JP2015123691A - Liquid ejection head and liquid ejection device - Google Patents
Liquid ejection head and liquid ejection device Download PDFInfo
- Publication number
- JP2015123691A JP2015123691A JP2013270569A JP2013270569A JP2015123691A JP 2015123691 A JP2015123691 A JP 2015123691A JP 2013270569 A JP2013270569 A JP 2013270569A JP 2013270569 A JP2013270569 A JP 2013270569A JP 2015123691 A JP2015123691 A JP 2015123691A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- wiring
- plating layer
- wiring layer
- ink
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Abstract
Description
本発明は、溶剤を含む液体を噴射する液体噴射ヘッド及び液体噴射装置に関し、特に液体としてインクを噴射するインクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置に関する。 The present invention relates to a liquid ejecting head and a liquid ejecting apparatus that eject a liquid containing a solvent, and more particularly to an ink jet recording head and an ink jet recording apparatus that eject ink as a liquid.
インクジェット式プリンターやプロッター等のインクジェット式記録装置に代表される液体噴射装置は、液体が貯留されたカートリッジやタンク等の液体貯留手段からの液体を液滴として噴射可能な液体噴射ヘッドを有する。 A liquid ejecting apparatus typified by an ink jet recording apparatus such as an ink jet printer or a plotter has a liquid ejecting head capable of ejecting liquid from a liquid storing means such as a cartridge or tank in which the liquid is stored as droplets.
このような液体噴射ヘッドとしては、液体としてインクを噴射するノズル開口に連通する流路と、流路内の液体に圧力変化を生じさせてノズル開口からインクを噴射させる圧力発生手段とを具備するインクジェット式記録ヘッドがある。そして、インクジェット式記録ヘッドに搭載される圧力発生手段としては、例えば、縦振動型の圧電アクチュエーター、撓み振動型の圧電アクチュエーター、発熱素子及び静電気力を用いたものなどが挙げられる。 Such a liquid ejecting head includes a flow path that communicates with a nozzle opening that ejects ink as liquid, and a pressure generation unit that causes a pressure change in the liquid in the flow path to eject ink from the nozzle opening. There is an ink jet recording head. Examples of pressure generating means mounted on the ink jet recording head include a longitudinal vibration type piezoelectric actuator, a flexural vibration type piezoelectric actuator, a heating element, and a device using an electrostatic force.
ここで、インクジェット式記録ヘッドとしては、液体を噴射するヘッド本体と、ヘッド本体の液体噴射面とは反対面側に設けられた流路部材と、を具備し、流路部材から液体がヘッド本体に供給される(例えば、特許文献1及び2参照)。 Here, the ink jet recording head includes a head main body that ejects liquid, and a flow path member that is provided on a surface opposite to the liquid ejection surface of the head main body. (See, for example, Patent Documents 1 and 2).
このようなインクジェット式記録ヘッドは、ヘッド本体に接続されたフレキシブル基板からなる配線基板と、流路部材に保持されて配線基板に接続されたリジット基板からなる回路基板とを具備し、外部からの信号は回路基板及び配線基板を介して圧力発生手段に供給される。 Such an ink jet recording head includes a wiring board made of a flexible board connected to the head body, and a circuit board made of a rigid board held by the flow path member and connected to the wiring board. The signal is supplied to the pressure generating means via the circuit board and the wiring board.
また、インクジェット式記録ヘッドに用いられるフレキシブル基板の配線は、銅箔等の配線層の端子部を金メッキで覆って構成されており、配線層の金メッキで覆われた端子部を回路基板や実装部材等の他の部材の端子部に接続すると共に、金メッキで覆われていない配線層をレジスト層によって保護していた。 Also, the wiring of the flexible substrate used in the ink jet recording head is configured by covering the terminal portion of the wiring layer such as copper foil with gold plating, and the terminal portion covered with the gold plating of the wiring layer is configured as a circuit board or a mounting member. In addition, the wiring layer that is not covered with the gold plating is protected by the resist layer.
しかしながら、インクジェット式記録ヘッドの溶剤を含むインクを吐出させる場合、インクに含まれる溶剤が揮発し、揮発した溶剤が配線基板の配線を腐食してしまうという問題がある。
具体的には、インクに含まれる溶剤が揮発し、揮発した溶剤がレジスト層を通過して配線層上に溜まることで、配線層が腐食してしまう場合がある。
However, when ink containing a solvent for an ink jet recording head is ejected, there is a problem that the solvent contained in the ink volatilizes and the volatilized solvent corrodes the wiring on the wiring board.
Specifically, the solvent contained in the ink volatilizes, and the volatilized solvent passes through the resist layer and accumulates on the wiring layer, so that the wiring layer may be corroded.
また、他の部材の端子部と接続される端子部に金メッキを施した配線についても、他の部材の端子部と接続する際の熱等によって金メッキが変質し、変質した部分が溶剤によって腐食してしまう場合がある。なお、金メッキの変質は熱によるものに限定されず、常温であっても金属同士の拡散現象等によって変質してしまい、腐食が発生する場合がある。
なお、このような問題はインクジェット式記録ヘッドだけではなく、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドにおいても同様に存在する。
In addition, for the wiring in which the terminal part connected to the terminal part of the other member is gold-plated, the gold plating is altered by heat or the like when connecting to the terminal part of the other member, and the altered part is corroded by the solvent. May end up. The alteration of the gold plating is not limited to that caused by heat, and even at room temperature, the alteration may occur due to a diffusion phenomenon between metals, and corrosion may occur.
Such a problem exists not only in an ink jet recording head but also in a liquid ejecting head that ejects liquid other than ink.
本発明はこのような事情に鑑み、溶剤による配線の腐食を抑制した液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供することを目的とする。 In view of such circumstances, an object of the present invention is to provide a liquid ejecting head and a liquid ejecting apparatus that suppress corrosion of wiring due to a solvent.
上記課題を解決する本発明の態様は、溶剤を含む液体を噴射する液体噴射ヘッドであって、フレキシブル基板と、該フレキシブル基板に接合されたリジット基板と、を具備し、前記フレキシブル基板は、基材と、該基材上に設けられた配線層と、前記配線層上の全面に亘って設けられ、前記配線層よりも前記溶剤に対する耐食性が高い材料で形成されたメッキ層と、前記メッキ層上に設けられた絶縁性を有する保護層と、を具備し、前記保護層が設けられていない前記メッキ層に前記リジット基板が接合されていることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる態様では、配線層にメッキ層を設けることで、液体に含まれる溶剤が揮発して、レジストを透過した場合であっても、溶剤によってメッキ層の腐食が抑制されるため、配線の腐食による断線等の不具合を抑制することができる。また、保護層にメッキ層を設ける場合よりも製造コストを抑えることができる。
An aspect of the present invention that solves the above problems is a liquid ejecting head that ejects a liquid containing a solvent, and includes a flexible substrate and a rigid substrate bonded to the flexible substrate, and the flexible substrate includes a base. Material, a wiring layer provided on the substrate, a plating layer provided over the entire surface of the wiring layer, and formed of a material having higher corrosion resistance to the solvent than the wiring layer, and the plating layer And a protective layer having an insulating property provided thereon, wherein the rigid substrate is bonded to the plating layer on which the protective layer is not provided.
In such an aspect, by providing a plating layer in the wiring layer, even if the solvent contained in the liquid volatilizes and permeates the resist, the corrosion of the plating layer is suppressed by the solvent. Problems such as disconnection can be suppressed. Further, the manufacturing cost can be reduced as compared with the case where the protective layer is provided with a plating layer.
ここで、前記配線層と前記リジット基板との間の前記メッキ層であって、前記保護層が形成されておらず、前記リジット基板とも接合されていない領域は、前記保護層に対して溶剤の透過性が低い材料からなる封止材によって覆われていることが好ましい。これによれば、液体に含まれる溶剤が揮発し、揮発した溶剤が封止材によって保護層に覆われていないメッキ層上に到達するのを、封止材によって抑制することができる。したがって、メッキ層が熱等によって変質した場合であっても、メッキ層の腐食を抑制することができる。 Here, the plating layer between the wiring layer and the rigid substrate, in which the protective layer is not formed and is not joined to the rigid substrate, is a solvent layer with respect to the protective layer. It is preferably covered with a sealing material made of a material having low permeability. According to this, it can suppress by the sealing material that the solvent contained in the liquid evaporates and the volatilized solvent reaches | attains on the plating layer which is not covered with the protective layer with the sealing material. Therefore, even when the plated layer is altered by heat or the like, corrosion of the plated layer can be suppressed.
また、本発明の他の態様は、溶剤を含む液体を噴射する液体噴射ヘッドであって、フレキシブル基板と、該フレキシブル基板に接合されたリジット基板と、を具備し、前記フレキシブル基板は、基材と、該基材上に設けられた配線層と、前記配線層上の少なくとも前記リジット基板に接合される領域に設けられたメッキ層と、前記配線層上に設けられた絶縁性を有する保護層と、を具備し、前記配線層と前記リジット基板との間の前記メッキ層であって、前記保護層が設けられておらず、前記リジット基板に接合されていない領域は封止材によって覆われていることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる態様では、液体に含まれる溶剤が揮発し、揮発した溶剤が封止材によって保護層に覆われていないメッキ層上に到達するのを、封止材によって抑制することができる。したがって、メッキ層が熱等によって変質した場合であっても、メッキ層の腐食を抑制することができる。
Another aspect of the present invention is a liquid ejecting head that ejects a liquid containing a solvent, and includes a flexible substrate and a rigid substrate bonded to the flexible substrate, and the flexible substrate includes a base material A wiring layer provided on the substrate, a plating layer provided at least in a region bonded to the rigid substrate on the wiring layer, and an insulating protective layer provided on the wiring layer The plating layer between the wiring layer and the rigid substrate, the protective layer is not provided, and the region not bonded to the rigid substrate is covered with a sealing material. The liquid ejecting head is characterized by the above.
In such an aspect, the solvent contained in the liquid volatilizes, and the volatilized solvent can be prevented from reaching the plating layer not covered with the protective layer by the sealing material. Therefore, even when the plated layer is altered by heat or the like, corrosion of the plated layer can be suppressed.
ここで、前記封止材がエポキシ系接着剤であることが好ましい。これによれば、封止材として特定の材料を用いることで、溶剤の透過をさらに抑制することができる。 Here, the sealing material is preferably an epoxy adhesive. According to this, permeation | transmission of a solvent can further be suppressed by using a specific material as a sealing material.
また、前記配線層の端面は前記封止材によって覆われていることが好ましい。これによれば、配線層の端面に溶剤が付着することによる配線の腐食を抑制することができる。 Moreover, it is preferable that the end surface of the said wiring layer is covered with the said sealing material. According to this, corrosion of the wiring due to the solvent adhering to the end face of the wiring layer can be suppressed.
さらに、本発明の他の態様は、上記態様の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置にある。
かかる態様では、溶剤を含む液体を噴射することができると共に配線の腐食を抑制した液体噴射装置を実現できる。
According to another aspect of the invention, there is provided a liquid ejecting apparatus including the liquid ejecting head according to the above aspect.
In this aspect, it is possible to realize a liquid ejecting apparatus that can eject a liquid containing a solvent and suppress corrosion of the wiring.
以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。
(実施形態1)
図1は、本発明の実施形態1に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドの分解斜視図であり、図2は、本発明の実施形態1に係るインクジェット式記録ヘッドの平面図であり、図3は、図2(a)のA−A′線断面図である。
Hereinafter, the present invention will be described in detail based on embodiments.
(Embodiment 1)
1 is an exploded perspective view of an ink jet recording head that is an example of a liquid ejecting head according to Embodiment 1 of the present invention. FIG. 2 is a plan view of the ink jet recording head according to Embodiment 1 of the present invention. FIG. 3 is a cross-sectional view taken along the line AA ′ of FIG.
図示するように、本実施形態の液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッド200は、液体としてインク滴を噴射するヘッド本体210と、ヘッド本体210にインクを供給する流路部材220と、流路部材220に保持された回路基板250と、回路基板250に接続された外部配線基板260と、カバーヘッド270と、を具備する。
As shown in the drawing, an ink
本実施形態のヘッド本体210は、溶剤を含むインクを噴射するノズル開口211が開口する液体噴射面211aが設けられている。ここで、溶剤を含むインクとしては、例えば、紫外線を吸収して硬化する所謂UVインクやソルベントインクなどが挙げられる。
The head
また、ヘッド本体210の図示しない内部には、ノズル開口211に連通する流路と、流路内のインクに圧力変化を生じさせる圧力発生手段等が設けられている。かかる圧力発生手段としては、例えば、電気機械変換機能を呈する圧電材料を有する圧電アクチュエーターの変形によって液体流路の容積を変化させて液体流路内のインクに圧力変化を生じさてノズル開口からインク滴を噴射させるものや、流路内に発熱素子を配置して、発熱素子の発熱で発生するバブルによってノズル開口からインク滴を噴射させるものや、振動板と電極との間に静電気力を発生させて、静電気力によって振動板を変形させてノズル開口からインク滴を噴射させるいわゆる静電式アクチュエーターなどが挙げられる。 Further, inside the head main body 210 (not shown), a flow path communicating with the nozzle opening 211, a pressure generating means for causing a pressure change in the ink in the flow path, and the like are provided. As such a pressure generating means, for example, the volume of the liquid flow path is changed by deformation of a piezoelectric actuator having a piezoelectric material exhibiting an electromechanical conversion function, thereby causing a pressure change in the ink in the liquid flow path, so that the ink droplets from the nozzle openings That injects ink droplets, injects ink droplets from the nozzle openings by bubbles generated by the heat generated by the heating elements, and generates electrostatic force between the diaphragm and the electrode. For example, a so-called electrostatic actuator that ejects ink droplets from the nozzle openings by deforming the diaphragm by electrostatic force may be used.
なお、ヘッド本体210の液体噴射面211aに開口するノズル開口211は、複数が並設されてノズル開口211の列を構成している。本実施形態では、ノズル開口211が並設された方向を第1の方向Xと称する。また、本実施形態では、第1の方向Xに並設されたノズル開口211の列は、第1の方向Xと直交する方向に2列設けられている。本実施形態では、第1の方向Xに直交する方向を第2の方向Yと称する。また、本実施形態では、第1の方向X及び第2の方向Yに直交する方向を第3の方向Zと称し、第3の方向Zにおいて液体噴射面211a側をZ1側、液体噴射面211aとは反対側をZ2側と称する。
このようなヘッド本体210のノズル開口211が開口する液体噴射面211a側には、ノズル開口211を露出した状態で保護するカバーヘッド270が固定されている。
A plurality of
A
また、ヘッド本体210の液体噴射面211aであるZ1側とは反対側のZ2側からは、配線基板212が引き出されている。配線基板212は、詳しくは後述するが、フレキシブル基板からなり、ヘッド本体210の図示しない圧力発生手段等に接続されている。
Further, the
流路部材220は、ヘッド本体210の液体噴射面211aであるZ1側とは反対側のZ2側に固定されている。本実施形態では、流路部材220に螺合される2つのネジ部材271によってヘッド本体210は流路部材220に固定されている。
The
流路部材220は、流路部材本体221と、流路部材本体221の両側面、本実施形態では、第2の方向Yの両側にそれぞれ設けられた第1蓋部材222と第2蓋部材223とを具備する。本実施形態では、第2の方向Yにおいて、第1蓋部材222が設けられた側をY1側、第2蓋部材223が設けられた側をY2側と称する。
The
流路部材220には、液体としてインクが貯留された液体貯留手段(図示なし)からヘッド本体210にインクを供給すると共に、ヘッド本体210からのインクを液体貯留手段に回収する液体流路400が設けられている。本実施形態の液体流路400は、供給流路410と回収流路420とを有し、供給流路410及び回収流路420には、インクを貯留する液体貯留手段が直接又はチューブを介して接続されている。
供給流路410は、液体貯留手段からのインクをヘッド本体210に供給する往路であり、流路部材220の第1の方向Xの一端部側に設けられている。
The
The
また、回収流路420は、ヘッド本体210からのインクを液体貯留手段に回収する復路であり、流路部材220の第1の方向Xの他端部側に設けられている。本実施形態では、第1の方向Xにおいて、供給流路410が設けられた一端部側をX2側と称し、回収流路420が設けられた他端部側をX1側と称する。
The
また、供給流路410には、インクに含まれる気泡やゴミなどの異物を除去するためのフィルター224が設けられている。液体貯留手段から供給されたインクは、フィルター224を通過して異物が除去されてヘッド本体210に供給される。
また、流路部材本体221には、第2の方向Yの一方面側に開口する第1凹部225と、第2の方向Yの他方面側に開口する第2凹部226とが設けられている。
Further, the
In addition, the flow path member
流路部材220の第1凹部225の開口は、第1蓋部材222によって覆われており、第1凹部225と第1蓋部材222との間には第1空間部430が形成されている。
また、第2凹部226の開口は、第2蓋部材223によって覆われており、第2凹部226と第2蓋部材223との間には第2空間部431が形成されている。
The opening of the
The opening of the
そして、第2空間部431内に本実施形態のリジット基板である回路基板250が保持されている。また、流路部材220のヘッド本体210側、すなわちZ1側には、第2空間部431とZ1側の面とを連通する連通孔228が設けられている。ヘッド本体210の配線基板212は、連通孔228を挿通されて第2空間部431内で回路基板250と接続されている。
And the
また、流路部材220のZ2側には、第2空間部431と外部とを連通する外部配線接続孔229が設けられている。外部配線基板260は、外部配線接続孔229を挿通されて第2空間部431内で回路基板250と接続されている。なお、外部配線接続孔229は、図示しないシール部材によって密封されている。これにより、外部配線接続孔229からインクが侵入するのを抑制している。また、外部配線基板260は、フレキシブル基板(FPC)等からなる。
このように外部の制御回路等からの印刷信号は外部配線基板260、回路基板250及び配線基板212を介して駆動信号としてヘッド本体210の圧力発生手段に供給される。
In addition, an external
In this way, a print signal from an external control circuit or the like is supplied to the pressure generating means of the head
ここで、配線基板212及び回路基板250について図4をさらに参照して詳細に説明する。なお。図4は、配線基板及び回路基板の要部を拡大した断面図である。
図4に示すように、配線基板212は、フレキシブル基板(FPC)やフレキシブル基板上に駆動IC等の駆動回路が実装されたCOF等からなり、基材213と、基材213上に設けられた配線層214と、配線層214上に設けられたメッキ層215と、少なくとも一部のメッキ層215上に設けられた絶縁性を有する保護層216と、を具備する。なお、本実施形態では、配線基板212の配線層214とメッキ層215とが配線を構成する。
Here, the
As shown in FIG. 4, the
基材213は、絶縁材料で形成された可撓性を有するフィルム、例えば、ポリエステルフィルムやポリイミドフィルム等を用いることができる。
配線層214は、基材213上に形成された導体からなり、所定の形状にパターニングされている。このような配線層の材料としては、例えば、銅(Cu)、アルミニウム(Al)等が挙げられる。配線層は、例えば、銅箔を基材213に接着した後、所定形状にパターニングすることで形成することができる。もちろん、配線層の形成方法はこれに限定されず、無電解メッキ等によって形成してもよい。
As the
The
メッキ層215は、配線層214上の全面に亘ってメッキによって形成されたものである。メッキ層215の材料は、インクに含まれる溶剤に対して配線層214の材料よりも高い耐食性を有し、且つ配線基板212のフレキシブル性を損なわないものである。本実施形態では、インクには、モノマー等の溶剤が含まれるため、このようなインクに含まれる溶剤に対して配線層214の材料よりも高い耐食性を有し、且つ配線基板212のフレキシブル性を損なわない材料として、例えば、金(Au)、スズ(Sn)、白金(Pt)等からなる群から選択される少なくとも一種が挙げられる。なお、インクは、アクリレートモノマーやγ−ブチロラクトンを含むものであってもよい。なお、メッキ層215は、上記材料から選択される少なくとも一種の材料による単一層であっても、また、複数の層を積層したものであってもよい。また、メッキ層215は、配線層214上に直接形成しても、ニッケル等の密着層を設けるようにしてもよい。ちなみに、ニッケル等の密着層もメッキによって形成することができる。また、メッキ層215としてスズを用いた場合、配線基板212に応力が印加された際に、ウィスカーが形成される虞があるため、メッキ層215としては、ウィスカーが発生し難い材料、すなわち、金(Au)等を用いるのが好ましい。もちろん、メッキ層215としてスズを用いた場合には、ウィスカー対策として鉛を入れることや熱処理することでウィスカーの発生を抑制するようにすればよい。また、メッキ層215は、配線層214の材料よりもイオン化傾向が低い材料が好ましい。これは、詳しくは後述するが、メッキ層215は、インクに含まれる溶剤が揮発し、揮発した溶剤が配線層214上に溜まり腐食するのを抑制するために設けたものであるため、メッキ層215として配線層214よりも反応性の低い材料、すなわち、イオン化傾向が小さい材料を用いることで、メッキ層215上に溶剤が溜まったとしても、メッキ層215が腐食するのを抑制することができる。つまり、配線層214として銅(Cu)を用いた場合には、メッキ層215としては、銅(Cu)よりもイオン化傾向が小さい材料、すなわち、金(Au)等を用いるのが好適である。また、配線層214としてアルミニウム(Al)を用いた場合には、メッキ層215としては、アルミニウム(Al)よりもイオン化傾向が小さい材料、すなわち、金(Au)、スズ(Sn)、白金(Pt)等からなる群から選択される少なくとも一種の材料を用いることができる。なお、このようなメッキ層215を形成するメッキ方法は特に限定されず、電解メッキであっても、無電解メッキであってもよい。
The
このようなメッキ層215は、少なくとも配線層214の基材213側であるY2側とは反対側であるY1側の面上に亘って形成されている。もちろん、メッキ層215は、配線層214の基材213側の面以外の全面、すなわち、端面に亘って形成されていてもよい。なお、配線層214の端面とは、積層方向である第2の方向Yに直交する方向、すなわち、第1の方向X及び第3の方向Zの面のことである。つまり、メッキ層215が配線層214上の全面に亘って設けられているとは、少なくとも配線層214の基材213に接合された面であるY2側とは反対側であるY1側の面上の全面に亘って形成されていることである。もちろん、配線層214の全面に亘ってメッキ層215を設けるといっても、短絡を防ぐために、配線間もメッキ層215で覆うなどして配線間を導通させる必要はない。また、本実施形態では、配線層214上に直接メッキ層215を設けた構成を例示したが、特にこれに限定されるものではなく、上述のように配線層214とメッキ層215との間に密着層等を設けるようにしてもよい。つまり、配線層214上とは、配線層214の直上も、間に他の部材が介在した状態(上方)も含むものである。
Such a
保護層216は、絶縁性を有する材料からなり、メッキ層215の他の部材に接続される端子部217以外の領域上に形成されている。このような保護層216としては、熱硬化性エポキシ樹脂等のソルダーレジストを用いることができる。また、保護層216は、例えば、レジスト材料塗布溶液をスクリーン印刷法にて塗布して所定形状に形成することができる。なお、保護層216は、ソルダーレジストに限定されず、例えば、ポリイミドフィルム等の絶縁性フィルムを接着剤で接着したものであってもよい。
The
このような保護層216は、メッキ層215上、すなわち、メッキ層215の少なくとも配線層214側であるY2側とは反対側であるY1側の面上に亘って形成されている。もちろん、保護層216は、メッキ層215の端面に亘って形成されていてもよい。なお、メッキ層215の端面とは、積層方向である第2の方向Yに直交する方向、すなわち、第1の方向X及び第3の方向Zの面のことである。つまり、保護層216がメッキ層215上に形成されているとは、少なくともメッキ層215の配線層214側であるY2側とは反対側のY1側の面上に形成されていることである。また、本実施形態では、メッキ層215上に直接保護層216を設けた構成を例示したが、特にこれに限定されるものではなく、メッキ層215と保護層216との間に他の層を設けるようにしてもよい。また、保護層216は、基材213のY1側の面上の全面に亘って形成されてもよい。
Such a
そして、保護層216によって覆われていないメッキ層215が配線基板212の端子部217となり、この端子部217が回路基板250の端子部251と接続されている。本実施形態では、配線基板212の端子部217と回路基板250の端子部251とは、ハンダ218によって接合するようにした。もちろん、配線基板212の端子部217と回路基板250の端子部251との接合方法は、特にこれに限定されず、異方性導電性接着剤(ACP、ACF)や非導電性接着剤(NCP、NCF)等を用いてもよい。また、メッキ層215には、図示していないが外部配線基板260と接続される端子部や、駆動回路が実装されるための端子部等も設けられており、これらの端子部は、回路基板250の端子部251に接続される端子部217と同様に保護層216によって覆われていない。
The
このように、配線層214の全面に亘ってメッキ層215を形成することで、インクに含まれる溶剤によって配線層214が腐食するのを抑制することができる。つまり、配線層214が保護層216によって覆われただけでは、インクに含まれる溶剤が揮発して、溶剤に含まれる成分が保護層216を透過して配線層214上に溜まり、配線層214を腐食してしまう。本実施形態では、保護層216を透過した溶剤はメッキ層215上に溜まるため、メッキ層215が溶剤に対して耐食性を有することで、メッキ層215が腐食するのを抑制して、配線層214の腐食による断線等の不具合を抑制することができる。
Thus, by forming the
また、配線基板212の端子部217と回路基板250の端子部251との接合時に加熱されると、配線基板212のメッキ層215が変質する。具体的には、配線基板212のメッキ層215と回路基板250の端子部251との間で金属同士の拡散現象が生じて変質する。このようにメッキ層215が変質すると、メッキ層215の溶剤に対する耐食性が低下するため、メッキ層215が変質した端子部217に揮発した溶剤が接触すると、変質したメッキ層215が腐食してしまう虞がある。なお、配線基板212の端子部217と回路基板250の端子部251との接合時に加熱されると、金属同士の拡散現象が促進されるものであり、ハンダ接合や異方性導電性接着剤及び非導電性接着剤を用いた接合であっても信頼性及び硬化時間の短縮から加熱されるものである。もちろん、加熱されない常温であっても金属同士の拡散現象は発生し、メッキ層215の変質は発生する。
Further, when the
このため、本実施形態では、配線層214と回路基板250との間のメッキ層215であって、保護層216が形成されておらず、回路基板250の端子部251と接合されていない領域は、封止材252によって覆われている。すなわち、封止材252は、メッキ層215の保護層216によって覆われていない端子部217において、回路基板250の端子部251に接合された領域以外のメッキ層215上に設けられている。また、本実施形態では、封止材252によって、配線基板212(基材213、保護層216等)と回路基板250とを接合するようにした。このような封止材252は、保護層216に比べてインクに含まれる溶剤を透過し難い材料が好ましく、例えば、エポキシ系接着剤等を用いることができる。すなわち、封止材252として、保護層216と同じ材料を用いることもできるが、封止材252は、保護層216よりも架橋密度が高いものが好ましい。すなわち、配線基板212は、フレキシブル性が求められる部分と、端子部217のようにフレキシブル性があまり求められない部分とを有する。そして、保護層216は、フレキシブル性が求められる部分に設けられるため、架橋密度が低い材料を用いるのが好ましいが、架橋密度が低いとインクに含まれる成分が透過し易くなってしまう。これに対して、封止材252は、フレキシブル性があまり求められない端子部217付近に設けられるため、保護層216に比べて架橋密度が高い材料を用いることができ、これにより、インクに含まれる成分を透過し難くなる。
Therefore, in the present embodiment, the
また、封止材252と同じ封止材253は、配線層214の端面を覆って形成されている。すなわち、配線層214の端面がメッキ層215によって覆われていない場合には、配線層214の端面に溶剤が溜まることによる腐食が発生するため、配線層214の端面を封止材253によって覆うことで配線層214の端面の腐食を抑制することができる。なお、本実施形態では、図4において、封止材253は、配線層214の第3の方向Zの端面のみを覆っているが、もちろんこれに限定されず、配線層214の端面とは、積層方向である第2の方向Yに直交する方向、すなわち、第1の方向X及び第3の方向Zの面のことである。そして、封止材253は、特に図示していないが、配線層214の露出された端面を覆うようにすればよい。
Further, the
このように封止材252を設けることで、配線基板212の端子部217において変質したメッキ層215に揮発した溶剤が溜まるのを抑制することができる。したがって、配線基板212の端子部217において変質したメッキ層215が溶剤によって腐食するのを抑制することができる。また、配線層214の端面のメッキ層215に覆われていない部分を封止材253によって覆うことで、配線層214の端面に揮発した溶剤が溜まるのを抑制することができ、配線層214の端面の腐食を抑制することができる。
By providing the sealing
さらに、本実施形態では、配線基板212と回路基板250とを封止材252によって接合するようにしたため、配線基板212と回路基板250との接合強度が向上される。したがって、配線基板212の端子部217と回路基板250の端子部251との電気的な接合強度も向上され、断線等の不具合を抑制することができる。
Furthermore, in this embodiment, since the
このような本実施形態のインクジェット式記録ヘッド200では、図示しない液体貯留手段からのインクを流路部材220の供給流路410を介してヘッド本体210に供給され、ヘッド本体210の流路をノズル開口211に至るまでインクで満たした後、駆動信号に従い圧力発生手段を駆動させることでノズル開口211からインク滴が噴射される。また、ヘッド本体210の内部に導入されたインクは、流路部材220の回収流路420に流出され、回収流路420を介して液体貯留手段に戻される。すなわち、液体貯留手段のインクは、供給流路410を介してヘッド本体210に供給され、ヘッド本体210から回収流路420を介して液体貯留手段に回収される、いわゆる循環が行われる。
In the ink
なお、本実施形態では、インクを循環するインクジェット式記録ヘッド200を例示したが、特にこれに限定されず、循環されない、すなわち、液体貯留手段からインクがインクジェット式記録ヘッド200に供給されるだけのインクジェット式記録ヘッドであってもよい。
In the present embodiment, the ink
(実施形態2)
図5は、本発明の実施形態2に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドの要部を拡大した断面図である。なお、上述した実施形態1と同様の部材には同一の符号を付して重複する説明は省略する。
(Embodiment 2)
FIG. 5 is an enlarged cross-sectional view of a main part of an ink jet recording head which is an example of a liquid jet head according to
図5に示すように、本実施形態のインクジェット式記録ヘッドは、フレキシブル基板からなる配線基板212Aと、リジット基板からなる回路基板250とを具備し、これらの配線が接続されて設けられている。
As shown in FIG. 5, the ink jet recording head of this embodiment includes a
配線基板212Aは、フレキシブル基板(FPC)やフレキシブル基板上に駆動IC等の駆動回路が実装されたCOF等からなり、基材213と、基材213上に設けられた配線層214と、配線層214上に設けられたメッキ層215Aと、配線層214上に設けられた保護層216と、を具備する。
The
メッキ層215Aは、配線層214上にメッキによって形成されたものであり、回路基板250の端子部251に接続される端子部217上のみに設けられている。すなわち、メッキ層215Aは、保護層216によって覆われていない領域のみに形成されている。
The
このようなメッキ層215Aの材料は、導電性が高く、回路基板250の端子部251と接続可能な材料であって、配線基板212Aのフレキシブル性を損なわない材料であれば特に限定されない。また、メッキ層215Aは、インクに含まれる溶剤に対して配線層214の材料よりも高い耐食性を有するものであるのが好ましい。このようなメッキ層215Aの材料としては、例えば、金(Au)、スズ(Sn)、白金(Pt)等を用いることができる。なお、メッキ層215Aは、上記材料から選択される少なくとも一種の材料による単一層であっても、また、複数の層を積層したものであってもよい。また、メッキ層215Aは、配線層214上に直接形成しても、ニッケル等の密着層を設けるようにしてもよい。ちなみに、ニッケル等の密着層もメッキによって形成することができる。また、メッキ層215Aとしてスズを用いた場合、配線基板212に応力が印加された際に、ウィスカーが形成される虞があるため、メッキ層215Aとしては、ウィスカーが発生し難い材料、すなわち、金(Au)等を用いるのが好ましい。また、メッキ層215Aは、配線層214の材料よりもイオン化傾向が低い材料が好ましい。これは、詳しくは後述するが、メッキ層215Aは、インクに含まれる溶剤が揮発し、揮発した溶剤が配線層214上に溜まり腐食するのを抑制するために設けたものであるため、メッキ層215Aとして配線層214よりも反応性の低い材料、すなわち、イオン化傾向が小さい材料を用いることで、メッキ層215A上に溶剤が溜まったとしても、メッキ層215Aが腐食するのを抑制することができる。つまり、配線層214として銅(Cu)を用いた場合には、メッキ層215Aとしては、銅(Cu)よりもイオン化傾向が小さい材料、すなわち、金(Au)等を用いるのが好適である。
The material of such a
保護層216は、絶縁性を有する材料からなり、メッキ層215Aが形成された領域以外の少なくとも配線層214上に亘って形成されている。このような保護層216としては、上述した実施形態1と同様に、熱硬化性エポキシ樹脂等のソルダーレジストを用いることができる。また、保護層は、例えば、レジスト材料塗布溶液をスクリーン印刷法にて塗布して所定形状に形成することができる。なお、保護層216は、ソルダーレジストに限定されず、例えば、ポリイミドフィルム等の絶縁性フィルムを接着剤で接着したものであってもよい。
The
そして、配線層214の保護層216に覆われておらず、メッキ層215Aが形成された領域が、回路基板250の端子部251と接続される端子部217となっている。本実施形態では、配線基板212Aの端子部217と回路基板250の端子部251とは、ハンダ218によって接合するようにした。もちろん、配線基板212Aの端子部217と回路基板250の端子部251との接合方法は、特にこれに限定されず、異方性導電性接着剤(ACP、ACF)、非導電性接着剤(NCP、NCF)等を用いてもよい。なお、配線基板212Aの端子部217と回路基板250の端子部251とは、何れの方法で接合する場合であっても加熱処理を行うのが好ましい。
A region where the
また、配線基板212Aと回路基板250との間のメッキ層215Aであって、保護層216が形成されておらず、回路基板250の端子部251と接合されていない領域は、封止材252によって覆われている。すなわち、封止材252は、メッキ層215Aが設けられた端子部217において、回路基板250の端子部251に接合された領域以外のメッキ層215A上に設けられている。また、本実施形態では、封止材252によって、配線基板212A(基材213、保護層216等)と回路基板250とを接合するようにした。このような封止材252は、保護層216に比べてインクに含まれる溶剤を透過し難い材料が好ましく、例えば、エポキシ系接着剤等を用いることができる。すなわち、封止材252として、保護層216と同じ材料を用いることもできるが、封止材252は、保護層216よりも架橋密度が高いものが好ましい。すなわち、配線基板212は、フレキシブル性が求められる部分と、端子部217のようにフレキシブル性があまり求められない部分とを有する。そして、保護層216は、フレキシブル性が求められる部分に設けられるため、架橋密度が低い材料を用いるのが好ましいが、架橋密度が低いとインクに含まれる成分が透過し易くなってしまう。これに対して、封止材252は、フレキシブル性があまり求められない端子部217付近に設けられるため、保護層216に比べて架橋密度が高い材料を用いることができ、これにより、インクに含まれる成分を透過し難くなる。
In addition, the
また、封止材252と同じ封止材253は、配線層214の端面を覆って形成されている。すなわち、配線層214の端面がメッキ層215によって覆われていない場合には、配線層214の端面に溶剤が溜まることによる腐食が発生するため、配線層214の端面を封止材253によって覆うことで配線層214の端面の腐食を抑制することができる。
Further, the
このように封止材252を設けることで、配線基板212Aの端子部217において変質したメッキ層215Aに揮発した溶剤に含まれる溶剤が溜まるのを抑制することができる。したがって、配線基板212Aの端子部217において変質したメッキ層215Aが溶剤によって腐食するのを抑制することができる。
By providing the sealing
つまり、配線基板212Aの端子部217と回路基板250の端子部251との接合時に加熱されると、配線基板212Aのメッキ層215Aが変質する。具体的には、配線基板212Aのメッキ層215Aと回路基板250の端子部251との間で金属同士の拡散現象が生じて変質する。このようにメッキ層215Aが変質すると、メッキ層215Aの溶剤に対する耐食性が低下するため、メッキ層215Aが変質した端子部217に揮発した溶剤が接触すると、変質したメッキ層215Aが腐食してしまう虞がある。なお、配線基板212Aの端子部217と回路基板250の端子部251との接合時に加熱されると、金属同士の拡散現象が促進されるものであり、ハンダ接合や異方性導電性接着剤及び非導電性接着剤を用いた接合であっても信頼性及び硬化時間の短縮から加熱されるものである。もちろん、加熱されない常温であっても金属同士の拡散現象は発生し、メッキ層215Aの変質は発生する。
That is, when heated at the time of joining the
本実施形態では、回路基板250の端子部251との接合部分において変質したメッキ層215Aを封止材252によって覆うことで、メッキ層215Aが溶剤によって腐食するのを抑制することができる。
In the present embodiment, the
また、配線層214の端面のメッキ層215Aに覆われていない部分を封止材253によって覆うことで、配線層214の端面に揮発した溶剤が溜まるのを抑制することができ、配線層214の端面の腐食を抑制することができる。
Further, the portion of the end surface of the
さらに、本実施形態では、配線基板212Aと回路基板250とを封止材252によって接合するようにしたため、配線基板212Aと回路基板250との接合強度が向上される。したがって、配線基板212Aの端子部217と回路基板250の端子部251との電気的な接合強度も向上され、断線等の不具合を抑制することができる。
Furthermore, in the present embodiment, since the
(他の実施形態)
以上、本発明の各実施形態について説明したが、本発明の基本的構成は上述したものに限定されるものではない。
(Other embodiments)
As mentioned above, although each embodiment of this invention was described, the basic composition of this invention is not limited to what was mentioned above.
例えば、上述した実施形態1及び2では、配線基板212、212Aの回路基板250の端子部251に接合される端子部217において、封止材252、253等を設けたが、特にこれに限定されず、回路基板250に接合される外部配線基板260の図示しない端子部においても同様に封止材を設けるようにしてもよい。また、外部配線基板260の図示しない配線についても、上述した実施形態1の配線基板212のメッキ層215と同様のメッキ層を設けるようにすれば、外部配線基板260の配線の腐食を抑制することができる。さらに、ヘッド本体210の配線基板212、212Aが接続される図示しない圧力発生手段側の端子部においても同様に、上述した実施形態1及び2の封止材252、253を設けるようにすれば、溶剤による腐食を抑制することができる。
For example, in the first and second embodiments described above, the sealing
また、上述した実施形態1及び2では、配線層214の端面に封止材253を設けるようにしたが、配線層214は薄く、端面の面積は微少なため、端面を覆う封止材253を設けないようにしても腐食による影響は少ないと考えられる。また、配線層214の端面以外にも、配線層214のメッキ層215によって覆われていない領域、例えば、配線層214の側面等がメッキ層215、215Aによって覆われていない場合には、配線層214の側面などに封止材253を設けるようにしてもよい。
In the first and second embodiments described above, the sealing
また、上述した実施形態1では、配線層214と保護層216との間にメッキ層215を設けたが、保護層216により覆われた配線層214に対して保護層216を覆うようにメッキ層215を設けてもよい。ただし、上述した実施形態1のように、配線層214と保護層216との間にメッキ層215を設けた方が、メッキ層215が要する面積を小さくでき、製造コストを抑えることができる。
In the first embodiment described above, the
また、上述した各実施形態のインクジェット式記録ヘッド200は、液体噴射装置の一例であるインクジェット式記録装置に搭載される。ここで、本実施形態のインクジェット式記録装置について説明する。なお、図6は、本発明の一実施形態に係る液体噴射装置の一例であるインクジェット式記録装置を示す概略斜視図である。
Further, the ink
図6に示すように、インクジェット式記録装置Iは、インクジェット式記録ヘッド200を搭載したキャリッジ3を具備する。キャリッジ3は、装置本体4に取り付けられたキャリッジ軸5に軸方向移動可能に設けられている。
As shown in FIG. 6, the ink jet recording apparatus I includes a
そして、駆動モーター6の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト7を介してキャリッジ3に伝達されることで、インクジェット式記録ヘッド200を搭載したキャリッジ3はキャリッジ軸5に沿って移動される。一方、装置本体4には搬送手段としての搬送ローラー8が設けられており、紙等の記録媒体である記録シートSが、例えば搬送手段としての搬送ローラー8により搬送されるようになっている。なお、記録シートSを搬送する搬送手段は、搬送ローラーに限られずベルトやドラム等であってもよい。
Then, the driving force of the driving
また、インクジェット式記録装置Iには、装置本体4に固定されて内部にインクが貯留されたインクタンク等の液体貯留手段2が設けられている。この液体貯留手段2には、インクジェット式記録ヘッド200にインクを供給する供給管2aと、インクジェット式記録ヘッド200からのインクを回収する回収管2bとが接続されている。
Further, the ink jet recording apparatus I is provided with a liquid storing means 2 such as an ink tank fixed to the apparatus main body 4 and storing ink therein. A
供給管2a及び回収管2bは、フレキシブルチューブ等の管状部材からなり、内部にそれぞれインクを供給する供給路と、インクを回収する回収路とが設けられている。そして、供給管2aの一端がインクジェット式記録ヘッド200の供給流路410に接続され、回収管2bの一端が回収流路420に接続されることで、液体貯留手段2のインクをインクジェット式記録ヘッド200に供給すると共に、インクジェット式記録ヘッド200からのインクを液体貯留手段2に回収する。
The
なお、特に図示していないが、供給管2aの途中又は回収管2bの途中には、加圧ポンプ又は吸引ポンプ等の圧送手段が設けられており、圧送手段の圧送によってインクは液体貯留手段2とインクジェット式記録ヘッド200との間を循環する。
Although not particularly illustrated, a pressure feeding means such as a pressure pump or a suction pump is provided in the middle of the
なお、図6に示す例では、インクジェット式記録ヘッド200がキャリッジ3に搭載されて主走査方向に移動するものを例示したが、特にこれに限定されず、例えば、インクジェット式記録ヘッド200が固定されて、紙等の記録シートSを副走査方向に移動させるだけで印刷を行う、所謂ライン式記録装置にも本発明を適用することができる。
In the example illustrated in FIG. 6, the ink
また、上述した例では、液体貯留手段2からインクジェット式記録ヘッド200にインクを供給すると共に、液体貯留手段2にインクを回収するインクジェット式記録ヘッド200を例示したが、特にこれに限定されず、液体貯留手段2からインクジェット式記録ヘッド200にインクを供給するだけのインクジェット式記録ヘッドにも本発明を適用することができる。
Further, in the above-described example, the ink
さらに、上述した例では、液体貯留手段2が装置本体4に固定されて、供給管2aを介してインクジェット式記録ヘッド200にインクを供給するようにしたが、特にこれに限定されず、インクカートリッジ等の液体貯留手段をキャリッジ3に搭載させて、インクジェット式記録ヘッド200と共に液体貯留手段がキャリッジ軸5に沿って移動させるようにしてもよい。また、液体貯留手段がインクジェット式記録装置Iに搭載されていなくてもよい。
Further, in the above-described example, the liquid storage means 2 is fixed to the apparatus main body 4 and ink is supplied to the ink
なお、上記実施の形態においては、液体噴射ヘッドの一例としてインクジェット式記録ヘッドを挙げて説明したが、本発明は、広く液体噴射ヘッドを対象としたものであり、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドにも勿論適用することができる。その他の液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる各種の記録ヘッド、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ELディスプレイ、FED(電界放出ディスプレイ)等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオchip製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等が挙げられる。 In the above embodiment, an ink jet recording head has been described as an example of a liquid ejecting head. However, the present invention is widely intended for a liquid ejecting head, and is a liquid that ejects liquid other than ink. Of course, the present invention can also be applied to an ejection head. Other liquid ejecting heads include, for example, various recording heads used in image recording apparatuses such as printers, color material ejecting heads used in the manufacture of color filters such as liquid crystal displays, organic EL displays, and FEDs (field emission displays). Examples thereof include an electrode material ejection head used for electrode formation, a bioorganic matter ejection head used for biochip production, and the like.
I インクジェット式記録装置(液体噴射装置)、 2 液体貯留手段、 200 インクジェット式記録ヘッド(液体噴射ヘッド)、 210 ヘッド本体、 211 ノズル開口、 211a 液体噴射面、 212、212A 配線基板、 213 基材、 214 配線層、 215、215A メッキ層、 216 保護層、 217 端子部、 220 流路部材、 250 回路基板、 251 端子部、 260 外部配線基板、 270 カバーヘッド、 400 液体流路 I ink jet recording apparatus (liquid ejecting apparatus), 2 liquid storing means, 200 ink jet recording head (liquid ejecting head), 210 head main body, 211 nozzle opening, 211a liquid ejecting surface, 212, 212A wiring board, 213 base material, 214 Wiring layer, 215, 215A Plating layer, 216 Protective layer, 217 Terminal section, 220 Channel member, 250 Circuit board, 251 Terminal section, 260 External wiring board, 270 Cover head, 400 Liquid channel
Claims (6)
フレキシブル基板と、該フレキシブル基板に接合されたリジット基板と、を具備し、
前記フレキシブル基板は、
基材と、
該基材上に設けられた配線層と、
前記配線層上の全面に亘って設けられ、前記配線層よりも前記溶剤に対する耐食性が高い材料で形成されたメッキ層と、
前記メッキ層上に設けられた絶縁性を有する保護層と、を具備し、
前記保護層が設けられていない前記メッキ層に前記リジット基板が接合されていることを特徴とする液体噴射ヘッド。 A liquid ejecting head for ejecting a liquid containing a solvent,
A flexible substrate, and a rigid substrate bonded to the flexible substrate,
The flexible substrate is
A substrate;
A wiring layer provided on the substrate;
A plating layer provided over the entire surface of the wiring layer and formed of a material having higher corrosion resistance to the solvent than the wiring layer;
An insulating protective layer provided on the plating layer,
The liquid ejecting head, wherein the rigid substrate is bonded to the plating layer on which the protective layer is not provided.
フレキシブル基板と、該フレキシブル基板に接合されたリジット基板と、を具備し、
前記フレキシブル基板は、
基材と、
該基材上に設けられた配線層と、
前記配線層上の少なくとも前記リジット基板に接合される領域に設けられたメッキ層と、
前記配線層上に設けられた絶縁性を有する保護層と、を具備し、
前記配線層と前記リジット基板との間の前記メッキ層であって、前記保護層が設けられておらず、前記リジット基板に接合されていない領域は封止材によって覆われていることを特徴とする液体噴射ヘッド。 A liquid ejecting head for ejecting a liquid containing a solvent,
A flexible substrate, and a rigid substrate bonded to the flexible substrate,
The flexible substrate is
A substrate;
A wiring layer provided on the substrate;
A plated layer provided in a region bonded to at least the rigid substrate on the wiring layer;
An insulating protective layer provided on the wiring layer,
The plating layer between the wiring layer and the rigid substrate, wherein the protective layer is not provided and a region not bonded to the rigid substrate is covered with a sealing material. Liquid ejecting head.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013270569A JP6350794B2 (en) | 2013-12-26 | 2013-12-26 | Liquid ejecting head and liquid ejecting apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013270569A JP6350794B2 (en) | 2013-12-26 | 2013-12-26 | Liquid ejecting head and liquid ejecting apparatus |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015123691A true JP2015123691A (en) | 2015-07-06 |
JP6350794B2 JP6350794B2 (en) | 2018-07-04 |
Family
ID=53534764
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013270569A Active JP6350794B2 (en) | 2013-12-26 | 2013-12-26 | Liquid ejecting head and liquid ejecting apparatus |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6350794B2 (en) |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10158582A (en) * | 1996-05-01 | 1998-06-16 | Minnesota Mining & Mfg Co <3M> | Protection coating and application of the liquid for ink cartridge |
JP2005219238A (en) * | 2004-02-03 | 2005-08-18 | Fuji Xerox Co Ltd | Inkjet recording head, its manufacturing method, and inkjet recording apparatus |
JP2005262632A (en) * | 2004-03-18 | 2005-09-29 | Canon Inc | Wiring board, ink tank, and inkjet cartridge |
JP2007062259A (en) * | 2005-09-01 | 2007-03-15 | Sony Corp | Head module, liquid delivering head, liquid delivering apparatus and method for manufacturing head module |
JP2009274328A (en) * | 2008-05-14 | 2009-11-26 | Konica Minolta Ij Technologies Inc | Inkjet head |
JP2013067066A (en) * | 2011-09-22 | 2013-04-18 | Fujifilm Corp | Inkjet head and method for producing the same |
-
2013
- 2013-12-26 JP JP2013270569A patent/JP6350794B2/en active Active
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10158582A (en) * | 1996-05-01 | 1998-06-16 | Minnesota Mining & Mfg Co <3M> | Protection coating and application of the liquid for ink cartridge |
JP2005219238A (en) * | 2004-02-03 | 2005-08-18 | Fuji Xerox Co Ltd | Inkjet recording head, its manufacturing method, and inkjet recording apparatus |
JP2005262632A (en) * | 2004-03-18 | 2005-09-29 | Canon Inc | Wiring board, ink tank, and inkjet cartridge |
JP2007062259A (en) * | 2005-09-01 | 2007-03-15 | Sony Corp | Head module, liquid delivering head, liquid delivering apparatus and method for manufacturing head module |
JP2009274328A (en) * | 2008-05-14 | 2009-11-26 | Konica Minolta Ij Technologies Inc | Inkjet head |
JP2013067066A (en) * | 2011-09-22 | 2013-04-18 | Fujifilm Corp | Inkjet head and method for producing the same |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6350794B2 (en) | 2018-07-04 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US20110242237A1 (en) | Liquid ejecting head, liquid ejecting unit, and liquid ejecting apparatus | |
US8398214B2 (en) | Liquid ejecting head, liquid ejecting apparatus, and actuator device | |
JP6003149B2 (en) | Liquid ejecting head and liquid ejecting apparatus | |
US9321261B2 (en) | Wiring substrate, droplet ejection head, printing apparatus, electronic device, and manufacturing method for wiring substrate | |
JP2013202857A (en) | Liquid jetting head and liquid jetting device | |
US20150343769A1 (en) | Wiring structure, method of manufacturing wiring structure, liquid droplet ejecting head, and liquid droplet ejecting apparatus | |
JP2007237556A (en) | Droplet discharge head, its manufacturing process and droplet discharge apparatus | |
US9254653B2 (en) | Wiring structure, method of manufacturing wiring structure, liquid droplet ejecting head, and liquid droplet ejecting apparatus | |
JP6350794B2 (en) | Liquid ejecting head and liquid ejecting apparatus | |
JP4923826B2 (en) | Droplet discharge head and droplet discharge apparatus | |
JP4867405B2 (en) | Droplet discharge head and droplet discharge apparatus | |
JP2009166335A (en) | Liquid jetting head and liquid jetting apparatus | |
JP2009045906A (en) | Liquid jetting head and liquid jetting device | |
JP2006305987A (en) | Liquid droplet discharging head, and manufacturing method for liquid droplet discharging head | |
JP2016083861A (en) | Liquid jet head, and liquid jet device | |
JP2008143011A (en) | Droplet discharge head and its manufacturing method, and droplet discharge device | |
JP2006231584A (en) | Liquid jet head | |
JP2021030648A (en) | Wiring connection structure, liquid jet head and liquid jet device | |
JP7147319B2 (en) | Liquid ejecting device and liquid ejecting head | |
JP2015150793A (en) | Manufacturing method of wiring mounting structure, manufacturing method of liquid ejection head and wiring mounting structure | |
JP2009166334A (en) | Liquid jetting head and liquid jetting apparatus | |
US9238365B1 (en) | Flex circuit board with topographical structures to facilitate fluid flow through the layer | |
JP2010099871A (en) | Liquid jetting head and liquid jetting apparatus | |
JP2007307761A (en) | Liquid droplet delivering head, method for manufacturing liquid droplet delivering head and liquid droplet delivering apparatus | |
US9064782B2 (en) | Wiring structure, droplet discharge head, and droplet discharge apparatus |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20150422 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20161201 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20170830 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20170830 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20171016 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20180131 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20180326 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20180509 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20180522 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6350794 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |