JP2015141218A - 光結合構造、光結合器及び光モジュール - Google Patents
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Abstract
【課題】コア数の異なる導波路間でモードフィールドを高効率で変換する、低コストで製造できる光結合構造を実現する。
【解決手段】
光結合構造300は、第1の入出力ポート308並びに第2の入出力ポート310A及び310Bを有する多モード干渉計導波路コア304と、第2の入出力ポートの各々に接続され、第2の入出力ポート310A及び310Bから受けた光が1つのモードフィールドを有する光へと結合するまで外部に向かって漸減する幅を有する、2つのテーパ光導波路コア312A及び312Bとを備える。
【選択図】図3
【解決手段】
光結合構造300は、第1の入出力ポート308並びに第2の入出力ポート310A及び310Bを有する多モード干渉計導波路コア304と、第2の入出力ポートの各々に接続され、第2の入出力ポート310A及び310Bから受けた光が1つのモードフィールドを有する光へと結合するまで外部に向かって漸減する幅を有する、2つのテーパ光導波路コア312A及び312Bとを備える。
【選択図】図3
Description
本発明は、光結合構造並びにそれを用いた光結合器及び光モジュールに関し、より詳細には、異なるコア数を有する2つの光導波路の間で導波光を互いに変換する光結合構造、並びにそれを用いた光結合器及び光モジュールに関する。
光通信機器に用いられる光半導体装置などにおいては、光ビームのフィールドサイズの変換機能を備えた光結合構造が必要となることがある。例えば、光源から出力される光ビームのフィールドサイズが、光源に結合される光導波路の導波光のフィールドサイズよりも大きいことがある。(導波路が単一モードである場合は、導波光のフィールドサイズはモードフィールドサイズと同義である。)このような場合、光源からの出力光のフィールドサイズを、光導波路の導波光のフィールドサイズへと変換するために、光結合構造が用いられる。特に、光結合構造を導波路端に接続し、外部光学系(例えば、光源や光ファイバ)との光結合に用いる場合、その光結合構造はスポットサイズ変換器(SSC,Spot−Size Converter)と呼ばれる。
従来、光源との高効率な光結合を安定的に実現するために、モードフィールドサイズの小さな単一コア光導波路を、光源の出射ビームと同程度のモードフィールドサイズを有する複数コア導波路に変換することが提案されている。単一コア導波路のコアのサイズを小さくするだけでも、導波光のフィールドサイズを広げる効果があるが、コア数変換を行った上で複数コア導波路によって導波光のフィールドサイズを広げる構成にすると、単一の導波路でフィールドサイズを広げる場合に比べてフィールドサイズがコアサイズのばらつきに影響されにくくなり、高効率な光結合を安定的に得ることができる。
特許文献1は、テーパ構造を用いて単一コア光導波路と複数コア光導波路とを接続する光結合構造を開示している。図1はこのような従来の光結合構造100を示す。図1において、光102Aや光102B等のガウシアン形状の図形は、伝搬光のフィールド分布(強度分布)を表し、強度がeの二乗分の1(約13.5%)となる位置の間隔がフィールドサイズである。さて、光結合構造100に入射された光102Aは、先の広がったテーパ部104を介して、より大きなフィールドサイズを有する光102Bへと変換される。光102Bは、先細りの複数のテーパ部(図1では2つのテーパ部106A及び106B)へと分離されて、光102C及び102Dに変換される。光102C及び102Dのそれぞれは、テーパ部106A及び106Bを伝搬しながらそれぞれのコアの外部へと次第に浸み出し、フィールドの裾の重なりが増すことによって、全体として広がったモードフィールドを有する1つの光102Eへと結合される。光102Eはテーパ部106A及び106Bを伝搬しながら更に広がり、より大きなガウシアン形状に近いフィールドを有する光102Fになる。光結合構造100は、このようにして導波光のフィールドサイズを変換する。
また、特許文献2及び3は、速度型方向性結合器を用いて単一コア光導波路と複数コア光導波路とを接続する光結合構造を開示している。図2はこのような従来の光結合構造200を示す。光結合構造200に入力された光202Aは、速度型方向性結合器204を介して2つのテーパ部206A及び206Bのそれぞれに入力される光202C及び202Dへと分離される。光202C及び202Dはテーパ部206A及び206Bをそれぞれ伝搬しながらコアの外部へと次第に浸み出し、フィールドの裾の重なりが増すことによって、全体として広がったモードフィールドを有する1つの光202Eへと結合される。光202Eはテーパ部206A及び206Bを伝搬しながら更に広がり、より大きなガウシアン形状に近いフィールドを有する光202Fになる。光結合構造200は、このようにして導波光のフィールドサイズを変換する。
しかしながら、従来の光結合構造は、光損失が大きく、製造コストが高いという問題を有する。先ず、図1に示す光結合構造100においては、先太のテーパ部104と分岐した先細りのテーパ部106A及び106Bとの間の光結合の際に、光102Bから光102Cと光102Dへとフィールドの分布が急激に変化するため、大きな光損失が生じる。
また、図2に示す光結合構造200は、速度型方向性結合器204に含まれるテーパの先端の幅が十分に小さくないと、やはり大きな光損失を生じる。具体的な例として、高さが220nmのシリコンをコアとする光導波路の場合、光の真空中の波長が1.5μmであれば、そのテーパの先端幅を100nm以下にしないと、十分な低損失化を行えない。そのため、製造用に100nm幅のパターニングが可能なリソグラフィ装置を使用しようとすると、一般にパターニング効率が悪いとされる電子線描画装置を用いるか、あるいは効率は良くてもより高価なArF液浸スキャナなどの使用を強いられるのが現状である。その結果、従来技術を用いる限り、いずれのリソグラフィ装置を用いたとしても、製造コストの増大を避けられない。
尚、光結合のために光結合構造を使用する場合、光102Fのフィールドサイズは、光結合する先のフィールドサイズに合わせて決定される。例えば、モードフィールドサイズを3μmにしたければ、2コア導波路の先端幅を130μmとし、コアの間隔を1μmにすればよい。
このように、従来技術によれば、十分に高い光結合効率を発揮する、コア数変換型の光結合構造を、低コストで実現することができないという問題がある。したがって、導波光のフィールドサイズを高効率で変換でき、かつ低コストで製造できるコア数変換型光結合構造を提供することが、課題である。
このように、従来技術によれば、十分に高い光結合効率を発揮する、コア数変換型の光結合構造を、低コストで実現することができないという問題がある。したがって、導波光のフィールドサイズを高効率で変換でき、かつ低コストで製造できるコア数変換型光結合構造を提供することが、課題である。
また、コア数変換型の光結合構造は、スポットサイズ変換器としての用途以外にも、コア数の異なる複数コア導波路間で高効率な光結合を行うために用いられることがある。複数コア導波路自体は、例えば、コア間のクラッドに分布する光を効率的にクラッドの材料に作用させるなどの目的で用いられる。従来は1つのコアの導波路と複数のコアの導波路の間の光結合のみが想定されていたため、複数コア導波路と異なるコア数の別の複数コア導波路との高効率光結合のための実用的な光結合構造が無かった。したがって、異なるコア数の複数コア導波路の間で導波光を高効率に変換できる光結合器構造を提供することも、もう一つの課題となっている。
本発明の実施例において、光結合構造やコア数の異なる導波路を光結合するためなどに用いるコア数変換型の光結合構造は、M個(Mは1以上の整数)のコアを備えるMコア導波路とN個(NはMより大きい整数)のコアを備えるNコア導波路を備え、前記Nコア導波路のN個のコアのそれぞれの横幅の内の最大値は、前記Mコア導波路のM個のコアのそれぞれの横幅の内の最小値のN分のM倍以下であり、前記Mコア導波路とNコア導波路との間には少なくともM個とN個の入出力ポートを有する多モード干渉計導波路コアを備え、前記Mコア導波路のそれぞれのコアは前記多モード干渉計導波路コアのM個の入出力ポートに接続され、前記Nコア導波路のそれぞれのコアは前記多モード干渉計導波路コアのN個の入出力ポートに接続され、前記Nコア導波路のコアと、それらのコアが接続される前記多モード干渉計導波路コアのそれぞれの入出力ポートとの間に前記Nコア導波路に向かって幅が漸減するテーパ導波路コアを有し、前記テーパ導波路コアのそれぞれの中心軸の間隔は、隣り合うもの同士の間で、一定であるか、または多モード干渉計導波路から離れるにつれて漸増あるいは漸減する。
実施例において、上記多モード干渉計導波路コアの導波方向の中心軸に対して線対称の構造を有する。
実施例において、Mは1であってもよく、その場合、Nは2であってもよい。
実施例において、Mは1であってもよく、その場合、Nは2であってもよい。
実施例において、Nコア導波路のN個のそれぞれのコアの横幅は全て、N個のコアの任意の2つの間隔よりも小さい。
本発明の実施例による光結合器は、上記のような光結合構造を含む。
本発明の実施例による光結合器は、上記のような光結合構造を含む。
実施例において、光結合器のMコア導波路は端面を備えてもよい。その場合、Mコア導波路の長さがゼロでもよい。
実施例において、Nコア導波路が端面を備えてもよい。その場合、Nコア導波路の長さがゼロでもよい。
実施例において、Nコア導波路が端面を備えてもよい。その場合、Nコア導波路の長さがゼロでもよい。
本発明の実施例による光モジュールは、上記のような光結合器と光源とを備え、光結合器の端面に光源が光結合されてもよい。
本発明の実施例を、図面を参照して以下に説明する。図3は、本発明の実施例による光結合構造300を概略的に示す。光結合構造300は、1つのコアを備える単一モード導波路(1コア導波路)から入力される光を2つのコアを備える単一モード導波路(2コア導波路)のモードフィールドを有する光へと変換して出力する。通常、1コア導波路のモードフィールドよりも2コア導波路のモードフィールドの方が大きいため、この効果を利用すれば、光結合構造300に端面を備えることによって、外部光学系との光結合を行うためのスポットサイズ変換器として用いることもできる。
光結合構造300は、M個(Mは1以上の整数、図3においてはM=1)の第1の入出力ポート308とN個(NはMより大きい整数、図3においてはN=2)の第2の入出力ポート310A及び310B、を有する多モード干渉計導波路コア304を備える。多モード干渉計導波路コア304において、第1の入出力ポート308が入力側である場合には第2の入出力ポート310A及び310Bが出力側であり、第1の入出力ポート308が出力側である場合には第2の入出力ポート310A及び310Bが入力側である。
光結合構造300は、さらに、第2の入出力ポート310A及び310Bに各々が接続されるテーパ光導波路312A及び312Bを備える。図3に示すように、テーパ光導波路312A及び312Bは、多モード干渉計導波路コア304の外部に向かって(すなわち、多モード干渉計導波路コア304から遠ざかる方向に沿って)幅が漸減するように構成される。
図3に示すように、多モード干渉計導波路コアの第1の入出力ポート308には、M個のコアを備えるMコア導波路(M=1より、1コア導波路)のコア314が接続されてもよい。また、テーパ導波路コアの312A及び312Bの細い方の端部には、N個のコアを備えるNコア導波路316(N=2より、2コア導波路)のコア316A及びコア316Bのそれぞれが接続されてもよい。
2コア導波路を含めて、ここで言う複数コア導波路は、近接した複数のコアを含む単一モード導波路のことであり、平行する全てのコアを導波光の電磁界が同じ位相で伝搬する導波モードのみを有する。ここで、単一モード導波路と言うとき、TE偏波又はTM偏波の少なくともいずれか一方の偏波に関して単一モードである導波路のことを指す。このような複数コア導波路に似て非なる導波路構造として、単独の導波路のコアを単に並列に配置しただけの構造があるが、その構造の場合には、各コアを伝搬する光の位相は必ずしも揃っておらず、互いに独立して変化することもある。複数コア導波路と普通の単一コア導波路の単純な並列配置との構造状の違いは、定性的に言うと、前者の導波路に含まれる全てのコアの幅や高さが、後者の並列導波路のどのコアに比べても各段に小さいことである。この条件を十分に満たすことによって、単一の導波モードしか存在できないようにすることができる。
Mコア導波路とそれよりもコア数の多いNコア導波路が共に単一モード導波路であるとき、Mコア導波路の個々のコアの幅と、Nコア導波路の個々のコアの幅は略反比例する。これは、単一モードが維持されるコアの総断面積の最大値が略一定のためである。最もコア幅の比が大きいのは1コア導波路と2コア導波路の場合で、2コア導波路の個々のコアの幅は、最大でも、1コア導波路のコアの幅の略半分である。従って、定量的には、Mコア導波路が単一モード導波路であることが分かっているとき、Nコア導波路のN個のコアのそれぞれの幅の内の最大値が、Mコア導波路のM個のコアのそれぞれの幅の内の最小値のN分のM倍以下となるようにNコア導波路の幅を設計すると、Nコア導波路も単一モード導波路とすることができる。
光結合構造300は、多モード干渉計導波路コア304の導波方向の中心軸に対して線対称の構造を有するように構成されてもよい。
テーパ光導波路312A及び312Bの中心軸同士の間の間隔は、第2の入出力ポート310A及び310Bとコア316A及び316Bとの間において一定であってもよいし、又は、コア316A及び316Bに近づくにつれて漸増または漸減してもよい。
テーパ光導波路312A及び312Bの中心軸同士の間の間隔は、第2の入出力ポート310A及び310Bとコア316A及び316Bとの間において一定であってもよいし、又は、コア316A及び316Bに近づくにつれて漸増または漸減してもよい。
第1の入出力ポート308に接続される光導波路コア314に沿って導波される光のフィールドサイズは、複数コア導波路316のコア316A及び316Bに沿って導波される光のフィールドサイズとは異なる。したがって、光結合構造300は、異なるコア数を含む複数コア導波路間の高効率な光結合を行うと同時に、導波光のフィールドサイズを変換する効果を有する。
図4は、図3の光結合構造300の動作を示す。導波路コア314に沿って伝搬する光302Aは第1の入出力ポート308において多モード干渉計導波路コア304に入力される。多モード干渉計導波路コア304は、入力された光302Bを光302C及び302Dへと分離する。光302C及び302Dは、それぞれ、第2の入出力ポート310A及び310Bを介して、テーパ光導波路コア312A及び312Bへ出力される。テーパ光導波路コア312A及び312Bは、多モード干渉計導波路コア304の外側に向かって幅が漸減するように構成される。このため、光302C及び302Dは、テーパ光導波路コア312A及び312Bに沿って伝搬するにつれて導波路コアから浸み出し、302Eに示すように、これらの光のモードフィールドは裾が重なり、光学的に結合する。光302Eはテーパ光導波路コア312A及び312Bに沿ってさらに伝搬し、モードフィールドの重なりが増して(すなわち、結合が強まって)、大きく広がった1つのモードフィールドを有する光302Fへと完全に結合される(すなわち、単一モードとなる)。この光302Fは、テーパ光導波路コア312A及び312Bにそれぞれ接続される複数コア導波路316のコア316A及び316Bに沿って、この広がったモードフィールドを保ったまま伝搬する。このようにして、光結合構造300は、コア数の異なる複数コア導波路間の光結合を行う過程で、モードフィールドの小さな光302Aをモードフィールドの大きな光302Fへと変換することができる。
ここでは、コア314を備える単一コア導波路から入力された光がコア316A及び316Bを備える複数光導波路316に出力される場合の動作を説明した。しかし、当業者であれば、光結合構造300は、光導波路コア316A及び316Bを備える複数コア導波路316から入力された光が光導波路コア314を備える単一コア導波路へと出力されるような、逆向きの動作をすることもできることを理解するであろう。この場合には、光導波路コア316A及び316Bに沿って伝搬してくる大きなモードフィールドを有する光が、テーパ光導波路コア312A及び312Bを介して独立した2つの光に分離され、それぞれ入出力ポート310A及び310Bを介して、多モード干渉計導波路コア304に入力される。
導波路コア314の側から光を入力する場合に戻ると、光結合構造300は、多モード干渉計導波路コア304の使用により、光302Bを、コア312A及び312Bのテーパ導波路に入力される前に、それらのテーパ導波路のフィールド分布に合わせて分離する。そのため、多モード干渉計導波路コア304とテーパ導波路コア312A及び312Bとの間でモードフィールドのミスマッチが生じず、図1に示すような従来の光結合構造と比較して、高い光結合効率を実現する。
また、光結合構造300は、その構造に含まれる最小寸法が光導波路コア316A及び316Bの幅(テーパ光導波路コア312A及び312Bの先端の幅)であるので、例えば先に例示した光結合構造の用途であれば、130nmが解像できればよい。図2に示すような従来の光結合構造の場合は、速度型方向性結合器のテーパ先端の100nmを解像するために、ArF液浸スキャナが必要であったが、光結合構造300の場合は、それよりも大幅に安価なArFドライスキャナでパターニングが可能なのである。このように、光結合構造300は、従来技術のように、その構造を解像するためだけにより高価な露光装置の使用を強いられるといった無駄が無い。
さらに、多モード干渉計導波路コア304は速度型方向性結合器などと比較して、短くしても光ビームの分岐機能が低下しにくく、そのため、より短くできる。速度型方向性結合器の場合は、短くしようとすると、速度型方向性結合器の構成要素である各テーパの間のギャップを狭くして、テーパ間の光の移動を速めなければならない。しかし、上述したように、製造コストの観点から利用できるリソグラフィ装置の解像度には制限があるため、ギャップを狭めるにしても自ずと限界がある。一方、多モード干渉計導波路コア304の場合は、そのようなギャップを構造中に含まないため、リソグラフィの限界によって短くできないことは無い。従来の光結合構造において光を効率よく結合するためには、例えば、80μm程度の長さの速度型方向性結合器を用いる必要があった。これに対して、本実施例の光結合構造300において、多モード干渉計導波路コア304は、同じ光分岐特性を得るために、例えば、5μm程度の長さを有するように構成することができる。このため、本実施例の光結合構造300は、従来の光結合構造と比較してサイズを小さくできる。したがって、本実施例の光結合構造300は、従来の光結合構造よりも、より高い集積度の光モジュールに組み込むことができる。
さて、図4に示した光結合構造300において、光導波路コア314に沿って伝搬してくる導波光のフィールド302Aの殆どが光導波路コア314の中に閉じ込められていれば、光導波路コア314と多モード干渉計導波路コア304の接続箇所での反射損失や散乱損失は無視できる程度に小さい。このような状況は、光導波路コア314を構成する媒質中での光の波長に比べて、光導波路コア314の横幅が十分に大きいときに生じる。
しかし逆に、光導波路コア314の横幅が、導波路コア314を構成する媒質中での光の波長と同程度か、或いは小さければ、光導波路コア314からの導波光302Aのフィールドの浸み出しが大きくなり、光導波路コア314と多モード干渉計導波路コア304の接続箇所での反射損失や散乱損失は、無視できないほど大きくなる。その場合は、光導波路コア314と多モード干渉計導波路コア304の間にテーパ導波路を備えればよい。そのような光結合構造について、次に説明する。
図5は、本発明の実施例による光結合構造500を概略的に示す。光結合構造500は、異なるコア数の複数コア導波路の間で、導波光を変換する。光結合構造500は、M個(Mは1以上の整数、図5においてはM=1)の第1の入出力ポート508並びにN個(NはMより大きい整数、図5においてはN=2)の第2の入出力ポート510A及び510Bを有する多モード干渉計導波路コア504を備える。多モード干渉計導波路コア504において、第1の入出力ポート508が入力として機能する場合には第2の入出力ポート510A及び510Bが出力として機能し、第1の入出力ポート508が出力として機能する場合には第2の入出力ポート510A及び510Bが入力として機能する。
光結合構造500は、さらに、第1の入出力ポート508に接続されるテーパ光導波路コア518並びに第2の入出力ポート510A及び510Bに各々が接続されるテーパ光導波路コア512A及び512Bを備える。図5に示すように、テーパ光導波路コア512A、512B及び518は、多モード干渉計導波路コア504の外側に向かって幅が漸減するように構成される。図5において、光結合構造500は、テーパ光導波路コア518に接続される一定の幅を有する光導波路コア514を有してもよい。また、光結合構造500は、テーパ光導波路コア512A及び512Bにそれぞれ接続される一定の幅を有する光導波路コア516A及び516Bを含む複数コア導波路516を有してもよい。光導波路コア514に沿って導波される光のフィールドサイズは、光導波路コア516A及び516Bの組み合わせによる2コア導波路516に沿って導波される光のフィールドサイズとは異なる。したがって、光結合構造500は、導波光のフィールドサイズを変換することができる。
図6は、図5の光結合構造500の動作を示す。光導波路コア514に沿って伝搬する光502Aはテーパ光導波路コア518へ入力される。光導波路コア514の幅が小さいために、光502Aのフィールドは光導波路コア514の外側への浸み出しが大きい。テーパ光導波路コア518は、多モード干渉計導波路コア504に向かって幅が漸増するように構成される。このため、光502Aの浸み出していたフィールドは、テーパ光導波路コア518に沿って伝搬するにつれて、テーパ光導波路コア518の内部に吸収され、殆どのフィールドがコア内に存在する光502Bへと変換される。この光502Bは、第1の入出力ポート508において多モード干渉計導波路コア504に入力される。光502Bのコア518の外への浸み出しは無視できる程度に小さいため、テーパ導波路コア518と多モード干渉計導波路コア504の接続箇所508において生じる反射損失や散乱損失も無視できる程度に小さい。多モード干渉計導波路コア504は、入力された光502Bを、第2の入出力ポート510A及び510Bにそれぞれ結合される光502C及び502Dへと分離する。光502C及び502Dは、それぞれ、第2の入出力ポート510A及び510Bを介して、テーパ光導波路コア512A及び512Bへ出力される。テーパ光導波路コア512A及び512Bは、多モード干渉計導波路コア504の外側に向かって幅が漸減するように構成される。このため、光502C及び502Dは、テーパ光導波路512A及び512Bを伝搬するにつれて光導波路から次第に浸み出し、502Eに示すように、これらの光のモードフィールドの裾は重なる。光502Eはテーパ光導波路コア512A及び512Bに沿ってさらに伝搬し、大きく広がった1つのモードフィールドを有する光502Fへと結合される。この光502Fは、テーパ光導波路コア512A及び512Bにそれぞれ接続される光導波路コア516A及び516Bを含む複数コア導波路516を介して、この広がったフィールドを保ったまま伝搬する。このようにして、光結合構造500は、コア数の異なる複数コア導波路間の光結合を行う過程で、モードフィールドの小さな光502Aをモードフィールドの大きな光502Fへと変換することができる。
ここでは、光導波路コア514から入力された光が光導波路コア516A及び516Bへと出力される場合の動作を説明した。しかし、当業者であれば、光結合構造500が、光導波路コア516A及び516Bから入力された光が光導波路コア514へと出力されるように動作することもできることを理解するであろう。この場合、大きなフィールドを有する入射光がより小さなフィールドを有する光へと変換される。
図7は、本発明の実施例による光結合構造700を概略的に示す。光結合構造700は、図5に示す光結合構造500と同様の構成を有する。光結合構造700は、M個(Mは1以上の整数、図7においてはM=1)の第1の入出力ポート708及びN個(NはMより大きい整数、図7においてはN=2)の第2の入出力ポート710A及び710Bを有する多モード干渉計導波路コア704を備える。光結合構造700は、さらに、第1の入出力ポート708に接続されるテーパ光導波路コア718並びに第2の入出力ポート710A及び710Bに各々が接続されるテーパ光導波路コア712A及び712Bを備える。光結合構造700は、光導波路コア714と、光導波路コア716A及び716Bを含む複数コア導波路716とを有してもよい。テーパ光導波路コア712A及び712Bのうちの少なくとも1つは、一定の幅を有する1つ以上の部分を含むように構成されてもよい。例えば、図7に示すように、テーパ光導波路コア712A及び712Bは、それぞれ、一定の幅を有する(すなわち、幅が漸減/漸増しない)部分720A及び720Bを備えるように構成されてもよい。図示しないが、同様に、テーパ光導波路コア718も、一定の幅を有する1つ以上の部分を有してもよい。
図8は、本発明の実施例による光結合構造800を概略的に示す。既に述べたように、多モード干渉計導波路コア804は、M個(Mは1以上の整数)の第1の入出力ポート及びN個(NはMより大きい整数)の第2の入出力ポートを有する。図3に示す光結合構造300においてはM=1、N=2であったが、図8に示すように、例えば、M=1、N=3であってもよい。光結合構造800において、光導波路コア814に沿って伝搬して多モード干渉計導波路コア804の第1の入出力ポート808に入力された光は、第2の3つの入出力ポート810A、810B及び810Cへと分離して出力される。出力された光は、それぞれ、テーパ光導波路コア812A、812B及び812Cに沿って伝搬し、1つのモードフィールドを有する光へと結合された後、光導波路コア816A、816B及び816Cの組み合わせによる3コア導波路816に沿って、そのモードフィールドを保持しつつ導波される。
光導波路コア816A、816B及び816Cは、N個(N=3)のコアを有するNコア導波路、即ち、3コア導波路816のコアである。この3コア導波路816が単一モード導波路であるとき、多くの場合、光導波路コア816A、816B及び816Cのうちの任意の光導波路のコアの横幅は、光導波路コア816A、816B及び816Cのうちの任意の2つの光導波路のコアの間隔よりも小さい。これは、個々の導波路コアからの光フィールドの浸み出しが十分に大きくないと、フィールド間の結合が十分に生じず、単一モードにならないためである。
図9は、本発明の実施例による光結合構造900を概略的に示す。多モード干渉計導波路コア904は、M個(Mは1以上の整数)の第1の入出力ポート及びN個(NはMより大きい整数)の第2の入出力ポートを有する。図5に示す光結合構造500においてはM=1、N=2であったが、図9に示すように、例えば、M=2、N=4であってもよい。光結合構造900において、2コア導波路914の光導波路コア914A及び914Bに沿って導波された光は、テーパ光導波路コア918A及び918Bを伝搬する過程で2つの光フィールドに分割された後、多モード干渉計導波路コア904の第1の入出力ポート908A及び908Bに入力される。このように、2つ以上のコアを含む複数コア導波路のコアを多モード干渉計導波路コアに接続する場合は、テーパ導波路コアを介することによって、複数コア導波路と多モード干渉計導波路コアの入力側ポートの間で、光フィールドを連続的(すなわち断熱的)に変化させることができ、反射や散乱による光損失を低減することができる。入出力ポート908A及び908Bから複数コア導波路内に入射された光は、4つの第2の入出力ポート910A、910B、910C及び910Dへと分離して出力される。出力された光は、それぞれ、テーパ光導波路コア912A、912B、912C及び912Dに沿って伝搬し、1つのモードフィールドを有する光へと結合された後、光導波路コア916A、916B、916C及び916Dの組み合わせによる4コア導波路916によって、このモードフィールドを保持しつつ導波される。
2コア導波路914と4コア導波路916は共に単一モード導波路であるので、光導波路コア916A、916B、916C及び916Dの内の幅の最大値は、光導波路コア914A及び914Bの幅の内の最小値の2分の1以下であってもよい。
本発明の実施例の光結合構造を用いて光結合器(光結合構造)を構成することができる。図10は、図5に示すような本発明の実施例による光結合構造を光結合器1000として用いることによって構成される例示的な光モジュール1030の概略的な平面図を示す。光モジュール1030は、例えば、Si基板の上に二酸化珪素(SiO2)層(埋め込み酸化膜と呼ばれる)と更にその上に表面Si層が積層された構造を有するSOI(Silicon on Insulator)基板上に形成されてもよい。この場合、多モード干渉計導波路コア1004、テーパ光導波路コア1018、1012A及び1012B、並びに光導波路コア1014は、表面Si層を加工して構成することができる。埋め込み酸化膜は下部クラッドとして働く。上部クラッドとして更に二酸化珪素や他の誘電体膜を積層してもよい。本実施例では、多モード干渉計導波路コア1004は、1つの第1の入出力ポートと第2の2つの入出力ポートを有している。第1の入出力ポートはテーパ光導波路コア1018に接続され、第2の入出力ポートはテーパ光導波路コア1012A及び1012Bに接続される。
本実施例において、第1の入出力ポートは入力として機能し、第2の入出力ポートは出力として機能する。光結合器1000は、光導波路コア1014に沿って導波された光を、異なるサイズのモードフィールドを有する光導波路1022へと結合する。光導波路1022はコア1024を有する。例えば、光導波路1022は断面が円形であるコア1024を有する光ファイバであってもよい。テーパ光導波路コア1012A及び1012Bは、その横幅の最も狭い端部に一様な端面を有してもよい。または、テーパ光導波路コア1012A及び1012Bに、モードフィールドを維持するための複数コア導波路(2コア導波路)のコアを更に接続し、そのコアに一様な端面を有してもよい。
光導波路コア1014に沿って導波された光は、テーパ光導波路コア1018を介して多モード干渉計導波路コア1004へ入力される。光は多モード干渉計導波路コア1004によって2つに分離され、テーパ光導波路コア1012A及び1012Bへ出力される。テーパ光導波路コア1012A及び1012Bは多モード干渉計導波路コア1004から離れる方向に沿って漸減する幅を有する。テーパ光導波路コア1012A及び1012Bに沿って伝搬する光は、光モジュール1030の端面に至る過程で1つのモードフィールドを有する光へと結合される。この結合された光のモードフィールドは、光導波路コア1014に沿って導波される光のモードフィールドよりも大きい。したがって、光結合器1000は、小さなモードフィールドを有する光を、より大きなモードフィールドを有する光へと変換して、幅の広いコア1024を有する光導波路1022へと結合することができる。
テーパ光導波路コア1012A及び1012Bから出力される光は、縦または横に広がった楕円形のモードフィールドを有することがある。この場合、図10に示すように、レンズ1020を用いることによって、楕円形のモードフィールドの光を光導波路1022のコアに対応する円形のモードフィールドの光へと成形してもよい。勿論、テーパ光導波路コア1012A及び1012Bから出力される光のフィールドが光導波路1022のモードフィールドと同程度であれば、このようなレンズは不要であり、突き合わせ接続によって、低損失の光結合が可能である。
図11は、図5に示すような本発明の実施例による光結合構造を光結合器1100として用いることによって構成される例示的な光モジュール1130の概略的な平面図を示す。光モジュール1130は、例えば、SOI基板上に形成されてもよい。この場合、多モード干渉計導波路コア1104、テーパ光導波路コア1118、1112A及び1112B並びに光導波路コア1114は、SOI基板上の表面Si層を加工することによって構成することができる。
本実施例において、光モジュール1130上に光源1126が実装される。図11の例において光源1126は半導体レーザであり、活性領域1128を有する。また、テーパ光導波路コア1112A及び1112Bは、その横幅の最も狭い端部に一様な端面を有する。この場合、光源1126はこれらの端面に突き当てられて配置されることによって、光源1126が当該端面に光結合されてもよい。あるいは、テーパ光導波路コア1112A及び1112Bに、モードフィールドを維持するための複数コア導波路(2コア導波路)のコアを更に接続し、そのコアに一様な端面を有してもよい。光モジュール1130において、多モード干渉計導波路コア1104は1つの第1の入出力ポート及び2つの第2の入出力ポートを有し、第1の入出力ポートは出力として機能し、第2の入出力ポートは入力として機能する。光結合器1100は、半導体レーザ1126の活性領域1128から出力される光のフィールドを光導波路コア1114に沿って導波されるのに適したフィールドに変換する。
半導体レーザ1126から出力された光は、テーパ光導波路コア1112A及び1112Bの最も横幅の狭い端部に接続される複数コア導波路(2コア導波路)に入力される。図11に示すように、この複数コア導波路の長さはゼロ、即ち、この複数コア導波路が無くてもよいが、有限の長さがあれば、加工精度の関係で端面位置が多少変動しても、安定した端面形状を得ることができる。テーパ光導波路コア1112A及び1112Bの狭い方の端部に入力された光は、広い方の端部に向かって伝搬するにつれて、別個のモードフィールドを有する2つの光へと分離される。これらの光は多モード干渉計導波路コア1104の2つの第2の入出力ポートにそれぞれ入力され、多モード干渉計導波路コア1104によって1つの光に結合され、第1の入出力ポートからテーパ光導波路コア1118へと出力される。テーパ光導波路コア1118に入力された光のモードフィールドは、テーパ導波路コア1118を介して、光導波路コア1114に沿って導波されるのに適した大きさのモードフィールドを有する光へと変換される。
このように、光モジュール1130においては、本発明の実施例の光結合器1100を用いることによって、大きなモードフィールドを有する半導体レーザから出力される光を、小さなモードフィールドを有する、光導波路コア1114に沿って導波される光へと変換することができる。
本発明は特定の実施例に関して記載されたが、本明細書に記載された実施例は、本発明を限定的に解釈することを意図したものではなく、本発明を例示的に説明することを意図したものである。本発明の範囲から逸脱することなく他の代替的な実施例を実施することが可能であることは当業者にとって明らかである。
100、200、300、500、700、800、900 光結合構造
102A、102B、102C、102D、102E、102F、202A、202C、202D、202E、202F、302A、302B、302C、302D、302E、302F、502A、502B、502C、502D、502E、502F 伝搬光のフィールド分布
104、106A、106B、206A、206B テーパ部
204 速度型方向性結合器
304、504、704、804、904、1004、1104 多モード干渉計導波路コア
308、508、708、808、908A、908B 第1の入出力ポート
310A、310B、510A、510B、710A、710B、810A、810B、810C、910A、910B、910C、910D 第2の入出力ポート
312A、312B、512A、512B、518、712A、712B、718、812A、812B、812C、912A、912B、912C、912D、918A、918B、1012A、1012B、1018、1112A、1112B、1118 テーパ光導波路コア
314、316A、316B、514、516A、516B、714、716A、716B、814、816A、816B、816C、914A、914B、916A、916B、916C、916D、1014、1114 光導波路コア
316、516、716、816、914、916 複数コア導波路
720A、720B 一定の幅を有する部分
1000、1100 光結合器
1020 レンズ
1022 光導波路
1024 コア
1030、1130 光モジュール
1126 光源
1128 活性領域
102A、102B、102C、102D、102E、102F、202A、202C、202D、202E、202F、302A、302B、302C、302D、302E、302F、502A、502B、502C、502D、502E、502F 伝搬光のフィールド分布
104、106A、106B、206A、206B テーパ部
204 速度型方向性結合器
304、504、704、804、904、1004、1104 多モード干渉計導波路コア
308、508、708、808、908A、908B 第1の入出力ポート
310A、310B、510A、510B、710A、710B、810A、810B、810C、910A、910B、910C、910D 第2の入出力ポート
312A、312B、512A、512B、518、712A、712B、718、812A、812B、812C、912A、912B、912C、912D、918A、918B、1012A、1012B、1018、1112A、1112B、1118 テーパ光導波路コア
314、316A、316B、514、516A、516B、714、716A、716B、814、816A、816B、816C、914A、914B、916A、916B、916C、916D、1014、1114 光導波路コア
316、516、716、816、914、916 複数コア導波路
720A、720B 一定の幅を有する部分
1000、1100 光結合器
1020 レンズ
1022 光導波路
1024 コア
1030、1130 光モジュール
1126 光源
1128 活性領域
Claims (11)
- コア数の異なる導波路を光結合するコア数変換型の光結合構造であって、
M個(Mは1以上の整数)のコアを備えるMコア導波路及びN個(NはMより大きい整数)のコアを備えるNコア導波路であって、前記Nコア導波路のN個のコアのそれぞれの横幅の内の最大値は、前記Mコア導波路のM個のコアのそれぞれの横幅の内の最小値のN分のM倍以下である、Mコア導波路及びNコア導波路と、
前記Mコア導波路とNコア導波路との間に配置される少なくともM個とN個の入出力ポートを有する多モード干渉計導波路コアであって、前記Mコア導波路のそれぞれのコアは前記多モード干渉計導波路コアのM個の入出力ポートに接続され、前記Nコア導波路のそれぞれのコアは前記多モード干渉計導波路コアのN個の入出力ポートに接続される、多モード干渉計導波路コアと、
前記Nコア導波路のそれぞれのコアと、それらのコアが接続される前記多モード干渉計導波路コアのそれぞれの入出力ポートとの間に配置される、前記Nコア導波路に向かって幅が漸減するテーパ導波路コアであって、前記テーパ導波路コアのそれぞれの中心軸の間隔は、隣り合うもの同士の間で、一定であるか、または多モード干渉計導波路から離れるにつれて漸増あるいは漸減する、テーパ導波路コアと
を備えることを特徴とする、光結合構造。 - 前記テーパ光導波路のうちの少なくとも1つは一定の幅を有する1つ以上の部分を含むことを特徴とする請求項1に記載の光結合構造。
- 前記多モード干渉計導波路コアの導波方向の中心軸に対して線対称の構造を有することを特徴とする請求項1又は2のいずれか1項に記載の光結合構造。
- 前記Mは1であることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の光結合構造。
- 前記Nは2であることを特徴とする請求項4に記載の光結合構造。
- 前記Nコア導波路のN個のそれぞれのコアの横幅は全て、前記N個のコアの任意の2つの間隔よりも小さいことを特徴とする、請求項1ないし5のいずれか1項に記載の光結合構造。
- 請求項1乃至6のいずれか1項に記載の光結合構造を含む光結合器であって、前記Mコア導波路が端面を備えることを特徴とする、光結合器。
- 前記Mコア導波路の長さがゼロであることを特徴とする、請求項7に記載の光結合器。
- 請求項1乃至6のいずれか1項に記載の光結合構造を含む光結合器であって、前記Nコア導波路が端面を備えることを特徴とする、光結合器。
- 前記Nコア導波路の長さがゼロであることを特徴とする、請求項9に記載の光結合器。
- 請求項7乃至10に記載の光結合器と、
光源と
を備え、前記光結合器の前記端面に前記光源が光結合されることを特徴とする光モジュール。
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JP2014012303A JP2015141218A (ja) | 2014-01-27 | 2014-01-27 | 光結合構造、光結合器及び光モジュール |
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-
2014
- 2014-01-27 JP JP2014012303A patent/JP2015141218A/ja active Pending
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CN114910996B (zh) * | 2021-02-07 | 2023-08-25 | 北京邮电大学 | 端面耦合器 |
CN114910997B (zh) * | 2021-02-07 | 2023-08-25 | 北京邮电大学 | 悬臂梁式端面耦合器 |
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