JP2015162523A - Sheet adhering device and adhering method - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a sheet adhering device by which, even if a plurality of tapered portions are formed in a length direction of an adhesive face in a band-shaped adhesive sheet, the sheet can be adhered while surely positioning the tapered portions relatively to an adherend.SOLUTION: An adhesive sheet AS is band-shaped while including a first adhesive face FA1 and a plurality of first tapered portions TK1 including a first apex TT1 capable of point-contact or line-contact with a first adherend WF1 are provided in a length direction of the first adhesive face FA1. A sheet adhering device 10 includes: supply means 20 for supplying the adhesive sheet AS; pressing means 40 which abuts the first apex TT1 of the adhesive sheet AS supplied by the supply means 20 to the first adherend WF1, applying a pressure in a direction of the first adherend WF1 by means of a pressing surface 42 and adhering the adhesive sheet AS to the first adherend WF1; and detection means 60 capable of detecting the first apex TT1. The supply means 20 is provided so as to locate the first apex TT1 detected by the detection means 60 at a predetermined position in the first adherend WF1.

Description

本発明は、シート貼付装置および貼付方法に関する。   The present invention relates to a sheet sticking apparatus and a sticking method.

従来、半導体製造工程において、半導体ウエハ(以下、単にウエハという場合がある)に接着シートを貼付するシート貼付装置が知られている(例えば、特許文献1参照)。
特許文献1に記載のシート貼付装置は、シート供給装置(供給手段)によって帯状の接着シートを供給し、下部ケース側の第1空間と上部ケース側の第2空間との圧力差により、押圧手段の変形許容部をウエハ(被着体)側に変形させて中央から外周に向かって当該接着シートを被着体に貼付するように構成されている。
2. Description of the Related Art Conventionally, a sheet pasting apparatus for pasting an adhesive sheet on a semiconductor wafer (hereinafter sometimes simply referred to as a wafer) in a semiconductor manufacturing process is known (see, for example, Patent Document 1).
The sheet sticking device described in Patent Document 1 supplies a belt-like adhesive sheet by a sheet supply device (supply means), and presses the pressure difference between the first space on the lower case side and the second space on the upper case side. The deformable portion is deformed to the wafer (adhered body) side, and the adhesive sheet is attached to the adherend from the center toward the outer periphery.

特開2008−66597号公報JP 2008-66597 A

しかしながら、特許文献1に記載されたような従来の装置では、真空雰囲気を作り出す機構や押圧手段を挟んだ第2空間にエアを供給したり排出したりする機構を設ける必要があり、装置が大型化したり、制御が複雑化したりするという不都合がある。
そこで、このような不都合を解消するために、被着体に点接触可能または線接触可能な頂部を有するテーパ部が接着面の長手方向に沿って複数形成された帯状の接着シートを採用し、1のテーパ部の頂部を被着体に当接させた状態から、そのまま接着シートを被着体に押圧して貼付することが考えられる。
しかしながら、このようなテーパ部を設けた帯状の接着シートでは、当該テーパ部を被着体の所定の位置に位置決めして貼付することができないという不都合がある。
However, in the conventional apparatus described in Patent Document 1, it is necessary to provide a mechanism for creating a vacuum atmosphere and a mechanism for supplying and discharging air to and from the second space sandwiching the pressing means. And there is a disadvantage that the control becomes complicated.
Therefore, in order to eliminate such inconvenience, a band-shaped adhesive sheet in which a plurality of tapered portions having a top portion capable of point contact or line contact with the adherend are formed along the longitudinal direction of the adhesive surface is adopted. It is conceivable that the adhesive sheet is pressed and stuck to the adherend as it is from the state in which the top of the taper portion 1 is in contact with the adherend.
However, the belt-like adhesive sheet provided with such a taper portion has a disadvantage that the taper portion cannot be positioned and attached to a predetermined position of the adherend.

本発明の目的は、テーパ部が接着面の長手方向に沿って複数形成された帯状の接着シートであっても、1の当該テーパ部を確実に被着体に対して位置決めして貼付することができるシート貼付装置および貼付方法を提供することにある。   An object of the present invention is to reliably position and attach one taper portion to an adherend even if it is a belt-like adhesive sheet in which a plurality of taper portions are formed along the longitudinal direction of an adhesive surface. It is in providing the sheet sticking apparatus and sticking method which can be performed.

前記目的を達成するために、本発明のシート貼付装置は、第1接着面を備えて帯状に形成され、第1被着体に点接触可能または線接触可能な第1頂部を有する第1テーパ部が前記第1接着面の長手方向に沿って複数設けられた接着シートを供給する供給手段と、前記供給手段で供給された接着シートの前記第1頂部を第1被着体に当接させ、押圧面によって前記第1被着体方向に押圧力を付与して当該接着シートを前記第1被着体に貼付する押圧手段と、前記第1頂部を検知可能な検知手段とを備え、前記供給手段は、前記検知手段で検知した1の前記第1頂部を前記第1被着体の所定の位置に位置決め可能に設けられている、という構成を採用している。   In order to achieve the above object, a sheet sticking apparatus of the present invention has a first taper having a first apex which is formed in a belt shape with a first adhesive surface and can be point-contacted or line-contacted to a first adherend. A supply means for supplying a plurality of adhesive sheets provided along the longitudinal direction of the first adhesive surface, and a first top of the adhesive sheet supplied by the supply means abutting against the first adherend. A pressing means for applying a pressing force in the direction of the first adherend by the pressing surface to stick the adhesive sheet to the first adherend, and a detecting means capable of detecting the first top, The supply means employs a configuration in which the first top portion detected by the detection means is provided so as to be positioned at a predetermined position of the first adherend.

この際、本発明のシート貼付装置では、前記接着シートにおける前記第1接着面の反対側の第2接着面には、第2被着体に点接触可能または線接触可能な第2頂部を有する第2テーパ部が当該接着シートの長手方向に沿って複数設けられ、前記押圧手段の前記押圧面には、前記第2テーパ部の形状を維持可能なテーパ形状維持手段が設けられている、ことが好ましい。
また、本発明のシート貼付装置では、前記押圧手段の前記押圧面には、前記接着シートにおける前記第1接着面の反対側の第2接着面を変形させ、第2被着体に点接触可能または線接触可能な第2頂部を有する第2テーパ部を形成可能なテーパ形状形成手段が設けられている、ことが好ましい。
さらに、本発明のシート貼付装置では、前記第2接着面における前記第2テーパ部と前記押圧面とで形成される領域を減圧可能な減圧手段を備えている、ことが好ましい。
In this case, in the sheet sticking device of the present invention, the second adhesive surface on the opposite side of the first adhesive surface of the adhesive sheet has a second top portion that can make point contact or line contact with the second adherend. A plurality of second tapered portions are provided along the longitudinal direction of the adhesive sheet, and a tapered shape maintaining means capable of maintaining the shape of the second tapered portion is provided on the pressing surface of the pressing means. Is preferred.
In the sheet sticking device of the present invention, the second adhesive surface of the adhesive sheet opposite to the first adhesive surface can be deformed on the pressing surface of the pressing means to make point contact with the second adherend. Or it is preferable that the taper shape formation means which can form the 2nd taper part which has the 2nd top part which can be line-contacted is provided.
Furthermore, in the sheet sticking device of the present invention, it is preferable that a decompression unit capable of decompressing an area formed by the second tapered portion and the pressing surface on the second adhesive surface is provided.

一方、本発明のシート貼付方法は、第1接着面を備えて帯状に形成され、第1被着体に点接触可能または線接触可能な第1頂部を有する第1テーパ部が前記第1接着面の長手方向に沿って複数設けられた接着シートを供給する工程と、前記第1頂部を検知する工程と、検知した1の前記第1頂部を前記第1被着体の所定の位置に位置決めし、押圧面によって前記第1被着体方向に押圧力を付与して前記接着シートを前記第1被着体に貼付する工程とを備えている、という構成を採用している。   On the other hand, in the sheet sticking method of the present invention, a first taper portion having a first apex portion which has a first adhesive surface and is formed in a belt shape and has a first top portion which can be point-contacted or line-contacted to the first adherend is provided. Supplying a plurality of adhesive sheets provided along the longitudinal direction of the surface, detecting the first top, and positioning the detected first top at a predetermined position of the first adherend. And a step of applying a pressing force in the direction of the first adherend by the pressing surface to stick the adhesive sheet to the first adherend.

以上のような本発明によれば、(第1)テーパ部が(第1)接着面の長手方向に沿って複数形成された帯状の接着シートであっても、1の当該(第1)テーパ部を確実に(第1)被着体に対して位置決めして貼付することができる。   According to the present invention as described above, even if the (first) taper portion is a strip-shaped adhesive sheet formed in plural along the longitudinal direction of the (first) adhesive surface, one (first) taper is provided. The portion can be reliably positioned and attached to the (first) adherend.

この際、テーパ形状維持手段または、テーパ形状形成手段を押圧手段の押圧面に設ければ、第2テーパ部を保護しながらまたは、第2テーパ部を形成しながら接着シートを被着体に貼付することができる。
また、第2テーパ部と押圧面とで形成される領域を減圧可能な減圧手段を設ければ、第2接着面の接着剤をテーパ形状維持手段やテーパ形状形成手段内に引き込むことができる。
At this time, if the taper shape maintaining means or the taper shape forming means is provided on the pressing surface of the pressing means, the adhesive sheet is applied to the adherend while protecting the second taper portion or forming the second taper portion. can do.
Further, if a decompression unit capable of decompressing the region formed by the second tapered portion and the pressing surface is provided, the adhesive on the second adhesive surface can be drawn into the tapered shape maintaining unit or the tapered shape forming unit.

本発明の第1実施形態に係るシート貼付装置の側面図。The side view of the sheet sticking apparatus which concerns on 1st Embodiment of this invention. 本発明の第2実施形態に係るシート貼付装置の要部の側面図。The side view of the principal part of the sheet sticking apparatus which concerns on 2nd Embodiment of this invention. 本発明の第3実施形態に係るシート貼付装置の動作説明図。Operation | movement explanatory drawing of the sheet sticking apparatus which concerns on 3rd Embodiment of this invention.

[第1実施形態]
以下、本発明の第1実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、各実施形態での同様の構成および動作については、詳細な説明を省略する。
また、以下において、基準となる図を挙げることなく、例えば、上、下、左、右、または、手前、奥といった方向を示した場合は、全て図1を正規の方向(付した番号が適切な向きとなる方向)から観た場合を基準とし、上、下、左、右方向が紙面に平行な方向であり、前が紙面に直交する手前方向、後が紙面に直交する奥側方向とする。
[First Embodiment]
DESCRIPTION OF EXEMPLARY EMBODIMENTS Hereinafter, a first embodiment of the invention will be described with reference to the drawings.
Detailed description of the same configuration and operation in each embodiment will be omitted.
In addition, in the following, when a direction such as up, down, left, right, near side, or back side is indicated without giving a reference figure, all of FIG. The top, bottom, left, and right directions are parallel to the page, the front is the front direction perpendicular to the page, and the back is the back direction perpendicular to the page. To do.

図1において、シート貼付装置10は、第1接着面FA1を備えて帯状に形成され、第1被着体WF1に点接触可能または線接触可能な第1頂部TT1を有する第1テーパ部TK1が第1接着面FA1の長手方向に沿って複数設けられた接着シートASを供給する供給手段20と、供給手段20で供給された接着シートASの第1頂部TT1を第1被着体WF1の被着面WA1に当接させ、押圧面42によって第1被着体WF1方向に押圧力を付与して当該接着シートASを第1被着体WF1に貼付する押圧手段40と、接着シートASを所定形状に切断することで貼付用シートAS1(図3(C)参照)を形成する切断手段50と、光学センサや超音波センサや磁力センサや赤外線センサ等の非接触型センサ、リミットスイッチ等の接触型センサ、圧力センサ、カメラ等の撮像手段により構成され、第1頂部TT1を検知可能な検知手段60とを備え、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によって第1被着体WF1を支持する支持面72を有するテーブル71を備えた支持手段70の上方に配置されている。
なお、第1接着面FA1を形成する接着剤AD層の反対側の面は、第2接着面FA2とされ、当該第2接着面FA2には、基材シートまたは剥離シートとなる基材BSが仮着されている。また、第1テーパ部TK1は、底面視で円形形状とされ、当該第1テーパ部TK1間には、第1平坦部TF1が形成されている。
In FIG. 1, the sheet sticking device 10 includes a first taper portion TK1 having a first adhesive surface FA1, which is formed in a belt shape, and has a first top portion TT1 that can be point-contacted or line-contacted with the first adherend WF1. A supply means 20 for supplying a plurality of adhesive sheets AS provided along the longitudinal direction of the first adhesive surface FA1, and a first top portion TT1 of the adhesive sheet AS supplied by the supply means 20 is attached to the first adherend WF1. The pressing means 40 that abuts the contact surface WA1 and applies a pressing force in the direction of the first adherend WF1 by the pressing surface 42 to attach the adhesive sheet AS to the first adherend WF1, and the adhesive sheet AS are predetermined. A cutting means 50 that forms a sticking sheet AS1 (see FIG. 3C) by cutting into a shape, contact with a non-contact type sensor such as an optical sensor, an ultrasonic sensor, a magnetic force sensor, an infrared sensor, a limit switch, etc. Type And a detection means 60 that can detect the first top portion TT1 and supports the first adherend WF1 by a decompression means (not shown) such as a decompression pump or a vacuum ejector. Arranged above a support means 70 having a table 71 having a support surface 72.
In addition, the surface on the opposite side of the adhesive agent AD layer that forms the first adhesive surface FA1 is a second adhesive surface FA2, and the base material BS that becomes a base material sheet or a release sheet is formed on the second adhesive surface FA2. Temporarily worn. The first taper portion TK1 has a circular shape in a bottom view, and a first flat portion TF1 is formed between the first taper portions TK1.

供給手段20は、接着シートASの第1接着面FA1が帯状の剥離シートRL上に仮着された原反RSを支持する支持ローラ21と、原反RSを案内する複数のガイドローラ22と、剥離シートRLを折り返し当該剥離シートRLから接着シートASを剥離する剥離手段としての剥離板23と、駆動機器としての回動モータ24によって駆動する駆動ローラ25との間に剥離シートRLを挟み込むピンチローラ26と、図示しない駆動機器によって駆動し、剥離シートRLを回収する第1回収ローラ27と、駆動機器としてのリニアモータ28のスライダ28Aに支持された駆動機器としての回動モータ29によって回動する駆動ローラ30と、駆動ローラ30との間に接着シートASを挟み込むピンチローラ31と、ガイドローラ32と、駆動機器としての回動モータ33によって回動し、貼付用シートAS1の形成により生じた不要接着シートUSを回収する第2回収ローラ34とを備え、検知手段60で検知した第1頂部TT1を第1被着体WF1の所定の位置に位置決め可能に設けられている。
ここで、剥離シートRLには、図1中符号AAで示すように、第1テーパ部TK1の形状に対応した凹部RRが設けられている。
The supply means 20 includes a support roller 21 that supports the original fabric RS in which the first adhesive surface FA1 of the adhesive sheet AS is temporarily attached onto the strip-shaped release sheet RL, and a plurality of guide rollers 22 that guide the original fabric RS. A pinch roller that folds the release sheet RL and sandwiches the release sheet RL between a release plate 23 as a release means for releasing the adhesive sheet AS from the release sheet RL and a driving roller 25 driven by a rotation motor 24 as a drive device. 26, a first collection roller 27 that is driven by a drive device (not shown) and collects the release sheet RL, and is rotated by a rotation motor 29 as a drive device supported by a slider 28A of a linear motor 28 as a drive device. A driving roller 30, a pinch roller 31 that sandwiches the adhesive sheet AS between the driving roller 30, a guide roller 32, A second collection roller 34 that is rotated by a rotation motor 33 as a moving device and collects the unnecessary adhesive sheet US generated by the formation of the sticking sheet AS1, and the first top portion TT1 detected by the detection means 60 is It is provided so that it can be positioned at a predetermined position of one adherend WF1.
Here, the release sheet RL is provided with a recess RR corresponding to the shape of the first taper portion TK1, as indicated by reference numeral AA in FIG.

基材BS、接着剤AD層および剥離シートRLとしては、何ら制限はなく、基材BSは、例えば紙、樹脂、ゴム、木材、金属、陶器、硝子、石材などが例示でき、接着剤AD層は、アクリル系、ゴム系、シリコーン系の粘着剤などが例示できる。
剥離シートRLは、帯状または枚葉状に形成されていてもよく、上記基材BSで例示したものや、上記基材BSで例示したものに、シリコーン系剥離剤、アルキルペンダント系剥離剤、縮合ワックス系剥離剤、フッ素系剥離剤、ポリエステル系剥離剤などの剥離剤を積層したものや、シリコーン樹脂、アルキルペンダント樹脂、縮合ワックス樹脂、フッ素樹脂、ポリエステル樹脂などそのものからなるものが例示できる。
なお、これら基材BS、接着剤AD層および剥離シートRLの厚みは、技術常識に照らし合わせてどのような厚みでもよい。また、第1テーパ部TK1の第1頂部TT1から第1平坦部TF1までの高低差や、凹部RRの深さは、1μm〜5mmのものが例示できるが、剥離シートRLの厚みを考慮してそれ以上でもよいしそれ以下でもよい。
また、接着剤AD層は、第1被着体WF1や第2被着体に押圧するときに流動性があることが好ましく、押圧するときに、当該接着剤AD層のテーパ形状が押し均されて厚みが略一様(略均等)になるとよい。なお、接着剤AD層は、加熱や冷却等の外力を加えることで流動性を発揮するものや流動性が向上するものでもよい。また、被着面側が変形可能なものである場合、接着剤AD層は、被着体に押圧するときに流動性が低くてもよいし流動性がなくてもよい。
The base material BS, the adhesive AD layer, and the release sheet RL are not limited in any way. Examples of the base material BS include paper, resin, rubber, wood, metal, ceramics, glass, and stone. Examples thereof include acrylic, rubber and silicone adhesives.
The release sheet RL may be formed in a strip shape or a sheet-like shape. Examples of the release material RL include those exemplified for the base material BS and those exemplified for the base material BS. Silicone release agents, alkyl pendant release agents, condensed waxes Examples include those obtained by laminating release agents such as a series release agent, a fluorine release agent, and a polyester release agent, and those made of a silicone resin, an alkyl pendant resin, a condensed wax resin, a fluorine resin, a polyester resin, and the like.
The base material BS, the adhesive AD layer, and the release sheet RL may have any thickness in light of technical common sense. Further, the height difference from the first top portion TT1 to the first flat portion TF1 of the first taper portion TK1 and the depth of the concave portion RR can be exemplified by those of 1 μm to 5 mm, but considering the thickness of the release sheet RL It may be more or less.
The adhesive AD layer preferably has fluidity when pressed against the first adherend WF1 or the second adherend, and the taper shape of the adhesive AD layer is smoothed when pressed. The thickness should be substantially uniform (substantially uniform). The adhesive AD layer may be one that exhibits fluidity or improves fluidity by applying an external force such as heating or cooling. Further, when the adherend side is deformable, the adhesive AD layer may have low fluidity or no fluidity when pressed against the adherend.

押圧手段40は、駆動機器としての直動モータ43の出力軸43Aに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段に接続された押圧面42を有する押圧プレート41を備えている。   The pressing means 40 includes a pressing plate 41 that is supported by an output shaft 43A of a direct acting motor 43 as a driving device and has a pressing surface 42 that is connected to a decompression means (not shown) such as a decompression pump or a vacuum ejector.

切断手段50は、押圧プレート41の側面に沿って設けられたレール51上を図示しない駆動機器によって移動するスライダ52と、スライダ52に設けられ、図示しない駆動機器によって昇降可能に設けられた切断刃53とを備えている。   The cutting means 50 includes a slider 52 that moves on a rail 51 provided along the side surface of the pressing plate 41 by a driving device (not shown), and a cutting blade that is provided on the slider 52 and can be moved up and down by a driving device (not shown). 53.

以上のシート貼付装置10において、第1被着体WF1に接着シートASを貼付する手順を説明する。
先ず、図1に示すように、スライダ28Aが右方の二点鎖線で示す初期位置にある状態で、作業者が原反RSを同図に示すようにセットした後、図示しない操作パネルやパーソナルコンピュータ等の入力手段を介して運転開始の信号を入力すると、シート貼付装置10がスタンバイ状態となる。
In the above sheet sticking apparatus 10, the procedure for sticking the adhesive sheet AS to the first adherend WF1 will be described.
First, as shown in FIG. 1, after the operator sets the original fabric RS as shown in the figure in a state where the slider 28A is in the initial position indicated by the two-dot chain line on the right side, an operation panel or personal computer (not shown) When an operation start signal is input via an input means such as a computer, the sheet sticking device 10 is in a standby state.

次いで、人手または多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送手段が支持手段70の支持面72上に第1被着体WF1を載置すると、支持手段70が図示しない減圧手段を駆動し、第1被着体WF1を吸着保持した後、供給手段20が回動モータ24および図示しない駆動機器を駆動し、原反RSを繰り出し、それに同期させて回動モータ29をロックさせた状態で、リニアモータ28および回動モータ33を駆動し、スライダ28Aを左方へ移動させる。これにより、第2回収ローラ34で不要接着シートUSを巻き取りつつ、接着シートASが剥離シートRLから剥離されて引き出される。そして、接着シートASの第1接着面FA1の第1頂部TT1が検知手段60に検知されると、その検知結果を基に、供給手段20が回動モータ24、図示しない駆動機器、リニアモータ28および回動モータ33の駆動時間や移動距離をカウントし、所定のカウントが完了した時点でそれらの駆動を停止する。これにより、第1頂部TT1が第1被着体WF1中央の上方所定位置で停止する。
次に、押圧手段40が直動モータ43を駆動し、図1中実線で示す初期位置にある押圧プレート41を下降させ、当該押圧プレート41で接着シートASを第1被着体WF1に押圧して貼付する。この際、第1頂部TT1を第1被着体WF1に当接させ、そのまま接着シートASを第1被着体WF1に押圧するという1の動作によって、第1接着面FA1と第1被着体WF1との貼付領域を第1頂部TT1から徐々に外縁側に広げ、空気を押し出すようにして第1接着面FA1と第1被着体WF1との接着界面に気泡が形成されないように貼付することができる。
Next, when a transport means (not shown) such as a manual or multi-joint robot or a belt conveyor places the first adherend WF1 on the support surface 72 of the support means 70, the support means 70 drives a decompression means (not shown), 1 After adsorbing and holding the adherend WF1, the supply means 20 drives the rotation motor 24 and a driving device (not shown) to feed out the raw fabric RS, and the rotation motor 29 is locked in synchronization therewith. The motor 28 and the rotation motor 33 are driven to move the slider 28A to the left. Thereby, the adhesive sheet AS is peeled from the release sheet RL and pulled out while the unnecessary adhesive sheet US is wound up by the second collection roller 34. When the first top portion TT1 of the first adhesive surface FA1 of the adhesive sheet AS is detected by the detection means 60, the supply means 20 is based on the detection result, the supply means 20 is the rotation motor 24, a driving device (not shown), the linear motor 28 And the drive time and movement distance of the rotation motor 33 are counted, and when the predetermined count is completed, the drive is stopped. Accordingly, the first top portion TT1 stops at a predetermined position above the center of the first adherend WF1.
Next, the pressing means 40 drives the linear motion motor 43 to lower the pressing plate 41 at the initial position indicated by the solid line in FIG. 1, and presses the adhesive sheet AS against the first adherend WF1 with the pressing plate 41. Affix. At this time, the first adhesive surface FA1 and the first adherend are brought about by one operation of bringing the first top portion TT1 into contact with the first adherend WF1 and pressing the adhesive sheet AS against the first adherend WF1 as it is. Affixing the WF1 area gradually from the first top TT1 to the outer edge side and extruding air so that air bubbles are not formed at the adhesion interface between the first adhesion surface FA1 and the first adherend WF1. Can do.

その後、切断手段50が図示しない駆動機器を駆動し、図1中符号BBで示すように、切断刃53を下降させた後、図示しない駆動機器を駆動し、スライダ52をレール51に沿って移動させることで接着シートASを第1被着体WF1の外縁に沿って切断し、貼付用シートAS1を形成する。次いで、切断手段50が図示しない駆動機器を駆動し、切断刃53を上昇させるとともに、押圧手段40が直動モータ43を駆動し、押圧プレート41を初期位置に復帰させる。   Thereafter, the cutting means 50 drives a driving device (not shown), and, as indicated by reference numeral BB in FIG. 1, the cutting blade 53 is lowered, then the driving device (not shown) is driven, and the slider 52 moves along the rail 51. By doing so, the adhesive sheet AS is cut along the outer edge of the first adherend WF1 to form the sticking sheet AS1. Next, the cutting means 50 drives a drive device (not shown) to raise the cutting blade 53, and the pressing means 40 drives the linear motion motor 43 to return the pressing plate 41 to the initial position.

次に、供給手段20が回動モータ29およびリニアモータ28を駆動し、駆動ローラ30を回転させながらスライダ28Aを初期位置に移動させることで、不要接着シートUSを支持面72から剥離する。その後、支持手段70が図示しない減圧手段の駆動を停止し、人手または図示しない搬送手段が支持手段70の支持面72上から貼付用シートAS1が貼付された第1被着体WF1を取り去り、以降上記同様の動作が繰り返される。   Next, the supply means 20 drives the rotation motor 29 and the linear motor 28, and moves the slider 28A to the initial position while rotating the driving roller 30, whereby the unnecessary adhesive sheet US is peeled from the support surface 72. Thereafter, the support means 70 stops driving the decompression means (not shown), and the manual or conveying means (not shown) removes the first adherend WF1 to which the sticking sheet AS1 is attached from the support surface 72 of the support means 70, and thereafter The same operation as above is repeated.

以上のような実施形態によれば、第1テーパ部TK1が第1接着面FA1の長手方向に沿って複数形成された帯状の接着シートASであっても、1の当該第1テーパ部TK1を確実に第1被着体WF1に対して位置決めして貼付することができる。   According to the embodiment as described above, even if the first taper portion TK1 is a strip-like adhesive sheet AS formed in plural along the longitudinal direction of the first adhesive surface FA1, the first taper portion TK1 of one is formed. The first adherend WF1 can be surely positioned and pasted.

[第2実施形態]
次に、本発明の第2実施形態について説明する。
図2において、シート貼付装置10Aは、第1実施形態のシート貼付装置10に対し、接着シートASの代わりに接着シートASAを貼付する点と、押圧手段40の代わりに押圧手段80を設けた点と、減圧手段90を新たに設けた点とが相違する。
[Second Embodiment]
Next, a second embodiment of the present invention will be described.
In FIG. 2, the sheet sticking apparatus 10 </ b> A is provided with a point for sticking the adhesive sheet ASA instead of the adhesive sheet AS and a pressing means 80 instead of the pressing means 40 to the sheet sticking apparatus 10 of the first embodiment. And the point that the decompression means 90 is newly provided is different.

接着シートASAは、第1接着面FA1と第2接着面FA12とを備えて帯状に形成され、第1接着面FA1は、第1実施形態と同様に帯状の剥離シートRL上に仮着されるとともに、第2接着面FA12は、第1頂部TT1および第1テーパ部TK1に表裏の位置関係においてそれぞれ対応する位置に、図示しない第2被着体に点接触可能または線接触可能な第2頂部TT2を有する第2テーパ部TK2が当該接着シートASAの長手方向に沿って複数設けられている。第2テーパ部TK2は、上面視で円形形状とされ、当該第2テーパ部TK2間には、第2平坦部TF2が形成され、その上面にカバーシートCSが仮着されている。   The adhesive sheet ASA is provided with a first adhesive surface FA1 and a second adhesive surface FA12, and is formed in a strip shape. The first adhesive surface FA1 is temporarily attached onto the strip-shaped release sheet RL as in the first embodiment. In addition, the second adhesive surface FA12 has a second top portion that can be point-contacted or line-contacted with a second adherend (not shown) at positions corresponding to the first top portion TT1 and the first taper portion TK1 in the front-back positional relationship. A plurality of second taper portions TK2 having TT2 are provided along the longitudinal direction of the adhesive sheet ASA. The second taper portion TK2 has a circular shape when viewed from above, a second flat portion TF2 is formed between the second taper portions TK2, and a cover sheet CS is temporarily attached to the upper surface.

押圧手段80は、第1実施形態の押圧手段40に対し、押圧面42に第2テーパ部TK2の形状を維持可能なテーパ形状維持手段85を備えている。
テーパ形状維持手段85は、第2テーパ部TK2の形状に対応し、第2頂部TT2および第2テーパ部TK2それぞれの形状を維持する頂部維持部85Aおよびテーパ維持部85Bを備えている。テーパ形状維持手段85の高低差は、1μm〜5mmのものが例示できるが、それ以上でもよいしそれ以下でもよい。また、テーパ形状維持手段85は、第2テーパ部TK2の形状を維持可能であればよいので、当該第2テーパ部TK2の形状に対応した形状(同じ形状)でもよいし、対応しない形状(異なる形状)であってもよい。テーパ形状維持手段85が第2テーパ部TK2の形状に対応しない形状の場合、接着シートASAを第1被着体WF1に押圧する際、第2テーパ部TK2と押圧面42とで形成される領域を加圧する加圧ポンプやタービン等の加圧手段を設けてもよい。
減圧手段90は、第2テーパ部TK2と押圧面42とで形成される領域を減圧可能に構成され、テーパ形状維持手段85の頂部維持部85Aに設けられた孔90Aだけで構成されてもよいし、当該孔90Aを介して強制的に減圧する減圧ポンプや真空エジェクタ等の減圧装置90Bを含んで構成されてもよい。なお、減圧手段90を孔90Aだけで構成する場合、当該孔は、有り底でも底なしでもよい。
The pressing unit 80 includes a tapered shape maintaining unit 85 that can maintain the shape of the second tapered portion TK2 on the pressing surface 42 with respect to the pressing unit 40 of the first embodiment.
The tapered shape maintaining means 85 includes a top maintaining portion 85A and a taper maintaining portion 85B that correspond to the shape of the second tapered portion TK2 and maintain the shapes of the second top portion TT2 and the second tapered portion TK2. The height difference of the taper shape maintaining means 85 can be exemplified by 1 μm to 5 mm, but may be more or less. Further, the taper shape maintaining means 85 only needs to be able to maintain the shape of the second taper portion TK2, and therefore may have a shape corresponding to the shape of the second taper portion TK2 (the same shape) or a shape that does not correspond (different). Shape). When the taper shape maintaining means 85 has a shape that does not correspond to the shape of the second taper portion TK2, a region formed by the second taper portion TK2 and the pressing surface 42 when the adhesive sheet ASA is pressed against the first adherend WF1. A pressurizing means such as a pressurizing pump or a turbine for pressurizing the pressure may be provided.
The decompression means 90 may be configured to be able to decompress the area formed by the second taper portion TK2 and the pressing surface 42, and may be composed only of the hole 90A provided in the top portion maintenance portion 85A of the taper shape maintaining means 85. In addition, a pressure reducing device 90B such as a pressure reducing pump or a vacuum ejector forcibly reducing the pressure through the hole 90A may be included. In addition, when the decompression means 90 is comprised only by the hole 90A, the said hole may have a bottom or a bottom.

以上のシート貼付装置10Aにおいて、第1被着体WF1に接着シートASAを貼付する手順は、第1実施形態と同様の動作によって、第1頂部TT1が第1被着体WF1中央の上方で停止すると、押圧手段80が減圧手段90と直動モータ43とを駆動し、押圧プレート41を下降させ、テーパ形状維持手段85内に第2テーパ部TK2を強制的に引き込む。その後も押圧手段80が直動モータ43を駆動し、第1実施形態と同様の動作によって接着シートASAを第1被着体WF1に貼付し、貼付用シートAS1が貼付された第1被着体WF1を取り去り、以降上記同様の動作が繰り返される。なお、減圧手段90を設けない場合は、テーパ形状維持手段85内に第2テーパ部TK2を強制的に引き込むことなく、押圧プレート41の下降に追従して第2テーパ部TK2がテーパ形状維持手段85内に入り込み、上記と同様の貼付が行われる。これにより、第2テーパ部TK2を保護しながら貼付用シートAS1を第1被着体WF1に貼付することができる。なお、第2テーパ部TK2は、カバーシートCSを剥離した後、第2頂部TT2を図示しない第2被着体に当接させ、そのまま接着シートASAまたは貼付用シートAS1を第2被着体に押圧するという1の動作によって、第2接着面FA12と第2被着体との貼付領域を第2頂部TT2から徐々に外縁側に広げ、空気を押し出すようにして第2接着面FA12と第2被着体との接着界面に気泡が形成されないように貼付することができる。
以上のような第2実施形態でも、第1実施形態と同様の効果を得ることができる。
In the above-described sheet sticking apparatus 10A, the procedure for sticking the adhesive sheet ASA to the first adherend WF1 is the same as in the first embodiment, and the first top TT1 is stopped above the center of the first adherend WF1. Then, the pressing unit 80 drives the pressure reducing unit 90 and the linear motion motor 43 to lower the pressing plate 41 and forcibly pull the second tapered portion TK2 into the tapered shape maintaining unit 85. After that, the pressing means 80 drives the linear motion motor 43, the adhesive sheet ASA is pasted on the first adherend WF1 by the same operation as in the first embodiment, and the first adherend to which the sticking sheet AS1 is pasted. WF1 is removed, and thereafter the same operation as described above is repeated. When the pressure reducing means 90 is not provided, the second taper portion TK2 follows the lowering of the pressing plate 41 without forcibly pulling the second taper portion TK2 into the taper shape maintaining means 85, and the taper shape maintaining means. 85, and sticking similar to the above is performed. Accordingly, the sticking sheet AS1 can be stuck to the first adherend WF1 while protecting the second taper portion TK2. In addition, after peeling cover sheet CS, 2nd taper part TK2 makes 2nd top part TT2 contact | abut to the 2nd to-be-adhered body which is not shown in figure, and adhesive sheet ASA or sticking sheet AS1 is made into a 2nd to-be-adhered body as it is. By the first operation of pressing, the sticking area between the second adhesive surface FA12 and the second adherend is gradually expanded from the second top portion TT2 to the outer edge side, and the air is pushed out so as to push out the air. It can stick so that a bubble may not be formed in the adhesion interface with a to-be-adhered body.
Even in the second embodiment as described above, the same effects as in the first embodiment can be obtained.

[第3実施形態]
次に、本発明の第3実施形態について説明する。
図3(A)において、シート貼付装置10Bは、第2実施形態のシート貼付装置10Aに対し、接着シートASAの代わりに接着シートASを貼付する点と、押圧手段80の代わりに押圧手段100を設けた点とが相違する。
押圧手段100は、第2実施形態のテーパ形状維持手段85の代わりに、接着シートASにおける第2接着面FA2を変形させ、図示しない第2被着体に点接触可能または線接触可能な第2頂部TT2を有する第2テーパ部TK12を形成可能なテーパ形状形成手段105を設けた点と、押圧プレート41の内部に設けられ接着シートASの接着剤AD層の変形を促進させる変形促進手段106を新たに設けた点とが相違する。なお、第2テーパ部TK12は、上面視で円形形状とされる。
[Third Embodiment]
Next, a third embodiment of the present invention will be described.
In FIG. 3A, the sheet sticking apparatus 10B includes a point for sticking the adhesive sheet AS instead of the adhesive sheet ASA and a pressing means 100 instead of the pressing means 80 to the sheet sticking apparatus 10A of the second embodiment. It differs from the provided point.
The pressing unit 100 deforms the second adhesive surface FA2 of the adhesive sheet AS in place of the tapered shape maintaining unit 85 of the second embodiment, and is capable of making point contact or line contact with a second adherend (not shown). The point which provided the taper shape formation means 105 which can form 2nd taper part TK12 which has the top part TT2, and the deformation | transformation acceleration | stimulation means 106 which is provided inside the press plate 41 and accelerates | stimulates deformation | transformation of adhesive agent AD layer of the adhesive sheet AS. It is different from the newly provided point. The second taper portion TK12 has a circular shape when viewed from above.

テーパ形状形成手段105は、基本的にテーパ形状維持手段85と同等である。
変形促進手段106としては、コイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱手段、ペルチェ素子やヒートパイプの冷却側等の冷却手段、光照射手段、マイクロ波照射手段、紫外線照射手段、赤外線照射手段、マイクロ波照射手段、X線照射手段、超音波振動装置や偏心モータ等の振動付与装置等、接着剤AD層の特性によって適宜選択することができ、接着剤ADを軟化させたり寄せ集めたりすることで、当該接着剤ADが所定形状に変形することを促進させるものであり、本実施形態では、加熱手段が採用されている。なお、変形促進手段106は、押圧プレート41の外部に設けてもよい。
The tapered shape forming means 105 is basically equivalent to the tapered shape maintaining means 85.
As the deformation promoting means 106, a heating means such as a coil heater or a heat pipe heating side, a cooling means such as a Peltier element or a cooling side of a heat pipe, a light irradiation means, a microwave irradiation means, an ultraviolet irradiation means, an infrared irradiation means, It can be selected appropriately according to the characteristics of the adhesive AD layer, such as microwave irradiation means, X-ray irradiation means, vibration applying devices such as ultrasonic vibration devices and eccentric motors, etc., and softening or gathering the adhesive AD Thus, the adhesive AD is promoted to be deformed into a predetermined shape, and in this embodiment, a heating means is employed. The deformation promoting means 106 may be provided outside the pressing plate 41.

以上のシート貼付装置10Bにおいて、第1被着体WF1に接着シートASを貼付する手順は、基本的に第2実施形態と同様に行われ、テーパ形状形成手段105内に接着シートASを強制的に引き込んだときや、接着シートASを第1被着体WF1に押圧したときに、押圧手段100が変形促進手段106を駆動し、接着シートASの接着剤AD層の変形を促進させて第2接着面FA2に第2頂部TT2を有する第2テーパ部TK2を形成するようになっている。これにより、第2テーパ部TK2を形成しながら貼付用シートAS1を第1被着体WF1に貼付することができる。
以上のような第3実施形態でも、第1、第2実施形態と同様の効果を得ることができる。
In the above-described sheet sticking apparatus 10B, the procedure for sticking the adhesive sheet AS to the first adherend WF1 is basically performed in the same manner as in the second embodiment, and the adhesive sheet AS is forcibly provided in the tapered shape forming unit 105. Or when the adhesive sheet AS is pressed against the first adherend WF1, the pressing means 100 drives the deformation promoting means 106 to promote the deformation of the adhesive AD layer of the adhesive sheet AS, and the second. A second tapered portion TK2 having a second top portion TT2 is formed on the adhesive surface FA2. Accordingly, the sticking sheet AS1 can be attached to the first adherend WF1 while forming the second taper portion TK2.
Even in the third embodiment as described above, the same effects as those in the first and second embodiments can be obtained.

以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれる。   As described above, the best configuration, method and the like for carrying out the present invention have been disclosed in the above description, but the present invention is not limited to this. That is, the invention has been illustrated and described with particular reference to certain specific embodiments, but without departing from the spirit and scope of the invention, Various modifications can be made by those skilled in the art in terms of material, quantity, and other detailed configurations. In addition, the description of the shape, material, and the like disclosed above is exemplary for ease of understanding of the present invention, and does not limit the present invention. The description by the name of the member which remove | excluded the limitation of some or all of such restrictions is included in this invention.

例えば、検知手段60は、接着シートAS、ASAの下方、側方、上方または斜め方向から第1頂部TT1を検知する構成とりたり、それら複数の方向から第1頂部TT1を検知する構成としたり、上記で例示した各センサや撮像手段等を適宜組み合わせて第1頂部TT1を検知する構成としたりしてもよい。
また、検知手段は、第2実施形態における第2頂部TT2を検知可能とし、当該検知手段で検知した第2頂部TT2を供給手段20が第1被着体WF1の所定の位置に位置決め可能に設けてもよい。
さらに、第1〜第3実施形態において、押圧プレート41の押圧面42に、接着シートAS、ASAを吸着保持したり、メカ的に保持したりする保持手段を設けてもよい。
また、検知手段は、接着シートAS、ASA上に第1頂部TT1や第2頂部TT2に対応して設けられた所定の印字や孔、刻印等の印を検知することで、間接的に第1頂部TT1や第2頂部TT2を検知するように構成してもよい。
また、切断手段50は、レーザカッタや圧縮エア切断、圧縮水切断等の他の切断手段でもよいし、押圧プレート41の側面に沿わせて回転させることなく、当該押圧プレート41から独立して自由に移動可能な例えば駆動機器としての多関節ロボット等によって切断刃53やレーザカッタ等の切断部材を移動させる構成でもよい。
また、第1、第2実施形態において、変形促進手段106を設けてもよいし、第2、第3実施形態において、減圧手段90を設けなくてもよい。
また、第1〜第3実施形態において、接着シートAS、ASAを第1被着体WF1に貼付する際、図示しない駆動機器を介してテーブル71を上昇させてもよいし、押圧プレート41とテーブル71との両方を移動させて貼付するように構成してもよい。
さらに、第1、第2テーパ部TK1、TK2またはTK12は、底面視または上面視で円形形状でなく例えば、多角形、楕円形等どのような形状であってもよいし、第1被着体WF1または第2被着体の外形に沿う形状であってもよいし、当該外形に沿わない形状であってもよい。
また、接着シートAS、ASAに、第1、第2平坦部TF1、TF2が形成されていなくてもよい。
さらに、第2テーパ部TK2、TK12の高低差は、1μm〜5mmのものが例示できるが、それ以上でもよいしそれ以下でもよい。
さらに、第1頂部TT1の形状と第2頂部TT2との形状は同じであってもよいし、異なっていてもよいし、これらのような構成において一方の面に点接触可能な頂部を設け、他方の面に線接触可能な頂部を設けてもよい。
また、本発明における点接触可能または線接触可能な第1、第2頂部の位置は、第1、第2テーパ部の中心でもよいし、当該中心からずれていてもよい。
さらに、各実施形態において、剥離手段は、丸棒やローラ等で構成してもよい。
また、第1被着体WF1に貼付された接着シートASを他の切断装置や人手で所定形状に切断する場合、切断手段50は設けなくてもよい。
また、支持手段70は、第1被着体WF1をメカチャック等で挟み込んで当該第1被着体WF1を保持する構成でもよい。
さらに、第1頂部TT1を停止させる位置は、第1被着体WF1の中心や当該中心から外れた位置でもよい。
また、第2テーパ部TK2の第2頂部TT2は、1の第2被着体に対して1でもよいし複数でもよい。
さらに、第1頂部TT1および第1テーパ部TK1の位置は、表裏の位置関係において第2頂部TT2および第2テーパ部TK2の位置とずれていてもよい。
また、第1、第2頂部TT1、TT2の位置は、第1、第2被着体に対して何れの位置に当接するものでもよい。
さらに、貼付用シートAS1は、第1被着体WF1の外縁に沿った形状でなく、例えば、第1被着体WF1の外縁よりも内側や外側で切断されてもよく、例えば、円形、多角形、楕円形等どのような形状であってもよい。
また、第1、第2テーパ部TK1、TK2またはTK12は、2つの面が所定の角度で繋がり、当該繋がり部によって第1被着体WF1に線接触可能な第1頂部TT1を形成してもよく、それら2つの面は側面視で湾曲したり、折れ曲がったりした形状でもよいし、円錐形状や角錐形状などの頂点によって第1被着体WF1に点接触可能な第1頂部TT1を形成してもよく、それら錐面は側面視で湾曲したり、折れ曲がったりした形状でもよい。
さらに、テーパ形状維持手段やテーパ形状形成手段は、2つの面が所定の角度で繋がり、当該繋がり部によって頂部維持部85Aを形成してもよく、それら2つの面は側面視で湾曲したり、折れ曲がったりした形状でもよいし、円錐形状や角錐形状などの頂点によって頂部維持部85Aを形成してもよく、それら錐面は側面視で湾曲したり、折れ曲がったりした形状でもよい。
For example, the detection means 60 may be configured to detect the first top portion TT1 from the lower, side, upper, or oblique directions of the adhesive sheet AS, ASA, or may be configured to detect the first top portion TT1 from the plurality of directions. It may be configured to detect the first top portion TT1 by appropriately combining the sensors exemplified above and the imaging means.
In addition, the detection means can detect the second top portion TT2 in the second embodiment, and the supply means 20 is provided so that the second top portion TT2 detected by the detection means can be positioned at a predetermined position of the first adherend WF1. May be.
Furthermore, in the first to third embodiments, the pressing surface 42 of the pressing plate 41 may be provided with a holding unit that holds the adhesive sheets AS and ASA by suction or mechanically holds them.
Further, the detection means indirectly detects the first markings, holes, engraving marks, and the like provided on the adhesive sheets AS and ASA corresponding to the first top portion TT1 and the second top portion TT2, thereby indirectly providing the first. You may comprise so that top part TT1 and 2nd top part TT2 may be detected.
Further, the cutting means 50 may be other cutting means such as a laser cutter, compressed air cutting, compressed water cutting, etc., and can be freely independent of the pressing plate 41 without rotating along the side surface of the pressing plate 41. For example, a cutting member such as a cutting blade 53 or a laser cutter may be moved by an articulated robot as a driving device.
In the first and second embodiments, the deformation promoting means 106 may be provided, and in the second and third embodiments, the decompression means 90 may not be provided.
Moreover, in 1st-3rd embodiment, when sticking adhesive sheet AS and ASA to the 1st to-be-adhered body WF1, you may raise the table 71 via the drive device which is not shown in figure, and the press plate 41 and the table You may comprise so that both 71 may be moved and affixed.
Further, the first and second taper portions TK1, TK2, or TK12 may have any shape such as a polygon or an ellipse instead of a circular shape in a bottom view or a top view, or a first adherend. A shape along the outer shape of WF1 or the second adherend may be used, or a shape not along the outer shape may be used.
Further, the first and second flat portions TF1 and TF2 may not be formed on the adhesive sheets AS and ASA.
Furthermore, although the height difference of 2nd taper part TK2 and TK12 can illustrate a thing of 1 micrometer-5 mm, it may be more or less.
Further, the shape of the first top portion TT1 and the shape of the second top portion TT2 may be the same or different, and in such a configuration, a top portion capable of point contact is provided on one surface, You may provide the top part which can be line-contacted on the other surface.
In addition, the positions of the first and second apexes capable of point contact or line contact in the present invention may be the centers of the first and second taper portions, or may be shifted from the centers.
Furthermore, in each embodiment, the peeling means may be constituted by a round bar, a roller, or the like.
Further, when the adhesive sheet AS attached to the first adherend WF1 is cut into a predetermined shape by another cutting apparatus or manually, the cutting means 50 may not be provided.
Further, the support means 70 may be configured to hold the first adherend WF1 by sandwiching the first adherend WF1 with a mechanical chuck or the like.
Further, the position at which the first top portion TT1 is stopped may be the center of the first adherend WF1 or a position off the center.
Further, the second top portion TT2 of the second taper portion TK2 may be one or plural for one second adherend.
Furthermore, the positions of the first top portion TT1 and the first taper portion TK1 may be shifted from the positions of the second top portion TT2 and the second taper portion TK2 in the front-back positional relationship.
Further, the positions of the first and second top portions TT1 and TT2 may be in contact with the first and second adherends at any position.
Furthermore, the sticking sheet AS1 is not shaped along the outer edge of the first adherend WF1, but may be cut inside or outside the outer edge of the first adherend WF1, for example, circular, Any shape such as a square or an ellipse may be used.
Further, the first, second taper portions TK1, TK2, or TK12 are formed by connecting the two surfaces at a predetermined angle and forming the first top portion TT1 that can be in line contact with the first adherend WF1 by the connection portion. The two surfaces may be curved or bent in a side view, and the first apex TT1 that can make point contact with the first adherend WF1 is formed by the apex of a conical shape or a pyramid shape. The conical surfaces may be curved or bent in a side view.
Furthermore, the taper shape maintaining means and the taper shape forming means may be formed by connecting two surfaces at a predetermined angle and forming the top maintaining portion 85A by the connecting portion, and these two surfaces are curved in a side view, A bent shape may be used, or the apex maintaining portion 85A may be formed by apexes such as a conical shape or a pyramid shape, and the conical surfaces may be curved or bent in a side view.

さらに、本発明における接着シートおよび被着体の材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、貼付用シートAS1は、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよく、感熱接着性の接着シートが採用された場合は、当該接着シートを加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプ等の加熱手段を設けるといった適宜な方法で接着されればよい。また、このような接着シートは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材と接着剤層との間に中間層を有するもの、基材の上面にカバー層を有する等3層以上のもの、更には、基材を接着剤層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。また、被着体としては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂板等、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートを機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意の形状の任意のシート、フィルム、テープ等を前述のような任意の被着体に貼付することができる。   Further, the material, type, shape, etc. of the adhesive sheet and adherend in the present invention are not particularly limited. For example, the sticking sheet AS1 may be a circle, an ellipse, a polygon such as a triangle or a quadrangle, or other shapes, or may be of an adhesive form such as pressure-sensitive adhesiveness or heat-sensitive adhesiveness. When a heat-sensitive adhesive sheet is employed, it may be bonded by an appropriate method such as providing a heating means such as an appropriate coil heater or heat pipe for heating the adhesive sheet. Such an adhesive sheet is, for example, a single layer having only an adhesive layer, having an intermediate layer between the substrate and the adhesive layer, and having a cover layer on the upper surface of the substrate. Or a so-called double-sided adhesive sheet that can peel the substrate from the adhesive layer, and the double-sided adhesive sheet has a single-layer or multiple-layer intermediate layer, It may be a single layer or multiple layers without an intermediate layer. Examples of the adherend include, for example, foods, resin containers, semiconductor wafers such as silicon semiconductor wafers and compound semiconductor wafers, circuit board, information recording substrates such as optical disks, glass plates, steel plates, ceramics, wood plates or resin plates, Arbitrary forms of members and articles can also be targeted. It should be noted that the adhesive sheet is replaced with functional and intended readings, for example, any shape such as information description label, decorative label, protective sheet, dicing tape, die attach film, die bonding tape, recording layer forming resin sheet Any sheet, film, tape or the like can be attached to any adherend as described above.

本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、供給手段は、第1接着面を備えて帯状に形成され、第1被着体に点接触可能または線接触可能な第1頂部を有する第1テーパ部が前記第1接着面の長手方向に沿って複数設けられた接着シートを供給するものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせ、その技術範囲内のものであればなんら限定されることはない(他の手段および工程についての説明は省略する)。
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる(実施形態で例示したものと重複するものもある)。
The means and steps in the present invention are not limited in any way as long as they can perform the operations, functions, or steps described with respect to those means and steps. The process is not limited at all. For example, the supply means has a first adhesive surface and is formed in a belt shape, and a first taper portion having a first apex that can be point-contacted or line-contacted with the first adherend is a longitudinal direction of the first adhesive surface. As long as it supplies a plurality of adhesive sheets along the line, there is no limitation as long as it is within the technical scope in light of the technical common sense at the time of filing (for other means and processes). (Description is omitted).
The drive device in the embodiment includes an electric device such as a rotation motor, a linear motion motor, a linear motor, a single axis robot, an articulated robot, an actuator such as an air cylinder, a hydraulic cylinder, a rodless cylinder, and a rotary cylinder. In addition to these, a combination of them directly or indirectly may be employed (some of them overlap with those exemplified in the embodiment).

10、10A、10B…シート貼付装置
20…供給手段
40、80、100…押圧手段
42…押圧面
60…検知手段
85…テーパ形状維持手段
90…減圧手段
105…テーパ形状形成手段
AS、ASA…接着シート
FA1…第1接着面
FA2、FA12…第2接着面
TK1、TK2、TK12…第1、第2、第2テーパ部
TT1、TT2…第1、第2頂部
WA1…被着面
WF1…第1被着体
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10, 10A, 10B ... Sheet sticking apparatus 20 ... Supply means 40, 80, 100 ... Pressing means 42 ... Pressing surface 60 ... Detection means 85 ... Tapered shape maintaining means 90 ... Decompression means 105 ... Tapered shape forming means AS, ASA ... Adhesion Sheet FA1... First adhesive surface FA2, FA12. Second adhesive surface TK1, TK2, TK12... First, second and second taper portions TT1, TT2... First and second top portions WA1. Adherend

Claims (5)

第1接着面を備えて帯状に形成され、第1被着体に点接触可能または線接触可能な第1頂部を有する第1テーパ部が前記第1接着面の長手方向に沿って複数設けられた接着シートを供給する供給手段と、
前記供給手段で供給された接着シートの前記第1頂部を第1被着体に当接させ、押圧面によって前記第1被着体方向に押圧力を付与して当該接着シートを前記第1被着体に貼付する押圧手段と、
前記第1頂部を検知可能な検知手段とを備え、
前記供給手段は、前記検知手段で検知した1の前記第1頂部を前記第1被着体の所定の位置に位置決め可能に設けられていることを特徴とするシート貼付装置。
A plurality of first taper portions having a first apex portion which is formed in a belt shape with a first adhesive surface and has a first apex that can be point-contacted or line-contacted with the first adherend are provided along the longitudinal direction of the first adhesive surface. Supply means for supplying the adhesive sheet,
The first top portion of the adhesive sheet supplied by the supply means is brought into contact with the first adherend, and a pressing force is applied in the direction of the first adherend by the pressing surface to attach the adhesive sheet to the first adherend. A pressing means to be applied to the body;
Detecting means capable of detecting the first top,
The sheet feeding apparatus, wherein the supply means is provided so that the first top portion detected by the detection means can be positioned at a predetermined position of the first adherend.
前記接着シートにおける前記第1接着面の反対側の第2接着面には、第2被着体に点接触可能または線接触可能な第2頂部を有する第2テーパ部が当該接着シートの長手方向に沿って複数設けられ、
前記押圧手段の前記押圧面には、前記第2テーパ部の形状を維持可能なテーパ形状維持手段が設けられていることを特徴とする請求項1に記載のシート貼付装置。
On the second adhesive surface opposite to the first adhesive surface of the adhesive sheet, a second taper portion having a second apex that can be point-contacted or line-contacted with the second adherend is provided in the longitudinal direction of the adhesive sheet. Are provided along with
The sheet sticking device according to claim 1, wherein the pressing surface of the pressing means is provided with a tapered shape maintaining means capable of maintaining the shape of the second tapered portion.
前記押圧手段の前記押圧面には、前記接着シートにおける前記第1接着面の反対側の第2接着面を変形させ、第2被着体に点接触可能または線接触可能な第2頂部を有する第2テーパ部を形成可能なテーパ形状形成手段が設けられていることを特徴とする請求項1に記載のシート貼付装置。   The pressing surface of the pressing means has a second apex that deforms the second adhesive surface of the adhesive sheet opposite to the first adhesive surface and can be point-contacted or line-contacted to the second adherend. The sheet sticking device according to claim 1, further comprising a taper shape forming unit capable of forming the second taper portion. 前記第2接着面における前記第2テーパ部と前記押圧面とで形成される領域を減圧可能な減圧手段を備えていることを特徴とする請求項2または請求項3に記載のシート貼付装置。   4. The sheet sticking device according to claim 2, further comprising a decompression unit capable of decompressing a region formed by the second tapered portion and the pressing surface on the second adhesive surface. 5. 第1接着面を備えて帯状に形成され、第1被着体に点接触可能または線接触可能な第1頂部を有する第1テーパ部が前記第1接着面の長手方向に沿って複数設けられた接着シートを供給する工程と、
前記第1頂部を検知する工程と、
検知した1の前記第1頂部を前記第1被着体の所定の位置に位置決めし、押圧面によって前記第1被着体方向に押圧力を付与して前記接着シートを前記第1被着体に貼付する工程とを備えていることを特徴とするシート貼付方法。
A plurality of first taper portions having a first apex portion which is formed in a belt shape with a first adhesive surface and has a first apex that can be point-contacted or line-contacted with the first adherend are provided along the longitudinal direction of the first adhesive surface. Supplying an adhesive sheet,
Detecting the first top;
The detected first top portion is positioned at a predetermined position of the first adherend, and a pressing force is applied to the first adherend by the pressing surface to attach the adhesive sheet to the first adherend. And a step of sticking to the sheet.
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