JP2015515550A - 堆積チャンバ向けの冷却式の反射性のアダプタプレート - Google Patents
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Abstract
Description
一実施形態では、堆積チャンバ向けのアダプタプレートが提供される。アダプタプレートは、本体と、本体上の中央に位置する取付け板と、取付け板の第1の表面から長手方向に延び、取付け板の外面から径方向内向きに配置された第1の環状部分と、取付け板の反対側の第2の表面から長手方向に延び、取付け板の外面から径方向内向きに配置された第2の環状部分と、第2の環状部分の内部上に配置され、6Ra以下の平均表面粗さを有する鏡面仕上げ面とを備える。
別の実施形態では、堆積チャンバ向けのアダプタプレートが提供される。アダプタプレートは、第1の平面内に配置された第1の側を有する第1の環状部分および第1の側の反対側で第1の平面内に配置された第2の側を有する第2の環状部分を備える本体と、第1の表面に結合され、第1の平面に実質上直交する第2の平面内に配置された第1の側壁と、第2の表面に結合され、第2の平面内に配置された第2の側壁と、第1の側壁と第2の側壁との中間に結合された外方へ延びるフランジとを備え、外方へ延びるフランジ内に、熱制御チャネルの少なくとも一部分が形成される。
本発明の上述の特徴を詳細に理解できるように、上記で簡単に要約した本発明のより具体的な説明は、実施形態を参照することによって得ることができる。これらの実施形態のいくつかを、添付の図面に示す。しかし、本発明は他の等しく有効な実施形態も許容しうるため、添付の図面は本発明の典型的な実施形態のみを示しており、したがって本発明の範囲を限定すると見なすべきではないことに留意されたい。
一実施形態では、堆積チャンバ100は、たとえばチタン、酸化アルミニウム、アルミニウム、銅、タンタル、窒化タンタル、タングステン、または窒化タングステンを基板上に堆積させることが可能なスパッタリングチャンバを構成し、物理的気相堆積(PVD)チャンバとしても知られている。適したPVDチャンバの例には、どちらもカリフォルニア州サンタクララのApplied Materials,Inc.から市販されているALPS(登録商標)PlusおよびSIP ENCORE(登録商標)というPVD処理チャンバが含まれる。他の製造業者から入手可能な処理チャンバが、本明細書に記載する実施形態を利用することもできることが企図される。
図2Aは、図1のアダプタプレート106の等角上面図である。図2Bは、図2Aのアダプタプレート106の等角底面図である。図2Cは、図2Aのアダプタプレート106の底面図である。アダプタプレート106は、フランジ202を有する本体200を含み、フランジ202は、図1のチャンバ100の外面107を構成することができる。フランジ202は、中央に配置されて第1の環状部分204および第2の環状部分206から径方向へ延びる取付け板とすることができる。第1の環状部分204および第2の環状部分206はそれぞれ、フランジ202の外面107から径方向内向きに配置することができる。フランジ202は、第1の表面207Aと反対側の第2の表面207Bとの間に形成された開口208を含むことができる。開口208は、本体200と堆積チャンバ100(図1に示す)の結合を容易にするために、締め具(図示せず)として利用される。フランジ202はまた、フランジ202内に形成された熱制御チャネル210を含むことができる(図2Bに破線で示す)。熱制御チャネル210は、熱制御チャネルの入り口212で冷却剤源154に結合される。熱制御チャネル210の出口214は、リザーバ216に結合することができ、リザーバ216は、熱交換器または排水設備とすることができる。本体200は、アルミニウムなどの金属材料から製造することができる。
図3は、図2Aのアダプタプレート106の本体200の部分横断面図である。支持部材300の横断面が示されており、支持部材300はスロット230内に配置される。支持部材300は、締め具315を受け取る貫通孔310を含む。締め具315は締め器具305に固定され、締め器具305は軸方向の凹部232内に受け取られる。支持部材300はまた、ランプ150の外径を受け取ってランプ150を少なくとも部分的に支持するスロット320を含む。本体200はまた、収束部分330に隣接している内部棚部分325を含む。内部棚部分325は、第1の内面335および第2の内面340を含む。第1の内面335は、第1の平面内に配置され、第2の内面340は、第1の内面335の平面に対して約30度〜約60度の平面内に配置される。貫通孔226の少なくとも一部分は、内部棚部分325の第1の内面335および第2の内面340のそれぞれの中に形成される。
図7は、アダプタプレート106、リフレクタリング148、および遮蔽リング126の一部分の拡大断面図である。一実施形態では、リフレクタリング148は、反射面152およびランプ150に隣接して、アダプタプレート106の表面上に載置される。一態様では、アダプタプレート106の内面705とリフレクタリング148の外面710との間に間隙700が提供される。内面705は、外面710の直径よりわずかに小さい寸法(たとえば、直径)を含むことができ、したがって間隙700は、リフレクタリング148の周辺部の周りで連続している。処理中、リフレクタリング148は、ランプ150からのエネルギーから加熱することができ、それによってリフレクタリング148を膨張させることができる。間隙700により、間隙700がなくなるまで、自由な膨張が可能になる。さらに追加の熱が加えられると、リフレクタリング148とアダプタプレート106の表面との間で接触抵抗が低減し、それによってリフレクタリング148から離れる方へ熱が伝達される。一態様では、間隙700は、処理中にリフレクタリング148の最大温度を摂氏約100度以下に制限する自己制限機構である。
図8Bは、図8Aのアダプタプレート800の等角底面図である。第1の環状部分204の内方へ延びる表面224上に、貫通孔226の第2の開口803Bが示されている。また、第1の環状部分204の内方へ延びる表面224内に形成された2つの細長いチャネル222が示されている。細長いチャネル222はそれぞれ穿孔223を含み、穿孔223内に電気コネクタ825を配置することができる。電気コネクタ825は、キャップ835およびプラグ840を有する導管830を含む。導管830は、ランプ取付けデバイス219(図2Aに示す)およびランプ150(図8Aに示す)に対する電力接続を提供するワイアおよび電気コネクタを収納する。電気コネクタ825は、保持器845によって第1の環状部分204内に固定される。
Claims (15)
- 本体と、
前記本体上の中央に位置する取付け板と、
前記取付け板の第1の表面から長手方向に延び、前記取付け板の外面から径方向内向きに配置された第1の環状部分と、
前記取付け板の反対側の第2の表面から長手方向に延び、前記取付け板の前記外面から径方向内向きに配置された第2の環状部分と、
前記第2の環状部分の内部上に配置され、6Ra以下の平均表面粗さを有する鏡面仕上げ面と
を備える堆積チャンバ向けのアダプタプレート。 - 前記鏡面仕上げ面が、約70パーセント〜約90パーセントの反射率を含む、請求項1に記載のアダプタプレート。
- 前記鏡面仕上げ面が曲面である、請求項2に記載のアダプタプレート。
- 前記鏡面仕上げ面が約72パーセントの反射率である、請求項2に記載のアダプタプレート。
- 前記本体が、
第1の平面内に配置された第1の側および前記第1の側の反対側の第2の側と、
前記第1の表面に結合され、前記第1の平面に実質上直交する第2の平面内に配置された第1の側壁とを備える、請求項1に記載のアダプタプレート。 - 前記本体が、
前記第2の表面に結合され、前記第2の平面内に配置された第2の側壁と、
前記第1の側壁と前記第2の側壁との中間に結合された外方へ延びるフランジとをさらに備える、請求項5に記載のアダプタプレート。 - 前記本体が、前記本体内に形成された熱制御チャネルを含む、請求項1に記載のアダプタプレート。
- 前記熱制御チャネルが、前記第1の環状部分および前記第2の環状部分の一方または両方に実質上外接する、請求項7に記載のアダプタプレート。
- 第1の平面内に配置された第1の側および前記第1の側の反対側の第2の側を有する本体と、
前記第1の表面に結合され、前記第1の平面に実質上直交する第2の平面内に配置された第1の側壁と、
前記第2の表面に結合され、前記第2の平面内に配置された第2の側壁と、
前記第1の側壁と前記第2の側壁との中間に結合された外方へ延びるフランジと
を備える、堆積チャンバ向けのアダプタプレート。 - 前記第2の側が、前記第1の平面に対して平行である、請求項9に記載のアダプタプレート。
- 前記第1の側壁が第1の環状部分を含み、前記第2の側壁が第2の環状部分を含む、請求項10に記載のアダプタプレート。
- 前記第1の環状部分および前記第2の環状部分が内部棚部分を構成する、請求項11に記載のアダプタプレート。
- 前記第2の環状部分が、前記第2の側壁の反対側の収束部分を構成する、請求項11に記載のアダプタプレート。
- 前記本体が、少なくとも部分的に前記外方へ延びるフランジ内に形成された熱制御チャネルを備える、請求項11に記載のアダプタプレート。
- 第1の平面内に配置された第1の側を有する第1の環状部分および前記第1の側の反対側で前記第1の平面内に配置された第2の側を有する第2の環状部分を備える本体と、
前記第1の表面に結合され、前記第1の平面に実質上直交する第2の平面内に配置された第1の側壁と、
前記第2の表面に結合され、前記第2の平面内に配置された第2の側壁と、
前記第1の側壁と前記第2の側壁との中間に結合された外方へ延びるフランジとを備え、前記外方へ延びるフランジ内に、熱制御チャネルの少なくとも一部分が形成される、
堆積チャンバ向けのアダプタプレート。
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