ。
JP2015506280A 2012-04-20 2013-03-29 感光性耐熱材料、その製造方法及びその使用方法 Pending JP2015523297A (ja)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR1253653 2012-04-20
FR1253653A FR2989677B1 (fr) 2012-04-20 2012-04-20 Materiau photosensible et thermoresistant, procede de preparation et utilisation
PCT/FR2013/050713 WO2013156705A1 (fr) 2012-04-20 2013-03-29 Materiau photosensible et thermoresistant, procede de preparation et utilisation

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2015523297A true JP2015523297A (ja) 2015-08-13

Family

ID=48237109

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2015506280A Pending JP2015523297A (ja) 2012-04-20 2013-03-29 感光性耐熱材料、その製造方法及びその使用方法

Country Status (6)

Country Link
US (1) US10008619B2 (ja)
EP (1) EP2838849B1 (ja)
JP (1) JP2015523297A (ja)
KR (1) KR20150010703A (ja)
FR (1) FR2989677B1 (ja)
WO (1) WO2013156705A1 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2019128176A (ja) * 2018-01-22 2019-08-01 公立大学法人大阪府立大学 温度センサ及び温度センサの製造方法

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103741094A (zh) * 2014-01-22 2014-04-23 武汉理工大学 石墨烯复合导电氧化物靶材及其透明导电薄膜的制备方法
CN108323170B (zh) * 2017-11-03 2020-09-22 江苏时瑞电子科技有限公司 一种用于热敏电阻的复合膜的制备方法
CN108863293A (zh) * 2018-06-17 2018-11-23 赵娟 硫硒锌化合物光敏电阻材料的制备方法

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011076578A (ja) * 2009-10-01 2011-04-14 Samsung Electro-Mechanics Co Ltd タッチスクリーンの入力装置及びその製造方法
JP6125611B2 (ja) * 2012-04-20 2017-05-10 コミッサリア ア レネルジー アトミーク エ オ ゼネルジ ザルタナテイヴ 感光性触覚センサ

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3154645B2 (ja) * 1995-01-23 2001-04-09 セントラル硝子株式会社 自動車用合せガラス
US6351068B2 (en) * 1995-12-20 2002-02-26 Mitsui Chemicals, Inc. Transparent conductive laminate and electroluminescence light-emitting element using same
JP2003339540A (ja) * 2002-05-30 2003-12-02 Thermos Kk 電気加熱保温容器
CN101192257A (zh) * 2006-11-20 2008-06-04 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 电子装置及该电子装置的开启方法
KR101119913B1 (ko) * 2009-10-30 2012-03-05 삼성전자주식회사 그래핀 박막을 포함하는 전자 소자 및 그 제조 방법
KR101167969B1 (ko) * 2010-04-12 2012-07-23 한국생산기술연구원 투명열차단 기능을 갖는 나노입자 조성물 및 이를 이용한 투명열차단 기능을 갖는 열저항필름의 제조방법
JP5674594B2 (ja) * 2010-08-27 2015-02-25 株式会社半導体エネルギー研究所 半導体装置及び半導体装置の駆動方法
US8796677B2 (en) * 2011-12-06 2014-08-05 Nutech Ventures Photovoltaic device

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011076578A (ja) * 2009-10-01 2011-04-14 Samsung Electro-Mechanics Co Ltd タッチスクリーンの入力装置及びその製造方法
JP6125611B2 (ja) * 2012-04-20 2017-05-10 コミッサリア ア レネルジー アトミーク エ オ ゼネルジ ザルタナテイヴ 感光性触覚センサ

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
SEO TAE HOON: "GRAPHENE NETWORK ON INDIUM TIN OXIDE NANODOT NODES 以下省略", APPLIED PHYSICS LETTERS, vol. V98 N25, JPN5015005588, 24 June 2011 (2011-06-24), US, pages P251114-1 - 251114-3 *

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2019128176A (ja) * 2018-01-22 2019-08-01 公立大学法人大阪府立大学 温度センサ及び温度センサの製造方法
JP7014408B2 (ja) 2018-01-22 2022-02-01 公立大学法人大阪 温度センサ

Also Published As

Publication number Publication date
FR2989677A1 (fr) 2013-10-25
EP2838849B1 (fr) 2020-03-25
FR2989677B1 (fr) 2015-06-19
KR20150010703A (ko) 2015-01-28
EP2838849A1 (fr) 2015-02-25
US20150053895A1 (en) 2015-02-26
US10008619B2 (en) 2018-06-26
WO2013156705A1 (fr) 2013-10-24

Similar Documents

Publication Publication Date Title
Teng et al. Novel structure for high performance UV photodetector based on BiOCl/ZnO hybrid film
Liu et al. Aperiodic band-pass electrode enables record-performance transparent organic photovoltaics
Tsay et al. Solution-processed Mg-substituted ZnO thin films for metal-semiconductor-metal visible-blind photodetectors
TWI402218B (zh) 透明隔熱材料、其製造方法以及透明隔熱結構
Dao et al. Chemically synthesized nanowire TiO2/ZnO core-shell pn junction array for high sensitivity ultraviolet photodetector
KR102148154B1 (ko) 투명 전도성 막 코팅 조성물, 투명 전도성 막 및 투명 전도성 막의 제조 방법
JP2015523297A (ja) 感光性耐熱材料、その製造方法及びその使用方法
CN107112302A (zh) 用于透明涂层及透明导电膜的性质增强填料
JP2010086512A (ja) タッチパネル入力装置のための透明導電層化構造
TW201234391A (en) Laminate for forming conductive film, method for forming conductive film, conductive film, conductive element, touch panel and integrated solar cell
Gogurla et al. Gold nanoparticle-embedded silk protein-ZnO nanorod hybrids for flexible bio-photonic devices
CN108367556A (zh) 金属层层叠透明导电性薄膜及使用其的触摸传感器
Luo et al. Preparation and optical properties of novel transparent Al-doped-ZnO/epoxy nanocomposites
Alam et al. Highly Responsive UV Light Sensors Using Mg‐Doped ZnO Nanoparticles
Qin et al. Photoresponse of indium oxide particulate-based thin films fabricated using milled nanorods grown by the self-catalytic vapor--liquid--solid process
JP5181322B2 (ja) 導電性酸化スズ粉末の製造方法
Balaji et al. Characterization of WMoO3 thin films and its n-WMoO3/p-Si junction diodes via JNS pyrolysis technique
Heiba et al. Tracking the changes in the structural, optical and photoluminescent properties of CuCo2O4/MnS nanocomposites with different composition ratios
Nguyen et al. Deep-ultraviolet transparent electrode design for high-performance and self-powered perovskite photodetector
JP2013209231A (ja) 表面に微細構造を有するガラス基材
Izumi et al. Preparation of electrically conductive nano-powder of zinc oxide and application to transparent film coating
Wang et al. High photosensitivity and external quantum efficiency photosensors achieved by a cable like nanoarchitecture
JP7020223B2 (ja) 金属酸化物微粒子とその製造方法、赤外線遮蔽膜形成用分散液とその製造方法、赤外線遮蔽膜の形成方法並びに赤外線遮蔽膜付き基材
Yan et al. Ultra-thin foldable transparent electrodes composed of stacked silver nanowires embedded in polydimethylsiloxane
Kim et al. Organic Light-Dependent Resistors with Near Infrared Light-Absorbing Conjugated Polymer Films

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20151225

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20160916

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20160915

A601 Written request for extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601

Effective date: 20161216

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20170216

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20170710

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20180219