JP2015182022A - Exhaust gas processing device - Google Patents

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文男 安井
Fumio Yasui
文男 安井
喜代一 森河
Kiyoichi Morikawa
喜代一 森河
一 田村
Hajime Tamura
一 田村
千岳 唐木
Chitake Karaki
千岳 唐木
和彦 関口
Kazuhiko Sekiguchi
和彦 関口
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To extend the life of a filter, and to reduce a replacement cost.SOLUTION: An exhaust gas processing device 1 includes: a filter 41 provided on a gas channel 10, and performing the adsorption of organic matters and the decomposition of ozon gas; an ozon gas supplying portion 3 for supplying the ozone gas to the filter 41; and a gas switching portion for switching the introduction of exhaust gas including the organic matters and the introduction of outside air. The exhaust gas including the organic matters is introduced into the gas channel 10, and in the filter 41, the organic matters are adsorbed and the ozone gas supplied from the ozone gas supplying portion 3 is decomposed to generate active species. By using the active species, the decomposition of the adsorbed organic mattes is performed. On the other hand, the outside air is introduced into the gas channel 10, and by using the active species generated by the decomposition of the ozone gas supplied from the ozone gas supplying portion 3, the organic matters accumulated in the filter 41 is decomposed.

Description

本発明は、排ガスに含まれる有機物の分解処理を行う排ガス処理装置に関する。   The present invention relates to an exhaust gas treatment apparatus that decomposes organic substances contained in exhaust gas.

商業施設、化学薬品工場、医薬品工場、食品工場、畜産施設等から排出されるガス(以降、「排ガス」という。)には、悪臭の原因となる有機物が含まれていることがある。有機物を含んだ排ガスをそのまま外気に放出することは、周辺環境を考えると好ましくない。そこで、主にフィルタを用いた排ガス処理装置が利用されていた。施設の天井裏、外壁、地下等にガス流路となるダクトが設けられ、このダクトにフィルタを設置する。排ガスがフィルタを通過すると、排ガスに含まれる有機物がフィルタに吸着されるため、排ガスから有機物を除去して脱臭することができる。   Gases emitted from commercial facilities, chemical factories, pharmaceutical factories, food factories, livestock facilities, etc. (hereinafter referred to as “exhaust gas”) may contain organic substances that cause foul odors. It is not preferable to discharge the exhaust gas containing organic substances to the outside as it is in view of the surrounding environment. Therefore, an exhaust gas treatment apparatus mainly using a filter has been used. A duct that serves as a gas flow path is provided on the ceiling, outer wall, basement, etc. of the facility, and a filter is installed in this duct. When the exhaust gas passes through the filter, organic substances contained in the exhaust gas are adsorbed by the filter, so that the organic substances can be removed from the exhaust gas and deodorized.

フィルタは活性炭、ゼオライト等で構成されるが、このフィルタに有機物が蓄積されると、フィルタの吸着性能は次第に低下していく。やがてフィルタはそれ以上有機物を吸着することができない状態、すなわち破過状態となる。そのため、フィルタを定期的に新しいものに交換する作業が必要であった。   The filter is made of activated carbon, zeolite, or the like, but when organic matter is accumulated in the filter, the adsorption performance of the filter gradually decreases. Eventually, the filter is in a state where it cannot adsorb organic matter any more, that is, a breakthrough state. Therefore, it is necessary to periodically replace the filter with a new one.

そこで、フィルタの利用に代えて、オゾンガスを用いた排ガス処理装置も考案されている。これは、オゾンガスをガス流路に供給する装置である。オゾンガスがオゾン分解触媒に接触することによって分解し、その分解によって生じる酸素ラジカルやOHラジカル等の活性種により、排ガスに含まれる有機物が分解される。オゾンガスを用いた排ガス処理装置は、フィルタの交換コストが不要であるが、有機物を十分に分解するためには、高濃度のオゾンガスを供給する必要があった。しかしながら、オゾン分解触媒と反応しなかったオゾンガスが外気に放出されると、周辺環境に悪影響を及ぼす可能性がある。   Accordingly, an exhaust gas treatment apparatus using ozone gas has been devised instead of using a filter. This is an apparatus for supplying ozone gas to the gas flow path. Ozone gas decomposes when it comes into contact with the ozone decomposition catalyst, and organic species contained in the exhaust gas are decomposed by active species such as oxygen radicals and OH radicals generated by the decomposition. The exhaust gas treatment apparatus using ozone gas does not require the replacement cost of the filter, but it is necessary to supply high-concentration ozone gas in order to sufficiently decompose the organic matter. However, if ozone gas that has not reacted with the ozone decomposition catalyst is released to the outside air, it may adversely affect the surrounding environment.

そこで、フィルタとオゾンガスを併用した排ガス処理装置が提案されていた(例えば、特許文献1参照)。このタイプの排ガス処理装置は、有機物の吸着機能とオゾン分解機能を合わせ持つフィルタを用いる。このフィルタで排ガスの有機物を吸着し、さらに低濃度のオゾンガスで、吸着された有機物を徐々に分解する。すなわち、排ガスの脱臭を行いながらフィルタの吸着性能の回復も行うことで、フィルタの長寿命化及び交換コストの低減を図っていた。   Therefore, an exhaust gas treatment apparatus using both a filter and ozone gas has been proposed (see, for example, Patent Document 1). This type of exhaust gas treatment apparatus uses a filter having both an organic matter adsorption function and an ozone decomposition function. The filter adsorbs organic substances in the exhaust gas, and gradually decomposes the adsorbed organic substances with low-concentration ozone gas. That is, recovery of the adsorption performance of the filter while deodorizing the exhaust gas is performed, thereby extending the life of the filter and reducing the replacement cost.

特開2001−327585号公報JP 2001-327585 A

しかしながら、有機物が高濃度に含まれる排ガスが長時間排出されるような場合、フィルタへの有機物の蓄積量に対して、オゾンガスによる有機物の分解処理量が追い付かず、フィルタが交換予定より早く破過状態に至ることもある。そのような場合には、フィルタが交換されるまで有機物が含まれた排ガスが外気へ放出されてしまう状態が続き、排ガス処理装置の信頼性に影響を及ぼす可能性があった。   However, when exhaust gas containing a high concentration of organic matter is discharged for a long time, the amount of organic matter decomposed by ozone gas does not catch up with the amount of organic matter accumulated in the filter, and the filter breaks through earlier than planned for replacement. It can lead to a condition. In such a case, the exhaust gas containing organic matter continues to be released to the outside air until the filter is replaced, which may affect the reliability of the exhaust gas treatment device.

このような可能性に対して、フィルタを大型化して分解処理能力を高めることも考えられるが、大きな設置スペースが必要となる。また、フィルタを大きくすると、低濃度のオゾンガスではフィルタの奥まで到達せず、フィルタの吸着性能が十分に回復しない可能性もある。結局のところ、フィルタを頻繁に交換することでフィルタの破過を防ぐほかなく、交換コストを削減することは難しかった。   For such a possibility, it is conceivable to increase the size of the filter and increase the decomposition processing capacity, but a large installation space is required. Further, when the filter is enlarged, low concentration ozone gas does not reach the back of the filter, and the adsorption performance of the filter may not be sufficiently recovered. In the end, it was difficult to reduce the replacement cost, not only to prevent the breakthrough of the filter by frequently replacing the filter.

本発明は、上述した問題を鑑み、有機物が蓄積したフィルタに対して集中して分解処理を行うことにより、低濃度のオゾンガスを使用した場合でもフィルタを長持ちさせることができる、信頼性が高くかつ経済性に優れた排ガス処理装置を提供することを目的とする。   In view of the above-mentioned problems, the present invention is highly reliable and can maintain a long-lasting filter even when a low-concentration ozone gas is used by performing a concentration treatment on a filter in which organic substances are accumulated. It aims at providing the waste gas processing apparatus excellent in economical efficiency.

上記目的を達成するために、本発明に係る排ガス処理装置は、ガス流路に設けられ、有機物の吸着とオゾンガスの分解を行うフィルタと、前記フィルタにオゾンガスを供給するオゾンガス供給部と、前記ガス流路への、有機物を含む排ガスの導入と外気の導入とを切り換えるガス切換部と、を備え、前記排ガスをガス流路に導入して、前記フィルタにおいて当該排ガスに含まれる有機物を吸着すると共に、前記オゾンガス供給部から供給されたオゾンガスを分解して活性種を発生させ、当該活性種を用いて前記吸着された有機物の分解を行い、前記外気をガス流路に導入して、前記活性種を用いて前記フィルタに蓄積された有機物を分解する。   In order to achieve the above object, an exhaust gas treatment apparatus according to the present invention includes a filter that is provided in a gas flow path and that adsorbs organic matter and decomposes ozone gas, an ozone gas supply unit that supplies ozone gas to the filter, and the gas A gas switching unit that switches between introduction of exhaust gas containing organic substances and introduction of outside air into the flow path, introduces the exhaust gas into the gas flow path, and adsorbs organic substances contained in the exhaust gas in the filter Decomposing ozone gas supplied from the ozone gas supply unit to generate active species, decomposing the adsorbed organic matter using the active species, introducing the outside air into a gas flow path, Is used to decompose the organic matter accumulated in the filter.

本発明の一態様として、前記ガス切換部は、前記ガス流路が設けられた施設の稼働スケジュールに基づいて、前記排ガスの導入と前記外気の導入とを切り換えると良い。   As one aspect of the present invention, the gas switching unit may switch between introduction of the exhaust gas and introduction of the outside air based on an operation schedule of a facility provided with the gas flow path.

本発明の一態様として、前記ガス切換部は、フィルタを通過した排ガスに含まれる有機物の量を測定する有機物センサを備え、当該有機物センサによって測定された有機物の量が所定量に到達すると、前記排ガスの導入から前記外気の導入へ切り換えると良い。   As one aspect of the present invention, the gas switching unit includes an organic sensor that measures the amount of organic matter contained in the exhaust gas that has passed through the filter, and when the amount of organic matter measured by the organic sensor reaches a predetermined amount, It is preferable to switch from introduction of exhaust gas to introduction of the outside air.

本発明の一態様として、前記オゾンガス供給部が供給するオゾンガスの濃度は約15ppmであり、前記フィルタは、フィルタ塔内部に2段重ねて配置され、1枚が約20cmの厚みを有するものとすると良い。   As one aspect of the present invention, the concentration of ozone gas supplied by the ozone gas supply unit is about 15 ppm, and the filter is arranged in two stages inside the filter tower, and one sheet has a thickness of about 20 cm. good.

本発明の一態様として、前記フィルタは、シリカ−アルミナを主体とする鉱物に、微粉又は粒状状態の活性炭を混合して成型した吸着材を含むようにすると良い。   As one aspect of the present invention, the filter may include an adsorbent obtained by mixing finely divided or granular activated carbon with a mineral mainly composed of silica-alumina.

本発明の一態様として、前記フィルタは、活性炭にアルカリ金属類を担持させた吸着材を含むようにすると良い。   As one aspect of the present invention, the filter may include an adsorbent in which alkali metal is supported on activated carbon.

本発明の一態様として、前記オゾンガス供給部は、前記ガス流路に略平行に配置された直管型のUVランプを備えると良い。   As an aspect of the present invention, the ozone gas supply unit may include a straight tube type UV lamp disposed substantially parallel to the gas flow path.

本発明の一態様として、前記オゾンガス供給部は、酸素ガス又は空気を用いてオゾンガスを発生させるオゾンガス発生器を備えると良い。   As an aspect of the present invention, the ozone gas supply unit may include an ozone gas generator that generates ozone gas using oxygen gas or air.

本発明の一態様として、前記ガス流路に過酸化水素ガスを供給し、当該過酸化水素ガスの分解により生成した活性種を用いて、前記排ガスに含まれる有機物を分解する過酸化水素ガス供給部を更に備えると良い。   As one aspect of the present invention, hydrogen peroxide gas is supplied to the gas flow path by supplying hydrogen peroxide gas and decomposing organic substances contained in the exhaust gas using activated species generated by decomposition of the hydrogen peroxide gas. It is good to further provide a part.

本発明の一態様として、前記ガス流路は複数のガス流路であり、それぞれのガス流路に前記フィルタ及び前記オゾンガス供給部が設けられ、前記ガス切換部は、一のガス流路において前記排ガスの導入から前記外気の導入に切り換えると、その他のガス流路の少なくとも一つにおいて、前記排ガスの導入を開始すると良い。   As one aspect of the present invention, the gas flow path is a plurality of gas flow paths, each of the gas flow paths is provided with the filter and the ozone gas supply unit, and the gas switching unit is When switching from introduction of exhaust gas to introduction of the outside air, introduction of the exhaust gas is preferably started in at least one of the other gas flow paths.

本発明に係る排ガス処理装置によれば、所定時間ごとに、ガス流路に流れるガスを排ガスから外気に切り換えることによって、フィルタに蓄積された有機物を集中的に分解して、フィルタの吸着性能を定期的に回復させることができる。これによって、低濃度のオゾンガスを用いた場合でも、フィルタを長持ちさせ、交換コストを削減することができ、経済性に優れる。また、ガス流路に流れるガスを切り換えるだけで、フィルタ再生処理へ切り換えられるため、容易な制御が可能である。   According to the exhaust gas treatment apparatus of the present invention, the organic matter accumulated in the filter is intensively decomposed by switching the gas flowing in the gas flow path from the exhaust gas to the outside air at predetermined time intervals, thereby improving the adsorption performance of the filter. It can be recovered regularly. Thereby, even when low-concentration ozone gas is used, the filter can last longer, the replacement cost can be reduced, and the economy is excellent. Moreover, since the filter regeneration process can be switched by simply switching the gas flowing in the gas flow path, easy control is possible.

本発明の第1実施形態に係る排ガス処理装置の概略構成図である。1 is a schematic configuration diagram of an exhaust gas treatment apparatus according to a first embodiment of the present invention. オゾンガス供給部の構成例を示す図である。It is a figure which shows the structural example of an ozone gas supply part. オゾンガス供給部の別の構成例を示す図である。It is a figure which shows another structural example of an ozone gas supply part. フィルタの構成例を示す図である。It is a figure which shows the structural example of a filter. ガス切換部の構成例を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the structural example of a gas switching part. 本発明の実施例の実験結果を示すグラフである。It is a graph which shows the experimental result of the Example of this invention. 比較例の実験結果を示すグラフである。It is a graph which shows the experimental result of a comparative example. 本発明の第2実施形態に係る排ガス処理装置の概略構成図である。It is a schematic block diagram of the waste gas processing apparatus which concerns on 2nd Embodiment of this invention. 本発明の第2実施形態に係る排ガス処理装置のガス切換部の構成例を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the structural example of the gas switching part of the exhaust gas processing apparatus which concerns on 2nd Embodiment of this invention. 本発明の第3実施形態に係る排ガス処理装置の概略構成図である。It is a schematic block diagram of the waste gas processing apparatus which concerns on 3rd Embodiment of this invention.

[第1実施形態]
本発明の第1実施形態に係る排ガス処理装置を、図1を参照して説明する。
(構成)
本実施形態の排ガス処理装置1は、施設から排出されるガスに含まれる有機物を除去し、排ガスを脱臭する。施設によって、排ガスに含まれる有機物には様々なものがあるが、例えば化学薬品工場においては、製造工程で排出されるメントール系の有機物質、L-メントール、サリチル酸メチル、DL−カンファー等が排ガスに含まれる。また、接着工程がある工場においては、接着剤を例えばトルエン、キシレン等の有機溶剤に溶解させ使用している。その際、揮発した有機溶剤が排ガス中に含まれる。
[First Embodiment]
An exhaust gas treatment apparatus according to a first embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.
(Constitution)
The exhaust gas treatment apparatus 1 of the present embodiment removes organic substances contained in the gas discharged from the facility and deodorizes the exhaust gas. Depending on the facility, there are various organic substances contained in the exhaust gas. For example, in chemical factories, menthol-based organic substances, L-menthol, methyl salicylate, DL-camphor, etc. discharged in the manufacturing process are used as exhaust gas. included. In a factory having an adhesion process, an adhesive is dissolved in an organic solvent such as toluene or xylene and used. At that time, the volatilized organic solvent is contained in the exhaust gas.

排ガス処理装置1は、施設内部から外部へ通じるガス流路10に配置される。ガス流路10は、例えば施設の天井、外壁、地下等に配管されるダクトである。ここで、ガス流路10において、排ガスが導入される施設内部側を「上流側」とし、排ガスが排出される施設外部側を「下流側」とする。また、ガス流路10に配置された各構成の位置関係の説明において、ある構成が別の構成の上流側に位置する場合は「前段」とし、下流側に位置する場合は「後段」とする。   The exhaust gas treatment apparatus 1 is disposed in a gas flow path 10 that leads from the inside of the facility to the outside. The gas flow path 10 is a duct that is piped to, for example, the ceiling, outer wall, or underground of a facility. Here, in the gas flow path 10, the inside of the facility where the exhaust gas is introduced is referred to as “upstream side”, and the outside of the facility where the exhaust gas is discharged is referred to as “downstream side”. Further, in the description of the positional relationship between the respective components arranged in the gas flow path 10, when a certain configuration is located on the upstream side of another configuration, it is referred to as “front stage”, and when located on the downstream side, it is referred to as “rear stage”. .

図1に示すように、ガス流路10の上流側には、施設内部とガス流路10の連通を切り換えるダンパー11が設けられている。ダンパー11の開閉によって、施設内部の排ガスの、ガス流路10への導入及び遮断が切り換えられる。   As shown in FIG. 1, on the upstream side of the gas flow path 10, a damper 11 that switches communication between the inside of the facility and the gas flow path 10 is provided. The opening and closing of the damper 11 switches the introduction and blocking of the exhaust gas inside the facility into the gas flow path 10.

ガス流路10の上流側には、外気をガス流路10に導入するためのダンパー12も設けられている。ダンパー12の開閉によって、ガス流路10への外気の導入及び遮断が切り換えられる。ダンパー11,12の後段には、排気用ファン13が設けられており、ガス流路10に供給された排ガス又は外気を、ガス流路10の下流側へ流れさせる。ガス流路10の末端には、排気フード又は排気ガラリ14が設けられ、ガス流路10に供給された排ガス又は外気は、ここを通って外気へ排出される。   A damper 12 for introducing outside air into the gas flow path 10 is also provided on the upstream side of the gas flow path 10. Opening and closing of the outside air to the gas flow path 10 is switched by opening and closing the damper 12. An exhaust fan 13 is provided downstream of the dampers 11 and 12, and exhaust gas or outside air supplied to the gas passage 10 is caused to flow downstream of the gas passage 10. An exhaust hood or exhaust gallery 14 is provided at the end of the gas flow path 10, and exhaust gas or outside air supplied to the gas flow path 10 is exhausted to the outside air through this.

排ガス処理装置1は、ダンパー11,12と排気フード又は排気ガラリ14の間に配置されている。排ガス処理装置1は、ガス流路10の上流側から順に、過酸化水素供給部2と、オゾンガス供給部3と、フィルタ塔4とを備えている。   The exhaust gas treatment device 1 is disposed between the dampers 11 and 12 and the exhaust hood or exhaust gallery 14. The exhaust gas treatment apparatus 1 includes a hydrogen peroxide supply unit 2, an ozone gas supply unit 3, and a filter tower 4 in order from the upstream side of the gas flow path 10.

排ガス処理装置1はまた、各部を制御する制御部7を備えている。制御部7は、排ガス処理装置1の各部に接続されその動作を制御する。制御部7は、各部の制御に必要なプログラムを実行するPLC(Programmable Logic Controller)によって構成することができる。また、制御部7はマウス、キーボード及びタッチパネル等の入力部に接続され、ユーザーの入力によって適宜制御可能となっている。   The exhaust gas treatment apparatus 1 also includes a control unit 7 that controls each unit. The control unit 7 is connected to each unit of the exhaust gas treatment apparatus 1 and controls its operation. The control unit 7 can be configured by a PLC (Programmable Logic Controller) that executes a program necessary for controlling each unit. Moreover, the control part 7 is connected to input parts, such as a mouse | mouth, a keyboard, and a touchscreen, and can be suitably controlled by a user's input.

制御部7は、過酸化水素供給部2やオゾンガス供給部3の動作及び停止を切り換え、かつ過酸化水素ガスやオゾンガスの供給量を制御する。制御部7は更に、ダンパー11及び12に接続され、これらの開閉を制御する。以下、各部の構成について説明する。   The control unit 7 switches the operation and stop of the hydrogen peroxide supply unit 2 and the ozone gas supply unit 3, and controls the supply amount of the hydrogen peroxide gas and the ozone gas. The control unit 7 is further connected to the dampers 11 and 12 and controls the opening and closing thereof. Hereinafter, the configuration of each unit will be described.

過酸化水素供給部2は、過酸化水素水を収容した貯水槽21内部に、石英等の超音波振動子22が配置された構成となっている。超音波振動子22の超音波振動により、水槽の過酸化水素水が霧化し、Hガスが発生する。このHガスとオゾン共存下では、過酸化水素水は反応が起こり、以下の反応により、活性種が発生する。
+H → OH・+O+HO
過酸化水素供給部2の上部にはガス流路10との連通口が設けられており、発生した活性種はガス流路10に導入される。この活性種が、ガス流路10を流れる排ガスに接触すると、排ガスに含まれる有機物を分解する。
The hydrogen peroxide supply unit 2 has a configuration in which an ultrasonic vibrator 22 such as quartz is disposed inside a water storage tank 21 containing hydrogen peroxide water. Due to the ultrasonic vibration of the ultrasonic vibrator 22, the hydrogen peroxide solution in the water tank is atomized and H 2 O 2 gas is generated. Under the coexistence of H 2 O 2 gas and ozone, the hydrogen peroxide solution reacts, and active species are generated by the following reaction.
O 3 + H 2 O 2 → OH · + O 2 + HO 2 ·
A communication port with the gas channel 10 is provided in the upper part of the hydrogen peroxide supply unit 2, and the generated active species are introduced into the gas channel 10. When this active species comes into contact with the exhaust gas flowing through the gas flow path 10, organic substances contained in the exhaust gas are decomposed.

オゾンガス供給部3は、ガス流路10に一定量のオゾンガスを供給することができるものであれば、その構成は限定されない。本実施形態におけるオゾンガス供給部3の構成例を、図2及び図3に示す。図2は、オゾンガス供給部3として、UV照射室3aを図示している。図3は、オゾンガス供給部3として、オゾンガス発生器3bを図示している。   If the ozone gas supply part 3 can supply a fixed amount of ozone gas to the gas flow path 10, the structure will not be limited. The structural example of the ozone gas supply part 3 in this embodiment is shown in FIG.2 and FIG.3. FIG. 2 illustrates a UV irradiation chamber 3 a as the ozone gas supply unit 3. FIG. 3 illustrates an ozone gas generator 3 b as the ozone gas supply unit 3.

UV照射室3aガス流路10のダクト内に配置されている。このUV照射室3a内には、直管型のUV(紫外線)ランプ31が複数本配置されている。UVランプ31の照射する紫外線が酸素に吸収されることで、UV照射室3a内にオゾンガスが発生する。UVランプ31は、その長手軸方向がガス流路に対して略平行に、互いに所定の間隔を空けて配置されている。この配置によって、ガス流路10内に均一にオゾンガスが供給されるようになっている。   It arrange | positions in the duct of the UV irradiation chamber 3a gas flow path 10. FIG. A plurality of straight tube type UV (ultraviolet) lamps 31 are arranged in the UV irradiation chamber 3a. Ozone gas is generated in the UV irradiation chamber 3a by absorbing the ultraviolet rays irradiated by the UV lamp 31 into oxygen. The UV lamps 31 are arranged such that the longitudinal axis direction thereof is substantially parallel to the gas flow path and spaced from each other by a predetermined distance. With this arrangement, ozone gas is uniformly supplied into the gas flow path 10.

図3(a)及び(b)は、オゾンガス供給部3として、酸素ガスに高電圧を印加してオゾンを発生させるオゾンガス発生器3bを示している。オゾンガス発生器3bは、ダクトを介してガス流路10に連通し、発生したオゾンガスをガス流路10に供給する。   FIGS. 3A and 3B show an ozone gas generator 3 b that generates ozone by applying a high voltage to oxygen gas as the ozone gas supply unit 3. The ozone gas generator 3 b communicates with the gas flow path 10 through a duct and supplies the generated ozone gas to the gas flow path 10.

オゾンガス発生器3bは内部に放電セル(不図示)が配置されたチャンバ32を有し、放電セルは高周波高圧電源に電線を介して接続されている。オゾンガス発生器3bのチャンバ32には、酸素が流入する酸素流入口33、発生したオゾンガスが排出されるガス排出口34、冷媒としての冷却水が流入する冷媒流入口35、及び冷却水が排出する冷媒排出口36が設けられている。酸素流入口33は、図3(a)に示す酸素ボンベ37a、あるいは図3(b)に示す酸素発生器37bに接続されている。酸素発生器37bは、圧縮空気を用いて高濃度の酸素を発生させる。冷媒流入口35及び冷媒排出口36には、冷却水循環装置38が接続されている。   The ozone gas generator 3b has a chamber 32 in which a discharge cell (not shown) is disposed, and the discharge cell is connected to a high-frequency high-voltage power source via an electric wire. An oxygen inlet 33 through which oxygen flows, a gas outlet 34 through which the generated ozone gas is discharged, a refrigerant inlet 35 through which cooling water as a refrigerant flows, and cooling water are discharged into the chamber 32 of the ozone gas generator 3b. A refrigerant discharge port 36 is provided. The oxygen inlet 33 is connected to an oxygen cylinder 37a shown in FIG. 3 (a) or an oxygen generator 37b shown in FIG. 3 (b). The oxygen generator 37b generates high concentration oxygen using compressed air. A cooling water circulation device 38 is connected to the refrigerant inlet 35 and the refrigerant outlet 36.

酸素流入口33からチャンバ32内へ酸素を供給し、冷却水循環装置38から冷却水を供給しながら放電セルに高電圧を印加する。発生したオゾンガスは、ガス排出口34を通ってガス流路10に供給される。   Oxygen is supplied from the oxygen inlet 33 into the chamber 32, and a high voltage is applied to the discharge cell while supplying cooling water from the cooling water circulation device 38. The generated ozone gas is supplied to the gas flow path 10 through the gas discharge port 34.

図3(a)には、酸素供給源として酸素ボンベ37aを図示しているが、図3(b)に示すように、圧縮空気から酸素を発生させる酸素発生器37bを酸素供給源としても良い。   FIG. 3A shows an oxygen cylinder 37a as an oxygen supply source. However, as shown in FIG. 3B, an oxygen generator 37b that generates oxygen from compressed air may be used as the oxygen supply source. .

本実施形態では、オゾンガス供給部3が供給するオゾンガスの濃度は約15ppmになるように設定されている。外気に排出するオゾンガスの濃度に法的規制はないが、周辺環境を考えれば、濃度はあまり高くしすぎないことが望ましい。ここで「約15ppm」とは、±5ppmの範囲の値を含むことを意味する。   In the present embodiment, the concentration of ozone gas supplied by the ozone gas supply unit 3 is set to about 15 ppm. Although there is no legal restriction on the concentration of ozone gas discharged to the outside air, it is desirable that the concentration is not too high considering the surrounding environment. Here, “about 15 ppm” means including a value in the range of ± 5 ppm.

図1に示すように、フィルタ塔4の内部には、フィルタ41が2段、縦方向に積層されて配置されている。フィルタ塔4の下部にガス流入口42、上部にガス排出口43が設けられており、それぞれガス流路10に接続している。ガス流路10からフィルタ塔4に流入した排ガス又は外気は塔内部を下から上へ流れ、フィルタ41を通過して、ガス排出口43から排出される。オゾンガス供給部3によってガス流路10に供給されたオゾンガスも、ガス流入口42からフィルタ塔4内部に入って、フィルタ41に供給される。   As shown in FIG. 1, two stages of filters 41 are stacked in the vertical direction inside the filter tower 4. A gas inlet 42 is provided in the lower part of the filter tower 4, and a gas outlet 43 is provided in the upper part, and each is connected to the gas flow path 10. The exhaust gas or the outside air that has flowed into the filter tower 4 from the gas flow path 10 flows from the bottom to the top inside the tower, passes through the filter 41, and is discharged from the gas discharge port 43. The ozone gas supplied to the gas flow path 10 by the ozone gas supply unit 3 also enters the filter tower 4 from the gas inlet 42 and is supplied to the filter 41.

フィルタ41は、有機物の吸着機能とオゾンガスの分解機能とを兼ね備えるものが用いられる。図4に、フィルタ41の一例を示している。このフィルタ41は、袋詰めした吸着材41aを両面が網状のトレイ41bに入れた構成となっている。吸着材41aとして、例えば、シリカアルミナゲルに微粉状態の活性炭(二酸化珪素)を配合して粒状に成形したもの(商品名「セカード」)、または、ヤシ殻等を主体とする活性炭を担体としてアルカリ性物質(炭酸カリウム)および酸化性物質(ヨウ素酸カリウム)を担持したもの(商品名「PureLite A3H」)を用いることができる。セカードおよびPureLite A3Hは、有機物を吸着すると同時に、以下の化学式に示す通り、オゾンガスを分解する。
C+2O=CO+2O
As the filter 41, a filter having both an organic substance adsorption function and an ozone gas decomposition function is used. FIG. 4 shows an example of the filter 41. This filter 41 has a configuration in which a bag-filled adsorbent 41a is placed in a tray 41b having a meshed surface on both sides. As the adsorbent 41a, for example, silica-alumina gel blended with activated carbon (silicon dioxide) in a fine powder state and formed into a granular shape (trade name “Secard”), or activated carbon mainly composed of coconut shell or the like is used as a carrier. What carried | supported the substance (potassium carbonate) and the oxidizing substance (potassium iodate) (brand name "PureLite A3H") can be used. Secard and PureLite A3H adsorb organic substances and simultaneously decompose ozone gas as shown in the following chemical formula.
C + 2O 3 = CO 2 + 2O 2

オゾンガスを分解する際には、活性種が発生する。この活性種により、フィルタ41に吸着された有機物が分解される。もちろん、吸着材41aは上述したものに限られず、有機物を吸着する活性炭とオゾンガス分解触媒を組み合わせた種々のものを適宜用いることができる。   When decomposing ozone gas, active species are generated. The organic matter adsorbed on the filter 41 is decomposed by the active species. Of course, the adsorbent 41a is not limited to the above-described one, and various types of combinations of activated carbon that adsorbs organic matter and an ozone gas decomposition catalyst can be used as appropriate.

フィルタ41の1段の厚みは約20cmであり、2段で約40cmである。2段のフィルタ41の間には、隙間がなくても良いし、若干隙間が空くようになっていても良い。ここで、「約」とは、±1cmの範囲の値を含むことを意味する。フィルタ41の厚みを約20cmとすることで、約15ppmという低濃度のオゾンガスであっても、2段のフィルタ41に行き届き、かつ外部に流出せずにフィルタ41において分解される。   The thickness of the first stage of the filter 41 is about 20 cm, and the thickness of the second stage is about 40 cm. There may be no gap between the two stages of filters 41, or a slight gap may be formed. Here, “about” means including a value in a range of ± 1 cm. By setting the thickness of the filter 41 to about 20 cm, even ozone gas having a low concentration of about 15 ppm reaches the two-stage filter 41 and is decomposed in the filter 41 without flowing out to the outside.

なお、2段のフィルタ41の前段には、プレフィルタ44が配置されている。プレフィルタ44は、オゾン分解触媒を担持したガラス繊維により構成されている。オゾン分解触媒としては、マンガン、銅、ニッケル、亜鉛、鉄、チタン、コバルトから選ばれる少なくとも1種類以上の金属、これらの酸化物、その複合体からなる触媒を、イオン交換や含浸によりフィルタ基材に添着したものを用いることができる。例えば、二酸化マンガン、酸化ニッケルが用いられる。このプレフィルタ44においても、予備的にオゾンガスの分解が行われる。   A pre-filter 44 is disposed in front of the two-stage filter 41. The prefilter 44 is made of glass fiber carrying an ozonolysis catalyst. As an ozonolysis catalyst, at least one metal selected from manganese, copper, nickel, zinc, iron, titanium, and cobalt, a catalyst made of these oxides, and a composite thereof is used as a filter base material by ion exchange or impregnation. Those attached to can be used. For example, manganese dioxide and nickel oxide are used. Also in the pre-filter 44, ozone gas is preliminarily decomposed.

2段のフィルタ41の後段にも、プレフィルタ44同じ構成のポストフィルタ45を設置する。これは、オゾン分解触媒が劣化し、オゾン分解効率が悪化した場合、大気へオゾンガスが放出されることを防止するためである。   A post filter 45 having the same configuration as that of the pre-filter 44 is also installed after the two-stage filter 41. This is to prevent ozone gas from being released to the atmosphere when the ozone decomposition catalyst deteriorates and the ozone decomposition efficiency deteriorates.

排ガス処理装置1はさらに、図5に示すように、時刻を計測するタイマー9と、施設の稼働スケジュールに関する情報を記憶する記憶部8を備えている。施設の稼働スケジュールとは、時間ごと及び日ごとの、施設が稼動又は稼働停止を示す情報である。例えば、平日は24時間ラインが稼働している工場の場合は、平日の各時間は稼働を示す情報が記憶され、休日の各時間は稼働停止を示す情報が記憶されている。   As shown in FIG. 5, the exhaust gas treatment apparatus 1 further includes a timer 9 that measures time and a storage unit 8 that stores information related to the operation schedule of the facility. The facility operation schedule is information indicating whether the facility is operating or stopped every hour and every day. For example, in the case of a factory where a 24-hour line operates on weekdays, information indicating operation is stored for each time on weekdays, and information indicating operation stop is stored for each time on holidays.

制御部7はタイマー9と記憶部8に接続される。制御部7、タイマー9及び記憶部8は、ガス流路10に流れるガスを切り換えるガス切換部を構成する。すなわち、制御部7はタイマー9での計測時刻と、記憶部8の施設の稼動スケジュールに関する情報を参照して、ダンパー11,12の開閉制御を行う。   The control unit 7 is connected to the timer 9 and the storage unit 8. The control unit 7, the timer 9, and the storage unit 8 constitute a gas switching unit that switches the gas flowing through the gas flow path 10. That is, the control unit 7 performs opening / closing control of the dampers 11 and 12 with reference to the time measured by the timer 9 and information on the operation schedule of the facility in the storage unit 8.

具体的には、制御部7は、施設が稼働している間は、ダンパー11は「開」、ダンパー12は「閉」にして、ガス流路10に排ガスが供給されるようにする。これによって、排ガス処理装置1は、施設稼働時には、排ガスに含まれる有機物をフィルタ41で吸着して排ガスを脱臭し、同時に吸着された有機物を、オゾンガスを用いて分解する処理を行う(以降、単に「排ガス脱臭処理」ともいう)。一方、施設が稼働を停止すると、制御部7はダンパー11を「閉」、ダンパー12は「開」に切り換えて、ガス流路10に外気が供給されるようにする。これによって、排ガス処理装置1は、施設が稼働していない時は、フィルタ41に蓄積した有機物を、オゾンガスを用いて集中的に分解し、フィルタ41を回復させる処理を行う(以降、単に「フィルタ回復処理」ともいう。)。   Specifically, while the facility is in operation, the control unit 7 sets the damper 11 to “open” and the damper 12 to “close” so that the exhaust gas is supplied to the gas flow path 10. As a result, when the facility is in operation, the exhaust gas treatment apparatus 1 adsorbs the organic substances contained in the exhaust gas with the filter 41 to deodorize the exhaust gas, and simultaneously performs a process of decomposing the adsorbed organic substances using ozone gas (hereinafter simply referred to as “exhaust gas”). Also called “exhaust gas deodorization treatment”). On the other hand, when the facility stops operating, the control unit 7 switches the damper 11 to “closed” and the damper 12 to “open” so that the outside air is supplied to the gas flow path 10. Thereby, when the facility is not in operation, the exhaust gas treatment apparatus 1 performs a process of intensively decomposing the organic matter accumulated in the filter 41 using ozone gas and recovering the filter 41 (hereinafter simply referred to as “filter”). Also referred to as “recovery process”.)

(作用)
本実施形態の排ガス処理装置1の作用を、施設稼働時の排ガス脱臭処理と、稼働停止時のフィルタ回復処理とに分けて説明する。
(Function)
The operation of the exhaust gas treatment apparatus 1 of the present embodiment will be described separately for exhaust gas deodorization processing during facility operation and filter recovery processing during operation stop.

(施設稼働時)
制御部7は、タイマー9と記憶部8の稼働情報を参照し、施設の稼働が開始する時刻に、ダンパー11を「開」とし、ダンパー12を「閉」とする。
(At the time of facility operation)
The control unit 7 refers to the operation information of the timer 9 and the storage unit 8 and sets the damper 11 to “open” and the damper 12 to “close” at the time when the facility operation starts.

施設の稼働により発生した有機物を含んだ排ガスが、ダンパー11からガス流路10に流入する。排ガスは、ガス流路10において、まず過酸化水素供給部2で生成された過酸化水素ガスの活性種に接触する。これによって、排ガスに含まれる有機物の一部が分解される。   Exhaust gas containing organic matter generated by the operation of the facility flows from the damper 11 into the gas flow path 10. In the gas flow path 10, the exhaust gas first comes into contact with activated species of hydrogen peroxide gas generated by the hydrogen peroxide supply unit 2. As a result, a part of the organic matter contained in the exhaust gas is decomposed.

次に、排ガスは、オゾンガス供給部3を通過してフィルタ塔4に入る。一方、オゾンガス供給部3で生成されるオゾンガスも、排ガスと共存しながら、フィルタ塔4に入る。オゾンガスの一部は、フィルタ41の前段に配置されたプレフィルタ44において、オゾン分解触媒に接触することで分解されて活性種となる。この活性種が排ガスに接触することで、排ガスに含まれる有機物の一部がさらに分解される。   Next, the exhaust gas passes through the ozone gas supply unit 3 and enters the filter tower 4. On the other hand, the ozone gas generated by the ozone gas supply unit 3 also enters the filter tower 4 while coexisting with the exhaust gas. A part of the ozone gas is decomposed into active species by contacting the ozone decomposition catalyst in the pre-filter 44 disposed in front of the filter 41. When this active species comes into contact with the exhaust gas, a part of the organic matter contained in the exhaust gas is further decomposed.

プレフィルタ44を通過した排ガスは、次に2段のフィルタ41を通過する。ここで、排ガスに残っていた有機物がフィルタ41に吸着され、取り除かれる。有機物が取り除かれ、脱臭された排ガスは、ポストフィルタ45を通過してフィルタ塔4から排出され、さらにガス流路10を下って、排気フード又は排気ガラリ14を通って施設外部に排出される。   The exhaust gas that has passed through the pre-filter 44 then passes through the two-stage filter 41. Here, the organic matter remaining in the exhaust gas is adsorbed by the filter 41 and removed. The exhaust gas from which the organic matter has been removed and deodorized passes through the post filter 45 and is discharged from the filter tower 4, and further down the gas flow path 10 and through the exhaust hood or exhaust gallery 14 to the outside of the facility.

プレフィルタ44を通過したオゾンガスもフィルタ41に入る。ここで、オゾンガスは活性炭に担持されているオゾン分解触媒に接触して分解される。オゾンガスの分解の際に活性種が発生し、この活性種が活性炭に吸着された有機物の一部を分解する。   The ozone gas that has passed through the prefilter 44 also enters the filter 41. Here, ozone gas is decomposed in contact with an ozone decomposition catalyst supported on activated carbon. Active species are generated during the decomposition of ozone gas, and the active species decompose a part of the organic matter adsorbed on the activated carbon.

このように、施設稼働時においては、排ガス脱臭処理が行われる。フィルタ41に吸着した有機物は、オゾンガスによって分解されるが、有機物の量がオゾンガスによる分解量を超える場合は、フィルタ41に吸着する有機物が少しずつ蓄積していき、フィルタ41の有機物除去能力は時間経過と共に下がっていく。   In this way, exhaust gas deodorization processing is performed during facility operation. The organic matter adsorbed on the filter 41 is decomposed by ozone gas, but when the amount of organic matter exceeds the amount decomposed by ozone gas, the organic matter adsorbed on the filter 41 gradually accumulates, and the organic matter removing ability of the filter 41 is time. It goes down over time.

(施設稼働停止時)
制御部7は、タイマー9と記憶部8の稼働情報を参照し、施設の稼働が停止する時刻に、ダンパー11を「閉」とし、ダンパー12を「開」とする。併せて、過酸化水素供給部2の動作を停止させる。
(When the facility is stopped)
The control unit 7 refers to the operation information of the timer 9 and the storage unit 8 and sets the damper 11 to “closed” and the damper 12 to “open” at the time when the facility operation stops. At the same time, the operation of the hydrogen peroxide supply unit 2 is stopped.

有機物を含んだ排ガスの代わりに、外気がダンパー12からガス流路10に導入される。外気は、オゾンガス供給部3、フィルタ塔4を通過して施設外部に排出される。外気に含まれる有機物は微量であるため、フィルタ塔4のフィルタ41には有機物は殆ど吸着されない。   Outside air is introduced into the gas flow path 10 from the damper 12 in place of the exhaust gas containing organic matter. Outside air passes through the ozone gas supply unit 3 and the filter tower 4 and is discharged outside the facility. Since the organic matter contained in the outside air is very small, the organic matter is hardly adsorbed on the filter 41 of the filter tower 4.

一方、オゾンガス供給部3において発生したオゾンガスは、外気と共存しながらフィルタ塔4に入り、プレフィルタ44又はフィルタ41において分解される。オゾンガスの分解時に発生した活性種は、施設稼働時にフィルタ41に蓄積した有機物を分解する。   On the other hand, ozone gas generated in the ozone gas supply unit 3 enters the filter tower 4 while coexisting with the outside air, and is decomposed by the prefilter 44 or the filter 41. The active species generated when the ozone gas is decomposed decomposes organic substances accumulated in the filter 41 when the facility is operating.

このように、施設の稼動停止時には、定期的に、フィルタ41に蓄積した有機物を集中的に分解するフィルタ回復処理が行われる。これによって、有機物の蓄積によって低下していたフィルタ41の吸着性能が回復される。   As described above, when the facility is shut down, the filter recovery process for intensively decomposing organic substances accumulated in the filter 41 is performed periodically. As a result, the adsorption performance of the filter 41 that has been reduced due to the accumulation of organic matter is recovered.

(実施例)
本実施形態の排ガス処理装置1の実施例について説明する。以下の実施条件で、排ガス処理を行った。
・期間:平日に1日8時間操業する工場を想定し、1週間に渡って排ガス処理装置1の稼働実験を行った。
・稼働時間:月曜日から金曜日の昼間…排ガス+オゾンガスを8時間通気
月曜日から金曜日の夜間…外気+オゾンガスを16時間通気
土曜日、日曜日…外気+オゾンガスを24時間通気
・フィルタの段数:1段
・オゾンガス濃度:約15ppm
・排ガスに含まれる有機物及びその濃度:メントールを主成分とする有機化合物(TVOC),平均80,000μg/m
(Example)
An example of the exhaust gas treatment apparatus 1 of the present embodiment will be described. Exhaust gas treatment was performed under the following conditions.
・ Period: Assuming a factory that operates for 8 hours a day on weekdays, the exhaust gas treatment device 1 was run over a week.
・ Operating hours: Monday to Friday, daytime: Exhaust gas + ozone gas for 8 hours
Monday to Friday night… Air and ozone gas for 16 hours
Saturday, Sunday ... Air + ozone gas for 24 hours ・ Number of filter stages: 1 stage ・ Ozone gas concentration: about 15 ppm
・ Organic substances contained in exhaust gas and their concentrations: organic compounds mainly composed of menthol (TVOC), average 80,000 μg / m 3

(比較例)
次に、本実施形態の排ガス処理装置1の比較例として、以下の実施条件で、排ガス処理を行った。
・期間:平日に1日8時間操業する工場を想定し、1週間に渡って排ガス処理装置1の稼働実験を行った。
・稼働時間:月曜日から金曜日の昼間…排ガスのみを8時間通気
月曜日から金曜日の夜間および土曜日、日曜日…排ガス処理装置1を停止する。
・フィルタの段数:1段
・排ガスに含まれる有機物及びその濃度:メントールを主成分とする有機化合物(TVOC),平均80,000μg/m
(Comparative example)
Next, as a comparative example of the exhaust gas treatment apparatus 1 of the present embodiment, exhaust gas treatment was performed under the following implementation conditions.
・ Period: Assuming a factory that operates for 8 hours a day on weekdays, the exhaust gas treatment device 1 was run over a week.
・ Operating hours: Monday to Friday daytime ... only exhaust gas is ventilated for 8 hours
Monday to Friday night and Saturday, Sunday ... The exhaust gas treatment device 1 is stopped.
-Number of filter stages: 1 stage-Organic substances contained in exhaust gas and their concentrations: Organic compounds mainly composed of menthol (TVOC), average 80,000 μg / m 3

上記実施例の実験結果を図6の表に、上記比較例の実験結果を図7の表にそれぞれ示している。実験結果からわかるように、実施例は比較例に対して、より長い期間高いVOC除去率を保っている。これは、実施例において、工場が停止する夜間及び土日に排ガスから外気へ切り替えを行い、フィルタに蓄積された有機物を集中して分解したことによって、フィルタの吸着性能が回復しているためである。   The experimental results of the above example are shown in the table of FIG. 6, and the experimental results of the comparative example are shown in the table of FIG. As can be seen from the experimental results, the example maintains a higher VOC removal rate for a longer period than the comparative example. This is because the adsorption performance of the filter is restored by switching from exhaust gas to outside air at night and on Saturdays and Sundays when the factory is shut down, and by concentrating and decomposing organic substances accumulated in the filter. .

(効果)
(1)排ガス処理装置1は、ガス流路10に設けられ、有機物の吸着とオゾンガスの分解を行うフィルタ41と、フィルタ41にオゾンガスを供給するオゾンガス供給部3と、ガス流路10への、有機物を含む排ガスの導入と外気の導入とを切り換えるガス切換部と、を備える。有機物を含む排ガスをガス流路10に導入することにより、フィルタ41において、有機物を吸着すると共に、前記オゾンガス供給部3から供給されたオゾンガスを分解して活性種を発生させ、その活性種を用いて、吸着された有機物の分解を行う。一方、外気をガス流路10に導入することにより、フィルタ41に蓄積された有機物を集中して分解する。
(effect)
(1) The exhaust gas treatment apparatus 1 is provided in the gas flow path 10, and performs a filter 41 that adsorbs organic substances and decomposes ozone gas, an ozone gas supply unit 3 that supplies ozone gas to the filter 41, and a gas flow path 10. A gas switching unit that switches between introduction of exhaust gas containing organic substances and introduction of outside air. By introducing exhaust gas containing organic matter into the gas flow path 10, the filter 41 adsorbs organic matter and decomposes ozone gas supplied from the ozone gas supply unit 3 to generate active species, and uses the active species. Then, the adsorbed organic matter is decomposed. On the other hand, by introducing outside air into the gas flow path 10, organic substances accumulated in the filter 41 are concentrated and decomposed.

ガス流路10に流れるガスを、排ガスから外気に切り換えることによって、フィルタ41に蓄積された有機物を集中的に分解して、フィルタ41の吸着性能を回復させることができる。これによって、低濃度のオゾンガスを用いた場合でも、フィルタ41を長持ちさせ、交換コストを削減することができ、経済性に優れる。また、ガス流路10に流れるガスを切り換えるだけで、フィルタ41を再生させることができるため、容易な制御が可能である。   By switching the gas flowing through the gas flow path 10 from the exhaust gas to the outside air, the organic matter accumulated in the filter 41 can be intensively decomposed and the adsorption performance of the filter 41 can be recovered. Thereby, even when low-concentration ozone gas is used, the filter 41 can be made to last longer, the replacement cost can be reduced, and the economy is excellent. In addition, since the filter 41 can be regenerated simply by switching the gas flowing through the gas flow path 10, easy control is possible.

(2)排ガスから外気に切り換えるタイミングは、ガス流路10が設けられた施設の稼働スケジュールに応じて定めることによって、効率的にフィルタ41を再生させることができる。例えば、化学薬品工場等において、工場のラインが停止する休日においては、有機物を含んだ排ガスが排出されない。したがって、この休日の時間を利用して効率的にフィルタ41の回復処理を行うことで、フィルタ41の吸着性能を定期的に回復させることができる。 (2) The filter 41 can be efficiently regenerated by determining the timing for switching from exhaust gas to outside air according to the operation schedule of the facility where the gas flow path 10 is provided. For example, in a chemical factory or the like, exhaust gas containing organic substances is not discharged on a holiday when the factory line stops. Therefore, the adsorption performance of the filter 41 can be periodically recovered by efficiently performing the recovery process of the filter 41 using this holiday time.

(3)オゾンガスの濃度は約15ppmとし、フィルタ41は、フィルタ塔4内部に2段重ねて配置され、1枚が約20cmの厚みを有するものとした。周辺環境を考慮してオゾンガスの濃度は低めにすると、フィルタ41の奥までオゾンガスが行き届かず、分解処理が十分に行われない可能性もあるが、1枚のフィルタ41を20cmとし、これを2段に重ねることで、オゾンガスがフィルタ41の奥まで届かないことや、反対に、分解されないオゾンガスが外部に流出することを防ぐことができる。 (3) The concentration of ozone gas was about 15 ppm, and the filter 41 was arranged in two stages inside the filter tower 4 and one sheet had a thickness of about 20 cm. If the concentration of ozone gas is low considering the surrounding environment, the ozone gas may not reach the depths of the filter 41 and the decomposition process may not be performed sufficiently. However, one filter 41 is set to 20 cm. By overlapping two stages, it is possible to prevent the ozone gas from reaching the depth of the filter 41 and, conversely, the ozone gas that is not decomposed from flowing out to the outside.

(4)オゾンガス供給部3は、排ガスの流れる方向に略平行に配置された直管型のUVランプ31を備える。排ガスの流れる方向に略平行に配置されることにより、発生したオゾンガスが排ガスに接触しやすくなる。これによって、オゾンガスがフィルタ41に入って活性種が発生したときに、活性種が排ガスに含まれる有機物に接触しやすくなり、有機物を効率的に分解することができる。 (4) The ozone gas supply unit 3 includes a straight tube type UV lamp 31 disposed substantially parallel to the direction in which the exhaust gas flows. By being arranged substantially parallel to the direction in which the exhaust gas flows, the generated ozone gas can easily come into contact with the exhaust gas. As a result, when ozone gas enters the filter 41 and active species are generated, the active species can easily come into contact with organic matter contained in the exhaust gas, and the organic matter can be efficiently decomposed.

(5)オゾンガス供給部3は、酸素ガスを用いてオゾンガスを発生させるオゾンガス発生器3bを備える。排ガスに含まれる有機物の濃度によって、オゾンガスの濃度を調整することが望ましい場合もある。オゾンガス発生器3bは酸素供給量の調整により、オゾンガスの濃度を容易に調整可能である。 (5) The ozone gas supply unit 3 includes an ozone gas generator 3b that generates ozone gas using oxygen gas. It may be desirable to adjust the concentration of ozone gas depending on the concentration of organic matter contained in the exhaust gas. The ozone gas generator 3b can easily adjust the concentration of ozone gas by adjusting the oxygen supply amount.

(6)排ガス処理装置1は、ガス流路10に過酸化水素ガスを供給する過酸化水素供給部2を更に備える。過酸化水素ガスは自己分解することにより活性種を生成する。この活性種がガス流路10に流れる排ガスに含まれる有機物に接触して、有機物を分解する。オゾンガスに加えて、過酸化水素ガスも供給することで、有機物分解の処理効率を向上させることができる。 (6) The exhaust gas treatment apparatus 1 further includes a hydrogen peroxide supply unit 2 that supplies hydrogen peroxide gas to the gas flow path 10. Hydrogen peroxide gas self-decomposes to generate active species. This active species comes into contact with the organic matter contained in the exhaust gas flowing through the gas flow path 10 and decomposes the organic matter. By supplying hydrogen peroxide gas in addition to ozone gas, the processing efficiency of organic matter decomposition can be improved.

[第2実施形態]
本発明の第2実施形態に係る排ガス処理装置1を、図8及び図9を参照して説明する。
なお、この第2実施形態では、前述の第1実施形態とは異なる点のみを説明し、前述の第1実施形態と同じ部分については同じ符号を付して詳細な説明は省略する。
[Second Embodiment]
An exhaust gas treatment apparatus 1 according to a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 8 and 9.
In the second embodiment, only points different from the first embodiment will be described, and the same parts as those in the first embodiment will be denoted by the same reference numerals and detailed description thereof will be omitted.

(構成及び作用)
本実施形態では、排ガス処理装置1は、ガス切換部として、VOC計5を更に備えている。図8に示すように、VOC計5はフィルタ塔4の下流側であって、ガス排出口43の近傍に配置されている。このVOC計5は、施設稼働時に、フィルタ41を通過した排ガスに含まれる有機物の量を測定する。測定結果は、記憶部8に一時的に記憶される。第1の実施形態では、タイマー9での計測時間に基づき、排ガス脱臭処理とフィルタ回復処理の切り換えを定期的に行っていた。本実施形態では、これに加えて、VOC計5による有機物の測定値に基づいて、フィルタ41が破過状態になったときに、排ガス脱臭処理からフィルタ回復処理への切り換えを行う。
(Configuration and action)
In the present embodiment, the exhaust gas treatment apparatus 1 further includes a VOC meter 5 as a gas switching unit. As shown in FIG. 8, the VOC meter 5 is arranged in the vicinity of the gas outlet 43 on the downstream side of the filter tower 4. The VOC meter 5 measures the amount of organic matter contained in the exhaust gas that has passed through the filter 41 during facility operation. The measurement result is temporarily stored in the storage unit 8. In the first embodiment, switching between the exhaust gas deodorization process and the filter recovery process is periodically performed based on the time measured by the timer 9. In the present embodiment, in addition to this, when the filter 41 is in a breakthrough state, switching from the exhaust gas deodorization process to the filter recovery process is performed based on the measured value of the organic matter by the VOC meter 5.

そのために、記憶部8は、施設の稼働情報に加えて、VOC計5によって測定される測定量の最大値が基準値Aとして記憶されている。   For this purpose, the storage unit 8 stores the maximum value of the measured amount measured by the VOC meter 5 as the reference value A in addition to the facility operation information.

フィルタ41に吸着する有機物の量が増加するとフィルタ41の吸着性能は次第に低下していく。フィルタ41の吸着性能の低下に従って、フィルタ41を通過した排ガスに含まれる有機物の濃度は上昇し、これによってVOC計5によって測定される有機物の量も上昇していく。フィルタ41に吸着される有機物が飽和量に達すると、フィルタ41はそれ以上の吸着を行えなくなり、破過状態となる。一方、VOC計5での測定値は最大となり、以降、排ガスに含まれる有機物の濃度が変わらない限り、その最大値が保たれる。   As the amount of organic matter adsorbed on the filter 41 increases, the adsorption performance of the filter 41 gradually decreases. As the adsorption performance of the filter 41 decreases, the concentration of organic substances contained in the exhaust gas that has passed through the filter 41 increases, and thereby the amount of organic substances measured by the VOC meter 5 also increases. When the organic matter adsorbed by the filter 41 reaches a saturation amount, the filter 41 cannot perform further adsorption and enters a breakthrough state. On the other hand, the measured value with the VOC meter 5 becomes the maximum, and the maximum value is maintained thereafter unless the concentration of the organic matter contained in the exhaust gas is changed.

したがって、基準値Aは、フィルタ41が破過状態であることを示すものである。制御部7は、排ガス脱臭処理中に、測定値と基準値Aとを比較し、測定値が基準値Aに至った場合は、ダンパー11,12の開閉を制御して、フィルタ41の回復処理に切り換える。これによって、フィルタ41に有機物が蓄積して破過状態になってしまった場合には、施設稼働中でもフィルタ41の回復処理に切り換えることができる。   Therefore, the reference value A indicates that the filter 41 is in a breakthrough state. The control unit 7 compares the measured value with the reference value A during the exhaust gas deodorization process. When the measured value reaches the reference value A, the control unit 7 controls the opening and closing of the dampers 11 and 12 to restore the filter 41. Switch to. As a result, when the organic matter accumulates in the filter 41 and becomes a breakthrough state, it is possible to switch to the recovery process of the filter 41 even while the facility is in operation.

なお、フィルタ41の回復が完了すれば再び排ガス脱臭処理に切り換えることが望ましい。フィルタ41の回復に要する時間を予め設定しておき、その時間経過後に、排ガス脱臭処理に切り換えるようにしても良い。あるいは、記憶部8にフィルタ41が回復したことを示す別の基準値Bを記憶させておき、VOC計5での計測値が基準値Bまで下がったところで、排ガス脱臭処理に切り換えても良い。   It should be noted that when the recovery of the filter 41 is completed, it is desirable to switch to the exhaust gas deodorization process again. The time required for the recovery of the filter 41 may be set in advance, and after that time, the exhaust gas deodorization process may be switched. Alternatively, another reference value B indicating that the filter 41 has been recovered may be stored in the storage unit 8, and when the measured value with the VOC meter 5 has decreased to the reference value B, switching to the exhaust gas deodorizing process may be performed.

基準値Bは、VOC計5による測定値のゼロ近傍の値とすると良い。外気がガス流路10を流れている場合でも、フィルタ41に有機物が蓄積されている間は、フィルタ41を通過した外気に若干の有機物が含まれる状態となる。そのため、VOC計5では、ある程度の有機物の量が測定されることとなる。そのため、測定値のゼロ近傍の値が、フィルタ41に蓄積された有機物が分解され、フィルタ41の吸着性能の回復が完了したことを示す値となる。   The reference value B is preferably a value near zero of the measured value by the VOC meter 5. Even when outside air flows through the gas flow path 10, while the organic matter is accumulated in the filter 41, the outside air that has passed through the filter 41 is in a state in which some organic matter is contained. Therefore, the VOC meter 5 measures a certain amount of organic matter. Therefore, the value near zero of the measured value is a value indicating that the organic matter accumulated in the filter 41 is decomposed and the recovery of the adsorption performance of the filter 41 is completed.

また、フィルタ41の吸着性能は、完全に回復させなくても、施設の残りの稼働時間に必要な分だけ回復させれば足りる。そこで、残りの稼働時間に基づいて回復処理を行う時間を算出し、その時間を経過した時点で、再び排ガス脱臭処理に切り換えても良い。この場合、施設の稼働停止時の定期的なフィルタ回復処理によって、フィルタ41の吸着性能を十分に回復させることができる。   Further, the adsorption performance of the filter 41 need only be restored by the amount necessary for the remaining operation time of the facility, even if it is not completely restored. Therefore, the time for performing the recovery process may be calculated based on the remaining operation time, and when the time has elapsed, the process may be switched to the exhaust gas deodorization process again. In this case, the adsorption performance of the filter 41 can be sufficiently recovered by periodic filter recovery processing when the facility is stopped.

(効果)
本実施形態では、ガス切換部が、フィルタ41を通過した排ガスに含まれる有機物の量を測定する有機物センサとして、VOC計5を備える。VOC計5によって測定された有機物の量が基準値Aに到達すると、制御部7は、排ガスの導入から前記外気の導入へ切り換える。
(effect)
In the present embodiment, the gas switching unit includes the VOC meter 5 as an organic matter sensor that measures the amount of organic matter contained in the exhaust gas that has passed through the filter 41. When the amount of organic matter measured by the VOC meter 5 reaches the reference value A, the control unit 7 switches from introduction of exhaust gas to introduction of the outside air.

稼働停止時間を利用してフィルタ41の回復を行うことに加えて、稼働時間中であっても、フィルタ41が破過状態になってしまったときは回復処理に切り換えることによって、フィルタ41の状態に応じた柔軟性の高い排ガス脱臭処理装置を提供することができる。   In addition to performing the recovery of the filter 41 by using the operation stop time, the state of the filter 41 can be changed by switching to the recovery process when the filter 41 is in a breakthrough state even during the operation time. It is possible to provide a highly flexible exhaust gas deodorizing apparatus according to the above.

[第3実施形態]
本発明の第3実施形態に係る排ガス脱臭処理装置を、図10を参照して説明する。
なお、この第3実施形態では、前述の第1実施形態とは異なる点のみを説明し、前述の第1実施形態と同じ部分については同じ符号を付して詳細な説明は省略する。
[Third Embodiment]
An exhaust gas deodorizing apparatus according to a third embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.
In the third embodiment, only points different from the first embodiment will be described, and the same parts as those in the first embodiment will be denoted by the same reference numerals and detailed description thereof will be omitted.

(構成)
本発明の第3実施形態に係る排ガス処理装置1は、複数のガス流路のそれぞれに過酸化水素供給部2及びオゾンガス供給部3を接続し、さらに各ガス流路にフィルタ塔401,402を設けた構成となっている。
(Constitution)
The exhaust gas treatment apparatus 1 according to the third embodiment of the present invention connects a hydrogen peroxide supply unit 2 and an ozone gas supply unit 3 to each of a plurality of gas flow paths, and further includes filter towers 401 and 402 in each gas flow path. It has a configuration provided.

複数のガス流路は、基幹のダクトから分岐する分岐ダクトとして設けることができる。図10では、2つのガス流路100,200に設けられた構成を図示している。それぞれのガス流路100,200と基幹ダクトの間にダンパー111,211が設けられ、ダンパー111,211の開閉によって排ガスが流入するガス流路が切り換えられるようになっている。また、各ガス流路100,200に、外気を導入するためのダンパー112,212が設けられている。ガス流路100には、上流側から順に過酸化水素供給部2、オゾンガス供給部3、フィルタ塔401及びVOC計501が設けられている。ガス流路200にも同様に、上流側から順に過酸化水素供給部2、オゾンガス供給部3、フィルタ塔402、及びVOC計502が設けられている。   The plurality of gas flow paths can be provided as branch ducts branched from the main duct. In FIG. 10, the structure provided in the two gas flow paths 100 and 200 is illustrated. Dampers 111 and 211 are provided between the respective gas flow paths 100 and 200 and the main duct, and the gas flow paths into which the exhaust gas flows are switched by opening and closing the dampers 111 and 211. In addition, dampers 112 and 212 for introducing outside air are provided in the gas flow paths 100 and 200, respectively. In the gas flow path 100, a hydrogen peroxide supply unit 2, an ozone gas supply unit 3, a filter tower 401, and a VOC meter 501 are provided in this order from the upstream side. Similarly, in the gas flow path 200, a hydrogen peroxide supply unit 2, an ozone gas supply unit 3, a filter tower 402, and a VOC meter 502 are provided in this order from the upstream side.

過酸化水素供給部2及びオゾンガス供給部3は、図10に示すように、ガス流路100及び200で共有されている。各ガス流路100,200と、パイプによって接続され、パイプに設けられたバルブの開閉によって、各ガス流路100,200に対する過酸化水素ガス及びオゾンガスの供給及び停止が切り換えられる。
なお、過酸化水素供給部2又はオゾンガス供給部3は、ガス流路100,200で共有とせず、各ガス流路100,200に別個に設けても良い。
As shown in FIG. 10, the hydrogen peroxide supply unit 2 and the ozone gas supply unit 3 are shared by the gas flow paths 100 and 200. Supplying and stopping of the hydrogen peroxide gas and the ozone gas to the gas flow paths 100 and 200 are switched by opening and closing valves provided on the pipes, which are connected to the gas flow paths 100 and 200 by pipes.
Note that the hydrogen peroxide supply unit 2 or the ozone gas supply unit 3 may not be shared by the gas flow paths 100 and 200 but may be provided separately in the gas flow paths 100 and 200.

図10では図示していないが、第1実施形態と同様に、排ガス処理装置1は制御部7を備える。この制御部7は、ダンパー111,211,112,212、過酸化水素供給部2及びオゾンガス供給部3の各バルブ及びVOC計501,502に接続され、各部の制御を行う。   Although not shown in FIG. 10, the exhaust gas treatment apparatus 1 includes a control unit 7 as in the first embodiment. The control unit 7 is connected to the dampers 111, 211, 112, 212, the valves of the hydrogen peroxide supply unit 2 and the ozone gas supply unit 3, and the VOC meters 501, 502, and controls each unit.

(作用)
第3実施形態の排ガス処理装置1では、一つのガス流路100において排ガス脱臭処理を行い、フィルタ401が破過状態になったときは、ガス流路100をフィルタ回復処理に切り換え、代わりにもう一つのガス流路200において、排ガス脱臭処理を開始する。切り換えのタイミングとしては、第2の実施形態と同様に、記憶部8に記憶された基準値Aを利用することができる。
(Function)
In the exhaust gas treatment apparatus 1 of the third embodiment, when the exhaust gas deodorization process is performed in one gas flow path 100 and the filter 401 is in a breakthrough state, the gas flow path 100 is switched to the filter recovery process, and instead In one gas flow path 200, exhaust gas deodorization processing is started. As the switching timing, the reference value A stored in the storage unit 8 can be used as in the second embodiment.

すなわち、ガス流路100に設けられたVOC計501の測定値が基準値Aに到達したとき、制御部7は、ガス流路100のダンパー111を閉止し、排ガスの流入を止める。同時に、ダンパー112を開き、外気をガス流路100に流入させる。過酸化水素供給部2とガス流路100を繋ぐパイプのバルブは閉じるが、オゾンガス供給部3とガス流路100を繋ぐパイプのバルブは開いたままにする。オゾンガス供給部3からガス流路100に供給されるオゾンガスによって、フィルタ401に蓄積された有機物が分解され、フィルタ401の吸着性能は回復する。   That is, when the measured value of the VOC meter 501 provided in the gas flow path 100 reaches the reference value A, the control unit 7 closes the damper 111 of the gas flow path 100 and stops the inflow of exhaust gas. At the same time, the damper 112 is opened, and the outside air flows into the gas flow path 100. The valve of the pipe connecting the hydrogen peroxide supply unit 2 and the gas flow path 100 is closed, but the valve of the pipe connecting the ozone gas supply unit 3 and the gas flow path 100 is kept open. The organic substance accumulated in the filter 401 is decomposed by the ozone gas supplied from the ozone gas supply unit 3 to the gas flow path 100, and the adsorption performance of the filter 401 is restored.

ガス流路100をフィルタ回復処理に切り換えると同時に、ガス流路200で排ガス脱臭処理を開始する。具体的には、制御部7は、ガス流路200のダンパー211を開いて、排ガスをガス流路200に流入させる。過酸化水素供給部2及びオゾンガス供給部3とガス流路200とを繋ぐパイプのバルブを開き、過酸化水素ガスとオゾンガスをガス流路200に供給する。排ガスはガス流路200のフィルタ塔402において脱臭処理が行われる。   At the same time as switching the gas flow path 100 to the filter recovery process, the exhaust gas deodorization process is started in the gas flow path 200. Specifically, the control unit 7 opens the damper 211 of the gas flow path 200 and causes the exhaust gas to flow into the gas flow path 200. A valve of a pipe connecting the hydrogen peroxide supply unit 2 and the ozone gas supply unit 3 and the gas flow path 200 is opened, and hydrogen peroxide gas and ozone gas are supplied to the gas flow path 200. The exhaust gas is deodorized in the filter tower 402 of the gas flow path 200.

ガス流路200のフィルタが破過状態に近くなったら、今度はガス流路200をフィルタ回復処理に切り換え、フィルタ401の吸着性能が回復したガス流路100を再び排ガス脱臭処理に切り換える。   When the filter of the gas flow path 200 approaches a breakthrough state, this time, the gas flow path 200 is switched to the filter recovery process, and the gas flow path 100 that has recovered the adsorption performance of the filter 401 is switched again to the exhaust gas deodorization process.

(効果)
以上述べたように、本実施形態では、複数のガス流路100,200がある場合に、それぞれのガス流路100,200にフィルタとオゾンガス供給部3を設けた。ガス切換部は、一のガス流路100において排ガスの導入から外気の導入に切り換えると、他のガス流路200において、排ガスの導入を開始する。これによって、24時間ラインが稼働している工場や、稼動停止時間が短い工場においても、フィルタを十分に再生する時間を確保することができ、効率性の高い排ガス処理装置1を提供することができる。
(effect)
As described above, in the present embodiment, when there are a plurality of gas flow paths 100 and 200, the filter and the ozone gas supply unit 3 are provided in each of the gas flow paths 100 and 200. When the gas switching unit switches from introduction of exhaust gas to introduction of outside air in one gas flow channel 100, the gas switching unit starts introduction of exhaust gas in the other gas flow channel 200. As a result, even in a factory where the 24-hour line is operating or a factory where the operation stop time is short, it is possible to ensure a sufficient time for regenerating the filter, and to provide a highly efficient exhaust gas treatment apparatus 1. it can.

なお、高濃度の有機物を含む排ガスが一時的に生成されたような場合には、複数のガス流路100,200で同時に排ガス脱臭処理を行うことによって、排ガスを速やかに処理することも可能である。   When exhaust gas containing a high concentration of organic matter is temporarily generated, exhaust gas can be quickly treated by simultaneously performing exhaust gas deodorization treatment in a plurality of gas flow paths 100 and 200. is there.

[その他の実施形態]
(1)本発明は上述の実施形態そのままに限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で構成要素を適宜変形することができる。また、上述の実施形態に開示されている複数の構成要素を適宜組み合わせても良い。例えば、上述の実施形態に示される構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよく、異なる実施形態にわたる構成要素を適宜組み合わせてもよい。
[Other Embodiments]
(1) The present invention is not limited to the above-described embodiments as they are, and the constituent elements can be appropriately modified without departing from the gist thereof. Moreover, you may combine suitably the some component currently disclosed by the above-mentioned embodiment. For example, some constituent elements may be deleted from the constituent elements shown in the above-described embodiments, and constituent elements over different embodiments may be appropriately combined.

(2)第1実施形態で説明した施設の稼働停止中のフィルタ回復処理において、フィルタ41の回復所要時間を予め算出し、その時間が経過したところで回復処理を終了させても良い。すなわち、オゾンガス供給部3の動作を停止させて、施設の稼働開始まで排ガス処理装置をスタンバイモードに移行するようにしても良い。あるいは、第2実施形態で説明したVOC計5を用いて、測定値が基準値Bに至ったときは、フィルタ41の回復が完了したと判断して、分解処理を終了させてスタンバイモードに切り換えることもできる。 (2) In the filter recovery process during the facility stoppage described in the first embodiment, the required recovery time of the filter 41 may be calculated in advance, and the recovery process may be terminated when the time has elapsed. That is, the operation of the ozone gas supply unit 3 may be stopped, and the exhaust gas treatment device may be shifted to the standby mode until the facility starts operating. Alternatively, when the measured value reaches the reference value B using the VOC meter 5 described in the second embodiment, it is determined that the recovery of the filter 41 is completed, the disassembly process is terminated, and the standby mode is switched. You can also.

(3)また、第1実施形態では、制御部7が、タイマー9の時刻計測結果と記憶部8に記憶された時刻ごとの稼働情報とに基づいてダンパー11,12の開閉制御を行うデジタル方式を例示したが、これに限られない。例えば、タイマー9をON−OFFの接点出力機能を備えたものとし、アナログ方式で工程の切り換えを行っても良い。このアナログ方式を用いた場合は、記憶部8に稼働情報を記憶しておくことは不要となる。 (3) In the first embodiment, the control unit 7 performs the opening / closing control of the dampers 11 and 12 based on the time measurement result of the timer 9 and the operation information for each time stored in the storage unit 8. However, the present invention is not limited to this. For example, the timer 9 may be provided with an ON-OFF contact output function, and the process may be switched in an analog manner. When this analog method is used, it is not necessary to store operation information in the storage unit 8.

(4)上述の実施形態では、フィルタ41を集中的に回復させる際には、ガス流路10に外気を導入するようにしたが、外気は施設屋外から取り込むものに限られない。フィルタ41の性能を低下させる程度の有機物を含んだものでなければ、例えば、施設の工場ラインではない場所から排出されるガスを導入しても良い。 (4) In the above-described embodiment, when the filter 41 is intensively recovered, the outside air is introduced into the gas flow path 10, but the outside air is not limited to the one that is taken in from outside the facility. For example, a gas discharged from a place other than the factory line of the facility may be introduced as long as it does not contain organic substances to the extent that the performance of the filter 41 is degraded.

(5)フィルタ41は有機物の吸着とオゾンガスの分解を行うことができるものであれば、上述の実施形態で説明した材料や構成に限られない。例えば、活性炭やゼオライト等の多孔質材料に、マンガン等のオゾン分解触媒を担持させたもの用いても良い。あるいは、別個の板状に成形された多孔質材料とオゾン分解触媒とを積層してトレイ41bに収容したものを用いても良い。 (5) The filter 41 is not limited to the materials and configurations described in the above embodiment as long as it can adsorb organic substances and decompose ozone gas. For example, a porous material such as activated carbon or zeolite carrying an ozone decomposition catalyst such as manganese may be used. Or you may use what laminated | stacked the porous material and ozone decomposition catalyst which were shape | molded in the separate plate shape, and accommodated in the tray 41b.

1 排ガス処理装置
2 過酸化水素供給部
3 オゾンガス供給部
4 フィルタ塔
5 VOC計
7 制御部
8 記憶部
9 タイマー
10 ガス流路
11,12 ダンパー
13 排気用ファン
14 排気フード又は排気ガラリ
21 貯水槽
22 超音波振動子
3a UV照射室
31 UVランプ
3b オゾンガス発生器
32 チャンバ
33 酸素流入口
34 ガス排出口
35 冷媒流入口
36 冷媒排出口
37a 酸素ボンベ
37b 酸素発生器
38 冷却水循環装置
41 フィルタ
41a 吸着材
41b トレイ
42 ガス流入口
43 ガス排出口
44 プレフィルタ
45 ポストフィルタ
100,200 ガス流路
111,112,211,212 ダンパー
401,402 フィルタ塔
501,502 VOC計
1 Exhaust gas treatment device 2 Hydrogen peroxide supply unit
3 Ozone gas supply unit 4 Filter tower 5 VOC meter 7 Control unit 8 Storage unit 9 Timer 10 Gas flow path 11, 12 Damper 13 Exhaust fan 14 Exhaust hood or exhaust gallery 21 Reservoir 22 Ultrasonic vibrator 3a UV irradiation chamber 31 UV Lamp 3b Ozone gas generator 32 Chamber 33 Oxygen inlet 34 Gas outlet 35 Refrigerant inlet 36 Refrigerant outlet 37a Oxygen cylinder 37b Oxygen generator 38 Cooling water circulation device 41 Filter 41a Adsorbent 41b Tray 42 Gas inlet 43 Gas outlet 44 Prefilter 45 Postfilter 100, 200 Gas flow path 111, 112, 211, 212 Damper 401, 402 Filter tower 501, 502 VOC meter

Claims (10)

ガス流路に設けられ、有機物の吸着とオゾンガスの分解を行うフィルタと、
前記フィルタにオゾンガスを供給するオゾンガス供給部と、
前記ガス流路への、有機物を含む排ガスの導入と外気の導入とを切り換えるガス切換部と、を備え
前記排ガスをガス流路に導入して、前記フィルタにおいて当該排ガスに含まれる有機物を吸着すると共に、前記オゾンガス供給部から供給されたオゾンガスを分解して活性種を発生させ、当該活性種を用いて前記吸着された有機物の分解を行い、
前記外気をガス流路に導入して、前記活性種を用いて前記フィルタに蓄積された有機物を分解することを特徴とする排ガス処理装置。
A filter provided in the gas flow path for adsorbing organic matter and decomposing ozone gas;
An ozone gas supply unit for supplying ozone gas to the filter;
A gas switching unit that switches between introduction of exhaust gas containing organic substances and introduction of outside air into the gas flow path, and introduces the exhaust gas into the gas flow path to adsorb organic substances contained in the exhaust gas in the filter In addition, the ozone gas supplied from the ozone gas supply unit is decomposed to generate active species, and the adsorbed organic matter is decomposed using the active species,
An exhaust gas treatment apparatus, wherein the outside air is introduced into a gas flow path, and organic substances accumulated in the filter are decomposed using the active species.
前記ガス切換部は、前記ガス流路が設けられた施設の稼働スケジュールに基づいて、前記排ガスの導入と前記外気の導入とを切り換えることを特徴とする請求項1に記載の排ガス処理装置。   The exhaust gas processing apparatus according to claim 1, wherein the gas switching unit switches between introduction of the exhaust gas and introduction of the outside air based on an operation schedule of a facility provided with the gas flow path. 前記ガス切換部は、フィルタを通過した排ガスに含まれる有機物の量を測定する有機物センサを備え、
当該有機物センサによって測定された有機物の量が所定量に到達すると、前記排ガスの導入から前記外気の導入へ切り換えることを特徴とする請求項1又は2に記載の排ガス処理装置。
The gas switching unit includes an organic matter sensor that measures the amount of organic matter contained in the exhaust gas that has passed through the filter,
The exhaust gas treatment apparatus according to claim 1 or 2, wherein when the amount of organic matter measured by the organic matter sensor reaches a predetermined amount, the introduction of the exhaust gas is switched to the introduction of the outside air.
前記オゾンガス供給部が供給するオゾンガスの濃度は約15ppmであり、
前記フィルタは、フィルタ塔内部に2段重ねて配置され、1枚が約20cmの厚みを有することを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の排ガス処理装置。
The concentration of ozone gas supplied by the ozone gas supply unit is about 15 ppm,
The exhaust filter according to any one of claims 1 to 3, wherein the filters are arranged in two stages inside the filter tower, and one filter has a thickness of about 20 cm.
前記フィルタは、シリカ−アルミナを主体とする鉱物に、微粉又は粒状状態の活性炭を混合して成型した吸着材を含むことを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載の排ガス処理装置。   The exhaust gas treatment according to any one of claims 1 to 4, wherein the filter includes an adsorbent formed by mixing fine powder or granular activated carbon with a mineral mainly composed of silica-alumina. apparatus. 前記フィルタは、活性炭にアルカリ金属類を担持させた吸着材を含むことを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載の排ガス処理装置。   The exhaust gas treatment apparatus according to any one of claims 1 to 4, wherein the filter includes an adsorbent in which alkali metal is supported on activated carbon. 前記オゾンガス供給部は、前記ガス流路に略平行に配置された直管型のUVランプを備えることを特徴とする請求項1〜6のいずれか一項に記載の排ガス処理装置。   The exhaust gas treatment apparatus according to any one of claims 1 to 6, wherein the ozone gas supply unit includes a straight tube type UV lamp disposed substantially parallel to the gas flow path. 前記オゾンガス供給部は、酸素ガス又は空気を用いてオゾンガスを発生させるオゾンガス発生器を備えることを特徴とする請求項1〜7のいずれか一項に記載の排ガス処理装置。   The exhaust gas treatment apparatus according to claim 1, wherein the ozone gas supply unit includes an ozone gas generator that generates ozone gas using oxygen gas or air. 前記ガス流路に過酸化水素ガスを供給し、当該過酸化水素ガスの分解により生成した活性種を用いて、前記排ガスに含まれる有機物を分解する過酸化水素ガス供給部を更に備えることを特徴とする請求項1〜8のいずれか一項に記載の排ガス処理装置。   The apparatus further comprises a hydrogen peroxide gas supply unit that supplies hydrogen peroxide gas to the gas flow path and decomposes organic substances contained in the exhaust gas using activated species generated by decomposition of the hydrogen peroxide gas. The exhaust gas treatment apparatus according to any one of claims 1 to 8. 前記ガス流路は複数のガス流路であり、それぞれのガス流路に前記フィルタ及び前記オゾンガス供給部が設けられ、
前記ガス切換部は、一のガス流路において前記排ガスの導入から前記外気の導入に切り換えると、その他のガス流路の少なくとも一つにおいて、前記排ガスの導入を開始することを特徴とする請求項1〜9のいずれか一項に記載の排ガス処理装置。
The gas flow path is a plurality of gas flow paths, and the filter and the ozone gas supply unit are provided in each gas flow path,
The gas switching unit starts introduction of the exhaust gas in at least one of the other gas passages when switching from introduction of the exhaust gas into introduction of the outside air in one gas passage. The exhaust gas treatment apparatus according to any one of 1 to 9.
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