JP2015520358A - 小型自蔵式ホログラフィ及び干渉計デバイス - Google Patents
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Abstract
Description
[0001] 本出願は、2012年3月29日出願の米国仮出願第61/617,348号の利益を主張し、その全体が参照により本明細書に組み込まれる。
[0063] 図6は、図3のホログラフィ測定デバイスの光学構成の概略図を示す。ホログラフィ測定デバイス600は、図3のデバイス300と同様に、球面波参照ビームを備えたホモダイン位相ステップホログラフィ装置である。ホログラフィ測定デバイス600は、上記の図3に示すように動作する。物体ビームと参照ビームとの相対的変位又は振動は共用光路を使用することで解消されるため、物体への光の必要な時間的コヒーレンスは大幅に緩和される。このことは、本実施形態だけでなく他の実施形態にも適用される。一実施形態では、ホログラフィ測定デバイス800は、約200nm〜約850nmまでの広いスペクトル域で動作する。
Claims (24)
- 光ビームで物体を照明するステップと、
チューブレンズを通して画像面上に物体ビームを誘導するように構成された対物レンズを用いて前記物体ビームを形成するステップと、
前記物体ビームとの共用光路に沿って参照ビームを伝搬させるように構成された参照ビームレンズ群を用いて、前記対物レンズの瞳面を通過する前記物体ビームの一部から参照ビームを形成するステップと、
前記参照ビームと前記物体ビームとを結合させて画像面に干渉パターンを作成するステップと、
を含む方法。 - 位相板を用いて前記参照ビームの位相をシフトさせるステップをさらに含む、請求項1に記載の方法。
- 前記参照ビームを調節して、前記参照ビームが拡散して前記画像面で前記物体ビームと干渉するような球面波を生成するステップをさらに含む、請求項2に記載の方法。
- 前記参照ビームを調節して、前記参照ビームが収束して前記画像面で前記物体ビームと干渉するような平面波を生成するステップをさらに含む、請求項2に記載の方法。
- 第1の傾斜ミラーは反射した前記参照ビームを第2の傾斜ミラーに誘導するように構成された第1の傾斜ミラーを用いて前記共用光路から前記参照ビームを逸らすステップと、
第2の傾斜ミラーを用いて前記画像面に前記参照ビームを再誘導して前記物体ビームとの干渉パターンを作成するステップと、
をさらに含む、請求項1に記載の方法。 - 左及び右旋偏光子を用いて前記参照ビームと前記物体ビームを円偏光させるステップをさらに含み、前記画像面が画素化位相マスクを備える、請求項1に記載の方法。
- 前記参照ビームの中央部のくびれ部分に位置する空間フィルタを用いて前記参照ビームを空間的にフィルタリングするステップをさらに含む、請求項1に記載の方法。
- 前記共用光路が光学系の主軸を含む、請求項1に記載の方法。
- 前記参照ビームが前記物体ビームの中央部を用いて形成される、請求項1に記載の方法。
- 光ビームを生成するように構成された光源と、
前記光ビームによって照明された物体ビームを誘導するように構成された対物レンズと、
前記対物レンズの瞳面を通過する前記物体ビームの一部から参照ビームを形成するように構成され、前記物体ビームとの共用光路に沿って伝搬する参照ビームレンズ群と、
前記物体ビームと前記参照ビームとを画像面上に誘導するように構成されたチューブレンズと、
前記物体ビームと前記参照ビームとから前記画像面上に干渉パターンを決定するように構成されたプロセッサと、
を備える検査装置。 - 前記参照ビームの位相をシフトさせるように構成された位相板をさらに備える、請求項10に記載の検査装置。
- 前記参照ビームレンズ群が、前記参照ビームを調節して、前記参照ビームが拡散して前記画像面で前記物体ビームと干渉するような球面波に構成される、請求項11に記載の検査装置。
- 前記参照ビームレンズ群が、前記参照ビームを調節して、前記参照ビームが収束して前記画像面で前記物体ビームと干渉するような平面波に構成される、請求項11に記載の検査装置。
- 第2の傾斜ミラーへの前記共有光路から前記参照ビームを逸らすように構成された第1の傾斜ミラー及び/又はプリズムをさらに備え、
前記第2の傾斜ミラー及び/又はプリズムが前記参照ビームを前記画像面に再誘導して前記物体ビームとの前記干渉パターンを生成するように構成された、請求項10に記載の検査装置。 - 右旋偏光子と、
左旋偏光子と、
をさらに備え、
前記右旋偏光子及び前記左旋偏光子が前記参照ビームと前記物体ビームを円偏光させるように構成され、
前記画像面が、画素化位相マスクを備える、請求項10に記載の検査装置。 - 前記参照ビームの中央部のくびれ部分に位置し、前記参照ビームを空間的にフィルタリングするように構成された空間フィルタをさらに備える、請求項10に記載の検査装置。
- 前記参照ビームが、前記対物レンズの前記瞳面の中央部を通過する前記物体ビームの一部を用いて形成され、
前記共用光路が、光学系の主軸を含む、請求項10に記載の検査装置。 - 光学系内の方法であって、
光ビームで物体を照明するステップと、
チューブレンズを通して前記光学系の主軸に沿って画像面上に物体ビームを誘導するように構成された顕微鏡レンズ装置を用いて前記物体ビームを形成するステップと、
前記顕微鏡レンズ装置の瞳面の中心部に位置する参照ビームレンズ群を用いて参照ビームを前記光学系の主軸に沿って形成するステップであって、前記参照ビームが前記顕微鏡レンズ装置の前記瞳面を通過する前記物体ビームの一部から形成されるステップと、
前記参照ビームを前記物体ビームとの共用光路に沿って伝搬させるステップと、
位相板を用いて前記参照ビームの位相をシフトさせるステップと、
前記参照ビームと前記物体ビームとを結合させて前記画像面に干渉パターンを作成するステップと、
を含む方法。 - 前記参照ビームを調節して、前記参照ビームが拡散して前記画像面で前記物体ビームと干渉するような球面波を生成するステップをさらに含む、請求項18に記載の方法。
- 前記参照ビームを調節して、前記参照ビームが収束して前記画像面で前記物体ビームと干渉するような平面波を生成するステップをさらに含む、請求項18に記載の方法。
- 光路及び光学装置長手方向の軸に沿って被照明物体が散乱させる光から形成される物体ビームを伝搬させるステップと、
前記被照明物体が、散乱させる光の一部から形成される参照ビームを前記物体ビームと実質的に同時に光路に沿って伝搬させるステップと、
画像面で前記参照ビームを前記物体ビームと干渉させてホログラム像を生成するステップと、
を含む顕微鏡検査方法。 - 前記被照明物体が散乱させる光から形成される物体ビームを光路内で長手方向の軸に沿って伝搬させる前記長手方向の軸を有する第1の光学装置を提供するステップと、
第2の光学装置を前記第1の光学装置と一体化させ、前記物体ビームと実質的に同時に光路内で長手方向に沿って前記被照明物体が散乱させる光の一部から形成される参照ビームを伝搬させ、画像面で前記物体ビームとの干渉を引き起こすステップと、
を含む顕微鏡検査方法。 - 前記画像面で前記参照ビームを前記物体ビームと干渉させることでホログラム像を生成するステップをさらに含む、請求項22に記載の方法。
- 前記ホログラム像を検出して前記被照明物体を検査し、前記被照明物体の1つ以上の特性を決定するステップをさらに含む、請求項23に記載の方法。
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