JP2015114297A - 開口部長さの測定方法、測定プログラム及び検査装置 - Google Patents

Abstract

【課題】
対象物の開口部の長さを、画像処理によって、精度良くまた短時間で測定できる開口部長さの測定方法、測定装置、測定プログラム、及び当該測定方法を用いた検査装置を提供することを目的とする。
【解決手段】
対象物の開口部を撮像し、得られた画像から測長方向両端部の端部領域を抽出し、抽出した端部領域それぞれを開口部形状の測長方向と直交する方向に複数に分割し、複数に分割した各領域の開口部形状と対象物表面との境界点を求める。求めた端部領域それぞれの境界点のいずれか１点の距離、または各境界点の平均距離を計測し、開口部の長さとする。
【選択図】図１

Description

本発明は、例えばネジ頭部のネジ穴等、開口部を有する対象物において、前記開口部の長さの測定する方法、測定装置、および測定プログラム、また測定された開口部の長さが所定の範囲内であるかを検査する検査装置に関するものである。

画像処理による開口部の測定方法等の従来技術として、
引用文献１には、円形穴が形成されている製品の円形穴の径を測定する方法が記載されている。
また引用文献２には、円形穴の真円度やごみの付着を検出する方法が記載されている。

これらの従来技術を用いて円形穴等の開口部の長さ測定をするには、対象物が円形であるか、透過照明で検査可能な物であるか、対象物の輪郭線が鮮明に写っている必要がある。対象物の開口部が貫通孔ではなく溝形状であると、透過照明を用いた検査では開口部と開口部以外の領域で光強度に差が少なく、開口部周囲の対象物表面の光が乱反射することで対象物の輪郭線が鮮明に写らないため、正確な輪郭線が取れず測定精度が出ない。

また、従来の開口部の長さを測定する方法として、投影機により開口部をスクリーンに拡大投影させ、その投影画像から開口部の長さを測定する方法がある。

この従来の測定方法は、投影画像に映された開口部の始端と終端の座標データを抽出し、抽出した座標データより距離を算出し、開口部の長さを測定する方法である。

この測定方法において、開口部の始端と終端の座標データ抽出は、ＸＹ軸に伸びたラインを人の手で計測箇所に合わせて計測を行うために、測定に時間がかかるうえ、測定者によって測定結果がばらつくため、計測精度が悪いという問題があった。特に、開口部両端の端縁が曲線状の場合、人の手による始端と終端の抽出はさらにばらつきやすくなる。

特許第３９２３６５７号 特許第４０２５１０９号

本発明は以上の点に鑑みて創案されたもので、開口部の長さの精度良い計測を可能にし、短時間で測定できる、画像処理にて開口部の長さを求めることが可能な開口部長さの測定方法、測定装置、測定プログラム、及び当該測定方法を用いた検査装置を提供することを目的とする。

本発明の目的は上述した課題を解決するために、対象物の開口部を撮像する撮像工程と、得られた画像から測長方向両端部の端部領域を抽出する端部抽出工程と、抽出した端部領域それぞれを開口部形状の測長方向と直交する方向に複数に分割し、複数に分割した各領域の開口部形状と対象物表面との境界点を求める境界点抽出工程と、求めた端部領域それぞれの境界点のいずれか１点の距離、または各境界点の平均距離を計測し、開口部の長さとする測長工程を含む開口部長さ測定方法により達成される。前記測長方向は、あらかじめ開口部に対して測定する方向を測長方向と決めてもよいし、例えば前記端部抽出工程により抽出した端部領域それぞれの中心部を結ぶ方向を測長方向としてもよい。

前記測長工程は、端部領域を複数に分割した各領域の開口部形状と対象物表面との境界点のうち、測長方向の境界点間の長さが最大または最小となる距離を開口部の長さとすることが好ましい。

また本発明の目的は、対象物の端縁が曲線状である開口部を撮像する撮像工程と、得られた画像から測長方向の両端部の端部領域を抽出する端部抽出工程と、端部領域それぞれを開口部形状の測長方向と直交する方向に複数に分割し、複数に分割した各領域の開口部形状と対象物表面との境界点を求める境界点抽出工程と、その境界点から端部領域それぞれの近似円を求める近似円算出工程と、求めたそれぞれの近似円上の１点の距離を計測し、開口部の長さとする測長工程を含む開口部長さ測定方法により達成される。

前記撮像工程の後に、前記撮像工程で得られた画像から開口部形状を抽出する形状抽出工程をさらに含み、前記開口部形状から測長方向の両端部の端部領域を抽出することもできる。

前記形状抽出工程は、前記撮像工程で得られた画像からパターンマッチングにより行うことが好ましい。

前記測長工程は、前記近似円それぞれの中心を通る直線と前記近似円それぞれとの交点を求め、求めた交点のうち前記近似円の外側交点となる交点間の距離を計測し、開口部の長さとすることが好ましい。

また、前記測長工程は、開口部中心から前記近似円それぞれの中心を通る直線と近似円との交点を求め、求めた交点のうちそれぞれの近似円の外側交点となる交点と、開口部中心との距離を計測し、開口部の長さとすることもできる。前記開口部中心は、抽出した開口部形状から算出することが好ましい。

本発明の対象物としては、対象物に形成された溝に好適に用いることができる。例えばネジ頭部のネジ穴の寸法精度が求められる場合に、上記の測定方法を用いることでネジ穴の長さが所定の範囲内かを精度高く判別することが可能になる。また本発明の対象物の材質は、樹脂である場合に好適に用いることができる。
通常、対象物に光をあてて撮像する場合に、対象物の材質が金属であれば開口部との境界が鮮明に写りやすいが、対象物の材質が樹脂であると、樹脂表面での拡散反射や対象物を透過するなどして、対象物が鮮明に写らない場合がある。

本発明の開口部長さ測定方法を用いて、開口部の長さを測定する開口部長さ測定装置を構成することができる。また、本発明の開口部長さ測定方法を用いて、測定した開口部の長さが所定の範囲内か判別する判別工程を含む、開口部長さ検査装置を構成することができる。

また本発明の目的は、対象物の開口部を撮像した画像から開口部形状を抽出する形状抽出ステップと、前記開口部形状から測長方向の両端部の端部領域を抽出する端部抽出ステップと、前記端部領域のそれぞれを開口部形状の測長方向と直交する方向に複数分割し、分割した各領域の開口部形状と対象物表面との境界点を求める境界点抽出ステップと、前記端部領域それぞれにおける境界点のいずれか１点の距離を計測し、開口部の長さとする測長ステップと、を含む開口部長さ測定プログラムにより達成される。

本発明の測定方法により、画像処理による開口部長さの精度良い測定を可能とする。
また本発明の検査装置を用いることにより、開口部長さの検査効率が飛躍的に向上する。

本発明の方法の実施に利用する装置の全体の概要を示す図 本発明の測定方法による照明原理の説明図 本発明の測定方法における工程の流れの一例図 実施例１の測定フロー 実施例１の撮像画像から端部抽出を行う説明図 実施例１の開口部の拡大図（境界点の抽出および端点間の測長） 実施例２（マイナス溝形状ネジ穴）の長さ測定フロー 実施例２の撮像画像から端部抽出を行う説明図 実施例２のネジ穴の拡大図（境界点の抽出および端点間の測長） 実施例３（プラス溝形状ネジ穴）の長さ測定フロー 実施例３の撮像画像から端部抽出を行う説明図 実施例３のネジ穴の拡大図（境界点の抽出および端点間の測長）

図１に、本発明の測定方法の実施に利用する検査装置全体の概要を示す。対象物Wを位置決めして保持する検査台１、検査台１の直上に配置した撮像装置２、検査台１と撮像装置２との間に配置した光源３、撮像装置２で写した画像を処理して開口部の長さ測定を行う判別装置４、この４者によって検査装置１０が構成されている。

撮像装置２は、検査台１に置かれた対象物Wを真上から撮像する。
撮像装置２はCCDカメラ、CMOSカメラ等が画像検査に好適に用いられ、さらに撮像装置２に偏光フィルムを用いたり、光源３に偏光板を用いたりすることにより、撮像する画像がより鮮明になる。また、検査台は対象物Wを把持することができる機構になっており、光源３が反射しにくいように検査台の表面が非光沢性の材質や塗装をされていることが好ましい。

光源３は、例えば発光ダイオード（ＬＥＤ）等の照明装置３aをリング状に複数配置し環状光源として構成されている。この光源３は、対象物Wの中心とカメラ２の中心を結ぶ線上、あるいはその近くにリング状の中心を置くと、周方向の全域から対象物Wに向けて平均的に光を照射することができる。

図２に、検査台１上に置かれた対象物Wの開口部W_０に光源３からの照明光Ｌを当てた様子を模式的に示す。開口部W_０は、検査する対象物に形成された溝や貫通孔である。特に開口部W_０が溝形状の場合、溝の底部も含めて開口部W_０において乱反射しやすく、撮像した画像において開口部W_０の外縁の形状が不鮮明になりやすいため、特に本発明の方法を用いる効果が高い。図中２ａは、カメラ２のレンズを表す。光源３として棒状光源を用いると、光源３からの投光角や開口部W_０の角度によっては照明光Lが対象物Wの開口部W_０に均一に当たらず、カメラ２の撮像画像に開口部W_０が鮮明に写らなかったり、写りムラが生じてしまったりする。光源３として環状光源を用いると、開口部W_０に照明光Lが均一に当たるため、撮像画像に開口部W_０が鮮明に写り、開口部W_０の外縁（開口部W_０と対象物Wの境界）の形状を正確に捉えやすい。

本発明の測定方法による処理の流れの一例について、図３を用いて説明する。

撮像工程S０１では、検査台１に保持した対象物Ｗの開口部W_０をカメラ２により撮像し、対象物Ｗの開口部W_０の画像を取り込む。この際、開口部W_０がカメラ２および光源３の中心部にくるように検査台１上に対象物Ｗをおいて撮像し、画像を判別装置４に取り込む。
撮像した画像は図２に示すように撮像され、開口部W_０の外縁の形状は光強度が大きくなるため鮮明に写る。

形状抽出工程S０２では、撮像工程S０１で取り込んだ画像のデータを処理して、対象物Ｗから開口部形状を抽出するとともに、開口部形状の座標データを算出する。具体的には、判別装置４において取り込んだ画像から、あらかじめ測長方向の長さを計測して登録した基準形状と、相関値が一定以上の形状を抽出するパターンマッチングにより算出する。

端部抽出工程S０３では、形状抽出工程S０２で抽出した開口部形状から測長方向両端部の端部領域の座標データを算出するとともに、端部領域を抽出する。具体的には、形状抽出工程Ｓ０２で抽出した開口部形状と算出した座標データをもとに、基準形状と抽出した開口部形状が同じ向きになるような補正角度を算出する。座標データと補正角度と基準形状の測長方向長さから開口部形状の測長方向両端部の座標データを算出し、開口部形状の測長方向両端部の端部領域を抽出する。

境界点抽出工程S０4では、端部抽出工程S０３で抽出した端部領域それぞれを、測長方向と直交する方向に３箇所以上に複数分割し、分割した各領域の開口部形状と対象物表面との境界点を求める。
具体的には、抽出した端部領域を分割した各領域それぞれを、開口部形状から対象物表面に向かって、または対象物表面から開口部形状に向かって画像の濃度値を計測し、濃度値が一定の値（閾値）以上または一定の値（閾値）以下となる箇所を、開口部形状と対象物表面との境界点として求める。
このように端部領域を分割することにより、対象物Ｗの撮像時に開口部W_０の外縁の形状が鮮明に写っていない場合でも、小さな領域での画像の濃度値を計測することにより、開口部形状と対象物表面との境界点を求めることができ、境界点抽出工程S０4における境界点算出精度が高くなる。

端点算出工程Ｓ０５では、境界点抽出工程S０4で求めた境界点から、開口部W_０の測長方向両端部の端点を求める。端点は、例えば分割した各領域の境界点のうち、測長方向の座標が最も離れた両端の境界点をそれぞれ端点とすることができる。また、各領域の境界点のうち測長方向の座標が最も近い両端の境界点を端点としたり、各端部の境界点の測長方向座標を平均した座標を端点位置としてもよい。
また端部の複数の境界点から算出した近似線から端点を求めてもよい。特に、開口部の端部領域が曲線状を有する場合、端部の複数の境界点から近似円を最小二乗法により算出し、その近似円上の一点を端点とすることができる。

測長工程Ｓ０６では、端点算出工程S０５で求めた端部領域それぞれの端点の距離を計測し、開口部W_０の長さとする。開口部W_０の長さは両端の端点間の直線距離を算出して求めることができる。また、各端点の測長方向の座標の差を開口部W_０の長さとしてもよい。
また端点間の直線距離に限らず、開口部W_０の中心や重心の点から両端の端点の距離の和を開口部W_０の長さとしてもよい。

判別工程S０７では、測長工程S０６で算出した開口部W_０の長さが一定の値（閾値）以上または一定の値（閾値）以下または所定の範囲内であるかを判別し、算出した開口部W_０の長さの合否判定を行う。

図１に示した検査装置を用いて、図５（a）に示すような形状の開口部の長さを測定する処理の実施例を、図４の測定フロー及び図５、図６の説明図に基づいて以下に説明する。

検査台１に保持されている対象物２１を、光源３から光を当てた状態で、対象物２１の開口部２２をカメラ２により撮像し、画像を判別装置４に取り込んだ。以下、判別装置４内で行う処理について説明する。

前記の撮像された画像から、図５（b）に示すように開口部形状２３をパターンマッチング等により抽出し、座標データを算出した（形状抽出ステップS１１）。パターンマッチングは、撮像した画像から、あらかじめ測長方向の長さを計測して登録した基準形状と、相関値が一定以上の形状を抽出する。

前記の抽出した開口部形状２３と算出した座標データをもとに、基準形状と抽出した開口部形状２３が同じ向きになるような補正角度を算出した。そして座標データと補正角度と基準形状の測長方向長さから、開口部形状２３の測長方向両端部辺りの座標データを算出し、図５（ｃ）に示すように開口部形状２３の測長方向両端部の端部領域２４a,２４ｂを抽出した（端部抽出ステップS１２）。
前記端部領域２４a,２４ｂは、前記形状抽出ステップS１１を行わずにパターンマッチングにより抽出してもよい。

前記の抽出した端部領域２４a,２４ｂを、図６（a）に示すように測長方向と直交する方向に７等分に分割し、分割した領域２５a,２５ｂそれぞれについて開口部２２と対象物２１との境界点２６a,２６ｂを、開口部形状２３から対象物２１に向かって画像の濃度値を確認し、濃度値が一定値以上を超えた箇所を境界点とすることにより求めた（境界点抽出ステップS１３）。

前記の分割した領域２５a,２５ｂそれぞれの境界点２６a,２６ｂのいずれか１点の境界点を端点２７a,２７ｂと決め（端点算出ステップS１４）、この両端の端点間の距離を計測し、図６（ｂ）に示すように、この端点間距離２８を開口部の長さとした（測長ステップS１５）。本実施例では最も離れた境界点間の距離を開口部の長さとした。なお、開口部の長さを最も離れた境界点間の距離ではなく、最も短い境界点間の距離や、指定した境界点間の距離、またそれぞれの分割した領域２５a,２５ｂにおける境界点間の距離の平均値を開口部の長さとして求めてもよい。

図１に示した検査装置を用いて、図８（a）に示すようなマイナス溝を有するネジを対象物Wとし、対象物Wのネジ穴の長手方向長さを測定する処理の実施例を、図７の測定フロー及び図８、図９の説明図に基づいて以下に説明する。

検査台１に保持されているネジ頭部の大きさが３ｍｍのネジを、ネジ頭部から真上に１０ｍｍの位置に設置した光源３により照明した状態で、ネジ３１のネジ穴３２をネジ頭部から真上に１００ｍｍの位置に設置したカメラ２により撮像し、画像は判別装置４に取り込んだ。以下、判別装置４内で行う処理について説明する。

前記の撮像されたネジの画像から、図８（ｂ）に示すようにネジ穴形状３３をパターンマッチング等により抽出し、座標データを算出した（形状抽出ステップS２１）。パターンマッチングは、撮像した画像から、あらかじめ測長方向の長さを計測して登録した基準形状と、相関値が一定以上の形状を抽出する。

前記の抽出したネジ穴形状３３と算出した座標データをもとに、図８（ｃ）に示すようにネジ穴形状３３の測長方向両端部のネジ穴端部領域３４a,３４ｂを抽出した（端部抽出ステップS２２）。なお、端部抽出ステップS２２は、形状抽出ステップS２１を行わずに、撮像されたネジの画像からパターンマッチングによりネジ穴の端部領域３４a,３４ｂを直接抽出してもよい。

前記の抽出したネジ穴端部領域３４a,３４ｂを、図９（a）に示すように測長方向と直交する方向に７等分に分割し、分割した領域３５a,３５ｂそれぞれについてネジ穴３２とネジ３１との境界点３６a,３６ｂを求めた（境界点抽出ステップＳ２３）。本実施例ではネジ穴端部領域３４a,３４ｂを７等分に分割したが、少なくとも３等分以上に分割すればよい。

前記の分割した領域３５a,３５ｂそれぞれの境界点３６a,３６ｂから、図９（ｂ）に示すようにネジ穴端部領域３４a,３４ｂそれぞれの近似円３７a,３７ｂを最小二乗法により求めた（近似円算出ステップS２４）。

前記のネジ穴端部領域３４a,３４ｂそれぞれの近似円３７a,３７ｂから、図９（ｃ）に示すように近似円３７a,３７ｂそれぞれの中心部３８a,３８ｂを求め、求めた中心部３８a,３８ｂを通る直線３９を求めた（直線算出ステップS２５）。

前記の直線３９とネジ穴端部領域３４a,３４ｂそれぞれの近似円３７a,３７ｂとの交点から、図９（ｄ）に示すように近似円３７a,３７ｂそれぞれの中心部３８a,３８ｂから見て外側となる外側交点４０a,４０ｂを求めた（交点検出ステップS２６）。

前記の外側交点４０a,４０ｂ間の距離を計測し、この計測した交点間距離４１をマイナス溝のネジ穴の長手方向長さとした（測長ステップS２７）

図１に示した検査装置を用いて、図１１（a）に示すようなプラス溝を有するネジを対象物Wとし、対象物Wのネジ穴の長手方向長さを測定する検査の実施例を、図１０の測定フロー及び図１１、図１２の説明図に基づいて以下に説明する。

検査台１に保持されているネジ頭部の大きさが３ｍｍのネジを、ネジ頭部から真上に１０ｍｍの位置に設置した光源３により照明した状態で、ネジ５１のネジ穴５２をネジ頭部から真上に１００ｍｍの位置に設置したカメラ２により撮像し、画像は判別装置４に取り込んだ。以下、判別装置４内で行う処理について説明する。

前記の撮像されたネジの画像から、図１１（ｂ）に示すようにネジ穴形状５３をパターンマッチング等により抽出し、座標データを算出した（形状抽出ステップS３１）。

前記のネジ穴形状５３から、図１１（ｃ）に示すようにネジ穴形状５３の輪郭線の直線部に沿った直線５４a,５４ｂ,５５a,５５ｂを抽出し、それぞれの直線が交差する交点５６a,５６ｂ,５６ｃ,５６ｄそれぞれの座標データを算出し、交点それぞれの座標データの平均値をネジ穴形状５３のネジ穴中心部５７の座標データとして算出した（中心部算出ステップS３２）。

前記のネジ穴形状５３から、図１１（ｄ）に示すように前記のネジ穴中心部５７の座標データからネジ穴形状５３の測長方向両端部のネジ穴端部領域５８a,５８ｂ,５８ｃ,５８ｄを抽出した（端部抽出ステップS３３）。

前記のネジ穴端部領域５８a,５８ｂ,５８ｃ,５８ｄを、図１２（a）に示すように測長方向と直交する方向に７等分に分割し、分割した領域５９a,５９ｂ,５９ｃ,５９ｄそれぞれのネジ穴５２とネジ５１との境界点６０a,６０ｂ,６０ｃ,６０ｄを求めた（境界点抽出ステップS３４）。本実施例ではネジ穴端部領域５８a,５８ｂ,５８ｃ,５８ｄを７等分に分割したが、少なくとも３等分以上に分割すればよい。

前記の分割した領域５９a,５９ｂ,５９ｃ,５９ｄそれぞれの境界点６０a,６０ｂ,６０ｃ,６０ｄから、図１２（ｂ）に示すようにネジ穴端部領域５８a,５８ｂ,５８ｃ,５８ｄそれぞれの近似円６１a,６１ｂ,６１ｃ,６１ｄを最小二乗法により求めた（近似円算出ステップS３５）。

前記のネジ穴端部領域５８a,５８ｂ,５８ｃ,５８ｄそれぞれの近似円６１a,６１ｂ,６１ｃ,６１ｄから、図１２（ｃ）に示すように近似円６１a,６１ｂ,６１ｃ,６１ｄそれぞれの中心部６２a,６２ｂ,６２ｃ,６２ｄを通る直線６３a,６３ｂを求めた（直線算出ステップS３６）。

前記の直線６３a,６３ｂとネジ穴端部領域５８a,５８ｂ,５８ｃ,５８ｄそれぞれの近似円６１a,６１ｂ,６１ｃ,６１ｄとの交点から、図１２（ｄ）に示すように近似円６１a,６１ｂ,６１ｃ,６１ｄそれぞれの中心部６２a,６２ｂ,６２ｃ,６２ｄから見て外側となる外側交点６４a,６４ｂ,６４ｃ,６４ｄを求めた（交点検出ステップS３７）。

前記の外側交点６6４a,６４ｂ,６４ｃ,６４ｄ間の距離を計測し、この計測した交点間距離６５a,６５ｂをプラス溝のネジ穴の長手方向長さとした（測長ステップS３８）。

本発明の開口部長さ測定方法は、座金のサイズや開口部の直径のように、円形状の金属片の直径測定や、金属片に開けられた開口部の直径測定にも適用できる。
本発明の開口部長さ測定方法を用いて、開口部形状の長さを計測する開口部長さ測定装置を構成してもよい。また本発明の開口部長さ測定方法を用いて計測した開口部形状の長さが、所定の範囲内であるか判別する機能をさらに備えた開口部長さ検査装置を構成してもよい。また本発明の開口部長さ測定の処理を行うコンピュータ用の開口部長さ測定プログラムを作成してもよい。

W 対象物
W_０ 開口部
L 照明光
１ 検査部
２ カメラ
３ 光源
４ 判別装置

Claims (12)

1. 対象物の開口部を撮像する撮像工程と、
   前記撮像工程で得られた画像から測長方向の両端部の端部領域を抽出する端部抽出工程と、
   前記端部領域のそれぞれを開口部形状の測長方向と直交する方向に複数分割し、分割した各領域の開口部形状と対象物表面との境界点を求める境界点抽出工程と、
   前記端部領域それぞれにおける境界点のいずれか１点の距離、または各境界点の平均距離を計測し、開口部の長さとする測長工程と、
   を含む開口部長さ測定方法。
2. 前記測長工程は、前記境界点抽出工程より得られた分割した各領域の境界点のうち、測長方向の境界点間の長さが最大または最小となる距離を開口部の長さとする請求項１記載の開口部長さ測定方法。
3. 対象物の曲線状を有する開口部を撮像する撮像工程と、
   前記撮像工程で得られた画像から測長方向の両端部の端部領域を抽出する端部抽出工程と、
   前記端部領域のそれぞれを開口部形状の測長方向と直交する方向に複数分割し、分割した各領域の開口部形状と対象物表面との境界点を求める境界点抽出工程と、
   前記端部領域それぞれにおける境界点から近似円を求める近似円算出工程と、
   前記それぞれの近似円上の１点の距離を計測し、開口部の長さとする測長工程と、
   を含む開口部長さ測定方法。
4. 前記撮像工程の後に、前記撮像工程で得られた画像から開口部形状を抽出する形状抽出工程をさらに含み、前記開口部形状から測長方向の両端部の端部領域を抽出する請求項３記載の開口部長さ測定方法。
5. 前記形状抽出工程は、前記撮像工程で得られた画像からパターンマッチングにより行う請求項４記載の開口部長さ測定方法。
6. 前記測長工程は、前記近似円それぞれの中心を通る直線と前記近似円それぞれとの交点を求め、前記交点のうち近似円の外側交点となる交点間の距離を計測し、開口部の長さとする請求項３から５のいずれか記載の開口部長さ測定方法。
7. 前記測長工程は、開口部中心から前記近似円それぞれの中心を通る直線と前記近似円の交点を求め、前記交点のうちそれぞれの近似円の外側交点となる交点と、開口部中心との交点間の距離の合計を計測し、開口部の長さとすることを特徴とする請求項３から５のいずれか記載の開口部長さ測定方法。
8. 前記開口部中心は、前記形状抽出工程より抽出した開口部形状から算出する請求項７記載の開口部長さ測定方法。
9. 前記開口部は、対象物に形成された溝である請求項１〜８記載の開口部長さ測定方法。
10. 対象物の材質が樹脂である請求項１〜９記載の開口部長さ測定方法。
11. 請求項1〜１０記載の開口部長さ測定方法を用いて、計測した開口部形状の長さが所定の範囲内であるか判別することを特徴とする開口部長さ検査装置。
12. 対象物の開口部を撮像した画像から測長方向の両端部の端部領域を抽出する端部抽出ステップと、
    前記端部領域のそれぞれを開口部形状の測長方向と直交する方向に複数分割し、分割した各領域の開口部形状と対象物表面との境界点を求める境界点抽出ステップと、
    前記端部領域それぞれにおける境界点から近似円を求める近似円算出ステップと、
    前記それぞれの近似円上の１点の距離を計測し、開口部の長さとする測長ステップと、
    を含む開口部長さ測定プログラム。
    

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