JP2015174014A - 分離再生装置および基板処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】分離再生装置は第1沸点をもつ第1のフッ素含有有機溶剤と、第1沸点より低い第2沸点をもつ第2のフッ素含有有機溶剤とを有する混合気体を生成する超臨界処理ユニット3と、第1沸点と第2沸点との間の温度をもつ温水34Wを収納するとともに、混合気体をこの温水34W中へ投入して、液体状の第1のフッ素含有有機溶剤と気体状の第2のフッ素含有有機溶剤とに分離する蒸留タンク34とを備えている。超臨界処理ユニット3からの混合気体を蒸留タンク34へ導く導入ライン50が設けられ、この導入ライン50の先端50aは温水34W中に配置されている。
【選択図】図5
Description
まず、本発明による分離再生装置が組込まれた基板処理装置について説明する。
次に基板処理装置に組込まれた本実施の形態による分離再生装置について図5乃至図7により説明する。
次にこのような構成からなる本実施の形態の作用について説明する。
1 液処理装置
2 液処理ユニット
3 超臨界処理ユニット(混合気体生成部)
3A 処理容器
4A 超臨界流体供給部
5 制御部
30 分離再生装置
34 蒸留タンク
34A 温水
34a ヒータ
35 第1のタンク
36 第2のタンク
39 油水分離器
41 油水分離器
45 供給タンク
Claims (6)
- 第1沸点をもつ第1のフッ素含有有機溶剤と、第1沸点より低い第2沸点をもつ第2のフッ素含有有機溶剤とを有する混合気体を生成する混合気体生成部と、
前記第1沸点と前記第2沸点との間の温度をもつ温水を収納するとともに、前記混合気体をこの温水中へ投入して、液体状の前記第1のフッ素含有有機溶剤と気体状の前記第2のフッ素含有有機溶剤とに分離する蒸留タンクと、を備え、
前記混合気体生成部からの前記混合気体を前記蒸留タンクへ導く導入ラインを設け、この導入ラインの先端を前記温水中へ配置して前記混合気体中のFイオンを除去することを特徴とする分離再生装置。 - 前記蒸留タンクからの前記第1のフッ素含有有機溶剤を貯留する第1のタンクと、前記蒸留タンクからの前記第1のフッ素含有有機溶剤を液化して貯留する第2のタンクを更に備えたことを特徴とする請求項1記載の分離再生装置。
- 前記第2のタンクは、前記第2のフッ素含有有機溶剤を覆う水蓋を収納することを特徴とする請求項1または2記載の分離再生装置。
- 前記第1のタンクおよび前記第2のタンクに、第1の油水分離器および第2の油水分離器が各々接続されていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか記載の分離再生装置。
- 前記混合気体生成部は、被処理体に対して超臨界処理を施す超臨界処理ユニットを有することを特徴とする請求項1乃至4のいずれか記載の分離再生装置。
- 被処理体に第1沸点をもつ第1のフッ素含有有機溶剤を供給して液処理を行う液処理ユニットと、
液処理後の被処理体に付着している第1のフッ素含有有機溶剤の液体を第1沸点より低い第2沸点をもつ第2のフッ素含有有機溶剤の超臨界流体と接触させて除去する超臨界処理ユニットと、
前記液処理ユニットで液処理された被処理体を前記超臨界処理ユニットへ搬送する基板搬送ユニットと、を備え、
前記超臨界処理ユニットに請求項1記載の分離再生装置が組み込まれている、ことを特徴とする基板処理装置。
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