JP2015520941A5 - 複数注入のために基板を位置合わせするための装置および方法 - Google Patents
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Description
太陽電池セルを作製するような基板を処理するための改良された装置および方法が開示される。ドープ領域が基板上に形成される。基準マーカーをドープ領域の少なくとも1つに隣接して形成できる。次に、基準マーカーの視認を利用して、注入された正確な領域を特定することができる。この情報は、続く処理ステップにおいて位置合わせを維持または位置合わせするために使用できる。続く処理ステップの例は、追加の注入ステップ、スクリーンプリントステップ、メタライズステップ、レーザー処理ステップまたは別の同様の処理を含むことができる。位置合わせの位置に関する情報を(例えば注入機に)フィードバックするか、あるいは(例えば別の処理ツールに)フィードフォワードして、1以上の処理パラメータを変更することができる。これらの技術も別のイオン注入用途において使用できる。
ドーピングパターンを位置合わせする開示した装置および方法は、イオン注入機を用いた太陽電池セルの製造に使用できる。イオン注入特徴構造は、材料の組成および構造の変化により、イオン注入後に見ることができる。しかしながら、注入されたドーパント種を活性化して結晶ダメージを修復するための熱アニール後、注入特徴構造は、もはや見ることができない。このように、基準マーカーを基板上に配置して、続く処理ステップの間、続く処理ステップの前の注入と同様に基板上の同一の位置に向いていることを保証するように処理装置を位置合わせするのを可能にできる。
開示した装置および方法をイオン注入機に関連して説明する。太陽電池セルのイオン注入について詳細に述べるが、注入機は、例えば半導体ウェーハ、フラットパネルまたは発光ダイオード(LEDs)のような別のワークピースと使用できる。このように、本発明は、以下で説明する特定の実施形態に限定されない。図1は、ビームラインイオン注入機200のブロック線図である。一例として、このビームラインイオン注入機200は、太陽電池用基板へのドープ用とすることができる。当業者は、ビームラインイオン注入機200は、イオンを生成できるビームラインイオン注入機の多くの例の1つに過ぎないことを理解するだろう。よって、ここで説明する装置および方法は、図1のビームラインイオン注入機200のみに限定されない。また、イオン注入機は、「ビームライン」設計に限定されず、プラズマ浸漬、プラズマフラッドまたは別のプラズマ源設計に基づく注入機を含むことができる。
一般に、ビームラインイオン注入機200は、イオンビーム281を形成するためのイオンを生成するイオン源280を含む。イオン源280は、イオンチャンバー283を含むことができ、イオンチャンバー283に供給される供給ガスはイオン化される。このガスは、水素、ヘリウム、別の希ガス、酸素、窒素、ヒ素、ホウ素、リン、アルミニウム、インジウム、ガリウム、アンチモン、カルボラン、アルカン、別の大きな分子化合物または別のp型またはn型ドーパントとすることができ、または含むことができる。生成されたイオンは、一続きの抽出電極によりイオンチャンバー283から抽出してイオンビーム281を形成することができる。特に、イオンチャンバー283の出口開孔、抑制電極284および接地電極285により形成されている抽出電極部により、イオンをイオンチャンバー283から抽出することができる。イオンビーム281は、分解磁石282と分解開孔289を有するマスク電極288とを含む質量分析器286により質量分析される。分解磁石282は、イオンビーム281におけるイオンを偏らせて、特定のドーパントイオン種に関連する所望の質量電荷比を有するイオンのみが分解開孔289を通過する。所望でないイオン種は、マスク電極288によりブロックされるため、分解開孔289を通過しない。
基板138へのイオン注入の深さは、イオン注入エネルギーとイオン質量に依存する。より小さな電子デバイスサイズは、低エネルギーレベル(例えば2keV以下)にて高いビーム電流密度を必要とする。基板138は、太陽電池用セルの場合、リボンイオンビーム212は、高ビーム電流および約1〜10keVのエネルギーで注入することができる。これを達成するために、処理チャンバー減速(PCD)モードを使用し、ビームラインイオン注入機200によりイオンビーム281およびリボンビーム212が比較的高エネルギーにて運ばれ、1以上の減速ユニット296を用いてエンドステーション211の上流から減速される。例えば、リボンイオンビーム212は、減速ユニット296によって減速される前に、ビームラインイオン注入機200により30keV〜50keVのエネルギーにて運ばれることができる。
図2A〜2Cを参照すると、代表的な基板300は、一例において基板138に一致することができ、全体の注入手続の間の様々なステップにて示されている。図2Aは、パターンイオン注入ステップ後の基板300を示している。図から分かるように、このイオン注入ステップ後に、イオンの衝撃により引き起こされた基板材料の組成および構造の変化により、複数の注入特徴構造302が見える。カメラ304(図3参照)を用いて、注入特徴構造302より形成されたパターンの画像を得ることができる。次に、画像情報は、カメラ304によりコントローラー306に与えられる。一実施形態において、カメラ304は、電荷結合ダイオード(CCD)カメラである。カメラ304は、赤外線カメラ、フォトダイオードおよびレーザーを含む様々な別の撮像装置を備えることもできる。コントローラー306は、今度は、レーザー308に基準310を1以上の注入特徴構造302に関して既知の位置にて基板300上に配置するよう命令することができる。代わりに、レーザー308は、カメラ304が注入特徴構造302により形成されたパターンのイメージを得る前に、基準310を基板300上に配置することができる。この代わりに、カメラ304によりコントローラー306に提供された画像情報は、基準310の位置および注入特徴構造302の位置に関する情報を含むことができる。基準310は、レーザー以外の様々な任意の技術を用いて基板300上に配置できることが理解されよう。例えば、1以上の基準310は、インクジェット技術、機械的スクライブ、放電加工(EDM)、エッチング等を用いて基板300上に配置できる。コントローラー306は、ビームラインイオン注入機200(図1)の一部とすることができるし、別々の処理ツールとすることもできることが理解されよう。
図4Aおよび4Bは、開示した方法の一実施形態を示しており、基準310は、任意の処理ステップの前、または第1のパターン化イオン注入ステップの前に基板300上に配置されている。この実施形態において、基準310の位置はカメラ304を用いて決定され、この情報はコントローラー306に提供される。次いで、この位置情報を用いてビームラインイオン注入機200において1以上のマスクを基板300に位置合わせできる。図4Aは、イオン注入前の基板300を示している。基準310が示されている。図4Bは、再びイオン注入前の基板300を示しており、基準310および複数のパターン注入サイト312はパターンマスク314を介して見える。パターン注入サイト312は、イオン注入ステップの間に注入特徴構造が形成される位置に対応する。この技術の1つの利点は、基板エッジへの正確な位置合わせが不要なことである。むしろ、イオン注入ステップの間、基板300は、パターンマスク314下に配置することができ、そのパターンマスク314は、カメラ304が基準310を見ることができる開孔316を含むことができる。このパターンマスク314は、例えばグラファイトまたはシリコンで作製でき、基板300から上方のある距離に配置できる。カメラ304により画像情報をコントローラー306に提供でき、パターンマスク314の動きに対して、パターンマスク314を基準310に位置合わせするように命令して、得られた注入特徴構造に正確に位置合わせすることを達成できる。このように、パターンマスク314の活発なフィードバックおよび位置合わせを達成できる。
代わりに、カメラ304は、基板300がビームラインイオン注入機200に入る前の、最後の取り扱いステーションに位置することができる。基板300および基準310の画像を取得して位置のキャリブレーションを行い、基板300をビームラインイオン注入機200中に移動させてイオン注入処理を実行して注入特徴構造を形成することができる。
図5A〜5Cは、開示した方法の一実施形態を示しており、全ての処理ステップの前、または少なくとも第1のパターンイオン注入ステップの前に、基準310が基板300上に配置されている(図5A)。基準310の配置後、基準の位置は、基板300の基板エッジ318、320および/またはコーナー322、324に関して測定される(図5B)。測定は、上述の方法の一部として、注入パターンを検出するのに使用される同じ装置を用いて行うことができる。例えば、カメラ304は、例としてCCDカメラとすることができ、基準310を検出するのに使用できる。基板300のエッジ318、320は、同様にカメラ304により観察するのが比較的容易である。幾つかの実施形態において、エッジ318、320の検出を目的として、基板300のバックライトを設けることができる。この画像情報をコントローラー306に提供してエッジおよび基準の相対位置を測定して関連するメモリ326に情報を格納して後のパターンステップの間、基準310の位置を含めて、カメラ304を用いて基板300を再び観察できる(図5C)。基準の位置に関する以前に得たデータを用いて、パターンマスク314の位置を基板300の基板エッジ318、320および/または322、324に関して調整して、パターンマスク314をパターン注入サイト312に位置合わせすることができる。
この手法の利点は、如何なるエッジの登録を必要としないことである。追加の利点は、オフライン(つまり、基板がビームラインイオン注入機200中に導入される前)にある基準の位置の測定を可能にすることである。位置情報をコントローラー306に提供して、基板300および基準310に関するパターンマスク314の位置調整を命令できる。
ここで、第3の代表的な論理フローを図8に関連して説明する。ステップ3000にて、第1のパターンイオン注入ステップ前に、基準が基板上に配置される。ステップ3100にて、基準の位置を基板の第1および第2の基板エッジおよび/または第1および第2の基板コーナーに関して測定し、基準の測定位置を得る。ステップ3200にて、基準の測定位置をコントローラーに提供し、コントローラーに関連するメモリ中に格納する。ステップ3300にて、パターンマスクを基板に隣接して設け、パターンマスクは基準に関連する開孔を含み、基板上の位置に関連する複数の開孔に沿ってイオンを注入する。ステップ3400にて、カメラは、関連する開孔を介して基準を見て、基板の第1および第2の基板エッジおよび/または第1および第2の基板コーナーに関する基板上の基準の位置を測定する。ステップ3500にて、基準の位置に関する情報をコントローラーに提供する。ステップ3600にて、コントローラーは、基準の位置に関する情報を用いてパターンマスクの基板に関する位置合わせを命令する。ステップ3700にて、基板中の複数の注入特徴構造を形成する位置にあるパターンマスクを用いてイオンを注入する。基板の第1および第2の基板エッジおよび/または第1および第2の基板コーナーに関する基板上の基準の位置に関する情報も、スクリーンプリントのような後の処理に用いることができる。
Claims (14)
- 基板を処理する方法であって、
イオンを基板に注入して注入特徴構造を形成するステップと、
前記注入特徴構造の位置を測定するステップと、
前記注入特徴に関連する既知の位置にて基準を前記基板上に配置するステップと、
続く処理ステップにて前記基準の位置を検出するステップと、
前記続く処理ステップの間、前記基準の位置を用いて前記注入特徴構造に位置合わせするステップと、
を含むことを特徴とする方法。 - 前記注入特徴構造の位置を測定するステップは、前記基準を検出するステップを含む、請求項1に記載の方法。
- 前記注入特徴構造の位置を測定するステップは、CCDカメラ、赤外線カメラ、フォトダイオードおよびレーザーの少なくとも1つを用いて前記基準を検出するステップを含む、請求項2に記載の方法。
- CCDカメラ、赤外線カメラ、フォトダイオードおよびレーザーの少なくとも1つを用いて、マスクの位置を調整して前記基準に位置合わせするステップをさらに含む、請求項1に記載の方法。
- 前記イオンを前記基板に注入するステップの前に、前記基準を前記基板上に配置する、請求項1に記載の方法。
- 前記基準は、前記イオンを前記基板に注入するステップに続いて前記基板上に配置される、請求項1に記載の方法。
- 前記イオンを前記基板に注入するステップの前に、前記基準を前記基板のエッジまたはコーナーの少なくとも1つに登録するステップをさらに含む、請求項1に記載の方法。
- 前記イオンを前記基板に注入するステップの前に、前記基準を前記基板の第1および第2の隣接するエッジに登録するステップをさらに含む、請求項1に記載の方法。
- 前記イオンを前記基板に注入するステップの後に、前記基板を熱アニールするステップを含み、前記注入特徴構造は前記熱アニール前には光学的に視認でき、前記熱アニール後には視認不可能であり、前記基準は熱アニールの結果光学的に視認できる、請求項1に記載の方法。
- ワークピースに注入する装置であって、
イオンを基板に注入して注入特徴構造を形成するイオン注入機と、
前記基板上の基準の位置を検出する検出器と、
前記基準の前記位置を測定し、
マスクの位置を調整して前記基準に位置合わせしてマスクを位置合わせし、
前記イオン注入機を用いて前記マスクを介してイオンを前記基板に注入するための命令を実行するコントローラーと、
を備えることを特徴とする装置。 - 前記基準の前記位置の測定は前記検出器を用い、前記検出器は、CCDカメラ、赤外線カメラ、フォトダイオードおよびレーザーからなるリストから選択される、請求項10に記載の装置。
- 基板を処理する方法であって、
イオンを基板に注入して光学的に見える注入特徴構造を形成するステップと、
前記基板を熱アニールするステップであって、前記熱アニールは、前記注入特徴構造を光学的に見えなくし、前記熱アニールの結果前記基板上の基準は光学的に見える、ステップと、
マスクの位置を調節して基準に位置合わせして前記マスクを前記注入特徴構造に位置合わせするステップと、
前記マスクを介してイオンを前記基板に注入するステップと、
を含むことを特徴とする方法。 - 前記基板への熱アニールの前に前記基準を前記基板に適用するステップを含む、請求項12に記載の方法。
- 前記基準から前記基板の第1および第2の隣接するエッジまでの距離を測定するステップと、前記測定された距離を前記調整ステップに用いるステップとを含む、請求項12に記載の方法。
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