JP2015510595A5 - - Google Patents
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- 239000000523 sample Substances 0.000 claims 23
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- 238000004611 spectroscopical analysis Methods 0.000 claims 3
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- 239000003570 air Substances 0.000 claims 1
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- 239000002131 composite material Substances 0.000 claims 1
- 238000004590 computer program Methods 0.000 claims 1
- 229920001940 conductive polymer Polymers 0.000 claims 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 claims 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims 1
- 229910001092 metal group alloy Inorganic materials 0.000 claims 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 claims 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 claims 1
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 claims 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 claims 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims 1
- 210000001519 tissues Anatomy 0.000 claims 1
Claims (26)
- 測定装置であって、
プローブと表面との接触電位差を測定することができる測定デバイスと、
使用中に前記表面上に提供される又は前記表面を形成するサンプルからの光電子放出をトリガするための放射を放出するように構成される光源と、
前記光源から放出される放射をフィルタする波長セレクタと、
を備え、
前記プローブ及び前記表面が気体環境に露出又は収容され、
前記プローブが、相対仕事関数測定の実行のための前記プローブ及び前記表面が前記表面に垂直な方向の動き成分をもって互いに対して発振する第1のモードと、検出された光電子放出から導出される絶対仕事関数測定の実行のための前記プローブが前記表面に垂直な方向に前記表面と固定関係にある、連続フォトンエネルギー測定のための第2のモードで選択的に動作可能である、測定装置。 - 前記気体環境が空気を含む、請求項1に記載の装置。
- 前記プローブ及び/又は前記表面を収容するハウジングをさらに備え、前記ハウジング内の前記環境が、制御された相対湿度を有するガス又は空気、若しくは窒素のような制御されたガスを有する気体環境を提供するように制御される、請求項1又は請求項2に記載の装置。
- 前記測定装置がケルビンプローブを含む、上記請求項のいずれかに記載の装置。
- 前記プローブに印加される電位を或る電圧範囲を通して変化させる手段をさらに備える、上記請求項のいずれかに記載の装置。
- 前記光源から放出される放射が一定の強度(DC)である、上記請求項のいずれかに記載の装置。
- 前記光源から放出される放射が変調(AC)される、請求項1から請求項5までのいずれかに記載の装置。
- 光チョッパを備える、請求項7に記載の装置。
- ピークツーピーク電流データが、選択的にウィンドウを平均する様態で得られる、請求項7又は請求項8に記載の装置。
- 位相情報を用いて、実効ノイズを低減させる、請求項7から請求項9までのいずれかに記載の装置。
- CPD電圧がオフヌル線形外挿技術によって求められる、上記請求項のいずれかに記載の装置。
- 前記第1のモード及び前記第2のモードで同時に又は準同時に測定を行うように構成される、上記請求項のいずれかに記載の装置。
- 前記光源が紫外広帯域光源である、上記請求項のいずれかに記載の装置。
- 前記光源が、1つ以上の発光ダイオードを含む、上記請求項のいずれかに記載の装置。
- 複数のLEDを、それらの強度特徴、位相特徴、及び変調周波数特徴のうちの1つ又は複数に関して個々に自動的に又は選択的に制御することができる、請求項14に記載の装置。
- 可視範囲及び/又は赤外範囲内の放射を放出するための光源を備える、上記請求項のいずれかに記載の装置。
- 前記光源が、表面光起電力技術の実行のために使用されてもよい単一周波数の光を放出するように構成される、請求項16に記載の装置。
- 表面光起電力分光法を行うために、前記光源から放出される光の周波数は可変であってもよい、請求項16に記載の装置。
- 前記サンプルの前記表面にわたる前記パラメータをマッピングするために前記サンプルをプローブチップに対して走査するための機構を備える、上記請求項のいずれかに記載の装置。
- チョッパを有するUV光源と、チョッパを有する可視/赤外光源とを備え、2つの異なる光源を用いる測定を同時又は準同時の様態で行うことができるように、前記UV光源に対するチョッパのチョッピング周波数を、前記可視/赤外光源に対するチョッパのチョッピング周波数とは異なるように選択することができる、上記請求項のいずれかに記載の装置。
- (バルク)金属、金属合金、半導体、絶縁体、液体、ポリマー、複合材、導電性ポリマー、生物学的組織、薄膜を有する又は有さない粉体又は液体表面のうちのいずれか1つを含むサンプルとともに使用される、上記請求項のいずれかに記載の装置。
- 前記プローブのチップが、円形の幾何学的形状を有し、前記サンプル表面上に入射する光の量を反射によって増大させるために除去される1つ以上の区域を備える、上記請求項のいずれかに記載の装置。
- プローブチップが正電圧に一定に保たれ、且つ表面と固定関係に保たれ、フォトンのエネルギーが走査され、光電子放出電流がDCモードか又はACモードのいずれかで検出され、DOS(表面状態密度)情報が積分電流を微分することによって得られる、表面状態密度(DOS)分光法を行うように構成されている、上記請求項のいずれかに記載の装置。
- フォトンエネルギーが結果的に光電子放出を引き起こすエネルギーに一定に保たれ、且つプローブチップが表面と固定関係に保たれ、チップ電位が或る電圧範囲を通して走査され、光電子放出電流がDCモードか又はACモードのいずれかで検出され、DOS情報が積分電流を微分することによって得られる、表面状態密度(DOS)分光法を行うように構成されている、請求項1から請求項22までのいずれかに記載の装置。
- 表面を分析する方法であって、プローブと表面との接触電位差を測定するステップと、前記表面上に提供される又は前記表面を形成するサンプルからの光電子放出をトリガするための放射を放出するステップと、光源から放出される放射を波長セレクタを通してフィルタリングするステップと、を含み、前記プローブ及び前記表面が気体環境に露出又は収容され、前記プローブが、相対仕事関数測定の実行のための前記プローブ及び前記表面が前記表面に垂直な方向の動き成分をもって互いに対して発振する第1のモードと、検出された光電子放出から導出される絶対仕事関数の実行のための前記プローブが前記表面に垂直な方向に前記表面と固定関係にある、連続フォトンエネルギー測定のための第2のモードで選択的に動作可能である、方法。
- コンピュータ上で実行するときに、前記コンピュータを請求項1から請求項24までのいずれかに記載の装置及び/又は請求項25に記載の方法に関する制御機構として機能させる命令でエンコードされるコンピュータプログラム製品。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
GB1203186.0 | 2012-02-24 | ||
GB1203186.0A GB2495998B (en) | 2012-02-24 | 2012-02-24 | Measurement apparatus |
PCT/GB2013/050427 WO2013124663A1 (en) | 2012-02-24 | 2013-02-21 | Measurement apparatus |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015510595A JP2015510595A (ja) | 2015-04-09 |
JP2015510595A5 true JP2015510595A5 (ja) | 2015-09-24 |
JP6018645B2 JP6018645B2 (ja) | 2016-11-02 |
Family
ID=45991651
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014558204A Active JP6018645B2 (ja) | 2012-02-24 | 2013-02-21 | 測定装置 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8866505B2 (ja) |
EP (1) | EP2783205B1 (ja) |
JP (1) | JP6018645B2 (ja) |
GB (1) | GB2495998B (ja) |
WO (1) | WO2013124663A1 (ja) |
Families Citing this family (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9310396B2 (en) * | 2013-03-05 | 2016-04-12 | Alliance For Sustainable Energy, Llc | Apparatus and methods of measuring minority carrier lifetime using a liquid probe |
US9170165B2 (en) * | 2013-03-25 | 2015-10-27 | Globalfoundries U.S. 2 Llc | Workfunction modulation-based sensor to measure pressure and temperature |
US10060981B2 (en) * | 2014-12-03 | 2018-08-28 | Power ProbeTeK, LLC | Diagnostic circuit test device |
GB2539688B (en) * | 2015-06-24 | 2020-06-24 | Indikel As | Field Kelvin probe |
EP3314272B1 (en) * | 2015-06-24 | 2022-10-05 | Indikel As | Kelvin probe system with a rotating probe face |
JP6640531B2 (ja) * | 2015-11-02 | 2020-02-05 | 国立大学法人名古屋大学 | 電子が持つエネルギーの計測装置と計測方法 |
WO2017159879A1 (ja) * | 2016-03-18 | 2017-09-21 | シチズンファインデバイス株式会社 | 試料積載プレート及びその製造方法 |
KR102457527B1 (ko) * | 2018-01-25 | 2022-10-21 | 한화정밀기계 주식회사 | 플립 칩의 플럭스 도포 상태 검사 방법 |
US11885800B2 (en) * | 2019-10-18 | 2024-01-30 | Imra America, Inc. | Method and system for detecting analyte of interest using magnetic field sensor and magnetic particles |
WO2021130760A1 (en) | 2019-12-28 | 2021-07-01 | Institute For Plasma Research | Vacuum compatible device for measurement of work function and alkali metal atom flux |
CN111366540B (zh) * | 2020-03-30 | 2023-03-21 | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 | 半导体材料纳米尺度各向异性吸收系数的测量装置及方法 |
FR3129733B1 (fr) * | 2021-11-30 | 2024-02-16 | Commissariat Energie Atomique | Dispositif et procédé de caractérisation d’un matériau semiconducteur |
CN118033301B (zh) * | 2024-04-10 | 2024-07-02 | 深圳市兴威格科技有限公司 | 一种导电背胶性能检测用智能检测系统及方法 |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0711495B2 (ja) * | 1982-05-07 | 1995-02-08 | 株式会社日立製作所 | 光電子測定方法 |
US4823368A (en) | 1987-06-30 | 1989-04-18 | Rikagaku Kenkyujyo | Open counter for low energy electron detection with suppressed background noise |
JPH0362253A (ja) | 1989-07-31 | 1991-03-18 | Nec Corp | バスインタフェース回路 |
JPH09162253A (ja) * | 1995-12-08 | 1997-06-20 | Hitachi Ltd | 半導体評価装置 |
JP3481031B2 (ja) | 1996-02-07 | 2003-12-22 | 理化学研究所 | 二重円筒形オープンカウンター |
JP3419662B2 (ja) * | 1997-09-19 | 2003-06-23 | 理研計器株式会社 | 仕事関数測定方法、仕事関数測定装置、及び試料ホルダ |
CA2309412A1 (en) * | 2000-05-24 | 2001-11-24 | Michael Thompson | Scanning of biochemical microassays by kelvin microprobe |
US7084661B2 (en) * | 2000-05-24 | 2006-08-01 | Sensorchem International Corporation | Scanning kelvin microprobe system and process for analyzing a surface |
US6545758B1 (en) * | 2000-08-17 | 2003-04-08 | Perry Sandstrom | Microarray detector and synthesizer |
US7116115B2 (en) * | 2003-06-06 | 2006-10-03 | The Regents Of The University Of Michigan | Micromachined probe apparatus and methods for making and using same to characterize liquid in a fluidic channel and map embedded charge in a sample on a substrate |
GB0612071D0 (en) * | 2006-06-17 | 2006-07-26 | Kp Technology | Measurement device and method |
GB0612072D0 (en) * | 2006-06-17 | 2006-07-26 | Kp Technology | Measurement device and method |
-
2012
- 2012-02-24 GB GB1203186.0A patent/GB2495998B/en active Active
-
2013
- 2013-02-21 US US14/117,851 patent/US8866505B2/en active Active
- 2013-02-21 WO PCT/GB2013/050427 patent/WO2013124663A1/en active Application Filing
- 2013-02-21 EP EP13713476.3A patent/EP2783205B1/en active Active
- 2013-02-21 JP JP2014558204A patent/JP6018645B2/ja active Active
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