JP2015192147A - エピタキシャル構造体の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明のエピタキシャル構造体の製造方法は、基板を提供し、基板は成長表面を有する第一ステップと、基板の成長表面に、第一カーボンナノチューブフィルムを設置する第二ステップと、成長表面にマスク層を堆積し、第一カーボンナノチューブフィルムを被覆する第三ステップと、第一カーボンナノチューブフィルムを除去し、パターン化されたマスク層を取得する第四ステップと、基板の成長表面にエピタキシャル構造層を成長させる第五ステップと、を含む。
【選択図】図1
Description
図1を参照すると、本発明の実施形態1は、エピタキシャル構造体10の製造方法を提供する。エピタキシャル構造体10の製造方法は、基板120を提供し、基板120は成長表面122を有するステップ(S10)と、基板120の成長表面122に、第一カーボンナノチューブフィルム100を設置するステップ(S11)であって、第一カーボンナノチューブフィルム100は複数の第一間隙101を有し、成長表面122の一部を複数の第一間隙101から露出させるステップ(S11)と、成長表面122にマスク層110を堆積し、第一カーボンナノチューブフィルム100を被覆するステップ(S12)であって、該マスク層110の厚さは、第一カーボンナノチューブフィルム100の厚さより薄く、また、マスク層110は、第一カーボンナノチューブフィルム100の表面及び露出された成長表面122の表面に堆積するステップ(S12)と、第一カーボンナノチューブフィルム100を除去し、パターン化されたマスク層112を取得するステップ(S13)であって、パターン化されたマスク層112は、複数の開口114を有し、成長表面122の一部を複数の開口114から露出させるステップ(S13)と、基板120の成長表面122にエピタキシャル構造層130を成長させるステップ(S14)と、を含む。
図12を参照すると、本発明の実施形態2は、エピタキシャル構造体20の製造方法を提供する。エピタキシャル構造体20の製造方法は、基板120を提供し、基板120は、成長表面122を有するステップ(S20)と、基板120の成長表面122に、第一カーボンナノチューブフィルム100を設置するステップ(S21)であって、第一カーボンナノチューブフィルム100は、相互に平行して、且つ間隔をあけて設置された複数の第一カーボンナノチューブ104を含むステップ(S21)と、第一カーボンナノチューブフィルム100の表面に第二カーボンナノチューブフィルム103を設置するステップ(S22)であって、第二カーボンナノチューブフィルム103は、相互に平行して、且つ間隔をあけて設置された複数の第二カーボンナノチューブ105を含み、第二カーボンナノチューブ105の延伸方向は、第一カーボンナノチューブ104の延伸方向と角度を成し、且つ該角度は、0°より大きいステップ(S22)と、成長表面122にマスク層110を堆積して、第一カーボンナノチューブフィルム100及び前記第二カーボンナノチューブフィルム103を被覆するステップ(S23)であって、該マスク層110の厚さは、第一カーボンナノチューブフィルム100の厚さより厚く、且つ第一カーボンナノチューブフィルム100の厚さと第二カーボンナノチューブフィルム103との厚さの総和より小さいステップ(S23)と、第二カーボンナノチューブフィルム103を除去し、パターン化されたマスク層112を取得するステップ(S24)であって、パターン化されたマスク層112は複数の開口114を有し、成長表面122の一部を複数の開口114から露出させるステップ(S24)と、基板120の成長表面122にエピタキシャル構造層130を成長させるステップ(S25)と、を含む。
図15を参照すると、本発明の実施形態3は、エピタキシャル構造体30の製造方法を提供する。エピタキシャル構造体30の製造方法は、基板120を提供し、基板120は、成長表面122を有するステップ(S30)と、基板120の成長表面122に、第一カーボンナノチューブフィルム100を設置するステップ(S31)であって、第一カーボンナノチューブフィルム100は、相互に平行して、且つ間隔をあけて設置された複数の第一カーボンナノチューブ104を含むステップ(S31)と、第一カーボンナノチューブフィルム100の表面に第二カーボンナノチューブフィルム103を設置するステップ(S32)であって、第二カーボンナノチューブフィルム103は、相互に平行して、且つ間隔をあけて設置された複数の第二カーボンナノチューブ105を含み、第二カーボンナノチューブ105の延伸方向は、第一カーボンナノチューブ104の延伸方向と角度を成し、且つ該角度は、0°より大きいステップ(S32)と、成長表面122にマスク層110を堆積して、第一カーボンナノチューブフィルム100及び前記第二カーボンナノチューブフィルム103を被覆するステップ(S33)であって、該マスク層110の厚さは、第一カーボンナノチューブフィルム100の厚さより薄いステップ(S33)と、第一カーボンナノチューブフィルム100及び第二カーボンナノチューブフィルム103を除去して、パターン化されたマスク層112を取得するステップ(S34)であって、パターン化されたマスク層112は、複数の開口114を有し、成長表面122の一部を複数の開口114から露出させるステップ(S34)と、基板120の成長表面122にエピタキシャル構造層130を成長させるステップ(S35)と、を含む。
100 第一カーボンナノチューブフィルム
101 第一間隙
102 カーボンナノチューブワイヤ
103 第二カーボンナノチューブフィルム
104 第一カーボンナノチューブ
105 第二カーボンナノチューブ
106 第三カーボンナノチューブ
108 カーボンナノチューブセグメント
110 マスク層
112 パターン化されたマスク層
114 開口
120 基板
122 成長表面
130 エピタキシャル構造層
132 エピタキシャル結晶粒
134 エピタキシャル膜
200 弾性支持体
Claims (2)
- 基板を提供し、前記基板は成長表面を有する第一ステップと、
前記基板の前記成長表面に、第一カーボンナノチューブフィルムを設置する第二ステップであって、前記第一カーボンナノチューブフィルムは複数の第一間隙を有し、前記成長表面の一部を複数の前記第一間隙から露出させる第二ステップと、
前記成長表面にマスク層を堆積し、前記第一カーボンナノチューブフィルムを被覆する第三ステップであって、前記マスク層の厚さは、前記第一カーボンナノチューブフィルムの厚さより薄く、且つ前記マスク層は、前記第一カーボンナノチューブフィルムの表面及び露出された前記成長表面の表面に堆積する第三ステップと、
前記第一カーボンナノチューブフィルムを除去し、パターン化されたマスク層を取得する第四ステップであって、前記パターン化されたマスク層は複数の開口を有し、前記成長表面の一部を複数の前記開口から露出させる第四ステップと、
前記基板の前記成長表面にエピタキシャル構造層を成長する第五ステップと、
を含むことを特徴とするエピタキシャル構造体の製造方法。 - 基板を提供し、前記基板は成長表面を有する第一ステップと、
前記基板の前記成長表面に、第一カーボンナノチューブフィルムを設置する第二ステップであって、前記第一カーボンナノチューブフィルムは、相互に平行して、且つ間隔をあけて設置された複数の第一カーボンナノチューブを含む第二ステップと、
前記第一カーボンナノチューブフィルムの表面に第二カーボンナノチューブフィルムを設置する第三ステップであって、前記第二カーボンナノチューブフィルムは、相互に平行して、且つ間隔をあけて設置された複数の第二カーボンナノチューブを含み、前記第二カーボンナノチューブの延伸方向は、前記第一カーボンナノチューブの延伸方向と角度を成し、且つ該角度は、0°より大きい第三ステップと、
前記成長表面にマスク層を堆積して、前記第一カーボンナノチューブフィルム及び前記第二カーボンナノチューブフィルムを被覆する第四ステップであって、前記マスク層の厚さは、前記第一カーボンナノチューブフィルムの厚さと前記第二カーボンナノチューブフィルムの厚さとの総和より薄い第四ステップと、
少なくとも前記第二カーボンナノチューブフィルムを除去し、パターン化されたマスク層を取得する第四ステップであって、前記パターン化されたマスク層は複数の開口を有し、前記成長表面の一部を複数の前記開口から露出させる第四ステップと、
前記基板の前記成長表面にエピタキシャル構造層を成長させる第五ステップと、
を含むことを特徴とするエピタキシャル構造体の製造方法。
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