JP2015165134A - vacuum pump device - Google Patents

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JP2015165134A JP2015033586A JP2015033586A JP2015165134A JP 2015165134 A JP2015165134 A JP 2015165134A JP 2015033586 A JP2015033586 A JP 2015033586A JP 2015033586 A JP2015033586 A JP 2015033586A JP 2015165134 A JP2015165134 A JP 2015165134A
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JP2015033586A
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ローベルト・ヴァッツ
Watz Robert
ヤン・ホフマン
Jan Hofmann
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Pfeiffer Vacuum GmbH
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Pfeiffer Vacuum GmbH
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    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
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    • F04D19/00—Axial-flow pumps
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    • F04D19/042—Turbomolecular vacuum pumps
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    • F04D29/601—Mounting; Assembling; Disassembling specially adapted for elastic fluid pumps

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a vacuum pump device and a connection element capable of ensuring simpler connection assembly of vacuum pumps with simpler structure at a low cost and ensuring highly reliable protection against distortion of connection elements.SOLUTION: A turbo molecular vacuum pump device comprises a vacuum pump 38 that includes one rotor, one stator, and one housing, the vacuum pump 38 is connectable to a vacuum chamber 40 via at least one connection element 18, during connection, the connection element 18 can be engaged with a pump flange provided in a pump housing and can be fixed to a counter flange 20 provided in the vacuum chamber 40, at least one tooth part 22 is provided on the connection element 18, and this tooth part 22 is pressed into the counter flange 20 or engaged with a storage recess provided in the counter flange 20 for protection against distortion when the connection element 18 is fixed to the counter flange 20.

Description

本発明は、一つのローター、一つのステータ、および一つのハウジングを有する真空ポンプ、特にターボ分子ポンプを有する真空ポンプ装置、特にターボ分子ポンプ装置に関する。これは、少なくとも一つの接続要素を介して真空チャンバーと接続可能であり、その際接続要素は、ポンプハウジングに付設されたポンプフランジでもって係合状態とすることが可能であり、そして真空チャンバーに付設された対向フランジに固定可能である。更に、そのような真空ポンプ装置の為の接続要素に関する。   The present invention relates to a vacuum pump having a rotor, a stator and a housing, in particular a vacuum pump device having a turbo molecular pump, in particular a turbo molecular pump device. This can be connected to the vacuum chamber via at least one connecting element, in which case the connecting element can be engaged with a pump flange attached to the pump housing, and to the vacuum chamber It can be fixed to the attached opposing flange. Furthermore, it relates to a connection element for such a vacuum pump device.

例えばターボ分子ポンプのような真空ポンプは、真空チャンバー内またはレシーバー内の真空の発生の為に、接続要素を介して、特にいわゆる突出部（独語：Ｐｒａｔｚｅｎ）のようなものを介して、真空チャンバーと接続されることが可能である。ここで話に上っている形式の突出部は、基本的に公知のクランプ要素である。これによって複数の部材が互いに固定されることが可能である。   Vacuum pumps, such as turbomolecular pumps, for example, generate vacuum in the vacuum chamber or in the receiver via the connecting element, in particular via a so-called protrusion (German: Pratzen). Can be connected. Protrusions of the type mentioned here are basically known clamping elements. Thereby, a plurality of members can be fixed to each other.

各突出部を真空チャンバーハウジングへ固定することは、特に、クランプねじを介して行われる。真空ポンプの比較的高い重量、および高いローター速度という観点から、操作者が危険にさらされるということを高い確実性でもって補償するために、真空ポンプの真空チャンバーハウジングへの確実な固定が保証されるべきである。特に、ブロックされたローターの場合、急激に高いトルクが発生する。このトルクは、ローターからステータを介してポンプハウジングへと、そしてこれから突出部を介して真空チャンバーハウジングへと伝達される。その際、高いトルクに基づいて、真空チャンバーに対するポンプハウジングのねじれが生じる可能性がある。このことは、突出部の固定の領域における真空チャンバーハウジングの損傷を引き起こす可能性がある。そのような突出部を使用する際には、更に、これらが破損の場合にねじれ、そしてポンプフランジがその際発生する切り込みによって、真空ポンプが引き剥がされるように損傷を受けるという危険が存在する。   Fixing each protrusion to the vacuum chamber housing is performed in particular via a clamping screw. In view of the relatively high weight of the vacuum pump and the high rotor speed, a reliable fixation of the vacuum pump to the vacuum chamber housing is guaranteed to compensate with high certainty that the operator is at risk. Should be. In particular, in the case of a blocked rotor, a suddenly high torque is generated. This torque is transmitted from the rotor through the stator to the pump housing and from there through the protrusions to the vacuum chamber housing. In so doing, the pump housing may twist relative to the vacuum chamber based on the high torque. This can cause damage to the vacuum chamber housing in the fixed area of the protrusion. When using such protrusions, there is a further risk that they will twist if they break, and that the pump flange will be damaged as the vacuum pump is pulled away by the notches that occur.

冒頭に記載した形式の特許文献１から公知の真空ポンプにおいては、接続要素はそのねじれに対する安全のため、それぞれ、ポンプフランジの周囲方向において互いに間隔を有する二つのスクリューを介して、真空チャンバーハウジングに固定されている。そのような真空ポンプ装置は、しかし比較的高価であり、よってコストがかかる。更に、より高い組立コストが生じる。   In the vacuum pump known from US Pat. No. 6,057,017 of the type described at the beginning, the connecting element is connected to the vacuum chamber housing via two screws spaced apart from each other in the circumferential direction of the pump flange for safety against torsion. It is fixed. Such a vacuum pump device, however, is relatively expensive and therefore expensive. Furthermore, higher assembly costs arise.

独国特許出願公開第１０ ２００５ ０２０ ９０４ Ａ１号明細書German Patent Application Publication No. 10 2005 020 904 A1

よって本発明の課題は、冒頭に記載した形式の改善された真空ポンプ装置および改善された接続要素を提供することである。これらは、構造的により簡単で、よってコスト面でも安価な真空ポンプと真空チャンバーの間の接続と、相応してより簡単な組立、接続要素のねじれに対する信頼性の高い保護を保証する。   The object of the present invention is therefore to provide an improved vacuum pump device and an improved connection element of the type described at the outset. These ensure a structurally simpler and thus less expensive connection between the vacuum pump and the vacuum chamber and correspondingly easier assembly and reliable protection against twisting of the connecting elements.

この課題は、請求項１に記載の特徴を有する真空ポンプ装置によって、および請求項１０に記載の特徴を有する接続要素によって解決される。本発明に係る真空ポンプ装置の好ましい実施形は、従属請求項に表されている。   This problem is solved by a vacuum pump device having the features of claim 1 and by a connecting element having the features of claim 10. Preferred embodiments of the vacuum pump device according to the invention are indicated in the dependent claims.

発明に係る真空ポンプ装置は、接続要素が少なくとも一つの歯部を設けられており、この歯部が、対向フランジに固定された接続要素においてねじれに対するその保護の為に、対向フランジ内へと押し込まれるか、または対向フランジ内に設けられた収容くぼみ内に介入する点で際立っている。その際、接続要素は好ましくは、互いに間隔を有している少なくとも二つの歯部を設けられている。代替として、少なくとも一つのリブ状に形成された延伸された歯部が設けられていることが可能である。   In the vacuum pump device according to the invention, the connecting element is provided with at least one tooth, which is pushed into the opposing flange for its protection against twisting in the connecting element fixed to the opposing flange. Or stand out in that it intervenes in a receiving recess provided in the opposing flange. In this case, the connecting element is preferably provided with at least two teeth that are spaced from one another. Alternatively, it is possible to provide at least one elongated tooth formed in the shape of a rib.

この構造に基づいて、特に真空ポンプと真空チャンバーの間の接続に関してのみならず、構造的により簡易な構造が生じる。これは相応して組立も簡単にする。各接続要素の対抗フランジへの固定によって、直接、一または複数の歯部も対抗フランジの材料内へと押し込まれるか、またはこの中に設けられる収容くぼみ内へと係合することによって、同時に、接続要素が負荷のもと対向フランジに対してねじれることが防止される。   Based on this structure, a structurally simpler structure results, not only with respect to the connection between the vacuum pump and the vacuum chamber. This correspondingly simplifies assembly. By fixing each connecting element to the counter flange, directly or directly by pushing one or more teeth into the material of the counter flange or engaging in a receiving recess provided therein, The connecting element is prevented from twisting against the opposing flange under load.

本発明に係る真空ポンプ装置の有利な実践的な実施形に従い、接続要素は少なくとも一つのリブ状の延長された歯部を設けられている。その際、接続要素は、ねじれに対する保護の為に、ちょうど一つのそのようなリブ状の延長された歯部のみを有することが可能である。   According to an advantageous practical embodiment of the vacuum pump device according to the invention, the connecting element is provided with at least one rib-like extended tooth. The connection element can then have only one such rib-like extended tooth for protection against twisting.

好ましくは、接続要素は、固定要素、特にクランプねじのための少なくとも一つの貫通開口部を設けられており、この固定要素を介して対抗フランジに固定可能である。固定要素としてクランプねじが設けられているとき、対向フランジは、目的にかなってねじ穴を設けられ、このねじ穴内に固定ねじが係合する。   Preferably, the connecting element is provided with at least one through-opening for a fixing element, in particular a clamping screw, and can be fixed to the counter flange via this fixing element. When a clamping screw is provided as a fixing element, the opposing flange is provided with a threaded hole for the purpose in which the fixing screw engages.

対向フランジ内に押し込まれるか、またはこの中に設けられる収容くぼみ内に係合する少なくとも一つの歯部が、ねじれに対する保護の為に各接続要素に設けられているので、接続要素を対向フランジに固定するために、唯一の固定要素または唯一のねじが十分であり、これによって特に組立が簡単となる。   At least one tooth that is pushed into the opposing flange or engages in a receiving recess provided therein is provided on each connecting element for protection against twisting, so that the connecting element is on the opposing flange. To fix, only one fixing element or only one screw is sufficient, which makes the assembly particularly easy.

本発明に係る真空ポンプ装置の好ましい実施形に従い、対向フランジはアルミから成っている。代替として、接続要素の少なくとも一つの歯部を、他の材料から成る対向フランジ内に押し込むことも可能である。   According to a preferred embodiment of the vacuum pump device according to the invention, the counter flange is made of aluminum. As an alternative, it is also possible to push at least one tooth of the connecting element into an opposing flange made of another material.

接続要素は、特にクランプ要素としてまたは突出部として形成されていることが可能であり、または突出部形式のベースボディを有することが可能である。   The connecting element can in particular be formed as a clamping element or as a protrusion, or it can have a base body in the form of a protrusion.

ポンプフランジは、好ましくは、特に円環形状の溝部を有する。この溝部内に接続要素の延長部分が係合する。   The pump flange preferably has an annular groove in particular. An extension of the connecting element engages in this groove.

発明に係る接続要素は、これが、クランプ要素としてまたは突出部として形成されており、または突出部形式のベースボディを有し、その際、接続要素がねじれに対する保護のために、真空チャンバーの対抗フランジと係合状態となることが可能である少なくとも一つの歯部を設けられている点で際立っている。   The connecting element according to the invention is formed as a clamping element or as a protrusion, or has a base body in the form of a protrusion, in which case the connecting element protects against twisting against the counter flange of the vacuum chamber It is distinguished in that it is provided with at least one tooth that can be engaged.

以下に本発明を、図面を参照しつつ実施例に基づき詳細に説明する。図面は以下を示している。   Hereinafter, the present invention will be described in detail based on examples with reference to the drawings. The drawings show the following:

従来の突出部形式の接続要素の斜視図。The perspective view of the connection element of the conventional protrusion part type. 発明に係る接続要素の一つの例示的な実施形の簡略図。1 is a simplified diagram of one exemplary embodiment of a connecting element according to the invention. 発明に係る接続要素の別の例示的な実施形の簡略図。FIG. 4 is a simplified diagram of another exemplary embodiment of a connecting element according to the invention. 真空ポンプ装置の対抗フランジの簡略部分図。The simplified fragmentary figure of the opposing flange of a vacuum pump apparatus. 真空ポンプおよびレシーバーから成る発明に係る装置の簡略図。真空ポンプおよびレシーバーは発明に係る突出部によって互いに接続されている。1 is a simplified diagram of an apparatus according to the invention comprising a vacuum pump and a receiver. The vacuum pump and the receiver are connected to each other by a projection according to the invention. 発明に係る別の実施形。Another embodiment according to the invention. 発明に係る別の実施形。Another embodiment according to the invention. 発明に係る別の実施形。Another embodiment according to the invention.

図１は、従来の突出部形式の接続要素１０の斜視図を示す。そのような接続要素１０は、ローターおよびステータを有する真空ポンプを真空チャンバーまたはレシーバーと接続するために使用される。   FIG. 1 shows a perspective view of a connecting element 10 in the form of a conventional protrusion. Such a connecting element 10 is used to connect a vacuum pump having a rotor and a stator to a vacuum chamber or receiver.

接続要素１０は、延長部分１２を設けられており、これが、ポンプフランジの円形の溝部内へと係合する。そのため、接続要素１０は、固定ねじ１６の為の貫通開口部１４を設けられている。この貫通開口部を介して、真空チャンバーの対抗フランジが固定可能である。   The connecting element 10 is provided with an extension 12 which engages into the circular groove of the pump flange. Therefore, the connecting element 10 is provided with a through opening 14 for the fixing screw 16. The counter flange of the vacuum chamber can be fixed through this through opening.

真空ポンプは、そのような複数の接続要素１０を介して真空チャンバーに接続されている。しかし、そのような接続要素によって、冒頭に記載したようにこれらが負荷の下ねじれる危険性が存在する。   The vacuum pump is connected to the vacuum chamber via such a plurality of connecting elements 10. However, with such connecting elements there is a risk that they will twist under load as described at the outset.

図２は、発明に係る真空ポンプ装置の発明に係る接続要素の一つの例示的実施形の簡略図を示す。これは特にターボ分子ポンプ装置であることが可能である。   FIG. 2 shows a simplified diagram of one exemplary embodiment of a connecting element according to the invention of the inventive vacuum pump device. This can in particular be a turbomolecular pump device.

該真空ポンプ装置は、一つのローター、一つのステータおよび一つのハウジングを有する真空ポンプ、特にターボ分子ポンプを有している。これは、少なくとも一つのそのような接続要素１８を介して真空チャンバーと接続可能である。その際、接続要素１８は、ポンプハウジングに付設されたポンプフランジでもって係合状態とすることが可能であり、そして、真空チャンバーに付設された対向フランジ２０に固定可能である（図４も参照のこと）。   The vacuum pump device has a vacuum pump, in particular a turbomolecular pump, having one rotor, one stator and one housing. This is connectable to the vacuum chamber via at least one such connecting element 18. In this case, the connecting element 18 can be engaged with a pump flange attached to the pump housing, and can be fixed to an opposing flange 20 attached to the vacuum chamber (see also FIG. 4). )

一般に、接続要素１８は、少なくとも一つの歯部２２を設けられている。この歯部は、対向フランジ２０に固定された接続要素１８のもと、ねじれに対するその保護のため、対向フランジ２０内へと押し込まれるか、または対向フランジ２０内に設けられた収容くぼみ内へと係合する。前者の場合、収容くぼみは省略されることができる。   In general, the connecting element 18 is provided with at least one tooth 22. This tooth is pushed into the opposing flange 20 or into a receiving recess provided in the opposing flange 20 for its protection against twisting under the connecting element 18 fixed to the opposing flange 20. Engage. In the former case, the housing recess can be omitted.

接続要素１８は、特に、互いに間隔を有する少なくとも二つの歯部２２を設けられていることが可能である。その際、接続要素は図２に表された実施例に従い、ちょうど二つのそのような歯部２２を有している。図２に基づいてわかるように、歯部２２はとがった形状を有していることが可能である。これによって、容易に対抗フランジ２０内へと押し込まれることが可能である。   The connecting element 18 can in particular be provided with at least two teeth 22 which are spaced from one another. The connecting element then has exactly two such teeth 22 according to the embodiment represented in FIG. As can be seen on the basis of FIG. 2, the toothing 22 can have a pointed shape. Thus, it can be easily pushed into the opposing flange 20.

接続要素１８は、特にクランプねじ等のような固定要素２８の為の貫通開口部２６を設けられていることが可能である。この固定要素を介して対向フランジ２０に固定可能である。   The connecting element 18 can be provided with a through opening 26 for a fixing element 28, in particular a clamping screw or the like. It can be fixed to the opposing flange 20 via this fixing element.

固定要素２８としてそのようなクランプねじが設けられているとき、対向フランジ２０はねじ穴３０（図４参照）を設けられていることが可能である。このねじ穴の中に固定ねじが係合する。   When such a clamping screw is provided as the fixing element 28, the counter flange 20 can be provided with a screw hole 30 (see FIG. 4). A fixing screw engages in this screw hole.

図２から４に見て取れるように、接続要素１８は、ちょうど一つの固定要素２８のみを介して、またはちょうど一つのクランプねじのみを介して対抗フランジ２０に固定可能である。これによって組立が本質的に簡易化される。負荷の下での接続要素１８のねじれは、対向フランジ２０と係合状態にある歯部２２によって防止される。   As can be seen in FIGS. 2 to 4, the connecting element 18 can be fastened to the counter flange 20 via just one fastening element 28 or via just one clamping screw. This essentially simplifies assembly. Torsion of the connecting element 18 under load is prevented by the toothing 22 in engagement with the counter flange 20.

接続要素１８は、特に突出部形式のベースボディ３２を有し、そして延長部分３４を設けられていることが可能である。この延長部分は、ポンプフランジの特に円形状の溝部内へと係合する。   The connecting element 18 has a base body 32, in particular in the form of a protrusion, and can be provided with an extension 34. This extension engages in a particularly circular groove of the pump flange.

図３は、発明に係る接続要素１８の別の例示的実施形の簡略図を示す。この接続要素は、貫通開口部２６の長手方向に横断する方向にリブ状に延長された歯部２２を設けられている。その際、このリブ状に延長された歯部２２は、対向フランジに向かって先細となる断面を有している。これによって、対向フランジ２０の方に向かって狭くなるエッジ部が生じ、このエッジ部が対向フランジ２０内への入り込みを簡単にする。その他の点では、図３に表されたこの接続要素１８は、多くの場合基本的に、図２に表された接続要素と同じように形成されていることが可能である。   FIG. 3 shows a simplified diagram of another exemplary embodiment of a connecting element 18 according to the invention. This connecting element is provided with a tooth portion 22 extending in a rib shape in a direction transverse to the longitudinal direction of the through opening 26. At this time, the tooth portion 22 extended in a rib shape has a cross section that tapers toward the opposing flange. As a result, an edge portion that narrows toward the opposing flange 20 is generated, and this edge portion facilitates entry into the opposing flange 20. In other respects, this connecting element 18 represented in FIG. 3 can in many cases basically be formed in the same way as the connecting element represented in FIG.

すでに述べたように、各接続要素１８の歯部２２は、ねじれに対するその保護の為に、対向フランジ２０に設けられた収容くぼみ内へも係合する。この場合、歯部はもはやこれら対向フランジ２０に押し込まれる必要はなく、そして歯部は先端または狭いエッジ部を設けられている必要が無い。その際、ねじれに対する保護は、収容くぼみ内への係合によってすでに保証されている。   As already mentioned, the toothing 22 of each connecting element 18 also engages in a receiving recess provided in the opposing flange 20 for its protection against twisting. In this case, the teeth no longer need to be pushed into these opposing flanges 20, and the teeth need not be provided with a tip or a narrow edge. In this case, protection against twisting is already ensured by engagement in the receiving recess.

図４は、発明に係る真空ポンプ装置の一つの例示的実施形の対向フランジ２０の簡略部分図を示す。その際、対抗フランジ２０は、延伸されたくぼみ２４を有する。このくぼみは、図３の押し込まれた長い歯部２２の刻印を意味する。つまりこのくぼみは、発明に係るクランプ突出部１８のリブ状の歯部２２の押し込みによって発生させられる。   FIG. 4 shows a simplified partial view of the opposed flange 20 of one exemplary embodiment of a vacuum pump apparatus according to the invention. In so doing, the opposing flange 20 has an elongated recess 24. This indentation signifies the indentation of the long toothed portion 22 in FIG. That is, this indentation is generated by pushing in the rib-like tooth portion 22 of the clamp projection 18 according to the invention.

代替として、対向フランジ２０は、この目的の為につくられた、少なくとも一つの歯部２２の係合の為の収容くぼみを設けられていることが可能である。   Alternatively, the opposing flange 20 can be provided with a receiving recess for the engagement of at least one tooth 22 made for this purpose.

特に、歯部２２が対向フランジ２０内に押し込まれるとき、この対向フランジ２０は、アルミから成ることが可能である。これによって歯部２２の押し込みは簡単になる。しかし対抗フランジ２０のために他の材料も、可能である。   In particular, when the tooth portion 22 is pushed into the opposing flange 20, the opposing flange 20 can be made of aluminum. This simplifies the pushing of the tooth portion 22. However, other materials for the opposing flange 20 are possible.

さらに図４には、真空チャンバーの一つの開口部３６が見て取れる。その領域内で、真空ポンプが真空チャンバーに接続される。   Furthermore, in FIG. 4, one opening 36 of the vacuum chamber can be seen. Within that region, a vacuum pump is connected to the vacuum chamber.

図５では、発明に係る複数のクランプ突出部１８によって互いに接続されている真空ポンプ３８とレシーバー４０が発明に係る真空ポンプ装置を形成している。   In FIG. 5, a vacuum pump 38 and a receiver 40 connected to each other by a plurality of clamp projections 18 according to the invention form a vacuum pump device according to the invention.

図６の実施例においては、複数のクランプ突出部１８が其々その歯部２２でもって収容くぼみ４４内に係合している。くぼみ４４は、其々、周囲方向で境界づけられた、みぞ状またはスリット状の切欠き部として対向フランジ２０内に形成されている。これによって放射方向の保持が達成される。その上、突出部１８のねじれが防止される。   In the embodiment of FIG. 6, a plurality of clamp protrusions 18 are engaged in the receiving recesses 44 with their respective teeth 22. The indentation 44 is formed in the opposing flange 20 as a groove-like or slit-like notch that is bounded in the circumferential direction. This achieves radial retention. In addition, the protrusion 18 is prevented from being twisted.

図７の実施形は、これとは、すべてのクランプ突出部１８の為の収容くぼみ４４が、周回する溝部の形式で対抗フランジ２０内に形成されている点で異なっている。この態様によっても、放射方向の保持が達成される。   The embodiment of FIG. 7 differs from this in that the receiving recesses 44 for all the clamp protrusions 18 are formed in the counter flange 20 in the form of a circumferential groove. Also in this manner, the radial direction can be maintained.

図８は、対抗フランジが、はめ込みリングの形式の独立した中間要素４２を有する、代替的な態様を示す。このはめ込みリングは、（図示されていない）真空チャンバーのフランジ内、または真空チャンバーに付設されたフランジ内にはめ込まれることが可能である。   FIG. 8 shows an alternative embodiment where the counter flange has an independent intermediate element 42 in the form of a snap ring. The snap ring can be fitted in a flange of a vacuum chamber (not shown) or in a flange attached to the vacuum chamber.

全般的に、つまり一般的におよび具体的な実施形と関係なく、そのような中間要素を使用する際には、真空チャンバーまたはそのフランジは、適合される必要がなく、そして直接接続要素の歯部と協働（または相互作用、独語：ｚｕｓａｍｍｅｎｚｕｗｉｒｋｅｎ）しない。その替わり、歯部は中間要素内へと押し込まれるか、または、図８に示されるように、歯部２２は其々、中間要素４２内に形成された収容くぼみ４４内に係合する。   In general, that is, regardless of the general and specific implementation, when using such an intermediate element, the vacuum chamber or its flange does not need to be adapted and the teeth of the direct connection element Do not cooperate (or interact, German: zusamzenzuwiken) with the department. Instead, the teeth are pushed into the intermediate element or, as shown in FIG. 8, the teeth 22 each engage in a receiving recess 44 formed in the intermediate element.

中間要素４２は、対向フランジ２０の構成要素としてみなされることが可能である。中間要素４２が当接している、真空チャンバーまたは真空チャンバーに付設された別のフランジ部分（図示されていない）への接続要素１８の固定は、ここでもまたねじ留めによって行われることが可能である。固定ねじは、突出部１８内の貫通開口部２６を貫通し、そして中間要素４２内に形成された開口部４６を貫通して延在している。   The intermediate element 42 can be regarded as a component of the opposed flange 20. The fastening of the connecting element 18 to the vacuum chamber or another flange part attached to the vacuum chamber (not shown) against which the intermediate element 42 abuts can again be effected by screwing. . The fixing screw extends through the through opening 26 in the protrusion 18 and through the opening 46 formed in the intermediate element 42.

１０ 接続要素
１２ 延長部分
１４ 貫通開口部
１６ 固定ねじ
１８ 接続要素
２０ 対向フランジ
２２ 歯部
２４ くぼみ（刻印）
２６ 貫通開口部
２８ 固定要素
３０ ねじ穴
３２ ベースボディ
３４ 延長部分
３６ 開口部
３８ 真空ポンプ
４０ 真空チャンバー、レシーバー
４２ 中間要素、はめ込みリング
４４ 収容くぼみ
４６ 開口部 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Connection element 12 Extension part 14 Through opening part 16 Fixing screw 18 Connection element 20 Opposing flange 22 Teeth part 24 Indentation (engraved)
26 Through-opening 28 Fixing element 30 Screw hole 32 Base body 34 Extension 36 Opening 38 Vacuum pump 40 Vacuum chamber, receiver 42 Intermediate element, fitting ring 44 Receiving recess 46 Opening

Claims (14)

真空ポンプ装置、特にターボ分子ポンプ装置であって、一つのローター、一つのステータ、および一つのハウジングを有する真空ポンプ、特にターボ分子ポンプを有し、この真空ポンプが、少なくとも一つの接続要素（１８）を介して真空チャンバーと接続可能であり、その際、接続要素（１８）が、ポンプハウジングに付設されたポンプフランジと係合状態とすることが可能であり、そして真空チャンバーに付設された対向フランジに固定可能である真空ポンプ装置において、
接続要素（１８）が、少なくとも一つの歯部（１８）を設けられており、この歯部が、対向フランジ（２０）に固定された接続要素（１８）において、ねじれに対するその保護の為に対向フランジ（２０）内へと押し込まれるか、または対向フランジ（２０）に設けられた収容くぼみに係合することを特徴とする真空ポンプ装置。 A vacuum pump device, in particular a turbomolecular pump device, comprising a vacuum pump, in particular a turbomolecular pump, having a rotor, a stator and a housing, the vacuum pump comprising at least one connecting element (18 ) Through which the connecting element (18) can be engaged with a pump flange attached to the pump housing and facing the vacuum chamber. In the vacuum pump device that can be fixed to the flange,
The connecting element (18) is provided with at least one tooth (18) which is opposed to the connecting element (18) fixed to the opposing flange (20) for its protection against twisting. A vacuum pump device, characterized in that it is pushed into the flange (20) or engages a receiving recess provided in the opposing flange (20). 接続要素（１８）が、互いに間隔をあけている少なくとも二つの歯部（２２）を設けられていることを特徴とする請求項１に記載の真空ポンプ装置。 2. A vacuum pump device according to claim 1, characterized in that the connecting element (18) is provided with at least two teeth (22) spaced apart from each other. 接続要素（１８）が、リブ状に延長された歯部（２２）を設けられていることを特徴とする請求項１または２に記載の真空ポンプ装置。 3. A vacuum pump device according to claim 1 or 2, characterized in that the connecting element (18) is provided with teeth (22) extending in a rib shape. 接続要素（１８）が、固定要素（２８）、特に固定ねじのための少なくとも一つの貫通開口部（２６）を設けられており、この固定要素を介して対向フランジ（２０）に固定可能であることを特徴とする請求項１から３のいずれか一項に記載の真空ポンプ装置。 The connecting element (18) is provided with a fixing element (28), in particular at least one through-opening (26) for a fixing screw, which can be fixed to the counter flange (20) via this fixing element. The vacuum pump device according to any one of claims 1 to 3, wherein 固定要素（２８）として固定ねじが設けられ、そして対抗フランジ（２０）がねじ穴（３０）を設けられており、このねじ穴内に固定ねじが係合することを特徴とする請求項４に記載の真空ポンプ装置。 5. The fixing screw (28) is provided with a fixing screw, and the counter flange (20) is provided with a screw hole (30), in which the fixing screw engages. Vacuum pump device. 接続要素（１８）が、ちょうど一つの固定要素（２８）のみを介して、特に、ちょうど一つの固定ねじのみを介して対抗フランジ（２０）に固定可能であることを特徴とする請求項４または５に記載の真空ポンプ装置。 The connecting element (18) can be fixed to the counter flange (20) via only one fixing element (28), in particular, only via just one fixing screw. 5. The vacuum pump device according to 5. 対抗フランジ（２０）がアルミから成ることを特徴とする請求項１から６のいずれか一項に記載の真空ポンプ装置。 The vacuum pump device according to any one of claims 1 to 6, wherein the opposing flange (20) is made of aluminum. 接続要素（１８）がクランプ要素または突出部として形成されているか、または突出部形式のベースボディ（３２）を有することを特徴とする請求項１から７のいずれか一項に記載の真空ポンプ装置。 8. The vacuum pump device according to claim 1, wherein the connecting element (18) is formed as a clamping element or a protrusion or has a base body (32) in the form of a protrusion. . ポンプフランジは、特に円環形状の溝部を有し、この溝部内に接続要素（１８）の延長部分（３４）が係合することを特徴とする請求項１から８のいずれか一項に記載の真空ポンプ装置。 9. The pump flange according to claim 1, wherein the pump flange has an annular groove, in which the extension part (34) of the connecting element (18) engages. Vacuum pump device. 対抗フランジ（２０）が、独立した、特にはめ込みリングとして形成された中間要素（４２）を有し、この中間要素と接続要素（１８）が固定された状態で相互作用することを特徴とする請求項１から９のいずれか一項に記載の真空ポンプ装置。 The counter flange (20) has an intermediate element (42) formed as a separate, in particular as a ring of engagement, and the intermediate element and the connecting element (18) interact in a fixed manner. Item 10. The vacuum pump device according to any one of Items 1 to 9. 中間要素（４２）内に、少なくとも一つの収容くぼみ（４４）が形成されており、この収容くぼみ内に、接続要素（１８）が固定された状態で係合し、その際、収容くぼみ（４４）が周囲方向で境界づけられているか、または周回する溝部として形成されていることを特徴とする請求項１から１０のいずれか一項に記載の真空ポンプ装置。 At least one receiving recess (44) is formed in the intermediate element (42), and the connecting element (18) is fixedly engaged in the receiving recess, in this case the receiving recess (44). The vacuum pump device according to claim 1, wherein the vacuum pump device is bounded in a peripheral direction or is formed as a circulating groove. 接続要素（１８）が、クランプ要素または突出部として形成されており、または突出部形式のベースボディ（３２）を有すること、および接続要素（１８）が、ねじれに対する保護の為に、真空チャンバーの対抗フランジ（２０）と係合状態とすることが可能である少なくとも一つの歯部を設けられていることを特徴とする請求項１から１１のいずれか一項に記載の真空ポンプ装置の為の接続要素。 The connecting element (18) is formed as a clamping element or protrusion, or has a base body (32) in the form of a protrusion, and the connecting element (18) is provided in the vacuum chamber for protection against twisting. 12. For a vacuum pump device according to any one of the preceding claims, characterized in that it is provided with at least one tooth which can be brought into engagement with the counter flange (20). Connection element. 中間要素（４２）が、固定された状態で接続要素（１８）と相互作用するよう形成されており、その際、特に、中間要素（４２）がはめ込みリングとして形成されていることを特徴とする請求項１から１１のいずれか一項に記載の真空ポンプ装置の為の中間要素。 The intermediate element (42) is formed to interact with the connecting element (18) in a fixed state, in particular, characterized in that the intermediate element (42) is formed as a snap ring. An intermediate element for a vacuum pump device according to any one of the preceding claims. システムが、請求項１２に記載の少なくとも一つの接続要素（１８）を有し、請求項１３に記載の少なくとも一つの中間要素（４２）を有することを特徴とする請求項１から１１のいずれか一項に記載の真空ポンプ装置の為のシステム。 12. The system according to claim 1, wherein the system comprises at least one connecting element (18) according to claim 12 and at least one intermediate element (42) according to claim 13. A system for a vacuum pump device according to one item.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP3171030B1 (en) * 2015-11-19 2020-01-08 Pfeiffer Vacuum Gmbh Vacuum pump

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4699353A (en) * 1986-12-31 1987-10-13 Weyer Paul P Rotary valve actuator
US6050614A (en) * 1996-12-17 2000-04-18 General Electric Company Bolted seal joint assembly
US20050029417A1 (en) * 2003-08-08 2005-02-10 Richard Scheps Mounting bracket for a rotary pump
JP2005090505A (en) * 2003-09-17 2005-04-07 Pfeiffer Vacuum Gmbh Vacuum pump with high-speed rotating rotor
JP2007132346A (en) * 2005-11-10 2007-05-31 Alcatel Securing device for vacuum pump
JP2009500549A (en) * 2005-05-07 2009-01-08 エーリコン ライボルト ヴァキューム ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング Vacuum pump device
EP2133581A2 (en) * 2008-06-12 2009-12-16 Pfeiffer Vacuum GmbH Connecting element
EP2290242A2 (en) * 2009-08-28 2011-03-02 Pfeiffer Vacuum GmbH Vacuum pump

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB2062085A (en) * 1979-10-30 1981-05-20 Pfaudler Werke Ag Clamping Assemblies and Screw Clamps for Use Therewith

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4699353A (en) * 1986-12-31 1987-10-13 Weyer Paul P Rotary valve actuator
US6050614A (en) * 1996-12-17 2000-04-18 General Electric Company Bolted seal joint assembly
US20050029417A1 (en) * 2003-08-08 2005-02-10 Richard Scheps Mounting bracket for a rotary pump
JP2005090505A (en) * 2003-09-17 2005-04-07 Pfeiffer Vacuum Gmbh Vacuum pump with high-speed rotating rotor
JP2009500549A (en) * 2005-05-07 2009-01-08 エーリコン ライボルト ヴァキューム ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング Vacuum pump device
JP2007132346A (en) * 2005-11-10 2007-05-31 Alcatel Securing device for vacuum pump
EP2133581A2 (en) * 2008-06-12 2009-12-16 Pfeiffer Vacuum GmbH Connecting element
EP2290242A2 (en) * 2009-08-28 2011-03-02 Pfeiffer Vacuum GmbH Vacuum pump

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