JP2015125057A - Eddy current type displacement sensor - Google Patents

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圭吾 多田
健一 古賀
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健一 古賀
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an eddy current type displacement sensor having excellent detection accuracy.SOLUTION: An eddy current type displacement sensor 10 includes: an oscillation circuit 12 oscillating a coil 14 which is provided on a plane surface and which is formed by winding a conducting wire in a rectangular shape; a metal plate 17 displaced along long side parts 14a, 14b in a manner not to cover the whole of a space closed by the coil 14; and a CPU 16 detecting a position of the metal plate 17 through a partial pressure of the coil 14.

Description

本発明は、渦電流式変位センサに関する。   The present invention relates to an eddy current displacement sensor.

特許文献1には、金属板に生じる渦電流を利用して金属板の位置を検出する渦電流式変位センサが開示されている。この渦電流式変位センサでは、電気信号が与えられているコイルに金属板を近づけるとコイルのインダクタンスが低下することを利用し、コイルの分圧信号を監視することで金属板の位置を検出する。   Patent Document 1 discloses an eddy current displacement sensor that detects the position of a metal plate by using an eddy current generated in the metal plate. In this eddy current type displacement sensor, utilizing the fact that the inductance of the coil decreases when the metal plate is brought close to the coil to which an electrical signal is applied, the position of the metal plate is detected by monitoring the partial voltage signal of the coil. .

特開昭58−105460号公報JP 58-105460 A

コイルのインダクタンスの低下は、コイルから発生する磁束が金属板によって遮られることに起因する。また、電気信号が与えられる導線は、同心円状の磁界を形成する。さらに、磁束密度は、導線からの距離に反比例する。これらのため、平面上において導線を矩形状に巻回したコイルを採用し、このコイルの長辺に沿ってコイル全体を覆うように移動する金属板の位置を検出しようとした場合、金属板の位置と金属板が遮る磁束の量が一定とならないので、金属板の位置を正確に求めることが困難であった。   The decrease in the inductance of the coil is caused by the fact that the magnetic flux generated from the coil is blocked by the metal plate. Moreover, the conducting wire to which the electric signal is applied forms a concentric magnetic field. Furthermore, the magnetic flux density is inversely proportional to the distance from the conductor. For these reasons, when a coil in which a conducting wire is wound in a rectangular shape on a plane is adopted and an attempt is made to detect the position of the metal plate that moves so as to cover the entire coil along the long side of the coil, Since the position and the amount of magnetic flux blocked by the metal plate are not constant, it is difficult to accurately determine the position of the metal plate.

本発明は、こうした実状に鑑みてなされたものであり、その目的は、検出精度の良い渦電流式変位センサを提供することにある。   The present invention has been made in view of such a situation, and an object thereof is to provide an eddy current type displacement sensor with high detection accuracy.

上記課題を解決するために、渦電流式変位センサは、平面上に設けられて直線部を有するコイルを発振させる発振回路と、前記コイルによって閉じられた空間全体を覆わないように前記直線部に沿って変位する検出対象と、前記コイルの分圧を通じて検出対象の位置を検出する検出部と、を備えることを要旨とする。   In order to solve the above problems, an eddy current displacement sensor includes an oscillation circuit that is provided on a plane and that oscillates a coil having a linear portion, and the linear portion that does not cover the entire space closed by the coil. The gist of the present invention is to include a detection target that is displaced along with a detection unit that detects the position of the detection target through the partial pressure of the coil.

この構成によれば、検出対象の変位方向に対して交わる方向に延びるコイルの導線部分周りに生じる磁束を検出対象が遮ることが抑制される。このため、検出対象は、変位している間、検出対象の変位方向に対して交わる方向に延びるコイルの導線部分から発生する磁束の影響を受けにくいので、検出対象の変位量に対して検出部が検出するコイルの分圧が直線状に変化する。これにより、検出対象の位置を正確に検出することができる。   According to this structure, it is suppressed that a detection target interrupts the magnetic flux which arises around the conducting wire part of the coil extended in the direction which cross | intersects with respect to the displacement direction of a detection target. For this reason, since the detection target is not easily affected by magnetic flux generated from the conductive wire portion of the coil that extends in the direction intersecting the displacement direction of the detection target while being displaced, the detection unit detects the displacement of the detection target. The partial pressure of the coil that is detected changes linearly. Thereby, the position of the detection target can be accurately detected.

上記構成において、前記コイルは、導線を矩形状に巻回して構成されるものであることが好ましい。
この構成によれば、矩形状をなすコイルを採用して検出対象の位置を正確に検出することができる。
The said structure WHEREIN: It is preferable that the said coil is comprised by winding conducting wire in a rectangular shape.
According to this configuration, it is possible to accurately detect the position of the detection target by employing a rectangular coil.

上記構成において、前記検出対象は、前記コイルの長辺部に沿って変位することが好ましい。
この構成によれば、検出対象がコイルの短辺に沿って変位する場合よりも検出範囲が広い。
The said structure WHEREIN: It is preferable that the said detection target displaces along the long side part of the said coil.
According to this configuration, the detection range is wider than when the detection target is displaced along the short side of the coil.

上記構成において、前記検出対象は一対の金属板からなり、それぞれ前記コイルの対向する2つの辺に沿って変位することが好ましい。
この構成によれば、検出対象が1つの場合よりコイルの分圧の変化が大きくなるので、より検出精度が良くなる。
The said structure WHEREIN: It is preferable that the said detection object consists of a pair of metal plate, and is displaced along two sides which the said coil respectively opposes.
According to this configuration, since the change in the partial pressure of the coil is larger than when there is one detection target, the detection accuracy is further improved.

本発明の渦電流式変位センサは、検出精度がよい。   The eddy current displacement sensor of the present invention has good detection accuracy.

渦電流式変位センサの概略構成を示すブロック図。The block diagram which shows schematic structure of an eddy current type displacement sensor. インダクタンス及びリニアリティにおける本例と従来例との差異を示すグラフ。The graph which shows the difference of this example and a prior art example in an inductance and linearity. 金属板の別例を示す平面図。The top view which shows another example of a metal plate. 金属板の別例を示す平面図。The top view which shows another example of a metal plate.

以下、渦電流式変位センサの一実施形態を図面に従って説明する。
図1に示すように、渦電流式変位センサ10は、電源11と、発振回路12と、抵抗13と、コイル14と、増幅・検波回路15と、CPU16と、金属板17と、を備えている。
Hereinafter, an embodiment of an eddy current displacement sensor will be described with reference to the drawings.
As shown in FIG. 1, the eddy current displacement sensor 10 includes a power supply 11, an oscillation circuit 12, a resistor 13, a coil 14, an amplification / detection circuit 15, a CPU 16, and a metal plate 17. Yes.

発振回路12は、電源11の信号から発振信号を生成する。
抵抗13は、発振回路12と増幅・検波回路15との間に介在されている。
コイル14の一端は抵抗13と増幅・検波回路15との間に接続され、他端は接地されている。従って、抵抗13とコイル14との間に分圧信号が生じる。分圧信号は、増幅・検波回路15に入力される。なお、ここでは、コイル14は、0.035mmの導線を用いて平面状且つ矩形状に巻回されている。コイル14は、長手方向に22mm、短手方向に12mmの長さを有している。コイル14は、2つの長辺部14a,14b及び2つの短辺部14c,14dを備えている。
The oscillation circuit 12 generates an oscillation signal from the signal of the power supply 11.
The resistor 13 is interposed between the oscillation circuit 12 and the amplification / detection circuit 15.
One end of the coil 14 is connected between the resistor 13 and the amplification / detection circuit 15, and the other end is grounded. Therefore, a divided voltage signal is generated between the resistor 13 and the coil 14. The divided signal is input to the amplification / detection circuit 15. Here, the coil 14 is wound in a planar shape and a rectangular shape by using a conductive wire of 0.035 mm. The coil 14 has a length of 22 mm in the longitudinal direction and 12 mm in the short direction. The coil 14 includes two long side portions 14a and 14b and two short side portions 14c and 14d.

金属板17は、一対の銅板17a,17bからなる。銅板17a,17bは、それぞれ長さ24mm、幅2mm、厚さ0.5mmの矩形状とされている。コイル14を平面と直交する方向から見たとき、銅板17aは長辺部14aを、銅板17bは長辺部14bを、それぞれ覆うように、コイル14の長手方向、すなわち長辺部14a,14bに沿って変位する。   The metal plate 17 includes a pair of copper plates 17a and 17b. Each of the copper plates 17a and 17b has a rectangular shape with a length of 24 mm, a width of 2 mm, and a thickness of 0.5 mm. When the coil 14 is viewed from a direction perpendicular to the plane, the copper plate 17a covers the long side portion 14a, and the copper plate 17b covers the long side portion 14b, so that the longitudinal direction of the coil 14, that is, the long side portions 14a and 14b is covered. Displaces along.

増幅・検波回路15は、分圧信号を増幅・検波して検波信号を生成する。
CPU16は、検波信号を監視して、コイル14の長辺部14a,14bが金属板17にどの程度覆われているかを検出する。なお、金属板17が検出対象に、CPU16が検出部に、それぞれ相当する。
The amplification / detection circuit 15 amplifies and detects the divided signal to generate a detection signal.
The CPU 16 monitors the detection signal to detect how much the long side portions 14 a and 14 b of the coil 14 are covered with the metal plate 17. The metal plate 17 corresponds to a detection target, and the CPU 16 corresponds to a detection unit.

次に、渦電流式変位センサ10の作用について説明する。ここでは、コンピュータによる本例の渦電流式変位センサ10のシミュレーション結果と比較例のシミュレーション結果とを比較しながら説明する。ここでは、金属板がコイルを1mmだけ覆った状態から覆う量が増えるように長手方向に変位して金属板が21mm覆うまでシミュレーションしている。なお、ここでは、インダクタンス及びリニアリティをシミュレーションしている。リニアリティとは、理想値に対してシミュレーション値がどの程度異なる値かを示す指標である。   Next, the operation of the eddy current displacement sensor 10 will be described. Here, the simulation result of the eddy current displacement sensor 10 of the present example by a computer and the simulation result of the comparative example will be compared. Here, a simulation is performed until the metal plate covers 21 mm by being displaced in the longitudinal direction so that the amount of the metal plate covering the coil by 1 mm increases from the state where the coil is covered. Here, the inductance and linearity are simulated. Linearity is an index indicating how much the simulation value differs from the ideal value.

なお、本例と比較例との違いは、金属板である。図1において破線で示すように、比較例は1枚の大きな金属板(銅板)でコイル14全体を覆う構成を採用する。比較例として採用される銅板のサイズは、長さ24mm、幅14mm、厚さ0.5mmとする。   The difference between this example and the comparative example is a metal plate. As shown by a broken line in FIG. 1, the comparative example employs a configuration in which the entire coil 14 is covered with one large metal plate (copper plate). The size of the copper plate employed as a comparative example is 24 mm long, 14 mm wide, and 0.5 mm thick.

図2に示すように、本例のインダクタンスは、従来例のインダクタンスよりも大きい。また、本例のリニアリティは、従来例のリニアリティと比較して0(零)に近接した値をとる。従来例の金属板はコイル14全体、すなわち長辺部14a,14bに加えて短辺部14c,14dを覆うのに対し、本例の金属板17は2つの銅板17a,17bからなり長辺部14a,14bを覆うように変位する構成とされている。従って、本例の金属板17は短辺部14c,14dを覆う量が従来例よりも少ない。すなわち、本例の金属板17は従来例よりも距離に反比例して弱くなる短辺部14c,14d周りに発生する磁束を遮りにくい構成とされている。このように、本例の渦電流式変位センサ10を採用すれば、従来例と比較して金属板17の変位量に対してインダクタンスの変化割合が一定となるので、分圧信号の変化割合も一定となる。これにより、検波信号から金属板17の位置を精度よく検出することができる。   As shown in FIG. 2, the inductance of this example is larger than the inductance of the conventional example. Further, the linearity of this example takes a value closer to 0 (zero) than the linearity of the conventional example. The metal plate of the conventional example covers the entire coil 14, that is, the short side portions 14 c and 14 d in addition to the long side portions 14 a and 14 b, whereas the metal plate 17 of this example is composed of two copper plates 17 a and 17 b and has a long side portion. It is set as the structure displaced so that 14a, 14b may be covered. Therefore, the amount of the metal plate 17 of this example covering the short sides 14c and 14d is smaller than that of the conventional example. That is, the metal plate 17 of this example is configured to be less likely to block the magnetic flux generated around the short sides 14c and 14d, which becomes weaker in inverse proportion to the distance than the conventional example. Thus, if the eddy current displacement sensor 10 of this example is employed, the rate of change of the inductance is constant with respect to the amount of displacement of the metal plate 17 as compared with the conventional example, so the rate of change of the partial pressure signal is also high. It becomes constant. Thereby, the position of the metal plate 17 can be accurately detected from the detection signal.

以上詳述したように、本実施形態によれば、以下に示す効果が得られる。
(1)平面上に設けられて矩形状に巻回して構成されるコイル14の長辺部14a,14bを覆うように当該長辺部14a,14bに沿って変位する金属板17を一対の銅板17a,17bで構成した。銅板17a、17bは、短辺部14c,14dを覆いにくいように離間して設けた。すなわち、銅板17a、17bは、コイル14に閉じられた空間全体を覆わないように変位する。これにより、銅板17a,17bは、短辺部14c,14d周りに生じる磁束を遮りにくい。その結果、金属板17の変位量に対して分圧信号の変化割合も一定となるので、金属板17の位置を精度よく検出することができる。
As described above in detail, according to the present embodiment, the following effects can be obtained.
(1) A pair of copper plates is used to displace the metal plate 17 that is displaced along the long side portions 14a and 14b so as to cover the long side portions 14a and 14b of the coil 14 that is provided on a flat surface and wound in a rectangular shape. 17a and 17b. The copper plates 17a and 17b were provided so as to be difficult to cover the short side portions 14c and 14d. That is, the copper plates 17 a and 17 b are displaced so as not to cover the entire space closed by the coil 14. Thereby, the copper plates 17a and 17b are difficult to block the magnetic flux generated around the short side portions 14c and 14d. As a result, the rate of change of the partial pressure signal with respect to the amount of displacement of the metal plate 17 becomes constant, so that the position of the metal plate 17 can be detected with high accuracy.

(2)金属板17をコイル14の長辺部14a,14bに沿って変位するように構成した。これにより、短辺部14c,14dに沿って変位するように構成した場合と比較して、金属板17の位置を検出できる範囲が広い。   (2) The metal plate 17 is configured to be displaced along the long side portions 14 a and 14 b of the coil 14. Thereby, compared with the case where it comprises so that it may displace along short side parts 14c and 14d, the range which can detect the position of metal plate 17 is wide.

(3)金属板17を一対の銅板17a、17bにより構成した。これにより、1つの銅板を採用した場合と比較して分圧変化が大きくなるので、より検出精度が良い。
なお、上記実施形態は、以下のように変更してもよい。
(3) The metal plate 17 is composed of a pair of copper plates 17a and 17b. As a result, the change in partial pressure is greater than when a single copper plate is used, so that the detection accuracy is better.
In addition, you may change the said embodiment as follows.

・上記実施形態において、金属板17は一対の銅板17a,17bにより構成されたが、1枚の金属板で構成されていてもよい。
・上記実施形態において、金属板17は、長辺部14a,14bに沿って変位したが、短辺部14c,14dに沿って変位する構成であってもよい。
In the above embodiment, the metal plate 17 is composed of a pair of copper plates 17a and 17b, but may be composed of a single metal plate.
-In above-mentioned embodiment, although the metal plate 17 displaced along the long side parts 14a and 14b, the structure displaced along the short side parts 14c and 14d may be sufficient.

・上記実施形態において、図1に示すように、銅板17a、17bの幅は、長辺部14a,14bの幅よりも長く設定されたが、図3に示すように短くてもよい。
・上記実施形態において、図1に示すように、銅板17a,17bは、長辺部14a,14bの全体を覆うように設けられたが、図4に示すように、長辺部14a,14bの一部を覆うように設けられてもよい。
In the above embodiment, as shown in FIG. 1, the widths of the copper plates 17a and 17b are set longer than the widths of the long side portions 14a and 14b, but may be shorter as shown in FIG.
In the above embodiment, as shown in FIG. 1, the copper plates 17a and 17b are provided so as to cover the entire long side portions 14a and 14b, but as shown in FIG. 4, the long side portions 14a and 14b You may provide so that a part may be covered.

・上記実施形態において、コイル14は導線が矩形状に巻回されて構成されたがたとえば平行四辺形など、上記実施形態の長辺部14a,14bに相当する直線部が設けられる形状であってもよい。この場合、金属板は、直線部に沿って変位するように構成する。このように構成した場合でも、金属板の変位量に対して分圧信号の変化割合も一定になるので、金属板の位置を精度よく検出することができる。   In the above embodiment, the coil 14 is formed by winding a conducting wire in a rectangular shape, but has a shape provided with linear portions corresponding to the long side portions 14a and 14b of the above embodiment, such as a parallelogram, for example. Also good. In this case, the metal plate is configured to be displaced along the straight portion. Even in such a configuration, the rate of change of the partial pressure signal with respect to the amount of displacement of the metal plate is also constant, so that the position of the metal plate can be detected with high accuracy.

・上記実施形態において、コイル14のサイズ、銅板17a,17bのサイズは、適宜変更可能である。
・上記実施形態において、金属板17を銅板17a,17bにより構成したが、これは一例である。金属板には、コイル14の磁束を遮ることにより誘導起電力が発生するものであれば各種の金属を適用することができる。なお、板状である必要もない。
-In the said embodiment, the size of the coil 14 and the size of the copper plates 17a and 17b can be changed suitably.
In the above embodiment, the metal plate 17 is composed of the copper plates 17a and 17b, but this is an example. Various metals can be applied to the metal plate as long as an induced electromotive force is generated by blocking the magnetic flux of the coil 14. It does not have to be plate-shaped.

・上記実施形態において、渦電流式変位センサ10は、金属板の位置に応じた制御を行う各種の装置に適用することができる。例えばシフトレバー装置として使用してもよい。この場合、金属板17は、シフトレバーに連動して変位する。   In the above embodiment, the eddy current displacement sensor 10 can be applied to various devices that perform control according to the position of the metal plate. For example, it may be used as a shift lever device. In this case, the metal plate 17 is displaced in conjunction with the shift lever.

10…渦電流式変位センサ、11…電源、12…発振回路、13…抵抗、14…コイル、15…増幅・検波回路、16…CPU、17…金属板。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Eddy current type displacement sensor, 11 ... Power supply, 12 ... Oscillation circuit, 13 ... Resistance, 14 ... Coil, 15 ... Amplification / detection circuit, 16 ... CPU, 17 ... Metal plate.

Claims (4)

平面上に設けられて直線部を有するコイルを発振させる発振回路と、
前記コイルによって閉じられた空間全体を覆わないように前記直線部に沿って変位する検出対象と、
前記コイルの分圧を通じて検出対象の位置を検出する検出部と、を備える渦電流式変位センサ。
An oscillation circuit that oscillates a coil provided on a plane and having a linear portion;
A detection object that is displaced along the straight line so as not to cover the entire space closed by the coil;
An eddy current displacement sensor comprising: a detection unit that detects a position of a detection target through a partial pressure of the coil.
請求項1に記載の渦電流式変位センサにおいて、
前記コイルは、導線を矩形状に巻回して構成されるものである渦電流式変位センサ。
The eddy current displacement sensor according to claim 1,
The coil is an eddy current displacement sensor configured by winding a conducting wire in a rectangular shape.
請求項2に記載の渦電流式変位センサにおいて、
前記検出対象は、前記コイルの長辺部に沿って変位する渦電流式変位センサ。
The eddy current displacement sensor according to claim 2,
The detection target is an eddy current displacement sensor that is displaced along a long side portion of the coil.
請求項2又は3に記載の渦電流式変位センサにおいて、
前記検出対象は一対の金属板からなり、それぞれ前記コイルの対向する2つの辺に沿って変位する渦電流式変位センサ。
In the eddy current type displacement sensor according to claim 2 or 3,
The detection target is an eddy current type displacement sensor that includes a pair of metal plates and is displaced along two opposing sides of the coil.
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