JP2015513796A5 - - Google Patents

Claims (14)

1. 半導体プロセスチャンバで使用するための加熱ランプであって、
   加熱ランプ外囲器内に配置されたフィラメントを有する前記加熱ランプ外囲器と、
   前記加熱ランプ外囲器を支持するために前記加熱ランプ外囲器に結合された基部と、
   改善された握り部をユーザに与えるために前記基部に形成された１つまたは複数の凹部と
   を備える加熱ランプ。
2. 半導体プロセスチャンバで使用するための加熱ランプアレイであって、
   複数の請求項１に記載の加熱ランプであり、隣接する加熱ランプ基部間の距離が約０．０２インチ〜約０．０８インチである、複数の加熱ランプ
   を備える、加熱ランプアレイ。
3. 円形アレイに配置された複数のソケットをさらに含み、前記複数の加熱ランプのそれぞれの加熱ランプが前記複数のソケットの対応するソケットに結合される、請求項２に記載の加熱ランプアレイ。
4. チャンバ本体と、
   前記チャンバ本体内に配置された加熱ランプアレイであり、円形アレイに配置された複数のソケットと、前記複数のソケットにそれぞれ結合される複数の請求項１に記載の加熱ランプとを含み、隣接する加熱ランプ基部間の距離が約０．０２インチ〜約０．０８インチである、加熱ランプアレイと
   を備えるプロセスチャンバ。
5. 前記１つまたは複数の凹部が、前記基部の対置する側に配置された２つの凹部である、請求項１から４のいずれかに記載の加熱ランプ。
6. 前記１つまたは複数の凹部が、前記基部の幅に沿って中央に配置される、請求項１から４のいずれかに記載の加熱ランプ。
7. 前記１つまたは複数の凹部が、前記基部の両側に形成された２つの凹部であり、前記２つの凹部は、互いに平行でありかつ前記基部から前記加熱ランプ外囲器の先端に延びる前記加熱ランプの主軸に実質的に垂直であるそれぞれの直線軸を有する、請求項１から４のいずれかに記載の加熱ランプ。
8. 前記１つまたは複数の凹部が、前記基部の両側に配置された２つの凹形チャネルである、請求項１から４のいずれかに記載の加熱ランプ。
9. 前記１つまたは複数の凹部が、約１０ｍｍ〜約１５ｍｍの幅と、約０．３ｍｍ〜約１ｍｍの深さとを有する、請求項１から４のいずれかに記載の加熱ランプ。
10. 前記基部が、約４３ｍｍ〜約４５ｍｍの幅と、約２５ｍｍ〜約２８ｍｍの長さと、約４３ｍｍ〜約４６ｍｍの厚さとを有する、請求項１から４のいずれかに記載の加熱ランプ。
11. 前記基部は、前記基部の１つまたは複数の側面の少なくとも一部分に配置され、前記少なくとも一部分から延びる複数のフィンを含む、請求項１から４のいずれかに記載の加熱ランプ。
12. 前記凹部が、前記フィンの少なくともいくつかに少なくとも部分的に配置される、請求項１１に記載の加熱ランプ。
13. 前記複数のフィンが、前記加熱ランプ外囲器に隣接する前記基部の第１の端部から前記１つまたは複数の凹部を越える点まで延び、前記複数のフィンが、前記基部の反対側の端部に達する前に終了する、請求項１２に記載の加熱ランプ。
14. 前記基部が酸化アルミニウム（Ａｌ₂Ｏ₃）から製作される、請求項１から４のいずれかに記載の加熱ランプ。