JP2015167933A - Coating method and coating device - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、ノズルから塗液を吐出しながら、ノズルに対して相対的に移動する基材上に塗布膜を形成する塗布方法、及び塗布装置に関する。 The present invention relates to a coating method and a coating apparatus for forming a coating film on a substrate that moves relative to a nozzle while discharging a coating liquid from the nozzle.
一定の速度で相対的に移動する基材上に、ノズルから塗液を吐出して塗布を開始する際、ノズルの吐出面と基材との間に塗液ビードが形成されて、基材上に塗布膜が形成される。このとき、基材上に形成される塗布膜は、塗液の供給速度と基材の移動速度によって、目標の膜厚に制御される。しかしながら、塗布開始時及び/または塗布終了時においては、塗布方向端部に形成される塗布膜の膜厚が、目標値から外れるという問題が生じ、このような不良膜厚領域をできるだけ縮小することが課題となっている。 When a coating liquid is discharged from a nozzle on a substrate that moves relatively at a constant speed to start coating, a coating liquid bead is formed between the discharge surface of the nozzle and the substrate. A coating film is formed. At this time, the coating film formed on the substrate is controlled to a target film thickness by the supply speed of the coating liquid and the moving speed of the substrate. However, at the start of coating and / or at the end of coating, there arises a problem that the thickness of the coating film formed at the end in the coating direction deviates from the target value, and this defective film thickness region is reduced as much as possible. Has become an issue.
このような課題に対して、特許文献1には、塗布開始時に、ポンプからノズルに供給する塗液の供給量を、目標の膜厚を得るために必要な供給量よりも多くすることによって、塗液ビードの成長時間を短縮し、これにより、不良膜厚領域を縮小する技術が記載されている。 For such a problem, Patent Document 1 discloses that the supply amount of the coating liquid supplied from the pump to the nozzle at the start of application is larger than the supply amount necessary to obtain the target film thickness. A technique for shortening the growth time of the coating liquid bead and thereby reducing the defective film thickness region is described.
特許文献1に記載された技術では、塗布開始時に、塗液の供給量を一時的に多くすることによって、塗液ビードの成長時間を短縮することはできる。しかしながら、一定の速度で移動している基材に対しては、塗液の供給量を制御するだけで、塗布開始時における塗布方向端部(以下、「塗布開始部」という)の塗布膜を、目標の膜厚に調整することは難しい。 With the technique described in Patent Document 1, the coating liquid bead growth time can be shortened by temporarily increasing the supply amount of the coating liquid at the start of coating. However, for a substrate moving at a constant speed, the coating film at the coating direction end portion (hereinafter referred to as “coating start portion”) at the start of coating is simply controlled by controlling the supply amount of the coating liquid. It is difficult to adjust to the target film thickness.
本発明は、上記課題を解決するためになされたもので、その主な目的は、塗布膜の不良膜厚領域を小さくすることができる塗布方法、及び塗布装置を提供することにある。 The present invention has been made to solve the above problems, and a main object thereof is to provide a coating method and a coating apparatus capable of reducing a defective film thickness region of a coating film.
本発明は、ノズルから塗液を吐出しながら、ノズルに対して相対的に移動する基材上に塗布膜を形成する塗布方法において、塗布開始前に、予め、ポンプからノズルに通じる供給路内にある塗液に所定の圧力を付与しておくとともに、塗布開始後、所定の時間の間、ポンプの塗液供給速度を、膜厚が安定して形成される塗布時の塗液供給速度よりも遅くするものである。 The present invention relates to a coating method in which a coating film is formed on a substrate that moves relative to a nozzle while discharging a coating liquid from the nozzle. In addition to applying a predetermined pressure to the coating liquid at the same time, the coating liquid supply speed of the pump is set to be higher than the coating liquid supply speed at the time of application in which the film thickness is stably formed for a predetermined time after the start of application. Is also something that slows down.
すなわち、本発明に係る塗布方法は、ポンプから供給路を介してノズルに塗液を供給し、該ノズルから塗液を吐出しながら、該ノズルに対して相対的に移動する基材上に塗布膜を形成する塗布方法であって、ノズルから塗液を吐出する前に、供給路内の塗液に、第1の圧力を付加する工程(a)と、ノズルからの塗液の吐出開始時から所定の時間の間、ポンプの塗液供給速度を、第1の速度から第2の速度に高めながら、ノズルから塗液を吐出する工程(b)と、上記所定の時間の経過後、ポンプの塗液供給速度を、第2の速度に維持しながら、かつ、供給路内の塗液の圧力を、第1の圧力よりも低い第2の圧力に維持しながら、ノズルから塗液を吐出する工程(c)とを含むことを特徴とする。 That is, in the coating method according to the present invention, a coating liquid is supplied from a pump to a nozzle through a supply path, and the coating liquid is ejected from the nozzle while being coated on a substrate that moves relative to the nozzle. A coating method for forming a film, in which a first pressure is applied to the coating liquid in the supply path before discharging the coating liquid from the nozzle, and at the start of discharging the coating liquid from the nozzle And (b) discharging the coating liquid from the nozzle while increasing the coating liquid supply speed of the pump from the first speed to the second speed for a predetermined time, and after the predetermined time has elapsed, the pump The coating liquid is discharged from the nozzle while the coating liquid supply speed is maintained at the second speed and the pressure of the coating liquid in the supply path is maintained at the second pressure lower than the first pressure. Step (c).
また、本発明に係る塗布装置は、塗液を基材上に吐出するノズルと、ノズルに塗液を供給するポンプと、塗液を貯えるタンクとを備え、ノズルは、供給路を介してポンプと接続されており、ポンプは、リターン路を介してタンクに接続されており、供給路内の塗液の圧力及びポンプの塗液供給速度は、ノズルから塗液を吐出する前に、供給路内の塗液に第1の圧力が付加されるように制御され、ノズルからの塗液の吐出開始時から所定の時間の間、ポンプの塗液供給速度を、第1の速度から第2の速度に高めるように制御され、上記所定の時間の経過後、ノズルから塗液を吐出する間、ポンプの塗液供給速度を、第2の速度に維持し、かつ、供給路内の塗液の圧力を、第1の圧力よりも低い第2の圧力に維持するように制御されることを特徴とする。 The coating apparatus according to the present invention includes a nozzle that discharges the coating liquid onto the substrate, a pump that supplies the coating liquid to the nozzle, and a tank that stores the coating liquid, and the nozzle is pumped through the supply path. The pump is connected to the tank via a return path, and the pressure of the coating liquid in the supply path and the coating liquid supply speed of the pump are determined before the discharge of the coating liquid from the nozzle. The first pressure is controlled to be applied to the inner coating liquid, and the coating liquid supply speed of the pump is changed from the first speed to the second for a predetermined time from the start of discharge of the coating liquid from the nozzle. The pump is controlled to increase in speed, and after the predetermined time has elapsed, while the coating liquid is discharged from the nozzle, the pump liquid supply speed is maintained at the second speed, and the coating liquid in the supply path Controlled to maintain the pressure at a second pressure lower than the first pressure To.
本発明によれば、塗布膜の不良膜厚領域を小さくすることができる塗布方法、及び塗布装置を提供することができる。 ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the coating method and coating device which can make the defective film thickness area | region of a coating film small can be provided.
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、本発明は、以下の実施形態に限定されるものではない。また、本発明の効果を奏する範囲を逸脱しない範囲で、適宜変更は可能である。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. In addition, this invention is not limited to the following embodiment. Moreover, it can change suitably in the range which does not deviate from the range which has the effect of this invention.
図1は、本発明の一実施形態における塗布方法に使用する塗布装置(ダイコータ)100の概要を示した図である。 FIG. 1 is a diagram showing an outline of a coating apparatus (die coater) 100 used in a coating method according to an embodiment of the present invention.
図1に示すように、塗布装置100は、塗液を基材31上に吐出するノズル(ダイヘッド)10と、ノズル10に塗液を供給するポンプ11と、塗液を貯えるタンク12とを備えている。ノズル10は、供給路20を介してポンプ11と接続され、ポンプ11は、リターン路21を介してタンク12に接続されている。供給路20には、ポンプ11とノズル10との間に供給弁13が設けられ、リターン路21には、ポンプ11とタンク12との間にリターン弁14が設けられている。
As shown in FIG. 1, the
基材31は、バックアップロール30に巻き掛けられ、バックアップロール30の回転により基材31が連続的に走行する。ポンプ11から供給路20を介してノズル10に塗液が供給され、ノズル10から塗液を吐出しながら、ノズルに対して相対的に移動する基材31上に塗布膜が形成される。
The
ここで、ポンプ11は、例えば、シリンジポンプ等の定容量ポンプで構成され、塗布開始前に、シリンジポンプ内のピストン(不図示)を下方に移動させることによって、ポンプ11内に、タンク12に貯められた塗液がリターン路21を介して充填される。塗布開始時には、リターン弁14を閉じ、供給弁13を開けて、シリンジポンプ内のピストンを上方に移動させることによって、ノズル10に、ポンプ11内に充填された塗液が供給路20を介して供給される。ノズル10から吐出する塗液の供給速度は、シリンジポンプ内のピストンの移動速度で制御される。
Here, the pump 11 is composed of a constant capacity pump such as a syringe pump, for example, and moves the piston (not shown) in the syringe pump downward before starting the application, so The stored coating liquid is filled through the
図2は、従来の塗布方法におけるポンプの塗液供給速度と、供給路20内の塗液の圧力(以下、単に「圧力」という)及び塗布膜の膜厚との関係を示した時間線図である。 FIG. 2 is a time line diagram showing the relationship between the coating liquid supply speed of the pump in the conventional coating method, the pressure of the coating liquid in the supply path 20 (hereinafter simply referred to as “pressure”), and the thickness of the coating film. It is.
図2に示すように、塗布開始時(時刻t1)に供給弁13を開けて、ポンプ11から塗液を一定の供給速度でノズル10に供給する。このとき、供給路20内の圧力はすぐには上がらず、所定の圧力に達するまで(時刻t2)、一定の時間を要する。これは、ポンプ11とノズル10との間にある供給路20が、例えば、可撓性を有する樹脂で構成されている場合、供給路20の膨張に、供給された塗液が消費され、供給路20内の圧力上昇が遅れたためと考えられる。その結果、塗布開始部で、塗布膜は薄くなり、所定の膜厚に達するまでの範囲(不良膜厚領域)Aが広くなってしまう。
As shown in FIG. 2, the
そこで、本願発明者等は、塗布開始前に、供給路20内の圧力を予め高めておけば、塗布開始後の供給路20内の圧力上昇の応答性を向上できると考えた。なお、ノズル10と供給弁13との間の供給路20bの長さが、ポンプ11と供給弁13との間の供給路20aの長さよりも短ければ、供給路20内の圧力は、ポンプ11と供給弁13との間の供給路20a内の圧力によって実質的に制御されると考えられる。
Therefore, the inventors of the present application have thought that if the pressure in the
図3は、塗布開始前に予め供給路20a内の圧力を予め高めたときの、ポンプの塗液供給速度と、供給路20a内の圧力及び塗布膜の膜厚との関係を示した時間線図である。
FIG. 3 is a time line showing the relationship between the coating liquid supply speed of the pump and the pressure in the
図3に示すように、塗布開始時(時刻t1)より前(時刻t0)に、供給弁13及びリターン弁14を閉じて、ポンプ11を始動させ、ポンプ11の塗液供給速度が所定の値に達した時(時刻t1)、供給弁13を開けて塗布を開始する。この場合、塗布開始時(時刻t1)には、供給路20a内の圧力がすでに上昇しているため、所定の圧力に達するまで(時刻t2)の時間を短縮することができる。その結果、塗布開始部での不良膜厚領域Aを、図2に示した従来の塗布方法よりも縮小させることができる。
As shown in FIG. 3, before the application start (time t1) (time t0), the
なお、塗布開始時の供給路20a内の圧力は、ポンプ11の作動時(時刻t0)から塗布開始時(時刻t1)までのポンプ11の塗液供給速度プロファイルで制御することができる。例えば、図3に示すように、塗布開始時の供給路20a内の圧力を、膜厚が安定して形成される塗布時の圧力よりも高めることによって、塗布開始時の液着きが向上し、その結果、塗布開始部における塗布膜の直進性を向上させることができる。
The pressure in the
しかしながら、塗布開始時の供給路20a内の圧力を高めると、その分、塗液の供給量が増えるため、図3に示すように、塗布開始部において、塗布膜の膜厚が厚くなってしまうという問題が生じる。この問題は、塗布膜の膜厚が薄くなる(例えば、10μm以下)ほど顕著になり、液着けの向上と膜厚の制御とを両立させて制御することは難しい。
However, when the pressure in the
本発明は、このような課題を解決するためになされたもので、以下、図1及び図4を参照しながら、本発明の一実施形態における塗布方法を説明する。 The present invention has been made to solve such problems, and hereinafter, a coating method according to an embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 and 4.
本実施形態における塗布方法は、図1に示すように、ポンプ11から供給路20を介してノズル10に塗液を供給し、ノズル10から塗液を吐出しながら、ノズル10に対して相対的に移動する基材31上に塗布膜を形成するものである。
As shown in FIG. 1, the coating method in the present embodiment supplies a coating liquid from the pump 11 to the
図4は、本実施形態における塗布方法におけるポンプの塗液供給速度と、供給路20a内の塗液の圧力及び塗布膜の膜厚との関係を示した時間線図である。
FIG. 4 is a time diagram showing the relationship between the coating liquid supply speed of the pump, the pressure of the coating liquid in the
図4に示すように、ノズル10から塗液を吐出する前、すなわち塗布開始前(時刻t0からt1)に、供給路20a内の塗液に、第1の圧力P1を付加する(工程(a))。具体的には、供給弁13及びリターン弁14は閉じた状態で、ポンプ11を作動させて、ポンプ11の塗液供給速度を第2の速度V2まで上げて、塗布開始時(時刻t1)における供給路20a内の圧力を第1の圧力P1まで高める。
As shown in FIG. 4, the first pressure P1 is applied to the coating liquid in the
次に、ノズル10からの塗液の吐出開始時(塗布開始時)に、ポンプ11の塗液供給速度を、一端、第1の速度V1まで下げ、所定の時間の間(時刻t1からt2)、ポンプ11の塗液供給速度を、第1の速度V1から第2の速度V2に高めながら、ノズル10から塗液を吐出する(工程(b))。これにより、供給路20a内の圧力は、第1の圧力P1から第2の圧力P2に徐々に下がる。
Next, at the start of discharge of the coating liquid from the nozzle 10 (at the start of application), the coating liquid supply speed of the pump 11 is once lowered to the first speed V1 for a predetermined time (from time t1 to time t2). The coating liquid is discharged from the
次に、上記所定の時間の経過後、ポンプ11の塗液供給速度を、第2の速度V2に維持しながら、かつ、供給路20a内の塗液の圧力を、第2の圧力P2に維持しながら、ノズル10から塗液を吐出する(工程(c))。
Next, after the predetermined time has elapsed, the coating liquid supply speed of the pump 11 is maintained at the second speed V2, and the pressure of the coating liquid in the
本実施形態における塗布方法によれば、塗布開始前に、予め、供給路20a内の塗液に所定の圧力(第1の圧力P1)を付与しているため、膜厚が安定して形成される塗布時の圧力(第2の圧力P2)に達するまで(時刻t2)の時間を短縮させることができる。さらに、塗布開始時(時刻t1)における供給路20a内の圧力(第1の圧力P1)を、膜厚が安定して形成される塗布時の圧力(第2の圧力P2)よりも高めることによって、塗布開始時の液着きが向上し、その結果、塗布開始部における塗布膜の直進性を向上させることができる。加えて、塗布開始後、所定の時間の間(時刻t1からt2)、ポンプ11の塗液供給速度を、膜厚が安定して形成される塗布時の塗液供給速度(第2の速度V2)よりも遅くすることによって、液着け時における塗液の供給量を抑えることができる。これにより、膜厚が安定して形成される塗布時の圧力(第2の圧力P2)に達するまで(時刻t2)の時間を、図3に示した塗布方法よりも、さらに短縮させることができるとともに、塗布開始部において、塗布膜の膜厚が厚くなるのを抑制することができる。その結果、図4に示すように、塗布開始部での不良膜厚領域Aを大幅に縮小させることができる。
According to the coating method in the present embodiment, since a predetermined pressure (first pressure P1) is applied in advance to the coating liquid in the
本実施形態において、塗布開始前(時刻t0からt1)におけるポンプ11の塗液供給速度プロファイルは、任意に決めることができるが、第1の圧力P1まで高める時間を短縮するために、ポンプ11の塗液供給速度は、少なくとも、第1の速度V1よりも大きいことが好ましい。 In the present embodiment, the coating liquid supply speed profile of the pump 11 before the start of application (from time t0 to t1) can be arbitrarily determined, but in order to shorten the time to increase to the first pressure P1, The coating liquid supply speed is preferably at least greater than the first speed V1.
また、本実施形態では、塗布開始前(時刻t0からt1)におけるポンプ11の塗液供給速度を、膜厚が安定して形成される塗布時の塗液供給速度(第2の速度V2)まで高めたが、これに限定されず、例えば、図5(a)、(b)に示すように、塗布開始前におけるポンプ11の塗液供給速度(第3の速度V3)を、第2の速度V2よりも低く、もしくは高く設定してもよい。 In this embodiment, the coating liquid supply speed of the pump 11 before the start of application (from time t0 to t1) is set to the coating liquid supply speed (second speed V2) at the time of application in which the film thickness is stably formed. However, the present invention is not limited to this. For example, as shown in FIGS. 5A and 5B, the coating liquid supply speed (third speed V3) of the pump 11 before the start of coating is changed to the second speed. It may be set lower or higher than V2.
また、本実施形態において、塗布開始前(時刻t0からt1)に、ポンプ11を作動させて、供給路20a内の塗液に、第1の圧力P1を付加したが、これに限定されず、例えば、供給路20aに、別途、加圧弁を介して他の加圧手段(例えば、圧空源など)を連結し、塗布開始前に、加圧弁を開けて、所定の背圧を供給路20a内の塗液に付与してもよい。
Further, in the present embodiment, the pump 11 is operated and the first pressure P1 is applied to the coating liquid in the
また、本実施形態では、時刻t1からt2の間、ポンプ11の塗液供給速度を、第1の速度V1から第2の速度V2まで直線的に変化させたが、これに限定されず、任意の速度プロファイル(例えば、多段階に変化)を設定することができる。 In the present embodiment, the coating liquid supply speed of the pump 11 is linearly changed from the first speed V1 to the second speed V2 from the time t1 to the time t2. Speed profiles (for example, changes in multiple stages) can be set.
なお、本発明において、塗布開始前に、供給路20内の内圧を高める(第1の圧力P1を付与する)工程は、必ずしも、ポンプ11とノズル10との間にある供給路20内全体の内圧を高めることに限定されない。
In the present invention, the step of increasing the internal pressure in the supply passage 20 (applying the first pressure P1) before the start of application is not necessarily performed in the
本実施形態で示したように、例えば、ノズル10と供給弁13との間の供給路20bの長さを、ポンプ11と供給弁13との間の供給路20aの長さよりも短くすることによって、供給路20内全体の圧力を、供給路20a内の圧力によって、実質的に制御することができる。また、供給弁13とノズル10との間の供給路20bに、別途、加圧弁を介して他の加圧手段(例えば、圧空源など)を連結し、塗布開始前に、供給路20a内の内圧の上昇に連動させて、供給路20b内の内圧を高めることによって、供給路20内全体の圧力を、実質的に制御することができる。
As shown in the present embodiment, for example, the length of the
本発明の一実施形態における塗布装置は、図1に示すように、塗液を基材31上に吐出するノズル10と、ノズル10に塗液を供給するポンプ11と、塗液を貯えるタンク12とを備え、ノズル10は、供給路20を介してポンプ11と接続され、ポンプ11は、リターン路21を介してタンク12に接続されている。
As shown in FIG. 1, a coating apparatus according to an embodiment of the present invention includes a
本実施形態の塗布装置において、供給路20a内の塗液の圧力及びポンプ11の塗液供給速度は、次のように制御される。まず、ノズル10から塗液を吐出する前に、供給路20a内の塗液に第1の圧力P1が付加される。次に、ノズル10からの塗液の吐出開始時から所定の時間の間、ポンプ11の塗液供給速度を、第1の速度V1から第2の速度V2に高める。次に、上記所定の時間の経過後、ノズル10から塗液を吐出する間、ポンプ11の塗液供給速度を、第2の速度V2に維持し、かつ、供給路20a内の塗液の圧力を、第1の圧力P1よりも低い第2の圧力P2に維持する。
In the coating apparatus of this embodiment, the pressure of the coating liquid in the
このような制御を行うことにより、塗布開始後、膜厚が安定して形成される塗布時の圧力(第2の圧力P2)に達するまでの時間を短縮させることができる。さらに、塗布開始時の液着きが向上し、塗布開始部における塗布膜の直進性を向上させることができるとともに、塗布開始部において、塗布膜の膜厚が厚くなるのを抑制することができる。その結果、塗布開始部での不良膜厚領域Aを大幅に縮小させることができる。 By performing such control, it is possible to shorten the time from the start of application until the pressure during application (second pressure P2) at which the film thickness is stably formed is reached. Furthermore, liquid adhesion at the start of coating can be improved, and the straightness of the coating film at the coating start portion can be improved, and an increase in the thickness of the coating film at the coating start portion can be suppressed. As a result, the defective film thickness region A at the coating start portion can be greatly reduced.
なお、本実施形態において、ノズル10と供給弁13との間の供給路20bの長さを、ポンプ11と供給弁13との間の供給路20aの長さよりも短くすることが好ましい。これにより、塗布開始前に供給路20内の塗液に付加した圧力(第1の圧力P1)が、供給弁13を開けて塗布を開始する際、ノズル10と供給弁13との間の供給路20bで損失するのを抑制することができる。これにより、塗布開始時におけるノズル10からの塗液吐出の応答性を高めることができる。その結果、塗布開始時の液着きが向上し、塗布開始部における塗布膜の直進性を向上させることができる。
In the present embodiment, the length of the
図6は、本発明における塗布方法を、間欠塗布に適用した例を示した時間線図である。 FIG. 6 is a time diagram showing an example in which the coating method of the present invention is applied to intermittent coating.
図6に示すように、塗布開始前(時刻t0からt1)に、供給弁13及びリターン弁14は閉じた状態で、ポンプ11を作動させる(工程(a))。これにより、図4に示したように、塗布開始時(時刻t1)における供給路20a内の圧力が第1の圧力P1まで高められる。次に、塗布開始時に、リターン弁14を閉じたまま、供給弁13を開け、ポンプ11の塗液供給速度を、一端、第1の速度V1まで下げ、時刻t1からt2の間、ポンプ11の塗液供給速度を、第1の速度V1から第2の速度V2に高めながら、ノズル10から塗液を吐出する(工程(b))。これにより、図4に示したように、供給路20a内の圧力は、第1の圧力P1から第2の圧力P2に徐々に下がる。次に、時刻t2からt3の間、ポンプ11の塗液供給速度を、第2の速度V2に維持しながら、ノズル10から塗液を吐出する(工程(c))。このとき、図4に示したように、供給路20a内の塗液の圧力は、第2の圧力P2に維持される。次に、時刻t3で、供給弁13を閉じるとともに、ポンプ11の作動を停止して、ノズル10からの塗液の吐出を停止する(工程(d))。そして、上記工程(a)〜(d)を繰り返すことによって、基材31上に、図6に示すような、間欠塗布された塗布パターンが形成される。
As shown in FIG. 6, before the application is started (from time t0 to t1), the pump 11 is operated with the
ところで、塗布終了時には、ポンプ11と供給弁13及びリターン弁14との間にある供給路20及びリターン路21には、塗液が一定の圧力をもった状態で残留している。この状態で、再び、塗布開始前のポンプ11を作動させると、ポンプ11の作動によって高められた供給路20a内の圧力に、残留した塗液の圧力が付加されてしまうため、塗布開始時の供給路20a内の圧力が、所定の値(第1の圧力P1)に制御できないおそれがある。その結果、間欠塗布を繰り返すと、第1の圧力P1が安定しないため、不良膜厚領域Aの幅にバラツキが生じるおそれがある。
By the way, at the end of application, the coating liquid remains in a state having a constant pressure in the
このような問題を解決するために、ノズル10からの塗液の吐出終了後、供給路20a内に残留している塗液の圧力を開放することが好ましい。具体的には、図6に示すように、塗布終了時(時刻t3)に、供給弁13を閉じ、リターン弁14を開くことによって、供給路20a内にある塗液の圧力を、タンク12側に開放することができる。例えば、タンク12に貯められた塗液が大気に開放されていれば、供給路20a内にある塗液の圧力も、大気圧に開放される。これにより、供給路20a内に残留した塗液の圧力は、常に一定の圧力にリセットされるため、間欠塗布を繰り返しても、塗布開始時に供給路20a内に付与する圧力を、常に一定の値(第1の圧力P1)に制御することができる。その結果、不良膜厚領域Aの幅のバラツキを抑えることができる。
In order to solve such a problem, it is preferable to release the pressure of the coating liquid remaining in the
なお、供給路20a内に残留する塗液の圧力は、必ずしも大気圧に開放する必要はなく、塗布開始時に供給路20a内に付与する第1の圧力P1に影響の与えない程度の圧力、例えば、少なくとも、膜厚が安定して形成される塗布時の圧力(第2の圧力P2)以下に開放すればよい。
Note that the pressure of the coating liquid remaining in the
なお、供給路20a内に残留した塗液の圧力の開放は、上記の方法に限定されず、例えば、リターン路21に、別途、大気に通じる開放弁を設け、塗布終了後に、開放弁を開けて、供給路20内に残留した塗液の圧力を大気に開放してもよい。
Note that the release of the pressure of the coating liquid remaining in the
また、図6に示すように、塗布開始時(時刻t0)に、ノズル10の位置を低くして、基材31に近づけてもよい。ノズル10と基材31とのギャップを狭めることによって、液着きを向上させることができ、これにより、塗布開始部における直線性をより向上させることができる。
Further, as shown in FIG. 6, the position of the
また、図6に示すように、塗布終了時(時刻t3)に、ノズル10の位置を高くして、基材31から遠ざけてもよい。これにより、ノズル10と基材31との間にある塗液ビードが切れ、塗布終了部の直進性をより向上させることができる。
Further, as shown in FIG. 6, at the end of application (time t <b> 3), the position of the
以上、本発明を好適な実施形態により説明してきたが、こうした記述は限定事項ではなく、もちろん、種々の改変が可能である。例えば、上記実施形態において、ポンプ11として、シリンジポンプを例に説明したが、これに限定されず、他の定容量ポンプ等を用いることができる。また、基材31の搬送機構として、バックアップロールを例に説明したが、これに限定されず、例えば、枚葉式の搬送機構を用いることができる。
As mentioned above, although this invention was demonstrated by suitable embodiment, such description is not a limitation matter and of course various modifications are possible. For example, in the said embodiment, although the syringe pump was demonstrated to the example as the pump 11, it is not limited to this, Other constant capacity pumps etc. can be used. Moreover, although the backup roll was demonstrated to the example as a conveyance mechanism of the
10 ノズル
11 ポンプ
12 タンク
13 供給弁
14 リターン弁
20 供給路
21 リターン路
30 バックアップロール
31 基材
100 塗布装置
10 nozzles
11 Pump
12 tanks
13 Supply valve
14 Return valve
20 Supply path
21 Return path
30 Backup roll
31 Substrate
100 coating equipment
Claims (10)
前記ノズルから塗液を吐出する前に、前記供給路内の塗液に、第1の圧力を付加する工程(a)と、
前記ノズルからの塗液の吐出開始時から所定の時間の間、前記ポンプの塗液供給速度を、第1の速度から第2の速度に高めながら、前記ノズルから塗液を吐出する工程(b)と、
前記所定の時間の経過後、前記ポンプの塗液供給速度を、前記第2の速度に維持しながら、かつ、前記供給路内の塗液の圧力を、前記第1の圧力よりも低い第2の圧力に維持しながら、前記ノズルから塗液を吐出する工程(c)と、
を含む塗布方法。 A coating method of forming a coating film on a substrate that moves relative to the nozzle while supplying a coating liquid from a pump to a nozzle through a supply path and discharging the coating liquid from the nozzle,
A step (a) of applying a first pressure to the coating liquid in the supply path before discharging the coating liquid from the nozzle;
A step of discharging the coating liquid from the nozzle while increasing the coating liquid supply speed of the pump from the first speed to the second speed for a predetermined time from the start of discharging the coating liquid from the nozzle (b) )When,
After the elapse of the predetermined time, a second liquid pressure lower than the first pressure is maintained while maintaining the coating liquid supply speed of the pump at the second speed and the pressure of the coating liquid in the supply path is lower than the first pressure. (C) discharging the coating liquid from the nozzle while maintaining the pressure of
A coating method comprising:
前記供給路には、前記ポンプと前記ノズルとの間に供給弁が設けられ、前記リターン路には、前記ポンプと前記タンクとの間にリターン弁が設けられており、
前記工程(a)において、前記供給弁及び前記リターン弁は閉じた状態で、前記ポンプの塗液供給速度を、少なくとも第1の速度以上に作動させて、前記供給路内の塗液に、前記第1の圧力を付加する、請求項1に記載の塗布方法。 The pump is connected to a tank for storing the coating liquid via a return path,
The supply path is provided with a supply valve between the pump and the nozzle, and the return path is provided with a return valve between the pump and the tank,
In the step (a), with the supply valve and the return valve closed, the coating liquid supply speed of the pump is operated at least equal to or higher than the first speed, so that the coating liquid in the supply path The coating method according to claim 1, wherein the first pressure is applied.
前記供給路には、前記ポンプと前記ノズルとの間に供給弁が設けられ、前記リターン路には、前記ポンプと前記タンクとの間にリターン弁が設けられており、
前記工程(d)は、前記供給弁を閉じ、前記リターン弁を開くことにより実行される、請求項4に記載の塗布方法。 The pump is connected to a tank for storing the coating liquid via a return path,
The supply path is provided with a supply valve between the pump and the nozzle, and the return path is provided with a return valve between the pump and the tank,
The said process (d) is a coating method of Claim 4 performed by closing the said supply valve and opening the said return valve.
前記ノズルに塗液を供給するポンプと、
前記塗液を貯えるタンクと、
を備えた塗布装置であって、
前記ノズルは、供給路を介して前記ポンプと接続されており、
前記ポンプは、リターン路を介して前記タンクに接続されており、
前記供給路内の塗液の圧力及びポンプの塗液供給速度は、
前記ノズルから塗液を吐出する前に、前記供給路内の塗液に第1の圧力が付加されるように制御され、
前記ノズルからの塗液の吐出開始時から所定の時間の間、前記ポンプの塗液供給速度を、第1の速度から第2の速度に高めるように制御され、
前記所定の時間の経過後、前記ノズルから塗液を吐出する間、前記ポンプの塗液供給速度を、前記第2の速度に維持し、かつ、前記供給路内の塗液の圧力を、前記第1の圧力よりも低い第2の圧力に維持するように制御される、塗布装置。 A nozzle for discharging the coating liquid onto the substrate;
A pump for supplying a coating liquid to the nozzle;
A tank for storing the coating liquid;
A coating apparatus comprising:
The nozzle is connected to the pump via a supply path,
The pump is connected to the tank via a return path;
The pressure of the coating liquid in the supply path and the coating liquid supply speed of the pump are as follows:
Before discharging the coating liquid from the nozzle, it is controlled so that a first pressure is applied to the coating liquid in the supply path,
It is controlled to increase the coating liquid supply speed of the pump from the first speed to the second speed for a predetermined time from the start of discharging the coating liquid from the nozzle,
After the predetermined time has elapsed, while discharging the coating liquid from the nozzle, the coating liquid supply speed of the pump is maintained at the second speed, and the pressure of the coating liquid in the supply path is An applicator that is controlled to maintain a second pressure that is lower than the first pressure.
前記ノズルと前記供給弁との間の前記供給路の長さは、前記ポンプと前記供給弁との間の前記供給路の長さよりも短い、請求項8に記載の塗布装置。 The supply path is provided with a supply valve between the pump and the nozzle,
The coating apparatus according to claim 8, wherein a length of the supply path between the nozzle and the supply valve is shorter than a length of the supply path between the pump and the supply valve.
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