JP2015221732A - 石英ガラスルツボ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】下凸湾曲状の底部1と円筒状の側壁部3との間にアール状のコーナー部3を有する2層構造のシリコン単結晶引上げ用石英ガラスルツボにおいて、内層4は、Na,K及びLiの各含有量が0.01wtppm未満である高純度石英粉により形成され、かつ、気泡を含まない透明石英ガラスからなり、外層5は、コーナー部3の少なくとも、アール状の上端からアール状の上端と下端の中間点までの範囲が、前記高純度石英粉により形成された高純度石英部6であり、コーナー部3の高純度石英部6以外の部分、底部1及び側壁部2が、気泡を含む不透明石英ガラスからなる構成とする。
【選択図】図1
Description
上記方法において、シリコン原料融液を収容する容器としては、石英ガラスルツボが用いられ、該石英ガラスルツボは、シリコン単結晶引上げ時には、カーボンルツボに嵌め込むようにセットされて、ルツボ外周からヒータ加熱される。
内層の透明シリカガラス層は、高純度合成シリカ粉原料により形成されるため、引上げられるシリコン単結晶に対する不純物汚染を抑制することができる。一方、外層の多気泡石英ガラス層は、天然石英粉原料により形成され、前記透明石英ガラス層に比べて、シリカ純度は低いものの、耐熱性に優れているという特徴を有している。
このような構成によれば、十分な耐熱強度を維持しつつ、ルツボ内表面の剥離の防止が図られたシリコン単結晶引上げ用石英ガラスルツボが得られる。
したがって、本発明に係る石英ガラスルツボは、シリコン単結晶引上げの歩留向上に寄与し得るものである。
図1に、本発明に係る石英ガラスルツボの断面図を示す。図1に示す石英ガラスルツボは、下凸湾曲状の底部1と円筒状の側壁部2との間にアール状のコーナー部3を有する断面がU字状の形状からなる。この石英ガラスルツボは、内層4と外層5とを備えた2層構造である。
そして、内層4は、高純度石英粉により形成された透明石英ガラスからなり、外層5は、コーナー部3の少なくとも一部が、前記高純度石英粉により形成された高純度石英部6であり、コーナー部3の高純度石英部6以外の部分、底部1及び側壁部2が、不透明石英ガラスからなる。
この上端A〜中間点Mの範囲が、ブラウンモールドに起因するルツボの内表面の剥離が最も生じやすい箇所であるため、少なくともこの範囲を含むように高純度石英部6を形成する。
このように、コーナー部3の所定の範囲を内層及び外層とも高純度石英粉により形成することにより、ルツボ内表面の剥離が防止され、シリコン単結晶への該ルツボの構成原料に起因する不純物の混入を抑制することができる。
なお、高純度石英部6を形成する上で、コーナー部3と側壁部2との境界、また、コーナー部3と底部1との境界は必ずしも厳密ではなく、±2cm程度の幅を考慮してよい。
ルツボの中心を通る鉛直方向断面における高純度石英部6の形状は、図2に示すように、ルツボの厚さ方向に対して平行に形成することが好ましい。あるいはまた、図3に示すように、ルツボの厚さ方向に対して、ルツボ外面に向かって広がるように形成することが好ましい。
本発明に係る石英ガラスルツボは、通常、後述するようなアーク溶融法により製造するため、高純度石英部6は、ルツボの厚さ方向に対して上記のような形状となるように構成すれば、製造時において原料粉の供給や成形も容易となり、また、強度の点においても問題なく形成することができる。
ルツボの構成材料に起因する単結晶シリコンの不純物汚染やシリコン原料融液の湯面振動の抑制等の観点から、ルツボの内層4は、全体を高純度透明石英ガラスとすることが好ましい。
石英粉原料に含まれる不純物のうち、特に、Na,K又はLiが石英ガラス中で拡散しやすく、ブラウンモールドの生成、さらに、ルツボ内表面の荒れや剥離に大きな影響を及ぼす。このため、これらの不純物をほとんど含まないことが好ましい。
底部1や側壁部2の外層に高純度石英粉を用いると、高純度石英粉は粘性が低いため、耐熱強度が低下し、高温での使用時に、座屈変形等が生じ、ルツボ内のシリコン原料融液の保持や安定したシリコン単結晶引上げが困難となるおそれがある。
ルツボ外周のヒータからの熱拡散を考慮した場合は、気泡を含む不透明石英ガラスであることが好ましい。このような構成とすることにより、ルツボ内のシリコン原料融液への伝熱を均一にすることができる。
また、外層5の厚さは、特に限定されるものではないが、同様の観点から、3〜28mm程度であることが好ましい。
まず、ルツボの中心軸周りに回転するルツボ成形用型内に、底部と側壁部には天然石英原料粉を、また、コーナー部には高純度石英粉を供給し、遠心力及び機械的押圧によって、外層を成形する。なお、外層の厚さ及び形状は、合成シリカ原料粉の量及び機械的押圧の程度を適宜調節することにより制御することができる。
次いで、前記型内の外層の成形体の内表面全体に高純度石英原料粉を供給し、遠心力及び機械的押圧によって、前記外層の成形体の内側に内層を成形する。
そして、上記のようにして得られた2層構造のルツボ成形体を、アーク溶融法により全体をガラス化し、外層が気泡を含む不透明石英ガラスであり、内層が気泡を含まない透明石英ガラスにより構成された石英ガラスルツボが得られる。
[実施例1]
回転モールド法及びアーク溶融法により、外径800mm、高さ500mmの図3に示すような構造の石英ガラスルツボを製造した。このルツボの内層の厚さは2mm、外層の厚さは25mmとした。
上記実施例1において、高純度石英部6を形成せずに、ルツボ全体が内層4と外層5の2層構造からなる石英ガラスルツボを製造した。
シリコン単結晶引上げ後のルツボの変形、ルツボ内表面の状態の観察、また、引上げられたシリコン単結晶の単結晶化率の評価を行った。
一方、従来の2層構造のルツボ(比較例1)は、変形は生じなかったものの、ルツボコーナー部の内表面に剥離が見られ、引上げられたシリコン単結晶の単結晶化率も80%であった。
2 側壁部
3 コーナー部
4 内層
5 外層
6 高純度石英部
Claims (3)
- 下凸湾曲状の底部と円筒状の側壁部との間にアール状のコーナー部を有し、内層及び外層を備えた2層構造のシリコン単結晶引上げ用石英ガラスルツボであって、
前記内層は、Na,K及びLiの各含有量が0.01wtppm未満である高純度石英粉により形成され、かつ、気泡を含まない透明石英ガラスからなり、
前記外層は、前記コーナー部の少なくとも、アール状の上端からアール状の上端と下端の中間点までの範囲が、前記高純度石英粉により形成された高純度石英部であり、前記コーナー部の前記高純度石英部以外の部分、前記底部及び前記側壁部が、気泡を含む不透明石英ガラスからなることを特徴とする石英ガラスルツボ。 - 前記高純度石英部は、ルツボの中心を通る鉛直方向断面において、ルツボの厚さ方向に対して、平行又はルツボ外面に向かって広がるように形成されていることを特徴とする請求項1記載の石英ガラスルツボ。
- 前記高純度石英部が、気泡を含む不透明石英ガラスからなることを特徴とする請求項1又は2に記載の石英ガラスルツボ。
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