JP2015220273A - Method of manufacturing multilayer ceramic electronic component - Google Patents

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PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method of manufacturing a multilayer ceramic electronic component that can divide a mother ceramic laminate into individual pieces with securing high form accuracy.SOLUTION: In a method of manufacturing a multilayer ceramic component that is manufactured through a dividing step of dividing a mother ceramic laminate 20 into individual elements 1, (a) the mother ceramic laminate is provided with an end face exposing mark 13 exposed to a side surface 20a of the mother ceramic laminate and a dividing mark 14 which is cut on the basis of the end face exposing mark to be exposed to a cut end face 20b, and (b) the dividing step comprises a step of cutting the mother ceramic laminate on the basis of the end face exposing mark to expose a dividing mark to the cut end face of the mother ceramic laminate, a step of imaging the dividing mark exposed to the cut end face by imaging means, a step of cutting the mother ceramic laminate on the basis of the imaged dividing mark, and then a step of dividing into plural multilayer ceramic electronic component elements as individual pieces.

Description

本発明は、積層セラミック電子部品の製造方法に関し、詳しくは、複数のセラミック層の積層体であるマザーセラミック積層体を所定の位置でカットして、個々の積層セラミック電子部品素子に分割する工程を経て製造される積層セラミック電子部品の製造方法に関する。   The present invention relates to a method for manufacturing a multilayer ceramic electronic component, and more specifically, a step of cutting a mother ceramic multilayer body, which is a multilayer body of a plurality of ceramic layers, at predetermined positions and dividing it into individual multilayer ceramic electronic component elements. The present invention relates to a method for manufacturing a multilayer ceramic electronic component manufactured through the manufacturing process.

代表的な積層セラミック電子部品の一つである積層セラミックコンデンサを製造する方法として、複数のセラミック積層体がマトリクス状に配列された集合体であるマザーセラミック積層体(マザー積層体)をカットして、個々の素子に分割する工程を経て積層セラミックコンデンサを製造する方法が広く知られている。   As a method of manufacturing a multilayer ceramic capacitor which is one of typical multilayer ceramic electronic components, a mother ceramic multilayer body (mother multilayer body) which is an aggregate in which a plurality of ceramic multilayer bodies are arranged in a matrix is cut. A method of manufacturing a multilayer ceramic capacitor through a process of dividing into individual elements is widely known.

そして、複数のセラミック積層体がマトリクス状に配列された集合体であるマザーセラミック積層体をカットして、個々のセラミック積層体に分割する工程では、マザーセラミック積層体の周辺領域を切断して切り離し、マザーセラミック積層体の切断端面から露出した内部導体を位置決めマークとして撮像しながら、マザーセラミック積層体をカットして、個々のセラミック積層体に分割する方法が広く知られている。   Then, in the step of cutting the mother ceramic laminate, which is an aggregate in which a plurality of ceramic laminates are arranged in a matrix, and dividing it into individual ceramic laminates, the peripheral area of the mother ceramic laminate is cut and separated. A method is widely known in which the mother ceramic laminate is cut and divided into individual ceramic laminates while imaging the internal conductor exposed from the cut end face of the mother ceramic laminate as a positioning mark.

また、上述のような方法でマザーセラミック積層体をカットするのに用いられるカット装置として、例えば、図13に示すように、送り機構115によりX軸方向にスライドさせることが可能なテーブル110上に保持されたグリーンシート(マザーセラミック積層体)Gに対し、カット刃113を垂直に降下させることでグリーンシート(マザーセラミック積層体)Gをカットするにあたって、テーブル110を刃面に垂直な方向に移動自在としたカット装置が提案されている(特許文献1参照)。   Further, as a cutting device used for cutting the mother ceramic laminate by the above-described method, for example, as shown in FIG. 13, on a table 110 that can be slid in the X-axis direction by a feed mechanism 115. When cutting the green sheet (mother ceramic laminate) G by lowering the cutting blade 113 vertically with respect to the held green sheet (mother ceramic laminate) G, the table 110 is moved in a direction perpendicular to the blade surface. A free cutting device has been proposed (see Patent Document 1).

なお、このカット装置においては、テーブル110の上面にガイド112が突設され、テーブル110の上に載置されたグリーンシート(マザーセラミック積層体)Gの一側縁を、このガイド112に当接させることにより、グリーンシート(マザーセラミック積層体)Gの位置決めが行われるように構成されている。   In this cutting apparatus, a guide 112 protrudes from the upper surface of the table 110, and one side edge of the green sheet (mother ceramic laminate) G placed on the table 110 is brought into contact with the guide 112. By doing so, the green sheet (mother ceramic laminate) G is positioned.

このカット装置を用いてグリーンシート(マザーセラミック積層体)Gをカットするようにした場合、グリーンシート(マザーセラミック積層体)Gを、意図する所定の位置でカットすることが可能になる。   When the green sheet (mother ceramic laminate) G is cut using this cutting device, the green sheet (mother ceramic laminate) G can be cut at an intended predetermined position.

しかしながら、近年、積層セラミックコンデンサの小型化または薄型化が進むにつれて、マザーセラミック積層体の厚みも薄くなり、厚みが従来のように厚い場合に比べてマザーセラミック積層体の剛性が低下し、それに伴って、以下のような問題が発生するようになった。   However, in recent years, as the ceramic ceramic capacitor has become smaller or thinner, the thickness of the mother ceramic multilayer body has also decreased, and the rigidity of the mother ceramic multilayer body has decreased as compared with the case where the thickness is thicker than before. The following problems have occurred.

(a)マザーセラミック積層体の剛性が低いため、例えば、位置決めのために、ステージに載置されたマザーセラミック積層体の側面を押して、ステージ上を移動させ(滑らせ)、マザーセラミック積層体の一側縁を、ガイドに当接させようとした場合に、マザーセラミック積層体がステージ上を滑るよりも先に、マザーセラミック積層体の変形が生じてしてしまう。   (A) Since the rigidity of the mother ceramic laminate is low, for example, for positioning, the side surface of the mother ceramic laminate placed on the stage is pushed and moved (slid) on the stage. When one side edge is brought into contact with the guide, the mother ceramic laminate is deformed before the mother ceramic laminate slides on the stage.

(b)マザーセラミック積層体の厚みが薄い場合、台紙(ろ紙)に貼りつけた状態におけるマザーセラミック積層体の高さ位置の変動の割合が、マザーセラミック積層体の厚みが厚い場合に比べて大きくなり、安定してマザーセラミック積層体の側面を押すことが困難で、精度よく位置を調整することができない。   (B) When the thickness of the mother ceramic laminate is thin, the rate of variation in the height position of the mother ceramic laminate when attached to the mount (filter paper) is larger than when the thickness of the mother ceramic laminate is thick. Therefore, it is difficult to stably press the side surface of the mother ceramic laminate, and the position cannot be adjusted with high accuracy.

(c)上記(a),(b)のような事情から、マザーセラミック積層体のマージン(捨て代)を大きくとったり、長い位置決めマークを設けたりすることが必要となり、マザーセラミック積層体の大きさに対する、個々の積層セラミックコンデンサの取個数の割合を大きくすることが困難である。   (C) Due to the circumstances as described in (a) and (b) above, it is necessary to increase the margin (disposal allowance) of the mother ceramic laminate or to provide a long positioning mark. However, it is difficult to increase the ratio of the number of individual multilayer ceramic capacitors.

(d)マザーセラミック積層体の側面側にカメラなどの撮像手段を配設して、切断位置を示すマークを撮像し、マークの位置を基準にマザーセラミック積層体をカットするような場合に、マザーセラミック積層体の両側面が平行でない状態になると、撮像の際に撮像手段のピントが合わなくなって、位置精度よくマザーセラミック積層体をカットすることが困難になるばかりでなく、撮像手段のピントが合わなくなるたびに設備がトラブル停止して、生産性が低下する。   (D) When imaging means such as a camera is arranged on the side surface of the mother ceramic laminate to image a mark indicating a cutting position, and the mother ceramic laminate is cut based on the position of the mark, the mother If both sides of the ceramic laminate are not parallel, the imaging means will not be in focus during imaging, and it will be difficult to cut the mother ceramic laminate with high positional accuracy. Every time it doesn't fit, the equipment stops in trouble and productivity decreases.

(e)マザーセラミック積層体をカットして、個片化することにより得られるセラミック積層体の形状精度が低下し、形状精度の低下は、製品の電気特性の劣化や、実装姿勢の不安定化などを招く。   (E) The shape accuracy of the ceramic laminate obtained by cutting the mother ceramic laminate into individual pieces is reduced. The deterioration of the shape accuracy is caused by the deterioration of the electrical characteristics of the product and the unstable mounting posture. Invite them.

特開平11−90894号公報Japanese Patent Application Laid-Open No. 11-90894

本発明は、上記課題を解決するものであり、マザーセラミック積層体を所定の位置でカットして、形状精度の高い個片に分割することが可能で、効率よく積層セラミック電子部品を製造することが可能な、積層セラミック電子部品の製造方法を提供することを目的とする。   The present invention solves the above-described problem, and can efficiently cut a mother ceramic multilayer body at a predetermined position and divide the mother ceramic multilayer body into pieces with high shape accuracy, thereby efficiently producing a multilayer ceramic electronic component. An object of the present invention is to provide a method for manufacturing a multilayer ceramic electronic component capable of achieving the above.

上記の課題を解決するため、本発明の積層セラミック電子部品の製造方法は、
積層された複数のセラミック層を備えてなるマザーセラミック積層体を所定の位置でカットして、個々の積層セラミック電子部品素子に分割する分割工程を経て製造される積層セラミック電子部品の製造方法であって、
(a)前記マザーセラミック積層体は、側面に露出した端面出し用マークと、前記端面出し用マークを基準に前記マザーセラミック積層体を切断することにより形成される切断端面に露出する分割マークとを備えており、
(b)前記分割工程は、前記端面出し用マークを基準に前記マザーセラミック積層体を切断して、前記マザーセラミック積層体の前記切断端面に前記分割マークを露出させる工程と、前記切断端面に露出した前記分割マークを撮像手段により撮像し、撮像した前記分割マークを基準に前記マザーセラミック積層体をカットする工程を経て複数の個片である積層セラミック電子部品素子に分割する工程とを備えていること
を特徴としている。
In order to solve the above problems, a method for producing a multilayer ceramic electronic component of the present invention includes
A method for manufacturing a multilayer ceramic electronic component manufactured through a dividing step of cutting a mother ceramic multilayer body including a plurality of laminated ceramic layers at a predetermined position and dividing it into individual multilayer ceramic electronic component elements. And
(A) The mother ceramic laminate includes an end face exposure mark exposed on a side surface and a division mark exposed on a cut end face formed by cutting the mother ceramic laminate based on the end face exposure mark. Has
(B) The dividing step includes a step of cutting the mother ceramic laminate on the basis of the end face mark and exposing the division mark on the cut end surface of the mother ceramic laminate, and exposing the cut end surface. Imaging the division mark by an imaging means, and cutting the mother ceramic laminate on the basis of the imaged division mark and dividing the multilayer ceramic electronic component element into a plurality of pieces. It is characterized by this.

また、本発明の積層セラミック電子部品の製造方法においては、外周縁にまで達する端面出し用マーク用の内部導体パターンを備えた複数のセラミックグリーンシートが積層されることにより、厚み方向に前記端面出し用マーク用の内部導体パターンが配列されてなる端面出し用マークが、前記マザーセラミック積層体の側面に形成されるように構成されていることが好ましい。   Further, in the method for manufacturing a multilayer ceramic electronic component of the present invention, a plurality of ceramic green sheets having an inner conductor pattern for an end face exposure mark reaching the outer peripheral edge are laminated, whereby the end face protrusion is performed in the thickness direction. It is preferable that the end surface marking mark in which the inner conductor pattern for the mark is arranged is formed on the side surface of the mother ceramic laminate.

上記構成を備えることにより、認識しやすい端面出し用マークを側面に備えたマザーセラミック積層体を確実に形成することが可能になり、本発明をより実効あらしめることができる。   By providing the above-described configuration, it is possible to reliably form a mother ceramic laminate having end recognition marks that are easy to recognize on the side surfaces, and the present invention can be more effectively realized.

また、前記マザーセラミック積層体を形成する工程が、長尺状のセラミックグリーンシートを矩形状に打ち抜く打ち抜き工程と、打ち抜かれた前記矩形状のセラミックグリーンシートを積層する積層工程とを有し、前記打ち抜き工程では、端面出し用マーク用の内部導体パターンが切断されるように前記長尺状のセラミックグリーンシートを打ち抜くことにより、外周縁にまで達する前記端面出し用マーク用の内部導体パターンが形成されたセラミックグリーンシートを得るように構成されていることが望ましい。   Further, the step of forming the mother ceramic laminate includes a punching step of punching a long ceramic green sheet into a rectangular shape, and a stacking step of stacking the punched rectangular ceramic green sheet, In the punching step, the long conductor green sheet is punched out so that the end conductor mark internal conductor pattern is cut, so that the end conductor mark inner conductor pattern reaching the outer peripheral edge is formed. It is desirable that the ceramic green sheet be constructed.

長尺状のセラミックグリーンシートを矩形状に打ち抜く打ち抜き工程で、端面出し用マーク用の内部導体パターンを切断するように長尺状のセラミックグリーンシートを打ち抜くことにより、外周縁にまで達するように端面出し用マーク用の内部導体パターンが形成された矩形状のセラミックグリーンシートを確実に、しかも効率よく得ることが可能になり、本発明をさらに実効あらしめることが可能になる。   In the punching process of punching a long ceramic green sheet into a rectangular shape, by punching the long ceramic green sheet so as to cut the internal conductor pattern for the end face marking, the end surface reaches the outer peripheral edge. It becomes possible to reliably and efficiently obtain a rectangular ceramic green sheet on which an internal conductor pattern for a lead mark is formed, and the present invention can be further improved.

また、前記マザーセラミック積層体の互いに対向する両側面に、前記端面出し用マークが露出するように構成されていることが好ましい。   Moreover, it is preferable that the end surface marking mark is exposed on both opposite side surfaces of the mother ceramic laminate.

上記構成を備えることにより、端面出し用マークを認識しやすいマザーセラミック積層体を得ることが可能になる。   By providing the above-described configuration, it is possible to obtain a mother ceramic laminated body that can easily recognize the end face marking mark.

また、1つの前記端面出し用マークが、前記マザーセラミック積層体の前記側面に露出した、前記マザーセラミック積層体の主面に沿う方向に所定の間隔をおいて配設された一対の端面出し用マークから形成されており、前記一対の端面出し用マークの間の位置を切断位置と認識することができるように構成されていることが好ましい。   Further, a pair of end face protruding marks are disposed at a predetermined interval in a direction along the main surface of the mother ceramic multilayer body, wherein one end surface marking mark is exposed on the side surface of the mother ceramic multilayer body. It is preferable that the position between the pair of end surface marking marks is recognized as a cutting position.

上記構成を備えることにより、切断位置の精度を高めることが可能になり、有意義である。   By providing the said structure, it becomes possible to raise the precision of a cutting position and is meaningful.

前記一対の端面出し用マークのうちの一方は、セラミック層を介して積層された複数層の内部電極パターンの露出部から形成され、積層方向に伸びるマークであり、他方は、セラミック層を介して積層された複数層の内部電極パターンの露出部から形成され、前記一方の端面出し用マークと平行に積層方向に伸びるマークであることが好ましい。   One of the pair of end face projection marks is a mark formed from an exposed portion of a plurality of layers of internal electrode patterns stacked via a ceramic layer and extending in the stacking direction, and the other is positioned via a ceramic layer. It is preferable that the mark is formed from an exposed portion of a plurality of stacked internal electrode patterns, and extends in the stacking direction in parallel with the one end face projection mark.

上記構成を備えることにより、端面出し用マークを側面側から確実に認識することが可能なマザーセラミック積層体を得ることが可能になり、本発明をさらに実効あらしめることができる。   By providing the above configuration, it is possible to obtain a mother ceramic laminate capable of reliably recognizing the end-facing mark from the side surface side, and the present invention can be further effectively realized.

本発明の積層セラミック電子部品の製造方法では、(a)マザーセラミック積層体を、側面に露出した端面出し用マークと、端面出し用マークを基準にマザーセラミック積層体を切断することにより形成される切断端面に露出する分割マークとを備えた構成とし、(b)分割工程を、端面出し用マークを基準にマザーセラミック積層体を切断して、マザーセラミック積層体の切断端面に分割マークを露出させる工程と、切断端面に露出した分割マークを撮像手段により撮像し、撮像した分割マークを基準にマザーセラミック積層体をカットする工程を経て複数の個片である積層セラミック電子部品素子に分割する工程とを備えた構成としているので、マザーセラミック積層体を精度よく切断して、分割マークを切断端面に露出させ、撮像手段により、その位置を確実に認識することが可能になる。また、認識した分割マークを基準として、マザーセラミック積層体を所定の位置で確実にカットする工程を経ることにより、複数の個片である積層セラミック電子部品素子を効率よく得ることが可能になる。   In the method for manufacturing a multilayer ceramic electronic component according to the present invention, (a) a mother ceramic laminate is formed by cutting the mother ceramic laminate on the basis of the end face exposure mark exposed on the side surface and the end face exposure mark. (B) In the dividing step, the mother ceramic laminate is cut based on the end face marking mark to expose the division marks on the cut end surface of the mother ceramic laminate. A step of imaging the division mark exposed on the cut end face by an imaging means, and a step of cutting the mother ceramic laminate based on the imaged division mark to divide the multilayer ceramic electronic component element as a plurality of pieces; Therefore, the mother ceramic laminate is accurately cut, and the division marks are exposed on the cut end face. More, it is possible to recognize the position reliably. Further, a multilayer ceramic electronic component element that is a plurality of individual pieces can be efficiently obtained by performing a process of reliably cutting the mother ceramic multilayer body at a predetermined position on the basis of the recognized division mark.

すなわち、本発明によれば、マザーセラミック積層体を、その側面にガイドを当てたりすることなく、精度よく切断することが可能になり、端面に露出させた分割マークを撮像手段によりピントぼけを招くことなく撮像して認識し、認識した分割マークを基準に切断を行い、マザーセラミック積層体を個片化することができる。その結果、形状精度、寸法精度の高い積層セラミック電子部品素子を得ることが可能になる。   That is, according to the present invention, it becomes possible to cut the mother ceramic laminated body with high accuracy without applying a guide to the side surface, and the division mark exposed on the end face is caused to be out of focus by the imaging means. The mother ceramic laminated body can be separated into pieces by cutting and recognizing without being cut and cutting based on the recognized division marks. As a result, it is possible to obtain a multilayer ceramic electronic component element with high shape accuracy and dimensional accuracy.

なお、本発明の積層セラミック電子部品の製造方法は、切断を行うことにより切断端面に露出した分割マークを認識して、それを基準にマザーセラミック積層体をカットして個片に分割する場合のみではなく、切断を行うことにより得られる、分割マークが切断端面に露出したマザーセラミック積層体を、分割マークを基準にしてカットして、複数個の個片を含む半個片とした後、露出した内部電極を基準として、半個片をカットして、個々の個片に分割する工程を備えた構成をも含むものである。   In addition, the manufacturing method of the multilayer ceramic electronic component of the present invention recognizes the division mark exposed on the cut end face by cutting and only cuts the mother ceramic multilayer body into pieces based on the recognition mark. Instead, the mother ceramic laminate with the division marks exposed on the cut end face obtained by cutting is cut with reference to the division marks to make a half piece including a plurality of pieces, and then exposed. A configuration including a process of cutting a half piece into individual pieces using the internal electrode as a reference is included.

本発明の一実施形態(実施形態1)において、積層セラミックコンデンサを製造するのに用いた長尺状セラミックグリーンシートの構成を示す平面図である。In one Embodiment (Embodiment 1) of this invention, it is a top view which shows the structure of the elongate ceramic green sheet used in manufacturing a multilayer ceramic capacitor. 図1の長尺状セラミックグリーンシートから切り出したマザーセラミックグリーンシートを示す斜視図である。It is a perspective view which shows the mother ceramic green sheet cut out from the elongate ceramic green sheet of FIG. 図2のマザーセラミックグリーンシートを積層する工程を経て形成されるマザーセラミック積層体の構成を示す分解斜視図である。It is a disassembled perspective view which shows the structure of the mother ceramic laminated body formed through the process of laminating | stacking the mother ceramic green sheet of FIG. 本発明の実施形態1において作製したマザーセラミック積層体の構成を示す正面断面図である。It is front sectional drawing which shows the structure of the mother ceramic laminated body produced in Embodiment 1 of this invention. 本発明の実施形態1において作製したマザーセラミック積層体の側面に露出した端面出し用マークを示す図である。It is a figure which shows the mark for an end face exposure exposed to the side surface of the mother ceramic laminated body produced in Embodiment 1 of this invention. 図5のマザーセラミック積層体を、端面出し用マークを基準としてカットする方法を説明する図である。It is a figure explaining the method of cutting the mother ceramic laminated body of FIG. 5 on the basis of the mark for end faces. 本発明の実施形態1において、マザーセラミック積層体を端面出し用マークを基準としてカットすることにより切断端面に分割マークを露出させた状態を示す図である。In Embodiment 1 of this invention, it is a figure which shows the state in which the division | segmentation mark was exposed to the cutting | disconnection end surface by cutting a mother ceramic laminated body on the basis of the mark for end faces. 本発明の実施形態1において、マザーセラミック積層体を分割マークを基準としてカットしている状態を示す平面図である。In Embodiment 1 of this invention, it is a top view which shows the state which has cut the mother ceramic laminated body on the basis of the division | segmentation mark. 本発明の実施形態1において、分割マークを基準としてカットした後のマザーセラミック積層体を、切断端面に直交する方向にカットしている状態を示す平面図である。In Embodiment 1 of this invention, it is a top view which shows the state which has cut the mother ceramic laminated body after cutting on the basis of a division | segmentation mark in the direction orthogonal to a cutting end surface. 本発明の実施形態1において、マザーセラミック積層体をカットすることにより得られる個片(積層セラミックコンデンサ素子)の構成を示す正面断面図である。In Embodiment 1 of this invention, it is front sectional drawing which shows the structure of the piece (multilayer ceramic capacitor | condenser element) obtained by cutting a mother ceramic laminated body. 本発明の実施形態1にかかる積層セラミック電子部品の製造方法により製造された積層セラミックコンデンサを示す正面断面図である。It is front sectional drawing which shows the multilayer ceramic capacitor manufactured by the manufacturing method of the multilayer ceramic electronic component concerning Embodiment 1 of this invention. 本発明の他の実施形態(実施形態2)において、積層セラミックコンデンサを製造するのに用いた長尺状セラミックグリーンシートの構成を示す平面図である。In other embodiment (Embodiment 2) of this invention, it is a top view which shows the structure of the elongate ceramic green sheet used for manufacturing a multilayer ceramic capacitor. 従来のセラミックグリーンシートのカット装置の構成を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the structure of the cutting device of the conventional ceramic green sheet.

以下に本発明の実施形態を示して、本発明の特徴とするところをさらに詳しく説明する。   Embodiments of the present invention will be described below to describe the features of the present invention in more detail.

[実施形態1]
この実施形態1では、図11に示すように、静電容量形成用の内部電極2(2a,2b)と、ダミー内部電極6(6a,6b)を備えたセラミック積層体(積層セラミックコンデンサ素子)1の、上記内部電極2(2a,2b)が引き出された端面3(3a,3b)に、内部電極2(2a,2b)と導通するように外部電極5(5a,5b)が配設された構造を有する積層セラミックコンデンサを製造する場合を例にとって説明する。
[Embodiment 1]
In the first embodiment, as shown in FIG. 11, a ceramic laminated body (multilayer ceramic capacitor element) including internal electrodes 2 (2a, 2b) for forming capacitance and dummy internal electrodes 6 (6a, 6b). 1, external electrodes 5 (5a, 5b) are disposed on end surfaces 3 (3a, 3b) from which the internal electrodes 2 (2a, 2b) are drawn out so as to be electrically connected to the internal electrodes 2 (2a, 2b). An example of manufacturing a multilayer ceramic capacitor having the above structure will be described.

(1)まず、誘電体セラミック粉末(例えば、チタン酸バリウム系セラミック粉末)とバインダー樹脂と有機溶剤とを配合した原料をシート上に成形して、長尺状セラミックグリーンシート10(図1)を作製した。   (1) First, a raw material in which a dielectric ceramic powder (for example, barium titanate ceramic powder), a binder resin, and an organic solvent are blended is formed on a sheet, and a long ceramic green sheet 10 (FIG. 1) is formed. Produced.

なお、この長尺状セラミックグリーンシート10は、そこから、各マザーセラミックグリーンシート11が切り出される(打ち抜かれる)ものである。   The long ceramic green sheet 10 is obtained by cutting (punching) each mother ceramic green sheet 11 therefrom.

そして、長尺状セラミックグリーンシート10の、各マザーセラミックグリーンシート11となる領域のそれぞれに、導電性ペーストを印刷することにより、図1に示すように、所定の形状を有する複数の内部電極(内部電極パターン)12、端面出し用マーク13、および分割マーク14を形成した。
なお、この実施形態では、内部電極12、端面出し用マーク13、および分割マーク14を同時に印刷するようにしているため、各マークを特別な工程を設けることなく形成することが可能であるとともに、各マーク間の相対位置精度を高くすることができる。
Then, by printing a conductive paste on each region of the long ceramic green sheet 10 to be the mother ceramic green sheets 11, a plurality of internal electrodes having a predetermined shape (as shown in FIG. 1) An internal electrode pattern) 12, an end face marking mark 13, and a division mark 14 were formed.
In this embodiment, since the internal electrode 12, the edge marking mark 13, and the division mark 14 are printed at the same time, each mark can be formed without providing a special process. The relative position accuracy between the marks can be increased.

内部電極12は、通常、格子状もしくは千鳥状の配設態様となるように印刷される(図1は内部電極12を格子状に形成した状態を示している)。   The internal electrodes 12 are usually printed so as to have a grid-like or staggered arrangement (FIG. 1 shows a state in which the internal electrodes 12 are formed in a grid).

各端面出し用マーク13は、この実施形態1では、図1〜3に示すように、2本の線状マーク13a,13bから構成されている。そして、2本の線状マーク13a,13bの間の位置が切断位置となるように構成されている。   In the first embodiment, each end face projection mark 13 is composed of two linear marks 13a and 13b as shown in FIGS. And it is comprised so that the position between the two linear marks 13a and 13b may become a cutting position.

端面出し用マーク13は、後述するマザーセラミック積層体20(図3,4)を、端面出し用マーク13を基準にカットすることにより、マザーセラミック積層体20の切断端面20b(図7)に分割マーク14を露出させることができるように、長尺状セラミックグリーンシート10の長手方向について見た場合に、隣り合う端面出し用マーク13が、複数の分割マーク14を挟むような態様、すなわち、端面出し用マーク13を基準にカットを行うことにより、分割マーク14が切断されて、切断端面20b(図7)に露出するような態様で印刷されている。
また、この実施形態1において、端面出し用マーク13は、図1の長尺状セラミックグリーンシート10の上辺側と下辺側の両側に配設されているが、場合によっては、上辺側と下辺側のいずれか一方側にのみ配設するように構成することも可能である。
The end surface mark 13 is divided into a cut end surface 20b (FIG. 7) of the mother ceramic laminate 20 by cutting a mother ceramic laminate 20 (FIGS. 3 and 4), which will be described later, with reference to the end face mark 13 as a reference. An aspect in which adjacent end face projection marks 13 sandwich a plurality of division marks 14 when viewed in the longitudinal direction of the long ceramic green sheet 10 so that the marks 14 can be exposed, that is, end faces By performing a cut with reference to the delivery mark 13, the division mark 14 is cut and printed in such a manner as to be exposed on the cut end face 20b (FIG. 7).
Further, in the first embodiment, the end surface marking marks 13 are disposed on both the upper side and the lower side of the long ceramic green sheet 10 of FIG. 1, but depending on the case, the upper side and the lower side may be provided. It is also possible to configure so as to be disposed only on either one side.

また、分割マーク14は、後述するマザーセラミック積層体20(図3,4)を所定の位置でカットして、分割することができるように、マザーセラミック積層体20の、カットすべき位置を認識することができる位置に印刷されている。なお、この実施形態1における分割マーク14は、その後に形成されるマザーセラミック積層体20をカットすることにより、セラミック積層体の内部電極が引き出される面が切断端面となる位置を示すことができるように、所定の位置に所定のピッチで配設されている。具体的には、この実施形態1では、分割マーク14は、図1の長尺状セラミックグリーンシート10の上辺側と下辺側に、互いに対向するように配設されている。ただし、上辺側と下辺側のいずれか一方側にのみ配設するように構成することも可能である。その場合、端面出し用マーク13も、長尺状セラミックグリーンシート10の上辺側と下辺側の、分割マーク14が配設されている側に配設すればよいことになる。   The division mark 14 recognizes the position of the mother ceramic laminate 20 to be cut so that the mother ceramic laminate 20 (FIGS. 3 and 4), which will be described later, can be cut at a predetermined position and divided. It is printed at a position where you can. In addition, the division mark 14 in this Embodiment 1 can show the position where the surface where the internal electrode of a ceramic laminated body is pulled out becomes a cut end surface by cutting the mother ceramic laminated body 20 formed after that. Further, they are arranged at predetermined positions at predetermined pitches. Specifically, in the first embodiment, the division marks 14 are arranged on the upper side and the lower side of the long ceramic green sheet 10 in FIG. 1 so as to face each other. However, it may be configured to be disposed only on either the upper side or the lower side. In that case, the end surface marking marks 13 may also be disposed on the upper and lower sides of the long ceramic green sheet 10 on the side where the division marks 14 are disposed.

分割マーク14は、個々の個片へのカット位置毎に配設してもよいが、複数の個片ごとに一つの割合で(所定のピッチで)配設することも可能である。この実施形態1では、複数の個片ごとに一つの割合で分割マーク14を配設している。
また、本切マーク14は、一本の線状のようなパターンに限らず、複数の線、もくしは点であってもよいが、通常は1本線のパターンとすることが望ましい。
The division mark 14 may be arranged at each cutting position for each individual piece, but may be arranged at a ratio (at a predetermined pitch) for each of a plurality of pieces. In the first embodiment, the division marks 14 are arranged at a ratio of one for a plurality of pieces.
Further, the main cutting mark 14 is not limited to a single line-like pattern, but may be a plurality of lines or combs, but it is usually desirable to use a single line pattern.

(2)そして、上述の長尺状セラミックグリーンシート10を、図1の点線L1で示す位置でカットして、図2に示すように、平面形状が方形の各マザーセラミックグリーンシート11を切り出した。
この実施形態1では、端面出し用マーク13は、その一端から他端への途中の位置で、長手方向と直交する方向に切断される。
(2) Then, the above-mentioned long ceramic green sheet 10 was cut at the position indicated by the dotted line L1 in FIG. 1, and each mother ceramic green sheet 11 having a square planar shape was cut out as shown in FIG. .
In the first embodiment, the end surface marking mark 13 is cut in a direction perpendicular to the longitudinal direction at a position midway from one end to the other end.

ただし、長尺状セラミックグリーンシート10をカットするにあたって、内部電極12および分割マーク14については、これらを切断する位置でカットしてもよく、また、切断しない位置でカットしてもよい。すなわち、その後に形成されるマザーセラミック積層体20(図3,4参照)を、端面出し用マーク13に基づく所定の位置でカットすることにより、分割マーク14を切断端面20bに露出させ(図7)、それに基づいて、後述するように、マザーセラミック積層体20を、所定の位置でカットすることができる(図8)。   However, when the long ceramic green sheet 10 is cut, the internal electrode 12 and the division mark 14 may be cut at a position where they are cut or may be cut at a position where they are not cut. That is, the mother ceramic laminated body 20 (see FIGS. 3 and 4) formed thereafter is cut at a predetermined position based on the end face mark 13 to expose the division marks 14 on the cut end face 20b (FIG. 7). Based on this, as will be described later, the mother ceramic laminate 20 can be cut at a predetermined position (FIG. 8).

なお、長尺状セラミックグリーンシート10から各マザーセラミックグリーンシート11を切り出す方法に特に制約はなく、例えば長尺状マザーセラミックシート10を吸着保持し、周辺部を刃物で切断する方法や、型を用いて打ち抜く方法など、種々の方法を適用することが可能である。   In addition, there is no restriction | limiting in particular in the method of cutting out each mother ceramic green sheet 11 from the elongate ceramic green sheet 10, For example, the method of hold | maintaining the elongate mother ceramic sheet 10 by adsorption | suction, and cutting a periphery part with a cutter, or a type | mold is used. Various methods such as a punching method can be applied.

(3)次に、切り出された各マザーセラミックグリーンシート(電極印刷シート)11を所定の順序で積層した(図3参照)。
このとき、積層体の上下両面側に、積層セラミックコンデンサにおける外層部となる、内部電極パターンの形成されていないマザーセラミックグリーンシート11(11a)を積層した。
(3) Next, the cut out mother ceramic green sheets (electrode printing sheets) 11 were laminated in a predetermined order (see FIG. 3).
At this time, a mother ceramic green sheet 11 (11a) having no internal electrode pattern, which is an outer layer portion of the multilayer ceramic capacitor, was laminated on the upper and lower surfaces of the multilayer body.

また、この実施形態1では、1種類のマザーセラミックグリーンシート(電極印刷シート)11を用いて、内部電極2がセラミック積層体(積層セラミックコンデンサ素子)1(図10)の互いに異なる端面に引き出された構造、すなわち、積層セラミックコンデンサの基本的な構造を実現するために、図3、図4に示すように、積層方向に隣り合うマザーセラミックグリーンシート11において、内部電極2の位置が、矢印A,Bで示す方向に互いにずれるように、各マザーセラミックグリーンシート11を積層した。   In the first embodiment, the internal electrode 2 is drawn to different end faces of the ceramic multilayer body (multilayer ceramic capacitor element) 1 (FIG. 10) using one kind of mother ceramic green sheet (electrode printing sheet) 11. In order to realize the basic structure of the multilayer ceramic capacitor, as shown in FIGS. 3 and 4, the position of the internal electrode 2 is indicated by an arrow A in the mother ceramic green sheet 11 adjacent in the stacking direction. , B, the mother ceramic green sheets 11 were laminated so as to be shifted from each other in the direction indicated by B.

なお、上述のように内部電極2の位置が、積層方向に隣り合うマザーセラミックグリーンシート11において互いにずれるようにする内部電極2の位置をずらせる方法としては、長尺状セラミックグリーンシート10から、内部電極2の位置が同一のマザーセラミックグリーンシート11を切り出した後、積層位置をずらせる方法(この実施形態1の方法)と、長尺状セラミックグリーンシート10から、内部電極2の位置が互いに異なる2種類のマザーセラミックグリーンシート11を切り出した後、切り出したマザーセラミックグリーンシート11を、交互に同じ位置に積層する方法とがあるが、どちらの方法を用いてもよい。   In addition, as a method of shifting the position of the internal electrode 2 so that the position of the internal electrode 2 is shifted from each other in the mother ceramic green sheet 11 adjacent in the stacking direction as described above, from the long ceramic green sheet 10, After the mother ceramic green sheet 11 having the same internal electrode 2 position is cut out, the stacking position is shifted (the method of the first embodiment), and the long ceramic green sheet 10 is used to position the internal electrode 2 at the same position. There is a method in which two different types of mother ceramic green sheets 11 are cut out and then the cut out mother ceramic green sheets 11 are alternately stacked at the same position. Either method may be used.

ただし、後者のように内部電極2の位置を異ならせる一方、端面出し用マークの位置は同じとなるようにした2種類のマザーセラミックグリーンシートを用意し、これを、端面出し用マークが互いに重なる(平面的にみて同じ位置にくる)ように、2種類のマザーセラミックグリーンシートを交互に積層して、マザーセラミック積層体を形成するようにした場合、端面出し用マークをマザーセラミック積層体の側面に露出した、積層方向に沿う一本の直線状のマークとして認識することができるため、切断位置を認識しやすくなり、好ましい。   However, as in the latter case, two types of mother ceramic green sheets are prepared in which the positions of the internal electrodes 2 are made different while the positions of the end face-up marks are the same, and the end face-up marks overlap each other. When the two types of mother ceramic green sheets are laminated alternately to form a mother ceramic laminate so that they are in the same position in plan view, the end face marking mark is placed on the side of the mother ceramic laminate. Since it can be recognized as a single linear mark along the stacking direction, it is easy to recognize the cutting position, which is preferable.

(4)それから、マザーセラミック積層体(積層後のブロック)20を静水圧プレスや剛体プレスなどの方法で圧着し、図5に示すように、側面20aに端面出し用マーク13の端部が露出した構造を有するマザーセラミック積層体(圧着後のマザーセラミック積層体)20を得た。このマザーセラミック積層体20は、その側面20aに、上述の2本の線状マーク13a,13bの露出部から形成された一対の列状マーク130a,130bを認識することができるように構成されている。
なお、一対の列状マーク130a,130bは、それぞれ、端面出し用マーク13を構成する2本の線状マーク13a,13bの側面20aへの露出端部が積層方向に並ぶことにより形成されるものである。
(4) Then, the mother ceramic laminated body (block after lamination) 20 is pressure-bonded by a method such as hydrostatic pressure pressing or rigid body pressing, and as shown in FIG. A mother ceramic laminate (mother ceramic laminate after pressure bonding) 20 having the above structure was obtained. The mother ceramic laminate 20 is configured such that a pair of row marks 130a and 130b formed from the exposed portions of the two linear marks 13a and 13b described above can be recognized on the side surface 20a. Yes.
The pair of row marks 130a and 130b are formed by arranging the exposed end portions of the two linear marks 13a and 13b constituting the end face marking mark 13 on the side surface 20a in the stacking direction. It is.

(5)次に、図6に示すように、圧着後のマザーセラミック積層体20の側面20aに露出した端面出し用マーク13、すなわち、一対の列状マーク130a,130bを認識し、一対の列状マーク130a,130bの間の位置を切断位置としてマザーセラミック積層体20を切断した。これにより、図7に示すように、分割マーク14が、マザーセラミック積層体20の上述の切断端面(側面20aと直交する側の側面)20bに露出した構造を有するマザーセラミック積層体20が得られる。   (5) Next, as shown in FIG. 6, the end face exposure mark 13 exposed on the side surface 20 a of the mother ceramic laminate 20 after press bonding, that is, the pair of row marks 130 a and 130 b is recognized, and the pair of rows The mother ceramic laminate 20 was cut using the position between the shape marks 130a and 130b as a cutting position. As a result, as shown in FIG. 7, the mother ceramic laminate 20 having a structure in which the division marks 14 are exposed on the above-described cut end face (side surface orthogonal to the side surface 20 a) 20 b of the mother ceramic laminate 20 is obtained. .

なお、この実施形態1では、積層方向に隣り合うマザーセラミックグリーンシートを矢印A,B(図3)で示す方向に位置をずらせて積層しているので、分割マーク14は、積層方向に伸びる2本の列状マーク140a,140bとして認識されることになる。   In the first embodiment, the mother ceramic green sheets adjacent in the stacking direction are stacked while being shifted in the directions indicated by arrows A and B (FIG. 3), so that the division mark 14 extends in the stacking direction. It will be recognized as a row of marks 140a and 140b.

(6)それから、図8に示すように、マザーセラミック積層体20の切断端面(側面20aと直交する側の側面)20bに露出した分割マーク14(上述の2本の列状マーク140a,140b)を、撮像手段21で撮像して認識するとともに、認識した分割マーク14(列状マーク140a,140b)を基準に、所定の間隔でマザーセラミック積層体20をカットした。   (6) Then, as shown in FIG. 8, the division mark 14 (the two row marks 140a and 140b described above) exposed on the cut end face (the side face orthogonal to the side face 20a) 20b of the mother ceramic laminate 20 Was picked up by the image pickup means 21 and recognized, and the mother ceramic laminate 20 was cut at a predetermined interval based on the recognized division marks 14 (row marks 140a and 140b).

これにより、マザーセラミック積層体20は、複数の個片(セラミック積層体)を含む帯状片(半個片)120に分割される。この工程において、マザーセラミック積層体20は、後述の個片(未焼成のセラミック積層体)に分割されたときに、切断端面が、内部電極の引き出された面(外部電極が形成される端面)となるような態様でカットされる。   Thereby, the mother ceramic laminated body 20 is divided | segmented into the strip | belt-shaped piece (half piece) 120 containing several piece (ceramic laminated body). In this step, when the mother ceramic laminate 20 is divided into individual pieces (unfired ceramic laminate) to be described later, the cut end surface is the surface from which the internal electrode is drawn (end surface on which the external electrode is formed). It is cut in such a manner as to become.

なお、この実施形態1では、分割マーク14を認識するための撮像手段として、上述の端面出し用マークを認識するために用いたものと同じ撮像手段21を用いている。ただし、端面出し用マークを認識するために用いた撮像手段とは異なる撮像手段を用いることも可能である。   In the first embodiment, as the image pickup means for recognizing the division mark 14, the same image pickup means 21 as that used for recognizing the above-described end face projection mark is used. However, it is also possible to use an image pickup means different from the image pickup means used for recognizing the end face mark.

(7)さらに、上記(6)において、分割マーク14を基準にカットしたマザーセラミック積層体20を、図9に示すように、平面的にみて90°回転させ、上記(6)の工程で分割マーク14(列状マーク140a,140b)を基準にカットすることにより形成された切断端面20cに露出した内部電極(図示せず)を撮像手段21で撮像した。   (7) Further, in (6) above, the mother ceramic laminate 20 cut with reference to the division mark 14 is rotated by 90 ° in plan view as shown in FIG. 9, and divided in the step (6) above. An internal electrode (not shown) exposed on the cut end face 20c formed by cutting with the marks 14 (row marks 140a, 140b) as a reference was imaged by the imaging means 21.

そして、撮像手段21で撮像し、認識した内部電極を基準にして、上述の分割マーク14を基準にしたカット方向と直交する方向に、所定の間隔でマザーセラミック積層体20をカットして、図10に示すような構造を有する個片(個々の未焼成のセラミック積層体1)に分割した。この個片(セラミック積層体)1は、図10に示すように、静電容量形成用の内部電極2(2a,2b)と、ダミー内部電極6(6a,6b)を備えた構造体(積層セラミックコンデンサ素子)である。   Then, the mother ceramic multilayer body 20 is cut at a predetermined interval in a direction orthogonal to the cutting direction with the above-described division mark 14 as a reference, with the internal electrode imaged and recognized by the imaging means 21 as a reference. 10 were divided into individual pieces (individual unfired ceramic laminates 1) having the structure shown in FIG. As shown in FIG. 10, the individual piece (ceramic laminate) 1 includes a structure (laminated layer) including internal electrodes 2 (2a, 2b) for forming a capacitance and dummy internal electrodes 6 (6a, 6b). Ceramic capacitor element).

この(7)の工程では、内部電極を基準にして、帯状片(半個片)120の集合体であるマザーセラミック積層体20をカットして、個片に分割するようにしたが、マザーセラミック積層体に、帯状片(半個片)を個片に分割する際に基準となる分割マークを設け、該分割マークを基準にして帯状片(半個片)を個片に分割するように構成することも可能である。   In the step (7), the mother ceramic laminate 20 which is an aggregate of the strips (half pieces) 120 is cut with respect to the internal electrode and divided into individual pieces. The laminated body is provided with a division mark that becomes a reference when dividing the strip (half piece) into pieces, and the band piece (half piece) is divided into pieces based on the division mark. It is also possible to do.

(8)それから、このセラミック積層体を焼成した後、外部電極5a,5bを形成することにより、図11に示すように、セラミック積層体(積層セラミックコンデンサ素子)1の一対の端面3(3a,3b)に、内部電極2(2a,2b)と導通するように外部電極5(5a,5b)が配設された構造を有する積層セラミックコンデンサを得た。   (8) Then, after firing the ceramic laminate, the external electrodes 5a and 5b are formed, thereby forming a pair of end faces 3 (3a, 3a, 3b) of the ceramic laminate (multilayer ceramic capacitor element) 1 as shown in FIG. 3b), a multilayer ceramic capacitor having a structure in which the external electrodes 5 (5a, 5b) are disposed so as to be electrically connected to the internal electrodes 2 (2a, 2b) was obtained.

この実施形態1の方法によれば、従来のようにマザーセラミック積層体にガイドを押し当てて位置決めすることを必要とせずに、マザーセラミック積層体を所定の位置でカットして、形状精度の高い個片に分割することが可能で、効率よく積層セラミックコンデンサを製造することができる。   According to the method of the first embodiment, the mother ceramic multilayer body is cut at a predetermined position without requiring positioning by pressing the guide against the mother ceramic multilayer body as in the prior art, and the shape accuracy is high. It can be divided into individual pieces, and a multilayer ceramic capacitor can be manufactured efficiently.

[実施形態2]
上記実施形態1では、所定の形状を有する複数の内部電極(内部電極パターン)12、端面出し用マーク13、分割マーク14などが配設されたマザーセラミックグリーンシート11となる領域が、長手方向に一つずつ1列に並ぶように配設された長尺状セラミックグリーンシート10から、一つずつマザーセラミックグリーンシート11を切り出すようにした場合を例にとって説明したが、この実施形態2では、図12に示すように、実施形態1におけるマザーセラミックグリーンシート11に相当する4つの領域11Uと、周辺領域であるマージン部53とを含むユニットマザーグリーンシート51が長手方向に並んで形成された長尺状セラミックグリーンシート10から、一つずつユニットマザーグリーンシート51を切り出すように構成している。
[Embodiment 2]
In the first embodiment, a region to be the mother ceramic green sheet 11 in which a plurality of internal electrodes (internal electrode patterns) 12 having a predetermined shape, end-facing marks 13, division marks 14, and the like are arranged in the longitudinal direction. The case where the mother ceramic green sheets 11 are cut out one by one from the long ceramic green sheets 10 arranged in a row one by one has been described as an example. As shown in FIG. 12, a unit mother green sheet 51 including four regions 11U corresponding to the mother ceramic green sheet 11 in the first embodiment and a margin portion 53 that is a peripheral region is formed in a long line. Unit mother green sheets 51 are cut out one by one from the green ceramic green sheet 10 Forms.

すなわち、この実施形態2では、実施形態1におけるマザーセラミックグリーンシート11に相当する4つの領域11Uと、周辺領域であるマージン部53とを含むユニットマザーグリーンシート51を一つの単位とし、長尺状セラミックグリーンシート10から、複数枚のユニットマザーグリーンシート51を切り出し、積層するようにした。なお、図13においては、点線L2で囲った領域が、長尺状セラミックグリーンシート10から切り出されるユニットマザーグリーンシート51である。   That is, in the second embodiment, the unit mother green sheet 51 including the four regions 11U corresponding to the mother ceramic green sheet 11 in the first embodiment and the margin portion 53 that is the peripheral region is used as one unit, and is long. A plurality of unit mother green sheets 51 were cut out from the ceramic green sheet 10 and laminated. In FIG. 13, a region surrounded by a dotted line L <b> 2 is a unit mother green sheet 51 cut out from the long ceramic green sheet 10.

また、図12において、二点鎖線で示したカットラインL3で囲まれた領域52が、実施形態1におけるマザーセラミックグリーンシート11の4つ分に相当する領域である。   In FIG. 12, a region 52 surrounded by a cut line L3 indicated by a two-dot chain line is a region corresponding to four of the mother ceramic green sheets 11 in the first embodiment.

そして、この実施形態2では、実施形態1のマザーセラミックグリーンシート11に相当する各領域11Uのそれぞれに、実施形態1のマザーセラミックグリーンシート11と同じ態様で、内部電極12、端面出し用マーク13、分割マーク14が配設された態様となるように、長尺状セラミックグリーンシート10に、各内部電極12、端面出し用マーク13、および分割マーク14を形成した。なお、端面出し用マーク13は、カットラインL3上に設けられている。   In the second embodiment, each of the regions 11U corresponding to the mother ceramic green sheet 11 of the first embodiment has the same configuration as that of the mother ceramic green sheet 11 of the first embodiment. The internal electrodes 12, the end face marking marks 13, and the division marks 14 were formed on the long ceramic green sheet 10 so that the division marks 14 were arranged. The end surface marking mark 13 is provided on the cut line L3.

そして、長尺状マザーグリーンシート10をカットラインL2でカットしてなるユニットマザーグリーンシート51を所定の順序で積層するとともに、積層体の上下両面側に、積層セラミックコンデンサにおける外層部となる、内部電極パターンの形成されていないセラミックグリーンシートを積層して積層体ユニットを形成した。   The unit mother green sheets 51 formed by cutting the long mother green sheet 10 along the cut line L2 are stacked in a predetermined order, and the inner layers that are the outer layer portions of the multilayer ceramic capacitor are formed on the upper and lower surfaces of the stacked body. A laminate unit was formed by laminating ceramic green sheets on which no electrode pattern was formed.

それから、この積層体ユニットを、カットラインL4に沿ってカットすることにより、図3に分解斜視図を示すような、実施形態1におけるマザーセラミック積層体20と同じ構造を有するマザーセラミック積層体に分割する。   Then, the laminate unit is cut along the cut line L4 to be divided into mother ceramic laminates having the same structure as the mother ceramic laminate 20 in the first embodiment as shown in an exploded perspective view in FIG. To do.

その後は、上記実施形態1の場合と同様の方法で、個々のセラミック積層体への分割、焼成、外部電極の形成などの工程を経て、図11に示すような構造を有する積層セラミックコンデンサを製造することができる。   After that, the multilayer ceramic capacitor having the structure as shown in FIG. 11 is manufactured through steps such as division into individual ceramic laminates, firing, and formation of external electrodes in the same manner as in the first embodiment. can do.

この実施形態2の方法によれば、上述のように、一つの積層工程を実施することにより、複数個のマザーセラミック積層体を含む積層体ユニットが得られ、これを分割することにより、マザーセラミック積層体を効率よく作製することができるため、生産性を向上させることができる。   According to the method of the second embodiment, as described above, by performing one laminating step, a laminated unit including a plurality of mother ceramic laminated bodies is obtained, and by dividing this, a mother ceramic is obtained. Since a laminated body can be produced efficiently, productivity can be improved.

なお、上記実施形態1および2では、内部電極などを印刷するマザーセラミックグリーンシートとして、長尺状セラミックグリーンシートを用いた場合を例にとって説明したが、長尺状ではない、短冊状(カード上)のセラミックグリーンシートを用いることも可能である。   In the first and second embodiments described above, the case where a long ceramic green sheet is used as the mother ceramic green sheet for printing the internal electrodes and the like has been described as an example. It is also possible to use a ceramic green sheet.

また、上記実施形態では積層セラミックコンデンサを製造する場合を例にとって説明したが、本発明は、積層セラミックコンデンサに限らず、積層インダクタ、積層LC複合部品などの種々の積層セラミック電子部品を製造する場合に広く適用することが可能である。   In the above-described embodiment, the case where a multilayer ceramic capacitor is manufactured has been described as an example. However, the present invention is not limited to a multilayer ceramic capacitor, and various multilayer ceramic electronic components such as a multilayer inductor and a multilayer LC composite component are manufactured. It can be widely applied to.

本発明は、さらにその他の点においても上記実施形態に限定されるものではなく、製造する積層セラミック電子部品の寸法や具体的な形状、製造工程でマザーセラミック積層体をカットする場合のカット方法やそれに用いる装置の種類などに関し、発明の範囲内において、種々の応用、変形を加えることが可能である。   The present invention is not limited to the above-described embodiment in other points as well. The dimensions and specific shape of the multilayer ceramic electronic component to be manufactured, the cutting method for cutting the mother ceramic multilayer body in the manufacturing process, Various applications and modifications can be made within the scope of the invention with respect to the type of apparatus used therefor.

1 セラミック積層体(積層セラミックコンデンサ素子)
2(2a,2b) 静電容量形成用の内部電極
3(3a,3b) セラミック積層体の端面
5(5a,5b) 外部電極
6(6a,6b) ダミー内部電極
10 長尺状セラミックグリーンシート
11 マザーセラミックグリーンシート
11U マザーセラミックグリーンシートに相当する領域
12 内部電極(内部電極パターン)
13 端面出し用マーク
13a,13b 端面出し用マークを構成する線状マーク
14 分割マーク
20 マザーセラミック積層体
20a マザーセラミック積層体の側面
20b 切断端面
20c 切断端面
51 ユニットマザーグリーンシート
130a,130b 列状マーク(端面出し用マーク)
140a,140b 列状マーク(分割マーク)
1 Ceramic laminate (multilayer ceramic capacitor element)
2 (2a, 2b) Internal electrode 3 for forming capacitance 3 (3a, 3b) End face 5 (5a, 5b) of ceramic laminate External electrode 6 (6a, 6b) Dummy internal electrode 10 Elongated ceramic green sheet 11 Mother ceramic green sheet 11U Area corresponding to mother ceramic green sheet 12 Internal electrode (internal electrode pattern)
13 End mark 13a, 13b Linear mark constituting end face mark 14 Dividing mark 20 Mother ceramic laminate 20a Side surface of mother ceramic laminate 20b Cut end face 20c Cut end face 51 Unit mother green sheet 130a, 130b Column mark (End face marking)
140a, 140b row mark (dividing mark)

Claims (6)

積層された複数のセラミック層を備えてなるマザーセラミック積層体を所定の位置でカットして、個々の積層セラミック電子部品素子に分割する分割工程を経て製造される積層セラミック電子部品の製造方法であって、
(a)前記マザーセラミック積層体は、側面に露出した端面出し用マークと、前記端面出し用マークを基準に前記マザーセラミック積層体を切断することにより形成される切断端面に露出する分割マークとを備えており、
(b)前記分割工程は、前記端面出し用マークを基準に前記マザーセラミック積層体を切断して、前記マザーセラミック積層体の前記切断端面に前記分割マークを露出させる工程と、前記切断端面に露出した前記分割マークを撮像手段により撮像し、撮像した前記分割マークを基準に前記マザーセラミック積層体をカットする工程を経て複数の個片である積層セラミック電子部品素子に分割する工程とを備えていること
を特徴とする積層セラミック電子部品の製造方法。
A method for manufacturing a multilayer ceramic electronic component manufactured through a dividing step of cutting a mother ceramic multilayer body including a plurality of laminated ceramic layers at a predetermined position and dividing it into individual multilayer ceramic electronic component elements. And
(A) The mother ceramic laminate includes an end face exposure mark exposed on a side surface and a division mark exposed on a cut end face formed by cutting the mother ceramic laminate based on the end face exposure mark. Has
(B) The dividing step includes a step of cutting the mother ceramic laminate on the basis of the end face mark and exposing the division mark on the cut end surface of the mother ceramic laminate, and exposing the cut end surface. Imaging the division mark by an imaging means, and cutting the mother ceramic laminate on the basis of the imaged division mark and dividing the multilayer ceramic electronic component element into a plurality of pieces. A method for producing a multilayer ceramic electronic component, comprising:
外周縁にまで達する端面出し用マーク用の内部導体パターンを備えた複数のセラミックグリーンシートが積層されることにより、厚み方向に前記端面出し用マーク用の内部導体パターンが配列されてなる端面出し用マークが、前記マザーセラミック積層体の側面に形成されるように構成されていることを特徴とする請求項1記載の積層セラミック電子部品の製造方法。   A plurality of ceramic green sheets each having an inner conductor pattern for an end face exposure mark that reaches the outer peripheral edge are stacked, whereby the inner conductor pattern for the end face exposure mark is arranged in the thickness direction. 2. The method for manufacturing a multilayer ceramic electronic component according to claim 1, wherein the mark is formed on a side surface of the mother ceramic multilayer body. 前記マザーセラミック積層体を形成する工程が、
長尺状のセラミックグリーンシートを矩形状に打ち抜く打ち抜き工程と、
打ち抜かれた前記矩形状のセラミックグリーンシートを積層する積層工程と
を有し、
前記打ち抜き工程では、端面出し用マーク用の内部導体パターンが切断されるように前記長尺状のセラミックグリーンシートを打ち抜くことにより、外周縁にまで達する前記端面出し用マーク用の内部導体パターンが形成されたセラミックグリーンシートを得ること
を特徴とする請求項2記載の積層セラミック電子部品の製造方法。
Forming the mother ceramic laminate,
A punching process of punching a long ceramic green sheet into a rectangular shape;
A laminating step of laminating the punched rectangular ceramic green sheets,
In the punching step, the long conductor green sheet is punched so as to cut the internal conductor pattern for the end surface marking mark, thereby forming the internal conductor pattern for the end surface marking mark reaching the outer peripheral edge. A method for producing a multilayer ceramic electronic component according to claim 2, wherein a ceramic green sheet is obtained.
前記マザーセラミック積層体の互いに対向する両側面に、前記端面出し用マークが露出するように構成されていることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載のセラミック電子部品の製造方法。   The method for manufacturing a ceramic electronic component according to any one of claims 1 to 3, wherein the end surface projecting marks are exposed on opposite side surfaces of the mother ceramic laminate. 1つの前記端面出し用マークが、前記マザーセラミック積層体の前記側面に露出した、前記マザーセラミック積層体の主面に沿う方向に所定の間隔をおいて配設された一対の端面出し用マークから形成されており、前記一対の端面出し用マークの間の位置を切断位置と認識することができるように構成されていることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の積層セラミック電子部品の製造方法。   One end surface marking mark is exposed from the side surface of the mother ceramic multilayer body, and is formed from a pair of end surface marking marks arranged at a predetermined interval in a direction along the main surface of the mother ceramic multilayer body. 5. The multilayer ceramic electronic device according to claim 1, wherein the multilayer ceramic electronic device is formed so that a position between the pair of end surface projection marks can be recognized as a cutting position. A manufacturing method for parts. 前記一対の端面出し用マークのうちの一方は、セラミック層を介して積層された複数層の内部電極パターンの露出部から形成され、積層方向に伸びるマークであり、他方は、セラミック層を介して積層された複数層の内部電極パターンの露出部から形成され、前記一方の端面出し用マークと平行に積層方向に伸びるマークであることを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載の積層セラミック電子部品の製造方法。   One of the pair of end face projection marks is a mark formed from an exposed portion of a plurality of layers of internal electrode patterns stacked via a ceramic layer and extending in the stacking direction, and the other is positioned via a ceramic layer. 6. The laminate according to claim 1, wherein the laminate is a mark formed from an exposed portion of a plurality of laminated internal electrode patterns and extending in the lamination direction in parallel with the one end face projection mark. Manufacturing method of ceramic electronic components.
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