KR101490457B1 - 검사 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명의 검사 장치는 검사체의 표면에 대해 서로 다른 초점 거리를 갖는 복수의 광(光)을 투사하는 투사부 및 상기 검사체에서 반사된 광으로 상기 검사체의 표면을 검사하는 검사부를 포함하고, 상기 투사부에는 상기 광을 투사하는 복수의 렌즈가 마련되며, 상기 각 렌즈의 곡률은 서로 다르고, 상기 곡률의 차이로 상기 초점 거리가 달라짐으로써, 검사체 표면의 굴곡을 고속으로 신뢰성 있게 측정할 수 있다.

Description

검사 장치{APPARATUS FOR INSPECTING}
본 발명의 검사체 표면의 굴곡을 검사하는 장치에 관한 것이다.
반도체 웨어퍼, 전자 기판, 강판 등과 같이 표면의 굴곡, 휨이 제품의 특성에 영향을 미칠 경우 해당 제품의 굴곡 또는 휨을 측정할 필요가 있다.
예를 들어 레이저 거리 측정 센서를 이용하면 레이저를 검사체에 투사하고 검사체로부터 반사된 레이저를 입력받음으로써 측정기와 검사체 간의 거리를 측정하고, 측정된 거리가 일정하면 제품이 평탄한 것으로 판별할 수 있다.
그러나 레이저 거리 측정 센서의 경우 설치비가 비싸고, 넓은 범위에 적용시키기 위해 레이저 거리 측정 센서를 움직이는 제어가 필요하다. 또한, 적은 개수의 레이저 거리 측정 센서를 이용해 검사를 수행하므로 검사 시간이 긴 문제가 있다.
한국등록특허공보 제0564323호에는 레이저 거리 측정 센서를 이용하여 검사체에 발생된 휨을 측정하는 기술이 개시되고 있다. 그러나, 레이저 거리 측정 센서가 갖는 한계를 그대로 갖고 있다.
한국등록특허공보 제0564323호
본 발명은 검사체 표면의 굴곡을 신뢰성 있게 측정하고, 또한 고속으로 측정할 수 있는 검사 장치를 제공하기 위한 것이다.
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제들은 이상에서 언급한 기술적 과제들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
본 발명의 검사 장치는 검사체의 표면에 대해 서로 다른 초점 거리를 갖는 복수의 광(光)을 투사하는 투사부 및 상기 검사체에서 반사된 광으로 상기 검사체의 표면을 검사하는 검사부를 포함하고, 상기 투사부에는 상기 광을 투사하는 복수의 렌즈가 마련되며, 상기 각 렌즈의 곡률은 서로 다르고, 상기 곡률의 차이로 상기 초점 거리가 달라질 수 있다.
여기서, 상기 검사체가 xy 평면에서 x축 방향으로 이동할 때, 상기 각 렌즈는 xy 평면 상에 배열되고, 상기 각 렌즈의 곡률은 상기 각 렌즈의 배열에서 x축 방향을 따라 서로 다르고, 상기 곡률의 차이로 상기 초점 거리가 달라질 수 있다.
또한, 상기 검사부는 상기 투사부에서 투사된 광의 초점과 상기 검사체의 표면이 일치할 경우 상기 초점의 초점 거리를 상기 검사체와의 거리로 파악하고, 파악된 거리로 상기 검사체 표면의 굴곡을 판단할 수 있다.
또한, 상기 투사부는 광을 생성하는 광원, 상기 광원의 광을 입력받고 상기 광의 초점을 생성하는 상기 렌즈가 복수로 형성된 제1 영역의 MLA(Micro Lens Array)를 포함하고, 상기 MLA에서 출력되는 광을 평면상 상기 제1 영역보다 큰 제2 영역으로 확장시키는 확장 렌즈부를 포함할 수 있다. 이때, 상기 확장 렌즈부는 텔레센트릭 렌즈(telecentric lens)를 포함할 수 있다.
본 발명의 검사 장치는 동일 파장의 광을 생성하는 광원부, 상기 광원으로부터 방사상으로 투사되는 광의 경로를 직선으로 변환시키는 제1 렌즈부 및 상기 제1 렌즈부로부터 출력되는 광의 초점을 형성하는 렌즈가 복수로 마련되고 제1 xy 평면에 배치된 검사체에 대해 상대적으로 x축 방향으로 이동되는 제2 렌즈부를 포함하고, 상기 제2 렌즈부의 상기 각 렌즈의 곡률은 서로 다르고, 상기 곡률의 차이로 상기 초점의 거리가 달라질 수 있다.
여기서, 상기 제2 렌즈부는 xyz 공간에서 상기 제1 xy 평면과 다른 z값을 갖는 제2 xy 평면에 배치되고, 상기 제1 렌즈부로부터 출력되는 광의 경로를 상기 제2 xy 평면에 직교하는 방향으로 변환시켜 상기 제2 렌즈부로 투사하는 경로 변환부를 포함할 수 있다. 이때, 상기 제2 렌즈부와 상기 검사체의 표면과의 거리를 파악하는 검사부를 포함하고, 상기 경로 변환부는 상기 반사광을 입력받아 상기 검사부로 투사할 수 있다.
또한, 상기 제2 렌즈부와 상기 검사체의 사이에 배치되고, 상기 제2 렌즈부에서 형성된 각 초점 간의 거리를 xy 평면 상에서 증가시키는 제3 렌즈부를 포함할 수 있다.
본 발명의 검사 장치는 제1 면으로 입사된 광이 제2 면으로 출력되는 렌즈부를 포함하고, 상기 제1 면 또는 상기 제2 면 중 적어도 하나에는 서로 다른 곡률을 갖는 렌즈가 복수로 형성될 수 있다.
본 발명의 검사 장치는 서로 다른 곡률을 갖는 복수의 렌즈를 이용해 서로 다른 초점 거리를 갖는 복수의 초점을 형성하고, 각 초점 거리를 이용해 검사체 표면의 굴곡을 고속으로 신뢰성 있게 측정할 수 있다.
도 1은 본 발명의 검사 장치를 나타낸 개략도이다.
도 2는 본 발명의 검사 장치를 구성하는 투사부를 나타낸 개략도이다.
도 3은 본 발명의 검사 장치를 구성하는 다른 투사부를 나타낸 개략도이다.
도 4는 본 발명의 다른 검사 장치를 나타낸 개략도이다.
도 5는 본 발명의 검사 장치에 의해 검사체에 투사되는 광의 영역을 나타낸 개략도이다.
이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명에 따른 실시예를 상세히 설명한다. 이 과정에서 도면에 도시된 구성요소의 크기나 형상 등은 설명의 명료성과 편의상 과장되게 도시될 수 있다. 또한, 본 발명의 구성 및 작용을 고려하여 특별히 정의된 용어들은 사용자, 운용자의 의도 또는 관례에 따라 달라질 수 있다. 이러한 용어들에 대한 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 한다.
도 1은 본 발명의 검사 장치를 나타낸 개략도이다.
도 1에 도시된 검사 장치는 투사부(100) 및 검사부(200)를 포함할 수 있다.
투사부(100)는 검사체(300)의 표면에 대해 서로 다른 초점 거리를 갖는 복수의 광(光)을 투사할 수 있다.
검사체(300)는 투사부(100)에서 출력되는 복수의 광이 투사되어지는 대상으로 반도체 웨이퍼, 전자 기판, 강판 등과 같이 표면의 굴곡이 특성에 영향을 미치는 물건일 수 있다. 검사체(300) 표면의 굴곡 또는 휨을 검사하기 위해 본 발명의 검사 장치는 광을 이용한다. 이때의 광은 다양한 파장을 갖는 광이거나 단일 파장을 갖는 광일 수 있다. 신뢰성 있는 초점을 형성하기 위해 단일 파장의 광을 사용하는 것이 유리할 수 있다.
투사부(100)는 단순하게 광을 검사체(300)의 표면에 투사하는 대신 렌즈(151)를 이용하여 검사체(300)를 향하는 방향으로 초점을 형성할 수 있다. 이때 초점은 복수로 형성되고 각 초점의 초점 거리가 서로 다를 수 있다. 서로 다른 초점 거리를 갖는 복수의 광을 투사하기 위해 투사부(100)는 렌즈(151)의 곡률을 이용할 수 있다.
초점은 렌즈(151)의 광학적 성질을 결정하는 점이다. 광축에 평행하게 입사한 빛은 곡률 반경의 1/2이 되는 지점을 통과하는데 이 지점이 초점이다. 초점 거리는 초점과 렌즈(151)의 주점 사이의 거리로 초점이 렌즈(151)로부터 먼 곳에 형성될수록 초점 거리는 증가한다. 곡률 반경이 커질수록 초점이 멀리 형성된다. 곡률은 곡률 반경과 역수 관계에 있으므로, 곡률이 커질수록 초점이 렌즈(151)에 가깝게 형성되고, 곡률이 작아질수록 초점이 렌즈(151)로부터 멀리 형성된다.
정리하면 곡률이 작아질수록 초점 거리가 증가하고, 곡률이 커질수록 초점 거리가 감소한다. 예를 들어 도 1과 같이 x축의 음의 방향으로 갈수록 초점 거리가 d1, d2, d3와 같이 증가하도록 구성하고자 할 경우 x축 방향으로 복수의 렌즈(151)를 배치하고 각 렌즈(151), 예를 들어 렌즈 l1, 렌즈 l2, 렌즈 l3의 곡률을 x축의 음의 방향으로 갈수록 작게 하면 된다.
검사체(300)가 xy 평면에서 x축 방향으로 이동할 때, 투사부(100)는 xy 평면 상에 배열된 복수의 렌즈(151)를 포함할 수 있다. 검사체(300)와 투사부(100)의 충돌을 회피하기 위해 xyz 공간에서 검사체(300)와 투사부(100)의 z축 좌표는 다를 수 있다. 이 경우 각 렌즈(151)의 곡률은 각 렌즈(151)의 배열에서 x축 방향을 따라 서로 다를 수 있으며, 이때의 각 렌즈(151)의 곡률의 차이로 초점 거리가 달라질 수 있다.
이러한 구성에 의하면 투사부(100)에서 투사되는 광은 예를 들어 도 1에서 도시된 바와 같이 x축 방향을 따라 한 방향으로 갈수록 z축으로 길어지는 초점 거리를 형성할 수 있다. 다시 말해 투사부(100)에서 형성된 복수의 초점은 z축 상으로 다른 좌표를 가질 수 있다.
이렇게 투사부(100)를 통해 복수의 초점이 형성된 환경에 검사체(300)를 노출시키면 검사체(300)의 표면 굴곡을 검사할 수 있다. 이러한 검사는 검사부(200)에 의해 수행될 수 있다.
검사부(200)는 검사체(300)에서 반사된 광으로 검사체(300)의 표면을 검사할 수 있다. 투사부(100)에서 투사된 광이 검사체(300)에서 반사되고, 반사된 광을 소정 위치에 투영시키면 특정 형상이 나타나게 된다. 이때의 특정 형상을 분석함으로써 투영된 광이 초점이 맞은 상태인지 여부를 확인할 수 있다. 만약 초점이 맞는 것으로 판명되면 해당 초점 거리를 투사부(100)와 검사체(300) 간의 거리로 결정할 수 있다. 투사부(100)는 z축 방향으로 다른 초점 거리를 갖는 복수의 초점을 형성하므로 이 중 어느 하나의 초점 f1은 검사체(300)의 표면에 맺히게 된다. 물론, 사전에 검사체(300)에서 예상되는 굴곡의 범위 내로 초점 길이를 설정할 필요가 있다. 정리하면 검사부(200)는 투사부(100)에서 투사된 광의 초점 f1과 검사체(300)의 표면이 일치할 경우 해당 초점의 초점 거리를 검사체(300)와의 거리로 파악할 수 있다. 또한 파악된 거리로 검사체(300) 표면의 굴곡을 판단할 수 있다. 예를 들어 검사부(200)에서 파악된 거리가 검사체(300) 전체에 대해 일정하다면 검사체(300) 표면에는 굴곡이 없는 것으로 볼 수 있으며 파악된 거리가 다르다면 검사체(300) 표면에 굴곡이 있는 것으로 볼 수 있다. 검사체(300)에서 거리가 다른 부위(좌표)를 파악함으로써 이상 위치를 파악할 수 있다.
따라서, 검사부(200)에 의한 검사가 신뢰성 있게 수행되기 위해서는 해당 초점이 맺힌 검사체(300)의 부위를 알 필요가 있다. 본 명세서에서 초점이 맺힌 검사체(300)의 부위는 별도의 수단을 통해 파악된 것으로 가정한다.
도 2는 본 발명의 검사 장치를 구성하는 투사부(100)를 나타낸 개략도이고, 도 3은 본 발명의 검사 장치를 구성하는 다른 투사부(100)를 나타낸 개략도이다.
투사부(100)는 광을 생성하는 광원(110), 광원(110)의 광을 입력받고 광의 초점을 생성하는 렌즈(151)가 복수로 형성된 제1 영역의 MLA(Micro Lens Array, 마이크로렌즈 어레이)(150)를 포함할 수 있다.
MLA(150)는 복수의 렌즈(151)가 형성된 부재로 입력측으로 광이 유입되면 출력측의 렌즈(151)를 통해 복수의 초점이 형성될 수 있다. MLA(150)에서 생성된 초점들이 형성하는 영역 또는 MLA(150)를 구성하는 렌즈(151)들의 영역을 제1 영역이라 할 때 제1 영역의 크기를 확장하기 위해 확장 렌즈(160)가 이용될 수 있다. 도 1에서 검사체(300)가 x축 방향으로 이동하는 경우 제1 영역에서 y축 방향의 길이(제1 영역의 폭)가 검사체(300)에서 y축 방향의 길이(검사체(300)의 폭) 이상이면, 투사부(100)는 y축 방향으로는 검사체(300)를 스캔하기 위해 움직이지 않아도 무방하다. 그러나 검사체(300)의 크기에 따라 제1 영역의 폭이 검사체(300)의 폭보다 작을 수 있다.
확장 렌즈(160)는 MLA(150)에서 출력되는 광을 평면상 MLA(150)의 제1 영역보다 큰 제2 영역으로 확장시킬 수 있다. 이때의 제2 영역의 폭은 검사체(300)의 폭 이상일 수 있다.
도 2에서 제1 영역의 폭 ⓐ가 검사체(300)의 폭 ⓑ보다 작다. 이러한 제1 영역의 폭 ⓐ로 검사체(300)를 검사하기 위해서는 검사체(300)와 투사부(100)가 상대적으로 x축으로 이동해야 할 뿐만 아니라, 서로 상대적으로 y축으로도 이동해야 한다. 그러나, 확장 렌즈(160)를 MLA(150)와 검사체(300)의 사이에 배치하면 제1 영역의 크기, 특히 폭 ⓐ를 검사체(300)의 폭 ⓑ 이상으로 확장시킬 수 있다. 도 2에서는 제2 영역의 폭과 검사체(300)의 폭이 동일한 경우가 개시된다.
확장 렌즈(160)는 다양한 렌즈로 구성될 수 있다. 예를 들어 확장 렌즈(160)는 텔레센트릭 렌즈(telecentric lens)를 포함할 수 있다. 텔레센트릭 렌즈로 확장 렌즈(160)를 구성하면 검사체(300)로부터 확장 렌즈(160)까지의 광축이 직선이 되며, 원근값을 무시하고 단차나 각도에 무관하게 대상을 검사할 수 있다.
텔레센트릭 렌즈는 제2 영역의 크기로 형성될 수 있으며, 이에 따라 확장 렌즈(160)는 MLA(150)와 텔레센트릭 렌즈의 사이에서 제1 영역의 크기로 출력되는 MLA(150)의 출력 광을 텔레센트릭 렌즈의 입력단에 맞게 확장시키는 보조 렌즈(170)를 포함할 수 있다.
도 2를 살펴보면 MLA에 형성된 렌즈(151)의 곡률이 모두 같게 표시되고 있는데 검사체와 MLA가 상대적으로 x축 방향을 따라 이동할 때 y축 방향으로는 렌즈(151)의 곡률이 같아도 무방하다. x축 방향으로만 렌즈(151)의 곡률이 다르면 된다.
정리하면, 동일한 x축 좌표를 갖는 (x, y) 위치에 배열된 렌즈(151)의 곡률은 서로 동일할 수 있다. 예를 들어 x축으로 x1 ~ x5 좌표를 갖고 y축으로 y1 ~ y17 좌표를 갖는 경우 (x1, y1) ~ (x1, y17) 좌표에 배열된 렌즈(151)의 곡률은 동일할 수 있다.
도 4는 본 발명의 다른 검사 장치를 나타낸 개략도이다.
도 4에 도시된 검사 장치는 광원(110), 제1 렌즈부(120), 제2 렌즈부를 포함할 수 있다.
광원(110)은 동일 파장의 광을 생성할 수 있다.
제1 렌즈부(120)는 광원(110)으로부터 방사상으로 투사되는 광의 경로를 직선으로 변환시킬 수 있다. 광원(110)에서 생성된 광은 빛의 성질에 따라 사방으로 확산되며 방사상 투사 각도를 가지게 된다. 제1 렌즈부(120)에 의하면 광원(110)에서 방사된 광이 직선 경로로 전파되도록 함으로써 경로 변환부(140) 또는 제2 렌즈부에서 광을 용이하게 이용하도록 한다.
제2 렌즈부는 제1 렌즈부로부터 출력되는 광의 초점을 형성하는 렌즈(151)가 복수로 마련될 수 있다. 예를 들어 제2 렌즈부는 앞에서 살펴본 MLA(150)를 포함할 수 있다. 제2 렌즈부는 제1 xy 평면에 배치된 검사체에 대해 상대적으로 x축 방향으로 이동될 수 있다. 제2 렌즈부를 구성하는 각 렌즈(151)의 곡률은 서로 다를 수 있으며, 이때의 곡률의 차이로 초점의 거리가 달라질 수 있다.
제2 렌즈부에서 출력되는 초점들이 형성하는 영역은 앞에서 살펴본 제1 영역이 되며, 이때의 제1 영역은 경로 변환부(140)에서 출력되는 광의 영역과 동일할 수 있다.
제2 렌즈부는 xyz 공간에서 제1 xy 평면과 다른 z값을 갖는 제2 xy 평면에 배치될 수 있다. 제1 렌즈부에서 출력되는 광이 제2 렌즈부가 배치된 제2 xy 평면에 직교하는 방향으로 입사되어야 하는데, 이에 알맞은 위치로 제1 렌즈부를 배치하기 곤란할 수 있다. 이에 대한 대책으로 검사 장치는 제1 렌즈부로부터 출력되는 광의 경로를 제2 xy 평면에 직교하는 방향으로 변환시켜 제2 렌즈부로 투사하는 경로 변환부를 포함할 수 있다.
제2 렌즈부와 검사체(300)의 사이에는 제3 렌즈부가 배치될 수 있다. 제3 렌즈부는 제2 렌즈부에서 형성된 각 초점 간의 거리를 xy 평면 상에서 증가시킬 수 있다. 제3 렌즈부는 앞에서 살펴본 확장 렌즈(160)를 포함할 수 있다.
도 5는 본 발명의 검사 장치에 의해 검사체(300)에 투사되는 광의 영역을 나타낸 개략도이다.
살펴보면, 제1 영역 ⓐ에 포함된 초점 간의 거리 d1x, d1y에 비해 제2 영역에 포함된 초점 간의 거리 d2x, d2y가 큰 것을 알 수 있다. 이에 의하면 제2 렌즈부에서 형성된 초점 f1과 이에 대응하여 제3 렌즈부에서 형성된 초점 f2의 좌표가 달라질 수 있다. 또한 제2 영역의 면적이 제1 영역의 면적에 비하여 커지게 된다. 이때의 제2 영역의 크기는 검사체(300)의 폭에 의해 결정될 수 있다. 제3 렌즈부에 의해 각 초점 간의 거리가 증가됨으로써 해상도가 저하될 수 있으나, 제2 렌즈부의 해상도를 증가, 다시 말해 보다 많은 초점을 형성시키면 되므로 별다른 문제는 없다. 물론, 이에 따라 적절하게 제2 렌즈부를 구성하는 렌즈(151)의 개수를 증가시켜야 할 것이다.
다시 도 4로 돌아가서, 본 발명의 검사 장치는 검사부(200)를 포함할 수 있다.
검사부(200)는 검사체(300)로부터 반사된 반사광을 입력받아 경로 변환부(140) 또는 제2 렌즈부와 검사체(300)의 표면과의 거리를 파악할 수 있다. 검사부(200)는 이렇게 파악된 거리로 검사체(300) 표면의 굴곡을 파악할 수 있다.
한편, 경로 변환부(140)는 검사체(300)로부터 반사된 반사광을 입력받아 검사부(200)로 투사할 수 있다. 이 경우 경로 변환부(140)는 제1 방향(예를 들어 광원측)으로부터 입력된 광을 제2 방향으로 출력하고, 제2 방향(예를 들어 검사체)으로부터 입력된 광을 제3 방향으로 출력하는 광학 수단일 수 있다.
경로 변환부(140)와 검사부(200)의 사이에는 경로 변환부(140)에서 출력된 광을 검사부(200)에 투영시키는 투영 렌즈(180)가 배치될 수 있다.
이상에서 설명된 검사 장치에 의하면 렌즈(151)의 곡률을 이용하여 z축 방향으로 서로 다른 좌표를 갖는 초점을 형성하고, z축 방향 상의 초점 범위 내로 검사체(300)를 이동시키며, 검사체(300)의 표면과 일치하는 초점의 초점 거리를 파악함으로써 검사체(300)의 굴곡을 검사할 수 있다.
정리하면, 본 발명의 검사 장치는 MLA(150) 등과 같이 제1 면으로 입사된 광이 제2 면으로 출력되는 렌즈부를 포함할 수 있다. 이때, 제1 면 또는 제2 면 중 적어도 하나에는 서로 다른 곡률을 갖는 렌즈(151)가 복수가 형성될 수 있다. 이에 따르면 서로 다른 초점 거리를 갖는 복수의 초점을 생성하고, 이 초점을 이용하여 검사체(300)의 굴곡, 휨 등을 검사할 수 있다.
이러한 구성에 의하면 저렴한 비용으로 검사체(300)를 고속으로 또한 신뢰성 있게 검사할 수 있다.
이상에서 본 발명에 따른 실시예들이 설명되었으나, 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 분야에서 통상적 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 범위의 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 다음의 특허청구범위에 의해서 정해져야 할 것이다.
100...투사부 110...광원
120...제1 렌즈부
140...경로 변환부 150...MLA
151...렌즈 160...확장 렌즈
170...보조 렌즈 180...투영 렌즈
200...검사부 300...검사체

Claims (6)

  1. 검사체의 표면에 대해 서로 다른 초점 거리를 갖는 복수의 광(光)을 투사하는 투사부; 및
    상기 검사체에서 반사된 광으로 상기 검사체의 표면을 검사하는 검사부;를 포함하고,
    상기 투사부에는 상기 광을 투사하는 복수의 렌즈가 마련되며,
    상기 각 렌즈의 곡률은 서로 다르고, 상기 곡률의 차이로 상기 초점 거리가 달라지는 검사 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 검사체가 xy 평면에서 x축 방향으로 이동할 때,
    상기 각 렌즈는 xy 평면 상에 배열되고,
    상기 각 렌즈의 곡률은 상기 각 렌즈의 배열에서 x축 방향을 따라 서로 다르고, 상기 곡률의 차이로 상기 초점 거리가 달라지는 검사 장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 투사부는 광을 생성하는 광원, 상기 광원의 광을 입력받고 상기 광의 초점을 생성하는 상기 렌즈가 복수로 형성된 제1 영역의 MLA(Micro Lens Array)를 포함하고,
    상기 MLA에서 출력되는 광을 평면상 상기 제1 영역보다 큰 제2 영역으로 확장시키는 확장 렌즈부;를 포함하는 검사 장치.
  4. 동일 파장의 광을 생성하는 광원부;
    상기 광원부로부터 방사상으로 투사되는 광의 경로를 직선으로 변환시키는 제1 렌즈부; 및
    상기 제1 렌즈부로부터 출력되는 광의 초점을 형성하는 렌즈가 복수로 마련되고, 검사체에 대해 상대적으로 이동하는 제2 렌즈부;를 포함하고,
    상기 제2 렌즈부의 상기 각 렌즈의 곡률은 서로 다르고, 상기 곡률의 차이로 상기 초점의 거리가 달라지는 검사 장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 제2 렌즈부와 상기 검사체의 사이에 배치되고, 상기 제2 렌즈부에서 형성된 각 초점 간의 거리를 증가시키는 제3 렌즈부;를 포함하는 검사 장치.
  6. 삭제
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