JP2015194468A - 検査システム - Google Patents
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Abstract
Description
まず、本発明がなされるに至った背景について説明する。図1は、従来の2軸MEMSミラー製品の検査環境を示す図である。図1(a)に示すように、2軸MEMSミラー製品(以下、単にMEMSと記す)は、例えばLCRメータ1を用いて、PZT特性が計測されていた。
次に、第1実施形態にかかる検査システム10について説明する。図2は、第1実施形態にかかる検査システム10の構成の概要を示す図である。図2に示すように、検査システム10は、入力部12、CPUボード14、制御プログラム16、レーザダイオード(LD)制御部20、レーザ照射部22、LCRメータ24、波形発生部26、第1ステージ30、第1モータ制御部32、第2ステージ(検査ステージ)34及び第2モータ制御部36を有する。また、検査システム10は、センサとして第1フォトディテクタ(PD)40、第2フォトディテクタ(PD)42、ウォブルセンサ44及びPSD(Position Sensitive Detector)46を有し、これらのセンサを制御するセンサ制御部48が設けられている。また、検査システム10は、電源のオンオフを切替える電源ボタン、及び動作の開始指示を受入れるスタートボタンなども設けられる。
次に、第2実施形態にかかる検査システム10aについて説明する。図5は、第2実施形態にかかる検査システム10aの構成の概要を示す図である。図5に示すように、検査システム10aは、入力部12、CPUボード14、制御プログラム16、レーザダイオード(LD)制御部20、レーザ照射部22、LCRメータ24、波形発生部26、第1ステージ30、第1モータ制御部32、第2ステージ(検査ステージ)34、第2モータ制御部36、第3ステージ37及び第3モータ制御部38を有する。
12 入力部
14 CPUボード
16 制御プログラム
20 LD制御部
22 レーザ照射部
24 LCRメータ
26 波形発生部
30 第1ステージ
32 第1モータ制御部
34 第2ステージ
36 第2モータ制御部
37 第3ステージ
38 第3モータ制御部
40 第1PD
42 第2PD
44 ウォブルセンサ
46 PSD
48 センサ制御部
49 PM
Claims (5)
- 被検査対象となる2軸MEMSミラーを着脱自在に設置可能にされた検査ステージと、
前記検査ステージに設置された被検査対象に対してレーザ光を照射する照射部と、
前記被検査対象が反射させたレーザ光を受光して信号を出力するセンサと、
前記検査ステージに設置された被検査対象と前記センサとの距離を変更するともに、前記検査ステージに設置された被検査対象の方向を前記2軸の向きに応じて変更するように、前記検査ステージを移動させる駆動部と、
を有することを特徴とする検査システム。 - 前記センサは、
予め定められた間隔で離されて設置された2つの受光素子、及びウォブルセンサの少なくともいずれかであること
を特徴とする請求項1に記載の検査システム。 - レーザ光のスポットの光量の重心の位置を検出可能にされた光位置センサと、
前記検査ステージに設置された被検査対象が反射させたレーザ光に向けて、前記光位置センサを移動させる光位置センサ駆動部と、
をさらに有することを特徴とする請求項1又は2に記載の検査システム。 - 前記検査ステージに設置された被検査対象のPZT特性を計測するLCRメータと、
予め定められた任意の波形の信号を発生させ、前記検査ステージに設置された被検査対象に対して出力する波形発生部と、
をさらに有することを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の検査システム。 - 前記センサは、
前記照射部が照射したレーザ光のパワーと、被検査対象が反射させたレーザ光のパワーとを測定するパワーメータをさらに含むこと
を特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の検査システム。
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2014
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