JP2015508375A5 - - Google Patents

Claims (14)

1. 式（Ｉ）ＣｕＩｎ_ｘＧａ_{（１−ｘ）}Ｓｅ_２でｘが０．０１から０．９９の値である化合物を含む材料から、二酸化セレン及び銅インジウムガリウム残留物を供給するための方法であって、
   ａ）式（Ｉ）の前記化合物を含む材料を少なくとも５００℃まで加熱するステップ、
   ｂ）前記材料を、酸素を含むガスフローと接触させるステップ、及び
   ｄ）形成された生成物を収集するステップ、
   を含む方法。
2. ｘが０．９５である請求項１に記載の方法。
3. 前記材料が太陽電池用スパッタリングターゲットである請求項１又は２に記載の方法。
4. 前記材料が５００℃から１２００℃の間の温度にまで加熱される請求項１から３のいずれか一項に記載の方法。
5. 前記加熱が５００℃、６００℃、７００℃、８００℃、９００℃又は１０００℃で行われる請求項１から４のいずれか一項に記載の方法。
6. ステップａ）及びｂ）が少なくとも部分的に重複している請求項１から５のいずれか一項に記載の方法。
7. ステップａ）及びｂ）が重複する時間が６時間から３６時間である請求項１から６のいずれか一項に記載の方法。
8. 前記加熱がステップａ）若しくはｂ）の後又はステップａ）若しくはｂ）の間に停止される請求項１から７のいずれか一項に記載の方法。
9. ステップｂ）の後かつステップｄ）の前にステップｃ）をさらに含み、ステップｃ）は、前記材料を冷却するステップである請求項１から８のいずれか一項に記載の方法。
10. 前記材料が室温まで冷却される請求項９に記載の方法。
11. 前記ガスフローが空気、Ｏ_２、Ｏ_３又はそれらの混合物から構成される請求項１から１０のいずれか一項に記載の方法。
12. 前記ガスフローがステップｂ）、ｃ）若しくはｄ）の後又はステップｂ）、ｃ）若しくはｄ）の間に停止される請求項１から１１のいずれか一項に記載の方法。
13. 収集される生成物が、二酸化セレン及び／又は銅インジウムガリウム残留物である請求項１から１２のいずれか一項に記載の方法。
14. 請求項１から１３のいずれか一項に記載の方法によって得られる銅インジウムガリウム残留物。