JP2015115193A - 走査型電子顕微鏡装置の評価方法、及び走査型電子顕微鏡装置の評価装置 - Google Patents
走査型電子顕微鏡装置の評価方法、及び走査型電子顕微鏡装置の評価装置 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】走査型電子顕微鏡装置によって取得した金属粒子の画像から、走査型電子顕微鏡装置の状態を評価するための評価方法は、金属粒子の画像情報のノイズを除去するノイズ除去ステップと、ノイズ除去ステップにおいてノイズを除去した画像情報に基づいて、金属粒子の画像の画質を定量化して画質評価値を得る画質定量化ステップと、画質評価値に基づいて走査型電子顕微鏡装置の状態の良否を判定する判定ステップと、判定ステップの判定結果を表示する表示ステップとを含む。
【選択図】図2
Description
2…画像処理部
3…画像表示部
4…画像データ保存部
5…演算処理部
6…データ処理部
7…数値データ保存部
8…データ解析部
9…結果表示部
S1…SEM画像入力処理
S2…ビットマップ変換処理
S3…パターンと背景の分離処理
S4…領域選択処理
S5…信号抽出処理
S6…ノイズ除去処理
S7…画像の定量化処理
S8…判定処理
S9…合格処理
S10…NG処理
Claims (8)
- 走査型電子顕微鏡装置によって取得した金属粒子の画像から、前記走査型電子顕微鏡装置の状態を評価するための評価方法であって、
前記金属粒子の画像情報のノイズを除去するノイズ除去ステップと、
前記ノイズ除去ステップにおいてノイズを除去した画像情報に基づいて、前記金属粒子の画像の画質を定量化して画質評価値を得る画質定量化ステップと、
前記画質評価値に基づいて前記走査型電子顕微鏡装置の状態の良否を判定する判定ステップと、
前記判定ステップの判定結果を表示する表示ステップとを含むことを特徴とする走査型電子顕微鏡装置の評価方法。 - 前記画質定量化ステップは、
前記金属粒子の画像から、全領域または一部の領域を評価対象領域として抽出する抽出ステップと、
前記金属粒子の画像の濃度ヒストグラムから、金属粒子を構成する画素領域である金属粒子部と、前記金属粒子の背景を構成する画素領域である背景部との分離を行う分離ステップを含み、
前記分離ステップ後に、前記金属粒子部の評価対象領域のみを対象として前記画質評価値を得ることを特徴とする、請求項1に記載の走査型電子顕微鏡装置の評価方法。 - 前記画質定量化ステップは、前記ノイズ除去ステップ後の画像プロファイルと、前記ノイズ除去ステップ前の画像プロファイルとの差分値の絶対値を前記金属粒子の画像中の評価対象領域に亘って合算した合計値を、前記画質評価値として算出することを特徴とする、請求項1又は2に記載の走査型電子顕微鏡装置の評価方法。
- 前記判定ステップでは、前記画質評価値と所定の基準値との比較が行われ、前記画質評価値が前記基準値を下回っている場合、前記走査型電子顕微鏡装置の状態が良いと判定され、前記画質評価値が前記基準値以上の場合、前記走査型電子顕微鏡装置の状態が悪いと判定されることを特徴とする、請求項1乃至3の何れか1つに記載の走査型電子顕微鏡装置の評価方法。
- 走査型電子顕微鏡装置によって取得した金属粒子の画像から、前記走査型電子顕微鏡装置の状態を評価するための評価装置であって、
前記金属粒子の画像情報のノイズを除去するノイズ除去手段と、
前記ノイズ除去ステップにおいてノイズを除去した画像情報に基づいて、前記金属粒子の画像の画質を定量化して画質評価値を得る画質定量化手段と、
前記画質評価値に基づいて前記走査型電子顕微鏡装置の状態の良否を判定する判定手段と、
前記判定ステップの判定結果を表示する表示手段とを含むことを特徴とする走査型電子顕微鏡装置の評価装置。 - 前記画質定量化手段は、
前記金属粒子の画像から、全領域または一部の領域を評価対象領域として抽出する抽出手段と、
前記金属粒子の画像の濃度ヒストグラムから、金属粒子を構成する画素領域である金属粒子部と、前記金属粒子の背景を構成する画素領域である背景部との分離を行う分離手段を含み、
前記分離手段による分離後に、前記金属粒子部の評価対象領域のみを対象として前記画質評価値を得ることを特徴とする、請求項5に記載の走査型電子顕微鏡装置の評価装置。 - 前記画質定量化手段は、前記ノイズ除去手段によってノイズが除去された画像プロファイルと、前記ノイズ除去手段によってノイズが除去される前の画像プロファイルとの差分値の絶対値を前記金属粒子の画像中の評価対象領域に亘って合算した合計値を、前記画質評価値として算出することを特徴とする、請求項5又は6に記載の走査型電子顕微鏡装置の評価装置。
- 前記判定手段は、前記画質評価値と所定の基準値との比較を行い、前記画質評価値が前記基準値を下回っている場合、前記走査型電子顕微鏡装置の状態が良いと判定し、前記画質評価値が前記基準値以上の場合、前記走査型電子顕微鏡装置の状態が悪いと判定することを特徴とする、請求項5乃至7の何れか1つに記載の走査型電子顕微鏡装置の評価装置。
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