JP2015174333A - 液体吐出ヘッド、画像形成装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】共通液室と個別液室の形成される領域が保護部材を介して積層方向で重なり合う構造において、圧電素子を駆動したときに保護部材の個別液室供給側の変形を抑制し、滴吐出特性の変動を低減した液体吐出ヘッドを提供する。【解決手段】ノズル4が通じる個別液室6に対応して振動板部材3に設けられた第1圧電素子11とを有し、振動板部材3上には、第1圧電素子11を保護する凹部50が形成された保護部材51が配置され、保護部材51上には複数の個別液室6に液体を供給する共通液室10を形成する共通液室部材70が配置され、共通液室10は保護部材51を介して複数の個別液室6と反対側に配置され、保護部材51には共通液室10の一部をなす開口部10Aが設けられ、振動板部材3には開口部10Aと個別液室6とを通じる供給口9が形成され、供給口9,9の間に第2圧電素子31が配置されている。【選択図】図1
Description
本発明は液体吐出ヘッド、画像形成装置に関する。
プリンタ、ファクシミリ、複写装置、プロッタ、これらの複合機等の画像形成装置として、例えば液滴を吐出する液体吐出ヘッド(液滴吐出ヘッド)からなる記録ヘッドを用いた液体吐出記録方式の画像形成装置としてインクジェット記録装置などが知られている。
液体吐出ヘッドとしては、共通液室と個別液室の形成される領域が保護部材(保持基板)を介して積層方向で重なり合う構造としたものが知られている(特許文献1)。
また、個別液室を区画する隔壁上に圧電素子を設けたものも知られている(特許文献2)。
上述した特許文献1に記載されている液体吐出ヘッドのように、共通液室と個別液室の形成される領域が保護部材(保持基板)を介して積層方向で重なり合う構造とした場合、保護部材が個別液室長手方向で片持ち状態となる。
そのため、圧電素子を駆動したとき、保護部材の個別液室供給側が変形変位して、流路板などの積層部材が変形し、滴吐出特性が変動するという課題がある。
本発明は上記の課題に鑑みてなされたものであり、滴吐出特性の変動を低減することを目的とする。
上記の課題を解決するため、本発明に係る液体吐出ヘッドは、
液滴を吐出する複数のノズルが形成されたノズル板と、
前記ノズルが通じる複数の個別液室を形成する流路板と、
前記個別液室の一部の壁面を形成する振動板部材と、
前記個別液室に対応して前記振動板部材に設けられた第1圧電素子と、を有し、
前記振動板部材上には、前記第1圧電素子を保護する凹部が形成された保護部材が配置され、
前記保護部材上には、前記複数の個別液室に液体を供給する共通液室を形成する共通液室部材が配置され、
前記共通液室は前記保護部材を介して前記複数の個別液室と反対側に配置され、
前記保護部材には、前記共通液室の一部をなす開口部が設けられ、
前記振動板部材には、
前記開口部と前記個別液室とを通じる供給口が形成され、
前記供給口の間に第2圧電素子が配置されている
構成とした。
液滴を吐出する複数のノズルが形成されたノズル板と、
前記ノズルが通じる複数の個別液室を形成する流路板と、
前記個別液室の一部の壁面を形成する振動板部材と、
前記個別液室に対応して前記振動板部材に設けられた第1圧電素子と、を有し、
前記振動板部材上には、前記第1圧電素子を保護する凹部が形成された保護部材が配置され、
前記保護部材上には、前記複数の個別液室に液体を供給する共通液室を形成する共通液室部材が配置され、
前記共通液室は前記保護部材を介して前記複数の個別液室と反対側に配置され、
前記保護部材には、前記共通液室の一部をなす開口部が設けられ、
前記振動板部材には、
前記開口部と前記個別液室とを通じる供給口が形成され、
前記供給口の間に第2圧電素子が配置されている
構成とした。
本発明によれば、滴吐出特性の変動を低減することができる。
以下、本発明の実施形態について添付図面を参照して説明する。本発明の第1実施形態に係る液体吐出ヘッドの一例について図1ないし図5を参照して説明する。図1は同ヘッドのノズル配列方向と直交する方向に沿う図3のC−C線に相当する断面説明図、図2は図1の要部拡大断面説明図、図3は同ヘッドの共通液室部材を除いた状態の平面説明図、図4は同ヘッドの保護部材を除いた状態の平面説明図、図5は同ヘッドのノズル板の平面説明図である。
この液体吐出ヘッドは、ノズル板1と流路板2とを接着接合し、流路板2と一体に振動板部材3を形成している。これにより、ノズル4が通じる個別液室6、個別液室6に通じる流体抵抗部7、流体抵抗部7が通じる液導入部8、液導入部8を形成し、液導入部8は振動板部材3の供給口9を介して共通液室10に通じている。
ここで、振動板部材3は、個別液室6の壁面の一部をなす変形可能な振動領域(これを「振動板」という。)30を形成している。そして、この振動板部材3の振動板30の個別液室6と反対側の面には、振動板30と一体的に第1圧電素子11が設けられ、振動板30と第1圧電素子11によって圧電アクチュエータ構成している。
第1圧電素子11は、振動板30側から下部電極13、圧電層(圧電体層、圧電体)12及び上部電極14を順次積層形成して構成している。なお、第1圧電素子11上には層間絶縁膜が形成されているが図示を簡略化している。
第1圧電素子11の下部電極13は図示しない共通配線を介して引き出されている。上部電極14は個別配線16を介して駆動IC509に接続され、駆動IC509は引出し配線を介して引き出されている。
第1圧電素子11は、上部電極14と下部電極13の間に電圧を与えることで、圧電体層12が電極積層方向、すなわち電界方向に伸張し、振動板30と平行な方向に収縮する。このとき、下部電極13側は振動板30で拘束されているため、振動板30の下部電極13側に引っ張り応力が発生し、振動板30が個別液室6側に撓み、内部の液体を加圧することで、ノズル4から液滴が吐出される。
そして、振動板部材3上には振動板30及び第1圧電素子11を収容する凹部(振動室)50を形成する保護部材51を設けている。さらに、この保護部材51を内包して共通液室10を形成する共通液室部材70を設けている。共通液室部材70には共通液室10に外部から液体を供給する供給口71が設けられている。
ここで、共通液室10は、保護部材51を介して圧電素子11及び個別液室6と反対側に配置されている。つまり、部材の積層方向で、共通液室10、第1圧電素子11、個別液室6が重なる構造としている。
保護部材51には、共通液室10の一部をなす開口部10Aが設けられている。この開口部10Aは、ノズル配列方向にわたって形成されている。
また、振動板部材3には保護部材51の開口部10Aと個別液室6とを通じる供給口9が形成され、供給口9の間に第2圧電素子31が配置されている。ここで、供給口9、9間には液導入部8をノズル配列方向で個別液室6に対応して区画している隔壁部61(図4)が位置している。
第2圧電素子31は、下部電極33、圧電層32及び上部電極34で構成されている。ここで、第2圧電素子31の下部電極33、圧電層32及び上部電極34は、第1圧電素子11の下部電極13、圧電層12、上部電極34と同じ層で形成したものである。
そして、第2圧電素子31の上部電極34と第1圧電素子11の上部電極14とは接続配線35によって接続されている。
次に、各部の具体例について説明する。
ノズル板1は、液滴を吐出する複数のノズル4を有している。ノズル板1は、例えば、SUS板にプレス加工と研磨加工によってノズル4を形成しているが、これに限るものではない。例えば、ニッケル(Ni)の金属プレートをエレクトロフォーミング法(電鋳)で製造したもの、その他の金属部材、樹脂部材、樹脂層と金属層の積層部材などを用いることができる。また、ノズル板1の液滴吐出側面(吐出方向の表面:吐出面)には撥液層を設けている。
流路板2は、シリコン基板上のシリコン酸化膜を介してシリコンが貼り合されたSOI基板を用いて、シリコン酸化膜をエッチングストップ層としてエッチングし、個別液室6、流体抵抗部7、液導入部8などを構成する溝部及び貫通穴を形成したものである。
流路板2の材料はこれに限るものではない。例えば、シリコン以外のガラス、セラミックスなどの無機材料、SUSなどの合金材料、樹脂などで形成することができる。
流路板2に一体に設けた振動板部材3の振動板30上に第1圧電素子11を形成することによりユニモルフ型の圧電アクチュエータを構成している。
また、振動板30(振動板部材3)の材質は、無機材料を用いることが好ましい。例えば、半導体、金属酸化物、金属窒化物、金属炭化物を挙げることができる。半導体としては、多結晶Si、アモルファスSi,Geなどを挙げることができ、金属酸化物や金属窒化物は一般的なセラミックスに用いられるSi化合物、Al化合物、Zr化合物、Ti化合物、Y化合物、Ta化合物、Sn化合物、In化合物などが挙げられる。
振動板30は、単一膜でも多層膜のいずれでもよい。前述のSOI基板を流路板2とする場合は、貼り合わされたシリコン活性層を振動板とすることができる。また、シリコン基板を用いて流路板2に振動板30を形成する場合には、CVDやスパッタリングなどの気相法によって成膜することもできる。これらの成膜方法を用いることで、表面粗さの少ない振動板とすることができ、振動板30上に形成される電極13、14や圧電層12の信頼性を高めることができる。
圧電素子11の上部電極14及び下部電極13の材料としては、導電性材料である金属及び合金、導電性化合物などを用いることができる。材料は、振動板30及び圧電層12との密着性の高い材料を用いる必要があるが、各界面に密着性を高める密着層を形成することで対応することもできる。
上部電極14及び下部電極13の材料としては、例えば、Ag,Au,Pt,Ir,Pd,W,Taなどの高融点金属が好ましい。
また、上部電極14及び下部電極13と圧電層12との界面、下部電極13と振動板30との界面には、相互拡散を防止するために、耐熱性が高く、電極材料と相互拡散しづらい化学的安定性の高い材料を用いることが好ましい。例えば、金属酸化物、金属窒化物、金属炭化物などが利用でき、さらにこれらの複合化合物を用いることもできる。また、導電性をもつ化合物を用いることで電極としての機能を持たせても良い。
圧電層12を形成する圧電材料としては、公知の材料を用いることができる。圧電材料としては、高い圧電定数と高い信頼性、安定した温度特性をもつチタン酸ジルコン酸鉛を用いることが好ましい。圧電体の組成は、所望の圧電性能、信頼性から任意に設定することができる。
次に、このように構成した実施形態の作用について図6及び図7も参照して説明する。図6は同実施形態の作用説明に供する説明図、図7は比較例の説明に供する説明図である。なお、見易くするために断面ハッチングは省略している。
まず、図7の比較例について説明する。この比較例は、実施形態の第2圧電素子31を備えないヘッドである。
この比較例の構成にあっては、圧電素子11を駆動したときに圧電素子11が振動板30面内に収縮して応力が発生する。このとき、流路板2と保護部材51の剛性の関係から、ノズル板1、流路板2、保護部材51の積層構造体の曲げ中心(仮想的な剛性の中心線)は厚さ方向で保護部材51内となり、圧電素子11より上方となる。
そして、共通液室10を保護部材51の上部に配置した構成であることから、圧電素子11の裏側を補強する構造がないため、ノズル板1、流路板2、振動板部材3及び保護部材5が破線図示のように変形する。
特に、保護部材51の開口部10Aはノズル配列方向に連続して形成された貫通穴であることから、開口部10Aで剛性が低下するため、保護部材51の開口部10Aの部分で大きく変形することになる。
この変形量は、同時に駆動する圧電素子11の数に応じて増大するため、印刷する画像によって変形量が大きく変化することになる。このような変形が発生した場合、個別液室6及び共通液室10の圧力を変動させ、滴吐出特性が変動して、画質が低下することになる。
これに対し、本実施形態では、振動板部材3の供給口9の間に第2圧電素子31を配置している。
そこで、第1圧電素子11とともに第2圧電素子31を駆動すると、図6に示すように第1圧電素子11は上述した同様に収縮し、第2圧電素子31も振動板部材3の面内で収縮する。
このとき、開口部10A内では第2圧電素子31上方に保護部材51が存在しないので、曲げ中心は流路板2内にある。そのため、第2圧電素子31が駆動されて収縮することで、開口部10Aに対応する部分では振動板部材3、流路板2、ノズル板1を持ち上げようとする矢印方向の変位が生じる。
これにより、第1圧電素子11が駆動されて収縮することで生じる、ノズル板1、流路板2、振動板部材3及び保護部材51の変位方向と逆方向の変位が作用するので、ノズル板1、流路板2、振動板部材3及び保護部材51の変位が抑制される。
さらに、本実施形態では各第1圧電素子11に対して第2圧電素子31が接続されているため、吐出チャネル数の増加に合わせて、変形抑制効果も増加するので、駆動チャネル数の増減の影響を低減することが可能である。
その結果、比較例で説明したような変形を抑制することができて、滴吐出特性の変動を低減することができる。
この場合、本実施形態のように第1圧電素子11の上部電極14と第2圧電素子31の上部電極34とを電気的に接続しておくことで、第1圧電素子11と第2圧電素子を簡単な構成で同時に駆動することができる。ただし、第1圧電素子11と第2圧電素子31とを別々の駆動回路で駆動することもできる。
第2圧電素子31の大きさを、ノズル配列方向と直交する方向で保護部材51の開口部10Aに収まり、ノズル配列方向で個別液室6を区画する隔壁の範囲内とすることによって、効率的に、変位抑制効果を得ることができる。
すなわち、開口部10Aを外れて形成した場合、例えば保護部材51と振動板部材3との接合領域まで延びていると、第1圧電素子11と同じ変形が生じて、変形を増大することになるため好ましくない。
また、保護部材51の開口部10A内であっても、個別液室6の隔壁より広い範囲に形成すると、個別液室6の隔壁で強度が確保されていない供給口9周りの振動板部材3を振動させることとなり、他の圧力振動や共振現象を誘発するため好ましくない。
第2圧電素子31の大きさは大きいほど変位の発生力が強くなるため、上記の配置の制約が許容する範囲で大きくすることが好ましい。また、第2圧電素子31及び接続配線35は液体に接触するため、液体からの腐食を防止するために保護膜を圧電素子31及び配線35上に形成してもよい。
次に、本発明の第2実施形態に係る液体吐出ヘッドについて図8を参照して説明する。図8は同ヘッドの共通液室部材及び保護部材を除いた状態の平面説明図である。
本実施形態では、ノズル配列方向に置いて、保護部材51の開口部10Aの端部側の第2圧電素子31の大きさ(平面で見た面積)を、開口部10Aの中央部側の第2圧電素子31の大きさよりも小さくしている。
すなわち、第2圧電素子31の変形量は圧電素子の面積に依存し、面積を大きくすることで変形量を大きくすることができる。一方、保護部材51のスリット状の開口部10Aの中央部側では、基板(ノズル板1、保護部材51、流路板2、振動板部材3の積層部材)の剛性が弱いため、変形量は大きくなる。一方、開口部10Aの両端部では基板の剛性が強いため変形量が小さくなる。
そこで、保護部材51の開口部10Aの中央部付近の第2圧電素子31の大きさを大きくし、端部付近の第2圧電素子31の大きさを小さくすることで、効率的に基板の変形を抑制し、消費電力の低減、発熱の抑制を図っている。
次に、本発明に係る画像形成装置の一例について図9を参照して説明する。図9は同画像形成装置の平面説明図である。
この画像形成装置は、シリアル型インクジェット記録装置であり、図示しない左右の側板に横架した主ガイド部材401及び図示しない従ガイド部材でキャリッジ403を移動可能に保持している。そして、主走査モータ405によって、駆動プーリ406と従動プーリ407間に架け渡したタイミングベルト408を介して主走査方向(キャリッジ移動方向)に往復移動する。
このキャリッジ403には、本発明に係る液体吐出ヘッドからなる記録ヘッド404を搭載している。記録ヘッド404は、例えば、イエロー(Y)、シアン(C)、マゼンタ(M)、ブラック(K)の各色のインク滴を吐出する4列のノズル列404nを有している。また、記録ヘッド404は、複数のノズルからなるノズル列404nを主走査方向と直交する副走査方向に配置し、滴吐出方向を下方に向けて装着している。
一方、用紙410を搬送するために、用紙を静電吸着して記録ヘッド404に対向する位置で搬送するための搬送手段である搬送ベルト412を備えている。この搬送ベルト412は、無端状ベルトであり、搬送ローラ413とテンションローラ414との間に掛け渡されている。
そして、搬送ベルト412は、副走査モータ416によってタイミングベルト417及びタイミングプーリ418を介して搬送ローラ413が回転駆動されることによって、副走査方向に周回移動する。この搬送ベルト412は、周回移動しながら図示しない帯電ローラによって帯電(電荷付与)される。
さらに、キャリッジ403の主走査方向の一方側には搬送ベルト412の側方に記録ヘッド404の維持回復を行う維持回復機構420が配置され、他方側には搬送ベルト412の側方に記録ヘッド404から空吐出を行う空吐出受け421がそれぞれ配置されている。
維持回復機構420は、例えば記録ヘッド404のノズル面(ノズル4が形成された面)をキャッピングするキャップ部材420a、ノズル面を払拭するワイパ部材420bなどで構成されている。
また、キャリッジ403の主走査方向に沿って両側板間に、所定のパターンを形成したエンコーダスケール423を張装し、キャリッジ403にはエンコーダスケール423のパターンを読取る透過型フォトセンサからなるエンコーダセンサ424を設けている。これらのエンコーダスケール423とエンコーダセンサ424によってキャリッジ403の移動を検知するリニアエンコーダ(主走査エンコーダ)を構成している。
また、搬送ローラ413の軸にはコードホイール425を取り付け、このコードホイール425に形成したパターンを検出する透過型フォトセンサからなるエンコーダセンサ426を設けている。これらのコードホイール425とエンコーダセンサ426によって搬送ベルト412の移動量及び移動位置を検出するロータリエンコーダ(副走査エンコーダ)を構成している。
このように構成したこの画像形成装置においては、図示しない給紙トレイから用紙410が帯電された搬送ベルト412上に給紙されて吸着され、搬送ベルト412の周回移動によって用紙410が副走査方向に搬送される。
そこで、キャリッジ403を主走査方向に移動させながら画像信号に応じて記録ヘッド4を駆動することにより、停止している用紙410にインク滴を吐出して1行分を記録する。そして、用紙410を所定量搬送後、次の行の記録を行う。記録終了信号又は用紙410の後端が記録領域に到達した信号を受けることにより、記録動作を終了して、用紙410を図示しない排紙トレイに排紙する。
なお、本願において、「用紙」とは材質を紙に限定するものではなく、OHP、布、ガラス、基板などを含み、インク滴、その他の液体などが付着可能なものの意味であり、被記録媒体、記録媒体、記録紙、記録用紙などと称されるものを含む。また、画像形成、記録、印字、印写、印刷はいずれも同義語とする。
また、「画像形成装置」は、紙、糸、繊維、布帛、皮革、金属、プラスチック、ガラス、木材、セラミックス等の媒体に液体を吐出して画像形成を行う装置を意味する。また、「画像形成」とは、文字や図形等の意味を持つ画像を媒体に対して付与することだけでなく、パターン等の意味を持たない画像を媒体に付与すること(単に液滴を媒体に着弾させること)をも意味する。
また、「インク」とは、特に限定しない限り、インクと称されるものに限らず、記録液、定着処理液、液体などと称されるものなど、画像形成を行うことができるすべての液体の総称として用いる。
また、「画像」とは平面的なものに限らず、立体的に形成されたものに付与された画像、また立体自体を三次元的に造形して形成された像も含まれる。
また、画像形成装置には、特に限定しない限り、シリアル型画像形成装置及びライン型画像形成装置のいずれも含まれる。
1 ノズル板
2 流路板
3 振動板部材
4 ノズル
6 個別液室
9 供給口
10 共通液室
10A 開口部
11 第1圧電素子
31 第2圧電素子
51 保護部材
70 共通液室部材
403 キャリッジ
404 記録ヘッド(液体吐出ヘッド)
2 流路板
3 振動板部材
4 ノズル
6 個別液室
9 供給口
10 共通液室
10A 開口部
11 第1圧電素子
31 第2圧電素子
51 保護部材
70 共通液室部材
403 キャリッジ
404 記録ヘッド(液体吐出ヘッド)
Claims (6)
- 液滴を吐出する複数のノズルが形成されたノズル板と、
前記ノズルが通じる複数の個別液室を形成する流路板と、
前記個別液室の一部の壁面を形成する振動板部材と、
前記個別液室に対応して前記振動板部材に設けられた第1圧電素子と、を有し、
前記振動板部材上には、前記第1圧電素子を保護する凹部が形成された保護部材が配置され、
前記保護部材上には、前記複数の個別液室に液体を供給する共通液室を形成する共通液室部材が配置され、
前記共通液室は前記保護部材を介して前記複数の個別液室と反対側に配置され、
前記保護部材には、前記共通液室の一部をなす開口部が設けられ、
前記振動板部材には、
前記開口部と前記個別液室とを通じる供給口が形成され、
前記供給口の間に第2圧電素子が配置されている
ことを特徴とする液体吐出ヘッド。 - 前記第1圧電素子の電極と前記第2圧電素子の電極とが電気的に接続されている
ことを特徴とする請求項1に記載の液体吐出ヘッド。 - 前記流路板には、前記供給口の間に対応して隔壁が設けられている
ことを特徴とする請求項1又は2に記載の液体吐出ヘッド。 - 平面視で大きさの異なる複数の前記第2圧電素子が配置されている
ことを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。 - ノズル配列方向において、端部側の前記第2圧電素子の大きさが中央部側の前記第2圧電素子の大きさより小さい
ことを特徴とする請求項4に記載の液体吐出ヘッド。 - 請求項1ないし5のいずれかに記載の液体吐出ヘッドを備えていることを特徴とする画像形成装置。
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