JP2015510207A5 - - Google Patents

Claims (2)

1. 流体の流量を制御するための質量流量制御器において、
   前記流体を受け取るための流入口と、
   前記流体が該質量流量制御器を通過する流路と、
   前記流路を通る前記流体の質量流量に対応する信号を提供する質量流量計と、
   該質量流量制御器の流出口から流出する前記流体の前記流量を調節するための調節可能バルブと、
   バルブヒステリシスモデルを用いて、所与の流量設定点に基づいて望ましいバルブ位置に前記調節可能バルブを移動させるためのバルブリフトを達成する力を生成するのに必要なバルブ駆動力を求める命令を実行するように構成された少なくとも１つの処理構成要素と、
   前記求められたバルブ駆動力に基づいてバルブ制御信号を与えて、前記調節可能バルブを前記望ましいバルブ位置に調節し、該質量流量制御器の流出口から流出する前記流体の前記流量を制御するように構成されたコントローラーとを具備する流体の流量を制御するための質量流量制御器。
2. 流体の流量を制御するための方法であって、
   所与の流量設定点に基づく望ましいバルブ位置に調節可能バルブを移動させるためのバルブリフトを達成する力を生成するのに必要なバルブ駆動力を、バルブヒステリシスモデルに基づいて求めることと、
   プロセッサを用いて、前記求められたバルブ駆動力に基づくバルブ制御信号を与えることであって、前記望ましいバルブ位置に前記調節可能バルブを調節して前記流体の前記流量を制御することとを含む流体の流量を制御するための方法。