JP2015221417A - Washing apparatus and washing method for electrically conductive substrate - Google Patents

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Hiroshi Sugimura
博 杉村
中村 知己
Tomoki Nakamura
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a washing apparatus for an electrically conductive substrate that can remove not only sticking matter such as chips and oil contents, but also foreign matter due to microorganisms to achieve excellent washing.SOLUTION: There is provided a washing apparatus for an electrically conductive substrate that includes a washing tank which stores a water type cleaning fluid, an air bubble supply part which supplies air bubbles including microbubbles including no oxygen into the cleaning fluid, and a substrate transfer part which dips the electrically conductive substrate for an electrophotographic sensitive body in the cleaning fluid supplied with the air bubbles.

Description

本発明は、電子写真感光体用の導電性基体の洗浄装置および洗浄方法に関する。   The present invention relates to a cleaning apparatus and a cleaning method for a conductive substrate for an electrophotographic photosensitive member.

電子写真感光体用導電性基体(以下、単に「導電性基体」と言う場合がある)の切削加工時には、加工油、潤滑油、防錆油などが用いられる。そのため、加工後の導電性基体には灯油など油分が付着しており、加えて切削粉や空気中の粉塵、ハンドリング時の皮脂や唾液など人由来の異物などが付着している。そのため、これらの付着物を洗浄により除去してから導電性基体上に感光層を塗布する必要がある。   When cutting a conductive substrate for an electrophotographic photosensitive member (hereinafter sometimes simply referred to as “conductive substrate”), processing oil, lubricating oil, rust preventive oil, or the like is used. Therefore, oil components such as kerosene are attached to the conductive substrate after processing, and in addition, human-derived foreign matters such as cutting powder, dust in the air, sebum and saliva during handling, and the like are attached. For this reason, it is necessary to apply a photosensitive layer on the conductive substrate after removing these deposits by washing.

導電性基体の洗浄方法としては、フロン、塩素系溶剤、有機溶剤、水系洗浄剤、または純水を用いて洗浄する方法があり、地球環境および人体への影響等を考慮して、現在では水系洗浄剤または純水を用いた洗浄方法が主流である。   Cleaning methods for conductive substrates include cleaning using chlorofluorocarbon, chlorinated solvents, organic solvents, water-based cleaning agents, or pure water. Considering the effects on the global environment and the human body, water-based cleaning methods are currently available. A cleaning method using a cleaning agent or pure water is the mainstream.

導電性基体の表面に感光層を塗布する浸漬塗布方法において、前処理である導電性基体表面の洗浄が不十分であると、その表面に油、ダスト等が残り、塗布の際にハジキ、シミ等の塗布欠陥の原因となる。このような電子写真感光体(以下、単に「感光体」と言う場合がある)上に発生した欠陥は、コピー画像に黒ポチ、白ポチ、ハーフトーン画像のムラ等を発生させ、画像品質に悪影響を及ぼす。   In the dip coating method in which the photosensitive layer is coated on the surface of the conductive substrate, if the surface of the conductive substrate, which is a pretreatment, is insufficiently cleaned, oil, dust, etc. remain on the surface, and repellency, Cause coating defects. Defects generated on such an electrophotographic photoreceptor (hereinafter sometimes referred to simply as “photoreceptor”) may cause black spots, white spots, uneven halftone images, etc. in the copy image, resulting in improved image quality. Adversely affect.

そこで、洗浄に際しては洗浄効率の向上のためエアーブローによるバブル洗浄が提案されている(例えば特許文献1参照)。
また、近年ではマイクロバブルが注目されていている(例えば、特許文献2参照)。通常のバブルは水面まですぐ上昇して消えてしまうのに対し、マイクロバブルは液中に滞留する時間が長いという特徴を有している。また、気泡内圧力が高い、負に帯電しているなど通常のバブルにない特徴を有している。マイクロバブルは高い洗浄効果を有しているため、油分や繊維質のほこりや切粉などそのほとんどを取り除くことができる。
In view of this, bubble cleaning by air blow has been proposed in order to improve cleaning efficiency (for example, see Patent Document 1).
In recent years, microbubbles have attracted attention (see, for example, Patent Document 2). A normal bubble rises up to the water surface and disappears, whereas a microbubble has a characteristic that it stays in the liquid for a long time. In addition, it has characteristics that are not found in normal bubbles, such as high internal pressure of bubbles and negative charging. Since microbubbles have a high cleaning effect, most of them, such as oil, fibrous dust and chips, can be removed.

特開平5−216254号公報JP-A-5-216254 特開2006−267443号公報JP 2006-267443 A

しかしながら、前記欠陥の発生原因として透明な異物がある。この透明な異物は、コピー画像に白点を発生させるため、感光体の生産歩留まり低下の大きな要因となっている。
本発明者は、透明な異物がどのようにして感光体に付着するのかを鋭意検討した結果、導電性基体の切削加工やハンドリングの際に付着するのではなく、導電性基体の洗浄工程で付着することが判明した。
そこで、空気のマイクロバブルを洗浄液中に供給すれば洗浄力が向上し導電性基体に付着した透明な異物が除去されると思われたが、実際は予想に反して益々透明な異物が増加する傾向にあることがわかった。
However, there is a transparent foreign substance as a cause of the occurrence of the defect. This transparent foreign matter generates a white spot in the copy image, which is a major factor in reducing the production yield of the photoreceptor.
As a result of intensive studies on how transparent foreign matter adheres to the photoreceptor, the present inventor does not adhere during cutting or handling of the conductive substrate, but adheres in the cleaning step of the conductive substrate. Turned out to be.
Therefore, it seemed that if microbubbles of air were supplied into the cleaning liquid, the cleaning power was improved and the transparent foreign matter adhering to the conductive substrate was removed. I found out.

様々な分析の結果、透明な異物は、通常水中に存在している枯草菌、赤色酵母菌などの微生物が排出する物質であることが判明した。
また、マイクロバブルは気泡が破裂する際に発生するカチオンラジカルによる殺菌作用が報告され強力な洗浄能力を有するが、その一方、気泡が溶解することにより溶存酸素量を増加させ、微生物の活動を活性化する作用も有する。そのため、微生物による水質浄化にも用いられていることが知られている。
すなわち、マイクロバブルにより水中の微生物を活性化させてしまい、益々透明な異物の排出を促進させていることが明らかなった。
As a result of various analyses, it was found that transparent foreign substances are substances discharged by microorganisms such as Bacillus subtilis and red yeast that are usually present in water.
Microbubbles have been reported to be sterilized by cation radicals generated when bubbles are ruptured and have a strong cleaning ability. On the other hand, dissolved bubbles increase the amount of dissolved oxygen and activate the activity of microorganisms. It also has the effect of becoming. Therefore, it is known that it is also used for water purification by microorganisms.
That is, it has been clarified that microbubbles activate microorganisms in the water and promote more and more transparent foreign matter discharge.

対策として、オゾンマイクロバブルによる殺菌も考えられるが、解放された洗浄槽での使用では、使用後のオゾンの処理が必要となり好ましくない。そこで、微生物が増殖しないように酸素を含まないバブルを使うことにより、透明な異物の発生を抑えつつ強力な洗浄効果を得ることに成功し、本発明を完成させるに至った。   As a countermeasure, sterilization with ozone microbubbles can be considered, but use in a released washing tank is not preferable because it requires treatment of ozone after use. Therefore, by using bubbles that do not contain oxygen so that microorganisms do not grow, the inventors have succeeded in obtaining a strong cleaning effect while suppressing the generation of transparent foreign matters, and have completed the present invention.

かくして、本発明によれば、水系の洗浄液を収容する洗浄槽と、この洗浄液中に酸素を含まない気泡を供給する気泡供給部と、前記気泡が供給された洗浄液中に電子写真感光体用の導電性基体を浸漬させる基体移送部とを備えた導電性基体の洗浄装置が提供される。
また、本発明の別の観点によれば、酸素を含まない気泡が供給された水系の洗浄液中に電子写真感光体用の導電性基体を浸漬させる工程を含む導電性基体の洗浄方法が提供される。
Thus, according to the present invention, a cleaning tank that contains an aqueous cleaning solution, a bubble supply unit that supplies bubbles that do not contain oxygen in the cleaning solution, and an electrophotographic photosensitive member in the cleaning solution that is supplied with the bubbles. An apparatus for cleaning a conductive substrate is provided that includes a substrate transfer section for immersing the conductive substrate.
Further, according to another aspect of the present invention, there is provided a method for cleaning a conductive substrate including a step of immersing a conductive substrate for an electrophotographic photosensitive member in an aqueous cleaning solution to which bubbles containing no oxygen are supplied. The

本発明によれば、酸素を含まない気泡が発生している純水又はイオン交換水中で濯ぎ処理をすることにより、液中酸素濃度が上昇することなく微生物の活性化を防止し微生物に起因する透明な異物の付着を防止することができる。   According to the present invention, by rinsing in pure water or ion-exchanged water in which bubbles containing no oxygen are generated, the activation of microorganisms is prevented without increasing the oxygen concentration in the liquid, resulting in microorganisms. It is possible to prevent adhesion of transparent foreign matters.

本発明の導電性基体の洗浄装置の実施形態1を示す概略構成図である。It is a schematic block diagram which shows Embodiment 1 of the washing | cleaning apparatus of the electroconductive base | substrate of this invention. 実施形態1の洗浄装置における気泡供給部を示す概略構成図である。It is a schematic block diagram which shows the bubble supply part in the washing | cleaning apparatus of Embodiment 1. 実施形態1の洗浄装置で洗浄された導電性基体を用いた電子写真感光体の一例を示す模式断面図である。FIG. 3 is a schematic cross-sectional view illustrating an example of an electrophotographic photosensitive member using a conductive substrate cleaned by the cleaning apparatus of Embodiment 1. 図3の電子写真感光体の部分的な拡大模式断面図である。FIG. 4 is a partially enlarged schematic cross-sectional view of the electrophotographic photosensitive member of FIG. 3. 図3の電子写真感光体を備えた画像形成装置の一例を示す模式図である。FIG. 4 is a schematic diagram illustrating an example of an image forming apparatus including the electrophotographic photosensitive member of FIG. 3. 微生物由来の透明な異物の写真である。It is a photograph of transparent foreign substances derived from microorganisms. 切粉の異物の写真である。It is the photograph of the foreign material of a chip. セルロース繊維の異物の写真である。It is a photograph of the foreign material of a cellulose fiber.

本発明の導電性基体の洗浄装置は、水系の洗浄液を収容する洗浄槽と、この洗浄液中に酸素を含まないマイクロバブルを含む気泡を供給する気泡供給部と、前記気泡が供給された洗浄液中に電子写真感光体用の導電性基体を浸漬させる基体移送部とを備える。   The cleaning apparatus for a conductive substrate according to the present invention includes a cleaning tank that stores an aqueous cleaning liquid, a bubble supply unit that supplies bubbles containing microbubbles not containing oxygen in the cleaning liquid, and the cleaning liquid supplied with the bubbles. And a substrate transfer section for immersing a conductive substrate for the electrophotographic photosensitive member.

本発明の導電性基体の洗浄装置は、次のように構成されてもよい。
(1)前記気泡供給部が、面積平均直径0.1〜100μmのマイクロバブルを含む気泡を発生させるよう構成されてもよい。
このようにすれば、マイクロバブルによるより高い洗浄効果を得ることができ、特に、油分や繊維質のほこりや切粉などの異物の除去に効果的である。
The conductive substrate cleaning apparatus of the present invention may be configured as follows.
(1) The bubble supply unit may be configured to generate bubbles including microbubbles having an area average diameter of 0.1 to 100 μm.
In this way, a higher cleaning effect by the microbubbles can be obtained, and in particular, it is effective for removing foreign matters such as oil, fibrous dust, and chips.

(2)前記気泡供給部が、気泡発生機と、窒素、二酸化炭素、アルゴンおよびヘリウムのうちから選択される単独または2種以上のガスを前記気泡発生機へ供給するガス供給源とを有してもよい。
このようにすれば、市販の気泡発生機および市販のガス供給源を利用して気泡発生部を構成することができる。
(2) The bubble supply unit has a bubble generator and a gas supply source that supplies one or more gases selected from nitrogen, carbon dioxide, argon, and helium to the bubble generator. May be.
If it does in this way, a bubble generation part can be constituted using a commercial bubble generator and a commercial gas supply source.

(3)前記気泡供給部が、前記洗浄槽内の洗浄液を前記気泡発生機内へ導入すると共に、前記気泡発生機内へ導入された洗浄液中にマイクロバブルを発生させて前記洗浄槽内の洗浄液中に供給するように構成されてもよい。
このようにすれば、洗浄槽内の洗浄液を利用してマイクロバブルを発生させることができるため、洗浄液の節約になる。
(3) The bubble supply unit introduces the cleaning liquid in the cleaning tank into the bubble generator, and generates microbubbles in the cleaning liquid introduced into the bubble generator so as to be contained in the cleaning liquid in the cleaning tank. It may be configured to supply.
In this way, since the microbubbles can be generated using the cleaning liquid in the cleaning tank, the cleaning liquid can be saved.

(4)前記洗浄槽は、界面活性剤を含む本洗浄用の水系の洗浄液を収容する洗浄槽と、界面活性剤を含まない濯ぎ用の水系の洗浄液を収容する洗浄槽とを有してなり、
前記気泡供給部は、前記濯ぎ用の水系の洗浄液中に酸素を含まない洗浄用気体からなる気泡を供給してもよい。
このようにすれば、本洗浄用の水系の洗浄液中から引き出した導電性基体の表面に残留した付着物を、酸素を含まない洗浄用気体からなる気泡が供給された濯ぎ用の水系の洗浄液中で効果的に除去することができる。また、濯ぎ用の水系の洗浄液中に酸素を含まない洗浄用気体からなる気泡を供給するため、洗浄の仕上げとなる濯ぎ用洗浄液中の微生物の活動活性化を抑制しクリーンな状態を維持することができて好適である。
(4) The cleaning tank includes a cleaning tank that stores an aqueous cleaning liquid for main cleaning including a surfactant, and a cleaning tank that stores an aqueous cleaning liquid for rinsing that does not include a surfactant. ,
The bubble supply unit may supply bubbles made of a cleaning gas not containing oxygen in the rinsing aqueous cleaning liquid.
In this way, the deposits remaining on the surface of the conductive substrate drawn out from the main cleaning aqueous cleaning liquid are removed from the rinsing aqueous cleaning liquid supplied with bubbles of cleaning gas not containing oxygen. Can be effectively removed. In addition, since bubbles of cleaning gas not containing oxygen are supplied into the rinsing water-based cleaning liquid, the activation of microorganisms in the rinsing cleaning liquid, which is the final finish of cleaning, is suppressed and a clean state is maintained. This is preferable.

(5)前記本洗浄用の水系の洗浄液中と前記濯ぎ用の水系の洗浄液中の少なくとも一方で超音波を発振する超音波発振器をさらに備えてもよい。
このようにすれば、さらに洗浄効果を高めることができる。
(5) An ultrasonic oscillator that oscillates ultrasonic waves may be further provided in at least one of the aqueous cleaning liquid for main cleaning and the aqueous cleaning liquid for rinsing.
In this way, the cleaning effect can be further enhanced.

本発明の導電性基体の洗浄方法は、酸素を含まない気泡が供給された水系の洗浄液中に電子写真感光体用の導電性基体を浸漬させる工程を含む。
本発明の導電性基体の洗浄方法は、次のように構成されてもよい。
(I)洗浄時の前記洗浄液の溶存酸素量が2mg/L以下であってもよい。
このようにすれば、水系の洗浄液中の微生物の活動活性化を効果的に抑制することができる。この結果、微生物に起因する透明な異物が原因となって生じる白点による画像欠陥を効果的に抑制することができる。なお、洗浄時の前記洗浄液の溶存酸素量は低いほど好ましい。
The method for cleaning a conductive substrate of the present invention includes a step of immersing the conductive substrate for an electrophotographic photosensitive member in an aqueous cleaning solution to which bubbles containing no oxygen are supplied.
The method for cleaning a conductive substrate of the present invention may be configured as follows.
(I) The amount of dissolved oxygen in the cleaning liquid during cleaning may be 2 mg / L or less.
In this way, the activity activation of microorganisms in the aqueous cleaning liquid can be effectively suppressed. As a result, it is possible to effectively suppress image defects due to white spots caused by transparent foreign matters caused by microorganisms. In addition, the lower the dissolved oxygen content of the cleaning liquid at the time of cleaning, the better.

(II)前記気泡が、0.1μm〜100μmの面積平均直径を有してもよい。
このようにすれば、マイクロバブルによるより高い洗浄効果を得ることができ、特に、油分や繊維質のほこりや切粉などの異物の除去に効果的である。
(II) The bubbles may have an area average diameter of 0.1 μm to 100 μm.
In this way, a higher cleaning effect by the microbubbles can be obtained, and in particular, it is effective for removing foreign matters such as oil, fibrous dust, and chips.

(III)前記気泡が、窒素、二酸化炭素、アルゴンおよびヘリウムのうちから選択される単独または2種以上のガスからなってもよい。
このようにすれば、酸素を含まない洗浄用気体として市販のガスボンベを利用することができる。
(III) The bubbles may be composed of one or more gases selected from nitrogen, carbon dioxide, argon and helium.
If it does in this way, a commercially available gas cylinder can be utilized as cleaning gas which does not contain oxygen.

(IV) 界面活性剤を含む本洗浄用の水系の洗浄液中に前記導電性基体を浸漬させて洗浄する工程を最初の洗浄工程としてさらに含み、
前記最初の洗浄工程より後の洗浄工程において洗浄液中に前記気泡を供給してもよい。
このようにすれば、界面活性剤を使用した最初の洗浄工程の後に、濯ぎ工程として酸素を含まない気泡を供給した洗浄液にて導電性基体を濯いで仕上げることができ、導電性基体から油分や繊維質のほこりや切粉、微生物に起因する透明な異物等を効果的に除去することができ、高い洗浄効果を得ることができる。
(IV) further includes a step of immersing and cleaning the conductive substrate in an aqueous cleaning solution for main cleaning containing a surfactant as an initial cleaning step;
You may supply the said bubble in a washing | cleaning liquid in the washing | cleaning process after the said 1st washing | cleaning process.
In this way, after the first cleaning step using a surfactant, the conductive substrate can be rinsed and finished with a cleaning solution supplied with bubbles that do not contain oxygen as a rinsing step. Fibrous dust and chips, transparent foreign matters caused by microorganisms and the like can be effectively removed, and a high cleaning effect can be obtained.

(V)前記洗浄液中で超音波を発振してもよい。
このようにすれば、さらに洗浄効果を高めることができる。
(V) Ultrasonic waves may be oscillated in the cleaning liquid.
In this way, the cleaning effect can be further enhanced.

以下、図面を参照しながら本発明の導電性基体の洗浄装置および洗浄方法の実施形態について詳説する。   Hereinafter, embodiments of a cleaning apparatus and a cleaning method for a conductive substrate according to the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

(実施形態1)
図1は本発明の導電性基体の洗浄装置の実施形態1を示す概略構成図であり、図2は実施形態1の洗浄装置における気泡供給部を示す概略構成図である。また、図3は実施形態1の洗浄装置で洗浄された導電性基体を用いた電子写真感光体の一例を示す模式断面図であり、図4は図3の電子写真感光体の部分的な拡大模式断面図である。
(Embodiment 1)
FIG. 1 is a schematic configuration diagram showing a first embodiment of a conductive substrate cleaning apparatus of the present invention, and FIG. 2 is a schematic configuration diagram showing a bubble supply unit in the cleaning apparatus of the first embodiment. 3 is a schematic cross-sectional view showing an example of an electrophotographic photosensitive member using a conductive substrate cleaned by the cleaning apparatus of Embodiment 1, and FIG. 4 is a partially enlarged view of the electrophotographic photosensitive member of FIG. It is a schematic cross section.

<導電性基体の洗浄装置について>
実施形態1の洗浄装置Wは、第1〜4の洗浄槽11、21、31、41と、第1〜4の洗浄槽11、21、31、41のうちの所定の洗浄槽内の洗浄液中に酸素を含まない洗浄用気体からなる気泡を供給する気泡供給部Bと、導電性基体Sを第1〜4の洗浄槽11、21、31、41内の洗浄液中に順番に浸漬させるように移送する基体移送部1とを備える。なお、図1において、気泡供給部Bは図示省略されている。
<About the conductive substrate cleaning device>
The cleaning apparatus W according to the first embodiment includes the first to fourth cleaning tanks 11, 21, 31, 41 and the cleaning liquid in a predetermined cleaning tank among the first to fourth cleaning tanks 11, 21, 31, 41. So that the bubble supply section B for supplying bubbles made of a cleaning gas not containing oxygen and the conductive substrate S are sequentially immersed in the cleaning liquid in the first to fourth cleaning tanks 11, 21, 31, 41. And a substrate transfer unit 1 for transferring. In addition, in FIG. 1, the bubble supply part B is abbreviate | omitting illustration.

[基体移送部]
基体移送部1は、第1〜4の洗浄槽11、21、31、41上に設けられたレール3と、レール3に沿って移動可能に設けられたロボットハンド2とを備えている。
[Substrate transfer section]
The substrate transfer unit 1 includes a rail 3 provided on the first to fourth cleaning tanks 11, 21, 31, and 41, and a robot hand 2 provided to be movable along the rail 3.

[第1の洗浄槽]
第1の洗浄槽11は、純水又はイオン交換水、好ましくは界面活性剤が溶解した純水又はイオン交換水の洗浄液18で満たされており、その内部には洗浄液18を所定温度(例えば、40〜60℃)に加熱するヒーター16が設けられている。
第1の洗浄槽11の底部には超音波発振器17が設けられており、導電性基体Sが第1の洗浄槽11内の洗浄液18中に浸漬する際に超音波が発振するように構成されている。
[First cleaning tank]
The first cleaning tank 11 is filled with pure water or ion-exchanged water, preferably a pure water or ion-exchanged water cleaning solution 18 in which a surfactant is dissolved, and the cleaning solution 18 is filled with a predetermined temperature (for example, A heater 16 for heating to 40 to 60 ° C. is provided.
An ultrasonic oscillator 17 is provided at the bottom of the first cleaning tank 11 so that ultrasonic waves oscillate when the conductive substrate S is immersed in the cleaning liquid 18 in the first cleaning tank 11. ing.

第1の洗浄槽11にはパイプ12を介して洗浄液18がタンク(図示せず)から定常的に送り込まれている。
第1の洗浄槽11の底部には、ポンプ14およびフィルター15を有する配管19が接続されており、洗浄によって導電性基体Sの表面から除去された油、ダスト、切粉等が分散している洗浄液18は配管19からポンプ14によりフィルター15を経て循環し、ダスト、切粉等はフィルター15にて補足される。
導電性基体Sの浸漬によりオーバーフローする洗浄液18、液面付近に開口するは配管13から外部に排出され、排出された洗浄液は排液処理装置(図示せず)により処理される。
A cleaning liquid 18 is steadily fed into the first cleaning tank 11 from a tank (not shown) through a pipe 12.
A pipe 19 having a pump 14 and a filter 15 is connected to the bottom of the first cleaning tank 11, and oil, dust, chips and the like removed from the surface of the conductive substrate S by cleaning are dispersed. The cleaning liquid 18 is circulated from the pipe 19 through the filter 15 by the pump 14, and dust, chips and the like are captured by the filter 15.
The cleaning liquid 18 overflows due to the immersion of the conductive substrate S, and the liquid that opens near the liquid surface is discharged from the pipe 13 to the outside, and the discharged cleaning liquid is processed by a drainage processing device (not shown).

洗浄液18中に添加される界面活性剤としては、導電性基体Sを腐食することのないノニオン系界面活性剤及び/又はアニオン系界面活性剤を使用することができ、その具体例としては、ポリオキシエチレンアルキルフェニルエーテル、ポリオキシエチレン・ポリオキシプロピレン・ブロックコポリマー型及びノニルフェノールポリオキシエチレンエーテルのノニオン系界面活性剤、及びアルキルベンゼン、高級アルコール、α−オレフィン等の硫酸塩、ケイ酸塩、炭酸塩又はリン酸塩のアニオン系界面活性剤が挙げられる。   As the surfactant added to the cleaning liquid 18, a nonionic surfactant and / or an anionic surfactant that does not corrode the conductive substrate S can be used. Nonionic surfactants of oxyethylene alkylphenyl ether, polyoxyethylene / polyoxypropylene block copolymer type and nonylphenol polyoxyethylene ether, and sulfates, silicates, carbonates of alkylbenzene, higher alcohols, α-olefins, etc. Or the anionic surfactant of a phosphate is mentioned.

また、洗浄助剤(ビルダー)として、炭酸ナトリウム、トリポリリン酸ナトリウム、ピロリン酸カリウム、ケイ酸ナトリウム、硫酸ナトリウム等の無機ビルダー、カルボキシメチルセルロース、メチルセルロース、有機アミン等の有機ビルダーを洗浄液18に添加してもよい。   Further, as a cleaning aid (builder), an inorganic builder such as sodium carbonate, sodium tripolyphosphate, potassium pyrophosphate, sodium silicate, or sodium sulfate, or an organic builder such as carboxymethyl cellulose, methyl cellulose, or organic amine is added to the cleaning liquid 18. Also good.

洗浄液18中の界面活性剤の濃度としては0.5〜30%、好ましくは4〜15%である。
洗浄液18中に導電性基体Sを浸漬させて洗浄する洗浄時間(浸漬時間)としては0.5〜10分間、好ましくは1.5〜5分間である。
The concentration of the surfactant in the cleaning liquid 18 is 0.5 to 30%, preferably 4 to 15%.
The cleaning time (immersion time) in which the conductive substrate S is immersed in the cleaning liquid 18 for cleaning is 0.5 to 10 minutes, preferably 1.5 to 5 minutes.

[第2〜第3の洗浄槽]
第2の洗浄槽21、第3の洗浄槽31および第4の洗浄槽41にはそれぞれ洗浄液25、35、45として純水又はイオン交換水が満たされており、第2〜4の洗浄槽21、31、41において順番に濯ぎ処理が行われる。この際、第2〜4の洗浄槽21、31、41内の各洗浄液25、35、45中に酸素を含まない洗浄用気体からなる気泡が供給されており、各洗浄液25、35、45中の溶存酸素が低く抑えられている。このときの溶存酸素量は、具体的には2mg/L以下に抑えられ、溶存酸素量は低いほど好ましい。
[Second to third washing tanks]
The second cleaning tank 21, the third cleaning tank 31, and the fourth cleaning tank 41 are filled with pure water or ion-exchanged water as the cleaning liquids 25, 35, and 45, respectively. , 31 and 41, the rinsing process is performed in order. At this time, bubbles made of a cleaning gas not containing oxygen are supplied to the cleaning liquids 25, 35, 45 in the second to fourth cleaning tanks 21, 31, 41. The dissolved oxygen is kept low. The dissolved oxygen amount at this time is specifically suppressed to 2 mg / L or less, and the dissolved oxygen amount is preferably as low as possible.

第2〜4の洗浄槽21、31、41の洗浄液25、35、45は、各洗浄槽の底部に設けられた配管26、36、46からポンプ22、32、42によりフィルター23、33、43を経て循環し、各フィルターによってダスト、切粉等が補足される。
洗浄液45はタンク60から第4の洗浄槽41に供給され、第4の洗浄槽41からのオーバーフローにより第3の洗浄槽31に洗浄液45が供給され、第3の洗浄槽31からのオーバーフローにより第2の洗浄槽21に洗浄液35が供給され、第2の洗浄槽21からオーバーフローする洗浄液25は、液面近くに開口する配管27から外部排出され、排液処理装置(図示省略)で処理される。
The cleaning liquids 25, 35, 45 of the second to fourth cleaning tanks 21, 31, 41 are filtered from the pipes 26, 36, 46 provided at the bottom of each cleaning tank by the pumps 22, 32, 42. It circulates through and is supplemented with dust, chips, etc. by each filter.
The cleaning liquid 45 is supplied from the tank 60 to the fourth cleaning tank 41, the cleaning liquid 45 is supplied to the third cleaning tank 31 by the overflow from the fourth cleaning tank 41, and the third cleaning tank 31 is overflowed by the overflow from the third cleaning tank 31. The cleaning liquid 35 is supplied to the second cleaning tank 21, and the cleaning liquid 25 overflowing from the second cleaning tank 21 is discharged to the outside from a pipe 27 that opens near the liquid surface, and is processed by a drainage processing device (not shown). .

なお、図1において、符号50はクリーンブースを示しており、第4の洗浄槽41での濯ぎ工程を完了した導電性基体Sはクリーンブース50に移送され、クリーンブース50において乾燥工程が行われる。   In FIG. 1, reference numeral 50 denotes a clean booth, and the conductive substrate S that has completed the rinsing process in the fourth cleaning tank 41 is transferred to the clean booth 50 and the drying process is performed in the clean booth 50. .

[気泡供給部]
気泡供給部Bは、気泡発生機b1と、酸素を含まない洗浄用気体として窒素、二酸化炭素、アルゴンおよびヘリウムのうちから選択される単独または2種以上のガスを気泡発生機b1へ供給するガス供給源b2とを備え、洗浄槽内の洗浄液を気泡発生機b1内へ導入すると共に、気泡発生機(マイクロバブル発生機)b1内へ導入された洗浄液中にマイクロバブルを発生させて洗浄槽内の洗浄液中に供給するように構成されている。
なお、実施形態1では、第2〜4の洗浄槽21、31、41内の洗浄液25、35、45中に窒素ガスからなるマイクロバブルを供給する場合を説明しているが、図1中には気泡供給部Bは図示されていない。
[Bubble supply unit]
The bubble supply unit B supplies the bubble generator b1 with one or more gases selected from nitrogen, carbon dioxide, argon and helium as a cleaning gas not containing oxygen and the bubble generator b1. A supply source b2 for introducing the cleaning liquid in the cleaning tank into the bubble generator b1 and generating microbubbles in the cleaning liquid introduced into the bubble generator (microbubble generator) b1. It is comprised so that it may supply in the washing | cleaning liquid.
In the first embodiment, the case where microbubbles made of nitrogen gas are supplied into the cleaning liquids 25, 35, and 45 in the second to fourth cleaning tanks 21, 31, and 41 has been described. The bubble supply unit B is not shown.

第2の洗浄槽21に対応する気泡供給部Bについて説明すると、気泡発生機b1は、ガス供給源b2からの洗浄用気体を内部に導入するための第1導入口b11と、第2の洗浄槽21内の洗浄液25を内部に導入するための第2導入口b12と、マイクロバブルを有する洗浄液を第2の洗浄槽21内へ送出する送出口b13とを有する。そして、第1導入口b11は流量計を有するパイプb3を介してガス供給源b2と接続され、第2導入口b12は第2の洗浄槽21内の洗浄液25中に採取口を有するパイプb4と接続され、送出口b13は第2の洗浄槽21内の洗浄液25中に放出口を有するパイプb5と接続されている。   The bubble supply unit B corresponding to the second cleaning tank 21 will be described. The bubble generator b1 includes a first introduction port b11 for introducing the cleaning gas from the gas supply source b2 into the inside, and a second cleaning unit. It has a second introduction port b12 for introducing the cleaning liquid 25 in the tank 21 into the inside, and a delivery port b13 for sending the cleaning liquid having microbubbles into the second cleaning tank 21. The first inlet b11 is connected to the gas supply source b2 via a pipe b3 having a flow meter, and the second inlet b12 is connected to a pipe b4 having a sampling port in the cleaning liquid 25 in the second cleaning tank 21. The outlet b13 is connected to a pipe b5 having a discharge port in the cleaning liquid 25 in the second cleaning tank 21.

気泡発生機b1によるマイクロバブルの発生方法としては、旋回液流式、スタティックミキサー式、加圧式、キャビテーション式、ベンチュリー式、細孔式、回転式等が挙げられ、本発明においてはいずれかの方式に限定されるものではない。具体的には、特開2008−23435号公報、特開2003−126665号公報、特開平6−165806号公報等に記載のマイクロバブル発生装置が挙げられる。   Examples of the method for generating microbubbles by the bubble generator b1 include a swirling liquid flow method, a static mixer method, a pressurization method, a cavitation method, a venturi method, a pore method, a rotation method, and the like. It is not limited to. Specific examples include microbubble generators described in JP-A-2008-23435, JP-A-2003-126665, JP-A-6-165806, and the like.

気泡発生機b1は、面積平均直径が0.1〜100μmのマイクロバブルを含む気泡を発生させるものが好ましい。すなわち、本発明において、濯ぎ処理で使用される洗浄用気体からなる気泡は、主として面積平均直径が0.1〜100μmのマクロバブルを含むことが好ましく、0.1μm未満のバブルおよび100μmを超えるバブルを半分以下の割合(体積比)で含んでもよい。   The bubble generator b1 is preferably one that generates bubbles including microbubbles having an area average diameter of 0.1 to 100 μm. That is, in the present invention, the bubbles made of the cleaning gas used in the rinsing treatment preferably mainly include macro bubbles having an area average diameter of 0.1 to 100 μm, and bubbles smaller than 0.1 μm and bubbles larger than 100 μm. May be included at a ratio (volume ratio) of less than half.

第3および第4の洗浄槽31、41に個別に対応する気泡供給部Bは、第2の洗浄槽21に対応する気泡供給部Bと同様の構成である。
第2〜第4の洗浄槽21、31、41における導電性基体Sの浸漬時間(濯ぎ時間)はそれぞれ0.5〜10分間、好ましくは1.5〜5.0分間である。
The bubble supply unit B individually corresponding to the third and fourth cleaning tanks 31 and 41 has the same configuration as the bubble supply unit B corresponding to the second cleaning tank 21.
The immersion time (rinsing time) of the conductive substrate S in the second to fourth cleaning tanks 21, 31, and 41 is 0.5 to 10 minutes, preferably 1.5 to 5.0 minutes, respectively.

本発明において、気泡の面積平均直径は、気泡を含有する水系洗浄液をサンプリングしてレーザ回折散乱方式の粒度分布測定装置で測定することにより求めた値を採用している。
水系処理液に含まれる気泡の面積平均径は、レーザ回折・散乱式の粒度測定装置(例えば、日機装株式会社製のマイクロトラックMT3000)によって測定される値である。
In the present invention, the area average diameter of the bubbles employs a value obtained by sampling an aqueous cleaning liquid containing bubbles and measuring it with a laser diffraction scattering type particle size distribution measuring apparatus.
The area average diameter of the bubbles contained in the aqueous processing liquid is a value measured by a laser diffraction / scattering particle size measuring device (for example, Microtrac MT3000 manufactured by Nikkiso Co., Ltd.).

<導電性基体の洗浄方法について>
本発明の導電性基体の洗浄方法は、酸素を含まない洗浄用気体からなる気泡が供給された水系の洗浄液中に電子写真感光体用の導電性基体を浸漬させる工程を含む。
実施形態1では、図1および図2で説明した洗浄装置Wを用い、第1の洗浄槽11での洗浄工程(本洗浄工程)と、第2〜第4の洗浄槽21、31、41での濯ぎ工程と、クリーンブース50での乾燥工程が行われ、濯ぎ工程が、酸素を含まない洗浄用気体からなる気泡が供給された水系の洗浄液中に電子写真感光体用の導電性基体を浸漬させる工程となる。
<About cleaning method of conductive substrate>
The method for cleaning a conductive substrate of the present invention includes a step of immersing the conductive substrate for an electrophotographic photosensitive member in an aqueous cleaning solution to which bubbles made of a cleaning gas not containing oxygen are supplied.
In the first embodiment, the cleaning device W described in FIGS. 1 and 2 is used, and the cleaning process (main cleaning process) in the first cleaning tank 11 and the second to fourth cleaning tanks 21, 31, 41 are used. The rinsing process and the drying process in the clean booth 50 are performed, and the rinsing process immerses the electroconductive substrate for the electrophotographic photosensitive member in an aqueous cleaning solution supplied with bubbles made of a cleaning gas not containing oxygen. Process.

[洗浄工程]
切削加工された導電性基体1は、レール3に配置されたロボットハンド2にて吊り下げ状態で支持され、第1の洗浄槽11内の界面活性剤を含む所定温度の洗浄液18中に所定時間浸漬される。この間、超音波発振器17にて洗浄液18内で超音波が発振する。またこの間、必要に応じて導電性基体Sを揺動させてもよい。この洗浄工程によって、導電性基体Sの表面に付着した油、ダスト、切粉等が除去される。なお、洗浄液18の温度としては40〜50℃程度、浸漬時間としては0.5〜10分間程度とすることができるが、これに限定されるものではない。
[Washing process]
The cut conductive substrate 1 is supported in a suspended state by a robot hand 2 disposed on a rail 3 and is washed in a cleaning liquid 18 at a predetermined temperature containing a surfactant in the first cleaning tank 11 for a predetermined time. Soaked. During this time, ultrasonic waves are oscillated in the cleaning liquid 18 by the ultrasonic oscillator 17. During this time, the conductive substrate S may be swung as necessary. By this cleaning process, oil, dust, chips and the like attached to the surface of the conductive substrate S are removed. The temperature of the cleaning liquid 18 can be about 40 to 50 ° C., and the immersion time can be about 0.5 to 10 minutes, but is not limited to this.

[濯ぎ工程]
第1の洗浄槽11における洗浄工程が終了すると、次に、第2の洗浄槽21内の洗浄液25内に導電性基体Sが所定時間浸漬されて第1の濯ぎ処理が行われる。この間、第2の洗浄槽21に対応する気泡供給部Bによって洗浄液25中に面積平均直径が0.1〜100μmのマイクロバブルを含む気泡が供給される。また、浸漬時間としては0.5〜10分間程度とすることができるが、これに限定されるものではない。
[Rinsing process]
When the cleaning process in the first cleaning tank 11 is completed, the conductive substrate S is then immersed in the cleaning liquid 25 in the second cleaning tank 21 for a predetermined time, and the first rinsing process is performed. During this time, bubbles containing microbubbles having an area average diameter of 0.1 to 100 μm are supplied into the cleaning liquid 25 by the bubble supply unit B corresponding to the second cleaning tank 21. Moreover, as immersion time, it can be set as about 0.5-10 minutes, However, It is not limited to this.

第2の洗浄槽21での第1の濯ぎ処理後は、これと同様に、第3および第4の洗浄槽31、41での第2および第3の濯ぎ処理が行われる。なお、第1〜第3の濯ぎ処理の際、必要に応じてロボットハンド2にて導電性基体Sを揺動させてもよい。例えば、円筒状な場合には導電性基体Sを揺動させてもよい。   After the first rinsing process in the second cleaning tank 21, the second and third rinsing processes in the third and fourth cleaning tanks 31 and 41 are performed in the same manner. Note that the conductive substrate S may be swung by the robot hand 2 as necessary during the first to third rinsing processes. For example, in the case of a cylindrical shape, the conductive substrate S may be swung.

本発明によれば、前記洗浄工程および濯ぎ工程を経ることによって、表面が高度に清浄化された導電性基体Sを得ることができる。そして、この導電性基体S上に感光層を設けて製造された電子写真感光体によれば、導電性基体S上の異物(透明な異物、繊維質のほこり、切粉等)や油分等に起因する画質欠陥が発生せず、長期に亘って優れた画像品質を維持することが可能となる。   According to the present invention, the conductive substrate S having a highly cleaned surface can be obtained through the washing step and the rinsing step. Then, according to the electrophotographic photosensitive member manufactured by providing a photosensitive layer on the conductive substrate S, it is possible to remove foreign matter (transparent foreign matter, fibrous dust, chips, etc.) or oil on the conductive substrate S. The resulting image quality defect does not occur, and it is possible to maintain excellent image quality over a long period of time.

本発明において、水系の洗浄液に含まれるマイクロバブルは、その大きさ故に長時間液中に滞在することができると共に、極性を有した帯電状態にあると考えられる。これにより、導電性基体S上の異物や油分さらには液中に浮遊する異物や油分と確実に接触し、異物や油分と付着した状態で浮上すると考えられる。つまり、前記洗浄工程を経た濯ぎ工程では、導電性基体Sから異物や油分が極めて有効に除去されるとともに導電性基体Sへの再汚染が十分に防止される結果、高度に清浄化された導電性基体Sが得られると考えられる。   In the present invention, it is considered that the microbubbles contained in the aqueous cleaning liquid can stay in the liquid for a long time due to its size and are in a charged state having polarity. Thereby, it is considered that the foreign substance and oil content on the conductive substrate S and the foreign substance and oil component floating in the liquid are surely brought into contact with the foreign substance and the oil component and floated. That is, in the rinsing process after the cleaning process, foreign substances and oil are removed from the conductive substrate S very effectively and recontamination to the conductive substrate S is sufficiently prevented. It is considered that the conductive substrate S is obtained.

また、面積平均直径が0.1〜100μmのマイクロバブルは、導電性基体Sの微小な凹凸部まで進入することが可能であるため、このことも高度な清浄化の達成に寄与していると考えられる。本発明において、面積平均直径が20〜90μmのマイクロバブルが好ましく、30〜60μmのマイクロバブルがさらに好ましい。
さらに、マイクロバブルは酸素を含まない気体からなるため、水系の洗浄液の溶存酸素量が減少し、溶存酸素量の増加による微生物の活動活性化を引き起こすことがない。この結果、水系の洗浄液中への微生物からの透明な異物の排出が抑制され、導電性基体Sへの透明な異物の付着が抑制される。
In addition, since the microbubbles having an area average diameter of 0.1 to 100 μm can enter even the minute uneven portions of the conductive substrate S, this also contributes to the achievement of advanced cleaning. Conceivable. In the present invention, microbubbles having an area average diameter of 20 to 90 μm are preferable, and microbubbles of 30 to 60 μm are more preferable.
Furthermore, since the microbubble is made of a gas not containing oxygen, the amount of dissolved oxygen in the aqueous cleaning liquid is reduced, and the activation of microorganisms due to the increase in the amount of dissolved oxygen is not caused. As a result, discharge of transparent foreign matters from the microorganisms into the aqueous cleaning liquid is suppressed, and adhesion of transparent foreign matters to the conductive substrate S is suppressed.

なお、水系の洗浄液に含まれる気泡の面積平均直径が0.1μm未満では、導電性基体Sを高度に清浄化することが難しくなる傾向にある。この理由としては、面積平均直径0.1μm未満の気泡は浮力が不十分であり、また液中に溶解しやすいため、異物や油分を除去する効果が十分に得られないことが考えられる。   Note that when the area average diameter of the bubbles contained in the aqueous cleaning liquid is less than 0.1 μm, it is difficult to highly clean the conductive substrate S. The reason for this may be that bubbles having an area average diameter of less than 0.1 μm have insufficient buoyancy and are easily dissolved in the liquid, so that the effect of removing foreign matter and oil cannot be sufficiently obtained.

一方、水系の洗浄液に含まれる気泡の面積平均直径が100μmを超えても導電性基体Sを高度に清浄化することが難しくなる傾向にある。この理由としては、液中へのエアーブローによって発生する面積平均直径100μm超の気泡では、空気の圧力効果により導電性基体Sから異物や油分をはじきとばすため、異物や油分が再び導電性基体Sに付着する可能性が高くなるためと考えられる。また、面積平均直径100μm超の気泡では、液中での滞在時間も短く、かつ導電性基体Sの表面の微小な凹凸部まで進入することができないため、導電性基体Sの凹凸部の窪み部に存在する微細な異物や油分を完全に除去しきれないと考えられる。   On the other hand, even when the area average diameter of the bubbles contained in the aqueous cleaning liquid exceeds 100 μm, it tends to be difficult to highly clean the conductive substrate S. The reason for this is that bubbles with an area average diameter of more than 100 μm generated by air blowing into the liquid repel foreign matter and oil from the conductive substrate S due to the pressure effect of the air, so that the foreign matter and oil again become conductive substrate S. This is considered to be because the possibility of adhering to the surface increases. Further, in the case of bubbles having an area average diameter of more than 100 μm, the residence time in the liquid is short, and it is not possible to enter even the minute irregularities on the surface of the conductive substrate S. It is considered that fine foreign matter and oil present in the water cannot be completely removed.

洗浄槽内の洗浄液中へのマイクロバブルの供給量は、マイクロバブルにて導電性基体Sが完全に覆われる程度とされる。例えば、容積250Lの洗浄槽内の洗浄液中に20本の導電性基体Sを浸漬させて濯ぎ処理を行う場合、気泡発生機b1から洗浄槽へのマイクロバブルの送気流量としては、例えば0.25〜0.75L/min程度であり、好ましくは0.35〜0.65L/minである。   The amount of microbubbles supplied to the cleaning liquid in the cleaning tank is such that the conductive substrate S is completely covered with the microbubbles. For example, when rinsing is performed by immersing 20 conductive substrates S in a cleaning liquid in a cleaning tank having a volume of 250 L, the air flow rate of microbubbles from the bubble generator b1 to the cleaning tank is, for example, 0. It is about 25-0.75 L / min, Preferably it is 0.35-0.65 L / min.

[乾燥工程]
濯ぎ工程が終了した導電性基体Sは、公知の方法、例えばクリーン度100に保たれたクリーンブース50内で80℃のクリーンエアーを吹き付けて乾燥される。
[Drying process]
The conductive substrate S after the rinsing step is dried by spraying clean air at 80 ° C. in a known method, for example, in a clean booth 50 maintained at a cleanness of 100.

<電子写真感光体の構成について>
図3は実施形態1の洗浄装置で洗浄された導電性基体を用いた電子写真感光体の一例を示す模式断面図であり、図4は図3の電子写真感光体の部分的な拡大模式断面図である。
本発明において、電子写真感光体Pは、前記のようにして洗浄処理された導電性基体Sと、この導電性基体Sの外周面上に設けられた感光層Pbとを備えて構成される。
<Configuration of electrophotographic photoreceptor>
3 is a schematic cross-sectional view showing an example of an electrophotographic photosensitive member using a conductive substrate cleaned by the cleaning apparatus of Embodiment 1, and FIG. 4 is a partially enlarged schematic cross-sectional view of the electrophotographic photosensitive member of FIG. FIG.
In the present invention, the electrophotographic photosensitive member P includes the conductive substrate S cleaned as described above, and the photosensitive layer Pb provided on the outer peripheral surface of the conductive substrate S.

感光層Pbとしては、電荷輸送物質と電荷発生物質を同一の層に含有する単層型感光層と、電荷発生物質を含有する電荷発生層と電荷輸送物質を含有する電荷輸送層とに機能分離した積層型感光層とが挙げられる。また、電荷発生層を積層構造としてもよく、電荷輸送層を積層構造としてもよい。また、導電性基体Sと感光層Pbの密着性を向上させる目的として、導電性基体Pb上に中間層を形成し、中間層の上に感光層を形成する構成であってもよい。また、感光体の耐久性を向上させる目的として、感光層上に保護層を形成してもよい。   The photosensitive layer Pb is functionally separated into a single-layer type photosensitive layer containing a charge transport material and a charge generation material in the same layer, a charge generation layer containing a charge generation material, and a charge transport layer containing a charge transport material. And a laminated type photosensitive layer. Further, the charge generation layer may have a stacked structure, and the charge transport layer may have a stacked structure. Further, for the purpose of improving the adhesion between the conductive substrate S and the photosensitive layer Pb, an intermediate layer may be formed on the conductive substrate Pb, and the photosensitive layer may be formed on the intermediate layer. Further, for the purpose of improving the durability of the photoreceptor, a protective layer may be formed on the photosensitive layer.

本実施形態に係る感光体Pは、図3および図4に示すように、円筒状の導電性基体Sの外周面上に中間層Paが形成され、中間層Pa上に感光層Pbが形成される構成になっている。
さらに、感光体Pは、感光層Pbが、電荷発生物質を含有する電荷発生層Pb1と、その電荷発生層Pb1の上に積層される層であって電荷輸送物質を含有する電荷輸送層Pb2とに機能分離された積層型感光体である。なお、本実施形態において、保護層は設けられておらず、電荷輸送層Pb2が表面層となっている。
以下、図3と図4に基づいて、本実施形態に係る感光体Pを構成する各層について説明する。
As shown in FIGS. 3 and 4, the photoreceptor P according to the present embodiment has an intermediate layer Pa formed on the outer peripheral surface of a cylindrical conductive substrate S, and a photosensitive layer Pb formed on the intermediate layer Pa. It is the composition which becomes.
Further, the photoreceptor P includes a charge generation layer Pb 1 in which the photosensitive layer Pb contains a charge generation material, and a charge transport layer containing a charge transport material that is laminated on the charge generation layer Pb 1. This is a laminated photoconductor that is functionally separated into Pb 2 . In this embodiment, no protective layer is provided, and the charge transport layer Pb 2 is a surface layer.
Hereinafter, the respective layers constituting the photoreceptor P according to the present embodiment will be described with reference to FIGS. 3 and 4.

[導電性基体]
導電性基体Sは、感光体Pの電極として機能すると共に、導電性基体Sに順次積層される層、すなわち中間層Paおよび感光層Pbの支持部材としても機能する。
導電性基体2を構成する導電性材料としては、例えば、アルミニウム、銅、亜鉛、ニッケル、ステンレス鋼、クロム、モリブデン、バナジウム、インジウム、チタン、金及び白金などの導電性金属、アルミニウム合金、真鍮などの銅合金及び亜鉛合金などの導電性合金、酸化錫、酸化インジウムなど導電性金属化合物等を用いることができる。
[Conductive substrate]
The conductive substrate S functions as an electrode of the photoreceptor P and also functions as a support member for the layers sequentially stacked on the conductive substrate S, that is, the intermediate layer Pa and the photosensitive layer Pb.
Examples of the conductive material constituting the conductive base 2 include aluminum, copper, zinc, nickel, stainless steel, chromium, molybdenum, vanadium, indium, titanium, gold, platinum, and other conductive metals, aluminum alloys, brass, and the like. Conductive alloys such as copper alloys and zinc alloys, and conductive metal compounds such as tin oxide and indium oxide can be used.

また、導電性基体Sを構成する導電性材料としては、ポリチオフェレン系、ポリアセチレン系、ポリアニリン系、ポリピロール系の導電性高分子を用いてもよい。さらに、導電性基体Sを構成する導電性材料としては、ポリエチレンテレフタレート、ナイロン、ポリエステル、ポリオキシメチレン若しくはポリスチレンなどの高分子材料、硬質紙またはガラスなどの表面に前記導電性金属または導電性合金から選択される金属箔をラミネートしたもの、あるいは前記導電性化合物または導電性高分子を蒸着もしくは塗布したものなどを用いることもできる。   Further, as the conductive material constituting the conductive substrate S, a polythioferene-based, polyacetylene-based, polyaniline-based, or polypyrrole-based conductive polymer may be used. Furthermore, as the conductive material constituting the conductive substrate S, a polymer material such as polyethylene terephthalate, nylon, polyester, polyoxymethylene or polystyrene, the surface of hard paper or glass is made of the conductive metal or conductive alloy. It is also possible to use a laminate of selected metal foils, or one obtained by depositing or applying the conductive compound or conductive polymer.

導電性基体Sの形状は、図3に示すような円筒状に限定されず、望まれる感光体Pの形状に合わせ、シート状など、所定の形状であってもよい。
また、導電性基体Sの表面は、必要に応じて、画質に影響のない範囲内で、陽極酸化皮膜処理、薬品もしくは熱水などによる表面処理、着色処理、あるいは表面を粗面化するなどの乱反射処理が施されてもよい。
導電性基体Sの表面は、前記のような処理を施されることによって、レーザを露光光源として用いる電子写真プロセスの場合に生じる、露光光源からのレーザ光と感光層Pb内部で反射されたレーザ光の干渉による画像欠陥を防ぐことができる。
本発明はこのような導電性基体Sの洗浄に係る発明である。
The shape of the conductive substrate S is not limited to the cylindrical shape as shown in FIG. 3, and may be a predetermined shape such as a sheet shape according to the desired shape of the photoreceptor P.
Further, the surface of the conductive substrate S may be subjected to an anodized film treatment, a surface treatment with chemicals or hot water, a coloring treatment, or a surface roughening as necessary within a range that does not affect the image quality. An irregular reflection process may be performed.
The surface of the conductive substrate S is subjected to the treatment as described above, so that the laser beam from the exposure light source and the laser reflected inside the photosensitive layer Pb are generated in the case of an electrophotographic process using a laser as the exposure light source. Image defects due to light interference can be prevented.
The present invention is an invention relating to such cleaning of the conductive substrate S.

[中間層]
中間層Paは、導電性基体Sの外周面上に積層される層である。この中間層Paには、各種樹脂材料からなる樹脂層あるいはアルマイト層などが用いられる。
前記樹脂層を構成する樹脂材料としては、ポリエチレン樹脂、ポリプロピレン樹脂、ポリスチレン樹脂、アクリル樹脂、塩化ビニル樹脂、酢酸ビニル樹脂、ポリウレタン樹脂、エポキシ樹脂、ポリエステル樹脂、メラミン樹脂、シリコーン樹脂、ポリビニルブチラール樹脂、ポリビニルピロリドン樹脂、ポリアクリルアミド樹脂及びポリアミド樹脂などの樹脂、若しくはこれらの樹脂を構成する繰返し単位のうちの2つ以上を含む共重合体樹脂、さらに、カゼイン、ゼラチン、ポリビニルアルコール、セルロース、ニトロセルロース及びエチルセルロースなどが挙げられる。
[Middle layer]
The intermediate layer Pa is a layer laminated on the outer peripheral surface of the conductive substrate S. As the intermediate layer Pa, a resin layer or an alumite layer made of various resin materials is used.
As the resin material constituting the resin layer, polyethylene resin, polypropylene resin, polystyrene resin, acrylic resin, vinyl chloride resin, vinyl acetate resin, polyurethane resin, epoxy resin, polyester resin, melamine resin, silicone resin, polyvinyl butyral resin, Resins such as polyvinylpyrrolidone resins, polyacrylamide resins and polyamide resins, or copolymer resins containing two or more of the repeating units constituting these resins; and casein, gelatin, polyvinyl alcohol, cellulose, nitrocellulose, and Examples include ethyl cellulose.

これらの樹脂層を構成する樹脂材料の中でも、アルコール可溶性ナイロン樹脂およびポリアミド樹脂を用いることが好ましく、特にアルコール可溶性ナイロン樹脂が好ましい。好ましいアルコール可溶性ナイロン樹脂としては、例えば6−ナイロン、6,6−ナイロン、6,10−ナイロン、11−ナイロン、2−ナイロン及び12−ナイロンなどを共重合させた所謂共重合ナイロン、並びにN−アルコキシメチル変性ナイロン及びN−アルコキシエチル変性ナイロンのようにナイロンを化学的に変性させた樹脂などを挙げることができる。   Among the resin materials constituting these resin layers, alcohol-soluble nylon resins and polyamide resins are preferably used, and alcohol-soluble nylon resins are particularly preferable. Preferred alcohol-soluble nylon resins include, for example, so-called copolymer nylon obtained by copolymerizing 6-nylon, 6,6-nylon, 6,10-nylon, 11-nylon, 2-nylon and 12-nylon, and N- Examples thereof include resins obtained by chemically modifying nylon such as alkoxymethyl-modified nylon and N-alkoxyethyl-modified nylon.

また、中間層Paは、電荷調整機能を持たせることを目的に、フィラー粒子が添加されてもよい。フィラー粒子は、例えば、カーボンナノコイル等の炭素微粒子、酸化チタン、酸化アルミニウム、酸化鉛などの金属酸化物微粒子、水酸化アルミニウムといった金属水酸化物粒子などが挙げられる。フィラー粒子の粒子径としては、0.01μm以上0.3μm以下程度が適当である。好ましくは、0.02μm以上0.1μm以下程度である。   In addition, filler particles may be added to the intermediate layer Pa for the purpose of providing a charge adjusting function. Examples of the filler particles include carbon fine particles such as carbon nanocoils, metal oxide fine particles such as titanium oxide, aluminum oxide, and lead oxide, metal hydroxide particles such as aluminum hydroxide, and the like. The particle diameter of the filler particles is suitably about 0.01 μm or more and 0.3 μm or less. Preferably, it is about 0.02 μm or more and 0.1 μm or less.

中間層Paは、例えば、前記の樹脂材料を適当な溶剤中に溶解または分散させて調整された中間層塗布液を導電性基体Sの表面に塗布することによって形成される。中間層Paにフィラー粒子を含有させる場合には、例えば、樹脂材料を適当な溶剤に溶解させて得られる樹脂溶液中に、カーボンナノコイルを分散させて中間層用塗布液を調製し、この塗布液を導電性基体Sの表面に塗布することによって中間層Paを形成することができる。   The intermediate layer Pa is formed, for example, by applying an intermediate layer coating solution prepared by dissolving or dispersing the resin material in an appropriate solvent to the surface of the conductive substrate S. When the filler particles are included in the intermediate layer Pa, for example, a coating solution for the intermediate layer is prepared by dispersing carbon nanocoils in a resin solution obtained by dissolving a resin material in an appropriate solvent. The intermediate layer Pa can be formed by applying the liquid to the surface of the conductive substrate S.

中間層用塗布液の溶剤には、水もしくは各種有機溶剤、またはこれらの混合溶剤が用いられ、例えば、水、メタノール、エタノールもしくはブタノールなどの単独溶剤、または水とアルコール類、2種類以上のアルコール混液、アセトンもしくはジオキソランなどとアルコール類、ジクロロエタン、クロロホルムもしくはトリクロロエタンなどのハロゲン系有機溶剤とアルコール類などの混合溶剤が用いられる。これらの溶剤の中でも、地球環境に対する配慮から、非ハロゲン系有機溶剤が好適に用いられる。   As the solvent for the coating solution for the intermediate layer, water, various organic solvents, or a mixed solvent thereof is used. For example, water, methanol, ethanol or butanol alone, or water and alcohols, two or more alcohols. A mixed solution, a mixed solvent such as acetone or dioxolane and alcohols, a halogen-based organic solvent such as dichloroethane, chloroform or trichloroethane, and alcohols is used. Among these solvents, non-halogen organic solvents are preferably used in consideration of the global environment.

フィラー粒子を樹脂溶液中に分散させる方法としては、ボールミル、サンドミル、アトライタ、振動ミル、超音波分散機またはペイントシェーカなどを用いる一般的な方法を使用することができる。また、微小空隙中にフィラー粒子を含む溶剤を超高圧で通過させることによって発生する非常に強いせん断力を利用したメディアレスタイプの分散装置を利用することによって、より安定な中間層用塗布液を製造することが可能となる。
中間層用塗布液の塗布方法としては、従来公知の塗布方法が選択され、例えば、スプレー法、バーコート法、ロールコート法、ブレード法、リング法及び浸漬塗布法などを挙げることができる。
As a method for dispersing the filler particles in the resin solution, a general method using a ball mill, a sand mill, an attritor, a vibration mill, an ultrasonic disperser, a paint shaker, or the like can be used. In addition, by using a media-less type dispersion device that uses a very strong shearing force generated by passing a solvent containing filler particles in a microscopic space at an ultra-high pressure, a more stable coating solution for intermediate layers can be obtained. It can be manufactured.
As a coating method for the intermediate layer coating solution, a conventionally known coating method is selected, and examples thereof include a spray method, a bar coating method, a roll coating method, a blade method, a ring method, and a dip coating method.

中間層Paを設けることによって、導電性基体Sからの感光層Pbへの電荷の注入を防止することができる。したがって、感光層Pbの帯電性の低下を防ぐことができ、露光によって消去されるべき部分以外の表面電荷の減少を抑え、画像にかぶりなどの欠陥が発生することを防止することができる。
さらに中間層Paを設けることによって、導電性基体Sの表面の凸凹を被覆して均一な表面を得ることができるので、感光層Pbの成膜性を高めることができると共に、導電性基体Sに対する感光層Pbの剥離抑制および接着性向上を図ることができる。
By providing the intermediate layer Pa, injection of charges from the conductive substrate S to the photosensitive layer Pb can be prevented. Therefore, it is possible to prevent a decrease in chargeability of the photosensitive layer Pb, to suppress a decrease in surface charge other than a portion to be erased by exposure, and to prevent occurrence of defects such as fogging on the image.
Further, by providing the intermediate layer Pa, the surface of the conductive substrate S can be covered to obtain a uniform surface, so that the film formability of the photosensitive layer Pb can be improved and the conductive substrate S can be formed. It is possible to suppress peeling of the photosensitive layer Pb and improve adhesion.

中間層Paの膜厚は、0.01μm以上20μm以下であることが好ましく、より好ましくは0.05μm以上10μm以下である。中間層Paの膜厚が0.01μmよりも薄いと、導電性基体Sの凸凹を被覆して均一な表面性を得ることができず、導電性基体Sからの感光層Pbへの電荷の注入を防止することができなくなり、感光層Pbの帯電性の低下が生じる。すなわち、実質的に中間層Paとして機能できなくなる。
また、中間層Paの膜厚を20μmよりも厚くすることは、中間層Paを浸漬塗布法によって形成する場合に、中間層Paの形成を困難にすると共に、中間層Pa上に感光層Pbを均一に形成することができず、得られる感光体Pの感度が低下するので好ましくない。
The thickness of the intermediate layer Pa is preferably 0.01 μm or more and 20 μm or less, and more preferably 0.05 μm or more and 10 μm or less. If the thickness of the intermediate layer Pa is less than 0.01 μm, the unevenness of the conductive substrate S cannot be covered to obtain a uniform surface property, and charge injection from the conductive substrate S to the photosensitive layer Pb is not possible. Cannot be prevented, and the chargeability of the photosensitive layer Pb is lowered. That is, it cannot substantially function as the intermediate layer Pa.
Further, making the thickness of the intermediate layer Pa larger than 20 μm makes it difficult to form the intermediate layer Pa when the intermediate layer Pa is formed by a dip coating method, and the photosensitive layer Pb is formed on the intermediate layer Pa. Since it cannot form uniformly and the sensitivity of the obtained photoreceptor P falls, it is not preferable.

なお、本実施形態に係る感光体Pでは、導電性基体Sと感光層Pbの間に中間層Paを設ける構成になっているが、必ずしも設ける必要はない。但し、導電性基体Sと感光層Pbとの間に中間層Paがない場合、導電性基体Sまたは感光層Pbの欠陥に起因して微小な領域での帯電性の低下が生じ、黒ポチなどの画像のかぶりが発生し、著しい画像欠陥を生じることがあるため、中間層Paを設けることが好ましい。   In the photoreceptor P according to this embodiment, the intermediate layer Pa is provided between the conductive substrate S and the photosensitive layer Pb. However, it is not always necessary to provide the intermediate layer Pa. However, if there is no intermediate layer Pa between the conductive substrate S and the photosensitive layer Pb, the chargeability in a minute region is reduced due to defects in the conductive substrate S or the photosensitive layer Pb, black spots, etc. Therefore, the intermediate layer Pa is preferably provided.

[電荷発生層]
電荷発生層Pb1は、中間層Pa上に形成された層である。電荷発生層Pb1は、光を吸収することによって電荷を発生する電荷発生物質を主成分として含有する。電荷発生層Pb1に含まれる電荷発生物質は、有機系顔料を含む有機系光導電性材料と、無機系顔料を含む無機系光導電性材料とが挙げられる。
[Charge generation layer]
The charge generation layer Pb 1 is a layer formed on the intermediate layer Pa. The charge generation layer Pb 1 contains, as a main component, a charge generation material that generates charges by absorbing light. Examples of the charge generation material contained in the charge generation layer Pb 1 include an organic photoconductive material containing an organic pigment and an inorganic photoconductive material containing an inorganic pigment.

有機系顔料を含む有機系光導電性材料としては、モノアゾ系顔料、ビスアゾ系顔料及びトリスアゾ系顔料などのアゾ系顔料、インジゴ及びチオインジゴなどのインジゴ系顔料、ペリレンイミド及びペリレン酸無水物などのペリレン系顔料、アントラキノン及びピレンキノンなどの多環キノン系顔料、チタニルフタロシアニンなどの金属フタロシアニン及び無金属フタロシアニンなどのフタロシアニン系顔料、スクアリリウム色素、ピリリウム塩類及びチオピリリウム塩類、トリフェニルメタン系色素などの有機光導電性材料が挙げられる。
無機顔料を含む無機系光導電性材料としては、セレン及びその合金、ヒ素-セレン、硫化カドミウム、酸化亜鉛、アモルファスシリコン、その他の無機光導電体が挙げられる。
Examples of organic photoconductive materials including organic pigments include monoazo pigments, azo pigments such as bisazo pigments and trisazo pigments, indigo pigments such as indigo and thioindigo, and perylenes such as peryleneimide and perylene anhydride. Organic photoconductive materials such as pigments, polycyclic quinone pigments such as anthraquinone and pyrenequinone, metal phthalocyanines such as titanyl phthalocyanine and phthalocyanine pigments such as metal-free phthalocyanine, squarylium dyes, pyrylium salts and thiopyrylium salts, and triphenylmethane dyes Is mentioned.
Examples of inorganic photoconductive materials containing inorganic pigments include selenium and its alloys, arsenic-selenium, cadmium sulfide, zinc oxide, amorphous silicon, and other inorganic photoconductors.

また、電荷発生物質は、メチルバイオレット、クリスタルバイオレット、ナイトブルー及びビクトリアブルーなどに代表されるトリフェニルメタン系染料、エリスロシン、ローダミンB、ローダミン3R、アクリジンオレンジ及びフラペオシンなどに代表されるアクリジン染料、メチレンブルー及びメチレングリーンなどに代表されるチアジン染料、カプリブルー及びメルドラブルーなどに代表されるオキサジン染料、シアニン染料、スチリル染料、ピリリウム塩染料またはチオピリリウム塩染料などの増感染料と混合して用いてもよい。   In addition, the charge generation materials include triphenylmethane dyes typified by methyl violet, crystal violet, knight blue and victoria blue, erythrosine, rhodamine B, rhodamine 3R, acridine dyes typified by acridine orange and frapeosin, and methylene blue. And thiazine dyes typified by methylene green, oxazine dyes typified by capri blue and meldra blue, cyanine dyes, styryl dyes, pyrylium salt dyes or thiopyrylium salt dyes, etc. Good.

電荷発生層Pb1の形成方法としては、従来公知の形成方法から選択され、前記の電荷発生物質を導電性基体Sあるいは中間層Paの表面に真空蒸着する方法、または電荷発生物質を適当な溶剤中に分散させて得られる電荷発生層用塗布液を中間層Paの表面に塗布する方法などが用いられる。中でも、結着剤であるバインダー樹脂を溶剤中に混合して得られるバインダー樹脂溶液中に、前記電荷発生物質を従来公知の方法によって分散させて電荷発生層用塗布液を調製し、得られた電荷発生層用塗布液を中間層Paの表面に塗布する方法が好適に用いられる。 The method for forming the charge generation layer Pb 1 is selected from conventionally known formation methods. The method for vacuum-depositing the charge generation material on the surface of the conductive substrate S or the intermediate layer Pa, or the charge generation material using a suitable solvent. For example, a method of coating the surface of the intermediate layer Pa with a coating solution for a charge generation layer obtained by dispersing in the medium is used. Among them, a charge generating layer coating solution was prepared by dispersing the charge generating material in a binder resin solution obtained by mixing a binder resin as a binder in a solvent by a conventionally known method. A method of applying the charge generation layer coating solution to the surface of the intermediate layer Pa is preferably used.

電荷発生層Pb1に用いられるバインダー樹脂としては、例えば、ポリエステル樹脂、ポリスチレン樹脂、ポリウレタン樹脂、フェノール樹脂、アルキッド樹脂、メラミン樹脂、エポキシ樹脂、シリコーン樹脂、アクリル樹脂、メタクリル樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリアリレート樹脂、フェノキシ樹脂、プチラール樹脂、ポリビニルブチラール樹脂、ポリ塩化ビニル樹脂及びポリビニルホルマール樹脂などの樹脂、並びにこれらの樹脂を構成する繰返し単位のうちの2つ以上を含む共重合体樹脂などを挙げることができる。 Examples of the binder resin used for the charge generation layer Pb 1 include polyester resin, polystyrene resin, polyurethane resin, phenol resin, alkyd resin, melamine resin, epoxy resin, silicone resin, acrylic resin, methacrylic resin, polycarbonate resin, and polyarylate. Resin, phenoxy resin, petital resin, polyvinyl butyral resin, polyvinyl chloride resin, polyvinyl formal resin, and other resins, and copolymer resins containing two or more of the repeating units constituting these resins. it can.

共重合体樹脂の具体例としては、例えば塩化ビニル−酢酸ビニル共重合体樹脂、塩化ビニル−酢酸ビニル−無水マレイン酸共重合体樹脂及びアクリロニトリル−スチレン共重合体樹脂などの絶縁性樹脂などを挙げることができる。
バインダー樹脂はこれらに限定されるものではなく、一般に用いられる樹脂を結着樹脂として使用することができる。これらの樹脂は、1種が単独で使用されてもよく、また2種以上が混合されて使用されてもよい。
Specific examples of the copolymer resin include insulating resins such as vinyl chloride-vinyl acetate copolymer resin, vinyl chloride-vinyl acetate-maleic anhydride copolymer resin, and acrylonitrile-styrene copolymer resin. be able to.
The binder resin is not limited to these, and a commonly used resin can be used as the binder resin. One kind of these resins may be used alone, or two or more kinds thereof may be mixed and used.

電荷発生層用塗布液の溶剤には、例えば、ジクロロメタンもしくはジクロロエタンなどのハロゲン化炭化水素、メタノール、エタノールなどのアルコール類、アセトン、メチルエチルケトンもしくはシクロヘキサノンなどのケトン類、酢酸エチルもしくは酢酸ブチルなどのエステル類、テトラヒドロフランもしくはジオキサンなどのエーテル類、1,2−ジメトキシエタンなどのエチレングリコールのアルキルエーテル類、ベンゼン、トルエンもしくはキシレンなどの芳香族炭化水素類、またはN,N−ジメチルホルムアミドもしくはN,N−ジメチルアセトアミドなどの非プロトン性極性溶剤などが用いられ、1種が単独で使用されてもよく、2種以上の混合溶剤として使用してもよい。中でも、地球環境に対する配慮から、非ハロゲン系有機溶剤が好適に用いられる。   Examples of the solvent for the charge generation layer coating solution include halogenated hydrocarbons such as dichloromethane or dichloroethane, alcohols such as methanol and ethanol, ketones such as acetone, methyl ethyl ketone and cyclohexanone, and esters such as ethyl acetate and butyl acetate. , Ethers such as tetrahydrofuran or dioxane, alkyl ethers of ethylene glycol such as 1,2-dimethoxyethane, aromatic hydrocarbons such as benzene, toluene or xylene, or N, N-dimethylformamide or N, N-dimethyl An aprotic polar solvent such as acetamide is used, and one kind may be used alone, or two or more kinds may be used as a mixed solvent. Among these, non-halogen organic solvents are preferably used in consideration of the global environment.

電荷発生物質とバインダー樹脂とを含んで構成される電荷発生層Pb1において、電荷発生物質の重量とバインダー樹脂の重量の重量比率は、10/100以上400/100以下であることが好ましい。
電荷発生物質の重量とバインダー樹脂の重量の重量比率が10/100未満であると、感光体1の感度が低下する。一方で、電荷発生物質の重量とバインダー樹脂の重量の重量比率が400/100を超えると、電荷発生層Pb1の膜強度が低下するだけでなく、電荷発生物質の分散性が低下して粗大粒子が増大するので、露光によって消去されるべき部分以外の表面電荷が減少し、画像欠陥、特に白地にトナーが付着し微小な黒点が形成される黒ポチと呼ばれる画像のかぶりが多くなる。
In the charge generation layer Pb 1 including the charge generation material and the binder resin, the weight ratio of the weight of the charge generation material to the weight of the binder resin is preferably 10/100 or more and 400/100 or less.
When the weight ratio of the weight of the charge generating material to the weight of the binder resin is less than 10/100, the sensitivity of the photoreceptor 1 is lowered. On the other hand, when the weight ratio of the weight of the charge generating material to the weight of the binder resin exceeds 400/100, not only the film strength of the charge generating layer Pb 1 is lowered but also the dispersibility of the charge generating material is lowered and coarse. Since the particles increase, the surface charge other than the portion to be erased by exposure decreases, and the image defect, particularly the fogging of an image called a black spot where a toner adheres to a white background and a minute black spot is formed increases.

電荷発生物質は、バインダー樹脂溶液中に分散される前に、予め粉砕機によって粉砕処理されてもよい。粉砕処理に用いられる粉砕機としては、ボールミル、サンドミル、アトライタ、振動ミル及び超音波分散機などを挙げることができる。
また、電荷発生物質をバインダー樹脂溶液中に分散させる際に用いられる分散機としては、ペイントシェーカ、ボールミル及びサンドミルなどを挙げることができる。分散条件としては、用いる容器及び分散機を構成する部材の摩耗などによる不純物の混入が起こらないように適当な条件を選択する。
The charge generation material may be pulverized in advance by a pulverizer before being dispersed in the binder resin solution. Examples of the pulverizer used for the pulverization treatment include a ball mill, a sand mill, an attritor, a vibration mill, and an ultrasonic disperser.
Examples of the disperser used when dispersing the charge generating material in the binder resin solution include a paint shaker, a ball mill, and a sand mill. As a dispersion condition, an appropriate condition is selected so that impurities are not mixed due to wear of a container used and a member constituting the disperser.

電荷発生層用塗布液の塗布方法としては、中間層用塗布液の塗布方法と同様に、従来公知の塗布方法が選択され、例えば、スプレー法、バーコート法、ロールコート法、ブレード法、リング法及び浸漬塗布法などを挙げることができる。
電荷発生層Pb1の膜厚は、0.05μm以上5μm以下であることが好ましく、より好ましくは0.1μm以上1μm以下である。電荷発生層Pb1の膜厚が0.05μm未満であると、光吸収の効率が低下し、得られる感光体Pの感度が低下する。一方で、電荷発生層Pb1の膜厚が5μmを超えると、電荷発生層Pb1内部での電荷移動が感光層Pbの表面電荷を消去する過程の律速段階となり、得られる感光体Pの感度が低下する。
As a coating method for the charge generation layer coating solution, a conventionally known coating method is selected in the same manner as the coating method for the intermediate layer coating solution. For example, a spray method, a bar coating method, a roll coating method, a blade method, a ring method, and the like. And dip coating method.
The film thickness of the charge generation layer Pb 1 is preferably 0.05 μm or more and 5 μm or less, and more preferably 0.1 μm or more and 1 μm or less. If the film thickness of the charge generation layer Pb 1 is less than 0.05 μm, the light absorption efficiency is lowered, and the sensitivity of the obtained photoreceptor P is lowered. On the other hand, when the film thickness of the charge generation layer Pb 1 exceeds 5 μm, charge transfer inside the charge generation layer Pb 1 becomes a rate-limiting step in the process of erasing the surface charge of the photosensitive layer Pb, and the sensitivity of the resulting photoreceptor P Decreases.

[電荷輸送層]
電荷輸送層Pb2は、電荷発生層Pb1上に設けられ、電荷発生層Pb1に含まれる電荷発生物質により発生した電荷を受入れて輸送する能力を有する電荷輸送物質を主成分とし、結着樹脂および必要に応じて公知の添加剤を含有する。ここで、主成分とは、その成分がその主たる機能を発現できる量を含有することを意味する。
[Charge transport layer]
The charge transport layer Pb 2 is provided on the charge generation layer Pb 1, mainly composed of a charge transport material capable of transporting accept the charges generated by the charge generation material contained in the charge generation layer Pb 1, binder It contains a resin and, if necessary, known additives. Here, the main component means that the component contains an amount capable of expressing its main function.

電荷輸送物質としては、当該技術分野で用いられるホール輸送物質および電子輸送物質を用いることができる。
ホール輸送物質としては、例えば、カルバゾール誘導体、ピレン誘導体、オキサゾール誘導体、オキサジアゾール誘導体、チアゾール誘導体、チアジアゾール誘導体、トリアゾール誘導体、イミダゾール誘導体、イミダゾロン誘導体、イミダゾリジン誘導体、ビスイミダゾリジン誘導体、スチリル化合物、ヒドラゾン化合物、多環芳香族化合物、インドール誘導体、ピラゾリン誘導体、オキサゾロン誘導体、ベンズイミダゾール誘導体、キナゾリン誘導体、ベンゾフラン誘導体、アクリジン誘導体、フェナジン誘導体、アミノスチルベン誘導体、トリアリールアミン誘導体、トリアリールメタン誘導体、フェニレンジアミン誘導体、スチルベン誘導体、エナミン誘導体およびベンジジン誘導体、ならびにこれらの化合物から生じる基を主鎖または側鎖に有するポリマー、例えばポリ−N−ビニルカルバゾール、ポリ−1−ビニルピレン、エチルカルバゾール-ホルムアルデヒド樹脂、トリフェニルメタンポリマー、ポリ−9−ビニルアントラセンなど、およびポリシランなどが挙げられる。
As the charge transport material, hole transport materials and electron transport materials used in the technical field can be used.
Examples of hole transport materials include carbazole derivatives, pyrene derivatives, oxazole derivatives, oxadiazole derivatives, thiazole derivatives, thiadiazole derivatives, triazole derivatives, imidazole derivatives, imidazolone derivatives, imidazolidine derivatives, bisimidazolidine derivatives, styryl compounds, hydrazones. Compound, polycyclic aromatic compound, indole derivative, pyrazoline derivative, oxazolone derivative, benzimidazole derivative, quinazoline derivative, benzofuran derivative, acridine derivative, phenazine derivative, aminostilbene derivative, triarylamine derivative, triarylmethane derivative, phenylenediamine derivative Stilbene derivatives, enamine derivatives and benzidine derivatives, and groups derived from these compounds in the main chain. The polymer having the side chain, such as poly -N- vinylcarbazole, poly-1-vinylpyrene, ethylcarbazole - formaldehyde resins, triphenylmethane polymers, such as poly-9-vinyl anthracene, and polysilane, and the like.

電子輸送物質としては、例えば、ベンゾキノン誘導体、テトラシアノエチレン誘導体、テトラシアノキノジメタン誘導体、フルオレノン誘導体、キサントン誘導体、フェナントラキノン誘導体、無水フタル酸誘導体、ジフェノキノン誘導体などの有機化合物が挙げられる。
これらの電荷輸送物質は、1種を単独でまたは2種以上を組み合わせて用いることができる。
Examples of the electron transporting material include organic compounds such as benzoquinone derivatives, tetracyanoethylene derivatives, tetracyanoquinodimethane derivatives, fluorenone derivatives, xanthone derivatives, phenanthraquinone derivatives, phthalic anhydride derivatives, and diphenoquinone derivatives.
These charge transport materials can be used alone or in combination of two or more.

結着樹脂としては、特に限定されず、当該分野で公知の樹脂をいずれも使用できる。特に、膜強度の観点から、ポリカーボネートを主成分とする樹脂が好ましい。
ポリカーボネート以外の樹脂としては、例えば、ポリメチルメタクリレート樹脂、ポリスチレン樹脂、ポリ塩化ビニル樹脂などのビニル重合体樹脂およびこれらを構成する繰り返し単位のうちの2つ以上を含む共重合体樹脂、ならびにポリエステル樹脂、ポリエステルカーボネート樹脂、ポリスルホン樹脂、フェノキシ樹脂、エポキシ樹脂、シリコーン樹脂、ポリアリレート樹脂、ポリアミド樹脂、メタクリル樹脂、アクリル樹脂、ポリエーテル樹脂、ポリウレタン樹脂、ポリアクリルアミド樹脂、フェノール樹脂、ポリフェニレンオキサイド樹脂およびこれらの樹脂を部分的に架橋した熱硬化性樹脂が挙げられる。これらの樹脂は、1種を単独でまたは2種以上を組み合わせて用いることができる。
The binder resin is not particularly limited, and any resin known in the art can be used. In particular, a resin containing polycarbonate as a main component is preferable from the viewpoint of film strength.
Examples of the resin other than polycarbonate include vinyl polymer resins such as polymethyl methacrylate resin, polystyrene resin, and polyvinyl chloride resin, and copolymer resins including two or more of repeating units constituting these, and polyester resins Polyester carbonate resin, polysulfone resin, phenoxy resin, epoxy resin, silicone resin, polyarylate resin, polyamide resin, methacrylic resin, acrylic resin, polyether resin, polyurethane resin, polyacrylamide resin, phenol resin, polyphenylene oxide resin and these A thermosetting resin obtained by partially crosslinking the resin can be used. These resins can be used alone or in combination of two or more.

電荷輸送物質の重量W3と結着樹脂の重量W4との比率W3/W4は、100分の30(30/100)以上100分の200(200/100)以下であることが好ましい。
比率W3/W4が200/100を超えると、膜強度が著しく低下し、画像欠陥が生じることがある。
また、比率W3/W4が30/100未満では、塗布液の粘度が増大して塗布速度が低下し、生産性が著しく悪くなるおそれがある。
The ratio W3 / W4 between the weight W3 of the charge transport material and the weight W4 of the binder resin is preferably 30/100 (30/100) or more and 200/100 or less (200/100).
When the ratio W3 / W4 exceeds 200/100, the film strength is remarkably lowered and image defects may occur.
On the other hand, when the ratio W3 / W4 is less than 30/100, the viscosity of the coating solution increases, the coating speed decreases, and the productivity may be remarkably deteriorated.

電荷輸送層Pb2は、本発明の効果が阻害されない範囲で、電荷発生層Pb1の添加剤として例示した公知の添加剤を含んでいてもよい。
例えば、酸化防止剤の含有量は、電荷輸送物質100重量部当たり0.1〜50重量部であるのが好ましい。
酸化防止剤の含有量が0.1重量部未満では、塗布液の安定性の向上および感光体Pの耐久性の向上に充分な効果を得ることができないことがある。一方、酸化防止剤の含有量が50重量部を超えると、感光体特性に悪影響を及ぼすことがある。
The charge transport layer Pb 2 may contain a known additive exemplified as the additive of the charge generation layer Pb 1 as long as the effects of the present invention are not inhibited.
For example, the content of the antioxidant is preferably 0.1 to 50 parts by weight per 100 parts by weight of the charge transport material.
If the content of the antioxidant is less than 0.1 parts by weight, it may not be possible to obtain a sufficient effect for improving the stability of the coating solution and improving the durability of the photoreceptor P. On the other hand, if the content of the antioxidant exceeds 50 parts by weight, the photoreceptor characteristics may be adversely affected.

電荷輸送層Pb2は、電荷発生層Pb1と同様に、例えば適当な溶媒中に、電荷輸送物質、結着樹脂および公知の添加剤を有機溶剤に溶解または分散させて電荷輸送層用塗布液を調製し、この塗布液を電荷発生層Pb1上に塗布し、次いで乾燥して有機溶剤を除去することにより形成することができる。
その他の工程およびその条件は、電荷発生層Pb1の形成に準ずる。
Similarly to the charge generation layer Pb 1 , the charge transport layer Pb 2 is, for example, a charge transport layer coating solution prepared by dissolving or dispersing a charge transport material, a binder resin, and a known additive in an organic solvent in an appropriate solvent. The coating solution is applied onto the charge generation layer Pb 1 and then dried to remove the organic solvent.
The other processes and conditions are in accordance with the formation of the charge generation layer Pb 1 .

有機溶剤としては、例えば、ベンゼン、トルエン、キシレンおよびモノクロルベンゼンなどの芳香族炭化水素、ジクロロメタンおよびジクロロエタンなどのハロゲン化炭化水素、テトラヒドロフラン、ジオキサンおよびジメトキシメチルエーテルなどのエーテル類、ならびにN,N−ジメチルホルムアミドなどの非プロトン性極性溶媒などが挙げられる。これらの溶剤は、1種を単独でまたは2種以上を組み合わせて用いることができる。これらの溶媒は、1種が単独で使用されてもよく、また2種以上が混合されて使用されてもよい。また前記の溶媒に、必要に応じてアルコール類、アセトニトリルまたはメチルエチルケトンなどの溶媒をさらに加えて使用することもできる。これらの溶剤の中でも、地球環境に対する配慮から、非ハロゲン系有機溶剤が好適に用いられる。   Examples of the organic solvent include aromatic hydrocarbons such as benzene, toluene, xylene and monochlorobenzene, halogenated hydrocarbons such as dichloromethane and dichloroethane, ethers such as tetrahydrofuran, dioxane and dimethoxymethyl ether, and N, N-dimethyl. Examples include aprotic polar solvents such as formamide. These solvents can be used alone or in combination of two or more. One of these solvents may be used alone, or two or more thereof may be mixed and used. Further, if necessary, a solvent such as alcohols, acetonitrile or methyl ethyl ketone can be further added to the above solvent. Among these solvents, non-halogen organic solvents are preferably used in consideration of the global environment.

電荷輸送層Pb2には塗布膜の耐摩耗性向上のため有機微粒子や無機微粒子(「フィラー」ともいう)を含有してもよい。
フィラーの含有量は、電荷輸送層Pb2の1〜10重量%、好ましくは1〜5重量%である。
電荷輸送層Pb2の膜厚は特に限定されないが、好ましくは5〜40μmであり、より好ましくは10〜30μmである。電荷輸送層Pb2の膜厚が5μm未満では、帯電保持能が低下することがある。一方、電荷輸送層Pb2の膜厚が40μmを超えると、感光体Pの解像度が低下する場合がある。
The charge transport layer Pb 2 may contain organic fine particles and inorganic fine particles (also referred to as “filler”) in order to improve the wear resistance of the coating film.
The content of the filler is 1 to 10% by weight of the charge transport layer Pb 2, preferably 1 to 5 wt%.
The thickness of the charge transport layer Pb 2 is not particularly limited, but is preferably 5 to 40 μm, and more preferably 10 to 30 μm. If the thickness of the charge transport layer Pb 2 is less than 5 μm, the charge retention ability may be lowered. On the other hand, if the thickness of the charge transport layer Pb 2 exceeds 40 μm, the resolution of the photoreceptor P may be lowered.

[画像形成装置]
次に、実施形態1の洗浄装置および洗浄方法にて洗浄された導電性基体Sを有する電子写真感光体Pを備えた画像形成装置について説明する。
図5は図3の電子写真感光体を備えた画像形成装置の一例を示す模式図である。
この画像形成装置110は、前記電子写真感光体Pの周囲に、電子写真感光体Pの回転方向Rに沿って順に、帯電器111、露光器112、現像器113、転写器114、分離器115、クリーナ116および除電器117が配置されている。電子写真感光体P、帯電器111、現像器113、分離器115、クリーナ116および除電器117は、ハウジング118内に収容されている。
さらに、この画像形成装置110は、記録媒体である転写紙127の搬送方向Mに定着器119を備えている。
[Image forming apparatus]
Next, an image forming apparatus including the electrophotographic photosensitive member P having the conductive substrate S cleaned by the cleaning apparatus and the cleaning method of Embodiment 1 will be described.
FIG. 5 is a schematic view showing an example of an image forming apparatus provided with the electrophotographic photosensitive member of FIG.
The image forming apparatus 110 includes a charger 111, an exposure unit 112, a developing unit 113, a transfer unit 114, and a separator 115 around the electrophotographic photosensitive member P in this order along the rotation direction R of the electrophotographic photosensitive member P. A cleaner 116 and a static eliminator 117 are disposed. The electrophotographic photosensitive member P, the charger 111, the developing device 113, the separator 115, the cleaner 116, and the static eliminator 117 are accommodated in a housing 118.
Further, the image forming apparatus 110 includes a fixing device 119 in the conveyance direction M of the transfer paper 127 that is a recording medium.

帯電器111は、例えば、チャージャー帯電器であり、外部電源120Aから供給される電力によって感光体Pの表面を均一に帯電させる。
露光器112は、半導体レーザなどによって構成されており、半導体レーザからのレーザビームによって感光体Pの表面を露光して静電潜像を形成する。
現像器113は、露光器112の露光によって形成された感光体Pの表面の静電潜像を現像するためにトナー(現像剤)を供給する。この現像器113は、ケーシング121内に現像ローラ122を備え、現像ローラ122によってケーシング121内で撹拌されたトナーを感光体Pの表面に供給する。この場合、トナーは、一成分系であってもよく、キャリアを含む二成分系であってもよい。
The charger 111 is, for example, a charger charger, and uniformly charges the surface of the photosensitive member P with electric power supplied from the external power source 120A.
The exposure device 112 is constituted by a semiconductor laser or the like, and exposes the surface of the photoreceptor P with a laser beam from the semiconductor laser to form an electrostatic latent image.
The developing device 113 supplies toner (developer) to develop the electrostatic latent image on the surface of the photoreceptor P formed by the exposure of the exposure device 112. The developing device 113 includes a developing roller 122 in the casing 121, and supplies the toner stirred in the casing 121 by the developing roller 122 to the surface of the photoreceptor P. In this case, the toner may be a one-component system or a two-component system including a carrier.

転写器114は、感光体Pに転写紙127を介して接触するように設けられている。この転写器114は、外部電源120Bから電圧が供給され、感光体Pの表面上に形成されたトナー像を転写紙127上に転写する。
分離器115は、感光体Pの表面から転写紙127を剥離するために設けられている。
クリーナ116は、感光体Pの 表面に残留するトナーを回収するために設けられている。このクリーナ116は、クリーニングブレード123によって感光体Pの表面に付着した残留トナーを掻き取って回収用ケーシング124に回収する。
除電器117は、残留トナーが除去された感光体Pの表面を除電する。
定着器119は、転写器114によって転写されたトナー像を有する転写紙127を加熱ローラ125と加圧ローラ126との間に搬送し、トナー像を溶融して転写紙127上に加熱圧着させて定着させる。
The transfer device 114 is provided so as to come into contact with the photoreceptor P via the transfer paper 127. The transfer device 114 is supplied with a voltage from the external power source 120 </ b> B, and transfers the toner image formed on the surface of the photoreceptor P onto the transfer paper 127.
The separator 115 is provided for peeling the transfer paper 127 from the surface of the photoreceptor P.
The cleaner 116 is provided to collect the toner remaining on the surface of the photoreceptor P. The cleaner 116 scrapes off the residual toner adhering to the surface of the photoreceptor P by the cleaning blade 123 and collects it in the recovery casing 124.
The neutralizer 117 neutralizes the surface of the photoreceptor P from which the residual toner has been removed.
The fixing device 119 conveys the transfer paper 127 having the toner image transferred by the transfer device 114 between the heating roller 125 and the pressure roller 126, melts the toner image, and heat-presses the transfer paper 127 on the transfer paper 127. Let it settle.

前記構成の画像形成装置110による電子写真プロセスは、以下のように行われる。
すなわち、画像形成装置110に対して、所定の画像データに基づく画像形成が要求されると、帯電器111が感光体Pの表面を所定の電位に均一に帯電させる。次いで、前記画像データに基づいて、露光器112から出射されたレーザビームが感光体Pの表面を露光することによって、感光体Pの表面には画像データに基づく静電潜像が形成される。静電潜像は、感光体Pの回転方向Rに対して、露光器112よりも下流側に設けられた現像器113によって順次顕像化され、感光体Pの表面にはトナー像が形成される。
The electrophotographic process by the image forming apparatus 110 having the above-described configuration is performed as follows.
That is, when the image forming apparatus 110 is requested to form an image based on predetermined image data, the charger 111 uniformly charges the surface of the photoreceptor P to a predetermined potential. Next, a laser beam emitted from the exposure device 112 exposes the surface of the photoconductor P based on the image data, whereby an electrostatic latent image based on the image data is formed on the surface of the photoconductor P. The electrostatic latent image is successively visualized by a developing device 113 provided downstream of the exposure device 112 with respect to the rotation direction R of the photoconductor P, and a toner image is formed on the surface of the photoconductor P. The

感光体Pの表面の露光と同期して、転写紙127が矢印P方向に移動して感光体Pと転写器114との間に搬送される。これにより、感光体Pの回転及び転写紙127の搬送と共に、感光体Pの表面に形成されたトナー像が転写紙127上に順次転写される。続いて、トナー像が転写された転写紙127は定着器119に搬送され、トナー像が転写紙127上に定着された後、画像形成装置110の外部に排出される。   In synchronization with the exposure of the surface of the photoreceptor P, the transfer paper 127 moves in the direction of the arrow P and is conveyed between the photoreceptor P and the transfer device 114. Thus, the toner image formed on the surface of the photoconductor P is sequentially transferred onto the transfer paper 127 as the photoconductor P rotates and the transfer paper 127 is conveyed. Subsequently, the transfer paper 127 onto which the toner image has been transferred is conveyed to a fixing device 119, where the toner image is fixed on the transfer paper 127 and then discharged to the outside of the image forming apparatus 110.

一方、トナー像を転写した後に、感光体Pの 表面に残留するトナーは、感光体Pの回転に伴ってクリーニングブレード123がトナーを掻き取ることによって除去される。その後、さらに感光体Pを回転させることにより、感光体Pの表面が除電器117によって除電され、そして、前記の電子写真プロセスが繰り返されて転写紙127上への画像形成が行われる。   On the other hand, after the toner image is transferred, the toner remaining on the surface of the photoreceptor P is removed by the cleaning blade 123 scraping off the toner as the photoreceptor P rotates. Thereafter, the surface of the photoconductor P is further neutralized by the static eliminator 117 by rotating the photoconductor P, and the above-described electrophotographic process is repeated to form an image on the transfer paper 127.

この画像形成装置110によれば、低電位の現像条件下においても、露光器112による露光後、現像器113による現像処理が開始されるまでの間に、感光体Pの感光層Pbに発生した電荷が速やかに感光体Pの表面に移動して表面電荷を打ち消すことができる。従って、画像形成工程によって、良好な画像濃度の画像を転写紙127上に形成することができる。
上述のように、本発明の洗浄装置および洗浄方法によって洗浄処理された導電性基体は高度に清浄化されているため、洗浄処理後の導電性基体を用いて製造された電子写真感光体は、導電性基体上の異物に起因する画質欠陥が発生せず、長期に亘って優れた画質品質を維持することが可能となる。
According to this image forming apparatus 110, even under low-potential development conditions, it occurred in the photosensitive layer Pb of the photoreceptor P after the exposure by the exposure device 112 and before the development processing by the development device 113 was started. The charges can quickly move to the surface of the photoreceptor P to cancel the surface charges. Therefore, an image having a good image density can be formed on the transfer paper 127 by the image forming process.
As described above, since the conductive substrate cleaned by the cleaning apparatus and the cleaning method of the present invention is highly cleaned, the electrophotographic photoreceptor manufactured using the conductive substrate after the cleaning process is Image quality defects due to foreign matter on the conductive substrate do not occur, and excellent image quality can be maintained over a long period of time.

本発明の導電性基体の洗浄装置および洗浄方法においては、導電性基体Sの表面が粗面化されていてもよい。
特に、レーザビーム光を用いた画像形成装置においては、レーザ光による干渉縞を防止するために、導電性基体Sの表面を粗面化することが通常行われている。このような導電性基体Sの表面は、粗面化処理により形成された凹凸のためにさらに清浄化し難くなっている。そのため、粗面化で使用された研磨粒子やその破片が導電性基体S上に残存することに起因するスポット欠陥の発生が大きな問題となっている。
本発明によれば、このような粗面化された導電性基体Sであっても十分高度に清浄化することができるため、レーザビーム光を用いた画像形成装置などの用途に適した高品質の電子写真感光体Pを効率よく製造することができる。
In the conductive substrate cleaning apparatus and cleaning method of the present invention, the surface of the conductive substrate S may be roughened.
In particular, in an image forming apparatus using laser beam light, the surface of the conductive substrate S is usually roughened in order to prevent interference fringes due to laser light. The surface of such a conductive substrate S is more difficult to clean due to the unevenness formed by the roughening treatment. For this reason, the occurrence of spot defects due to the abrasive particles used for roughening and the fragments thereof remaining on the conductive substrate S is a serious problem.
According to the present invention, even such a roughened conductive substrate S can be cleaned to a sufficiently high degree, so that it has high quality suitable for applications such as an image forming apparatus using laser beam light. The electrophotographic photosensitive member P can be efficiently produced.

(実施形態2)
実施形態2の導電性基体の洗浄装置および洗浄方法では、図1に示された濯ぎ工程で使用する第2〜第4の洗浄槽21、31、41のうち、少なくとも1つの洗浄槽内に超音波発生器17(図1参照)が設けられ、3回行われる濯ぎ処理のうち少なくとも1回は、酸素を含まない洗浄用気体からなる気泡が供給されかつ超音波振動が発振されている洗浄液中で導電性基体の濯ぎ処理が行われる。
実施形態2において、その他の構成は実施形態1と同様である。
(Embodiment 2)
In the conductive substrate cleaning apparatus and cleaning method of the second embodiment, at least one cleaning tank out of the second to fourth cleaning tanks 21, 31, 41 used in the rinsing process shown in FIG. In the cleaning liquid in which the sound wave generator 17 (see FIG. 1) is provided and at least one of the three rinsing processes is supplied with bubbles of cleaning gas not containing oxygen and oscillating ultrasonic vibrations Then, the conductive substrate is rinsed.
In the second embodiment, other configurations are the same as those in the first embodiment.

(実施形態3)
実施形態3の導電性基体の洗浄装置および洗浄方法では、図1に示された洗浄工程で使用する第1の洗浄槽11内の界面活性剤を含む洗浄液18中に酸素を含まない洗浄用気体からなる気泡が供給される。したがって、酸素を含まない洗浄用気体からなる気泡が供給されかつ超音波振動が発振されている洗浄液18中で導電性基体の洗浄処理(本洗浄)が行われる。この場合、気泡は、面積平均直径が0.1〜100μmのマイクロバブルであることが好ましい。
実施形態3において、その他の構成は実施形態1と同様である。
(Embodiment 3)
In the conductive substrate cleaning apparatus and cleaning method of Embodiment 3, the cleaning gas containing no surfactant is contained in the cleaning liquid 18 containing the surfactant in the first cleaning tank 11 used in the cleaning step shown in FIG. Air bubbles consisting of are supplied. Therefore, the conductive substrate is subjected to a cleaning process (main cleaning) in the cleaning liquid 18 in which bubbles made of a cleaning gas not containing oxygen are supplied and ultrasonic vibration is oscillated. In this case, the bubbles are preferably microbubbles having an area average diameter of 0.1 to 100 μm.
In the third embodiment, other configurations are the same as those in the first embodiment.

(実施形態4)
実施形態4の導電性基体の洗浄装置および洗浄方法では、図1に示された濯ぎ工程で使用する第2〜第4の洗浄槽21、31、41に収容される各洗浄液25、35、45中に異なるサイズの気泡が供給される。例えば、第1の洗浄槽21内の洗浄液25中には面積平均直径が0.1〜1μm程度のマイクロバブルが供給され、第2の洗浄槽31内の洗浄液35中には1〜10μm程度のマイクロバブルが供給され、第3の洗浄槽41内の洗浄液45中には10〜100μm程度のマイクロバブルが供給される。なお、第2〜第4の洗浄槽21、31、41の順にマイクロバブルの大きさが小さくなるようにしてもよく、ランダムであってもよい。
実施形態4において、その他の構成は実施形態1と同様である。
(Embodiment 4)
In the conductive substrate cleaning apparatus and cleaning method of the fourth embodiment, the cleaning liquids 25, 35, 45 contained in the second to fourth cleaning tanks 21, 31, 41 used in the rinsing process shown in FIG. Bubbles of different sizes are supplied inside. For example, microbubbles having an area average diameter of about 0.1 to 1 μm are supplied into the cleaning liquid 25 in the first cleaning tank 21, and about 1 to 10 μm in the cleaning liquid 35 in the second cleaning tank 31. Microbubbles are supplied, and about 10 to 100 μm of microbubbles are supplied into the cleaning liquid 45 in the third cleaning tank 41. Note that the size of the microbubbles may be decreased in the order of the second to fourth cleaning tanks 21, 31, and 41, or may be random.
In the fourth embodiment, other configurations are the same as those in the first embodiment.

(実施形態5)
実施形態5の導電性基体の洗浄装置および洗浄方法では、図1に示された濯ぎ工程で使用する第2〜第4の洗浄槽21、31、41に収容される各洗浄液25、35、45中に異なる気体からなる気泡が供給される。例えば、第1の洗浄槽21内の洗浄液25中には窒素ガスからなるマイクロバブルが供給され、第2の洗浄槽31内の洗浄液35中には二酸化炭素ガスからなるマイクロバブルが供給され、第3の洗浄槽41内の洗浄液45中にはアルゴンガスからなるマイクロバブルが供給される。なお、第2〜第4の洗浄槽21、31、41のうち1つ以上に混合ガスからなるマイクロバブルを供給するようにしてもよい。
実施形態4において、その他の構成は実施形態1と同様である。
(Embodiment 5)
In the conductive substrate cleaning apparatus and cleaning method of the fifth embodiment, the cleaning liquids 25, 35, 45 contained in the second to fourth cleaning tanks 21, 31, 41 used in the rinsing step shown in FIG. Bubbles made of different gases are supplied inside. For example, microbubbles made of nitrogen gas are supplied into the cleaning liquid 25 in the first cleaning tank 21, and microbubbles made of carbon dioxide gas are supplied into the cleaning liquid 35 in the second cleaning tank 31. Microbubbles made of argon gas are supplied into the cleaning liquid 45 in the third cleaning tank 41. In addition, you may make it supply the microbubble which consists of mixed gas to one or more among the 2nd-4th washing tanks 21, 31, and 41. FIG.
In the fourth embodiment, other configurations are the same as those in the first embodiment.

(実施形態6)
実施形態6の導電性基体の洗浄装置および洗浄方法では、界面活性剤を含まない洗浄液中に酸素を含まない洗浄用気体からなる気泡を供給し、かつこの洗浄液中に導電性基体を浸漬して洗浄する。例えば、図1に示された第1の洗浄槽11を用いずに、第2〜第4の洗浄槽のうちの少なくとも1つを用いた1回以上の濯ぎ処理のみで洗浄する。
実施形態6において、その他の構成は実施形態1と同様である。
(Embodiment 6)
In the cleaning apparatus and cleaning method for the conductive substrate of Embodiment 6, bubbles made of a cleaning gas not containing oxygen are supplied to a cleaning solution that does not contain a surfactant, and the conductive substrate is immersed in the cleaning solution. Wash. For example, instead of using the first cleaning tank 11 shown in FIG. 1, cleaning is performed only by one or more rinsing processes using at least one of the second to fourth cleaning tanks.
In the sixth embodiment, other configurations are the same as those in the first embodiment.

なお、本発明の好ましい態様には、上述した複数の態様のうちの何れかを組み合わせたものも含まれる。
前述した実施の形態の他にも、この発明について種々の変形例があり得る。それらの変形例は、この発明の範囲に属さないと解されるべきものではない。この発明には、請求の範囲と均等の意味および前記範囲内でのすべての変形とが含まれるべきである。
Note that a preferable aspect of the present invention includes a combination of any of the plurality of aspects described above.
In addition to the embodiments described above, there can be various modifications of the present invention. These modifications should not be construed as not belonging to the scope of the present invention. The present invention should include the meaning equivalent to the scope of the claims and all modifications within the scope.

以下、実施例により本発明を更に詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。   EXAMPLES Hereinafter, although an Example demonstrates this invention further in detail, this invention is not limited to these Examples.

(実施例1)
精密洗浄処理装置の洗浄槽内に収容した界面活性剤を含まない洗浄液中に、マイクロバブル発生装置(MBL11−102V−S:関西オートメ機器社製)で発生させた窒素ガスからなるマイクロバブルを一晩供給して、洗浄液中に溶存した酸素を窒素に置換した。なお、洗浄液としては純水(オルガノ社製)を用いた。
表面を切削加工した直径30mm、長さ357mm、厚さ0.75mmの円筒状アルミニウム製導電性基体を 界面活性剤を含む洗浄液での洗浄後、前記洗浄槽内の洗浄液中に面積平均直径が35〜55μmの窒素ガスからなるマイクロバブルを送気流量500ml/minで供給している洗浄液中に150秒間浸漬して洗浄した。このとき、1本の導電性基体を容積250Lの洗浄槽内の洗浄液中に完全に浸漬させ、かつ導電性基体が完全にマイクロバブルにて覆われた状態にした。また、このときの洗浄液中の溶存酸素量を測定したところ1.5mg/Lであった。
そして、洗浄後、導電性基体をクリーンブース内で乾燥させた。
Example 1
Microbubbles made of nitrogen gas generated by a microbubble generator (MBL11-102V-S: manufactured by Kansai Autome Equipment Co., Ltd.) are placed in a cleaning solution that does not contain a surfactant contained in a cleaning tank of a precision cleaning processing apparatus. It was supplied in the evening to replace oxygen dissolved in the cleaning solution with nitrogen. Note that pure water (manufactured by Organo) was used as the cleaning liquid.
After cleaning a cylindrical aluminum conductive substrate having a diameter of 30 mm, a length of 357 mm, and a thickness of 0.75 mm with a cleaning liquid containing a surfactant, the area average diameter is 35 in the cleaning liquid in the cleaning tank. Cleaning was performed by immersing microbubbles composed of nitrogen gas of ˜55 μm in a cleaning solution supplied at an air flow rate of 500 ml / min for 150 seconds. At this time, one conductive substrate was completely immersed in a cleaning liquid in a cleaning tank having a volume of 250 L, and the conductive substrate was completely covered with microbubbles. Moreover, it was 1.5 mg / L when the amount of dissolved oxygen in the washing | cleaning liquid at this time was measured.
And after washing | cleaning, the electroconductive base | substrate was dried in the clean booth.

次に、酸化チタン(タイベークTTO−M−1:石原産業社製)60g、アルコール可溶性ナイロン樹脂(アミランCM−8000:東レ社製)60gおよびメタノール1200gを1,3−ジオキソラン800gに加え、ペイントシェイカーにて10時間分散処理して中間層用塗布液を調製した。   Next, 60 g of titanium oxide (Tybaked TTO-M-1: manufactured by Ishihara Sangyo Co., Ltd.), 60 g of alcohol-soluble nylon resin (Amilan CM-8000: manufactured by Toray Industries, Inc.) and 1200 g of methanol are added to 800 g of 1,3-dioxolane, and a paint shaker is added. The coating solution for intermediate | middle layer was prepared by carrying out dispersion processing for 10 hours.

得られた中間層用塗布液を浸漬塗布法によって導電性基体の外周面に塗布し、自然乾燥させて膜厚0.9μmの中間層を形成した。
次いで、ブチラール樹脂(エスレックBM−2:積水化学社製)10gおよび電荷発生物質として下記構造式(1)で表されるチタニルフタロシアニン15gを1,3−ジオキソラン1400gに加え、ボールミルにて72時間分散処理して電荷発生層用塗布液を調製した。
The obtained intermediate layer coating solution was applied to the outer peripheral surface of the conductive substrate by a dip coating method and naturally dried to form an intermediate layer having a thickness of 0.9 μm.
Next, 10 g of butyral resin (ESLEC BM-2: manufactured by Sekisui Chemical Co., Ltd.) and 15 g of titanyl phthalocyanine represented by the following structural formula (1) as a charge generating substance are added to 1400 g of 1,3-dioxolane, and dispersed in a ball mill for 72 hours. It processed and the coating liquid for charge generation layers was prepared.

得られた電荷発生層用塗布液を浸漬塗布法によって前記中間層上に塗布し、自然乾燥させて膜厚0.2μmの電荷発生層を形成した。
次いで、ポリカーボネート樹脂(Z−400)140gおよび電荷輸送物質として下記構造式(2)で表されるブタジエン系化合物100g、および酸化防止剤(Irganox1010)5gをテトラヒドロフラン1600gに溶解させ、電荷輸送層用塗布液を調製した。
The obtained charge generation layer coating solution was applied onto the intermediate layer by a dip coating method, and then naturally dried to form a charge generation layer having a thickness of 0.2 μm.
Next, 140 g of a polycarbonate resin (Z-400), 100 g of a butadiene compound represented by the following structural formula (2) as a charge transport material, and 5 g of an antioxidant (Irganox 1010) are dissolved in 1600 g of tetrahydrofuran, and applied to a charge transport layer. A liquid was prepared.

得られた電荷輸送層用塗布液を浸漬塗布法によって前記電荷発生層上に塗布し、得られた塗膜を130℃で1時間乾燥させて膜厚24μmの電荷輸送層を形成し、図3に示される実施例1の感光体Pを得た。   The resulting charge transport layer coating solution was applied onto the charge generation layer by a dip coating method, and the resulting coating film was dried at 130 ° C. for 1 hour to form a charge transport layer having a thickness of 24 μm. The photoreceptor P of Example 1 shown in FIG.

(実施例2)
導電性基体の洗浄処理におけるマイクロバブルに用いる気体を二酸化炭素としたこと以外は、実施例1と同様にして、実施例2の電子写真感光体を作製した。なお、マイクロバブルの流量は250ml/minに設定し、洗浄時の洗浄液中の溶存酸素量を測定したところ1.2mg/Lであった。
(Example 2)
An electrophotographic photosensitive member of Example 2 was produced in the same manner as in Example 1 except that carbon dioxide was used as the microbubble in the cleaning treatment of the conductive substrate. The flow rate of microbubbles was set to 250 ml / min, and the amount of dissolved oxygen in the cleaning liquid at the time of cleaning was measured and found to be 1.2 mg / L.

(実施例3)
導電性基体の洗浄処理におけるマイクロバブルに用いる気体をアルゴンとしたこと以外は、実施例1と同様にして、実施例3の電子写真感光体を作製した。なお、マイクロバブルの流量は500ml/minに設定し、洗浄時の洗浄液中の溶存酸素量を測定したところ1.9mg/Lであった。
(Example 3)
An electrophotographic photosensitive member of Example 3 was produced in the same manner as in Example 1 except that argon was used as the gas used for the microbubbles in the cleaning treatment of the conductive substrate. The flow rate of microbubbles was set to 500 ml / min, and the amount of dissolved oxygen in the cleaning liquid at the time of cleaning was measured and found to be 1.9 mg / L.

(実施例4)
導電性基体の洗浄処理におけるマイクロバブルに用いる気体をヘリウムとしたこと以外は、実施例1と同様にして、実施例4の電子写真感光体を作製した。なお、マイクロバブルの流量は500ml/minに設定し、洗浄時の洗浄液中の溶存酸素量を測定したところ1.9mg/Lであった。
Example 4
An electrophotographic photoreceptor of Example 4 was produced in the same manner as in Example 1 except that helium was used as the gas used for the microbubbles in the cleaning treatment of the conductive substrate. The flow rate of microbubbles was set to 500 ml / min, and the amount of dissolved oxygen in the cleaning liquid at the time of cleaning was measured and found to be 1.9 mg / L.

(比較例1)
導電性基体の洗浄処理におけるマイクロバブルに用いる気体を空気としたこと以外は、実施例1と同様にして、比較例1の電子写真感光体を作製した。なお、マイクロバブルの流量は500ml/minに設定し、洗浄時の洗浄液中の溶存酸素量を測定したところ6.0mg/Lであった。
(Comparative Example 1)
An electrophotographic photoreceptor of Comparative Example 1 was produced in the same manner as in Example 1 except that the gas used for the microbubbles in the cleaning treatment of the conductive substrate was air. The flow rate of microbubbles was set to 500 ml / min, and the amount of dissolved oxygen in the cleaning liquid at the time of cleaning was measured to be 6.0 mg / L.

(比較例2)
導電性基体の洗浄処理におけるマイクロバブルを数ミリサイズとしたこと以外は、実施例1と同様にして、比較例2の電子写真感光体を作製した。なお、この場合、市販のエアシトーンで窒素バブルを流量500ml/minで発生させ、洗浄時の洗浄液中の溶存酸素量を測定したところ3.5mg/Lであった。
(Comparative Example 2)
An electrophotographic photosensitive member of Comparative Example 2 was produced in the same manner as in Example 1 except that the microbubbles in the cleaning treatment of the conductive substrate were several millimeters. In this case, nitrogen bubbles were generated at a flow rate of 500 ml / min with a commercially available air tonetone, and the amount of dissolved oxygen in the cleaning liquid at the time of cleaning was measured to be 3.5 mg / L.

<電気特性>
実施例1〜4及び比較例1〜2の電子写真感光体に対する電気特性の評価を以下に説明する。
デジタル複写機(商品名:MX−4500、シャープ社製)を改造した試験用複写機に実施例1の電子写真感光体を搭載した。そして、電子写真プロセスにおける各電子写真感光体の表面電位を測定できるように表面電位計(TREK JAPAN社製、mode1344)を設けた。なお、各電子写真感光体を露光するための光源として波長780mmのレーザ光源を用いた。
そして、前記の試験用複写機を用いて、常温/常湿(N/N)の環境下で、実施例1の電子写真感光体における初期(印刷前)表面電位VL及び10万枚連続印刷後の表面電位VLを測定した。なお、ここでのN/N環境は、25℃且つ50%RH(相対湿度)を指す。また、表面電位VLは、露光時における黒地部分の電子写真感光体の表面電位を指す(現像部での電子写真感光体の表面電位を指す)。
<Electrical characteristics>
Evaluation of electrical characteristics of the electrophotographic photoreceptors of Examples 1 to 4 and Comparative Examples 1 to 2 will be described below.
The electrophotographic photosensitive member of Example 1 was mounted on a test copying machine in which a digital copying machine (trade name: MX-4500, manufactured by Sharp Corporation) was modified. Then, a surface potential meter (manufactured by TREK JAPAN, mode 1344) was provided so that the surface potential of each electrophotographic photosensitive member in the electrophotographic process could be measured. A laser light source having a wavelength of 780 mm was used as a light source for exposing each electrophotographic photosensitive member.
Then, using the above-described test copying machine, after the initial (before printing) surface potential VL and 100,000 sheets of continuous printing in the electrophotographic photosensitive member of Example 1 in an environment of normal temperature / normal humidity (N / N). The surface potential VL of was measured. In addition, N / N environment here refers to 25 degreeC and 50% RH (relative humidity). The surface potential VL indicates the surface potential of the electrophotographic photosensitive member at the black background during exposure (refers to the surface potential of the electrophotographic photosensitive member at the developing portion).

次に、実施例1の各電子写真感光体ついて、初期表面電位と10万枚連続印刷後の電子写真感光体の表面電位の差ΔVLを算出し、以下の基準で電気特性の評価を行った。
A:良好である(ΔVL=0以上であり10未満)。
B:実使用上問題なしである(ΔVL=10以上であり20未満)。
C:実使用可能なレベルである(ΔVL=20以上であり35未満)。
D:実使用不可である(ΔVL=35以上)。
Next, for each electrophotographic photosensitive member of Example 1, the difference ΔVL between the initial surface potential and the surface potential of the electrophotographic photosensitive member after continuous printing of 100,000 sheets was calculated, and the electrical characteristics were evaluated according to the following criteria. .
A: Good (ΔVL = 0 or more and less than 10).
B: No problem in actual use (ΔVL = 10 or more and less than 20).
C: A practically usable level (ΔVL = 20 or more and less than 35).
D: Actual use is not possible (ΔVL = 35 or more).

<画質>
次に、実施例1について、画質評価を行った。具体的には、電気特性の評価に用いた試験用複写機に実施例1の電子写真感光体を搭載して、N/N環境でハーフトーン画像を10枚印刷する。そして、印刷紙(A3版)1枚当たりに形成される周期性と電子写真感光体の回転周期とが一致しているか確認すると共に、目視可能な黒点と白点(直径0.4mm以上)の個数を計測し、画質評価を下記の基準で行った。
A:良好である(全ての印刷紙において黒点と白点の合計個数が3個/枚以下)。
B:実用上問題無である(全ての印刷紙において黒点と白点の合計個数が4〜7個/枚)。
C:実用可能なレベルである(全ての印刷紙において黒点と白点の合計個数が8〜10個/枚)。
D:実用上問題あり(黒点と白点の合計個数が11個/枚以上の印刷紙が1枚以上あり)。
<Image quality>
Next, image quality evaluation was performed on Example 1. Specifically, the electrophotographic photosensitive member of Example 1 is mounted on a test copying machine used for evaluation of electrical characteristics, and 10 halftone images are printed in an N / N environment. Then, it is confirmed whether the periodicity formed per sheet of printing paper (A3 version) and the rotation period of the electrophotographic photosensitive member are coincident with each other, and visible black spots and white spots (diameter of 0.4 mm or more) are observed. The number was measured and the image quality was evaluated according to the following criteria.
A: Good (the total number of black spots and white spots is 3 or less on all printing papers).
B: No problem in practical use (the total number of black spots and white spots in all printing papers is 4 to 7 / sheet).
C: A practical level (the total number of black spots and white spots on all printing papers is 8 to 10 / sheet).
D: There is a problem in practical use (there is one or more printing papers in which the total number of black spots and white spots is 11 / sheet).

実施例2〜4および比較例1〜2についても実施例1と同様に電気特性および画質の評価を行った。
そして、実施例1〜4および比較例1〜2の電気特性および画質の評価を表1に示した。
For Examples 2 to 4 and Comparative Examples 1 and 2, the electrical characteristics and image quality were evaluated in the same manner as in Example 1.
Table 1 shows the evaluation of electrical characteristics and image quality of Examples 1 to 4 and Comparative Examples 1 and 2.

表1の結果から、電気特性に関しては実施例1〜4は比較例2よりも優れており、画質に関しては実施例1〜4は比較例1〜2よりも著しく優れていることがわかった。   From the results of Table 1, it was found that Examples 1 to 4 were superior to Comparative Example 2 in terms of electrical characteristics, and Examples 1 to 4 were significantly superior to Comparative Examples 1 and 2 in terms of image quality.

また、画質評価後に、電子写真感光体の表面を光学顕微鏡で観察し、黒点と白点の位置に対応する導電性基体上の異物の写真を撮影した。その一例を図6〜8に示す。
図6は微生物由来の透明な異物の写真であり、図7は切粉の異物の写真であり、図8はセルロース繊維の異物の写真である。
導電性基体上の透明な異物とセルロース繊維の異物は、コピー画像上では白点となり、切粉の異物は黒点となっていた。
Further, after the image quality evaluation, the surface of the electrophotographic photosensitive member was observed with an optical microscope, and a photograph of foreign matters on the conductive substrate corresponding to the positions of black spots and white spots was taken. An example is shown in FIGS.
FIG. 6 is a photograph of transparent foreign matters derived from microorganisms, FIG. 7 is a photograph of foreign matters of chips, and FIG. 8 is a photograph of foreign matters of cellulose fibers.
The transparent foreign substance and cellulose fiber foreign substance on the conductive substrate were white spots on the copy image, and the chip foreign substance was a black spot.

11、21、31、41 洗浄槽
18、25、35、45 洗浄液
17 超音波発振器
B 気泡供給部
b1 気泡発生機
b2 ガス供給源
P 電子写真感光体
S 導電性基体
11, 21, 31, 41 Cleaning tank 18, 25, 35, 45 Cleaning liquid 17 Ultrasonic oscillator B Bubble supply unit b1 Bubble generator b2 Gas supply source P Electrophotographic photosensitive member S Conductive substrate

Claims (12)

水系の洗浄液を収容する洗浄槽と、この洗浄液中に酸素を含まないマイクロバブルを含む気泡を供給する気泡供給部と、前記気泡が供給された洗浄液中に電子写真感光体用の導電性基体を浸漬させる基体移送部とを備えたことを特徴とする導電性基体の洗浄装置。   A cleaning tank that contains an aqueous cleaning solution, a bubble supply unit that supplies bubbles containing microbubbles not containing oxygen in the cleaning solution, and a conductive substrate for an electrophotographic photoreceptor in the cleaning solution supplied with the bubbles. An apparatus for cleaning a conductive substrate, comprising: a substrate transfer section for immersion. 前記気泡供給部が、面積平均直径0.1〜100μmのマイクロバブルを含む気泡を発生させるよう構成された請求項1に記載の洗浄装置。   The cleaning apparatus according to claim 1, wherein the bubble supply unit is configured to generate bubbles including microbubbles having an area average diameter of 0.1 to 100 μm. 前記気泡供給部が、気泡発生機と、窒素、二酸化炭素、アルゴンおよびヘリウムのうちから選択される単独または2種以上のガスを前記気泡発生機へ供給するガス供給源とを有する請求項1または2に記載の洗浄装置。   The said bubble supply part has a bubble generator and the gas supply source which supplies the said bubble generator to the said bubble generator individually or 2 or more types selected from nitrogen, a carbon dioxide, argon, and helium. 2. The cleaning apparatus according to 2. 前記気泡供給部が、前記洗浄槽内の洗浄液を前記気泡発生機内へ導入すると共に、前記気泡発生機内へ導入された洗浄液中にマイクロバブルを発生させて前記洗浄槽内の洗浄液中に供給するように構成された請求項3に記載の洗浄装置。   The bubble supply unit introduces the cleaning liquid in the cleaning tank into the bubble generator, generates micro bubbles in the cleaning liquid introduced into the bubble generator, and supplies the microbubbles to the cleaning liquid in the cleaning tank. The cleaning apparatus according to claim 3, which is configured as follows. 前記洗浄槽は、界面活性剤を含む本洗浄用の水系の洗浄液を収容する洗浄槽と、界面活性剤を含まない濯ぎ用の水系の洗浄液を収容する洗浄槽とを有してなり、
前記気泡供給部は、前記濯ぎ用の水系の洗浄液中に酸素を含まない洗浄用気体からなる気泡を供給する請求項1〜4のいずれか1つに記載の洗浄装置。
The cleaning tank has a cleaning tank for storing a main cleaning aqueous cleaning liquid containing a surfactant, and a cleaning tank for storing a rinsing aqueous cleaning liquid not containing a surfactant.
The said bubble supply part is a washing | cleaning apparatus as described in any one of Claims 1-4 which supplies the bubble which consists of the cleaning gas which does not contain oxygen in the aqueous cleaning liquid for the said rinse.
前記本洗浄用の水系の洗浄液中と前記濯ぎ用の水系の洗浄液中の少なくとも一方で超音波を発振する超音波発振器をさらに備えた請求項5に記載の洗浄装置。   6. The cleaning apparatus according to claim 5, further comprising an ultrasonic oscillator that oscillates ultrasonic waves in at least one of the aqueous cleaning liquid for main cleaning and the aqueous cleaning liquid for rinsing. 酸素を含まない気泡が供給された水系の洗浄液中に電子写真感光体用の導電性基体を浸漬して洗浄する工程を含むことを特徴とする導電性基体の洗浄方法。   A method for cleaning a conductive substrate, comprising a step of immersing and cleaning a conductive substrate for an electrophotographic photosensitive member in an aqueous cleaning solution to which bubbles containing no oxygen are supplied. 洗浄時の前記洗浄液の溶存酸素量が2mg/L以下である請求項7に記載の洗浄方法。   The cleaning method according to claim 7, wherein the amount of dissolved oxygen in the cleaning liquid at the time of cleaning is 2 mg / L or less. 前記気泡が、0.1μm〜100μmの面積平均直径を有する請求項7または8に記載の洗浄方法。   The cleaning method according to claim 7 or 8, wherein the bubbles have an area average diameter of 0.1 µm to 100 µm. 前記気泡が、窒素、二酸化炭素、アルゴンおよびヘリウムのうちから選択される単独または2種以上のガスからなる請求項7〜9のいずれか1つに記載の洗浄方法。   The cleaning method according to any one of claims 7 to 9, wherein the bubbles are made of one or more gases selected from nitrogen, carbon dioxide, argon, and helium. 界面活性剤を含む本洗浄用の水系の洗浄液中に前記導電性基体を浸漬させて洗浄する工程を最初の洗浄工程としてさらに含み、
前記最初の洗浄工程より後の洗浄工程において洗浄液中に前記気泡を供給する請求項7〜10のいずれか1つに記載の洗浄方法。
The method further includes a step of immersing and cleaning the conductive substrate in an aqueous cleaning solution for main cleaning containing a surfactant, as an initial cleaning step,
The cleaning method according to any one of claims 7 to 10, wherein the bubbles are supplied into a cleaning liquid in a cleaning step after the first cleaning step.
前記洗浄液中で超音波を発振する請求項7〜11のいずれか1つに記載の洗浄方法。   The cleaning method according to claim 7, wherein an ultrasonic wave is oscillated in the cleaning liquid.
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