JP2015157733A - Method for producing chemically strengthened glass plate - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、化学強化ガラス板の製造方法に関する。 The present invention relates to a method for producing a chemically strengthened glass sheet.
スマートフォンなどの携帯電話やPDAなどの携帯機器において、ディスプレイを保護するため、カバーガラスが用いられる。近年、携帯機器の薄型化・軽量化への技術が要求され、カバーガラスの軽量化及び薄板化が進行している。 In a mobile phone such as a smartphone or a portable device such as a PDA, a cover glass is used to protect the display. In recent years, technology for reducing the thickness and weight of portable devices has been demanded, and cover glass has been reduced in weight and thickness.
このようなカバーガラスの製造は、ガラス素板を所定形状に切断、化学強化した後に主平面について研磨等を行うことにより製造される(例えば、特許文献1参照。)。 Such a cover glass is manufactured by cutting a glass base plate into a predetermined shape and chemically strengthening, and then polishing the main plane (see, for example, Patent Document 1).
また、市場の拡大に応じて化学強化ガラスをより効率良く製造することが求められている。 In addition, there is a demand for more efficient production of chemically strengthened glass as the market expands.
ガラス板の主平面を研磨すると、上面と下面との研磨レートの差異からガラス板に反りが発生する虞がある。一般的なガラス板の製造方法においては、化学強化前にも主平面の研磨は実施されるため、強化前の研磨で発生したガラス板の反りを強化後の研磨でさらに増大させてしまう虞が出てくる。 When the main plane of the glass plate is polished, the glass plate may be warped due to a difference in polishing rate between the upper surface and the lower surface. In a general method for producing a glass plate, the main plane is polished before chemical strengthening, so that the warpage of the glass plate generated by polishing before strengthening may be further increased by polishing after strengthening. Come out.
強化前の研磨で発生した反りを低減する向きとなるように強化後の研磨工程においてガラス板を載置するには都度ガラス板の反り状態を確認する工程を実施しなければならず、製品の製造のスループットを確実に低下させてしまう。 In order to place the glass plate in the polishing process after strengthening so as to reduce the warp generated by polishing before strengthening, a process of checking the warpage state of the glass plate must be performed each time, It will certainly reduce the production throughput.
本発明の一態様の化学強化ガラス板の製造方法は、表裏の主面と、前記表裏の主面間を接続する端面とを有する化学強化ガラス板の製造方法であって、化学強化後に、前記表裏の主面をショアA硬度が70以上95以下の研磨パッドを用いて研磨をする工程を備えることを特徴とする。 The method for producing a chemically strengthened glass sheet according to one aspect of the present invention is a method for producing a chemically strengthened glass sheet having a main surface on the front and back sides and an end surface connecting between the main surfaces of the front and back surfaces. The method includes a step of polishing the front and back main surfaces using a polishing pad having a Shore A hardness of 70 to 95.
また、本発明の別態様の化学強化ガラス板の製造方法は、表裏の主面と、前記表裏の主面間を接続する端面とを有するガラス板を用意する工程と、前記ガラス板の表裏の主面を研磨する工程と、研磨した前記ガラス板を化学強化し、化学強化ガラス板とする工程と、前記化学強化ガラス板の表裏の主面を研磨する工程と、を備えることを特徴とする化学強化ガラス板の製造方法。 Moreover, the manufacturing method of the chemically strengthened glass plate of another aspect of the present invention includes a step of preparing a glass plate having front and back main surfaces and an end surface connecting the main surfaces of the front and back surfaces, and the front and back surfaces of the glass plate. It comprises a step of polishing a main surface, a step of chemically strengthening the polished glass plate to form a chemically tempered glass plate, and a step of polishing main surfaces of the front and back surfaces of the chemically tempered glass plate. A method for producing a chemically strengthened glass plate.
本発明の一態様に係るガラス板の製造方法によれば、反りを低減した化学強化ガラス板を効率良く製造することが出来る。 According to the manufacturing method of the glass plate which concerns on 1 aspect of this invention, the chemically strengthened glass plate which reduced curvature can be manufactured efficiently.
以下、本発明の化学強化ガラス板の製造方法の一実施形態について図面を参照して説明する。図1乃至図3は化学強化ガラス板の製造工程における断面を模式的に示した断面図である。 Hereinafter, an embodiment of a method for producing a chemically strengthened glass sheet of the present invention will be described with reference to the drawings. 1 to 3 are cross-sectional views schematically showing a cross-section in the manufacturing process of the chemically strengthened glass plate.
図1に示すように、両面研磨装置(図示せず)に設けられた研磨パッド10の間にガラス板20を載置し、研磨を行う。研磨パッド10は、軟質研磨パッドであり、4.5mm厚に積層した硬度がショアA硬度で45以上70未満である。45未満であると十分な研磨レートを得ることが困難となる虞がある。このような条件を満たす研磨パッドの素材は、典型的には、不職布パッド、織布パッド、スエードパッド等が挙げられ、そのうちスエードパッドが最も好ましいものとして挙げられる。
As shown in FIG. 1, a
研磨パッド10は、硬質ウレタンパッドの厚さ(典型的には1.5mm〜2.0mm)に比べて薄く、典型的には0.3mm〜0.9mm程度の厚さを有する。また、パッド表面に形成される溝深さについても、硬質ウレタンパッドの溝深さ(典型的には1.2mm〜1.7mm)に比べて浅く、典型的には0.2mm〜0.8mm程度の厚さを有する。
The
ガラス板20の組成は、特に限定されるものではないが、化学強化しやすいことが好ましい。好ましいガラス板20の組成としては、例えば、酸化物基準のモル%表示で、SiO2:50〜80%、Al2O3:2〜25%、Li2O:0〜10%、Na2O:0〜18%、K2O:0〜10%、MgO:0〜15%、CaO:0〜5%及びZrO2:0〜5%を含むガラスである。
The composition of the
他にも、酸化物基準のモル%表示で、SiO2:50〜74%、Al2O3:1〜10%、Na2O:6〜14%、K2O:3〜11%、MgO:2〜15%、CaO:0〜6%及びZrO2:0〜5%を含み、SiO2及びAl2O3の含有量の合計が75%以下、Na2O及びK2Oの含有量の合計が12〜25%、MgO及びCaOの含有量の合計が7〜15%であるガラス、SiO2:68〜80%、Al2O3:4〜10%、Na2O:5〜15%、K2O:0〜1%、MgO:4〜15%及びZrO2:0〜1%を含むガラス、SiO2:67〜75%、Al2O3:0〜4%、Na2O:7〜15%、K2O:1〜9%、MgO:6〜14%及びZrO2:0〜1.5%を含み、SiO2及びAl2O3の含有量の合計が71〜75%、Na2O及びK2Oの含有量の合計が12〜20%であり、CaOを含有する場合、その含有量が1%未満であるガラスを使用することが好ましい。 Besides, by mol% based on oxides, SiO 2: 50~74%, Al 2 O 3: 1~10%, Na 2 O: 6~14%, K 2 O: 3~11%, MgO : 2~15%, CaO: 0~6% and ZrO 2: comprises 0-5%, the total content of SiO 2 and Al 2 O 3 is 75% or less, the content of Na 2 O and K 2 O total from 12 to 25% of glass total content of MgO and CaO is 7~15%, SiO 2: 68~80% , Al 2 O 3: 4~10%, Na 2 O: 5~15 %, K 2 O: 0 to 1%, MgO: 4 to 15% and ZrO 2 : Glass containing 0 to 1%, SiO 2 : 67 to 75%, Al 2 O 3 : 0 to 4%, Na 2 O : 7~15%, K 2 O: 1~9%, MgO: 6~14% and ZrO 2: comprises 0 to 1.5%, SiO 2 and l 2 total content of O 3 is 71-75%, the sum is 12 to 20% content of Na 2 O and K 2 O, when containing CaO, the content is less than 1% It is preferable to use glass.
化学強化前のガラス板20は、フロート法、フュージョンダウンドロー法、スリットダウンドロー法、リドロー法などの方法により作製され、公知の化学強化処理を用いて化学強化を行う。
The
研磨液(研磨スラリー)は、例えば、コロイダルシリカ、酸化セリウムなどの希土類酸化物、酸化ジルコニウム、酸化アルミニウム、酸化マグネシウム、酸化ケイ素、炭化ケイ素、酸化マンガン、酸化鉄、ダイヤモンド、窒化ホウ素及びジルコンなどの、公知の砥粒を含むスラリーが用いられる。砥粒は、1種類を単独で使用しても良く、2種類以上を併用して使用してもよい。 The polishing liquid (polishing slurry) includes, for example, rare earth oxides such as colloidal silica and cerium oxide, zirconium oxide, aluminum oxide, magnesium oxide, silicon oxide, silicon carbide, manganese oxide, iron oxide, diamond, boron nitride and zircon. A slurry containing known abrasive grains is used. Abrasive grains may be used alone or in combination of two or more.
また、ガラス板20のサイズ、形状、厚みは、用途によって異なり適宜選択可能であるが、厚みが薄くなればなるほど反りの影響が増加するため、薄い化学強化ガラスであるほど効果が高い。具体的にはガラス板20の厚みは0.7mm以下であり、好ましくは0.6mm以下であるとより効果的に反りを低減することが出来る。
The size, shape, and thickness of the
実際には、図2に示すように、化学強化前の研磨処理等により、ガラス板20には反りが生じている。図2は反ったガラス板20が上面研磨用の研磨パッド10側に凸(上方向に凸)の場合を示している。ガラス板20の反りを低減するように研磨するためには、ガラス板20の凸部を凹部側より多く研磨する必要があるが、ガラス板20の自重等の影響もありガラス板20の下面側がより研磨され、反りが悪化してしまう。
Actually, as shown in FIG. 2, the
一方、図3に示すように、反ったガラス板20が下面研磨用の研磨パッド10側に凸(下方向に凸)の場合であれば、ガラス板20の凸部をより多く研磨することが出来る。
On the other hand, as shown in FIG. 3, if the
前記したように、ガラス板20を載置する向きによって、反りが悪化するガラス板20と改善するガラス板20とが存在する。化学強化後の研磨工程の前にガラス板20の反りを確認する工程を実施することで、全てのガラス板20の反りを改善出来る方向に研磨をすることが可能となるが、ガラス板20の一枚一枚に対し反り状態を確認する工程を実施することは現実的ではない。
As described above, depending on the direction in which the
図4及び図5は本発明の一実施形態に係る化学強化ガラス板の製造工程における断面を模式的に示した断面図である。 FIG.4 and FIG.5 is sectional drawing which showed typically the cross section in the manufacturing process of the chemically strengthened glass plate which concerns on one Embodiment of this invention.
図4に示すように、両面研磨装置(図示せず)に設けられた研磨パッド30の間にガラス板40を載置し、研磨を行う。研磨パッド30は、軟質研磨パッドであり、4.5mm厚に積層した硬度がショアA硬度で70以上95以下である。95を超えると砥粒の押し込みによりガラスに微小な傷をつける虞がある。このような条件を満たす研磨パッドの素材は、典型的には、不職布パッド、織布パッド、スエードパッド等が挙げられ、そのうちスエードパッドが最も好ましいものとして挙げられる。前記した研磨パッド10とは硬度の点で異なっている。
As shown in FIG. 4, a
研磨パッド30は、硬質ウレタンパッドの厚さ(典型的には1.5mm〜2.0mm)に比べて薄く、典型的には0.3mm〜0.9mm程度の厚さを有する。また、パッド表面に形成される溝深さについても、硬質ウレタンパッドの溝深さ(典型的には1.2mm〜1.7mm)に比べて浅く、典型的には0.2mm〜0.8mm程度の厚さを有する。
The
ガラス板40の組成は、特に限定されるものではないが、化学強化しやすいことが好ましい。好ましいガラス板10の組成としては、例えば、酸化物基準のモル%表示で、SiO2:50〜80%、Al2O3:2〜25%、Li2O:0〜10%、Na2O:0〜18%、K2O:0〜10%、MgO:0〜15%、CaO:0〜5%及びZrO2:0〜5%を含むガラスである。
The composition of the
他にも、酸化物基準のモル%表示で、SiO2:50〜74%、Al2O3:1〜10%、Na2O:6〜14%、K2O:3〜11%、MgO:2〜15%、CaO:0〜6%及びZrO2:0〜5%を含み、SiO2及びAl2O3の含有量の合計が75%以下、Na2O及びK2Oの含有量の合計が12〜25%、MgO及びCaOの含有量の合計が7〜15%であるガラス、SiO2:68〜80%、Al2O3:4〜10%、Na2O:5〜15%、K2O:0〜1%、MgO:4〜15%及びZrO2:0〜1%を含むガラス、SiO2:67〜75%、Al2O3:0〜4%、Na2O:7〜15%、K2O:1〜9%、MgO:6〜14%及びZrO2:0〜1.5%を含み、SiO2及びAl2O3の含有量の合計が71〜75%、Na2O及びK2Oの含有量の合計が12〜20%であり、CaOを含有する場合、その含有量が1%未満であるガラスを使用することが好ましい。 Besides, by mol% based on oxides, SiO 2: 50~74%, Al 2 O 3: 1~10%, Na 2 O: 6~14%, K 2 O: 3~11%, MgO : 2~15%, CaO: 0~6% and ZrO 2: comprises 0-5%, the total content of SiO 2 and Al 2 O 3 is 75% or less, the content of Na 2 O and K 2 O total from 12 to 25% of glass total content of MgO and CaO is 7~15%, SiO 2: 68~80% , Al 2 O 3: 4~10%, Na 2 O: 5~15 %, K 2 O: 0 to 1%, MgO: 4 to 15% and ZrO 2 : Glass containing 0 to 1%, SiO 2 : 67 to 75%, Al 2 O 3 : 0 to 4%, Na 2 O : 7~15%, K 2 O: 1~9%, MgO: 6~14% and ZrO 2: comprises 0 to 1.5%, SiO 2 and l 2 total content of O 3 is 71-75%, the sum is 12 to 20% content of Na 2 O and K 2 O, when containing CaO, the content is less than 1% It is preferable to use glass.
化学強化前のガラス板10は、フロート法、フュージョンダウンドロー法、スリットダウンドロー法、リドロー法などの方法により作製され、公知の化学強化処理を用いて化学強化を行う。
The
研磨液(研磨スラリー)は、例えば、コロイダルシリカ、酸化セリウムなどの希土類酸化物、酸化ジルコニウム、酸化アルミニウム、酸化マグネシウム、酸化ケイ素、炭化ケイ素、酸化マンガン、酸化鉄、ダイヤモンド、窒化ホウ素及びジルコンなどの、公知の砥粒を含むスラリーが用いられる。砥粒は、1種類を単独で使用しても良く、2種類以上を併用して使用してもよい。 The polishing liquid (polishing slurry) includes, for example, rare earth oxides such as colloidal silica and cerium oxide, zirconium oxide, aluminum oxide, magnesium oxide, silicon oxide, silicon carbide, manganese oxide, iron oxide, diamond, boron nitride and zircon. A slurry containing known abrasive grains is used. Abrasive grains may be used alone or in combination of two or more.
図4に示すように、を用いることによって、図4は反ったガラス板40が上面研磨用の研磨パッド30側に凸(上方向に凸)の場合を示している。本実施形態では、ショアA硬度で70以上95以下の研磨パッド30を使用しているため、研磨パッド30がガラス板40の曲面に追随した形状に変形せず、ガラス板40の凸部を中心に研磨圧力がかかりやすい状態で研磨をすることが出来る。そのため、ガラス板40の凸部側をより多く研磨し、ガラス板40の反りを改善しながら化学強化後研磨を実施することが出来る。
As shown in FIG. 4, FIG. 4 shows a case where the
一方、図5に示すように、反ったガラス板40が下面研磨用の研磨パッド10側に凸(下方向に凸)の場合も、ガラス板40の凸部を中心に研磨圧力がかかりやすい状態で研磨をすることが出来るため、凸部をより多く研磨することが出来る。
On the other hand, as shown in FIG. 5, even when the
前記した効果を確認するために、3種類のパッドのショアA硬度(51.5、78.0、91.0)の研磨パッドを用いてガラス板の凸部が上面に来るように載置してガラス基板を研磨し、ガラス基板の反り変化量を測定した。その結果を表1に示す。研磨量は、ガラス基板両面の研磨量を合わせた値を記載している(つまり片面は半分の値)。反り変化量は、化学強化後研磨の前後でガラス基板の反りが増加した場合は+の値、反りが減少した場合は−の値とした。本測定で使用した化学強化ガラス板の化学強化後研磨前の反り量は、平均して60μm程度であった。ここで、反り量とは、Nidek社製FT17を用いて、中央部60mm×34mmのエリアの反り量を測定し、その結果から150×153mmのサイズに換算した反りのことである。 In order to confirm the above-mentioned effect, the glass plate was placed so that the convex portion of the glass plate was on the upper surface using a polishing pad of Shore A hardness (51.5, 78.0, 91.0) of three types of pads. The glass substrate was polished and the amount of warpage change of the glass substrate was measured. The results are shown in Table 1. As the polishing amount, a value obtained by adding the polishing amounts on both sides of the glass substrate is described (that is, one side is a half value). The amount of warpage change was a positive value when the warpage of the glass substrate increased before and after polishing after chemical strengthening, and a negative value when the warpage decreased. The amount of warpage of the chemically strengthened glass plate used in this measurement before chemical polishing and before polishing was about 60 μm on average. Here, the amount of warpage is a warpage obtained by measuring the amount of warpage in an area of 60 mm × 34 mm in the center using FT17 manufactured by Nidek and converting the result into a size of 150 × 153 mm.
表1に示すように、研磨パッドのショアA硬度が51.5の研磨パッドを用いて研磨を行った場合には、反りが悪化する結果となった。一方で、研磨パッドのショアA硬度が78.0および91.0の場合には、ガラス板の凸部が上面に来るように載置して研磨した場合であっても反りが改善する結果となった。また、ショアA硬度が78.0以上の研磨パッドを用いて4μm(片面2μm)以上研磨をすることで反りが大幅に改善することが分かった。 As shown in Table 1, when polishing was performed using a polishing pad having a Shore A hardness of 51.5, warping deteriorated. On the other hand, when the Shore A hardness of the polishing pad is 78.0 and 91.0, the warpage improves even when the glass plate is placed and polished so that the convex portion of the glass plate is on the upper surface. became. Further, it has been found that warping is greatly improved by polishing 4 μm (single side 2 μm) or more using a polishing pad having a Shore A hardness of 78.0 or more.
さらに、ショアA硬度が大きい研磨パッドを用いることで、反り変化量が大きくなるのを抑制することが出来る。具体的には、ショアA硬度が大きい研磨パッドの場合、研磨中にある程度反りが大きくなったとしても、基板の凸部を中心に研磨圧力がかかりやすい状態となるため結果としてガラス基板の反りを抑制することが出来る。そのため、反りの無いガラスを研磨する場合であっても、ショアA硬度が大きい研磨パッドを用いることが好ましい。 Furthermore, by using a polishing pad having a large Shore A hardness, it is possible to suppress an increase in the amount of change in warpage. Specifically, in the case of a polishing pad having a large Shore A hardness, even if the warpage becomes large to some extent during polishing, it becomes easy to apply polishing pressure around the convex portion of the substrate, resulting in warping of the glass substrate. Can be suppressed. Therefore, it is preferable to use a polishing pad having a large Shore A hardness even when polishing glass without warping.
次に、本発明に係る化学強化ガラス板の製造方法の一例としてカバーガラスの製造方法について説明する。まず、フロート法等により製造されたガラス板を切断し所定のガラス素板を採板する。続いて、所望のカバーガラスのサイズにあうように切断処理され、端面の面取り処理が行われる。続いて、両面研磨装置を用いてガラス板の表面を研磨(強化前研磨)してクラックを除去する。 Next, the manufacturing method of a cover glass is demonstrated as an example of the manufacturing method of the chemically strengthened glass plate which concerns on this invention. First, the glass plate manufactured by the float process etc. is cut | disconnected and a predetermined glass base plate is sampled. Then, it cuts so that it may meet the size of a desired cover glass, and the chamfering process of an end surface is performed. Subsequently, the surface of the glass plate is polished (pre-strengthening polishing) using a double-side polishing apparatus to remove cracks.
続いて、化学強化が行われる。例えば、400℃〜450℃のKNO3溶融塩に1時間〜10時間浸漬することにより化学強化が施される。また、化学強化後に、ガラス板に付着する溶融塩などの付着物などを除去する目的で、水で洗浄することが好ましい。 Subsequently, chemical strengthening is performed. For example, chemical strengthening is performed by immersing in KNO 3 molten salt at 400 ° C. to 450 ° C. for 1 hour to 10 hours. Moreover, after chemical strengthening, it is preferable to wash with water for the purpose of removing deposits such as molten salt adhering to the glass plate.
次いで、両面研磨装置を用いてガラス板の表面を研磨(強化後研磨)して化学強化によりガラス板の表面に形成された欠陥層を除去する。最後に、ガラス板の周縁部に遮光性を有する黒色層等が印刷され、カバーガラスが製造される。 Next, the surface of the glass plate is polished (polished after strengthening) using a double-side polishing apparatus, and the defect layer formed on the surface of the glass plate by chemical strengthening is removed. Finally, a black layer or the like having a light shielding property is printed on the peripheral edge of the glass plate, and the cover glass is manufactured.
上記の例では、強化前研磨された化学強化ガラス板を強化後研磨する場合について記載したが、本願発明はそれに限定されない。例えば、化学強化処理で反りが生じたガラス板に対し化学強化後研磨をする場合や、化学強化前にエッチング処理をしたことで反りが生じているガラス板に対し化学強化後研磨をする場合等でも構わない。 In the above example, the case where the chemically strengthened glass plate polished before strengthening is polished after strengthening is described, but the present invention is not limited thereto. For example, when polishing after chemical strengthening on a glass plate warped by chemical strengthening treatment, or polishing after chemical strengthening on a glass plate warped by performing etching treatment before chemical strengthening, etc. It doesn't matter.
10、30 研磨パッド
20、40 ガラス板
10, 30
Claims (5)
化学強化後に、前記表裏の主面をショアA硬度が70以上95以下の研磨パッドを用いて研磨をする工程を備えることを特徴とする化学強化ガラス板の製造方法。 A method for producing a chemically strengthened glass plate having a main surface on the front and back sides and an end surface connecting between the main surfaces on the front and back surfaces,
A method for producing a chemically strengthened glass sheet, comprising a step of polishing the front and back main surfaces with a polishing pad having a Shore A hardness of 70 to 95 after chemical strengthening.
前記ガラス板の表裏の主面を研磨する工程と、
研磨した前記ガラス板を化学強化し、化学強化ガラス板とする工程と、
前記化学強化ガラス板の表裏の主面を研磨する工程と、
を備えることを特徴とする化学強化ガラス板の製造方法。 Preparing a glass plate having a main surface of the front and back and an end surface connecting the main surfaces of the front and back;
Polishing the front and back main surfaces of the glass plate;
Chemically tempering the polished glass plate to form a chemically tempered glass plate;
Polishing the front and back main surfaces of the chemically strengthened glass plate;
A method for producing a chemically strengthened glass sheet, comprising:
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