JP2015102435A

JP2015102435A - Inspection device

Info

Publication number: JP2015102435A
Application number: JP2013243522A
Authority: JP
Inventors: 孝欣由井; Takayoshi Yui; 幸裕北市; Yukihiro Kitaichi
Original assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date: 2013-11-26
Filing date: 2013-11-26
Publication date: 2015-06-04

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an inspection device capable of suppressing occurrence of damage in a conductor of a measured object.SOLUTION: An inspection device comprises: a main body; a first probe and a second probe that are provided in a manner movable relative to the main body in a prescribed direction; a first elastic body that exerts a force on the first probe so that the first probe projects from the main body toward one side in the prescribed direction; and a second elastic body that exerts a force on the second probe so that the second probe projects from the main body toward the one side in the prescribed direction. The first probe comes into contact with a first conductor to which a signal is transmitted in a measured object, from the another side in the prescribed direction, and the second probe comes into contact with a second conductor, which is kept at a ground potential in the measured object, from the another side in the prescribed direction.

Description

本発明は、検査装置に関し、より特定的には、回路基板等の被測定物の信号の測定を行う際に用いられる検査装置に関する。 The present invention relates to an inspection apparatus, and more particularly, to an inspection apparatus used when measuring a signal of an object to be measured such as a circuit board.

従来の検査装置に関する発明としては、例えば、特許文献１に記載の同軸型コンタクトプローブが知られている。該同軸型コンタクトプローブは、信号用接触子及び２本のアース用接触子を備えている。信号用接触子は、上下方向に延在し、下端においてプリント基板の信号端子に接触する。アース用接触子は、上下方向に延在し、信号用接触子の両側方に設けられている。アース用接触子は、下端においてプリント基板のグランド端子に接触する。ただし、アース用接触子の下端は、信号用接触子の下端よりも下側に位置している。そのため、信号用接触子が信号端子に接触し、かつ、アース用端子がグランド端子に接触できるように、アース用接触子は上側に退避できるように構成されている。 As an invention related to a conventional inspection apparatus, for example, a coaxial contact probe described in Patent Document 1 is known. The coaxial contact probe includes a signal contact and two ground contacts. The signal contact extends in the vertical direction, and contacts the signal terminal of the printed circuit board at the lower end. The earthing contact extends in the vertical direction and is provided on both sides of the signal contact. The ground contactor contacts the ground terminal of the printed circuit board at the lower end. However, the lower end of the ground contact is positioned below the lower end of the signal contact. For this reason, the ground contact is configured to be retracted upward so that the signal contact can contact the signal terminal and the ground terminal can contact the ground terminal.

ところで、特許文献１に記載の同軸型コンタクトプローブでは、信号の測定時に、同軸型コンタクトプローブが強く押し下げられて、信号用接触子がプリント基板の信号端子に強い力で接触するおそれがある。この場合、信号端子が破損するおそれがある。 By the way, in the coaxial contact probe described in Patent Document 1, the coaxial contact probe is strongly pushed down during signal measurement, and the signal contact may come into contact with the signal terminal of the printed circuit board with a strong force. In this case, the signal terminal may be damaged.

特開２００２−５９５９号公報JP 2002-5959 A

そこで、本発明の目的は、被測定物の導体に破損が生じることを抑制できる検査装置を提供することである。 Therefore, an object of the present invention is to provide an inspection apparatus that can suppress the occurrence of breakage in the conductor of the object to be measured.

本発明の一形態に係る検査装置は、本体と、前記本体に対して所定方向に移動可能に設けられている第１のプローブ及び第２のプローブと、前記第１のプローブが前記所定方向の一方側に向かって前記本体から突出するように、該第１のプローブに力を及ぼす第１の弾性体と、前記第２のプローブが前記所定方向の一方側に向かって前記本体から突出するように、該第２のプローブに力を及ぼす第２の弾性体と、を備えており、前記第１のプローブは、被測定物において信号が伝送される第１の導体に対して前記所定方向の他方側から接触し、前記第２のプローブは、前記被測定物において接地電位に保たれる第２の導体に対して前記所定方向の他方側から接触すること、を特徴とする。 An inspection apparatus according to an aspect of the present invention includes a main body, a first probe and a second probe that are provided so as to be movable in a predetermined direction with respect to the main body, and the first probe in the predetermined direction. The first elastic body that exerts a force on the first probe and the second probe project from the main body toward one side in the predetermined direction so as to project from the main body toward the one side. And a second elastic body that exerts a force on the second probe, and the first probe has a predetermined direction relative to the first conductor through which a signal is transmitted in the device under test. The second probe is in contact with the other side, and the second probe is in contact with the second conductor held at the ground potential in the object to be measured from the other side in the predetermined direction.

本発明によれば、被測定物の導体に破損が生じることを抑制できる。 ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, it can suppress that damage arises in the conductor of to-be-measured object.

本発明の一実施形態に係る検査装置１０の外観斜視図である。1 is an external perspective view of an inspection apparatus 10 according to an embodiment of the present invention. 図１の検査装置１０の断面構造図である。FIG. 2 is a cross-sectional structure diagram of the inspection apparatus 10 of FIG. 図１の検査装置１０の分解図である。It is an exploded view of the inspection apparatus 10 of FIG. 回路基板１００の外観斜視図である。1 is an external perspective view of a circuit board 100. FIG. 信号の測定時における検査装置１０及び回路基板１００の図である。It is the figure of the inspection apparatus 10 and the circuit board 100 at the time of the measurement of a signal. コイルばね１８，２６の縮み量とプローブ１６，２４が信号端子１０４及び接地端子１０６に及ぼす力の大きさとの関係を示したグラフである。5 is a graph showing the relationship between the amount of contraction of coil springs 18 and 26 and the magnitude of force exerted on the signal terminal 104 and the ground terminal 106 by the probes 16 and 24. 信号の測定時における検査装置１０ａ及び回路基板１００ａの図である。It is a figure of the test | inspection apparatus 10a and the circuit board 100a at the time of the measurement of a signal. コイルばね１８，２６の縮み量とプローブ１６，２４が信号端子１０４及び接地端子１０６に及ぼす力の大きさとの関係を示したグラフである。5 is a graph showing the relationship between the amount of contraction of coil springs 18 and 26 and the magnitude of force exerted on the signal terminal 104 and the ground terminal 106 by the probes 16 and 24. 第２の変形例に係る検査装置１０ｂの断面構造図である。It is sectional structure drawing of the inspection apparatus 10b which concerns on a 2nd modification. コイルばね１８，２６の縮み量とプローブ１６，２４が信号端子１０４及び接地端子１０６に及ぼす力の大きさとの関係を示したグラフである。5 is a graph showing the relationship between the amount of contraction of coil springs 18 and 26 and the magnitude of force exerted on the signal terminal 104 and the ground terminal 106 by the probes 16 and 24.

（検査装置の構造）
以下に、本発明の一実施形態に係る検査装置の構造について、図１ないし図３を参照して説明する。図１は、本発明の一実施形態に係る検査装置１０の外観斜視図である。図２は、図１の検査装置１０の断面構造図である。図３は、図１の検査装置１０の分解図である。以下では、プローブ１６，２４が延在する方向を上下方向とし、プローブ１６，２４が並んでいる方向を左右方向とする。また、上下方向及び左右方向に直交する方向を前後方向とする。なお、本実施形態における方向は、一例であり、検査装置１０の使用態様によって方向は任意に変動する。 (Inspection device structure)
The structure of the inspection apparatus according to one embodiment of the present invention will be described below with reference to FIGS. FIG. 1 is an external perspective view of an inspection apparatus 10 according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a sectional structural view of the inspection apparatus 10 of FIG. FIG. 3 is an exploded view of the inspection apparatus 10 of FIG. Hereinafter, the direction in which the probes 16 and 24 extend is defined as the vertical direction, and the direction in which the probes 16 and 24 are arranged is defined as the horizontal direction. Further, the vertical direction and the direction orthogonal to the horizontal direction are defined as the front-rear direction. In addition, the direction in this embodiment is an example, and a direction changes arbitrarily with the usage condition of the inspection apparatus 10. FIG.

検査装置１０は、図示しない同軸ケーブルの先端に接続されて用いられる。検査装置１０は、図１ないし図３に示すように、本体下部１２、本体上部１４、プローブ１６、コイルばね１８、バレル２０、ブッシング２２、プローブ２４、コイルばね２６、ピン２８及びブッシング３０，３２を備えている。 The inspection device 10 is used by being connected to the tip of a coaxial cable (not shown). As shown in FIGS. 1 to 3, the inspection apparatus 10 includes a lower body 12, an upper body 14, a probe 16, a coil spring 18, a barrel 20, a bushing 22, a probe 24, a coil spring 26, a pin 28, and bushings 30 and 32. It has.

本体下部１２は、主要部１２ａ及び円筒部１２ｂを有しており、リン青銅などの導電性材料により作製されている。主要部１２ａは、上下方向に長く、かつ、前後方向に薄い直方体状をなしている。主要部１２ａには、図２に示すように、主要部１２ａの左半分を上面から下面へと貫通する貫通孔Ｈ１が設けられている。貫通孔Ｈ１は、孔Ｈａ〜Ｈｃが繋がることにより構成されている。孔Ｈａは、主要部１２ａの上面から下方に向かって伸びる円形の孔である。孔Ｈｂは、孔Ｈａの底面から主要部１２ａの下面の手前まで伸びる円形の孔である。孔Ｈｂの直径は、孔Ｈａの直径よりも小さい。孔Ｈｃは、孔Ｈｂの底面から主要部１２ａの下面まで伸びる円形の孔である。孔Ｈｃの直径は、孔Ｈｂの直径よりも小さい。また、孔Ｈａ〜Ｈｃの中心は、上側から平面視したときに、一致している。 The main body lower part 12 has a main part 12a and a cylindrical part 12b, and is made of a conductive material such as phosphor bronze. The main part 12a has a rectangular parallelepiped shape that is long in the vertical direction and thin in the front-rear direction. As shown in FIG. 2, the main portion 12a is provided with a through hole H1 that penetrates the left half of the main portion 12a from the upper surface to the lower surface. The through hole H1 is configured by connecting the holes Ha to Hc. The hole Ha is a circular hole extending downward from the upper surface of the main portion 12a. The hole Hb is a circular hole extending from the bottom surface of the hole Ha to the front of the lower surface of the main portion 12a. The diameter of the hole Hb is smaller than the diameter of the hole Ha. The hole Hc is a circular hole extending from the bottom surface of the hole Hb to the lower surface of the main portion 12a. The diameter of the hole Hc is smaller than the diameter of the hole Hb. Further, the centers of the holes Ha to Hc coincide with each other when viewed from above.

また、主要部１２ａには、図２に示すように、主要部１２ａの右半分を上面から下面へと貫通する貫通孔Ｈ２が設けられている。貫通孔Ｈ２は、孔Ｈｄ，Ｈｅが繋がることにより構成されている。孔Ｈｄは、主要部１２ａの上面の右半分から主要部１２ａの下面の手前まで伸びる円形の孔である。孔Ｈｅは、孔Ｈｄの底面から主要部１２ａの下面まで伸びる円形の孔である。孔Ｈｅの直径は、孔Ｈｄの直径よりも大きい。 Further, as shown in FIG. 2, the main portion 12a is provided with a through hole H2 that penetrates the right half of the main portion 12a from the upper surface to the lower surface. The through hole H2 is configured by connecting the holes Hd and He. The hole Hd is a circular hole extending from the right half of the upper surface of the main portion 12a to the front of the lower surface of the main portion 12a. The hole He is a circular hole extending from the bottom surface of the hole Hd to the lower surface of the main portion 12a. The diameter of the hole He is larger than the diameter of the hole Hd.

円筒部１２ｂは、主要部１２ａの下面の左半分から下方に向かって伸びる筒状部である。円筒部１２ｂの中心軸は、下側から平面視したときに、孔Ｈｃの中心と一致している。また、円筒部１２ｂの内径は、孔Ｈｃの直径と一致している。 The cylindrical portion 12b is a cylindrical portion that extends downward from the left half of the lower surface of the main portion 12a. The center axis of the cylindrical portion 12b coincides with the center of the hole Hc when viewed from below. Moreover, the internal diameter of the cylindrical part 12b corresponds with the diameter of the hole Hc.

ブッシング２２は、図３に示すように、円環状をなしており、樹脂等の絶縁性材料により作製されている。ブッシング２２は、図２に示すように、孔Ｈｂの底面上に設けられている。そのため、ブッシング２２の外径は、孔Ｈｂの直径と略一致している。 As shown in FIG. 3, the bushing 22 has an annular shape and is made of an insulating material such as a resin. As shown in FIG. 2, the bushing 22 is provided on the bottom surface of the hole Hb. Therefore, the outer diameter of the bushing 22 substantially matches the diameter of the hole Hb.

バレル２０は、図２及び図３に示すように、上下方向に延在しており、ベリリウム銅等からなる導電性部材である。バレル２０は、下部２０ａ及び上部２０ｂを有している。下部２０ａは、上下方向に延在する円筒状をなす筒状体である。ただし、下部２０ａの下端は開口し、下部２０ａの上端は塞がっている。下部２０ａは、主要部１２ａの貫通孔Ｈ１に挿入される。ただし、下部２０ａの外径がブッシング２２の内径よりも大きいので、下部２０ａはブッシング２２に引っかかっている。これにより、バレル２０は、本体下部１２と接触せずに電気的に絶縁された状態で本体下部１２に取り付けられている。また、下部２０ａの上端近傍は、主要部１２ａから上側にはみ出している。 As shown in FIGS. 2 and 3, the barrel 20 extends in the vertical direction and is a conductive member made of beryllium copper or the like. The barrel 20 has a lower part 20a and an upper part 20b. The lower part 20a is a cylindrical body having a cylindrical shape extending in the vertical direction. However, the lower end of the lower portion 20a is opened, and the upper end of the lower portion 20a is closed. The lower portion 20a is inserted into the through hole H1 of the main portion 12a. However, since the outer diameter of the lower portion 20 a is larger than the inner diameter of the bushing 22, the lower portion 20 a is caught by the bushing 22. Thereby, the barrel 20 is attached to the main body lower part 12 in an electrically insulated state without contacting the main body lower part 12. Further, the vicinity of the upper end of the lower portion 20a protrudes upward from the main portion 12a.

バレル２０の上部２０ｂは、図２及び図３に示すように、下部２０ａの上端から上側に向かって延在する円筒状をなしている。ただし、上部２０ｂの上端は開口し、上部２０ｂの下端は塞がっている。また、上部２０ｂの直径は、下部２０ａの直径よりもわずかに大きい。 As shown in FIGS. 2 and 3, the upper part 20 b of the barrel 20 has a cylindrical shape extending upward from the upper end of the lower part 20 a. However, the upper end of the upper part 20b is opened, and the lower end of the upper part 20b is closed. Moreover, the diameter of the upper part 20b is slightly larger than the diameter of the lower part 20a.

上下方向に延在する圧縮コイルばねであるコイルばね１８は、バレル２０の下端から下部２０ａ内に挿入されている。 A coil spring 18, which is a compression coil spring extending in the vertical direction, is inserted into the lower portion 20 a from the lower end of the barrel 20.

プローブ１６は、上下方向に延在する棒状部材であり、ベリリウム銅等からなる導電性のピンである。プローブ１６は、下部１６ａ及び上部１６ｂを有している。上部１６ｂは、上下方向に延在する円柱状をなしており、バレル２０の下端から下部２０ａ内に挿入されている。すなわち、プローブ１６の上端は、下部２０ａに挿入されている。これにより、プローブ１６は、バレル２０及び本体下部１２に対して上下方向に移動可能に設けられている。また、コイルばね１８は、下部２０ａ内において上部１６ｂの上端と下部２０ａの上端との間に設けられている。よって、コイルばね１８は、プローブ１６が本体下部１２から下側に向かって突出するように、プローブ１６に力を及ぼしている。そして、プロ―ブ１６が上側に押されると、コイルばね１８が縮んで、プローブ１６が上側に変位することができる。 The probe 16 is a rod-like member extending in the vertical direction, and is a conductive pin made of beryllium copper or the like. The probe 16 has a lower part 16a and an upper part 16b. The upper part 16b has a columnar shape extending in the vertical direction, and is inserted into the lower part 20a from the lower end of the barrel 20. That is, the upper end of the probe 16 is inserted into the lower part 20a. Thereby, the probe 16 is provided so as to be movable in the vertical direction with respect to the barrel 20 and the lower body portion 12. The coil spring 18 is provided between the upper end of the upper portion 16b and the upper end of the lower portion 20a in the lower portion 20a. Therefore, the coil spring 18 exerts a force on the probe 16 so that the probe 16 protrudes downward from the main body lower portion 12. When the probe 16 is pushed upward, the coil spring 18 contracts and the probe 16 can be displaced upward.

また、プローブ１６の下部１６ａは、上部１６ｂの下端から下方に向かって伸びており、上半分が下半分よりも細くなっている段付き構造をなす棒状部材である。また、下部１６ａの直径は、上部１６ｂの直径よりも小さい。プローブ１６は、図２に示すように、下部１６ａがブッシング２２、孔Ｈｃ及び円筒部１２ｂを上下方向に貫通するように、本体下部１２に設けられている。これにより、プローブ１６は、本体下部１２から下側に向かって突出している。 The lower portion 16a of the probe 16 is a bar-like member having a stepped structure that extends downward from the lower end of the upper portion 16b and whose upper half is thinner than the lower half. Moreover, the diameter of the lower part 16a is smaller than the diameter of the upper part 16b. As shown in FIG. 2, the probe 16 is provided in the lower body portion 12 so that the lower portion 16a penetrates the bushing 22, the hole Hc, and the cylindrical portion 12b in the vertical direction. Thereby, the probe 16 protrudes from the main body lower part 12 toward the lower side.

また、プローブ１６の上部１６ｂの直径がブッシング２２の内径よりも大きいので、上部１６ｂがブッシング２２に引っかかる。よって、プローブ１６が本体下部１２から下方に脱落することが防止されている。 Further, since the diameter of the upper portion 16 b of the probe 16 is larger than the inner diameter of the bushing 22, the upper portion 16 b is caught by the bushing 22. Therefore, the probe 16 is prevented from dropping downward from the main body lower portion 12.

以上のように構成されたプローブ１６は、本体下部１２と電気的に絶縁されたバレル２０に挿入されているので、本体下部１２と電気的に絶縁されている。 Since the probe 16 configured as described above is inserted into the barrel 20 that is electrically insulated from the main body lower portion 12, the probe 16 is electrically insulated from the main body lower portion 12.

本体上部１４は、挿入部１４ａ、フランジ１４ｂ及びコネクタ部１４ｃを有しており、リン青銅などの導電性材料により作製されている。挿入部１４ａは、図２及び図３に示すように、上下方向に延在する円筒状をなしている。フランジ１４ｂは、挿入部１４ａの上端から前後左右方向に張り出している長方形状の板状部材である。フランジ１４ｂには、挿入部１４ａと繋がる円形の貫通孔Ｈ３が設けられている。コネクタ部１４ｃは、フランジ１４ｂの上面から上側に延在する円筒状をなしている。コネクタ部１４ｃは、円形の貫通孔Ｈ３と繋がっている。 The main body upper part 14 has an insertion part 14a, a flange 14b, and a connector part 14c, and is made of a conductive material such as phosphor bronze. As shown in FIGS. 2 and 3, the insertion portion 14a has a cylindrical shape extending in the vertical direction. The flange 14b is a rectangular plate-like member protruding in the front-rear and left-right directions from the upper end of the insertion portion 14a. The flange 14b is provided with a circular through hole H3 connected to the insertion portion 14a. The connector portion 14c has a cylindrical shape extending upward from the upper surface of the flange 14b. The connector part 14c is connected with the circular through-hole H3.

挿入部１４ａは、本体下部１２の孔Ｈａに圧入されている。そして、フランジ１４ｂの下面は、本体下部１２の上面に接触している。これにより、貫通孔Ｈ２の上端は、フランジ１４ｂによって塞がっている。なお、挿入部１４ａは、本体下部１２の孔Ｈａに螺合していてもよい。 The insertion portion 14a is press-fitted into the hole Ha in the main body lower portion 12. The lower surface of the flange 14 b is in contact with the upper surface of the main body lower portion 12. Thereby, the upper end of the through hole H2 is closed by the flange 14b. Note that the insertion portion 14a may be screwed into the hole Ha of the main body lower portion 12.

また、挿入部１４ａが、本体下部１２の孔Ｈａに圧入されると、図２に示すように、バレル２０の上部２０ｂがコネクタ部１４ｃ内を上下方向に延在する。 Further, when the insertion portion 14a is press-fitted into the hole Ha of the main body lower portion 12, as shown in FIG. 2, the upper portion 20b of the barrel 20 extends in the vertical direction within the connector portion 14c.

ブッシング３２は、図１ないし図３に示すように、円筒状をなしており、樹脂等の絶縁性材料により作製されている。ブッシング３２は、コネクタ部１４ｃに圧入される。これにより、バレル２０の上部２０ｂは、ブッシング３２内を上下方向に貫通し、ブッシング３２により上下方向に移動しないように保持されるようになる。よって、バレル２０は、本体上部１４と電気的に絶縁された状態で本体上部１４に取り付けられている。 As shown in FIGS. 1 to 3, the bushing 32 has a cylindrical shape and is made of an insulating material such as a resin. The bushing 32 is press-fitted into the connector portion 14c. As a result, the upper portion 20 b of the barrel 20 passes through the bushing 32 in the vertical direction and is held by the bushing 32 so as not to move in the vertical direction. Therefore, the barrel 20 is attached to the main body upper part 14 in a state of being electrically insulated from the main body upper part 14.

ピン２８は、図２及び図３に示すように、円柱状の部材であり、樹脂等の絶縁性材料により作製されている。ピン２８は、貫通孔Ｈ２の上端近傍において本体下部１２に固定されている。なお、貫通孔Ｈ２の上端近傍の内周面は雌ネジ構造をなしている。また、ピン２８の外周面は雄ネジ構造をなしている。よって、ピン２８は、貫通孔Ｈ２の上端近傍において貫通孔Ｈ２の内周面に対して螺合している。これにより、ピン２８は、上下方向に位置調整可能に構成されている。 As shown in FIGS. 2 and 3, the pin 28 is a cylindrical member and is made of an insulating material such as resin. The pin 28 is fixed to the main body lower portion 12 in the vicinity of the upper end of the through hole H2. The inner peripheral surface near the upper end of the through hole H2 has a female screw structure. Further, the outer peripheral surface of the pin 28 has a male screw structure. Therefore, the pin 28 is screwed to the inner peripheral surface of the through hole H2 in the vicinity of the upper end of the through hole H2. Thereby, the pin 28 is comprised so that position adjustment is possible to an up-down direction.

上下方向に延在する圧縮コイルばねであるコイルばね２６は、主要部１２ａの孔Ｈ２の下端から挿入されている。これにより、コイルばね２６の上端は、ピン２８に接触している。コイルばね２６の長さ及び外径は、コイルばね１８の長さ及び外径と実質的に等しい。よって、コイルばね２６のばね定数とコイルばね１８のばね定数とは実質的に等しい。なお、実質的に等しいとは、全く同じであることに加えて、製造誤差程度のばらつきを許容する意味である。 A coil spring 26 that is a compression coil spring extending in the vertical direction is inserted from the lower end of the hole H2 of the main portion 12a. Thereby, the upper end of the coil spring 26 is in contact with the pin 28. The length and outer diameter of the coil spring 26 are substantially equal to the length and outer diameter of the coil spring 18. Therefore, the spring constant of the coil spring 26 and the spring constant of the coil spring 18 are substantially equal. Note that “substantially equal” means that in addition to being exactly the same, a variation of a manufacturing error is allowed.

プローブ２４は、上下方向に延在する棒状部材であり、ベリリウム銅等からなる導電性のピンである。プローブ２４は、下部２４ａ及び上部２４ｂを有している。上部２４ｂは、上下方向に延在する円柱状をなしており、主要部１２ａの孔Ｈｄに下端から挿入されている。すなわち、プローブ２４の上端は、本体下部１２に挿入されている。これにより、プローブ２４は、本体下部１２に対して上下方向に移動可能に設けられている。また、コイルばね２６は、ピン２８と上部２４ｂの上端との間に設けられている。よって、コイルばね２６は、プローブ２４が本体下部１２から下側に向かって突出するように、プローブ２４に力を及ぼしている。そして、プローブ２４が上側に押されると、コイルばね２６が縮んで、プローブ２４が上側に変位することができる。 The probe 24 is a rod-like member extending in the vertical direction, and is a conductive pin made of beryllium copper or the like. The probe 24 has a lower part 24a and an upper part 24b. The upper part 24b has a columnar shape extending in the vertical direction, and is inserted into the hole Hd of the main part 12a from the lower end. That is, the upper end of the probe 24 is inserted into the main body lower portion 12. Accordingly, the probe 24 is provided so as to be movable in the vertical direction with respect to the lower body portion 12. The coil spring 26 is provided between the pin 28 and the upper end of the upper portion 24b. Therefore, the coil spring 26 exerts a force on the probe 24 so that the probe 24 protrudes downward from the main body lower portion 12. When the probe 24 is pushed upward, the coil spring 26 contracts and the probe 24 can be displaced upward.

また、プローブ２４の下部２４ａは、上部２４ｂの下端から下方に向かって伸びており、上半分が下半分よりも細くなっている段付き構造をなしている。また、下部２４ａの直径は、上部２４ｂの直径よりも小さい。 The lower part 24a of the probe 24 extends downward from the lower end of the upper part 24b, and has a stepped structure in which the upper half is thinner than the lower half. The diameter of the lower part 24a is smaller than the diameter of the upper part 24b.

プローブ２４は、本体下部１２に直接に挿入されているので、本体下部１２と電気的に導通し、該本体下部１２と同様に接地電位に保たれている。 Since the probe 24 is directly inserted into the main body lower portion 12, the probe 24 is electrically connected to the main body lower portion 12 and is maintained at the ground potential similarly to the main body lower portion 12.

ブッシング３０は、図２及び図３に示すように、円筒状をなしており、樹脂等の絶縁性材料により作製されている。ブッシング３０は、本体下部１２の孔Ｈｅに圧入される。これにより、プローブ２４は、図２に示すように、下部２４ａがブッシング３０を上下方向に貫通するように、本体下部１２に設けられている。よって、プローブ２４は、本体下部１２から下側に向かって突出している。 As shown in FIGS. 2 and 3, the bushing 30 has a cylindrical shape and is made of an insulating material such as a resin. The bushing 30 is press-fitted into the hole He in the lower body portion 12. Thereby, as shown in FIG. 2, the probe 24 is provided in the lower part 12 of the main body so that the lower part 24a penetrates the bushing 30 in the vertical direction. Therefore, the probe 24 protrudes downward from the main body lower portion 12.

また、プローブ２４の上部２４ｂの直径は、ブッシング３０の内径よりも大きいので、上部２４ｂがブッシング３０に引っかかる。よって、プローブ２４が本体下部１２から下方に脱落することが防止されている。 Further, since the diameter of the upper portion 24 b of the probe 24 is larger than the inner diameter of the bushing 30, the upper portion 24 b is caught by the bushing 30. Accordingly, the probe 24 is prevented from dropping downward from the main body lower portion 12.

以上のように構成された検査装置１０には、同軸ケーブルが接続される。より詳細には、同軸ケーブルの先端には、コネクタが設けられている。コネクタは、外部導体と中心端子とを備えている。外部導体は、円筒形状をなしており、同軸ケーブルの外導体に接続されている。中心端子は、外部導体の中心を延在するピンであり、同軸ケーブルの信号線に接続されている。また、同軸ケーブルのコネクタが接続されていない方の端部は、信号の測定装置に接続されている。 A coaxial cable is connected to the inspection apparatus 10 configured as described above. More specifically, a connector is provided at the tip of the coaxial cable. The connector includes an outer conductor and a center terminal. The outer conductor has a cylindrical shape and is connected to the outer conductor of the coaxial cable. The center terminal is a pin extending through the center of the outer conductor, and is connected to the signal line of the coaxial cable. The end of the coaxial cable connector not connected is connected to a signal measuring device.

以上のようなコネクタは、検査装置１０のコネクタ部１４ｃに取り付けられる。具体的には、コネクタ部１４ｃの外周面は雄ネジ構造をなしている。また、コネクタの外部導体の内周面は雌ネジ構造をなしている。コネクタ部１４ｃの外周面が外部導体の内周面に螺合するように、コネクタ部１４ｃが外部導体内に挿入される。この際、コネクタの中心端子は、バレル２０の上部２０ｂに挿入される。 The connector as described above is attached to the connector portion 14c of the inspection apparatus 10. Specifically, the outer peripheral surface of the connector portion 14c has a male screw structure. The inner peripheral surface of the outer conductor of the connector has a female screw structure. The connector portion 14c is inserted into the outer conductor so that the outer peripheral surface of the connector portion 14c is screwed with the inner peripheral surface of the outer conductor. At this time, the center terminal of the connector is inserted into the upper portion 20 b of the barrel 20.

（回路基板の構成）
次に、被測定物である回路基板の構成について図面を参照しながら説明する。図４は、回路基板１００の外観斜視図である。 (Configuration of circuit board)
Next, the configuration of the circuit board that is the object to be measured will be described with reference to the drawings. FIG. 4 is an external perspective view of the circuit board 100.

回路基板１００は、図４に示すように、基板本体１０２、信号端子１０４及び接地端子１０６を備えている。基板本体１０２は、例えば、複数の絶縁体層及び導体が積層されて構成された多層基板である。信号端子１０４は、基板本体１０２の上側の主面に設けられており、基板本体１０２の表面及び内部に設けられている信号線に接続されている。すなわち、信号端子１０４は、信号が伝送される導体である。 As shown in FIG. 4, the circuit board 100 includes a board body 102, a signal terminal 104, and a ground terminal 106. The substrate main body 102 is, for example, a multilayer substrate configured by laminating a plurality of insulator layers and conductors. The signal terminal 104 is provided on the upper main surface of the substrate main body 102 and is connected to the signal line provided on the surface of the substrate main body 102 and inside thereof. That is, the signal terminal 104 is a conductor through which a signal is transmitted.

また、接地端子１０６は、接地電位に保たれる導体である。基板本体１０２の上側の主面には段差が設けられている。これにより、接地端子１０６は、信号端子１０４よりも上側に位置している。 The ground terminal 106 is a conductor that is kept at the ground potential. A step is provided on the upper main surface of the substrate body 102. As a result, the ground terminal 106 is positioned above the signal terminal 104.

（検査装置の動作）
以下に、検査装置１０の動作について説明する。図５は、信号の測定時における検査装置１０及び回路基板１００の図である。 (Operation of inspection device)
Hereinafter, the operation of the inspection apparatus 10 will be described. FIG. 5 is a diagram of the inspection apparatus 10 and the circuit board 100 at the time of signal measurement.

まず、ユーザは、プローブ１６，２４がそれぞれ信号端子１０４及び接地端子１０６上に位置するように、検査装置１０をセットする。このとき、プローブ１６が信号端子１０４に接触しておらず、かつ、プローブ２４が接地端子１０６に接触していない。この状態において、プローブ１６の先端とプローブ２４の先端とは、上下において同じ所定位置に位置している。 First, the user sets the inspection apparatus 10 so that the probes 16 and 24 are positioned on the signal terminal 104 and the ground terminal 106, respectively. At this time, the probe 16 is not in contact with the signal terminal 104, and the probe 24 is not in contact with the ground terminal 106. In this state, the tip of the probe 16 and the tip of the probe 24 are located at the same predetermined position in the vertical direction.

次に、ユーザは、検査装置１０を下降させる。これにより、プローブ２４の先端が接地端子１０６に接触する。ユーザが検査装置１０を更に下降させると、コイルばね２６が縮んで、プローブ２４が上側に変位する。そして、プローブ１６の先端が信号端子１０４に接触する。 Next, the user lowers the inspection apparatus 10. As a result, the tip of the probe 24 comes into contact with the ground terminal 106. When the user further lowers the inspection apparatus 10, the coil spring 26 contracts and the probe 24 is displaced upward. Then, the tip of the probe 16 contacts the signal terminal 104.

最後に、ユーザは、検査装置１０を更に下降させる。これにより、コイルばね２６が縮んで、プローブ２４が上側に変位すると共に、コイルばね１８が縮んでプローブ１６が上側に変位する。これにより、プローブ１６，２４がそれぞれ、適切な大きさの力で信号端子１０４及び接地端子１０６に接触するようになる。 Finally, the user further lowers the inspection apparatus 10. As a result, the coil spring 26 is contracted and the probe 24 is displaced upward, and the coil spring 18 is contracted and the probe 16 is displaced upward. As a result, the probes 16 and 24 come into contact with the signal terminal 104 and the ground terminal 106 with an appropriate amount of force, respectively.

（効果）
本実施形態に係る検査装置１０によれば、プローブ１６，２４は、共に上下方向に移動することができるので、プローブ１６，２４はそれぞれ、信号端子１０４及び接地端子１０６に接触した際に、上側に退避することができる。その結果、プローブ１６，２４が大きな力で信号端子１０４及び接地端子１０６に接触することが抑制される。よって、信号端子１０４及び接地端子１０６の破損が抑制される。 (effect)
According to the inspection apparatus 10 according to the present embodiment, both the probes 16 and 24 can move in the vertical direction. Therefore, when the probes 16 and 24 come into contact with the signal terminal 104 and the ground terminal 106, respectively, Can be evacuated. As a result, the probes 16 and 24 are prevented from contacting the signal terminal 104 and the ground terminal 106 with a large force. Therefore, damage to the signal terminal 104 and the ground terminal 106 is suppressed.

また、プローブ１６は、円筒部１２ｂ内を延在している。円筒部１２ｂは接地電位に保たれている。したがって、プローブ１６及び円筒部１２ｂは、同軸ケーブルと同様の構造を有するようになる。その結果、プローブ１６の特性インピーダンスを所定の特性インピーダンス（例えば、５０Ω）に近づけることが可能となる。 The probe 16 extends in the cylindrical portion 12b. The cylindrical portion 12b is kept at the ground potential. Therefore, the probe 16 and the cylindrical portion 12b have the same structure as that of the coaxial cable. As a result, the characteristic impedance of the probe 16 can be brought close to a predetermined characteristic impedance (for example, 50Ω).

また、検査装置１０では、ピン２８の上下方向の位置を調整することにより、プローブ２４が接地端子１０６に接触していない状態におけるコイルばね２６の自然長からの縮み量を調整することができる。これにより、コイルばね２６がプローブ２４に対して及ぼす力の大きさを調整することができる。よって、検査装置１０では、適切な大きさの力でプローブ２４を接地端子１０６に接触させることができる。 In the inspection apparatus 10, the amount of contraction from the natural length of the coil spring 26 in a state where the probe 24 is not in contact with the ground terminal 106 can be adjusted by adjusting the vertical position of the pin 28. Thereby, the magnitude | size of the force which the coil spring 26 exerts with respect to the probe 24 can be adjusted. Therefore, in the inspection apparatus 10, the probe 24 can be brought into contact with the ground terminal 106 with an appropriate magnitude of force.

ここで、プローブ１６，２４が信号端子１０４及び接地端子１０６に及ぼす力の大きさについて考察する。図６は、コイルばね１８，２６の縮み量とプローブ１６，２４が信号端子１０４及び接地端子１０６に及ぼす力の大きさとの関係を示したグラフである。横軸は縮み量ｘを示し、縦軸は力Ｆの大きさを示す。 Here, the magnitude of the force exerted by the probes 16 and 24 on the signal terminal 104 and the ground terminal 106 will be considered. FIG. 6 is a graph showing the relationship between the amount of contraction of the coil springs 18 and 26 and the magnitude of the force that the probes 16 and 24 exert on the signal terminal 104 and the ground terminal 106. The horizontal axis indicates the amount of shrinkage x, and the vertical axis indicates the magnitude of the force F.

プローブ１６が信号端子１０４に及ぼす力をＦ１とし、プローブ２４が接地端子１０６に及ぼす力をＦ２とする。プローブ１６が信号端子１０４に接触していない状態におけるコイルばね１８の初期縮み量をｘ１とし、プローブ２４が接地端子１０６に接触していない状態におけるコイルばね２６の初期縮み量をｘ２とする。また、コイルばね１８，２６のばね定数をｋとする。コイルばね１８の自然長とコイルばね２６の自然長とは等しい。 The force that the probe 16 exerts on the signal terminal 104 is F1, and the force that the probe 24 exerts on the ground terminal 106 is F2. The initial contraction amount of the coil spring 18 when the probe 16 is not in contact with the signal terminal 104 is x1, and the initial contraction amount of the coil spring 26 when the probe 24 is not in contact with the ground terminal 106 is x2. The spring constant of the coil springs 18 and 26 is k. The natural length of the coil spring 18 and the natural length of the coil spring 26 are equal.

また、図２の初期状態からのコイルばね１８の縮み量をｘとする。更に、信号端子１０４と接地端子１０６との上下方向の高さの差を図５に示すようにｘａとする。検査装置１０を回路基板１００に近接させると、プローブ１６がプローブ２４より後に信号端子１０６と接触する。図２の初期状態から変化したときのコイルばね２６の縮み量は、コイルばね１６の縮み量ｘに比べ上下方向の高さｘａ分だけ小さくなり、ｘ−ｘａとなる。このとき、以下の式（１）ないし式（４）が成立する。ｘｍは、コイルばね１８，２６の縮み量の上限値である。 Further, the amount of contraction of the coil spring 18 from the initial state of FIG. Further, the difference in height between the signal terminal 104 and the ground terminal 106 in the vertical direction is xa as shown in FIG. When the inspection apparatus 10 is brought close to the circuit board 100, the probe 16 comes into contact with the signal terminal 106 after the probe 24. The amount of contraction of the coil spring 26 when changed from the initial state of FIG. 2 is smaller than the amount of contraction x of the coil spring 16 by the height xa in the vertical direction, and becomes x−xa. At this time, the following equations (1) to (4) are established. xm is an upper limit value of the amount of contraction of the coil springs 18 and 26.

０＜ｘ≦ｘａのとき
Ｆ１＝０・・・（１）
Ｆ２＝ｋ（ｘ２＋ｘ）・・・（２） When 0 <x ≦ xa, F1 = 0 (1)
F2 = k (x2 + x) (2)

ｘａ＜ｘ≦ｘｍのとき
Ｆ１＝ｋ（ｘ１−ｘａ＋ｘ）・・・（３）
Ｆ２＝ｋ（ｘ２＋ｘ）・・・（４） When xa <x ≦ xm, F1 = k (x1−xa + x) (3)
F2 = k (x2 + x) (4)

ここで、信号端子１０４及び接地端子１０６に損傷が生じないＦ１，Ｆ２の大きさの上限値をＦａとする。また、信号を測定することができるＦ１，Ｆ２の大きさの下限値をＦｂとする。Ｆｂは、Ｆａよりも小さい。Ｆ１，Ｆ２がＦｂ以上Ｆａ以下であれば、信号端子１０４及び接地端子１０６を破損させることなく、適切に信号を測定できる。 Here, the upper limit value of the magnitudes of F1 and F2 at which the signal terminal 104 and the ground terminal 106 are not damaged is assumed to be Fa. Further, the lower limit value of the magnitudes of F1 and F2 that can measure the signal is Fb. Fb is smaller than Fa. If F1 and F2 are Fb or more and Fa or less, a signal can be measured appropriately without damaging the signal terminal 104 and the ground terminal 106.

この場合に、Ｆａの大きさの力Ｆ１がプローブ１６から信号端子１０４に加わっているときにプローブ２４から接地端子１０６に加わっている力Ｆ２の大きさは、図６に示すように、Ｆｂ以上Ｆａ以下であることが好ましい。これにより、プローブ１６がＦａの大きさの力Ｆ１で信号端子１０４を押した場合であっても、プローブ２４が適切な力で接地端子１０６を押すようになる。 In this case, when the force F1 having the magnitude of Fa is applied from the probe 16 to the signal terminal 104, the magnitude of the force F2 applied from the probe 24 to the ground terminal 106 is Fb or more as shown in FIG. It is preferable that it is Fa or less. Thereby, even when the probe 16 pushes the signal terminal 104 with the force F1 having the magnitude of Fa, the probe 24 pushes the ground terminal 106 with an appropriate force.

更に、Ｆｂの大きさの力Ｆ２がプローブ２４から接地端子１０６に加わっているときにプローブ１６から信号端子１０４に加わっている力Ｆ１の大きさは、Ｆｂ以上Ｆａ以下であることが好ましい。これにより、プローブ２４がＦｂの大きさの力Ｆ２で接地端子１０６を押した場合であっても、プローブ１６が適切な力で信号端子１０４を押すようになる。以上のような条件を満たすためには、図６に示す力Ｆ１の直線と力Ｆ２の直線とが近接していることが好ましい。そして、以上のような条件を満たすように、ピン２８の位置を調整すればよい。 Furthermore, it is preferable that the magnitude of the force F1 applied from the probe 16 to the signal terminal 104 when the force F2 having the magnitude of Fb is applied from the probe 24 to the ground terminal 106 is Fb or more and Fa or less. Accordingly, even when the probe 24 presses the ground terminal 106 with the force F2 having the magnitude of Fb, the probe 16 presses the signal terminal 104 with an appropriate force. In order to satisfy the above conditions, it is preferable that the straight line of force F1 and the straight line of force F2 shown in FIG. And the position of the pin 28 should just be adjusted so that the above conditions may be satisfy | filled.

（第１の変形例）
以下に、第１の変形例に係る検査装置１０ａについて説明する。第１の変形例に係る検査装置１０ａの構成は、検査装置１０と同じであるので、図１ないし図３を援用する。図７は、信号の測定時における検査装置１０ａ及び回路基板１００ａの図である。 (First modification)
Below, the inspection apparatus 10a which concerns on a 1st modification is demonstrated. Since the configuration of the inspection apparatus 10a according to the first modification is the same as that of the inspection apparatus 10, FIGS. 1 to 3 are used. FIG. 7 is a diagram of the inspection apparatus 10a and the circuit board 100a during signal measurement.

検査装置１０ａの構成と検査装置１０の構成とは同じであるので説明を省略する。回路基板１００ａと回路基板１００とは、基板本体１０２の上側の主面の形状において相違する。より詳細には、回路基板１００ａの上側の主面は、図７に示すように、平坦である。よって、信号端子１０４と接地端子１０６の上下方向の位置も同じである。 Since the configuration of the inspection apparatus 10a and the configuration of the inspection apparatus 10 are the same, description thereof is omitted. The circuit board 100a and the circuit board 100 differ in the shape of the upper main surface of the board body 102. More specifically, the upper main surface of the circuit board 100a is flat as shown in FIG. Therefore, the vertical positions of the signal terminal 104 and the ground terminal 106 are also the same.

以上のように構成された検査装置１０ａにおいても、信号端子１０４及び接地端子１０６の破損が抑制される。 Also in the inspection apparatus 10a configured as described above, damage to the signal terminal 104 and the ground terminal 106 is suppressed.

ところで、検査装置１０ａにおいても、プローブ１６，２４が信号端子１０４及び接地端子１０６に及ぼす力の大きさについて考察する。図８は、コイルばね１８，２６の縮み量とプローブ１６，２４が信号端子１０４及び接地端子１０６に及ぼす力の大きさとの関係を示したグラフである。横軸は縮み量ｘを示し、縦軸は力Ｆの大きさを示す。 By the way, also in the inspection apparatus 10a, the magnitude | size of the force which the probes 16 and 24 exert on the signal terminal 104 and the ground terminal 106 is considered. FIG. 8 is a graph showing the relationship between the amount of contraction of the coil springs 18 and 26 and the magnitude of the force exerted by the probes 16 and 24 on the signal terminal 104 and the ground terminal 106. The horizontal axis indicates the amount of shrinkage x, and the vertical axis indicates the magnitude of the force F.

また、図７の状態からのコイルばね１８の縮み量をｘとすると、図７の状態からのコイルばね２６の縮み量はｘとなる。このとき、以下の式（５）及び式（６）が成立する。ｘｍは、コイルばね１８，２６の縮み量の上限値である。 Further, when the amount of contraction of the coil spring 18 from the state of FIG. 7 is x, the amount of contraction of the coil spring 26 from the state of FIG. 7 is x. At this time, the following equations (5) and (6) hold. xm is an upper limit value of the amount of contraction of the coil springs 18 and 26.

０＜ｘ≦ｘｍのとき
Ｆ１＝ｋ（ｘ１＋ｘ）・・・（５）
Ｆ２＝ｋ（ｘ２＋ｘ）・・・（６） When 0 <x ≦ xm, F1 = k (x1 + x) (5)
F2 = k (x2 + x) (6)

以上のような検査装置１０ａにおいても、Ｆａの大きさの力Ｆ１がプローブ１６から信号端子１０４に加わっているときにプローブ２４から接地端子１０６に加わっている力Ｆ２の大きさは、Ｆｂ以上Ｆａ以下であることが好ましい。これにより、プローブ１６がＦａの大きさの力Ｆ１で信号端子１０４を押した場合であっても、プローブ２４が適切な力で接地端子１０６を押すようになる。 Also in the inspection apparatus 10a as described above, when the force F1 having the magnitude of Fa is applied from the probe 16 to the signal terminal 104, the magnitude of the force F2 applied from the probe 24 to the ground terminal 106 is equal to or greater than Fb. The following is preferable. Thereby, even when the probe 16 pushes the signal terminal 104 with the force F1 having the magnitude of Fa, the probe 24 pushes the ground terminal 106 with an appropriate force.

更に、Ｆｂの大きさの力Ｆ２がプローブ２４から接地端子１０６に加わっているときにプローブ１６から信号端子１０４に加わっている力Ｆ１の大きさは、Ｆｂ以上Ｆａ以下であることが好ましい。これにより、プローブ２４がＦｂの大きさの力Ｆ２で接地端子１０６を押した場合であっても、プローブ１６が適切な力で信号端子１０４を押すようになる。そして、以上のような条件を満たすように、ピン２８の上下方向の位置を調整すればよい。 Furthermore, it is preferable that the magnitude of the force F1 applied from the probe 16 to the signal terminal 104 when the force F2 having the magnitude of Fb is applied from the probe 24 to the ground terminal 106 is Fb or more and Fa or less. Accordingly, even when the probe 24 presses the ground terminal 106 with the force F2 having the magnitude of Fb, the probe 16 presses the signal terminal 104 with an appropriate force. The vertical position of the pin 28 may be adjusted so as to satisfy the above conditions.

ここで、ピン２８の位置の調整について説明する。検査装置１０ａでは、プローブ１６が信号端子１０４に接触した直後の力Ｆ１の大きさとプローブ２４が接地端子１０６に接触した直後の力Ｆ２の大きさとは略等しくなることが好ましい。そこで、ピン２８の位置を調整して、力Ｆ２の大きさを調整する。具体的には、ピン２８を取り付けていない状態で、検査装置１０ａを仮組みする。そして、プローブ１６を上側に僅かに押しこんで、力Ｆ１を測定する。次に、プローブ２４を上側に僅かに押しこんで、力Ｆ２を測定する。力Ｆ１と力Ｆ２とが大きく異なる場合には、ピン２８を取り付ける。そして、再度、力Ｆ１，Ｆ２を計測する。そして、力Ｆ１の大きさと力Ｆ２の大きさとが略一致するまで、ピン２８の上下方向の位置の調整を繰り返す。ピン２８の位置の調整が終了したら、検査装置１０ａを完成させる。 Here, the adjustment of the position of the pin 28 will be described. In the inspection apparatus 10a, it is preferable that the magnitude of the force F1 immediately after the probe 16 contacts the signal terminal 104 and the magnitude of the force F2 immediately after the probe 24 contacts the ground terminal 106 are substantially equal. Therefore, the position of the pin 28 is adjusted to adjust the magnitude of the force F2. Specifically, the inspection apparatus 10a is temporarily assembled with the pin 28 not attached. Then, the probe 16 is slightly pushed upward to measure the force F1. Next, the probe 24 is slightly pushed upward to measure the force F2. When the force F1 and the force F2 are greatly different, the pin 28 is attached. Then, the forces F1 and F2 are measured again. Then, the adjustment of the position of the pin 28 in the vertical direction is repeated until the magnitude of the force F1 and the magnitude of the force F2 substantially coincide. When the adjustment of the position of the pin 28 is completed, the inspection apparatus 10a is completed.

（第２の変形例）
以下に、第２の変形例に係る検査装置１０ｂについて説明する。図９は、第２の変形例に係る検査装置１０ｂの断面構造図である。 (Second modification)
Below, the inspection apparatus 10b which concerns on a 2nd modification is demonstrated. FIG. 9 is a cross-sectional structure diagram of an inspection apparatus 10b according to a second modification.

検査装置１０ｂと検査装置１０との相違点は、コイルばね２６の外径である。より詳細には、検査装置１０では、コイルばね１８の外径とコイルばね２６の外径とは略等しかった。一方、検査装置１０では、図９に示すように、コイルばね２６の外径は、コイルばね１８の外径よりも細い。これにより、コイルばね１８のばね定数とコイルばね２６のばね定数が異なっている。具体的には、コイルばね１８のばね定数がコイルばね２６のばね定数よりも大きい。 The difference between the inspection device 10 b and the inspection device 10 is the outer diameter of the coil spring 26. More specifically, in the inspection device 10, the outer diameter of the coil spring 18 and the outer diameter of the coil spring 26 are substantially equal. On the other hand, in the inspection apparatus 10, as shown in FIG. 9, the outer diameter of the coil spring 26 is thinner than the outer diameter of the coil spring 18. Thereby, the spring constant of the coil spring 18 and the spring constant of the coil spring 26 are different. Specifically, the spring constant of the coil spring 18 is larger than the spring constant of the coil spring 26.

以上のように構成された検査装置１０ｂにおいても、信号端子１０４及び接地端子１０６の破損が抑制される。 Also in the inspection apparatus 10b configured as described above, damage to the signal terminal 104 and the ground terminal 106 is suppressed.

ここで、検査装置１０ｂでは、コイルばね１８には信号が流れるので、コイルばね１８は電流経路として機能する。よって、電流経路の特性インピーダンスが所定の特性インピーダンスとなるように、コイルばね１８の外径を設定する必要がある。 Here, in the inspection device 10b, since a signal flows through the coil spring 18, the coil spring 18 functions as a current path. Therefore, it is necessary to set the outer diameter of the coil spring 18 so that the characteristic impedance of the current path becomes a predetermined characteristic impedance.

一方、検査装置１０ｂでは、コイルばね２６には信号が流れないので、コイルばね２６は電流経路として機能しない。よって、コイルばね２６の外径を自由に設定することができる。 On the other hand, in the inspection device 10b, since no signal flows through the coil spring 26, the coil spring 26 does not function as a current path. Therefore, the outer diameter of the coil spring 26 can be set freely.

そこで、検査装置１０ｂでは、コイルばね２６の外径は、コイルばね１８の外径よりも細い。これにより、検査装置１０ｂの左右方向のサイズを小さくすることができる。 Therefore, in the inspection device 10 b, the outer diameter of the coil spring 26 is thinner than the outer diameter of the coil spring 18. Thereby, the size of the inspection apparatus 10b in the left-right direction can be reduced.

なお、コイルばね２６の外径がコイルばね１８の外径よりも細くなると、コイルばね１８のばね定数とコイルばね２６のばね定数とが異なるようになる。そのため、プローブ１６が信号端子１０４に接触した直後の力Ｆ１の大きさとプローブ２４が接地端子１０６に接触した直後の力Ｆ２の大きさとが異なってしまう。そこで、これらの力が等しくなるようにピン２８の位置を調整すればよい。 When the outer diameter of the coil spring 26 is smaller than the outer diameter of the coil spring 18, the spring constant of the coil spring 18 and the spring constant of the coil spring 26 are different. Therefore, the magnitude of the force F1 immediately after the probe 16 contacts the signal terminal 104 and the magnitude of the force F2 immediately after the probe 24 contacts the ground terminal 106 are different. Therefore, the position of the pin 28 may be adjusted so that these forces are equal.

ところで、検査装置１０ｂにおいても、プローブ１６，２４が信号端子１０４及び接地端子１０６に及ぼす力の大きさについて考察する。図１０は、コイルばね１８，２６の縮み量とプローブ１６，２４が信号端子１０４及び接地端子１０６に及ぼす力の大きさとの関係を示したグラフである。横軸は縮み量ｘを示し、縦軸は力Ｆの大きさを示す。 By the way, also in the inspection apparatus 10b, the magnitude | size of the force which the probes 16 and 24 exert on the signal terminal 104 and the ground terminal 106 is considered. FIG. 10 is a graph showing the relationship between the amount of contraction of the coil springs 18 and 26 and the magnitude of the force exerted on the signal terminal 104 and the ground terminal 106 by the probes 16 and 24. The horizontal axis indicates the amount of shrinkage x, and the vertical axis indicates the magnitude of the force F.

プローブ１６が信号端子１０４に及ぼす力をＦ１とし、プローブ２４が接地端子１０６に及ぼす力をＦ２とする。プローブ１６が信号端子１０４に接触していない状態におけるコイルばね１８の初期縮み量をｘ１とし、プローブ２４が接地端子１０６に接触していない状態におけるコイルばね２６の初期縮み量をｘ２とする。また、コイルばね１８のばね定数をｋ１とし、コイルばね２６のばね定数をｋ２とする。コイルばね１８の自然長とコイルばね２６の自然長とは等しい。 The force that the probe 16 exerts on the signal terminal 104 is F1, and the force that the probe 24 exerts on the ground terminal 106 is F2. The initial contraction amount of the coil spring 18 when the probe 16 is not in contact with the signal terminal 104 is x1, and the initial contraction amount of the coil spring 26 when the probe 24 is not in contact with the ground terminal 106 is x2. The spring constant of the coil spring 18 is k1, and the spring constant of the coil spring 26 is k2. The natural length of the coil spring 18 and the natural length of the coil spring 26 are equal.

また、図９の状態からのコイルばね１８の縮み量をｘとすると、図９の状態からのコイルばね２６の縮み量はｘとなる。このとき、以下の式（７）及び式（８）が成立する。ｘｍは、コイルばね１８，２６の縮み量の上限値である。 Further, if the amount of contraction of the coil spring 18 from the state of FIG. 9 is x, the amount of contraction of the coil spring 26 from the state of FIG. 9 is x. At this time, the following equations (7) and (8) are established. xm is an upper limit value of the amount of contraction of the coil springs 18 and 26.

Ｆ１＝ｋ１（ｘ１＋ｘ）・・・（７）
Ｆ２＝ｋ２（ｘ２＋ｘ）・・・（８） F1 = k1 (x1 + x) (7)
F2 = k2 (x2 + x) (8)

以上のような検査装置１０ｂにおいても、Ｆａの大きさの力Ｆ１がプローブ１６から信号端子１０４に加わっているときにプローブ２４から接地端子１０６に加わっている力Ｆ２の大きさは、Ｆｂ以上Ｆａ以下であることが好ましい。これにより、プローブ１６がＦａの大きさの力Ｆ１で信号端子１０４を押した場合であっても、プローブ２４が適切な力で接地端子１０６を押すようになる。 Even in the inspection apparatus 10b as described above, when the force F1 having the magnitude of Fa is applied from the probe 16 to the signal terminal 104, the magnitude of the force F2 applied from the probe 24 to the ground terminal 106 is equal to or greater than Fb. The following is preferable. Thereby, even when the probe 16 pushes the signal terminal 104 with the force F1 having the magnitude of Fa, the probe 24 pushes the ground terminal 106 with an appropriate force.

更に、Ｆｂの大きさの力Ｆ２がプローブ２４から接地端子１０６に加わっているときにプローブ１６から信号端子１０４に加わっている力Ｆ１の大きさは、Ｆｂ以上Ｆａ以下であることが好ましい。これにより、プローブ２４がＦｂの大きさの力で接地端子１０６を押した場合であっても、プローブ１６が適切な力で信号端子１０４を押すようになる。そして、以上のような条件を満たすように、ピン２８の上下方向の位置を調整すればよい。 Furthermore, it is preferable that the magnitude of the force F1 applied from the probe 16 to the signal terminal 104 when the force F2 having the magnitude of Fb is applied from the probe 24 to the ground terminal 106 is Fb or more and Fa or less. Accordingly, even when the probe 24 presses the ground terminal 106 with a force having a magnitude of Fb, the probe 16 presses the signal terminal 104 with an appropriate force. The vertical position of the pin 28 may be adjusted so as to satisfy the above conditions.

なお、検査装置１０ｂは、回路基板１００及び回路基板１００ａのいずれにも用いることができる。 The inspection apparatus 10b can be used for both the circuit board 100 and the circuit board 100a.

（その他の実施形態）
本発明に係る検査装置は、前記検査装置１０，１０ａ，１０ｂに限らずその要旨の範囲内において変更可能である。 (Other embodiments)
The inspection device according to the present invention is not limited to the inspection devices 10, 10a, 10b, and can be changed within the scope of the gist thereof.

なお、ピン２８の代わりに、バレル２０の下部２０ａ内の上端近傍にピンが設けられていてもよい。該ピンは、コイルばね１８の上端に接触する。これにより、ピンの位置を調整することにより、コイルばね１８が信号端子１０４に接触する力Ｆ１の大きさを調整できる。 Instead of the pin 28, a pin may be provided near the upper end in the lower portion 20a of the barrel 20. The pin contacts the upper end of the coil spring 18. Thereby, the magnitude | size of the force F1 which the coil spring 18 contacts the signal terminal 104 can be adjusted by adjusting the position of a pin.

なお、ピン２８は、ネジ構造により構成される代わりに、圧入により固定されていてもよいし、接着剤により固定されてもよい。 Note that the pin 28 may be fixed by press-fitting or may be fixed by an adhesive instead of being configured by a screw structure.

また、検査装置１０，１０ａ，１０ｂでは、力Ｆ１の方が力Ｆ２よりも大きい。しかしながら、力Ｆ２の方が力Ｆ１よりも大きくてもよい。この場合、Ｆａの大きさの力Ｆ２がプローブ２４から接地端子１０６に加わっているときにプローブ１６から信号端子１０４に加わっている力Ｆ１の大きさは、Ｆｂ以上Ｆａ以下であることが好ましい。これにより、プローブ２４がＦａの大きさの力Ｆ２で接地端子１０６を押した場合であっても、プローブ１６が適切な力で信号端子１０４を押すようになる。 In the inspection apparatuses 10, 10a, and 10b, the force F1 is larger than the force F2. However, the force F2 may be greater than the force F1. In this case, the magnitude of the force F1 applied from the probe 16 to the signal terminal 104 when the force F2 having the magnitude of Fa is applied from the probe 24 to the ground terminal 106 is preferably Fb or more and Fa or less. Accordingly, even when the probe 24 presses the ground terminal 106 with the force F2 having the magnitude of Fa, the probe 16 presses the signal terminal 104 with an appropriate force.

更に、Ｆｂの大きさの力Ｆ１がプローブ１６から信号端子１０４に加わっているときにプローブ２４から接地端子１０６に加わっている力Ｆ２の大きさは、Ｆｂ以上Ｆａ以下であることが好ましい。これにより、プローブ１６がＦｂの大きさの力Ｆ１で信号端子１０４を押した場合であっても、プローブ２４が適切な力で接地端子１０６を押すようになる。 Furthermore, the magnitude of the force F2 applied from the probe 24 to the ground terminal 106 when the force F1 having the magnitude of Fb is applied from the probe 16 to the signal terminal 104 is preferably Fb or more and Fa or less. Thus, even when the probe 16 pushes the signal terminal 104 with the force F1 having the magnitude of Fb, the probe 24 pushes the ground terminal 106 with an appropriate force.

本発明は、検査装置に有用であり、特に、被測定物の導体に破損が生じることを抑制できる点において優れている。 INDUSTRIAL APPLICABILITY The present invention is useful for an inspection apparatus, and is particularly excellent in that the occurrence of breakage in a conductor of a measurement object can be suppressed.

１０，１０ａ，１０ｂ検査装置
１２本体下部
１２ａ主要部
１２ｂ円筒部
１４本体上部
１４ａ挿入部
１４ｂフランジ
１４ｃコネクタ部
１６プローブ
１６ａ下部
１６ｂ上部
１８コイルばね
２０バレル
２０ａ下部
２０ｂ上部
２２ブッシング
２４プローブ
２４ａ下部
２４ｂ上部
２６コイルばね
２８ピン
３０，３２ブッシング
１００，１００ａ回路基板
１０２基板本体
１０４信号端子
１０６接地端子 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10, 10a, 10b Inspection apparatus 12 Main body lower part 12a Main part 12b Cylindrical part 14 Main body upper part 14a Insertion part 14b Flange 14c Connector part 16 Probe 16a Lower part 16b Upper part 18 Coil spring 20 Barrel 20a Lower part 20b Upper part 22 Bushing 24 Probe 24a Lower part 24b 26 coil spring 28 pins 30, 32 bushing 100, 100a circuit board 102 board body 104 signal terminal 106 ground terminal

Claims

The body,
A first probe and a second probe provided so as to be movable in a predetermined direction with respect to the main body;
A first elastic body that exerts a force on the first probe such that the first probe protrudes from the main body toward one side in the predetermined direction;
A second elastic body that exerts a force on the second probe such that the second probe protrudes from the main body toward one side in the predetermined direction;
With
The first probe is in contact with the first conductor through which a signal is transmitted in the object to be measured from the other side in the predetermined direction,
The second probe is in contact with the second conductor maintained at a ground potential in the object to be measured from the other side in the predetermined direction;
Inspection device characterized by

The body is maintained at ground potential, is electrically connected to the second probe, and is electrically insulated from the first probe;
The inspection apparatus according to claim 1.

The body is
A cylindrical portion extending in the predetermined direction,
Including
The first probe extends in the predetermined direction in the cylindrical portion;
The inspection apparatus according to claim 1, wherein the inspection apparatus is characterized by the following.

A cylindrical body attached to the main body in a state of being electrically insulated from the main body and extending in the predetermined direction,
In addition,
One end of the cylindrical body in the predetermined direction is open, and the other end of the cylindrical body in the predetermined direction is closed,
The other end of the first probe in the predetermined direction is inserted into the cylindrical body,
The first elastic body is provided in the cylindrical body between an end portion on the other side in the predetermined direction of the first probe and an end portion on the other side in the predetermined direction of the cylindrical body. That
The inspection apparatus according to claim 2, wherein:

A first pin in contact with the other end of the first elastic body in the predetermined direction in the cylindrical body;
More
The inspection apparatus according to claim 4.

The tip of the first probe and the tip of the second probe are such that the first probe is not in contact with the first conductor and the second probe is in contact with the second conductor. Is not located in the same predetermined position in the predetermined direction,
The magnitude of the first force is an upper limit value of a magnitude that does not cause damage to the first conductor and the second conductor,
The second force, which is smaller than the first force, is a lower limit value of the magnitude with which the signal can be measured,
When the first force is applied from the first probe to the first conductor, the magnitude of the force applied from the second probe to the second conductor is the second force. Greater than or equal to magnitude and less than or equal to the magnitude of the first force;
The magnitude of the force applied from the first probe to the first conductor when the second force is applied from the second probe to the second conductor is the second force. A magnitude greater than or equal to a magnitude of the first force;
The inspection apparatus according to claim 1, wherein:

The tip of the first probe and the tip of the second probe are such that the first probe is not in contact with the first conductor and the second probe is in contact with the second conductor. Is not located in the same predetermined position in the predetermined direction,
The magnitude of the first force is an upper limit value of a magnitude that does not cause damage to the first conductor and the second conductor,
The second force, which is smaller than the first force, is a lower limit value of the magnitude with which the signal can be measured,
When the second force is applied from the first probe to the first conductor, the magnitude of the force applied from the second probe to the second conductor is the second force. Greater than or equal to magnitude and less than or equal to the magnitude of the first force;
When the first force is applied from the second probe to the second conductor, the magnitude of the force applied from the first probe to the first conductor is the second force. A magnitude greater than or equal to a magnitude of the first force;
The inspection apparatus according to claim 1, wherein:

The first elastic body and the second elastic body are coil springs having substantially equal spring constants;
The inspection apparatus according to any one of claims 1 to 7, wherein:

The first elastic body and the second elastic body are coil springs having different spring constants;
The inspection apparatus according to any one of claims 1 to 7, wherein:

The outer diameter of the second elastic body is smaller than the outer diameter of the first elastic body;
The inspection apparatus according to claim 9.

The second elastic body is in contact with the second probe at one end in the predetermined direction;
The inspection device includes:
A second pin that is in contact with the other end of the second elastic body in the predetermined direction and is fixed to the main body;
More
The inspection apparatus according to any one of claims 8 to 10, wherein: