JP2015513453A - 金属繊維ウェブをベースとしたフィルター - Google Patents

Abstract

フィルター膜は、その流入面に第１の金属繊維ウェブを有する。この第１の金属繊維ウェブは、少なくとも２つの金属繊維層（細繊維層および少なくとも１つの粗い繊維層）を有する。細繊維層は、フィルター膜の流入面に位置し、少なくとも１つの粗い繊維層は細繊維層の下流に位置している。フィルター膜は、その流出面に、一定の規則的な目開きを持つ１つまたは複数の第１の二次元金属構造体の積層体を備える。フィルター膜は、第２の金属繊維ウェブおよび一定の規則的な目開きを持つ１つまたは複数の第２の二次元金属構造体の積層体により形成される少なくとも１つの組を備え、少なくとも１つの組は、一定の規則的な目開きを有している１つまたは複数の二次元金属構造体の積層体と第１の金属繊維ウェブとの間に設けられる。第２の金属繊維ウェブは、１つまたは複数の第１の二次元金属構造体の積層体と直接接触している。一定の規則的な目開きを持つ１つまたは複数の第２の二次元金属構造体の積層体の１つは、少なくとも１つの粗い繊維層の面で、第１の金属繊維ウェブと直接接触している。１つまたは複数の第１の二次元金属構造体、第１の金属繊維ウェブ、ならびに第２の金属繊維ウェブおよび１つまたは複数の第２の二次元金属構造体の少なくとも１つの組はすべて、金属接合により互いにつながれている。

Description

本発明は、金属繊維フィルターの分野、このようなフィルターが使用される濾過システム、ならびに、例えば、高温ガスの濾過、オイルスラリーの濾過または液体の濾過における、このようなフィルターおよび濾過システムの使用に関する。

濾材が焼結金属粉末により形成された濾過システムが知られている。しかし、このような焼結金属粉末で得られる空隙率のレベルは、多くの用途にとって低すぎるものである。焼結金属繊維フィルターは、空隙率のレベルがより高く、したがって濾過性能がはるかによい。したがって、焼結金属繊維フィルターは、多くの用途に対して好ましい解決策である。

焼結金属粉末フィルターの製造方法と金属繊維フィルターの製造方法とは、全く違うものである。金属粉末は、型の中で最終的なフィルターの形状に成形することができる。必要ならば、適切な補強手段（金属スクリーンまたは金属メッシュなど）も型の中に配置することができる。続いて、これをまとめて形に焼結する。金属繊維フィルターは、異なる方法で製造される必要がある。金属繊維は、二次元の繊維ウェブで用意される。補強層（例えば、金属メッシュ）を加えることもできる。このような積層体は、後から、例えば、継ぎ目を溶接した円筒形の構造などに成形することができる二次元の平面構造に焼結することができる。

焼結金属繊維フィルターは、濾過システム、例えば、高温ガスの濾過、液体の濾過またはオイルスラリーの濾過のためのものに使用されている。既存のシステムにおいては、金属繊維フィルター（メッシュまたは拡張鋼板などの１つまたは複数の補強層を含むことができるもの）は、例えば、溶接金属線の構造体（ほとんどがケージ状の構造であり、例えば、円筒形のフィルターの場合は円筒形のケージ）により、フィルターの表面上に支持されている。

一例として、（焼結金属繊維ウェブを備える）管状または円筒形のフィルターエレメントと、穴の開いた円筒形のコア（例えば、長手方向および円周方向の金属線で製作されていて、これらの金属線が接する箇所で溶接されている円筒形の構造体）のフィルター組立品がある。円筒形のフィルターエレメントは、穴の開いた円筒形のコアの周りに形成される。円筒形のフィルターエレメントおよび穴の開いた円筒形のコアのいずれも、それらの末端が、例えば、ろう付け、溶接または接着によりエンドキャップに取り付けられる。このようなフィルターを複数回バックパルス洗浄した後に破損する可能性があることが、このような濾過システムの問題である。

本発明の主な目的は、先行技術の欠点が現れないフィルターを提供することである。本発明の特定の目的は、バックパルス洗浄に対してより耐性のある接合された（例えば、焼結された）金属繊維フィルターを提供することである。

本発明の第１の態様によれば、フィルター膜が提供される。フィルター膜は、フィルター膜の流入面にある、濾材として働くよう選択された第１の金属繊維ウェブを備える。第１の金属繊維ウェブは、少なくとも２つの金属繊維層、すなわち、細繊維層および少なくとも１つの粗い繊維層を備える。粗い繊維層とは、粗い繊維層内の金属繊維の平均相当直径が、細繊維層内で用いられる金属繊維の平均相当直径よりも大きいことを意図する。また、細繊維層とは、細繊維層内の金属繊維の平均相当直径が、粗い繊維層内で用いられる金属繊維の平均相当直径よりも小さいことを意図する。細繊維層は、フィルター膜の流入面（好ましくはフィルター膜の流入表面）に位置し、少なくとも１つの粗い繊維層は、細繊維層の下流に位置している。さらにフィルター膜は、フィルター膜の流出面に、一定の規則的な目開きを有している１つまたは複数の第１の二次元金属構造体の積層体を備える。

さらにフィルター膜は、第２の金属繊維ウェブおよび一定の規則的な目開きを持つ１つまたは複数の第２の二次元金属構造体の積層体により形成される少なくとも１つの組を備え、ここで少なくとも１つの組は、一定の規則的な目開きを有している１つまたは複数の二次元金属構造体の積層体の一面と、第１の金属繊維ウェブの反対の面との間に設けられる。

第２の金属繊維ウェブは、１つまたは複数の第１の二次元金属構造体の積層体と直接接触している。

一定の規則的な目開きを持つ１つまたは複数の第２の二次元金属構造体の積層体の１つは（第１の金属繊維ウェブの少なくとも１つの粗い繊維層の面で）濾材として働くよう選択された第１の金属繊維ウェブと直接接触している。

１つまたは複数の第１の二次元金属構造体、第１の金属繊維ウェブ、ならびに第２の金属繊維ウェブおよび１つまたは複数の第２の二次元金属構造体の少なくとも１つの組はすべて、金属接合（例えば、焼結接合または溶接接合）により互いにつながれている。好ましい実施形態において、フィルター膜は、円筒形のフィルター内で使用するために変形させることができる。

フィルター膜は、濾過において支持のない使用に十分な強度を有する。このことは、フィルター膜は、効率的な方法で使用することができる一方で、その濾過表面上において支持する必要がないことを意味する。

フィルターは、本発明によるフィルター膜から製作することができる。

フィルター膜は、プリーツ加工することなく使用するのが好ましい。また、フィルター膜は、円筒形または管状のフィルターとして使用するための形状に曲げることができる。

フィルター膜の相乗的な構造および設計特性により、バックパルス洗浄濾過条件下で長寿命が確保される。

バックパルス洗浄がより効率的であることが、本発明による濾過膜を用いたフィルターの別の利益である。最先端の濾過膜を使用するのと比べて、残留圧力損失が低いのである。残留圧力損失は、バックパルス洗浄を実施した後にフィルターエレメントにかかる圧力である。

一定の規則的な目開きを持つ二次元金属構造体とは、目開きを有している金属製の二次元の構造体を意味する。目開きは、一定の規則的なパターンによる二次元の構造体の中に存在する。

本発明において用いることができる、一定の規則的な目開きを持つ二次元金属構造体の好ましい例は、金網メッシュ（メッシュ）または拡張金属板である。一定の規則的な目開きを持つ二次元金属構造体として用いられる金網メッシュおよび／または拡張金属板は、圧延されていることが好ましい。

第２の二次元金属構造体は、第１の二次元金属構造体と同じか、またはそれよりも小さい単位表面積当たりの重量を有することが好ましい。第２の二次元金属構造体は、第１の二次元金属構造体と同じか、またはそれよりも小さい目開きを有することが好ましい。

第１の金属繊維ウェブの細繊維層内の金属繊維の相当繊維径は、０．５から２５μｍの間が好ましく、０．５から１５μｍの間がより好ましい。繊維の相当直径とは、繊維の断面と同じ面積を有する円の直径を意味する。相当繊維径は、効果的な濾過性能のために選択される。

第１の金属繊維ウェブの粗い繊維層内の金属繊維の相当繊維径は、１２から５０μｍの間が好ましい。より好ましくは、第１の金属繊維ウェブの少なくとも１つの粗い繊維層内の金属繊維は、２０μｍより大きく、例えば２５μｍより大きく、好ましくは５０μｍ未満の相当直径を有する。

第２の金属繊維ウェブには、第１の金属繊維ウェブの少なくとも１つの粗い繊維層内の金属繊維と同じ相当繊維径、またはそれよりも大きい相当繊維径を有する金属繊維が含まれることが好ましい。好ましい相当金属繊維径は、１２μｍより大きく、より好ましくは２０μｍより大きく、例えば２５μｍより大きく、好ましくは５０μｍ未満である。

第２の金属繊維ウェブには、設計特性の異なる（例えば、異なる繊維径、異なる繊維長、異なる繊維断面、異なる層厚、異なる空隙率・・・）複数の繊維層を備えることができる。

異なる金属繊維ウェブ内の金属繊維の相当直径の好ましい範囲は、フィルター膜を成形するとき（例えば、フィルター膜を円筒形に曲げるとき）に最適な結果を得るため、および本発明のフィルター膜を用いて製作されたフィルターの使用におけるバックパルス洗浄に対する耐性のために選択される。最適な特性および性能に寄与するのは、繊維の組み合わせである。

好ましくは、フィルター膜は表面濾過膜であり、かつ／または好ましくは、フィルター膜は表面濾過膜として用いられる。粒子は基本的には、第１の金属繊維ウェブの細繊維層の表面で捕集される。第１の金属繊維ウェブまたは第２の金属繊維ウェブの少なくとも１つの粗い繊維層内に微粒子が捕集されることは意図していないが、第１の金属繊維ウェブの細繊維層を流れる粒子の一部が細繊維層下流のフィルター膜の層内に捕捉されることは排除できない。第１の金属繊維ウェブおよび第２の金属繊維ウェブの少なくとも１つの粗い繊維層の機能は、基本的には界面機能（interface function）である。

好ましい実施形態において、第１の金属繊維ウェブおよび／または第２の金属繊維ウェブの金属繊維は、少なくとも５ｍｍ、好ましくは少なくとも１０ｍｍの平均長さを有する。

好ましい実施形態において、５００から２００００の間の相当直径に対する長さの比を有する金属繊維が使用される。別の好ましい実施形態において、４０から８０の間の相当直径に対する長さの比を有する金属繊維が使用される。

本発明において用いることができる金属繊維の一例は、ステンレス鋼繊維である（例えば、ＡＩＳＩ３１６またはＡＩＳＩ３０４）。他の好ましい金属繊維は、ハステロイまたはインコネルなど、ニッケルベースの合金製である。

他の好ましい金属繊維は、Ｆｅ−Ｃｒ−Ａｌ合金ベースの（例えば、ＦｅＣｒＡｌｌｏｙの商品名で知られる）繊維である。Ｆｅ−Ｃｒ−Ａｌベースの合金の第１の群には、１５から２５％のＣｒおよび４から６％のＡｌが含まれる（すべてのパーセントは重量パーセントである）。Ａｌ含有量は、４．８から５．７％の間が好ましい。好ましい合金組成は、さらにＹを含むＦｅ−Ｃｒ−Ａｌベースの合金である。Ｙ含有量は、０．０３から０．５％の範囲にあり、０．０８から０．３５％の間が好ましい。Ｙ含有量は、０．２５から０．３５％の間であることが最も好ましい。例として、ＤＩＮ１．４７６７の鋼のグレードがある。

この群の可能性のある別の合金組成は、Ｓｃ、Ｙ、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｈｆ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａおよびランタニド、例えばＬａまたはＣｅ、からなる群から選択される少なくとも１つの別の元素をさらに含むＦｅ−Ｃｒ−Ａｌベースの合金である。別の元素の含有量または別の元素の合計は、０．０１から１％の間である。

Ｆｅ−Ｃｒ−Ａｌベースの合金の別の群には、最大１５％のＣｒおよび２０から６０％のＡｌが含まれる。これらの合金には、Ｓｃ、Ｙ、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｈｆ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａおよびランタニドからなる群から選択される少なくとも１つの別の元素がさらに含まれる。

Ｆｅ−Ｃｒ−Ａｌベースの合金は、かなりの耐食および耐高温特性を示す。

金属繊維は、当分野において知られている任意の方法により製作することができ、例えば、束延伸（bundle drawn）または機械加工または切削することができ、あるいは溶融物からの抽出により製作することができる。

好ましい実施形態において、一定の規則的な目開きを有している１つまたは複数の第１の二次元金属構造体の積層体は、３．７ｋｇ／ｍ^２未満、好ましくは１．５ｋｇ／ｍ^２未満、さらにより好ましくは１ｋｇ／ｍ^２未満の重量を有する。

一定の規則的な目開きを有している二次元金属構造体は、金属繊維ウェブ内の金属繊維と同じ金属または金属合金で製作されていることが好ましい。この特徴は、バック洗浄パルスに対する耐性の改善に相乗的に寄与する。

好ましい実施形態において、金属繊維ウェブ内の金属繊維は、フィルター膜の表面と平行な平面内に実質的に配向している。これは、フィルター内の金属繊維ウェブを、厚さが長さおよび幅と比べて小さく、繊維の大部分が平面内に配向している平坦な二次元の繊維ウェブとして初めに製造することによって得ることができる。一例として、金属繊維は、（例えば、カーディング技術またはエアレイ技術により）二次元のウェブに乾式積層され、ここで繊維は、二次元のウェブの厚さ方向ではなく、二次元のウェブの平面内に実質的に配向する。１つまたは複数の使用される繊維ウェブを製造する代替方法は、湿式ウェビング（wet webbing）であり、相当直径に対する長さの比が４０から８０の間の金属繊維でウェブを生産するのに特に有用である。

本発明の第２の態様は、本発明の第１の態様にあるようなフィルター膜で製作したフィルターである。フィルターは、円筒形のフィルターにすることができる。フィルターは、平坦な（平面状の）フィルターでもよく、あるいはフィルターは、円錐または他の任意の形状を有することができる。

本発明の第３の態様は、本発明の第１の態様に記載されているようなフィルター膜を用いた濾過システムであり、ここでフィルター膜は、その流入表面上でも、流出表面上でも支持されていない。流入および流出表面とは、濾過される流体がフィルター膜に入り、フィルター膜から出るときに通るフィルター膜の表面を意味する。フィルター膜は、例えばハウジングに収まる必要があるため、その端部で支持することができる。先行技術による濾過システムにおいてフィルター膜は、その流入および／または流出表面上で、例えば、溶接金属線のケージまたは穴の開いたプレートにより支持されるが、これを本発明による濾過システムにおいては回避することができる。

本発明による好ましい濾過システムにおいて、フィルター膜は、穴の開いた支持体によって支持されていないが、フィルター膜の端部で支持されているだけである。

好ましい円筒形の濾過システムにおいて、円筒形のフィルターは、穴の開いた中空コアの管またはケージのいずれによっても支持されていないが、円筒形のフィルター膜の端部で支持されているだけである。

本発明の第４の態様は、円筒形のフィルター（または管状のフィルター）を生産するための方法であり、ここでフィルター膜は、本発明の第１の態様と同様に提供される。フィルター膜を生産するために、フィルター膜の異なる層を互いにのせて、フィルター膜を金属接合により接合する。金属接合は、１つまたは複数の接合作業において、例えば、焼結または溶接により実現することができる。このようにして、フィルター膜が得られる（好ましくは、平坦な二次元のフィルター膜である）。フィルター膜は大きさに合わせて切断され、円筒形に曲げられる。曲げられたフィルター膜が接する（例えば、長手方向の）端部は、円筒形を閉じるために、（例えば、溶接、焼結または接着により、あるいはろう付けにより）貼り合わされる。フィルター膜は、単一の作業内、例えば単一の焼結作業内または単一の溶接作業内で接合されることが好ましい。

同様の方法で、他の形状のフィルター、例えば円錐形のフィルターを製作することができる。

好ましくは、成形フィルター（例えば、円筒形のフィルター）の生産において、接する端部で（重なりがないように）両端を突合せるろう付けまたは溶接を行う。

本発明の第５の態様は、流体の濾過のための方法である。濾過のための方法は、例えば、ガス、スラリーオイルまたは液体に適用することができる。この方法においてフィルター膜は、本発明の第１の態様にあるように用いることができ、あるいは濾過システムは、本発明の第２の態様にあるように用いることができる。流体は、フィルター膜の流入面に供給される。流入面とは、第１の金属繊維ウェブが存在しているフィルター膜の面を意味する。バックパルスを用いてフィルター膜を洗浄する。

ガスを濾過する場合、ガスは例えば、温度が最大９００℃の高温ガスでもよい。濾過は、フィルター膜での圧力損失が最大でも２バールで運用することが好ましい。

本発明によるフィルター膜の実施例を示す。 本発明によるフィルター膜を用いた円筒形のフィルターの実施例の上面図である。 本発明によるフィルター膜を用いた濾過システムを示す。

図１は、本発明によるフィルター膜１００の実施例を示す。矢印１１０は、フィルター膜を濾過に使用しているときの流体の流れ方向を示している。フィルター膜は、濾材として働くよう選択された第１の金属繊維ウェブ１２０を備える。第１の金属繊維ウェブ１２０は、細繊維層１２３および粗い繊維層１２７を備える。細繊維層１２３は、フィルター膜１００の流入面に位置し、粗い繊維層１２７は、細金属繊維を持つ層１２３の下流に位置している。

フィルター膜１００は、その流出面に、一定の規則的な目開きを有している（この実施例において）２つの第１の二次元金属構造体（この実施例においては、織スクリーン１３２、１３４）の積層体１３０を備える。

この実施例においてフィルター膜１００は、第２の金属繊維ウェブ１４２、１５２および一定の規則的な目開きを持つ１つまたは複数の第２の二次元金属構造体（１４４、１５４）の積層体（この実施例においては、織スクリーン）により形成される２つの組１４０、１５０を備える。２つの組１４０および１５０は、一定の規則的な目開きを有している１つまたは複数の二次元金属構造体１３０の積層体の一面と、第１の金属繊維ウェブ１２０の反対の面との間に設けられる。

一定の規則的な目開きを持つ１つまたは複数の第２の二次元金属構造体の積層体の１つ（この実施例においては、１４４）は（粗い繊維層１２７の面で）第１の金属繊維ウェブ１２０と直接接触している。

第１の二次元金属構造体１３０、第１の金属繊維ウェブ１２０ならびに第２の金属繊維ウェブ１４２、１５２および１つまたは複数の第２の二次元金属構造体１４４、１５４の組１４０、１５０はすべて、例えば、焼結工程により作り出された金属接合により互いにつながれていて、接合は、１つの焼結作業内で作り出されることが好ましい。

表１は、本発明によるフィルター膜組成の実施例をいくつか一覧にしたものである。表は、第１の金属繊維ウェブについては、まず細繊維層、続いて粗い繊維層を示している。例えば、実施例１において、「直径４μｍ、６００ｇ／ｍ^２／直径２２μｍ、３００ｇ／ｍ^２」とは、細繊維層は、直径４μｍの金属繊維で６００ｇ／ｍ^２、粗い繊維層は、直径２２μｍの金属繊維で３００ｇ／ｍ^２であることを意味する。表１において直径は、相当直径を意味する。実施例においては、圧延したメッシュを用いている。

細繊維層の（ｇ／ｍ^２で表された）比質量は、粗い繊維層の（ｇ／ｍ^２で表された）比質量以上であることが好ましい。しかし、これは本発明において必須ではない。例として、同じように、本発明によるフィルター膜組成は、実施例４と同様であるが、細繊維層は、直径１２μｍの金属繊維で２５０ｇ／ｍ^２、粗い繊維層は、直径２２μｍの金属繊維で３００ｇ／ｍ^２であり得る。メッシュ（金網メッシュ）の説明は、表２に記載している。金網メッシュの代替として、拡張金属プレートまたは拡張金属板を用いることができて、圧延された拡張金属プレートまたは拡張金属板が好ましい。

図２は、本発明によるフィルター膜２１０（例えば、図１に示すフィルター膜または表１に記載のフィルター膜）から製作した円筒形のフィルター２００の上面図である。第１の金属繊維ウェブを備えた平坦な（二次元の）フィルター膜を、円筒形のフィルター２１０の外径で円筒形に曲げている。溶接部２２０は、フィルター膜の端部が互いに触れる場所で円筒形のフィルターを閉じるようにしている。

図３は、本発明によるフィルター膜で製作した円筒形のフィルター３１０（例えば、図２のような円筒形のフィルター）を用いた濾過システム３００を示している。円筒形のフィルター３１０は、その濾過表面上において支持されていない。円筒形のフィルターは、濾過される流体のための入口３４０および出口３５０を有するハウジング３２０に収まっている。円筒形のフィルター３１０には、例えば、溶接によりつながれた不透過性のエンドキャップ３８０が設けられている。

濾過時、流体は円筒形のフィルター３１０の外側から内側に流れ、第１の金属繊維ウェブは、円筒形のフィルター３１０の外面に位置している。

使用中、円筒形のフィルターは、バックパルス洗浄によって洗浄される。

Claims (10)

1. フィルター膜であって、
   流入面に濾材として働くよう選択された第１の金属繊維ウェブを備え、前記第１の金属繊維ウェブは、少なくとも２つの金属繊維層、細繊維層および少なくとも１つの粗い繊維層を備え、細繊維層は、前記フィルター膜の流入面に位置し、かつ少なくとも１つの粗い繊維層は、前記細繊維層の下流に位置し、
   流出面に一定の規則的な目開きを有している１つまたは複数の第１の二次元金属構造体の積層体をさらに備え、
   第２の金属繊維ウェブおよび一定の規則的な目開きを持つ１つまたは複数の第２の二次元金属構造体の積層体により形成される少なくとも１つの組をさらに備え、前記少なくとも１つの組は、一定の規則的な目開きを有している１つまたは複数の二次元金属構造体の前記積層体の一面と、前記第１の金属繊維ウェブの反対の面との間に設けられ、
   前記第２の金属繊維ウェブは、前記１つまたは複数の第１の二次元金属構造体の前記積層体と直接接触しており、
   前記一定の規則的な目開きを持つ１つまたは複数の第２の二次元金属構造体の前記積層体の１つは、前記少なくとも１つの粗い繊維層の面で前記第１の金属繊維ウェブと直接接触しており、かつ、
   前記１つまたは複数の第１の二次元金属構造体、前記第１の金属繊維ウェブ、ならびに前記第２の金属繊維ウェブおよび前記１つまたは複数の第２の二次元金属構造体の前記少なくとも１つの組は、全て金属接合手段により互いに結合されている、フィルター膜。
2. 前記第１の金属繊維ウェブの前記細繊維層内の金属繊維の相当繊維径が、０．５から２５μｍの間である、請求項１に記載のフィルター膜。
3. 一定の規則的な目開きを有している１つまたは複数の第１の二次元金属構造体の積層体が、３．７ｋｇ／ｍ^２未満の重量を有する、請求項１または２に記載のフィルター膜。
4. 一定の規則的な目開きを有している前記第１の二次元金属構造体および／または一定の規則的な目開きを有している前記第２の二次元金属構造体が、金網スクリーンまたは拡張金属板である、請求項１〜３の何れか一項に記載のフィルター膜。
5. 請求項１〜４の何れか一項に記載のフィルター膜で製作したフィルターであって、円筒形フィルターまたは平坦なフィルターである、フィルター。
6. 請求項１〜４の何れか一項に記載のフィルター膜を用いた濾過システムであって、前記フィルター膜が、その流入表面上でも、その流出表面上でも支持されておらず、前記フィルター膜の端部でのみ支持されている、濾過システム。
7. 円筒形フィルターを製造するための方法であって、
   前記フィルター膜の異なる層が互いに載置され、かつ、前記フィルター膜が金属接合で接合されることにより請求項１〜４の何れか一項に記載のフィルター膜が製作され、
   前記フィルター膜が大きさに合わせて切断され、かつ、円筒形に曲げられ、
   前記曲げられたフィルター膜の接する端部が、前記円筒形を閉じるために相互に接合される、方法。
8. 前記フィルター膜が、単一の焼結または溶接作業内で接合される、請求項７に記載の方法。
9. 前記接する端部で、両端を突合せる溶接またはろう付けが行われる、請求項７または８に記載の方法。
10. 流体を濾過するための方法であって、
    請求項１〜４の何れか一項に記載のフィルター膜がフィルター内に設けられるか、または、請求項６に記載の濾過システムが提供され、
    濾過される流体が、前記フィルター膜の前記流入面に供給され、
    前記フィルター膜の洗浄にバックパルスが用いられる、方法。
    

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