JP2015145812A - ガスセンサ及びガス監視システム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ガスセンサ30は、第1の電極41と、エアーが通流する空間を挟んで第1の電極41に対向する第2の電極37a〜37dと、第1の電極41又は第2の電極37a〜37dの面上に設けられてエアー中に含まれる被検知ガスを吸着する感応膜38と、第2の電極37a〜37dの電圧をそれぞれ入力とする相補型半導体装置34a〜34dと、それらの相補型半導体装置34a〜34dにそれぞれ対応して配置されたエレクトレット42a〜42dとを有する。エレクトレット42a〜42dは固定電荷量が相互に異なり、それらのエレクトレット42a〜42dにより相補型半導体装置34a〜34dの見かけ上のしきい値をそれぞれ異なるものとしている。
【選択図】図4
Description
図4は、第1の実施形態に係るガスセンサ30の構造を示す模式断面図である。
図13は、第1の実施形態に係るガスセンサの変形例を示す模式断面図である。図13において、図4と同一物には同一符号を付して、重複する部分の説明は省略する。
図14は、第2の実施形態に係るガスセンサ30bの構造を示す模式断面図である。なお、図13において、図4と同一物には同一符号を付して、重複する部分の説明を省略する。
図15は、実施形態に係るガス監視システムの一例を示す模式図である。また、図16は、ガスセンサモジュールの構成を示すブロック図である。
エアーが通流する空間を挟んで前記第1の電極に対向する複数の第2の電極と、
前記第1の電極又は前記第2の電極の面上に設けられて前記エアー中に含まれる被検知ガスを吸着する感応膜と、
前記複数の第2の電極の電圧をそれぞれ入力とする複数の相補型半導体装置と、
前記複数の相補型半導体装置にそれぞれ対応して配置された複数のエレクトレットと
を有することを特徴とするガスセンサ。
前記第1の電極及び前記第2の電極のうちのいずれか一方の電極の面上に設けられて前記エアー中に含まれる被検知ガスを吸着する感応膜と、
前記第1の電極及び前記第2の電極のうちのいずれか一方の電極又は他方の電極の電圧を入力とする相補型半導体装置と、
前記第1の電極及び前記第2の電極のうちのいずれか一方の電極側又は他方の電極側に設けられたエレクトレットと
を有することを特徴とするガスセンサ。
環境中に存在する非電気エネルギーを電気エネルギーに変換する環境発電素子と、
前記環境発電素子から出力される電力により駆動して前記ガスセンサから出力される信号を処理する電子回路部と、
前記電子回路部から出力される情報を収集する情報センターとを有し、
前記ガスセンサが、
第1の電極と、
エアーが通流する空間を挟んで前記第1の電極に対向する複数の第2の電極と、
前記第1の電極又は前記第2の電極の面上に設けられて前記エアー中に含まれる被検知ガスを吸着する感応膜と、
前記複数の第2の電極の電圧をそれぞれ入力とする複数の相補型半導体装置と、
前記複数の相補型半導体装置にそれぞれ対応して配置された複数のエレクトレットとを有する
ことを特徴とするガス監視システム。
Claims (6)
- 第1の電極と、
エアーが通流する空間を挟んで前記第1の電極に対向する複数の第2の電極と、
前記第1の電極又は前記第2の電極の面上に設けられて前記エアー中に含まれる被検知ガスを吸着する感応膜と、
前記複数の第2の電極の電圧をそれぞれ入力とする複数の相補型半導体装置と、
前記複数の相補型半導体装置にそれぞれ対応して配置された複数のエレクトレットと
を有することを特徴とするガスセンサ。 - 前記複数のエレクトレットの固定電荷量が相互に異なることを特徴とする請求項1に記載のガスセンサ。
- 前記エレクトレットと前記第2の電極との間の間隔が、前記第2の電極毎に異なることを特徴とする請求項1に記載のガスセンサ。
- エアーが通流する空間を挟んで配置された第1の電極及び第2の電極と、
前記第1の電極及び前記第2の電極のうちのいずれか一方の電極の面上に設けられて前記エアー中に含まれる被検知ガスを吸着する感応膜と、
前記第1の電極及び前記第2の電極のうちのいずれか一方の電極又は他方の電極の電圧を入力とする相補型半導体装置と、
前記第1の電極及び前記第2の電極のうちのいずれか一方の電極側又は他方の電極側に設けられたエレクトレットと
を有することを特徴とするガスセンサ。 - ガスセンサと、
環境中に存在する非電気エネルギーを電気エネルギーに変換する環境発電素子と、
前記環境発電素子から出力される電力により駆動して前記ガスセンサから出力される信号を処理する電子回路部と、
前記電子回路部から出力される情報を収集する情報センターとを有し、
前記ガスセンサが、
第1の電極と、
エアーが通流する空間を挟んで前記第1の電極に対向する複数の第2の電極と、
前記第1の電極又は前記第2の電極の面上に設けられて前記エアー中に含まれる被検知ガスを吸着する感応膜と、
前記複数の第2の電極の電圧をそれぞれ入力とする複数の相補型半導体装置と、
前記複数の相補型半導体装置にそれぞれ対応して配置された複数のエレクトレットとを有する
ことを特徴とするガス監視システム。 - 前記ガスセンサと、前記環境発電素子と、前記電子回路部とが一体的に形成されてセンサモジュールとなっていることを特徴とする請求項5に記載のガス監視システム。
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