JPH08248063A - Coaxial contact probe - Google Patents

Coaxial contact probe

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JPH08248063A
JPH08248063A JP7810295A JP7810295A JPH08248063A JP H08248063 A JPH08248063 A JP H08248063A JP 7810295 A JP7810295 A JP 7810295A JP 7810295 A JP7810295 A JP 7810295A JP H08248063 A JPH08248063 A JP H08248063A
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JP
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contact
conductor
coaxial
contact probe
probe
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Application number
JP7810295A
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Japanese (ja)
Inventor
Yoshiyasu Gonda
権田善保
Original Assignee
Taise:Kk
株式会社タイセー
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Abstract

PURPOSE: To obtain a coaxial contact probe being employed in an in-circuit tester for printed wiring board mounting various electronic devices in which central and external conductors can be brought into contact reliably with required test points. CONSTITUTION: The coaxial contact probe 1 comprises a central conductor 2, an external conductor 6, and an insulator 5 interposed between them. The coaxial contact probe 1 is provided, at least one end part thereof, with a first cantilever contactor 3 connected electrically with the central conductor 2 and a second contactor 4 connected electrically with the external conductor 6.

Description

【発明の詳細な説明】 DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】 [0001]

【産業上の利用分野】本発明は、各種電子部品等が実装されたプリント配線基板やIC基板等のインサーキット検査を行う検査装置に使用される同軸型コンタクトプローブに関する。 The present invention relates to a coaxial contact probe which various electronic components are used in the inspection apparatus for performing in-circuit testing of a printed wiring board or an IC substrate or the like is mounted.

【0002】 [0002]

【従来の技術】プリント配線板に各種電子部品を実装した後、回路の断線、短絡、不良部品の検出等のために、 After mounting the various electronic components of the Related Art printed wiring board, disconnection of circuit, short circuit, for detection of defective parts,
プリント配線板のインサーキット検査が行われている。 In-circuit test has been carried out of the printed wiring board.
インサーキット検査においては、実装された各部品のリード部やプリント配線板のラウンド部、回路パターン等に設けられた検査ポイントにコンタクトプローブを接触させ、部品単位で部品の機能検査を行う。 In-circuit testing, the round portion of the lead portion and the printed wiring board of the mounted components, contacting the contact probe to the test point provided on the circuit pattern or the like, to a component unit function inspection of the parts carried. 検査内容には、 (A)短絡、断線試験 (B)抵抗、コンデンサ、コイル、ダイオード等の受動アナログ素子の測定 (C)トランジスタ、オペアンプ等の能動アナログ素子の測定 (D)TTL、RAM、ROM等のデジタル素子の測定 (E)CPU、RAM、TTL等のデジタル素子の動作スピード試験 (F)A/D変換器、D/A変換器等のミックスシグナル試験 などが挙げられ、その内容は益々、高密度化しているのが実状である。 The examination content, (A) a short circuit, breakage test (B) resistors, capacitors, coils, measurement of passive analog elements such as a diode (C) transistors, the measurement of the active analog elements such as operational amplifiers (D) TTL, RAM, ROM digital measurement device (E) CPU etc., RAM, operating speed testing of digital devices TTL, etc. (F) a / D converter, is like mixed-signal tests such as D / a converter, the content of more , is the actual situation of is high density.

【0003】検査の内容によっては、数百MHz、数G [0003] depending on the content of the examination is a few hundred MHz, the number G
Hzの高周波信号を検査信号として使用する必要がある。 It is necessary to use Hz high-frequency signal as a test signal. この場合に、同軸型コンタクトプローブが一般的に使われる。 In this case, the coaxial contact probe is generally used. 即ち、同軸型コンタクトプローブを介して検査ポイントに検査信号を伝達し、かかる検査信号を用いて電子部品等の検査を行う。 That is, it transmits a test signal to the test point through a coaxial contact probe, inspect the electronic components using such test signal. あるいは又、電子部品からの信号を検査ポイントから同軸型コンタクトプローブを介して外部に出力することによって電子部品の検査を行う。 Alternatively, inspect the electronic component by outputting to the outside through the coaxial contact probe signals from the electronic part from the inspection point.

【0004】 [0004]

【発明が解決しようとする課題】近年では、プリント配線板の高密度化はもとより、高密度実装技術の進歩も著しい。 In [0005] Recently, high-density printed wiring board, as well as remarkable also advances in high-density mounting technology. 従って、省スペース化、極小部品化、の中で検査ポイントの設計上の確保もむずかしい。 Therefore, space saving, minimum part of, difficult also ensured in the design of the inspection points in the. しかしながら、 However,
特開平6−3371のコンタクトピンを利用した同軸型コンタクトプローブによると中心導体(2)に接続する第1のコンタクトピン(30)及び外部導体(6)に接続する第2のコンタクトピン(20)は機構上、最低でもその突出長さは2〜3mm程度は必要であり、その突出長さは長くなるほど一般的に測定精度が落ちる。 Second contact pins connected to the first contact pin to be connected to the central conductor (2) According to the coaxial contact probe utilizing the contact pins of JP-A 6-3371 (30) and the outer conductor (6) (20) on the mechanism, the projecting length at least about 2~3mm is required, the protruding length fall is generally measured accuracy as longer. また、第1のコンタクトピン(30)と第2のコンタクトピンの先端間隔についても0.7mm程度が限度である。 Further, 0.7 mm approximately true for the first contact pin (30) tip spacing of the second contact pin is the limit. そのほか、コンタクトピンの直径についても自ずから限度があり、コンタクトピンと同軸の外部導体への固定方法等にも問題が生じてきている。 In addition, there is naturally a limit on the contact pin diameter, it has also arisen a problem in fixing method or the like to the contact pin and the coaxial outer conductor. 以上の内容を図4 Figure 4 of the above content
の(A)、(B)に示す。 Of (A), it is shown in (B). また、図5の(A)、(B) Further, in FIG. 5 (A), (B)
に示すように、従来のコプレーナ型の高周波用プローブは、被測定物と接触させる際に、プローブ側の複数の測定用端子(接触パッド)が、同一平面上の板状誘電体(8)に構成され、一体的な構造となっているため、被測定物側の同一平面に形成された電子部品等の複数の測定端子に接触させる際に膜状信号用導体(9)とその両側に位置する膜状アース用導体(10a)の3点を同時に接触させることは、難しく良好な接触状態が得られない場合があった。 As shown in the high-frequency probe of a conventional coplanar, when contacting the object to be measured, a plurality of measuring terminals of the probe side (the contact pads), the plate-like dielectric on the same plane (8) configured, since that is an integral structure, the position and on both sides of the membrane-like signal conductor when brought into contact with a plurality of measuring terminals of the electronic component or the like formed on the same plane of the object-side (9) contacting three points of the film-shaped ground conductor (10a) at the same time, there have been cases where difficult good contact state can not be obtained. 更に、従来のコプレーナ型の高周波用プローブはそれを支持する周辺固定治具も大型化になる等コスト面において、高くなるなどのデメリットがあった。 Furthermore, the conventional coplanar type high frequency probe of the equal cost to be near the fixing jig even large supporting it, there is a demerit such as high.

【0005】従って、本発明の目的は、同軸ケーブルの中心導体及び外部導体を検査ポイントに確実に、接触できるように、それぞれ、第1の接触子を中心導体、第2 It is therefore an object of the present invention, ensuring the inspection point to the center conductor and the outer conductor of the coaxial cable, so that it can contact, respectively, the center conductor of the first contact elements, the second
の接触子を外部導体へ直接に接合し、独立的に可撓性を有し、補強的な部品を介在させることなく同軸型コンタクトプローブを安価に提供できるところにある。 The contactors directly joined to the outer conductor, independently flexible, there is to able to provide an inexpensive coaxial contact probe without interposing a reinforcing specific components.

【0006】 [0006]

【課題を解決するための手段】上記の目的は、中心導体と、外部導体と、これらの間に介在する絶縁体からなる同軸型コンタクトプローブであって、少なくとも一方の端部に(イ)中心導体に電気的に接続されたカンチレバー状の第1の接触子または中心導体の先端を剣先加工し、第1の接触子としたもの、(ロ)外部導体に電気的に接続された突出した第2の接触子を具備し、第1の接触子、第2の接触子の先端におのおのに接触用のパッドを設けたことを特徴とする同軸型コンタクトプローブによって達成することが可能である。 [Means for Solving the Problems] The above object, a center conductor, an outer conductor, a coaxial contact probe made of an insulating material interposed therebetween, at least one end (A) center conductor tip of electrically connected cantilevered first contact or the center conductor and the loop-taker point processing, which was the first contact, the projecting electrically connected to (b) an outer conductor comprising a second contact, the first contact can be achieved by a coaxial type contact probe, characterized in that a pad for contact with each the tip of the second contactor.

【0007】第1の接触子は、中心導体に対して電気的に接続されている。 A first contact is electrically connected to the center conductor. 第1の接触子は、その長さ方向に対して直角方向に可撓性を有することが望ましい。 First contact elements, it is desirable to have flexibility in the direction perpendicular to its length. また、 Also,
第1の接触子を接続することなく、中心導体の先端を加工し、接触子の替わりとしても可能である。 Without connecting the first contact, by processing the tip of the center conductor, it is also possible as a replacement for the contact.

【0008】第2の接触子は、1〜2本あれば良いが、 [0008] The second contact is sufficient if one or two this,
2本が最も望ましい。 2 This is the most desirable. 第2の接触子の検査ポイントと接触する部分を長さ方向と直角方向に切断したときの断面は、正方形、長方形、多角形、厚さを有する弧、その他任意の形状とすることができる。 Section obtained by cutting the portion in contact with the test points of the second contact in the longitudinal direction and the perpendicular direction can be square, rectangular, polygonal, arc having a thickness, it may be any other shape. 第2の接触子の検査ポイントと接触する部分の先端形状は、円錐、角錐、他任意の形状とすることができる。 Tip shape of the portion in contact with the test points of the second contact may be conical, pyramidal, and other arbitrary shapes. 第2の接触子は、真直ぐであっても、適当に湾曲していても良いが、長さ方向に対して直角方向に可撓性を有し、一定の押力に対する反発力を持ち、外部導体に対しては必ず電気的に接続されている。 The second contact may be a straight or may be suitably curved, but flexible in a direction perpendicular to the length direction has a repulsive force for a given pushing force, an external It is always electrically connected to the conductor.

【0009】第1の接触子、第2の接触子の素材としてはベリリウム銅、リン青銅等の銅合金が最適であるが、 [0009] The first contact, beryllium copper as a material of the second contact, although copper alloys such as phosphor bronze is optimal,
導電性のあるバネ材であるならば接触子として充分である。 It is sufficient as a contact if a spring member having conductivity. 第2の接触子は、外部導体部の円周上、中心導体と同一線上に2本配置することが望ましい。 The second contact is on the circumference of the outer conductor portion, it is desirable to two disposed on the center conductor and the same line.

【0010】同軸型コンタクトプローブの他方の端部に、中心導体及び外部導体と電気的に接続されたコネクタを備えることができる。 [0010] can be the other end of the coaxial contact probe, comprising a central conductor and an outer conductor electrically connected to the connector. また、同軸型コンタクトプローブの他方の端部に第3の接触子、第4の接触子を設置し、電気的に接続し使用してもよい。 The third contactor to the other end of the coaxial contact probe, the fourth contact established may be used to electrically connect.

【0011】 [0011]

【作用】本発明の同軸型コンタクトプローブにおいては、各種電子部品等が実装されたプリント配線基板等のインサーキット検査を行うときに使用する。 In the coaxial type contact probes the present invention, used when various electronic parts and the like to perform in-circuit testing of printed circuit board or the like mounted. 従来の摺動式のコンタクトピンを利用したコンタクトプローブは、 Contact probe using conventional sliding contact pins,
構造上、コンタクトピンの突出長さが2〜3mm程になり、中心導体と外部導体に接合したコンタクトピン間隔も0.7mm程になる。 Structurally, the protruding length of the contact pins become more 2 to 3 mm, the contact pin spacing joined to the central conductor and the outer conductor also becomes about 0.7 mm. また、コンタクトピンの直径も構造上定まってしまうが、本発明は、第1の接触子、第2の接触子の中心導体並びに外部導体への直付け接合により、接触子の突出長さを0.5mm程に短く、接触子の間隔を0.1mm程に狭めて接合することが可能となる。 Also, the contact pin diameter even become definite on structure, the present invention comprises a first contactor, a direct mounting joint of the center conductor and the outer conductor of the second contact, the protruding length of the contact 0 as the short .5mm, the spacing of the contacts is possible to bond narrowed to about 0.1 mm. さらに、高密度な検査ポイントへ、高い自由度で電気的に接続させることが可能である。 Furthermore, the density test points, it is possible to electrically connect a high degree of freedom.

【0012】 [0012]

【実施例】以下、図面を参照して、実施例に基づき本発明のコンタクトプローブを説明する。 EXAMPLES Hereinafter, with reference to the drawings, a contact probe of the present invention based on the embodiment will be described.

【0013】図1の(A)に、本発明の同軸型コンタクトプローブ(1)の一方の端部の、線A−Aに沿った一部拡大断面図を示す。 [0013] (A) in FIG. 1, the one end of the coaxial contact probe (1) of the present invention, a partially enlarged cross-sectional view along line A-A shown. また、図1の(B)に接触子先端方向から見た拡大図を示す。 Further, an enlarged view seen from the contact tip direction in FIG. 1 (B). コンタクトプローブ(1) Contact probe (1)
は、中心導体(2)の周囲に絶縁体(5)を介して外部導体(6)が配置されて成る。 Consists disposed external conductor (6) through the surrounding insulator of the central conductor (2) to (5). 中心導体(2)は、例えば導線からなり、中心導体(2)を取り囲む絶縁体(5)は、例えばテフロン樹脂から形成することができる。 The center conductor (2) is, for example, a conductor, an insulator surrounding the central conductor (2) (5) may be formed of, for example, Teflon. 絶縁体(5)の外面に配置された外部導体(6) Outer surface arranged outside conductor of the insulator (5) (6)
は、例えば銅からなる。 It is made of, for example, copper. 中心導体(2)、絶縁体(5) The center conductor (2), insulator (5)
及び外部導体(6)は、従来の方法で一体加工することができる。 And the outer conductor (6) can be integrally processed in a conventional manner.

【0014】第1の接触子(3)は、絶縁体より露出された中心導体(2)にカンチレバー状に取り付けられ電気的に接続している。 [0014] The first contact (3) is attached to the cantilevered to the center conductor (2) that is exposed from the insulator are electrically connected. 第1の接触子(3)は、導電性があり、板バネ状の可撓性があるベリリウム銅を使用している。 First contact elements (3), it is electrically conductive, using beryllium copper is flexible like a leaf spring. 第2の接触子(4)は、外部導体(6)に電気的に接続するように接合されている。 The second contact (4) is joined so as to be electrically connected to the outer conductor (6). 第1の接触子と同様に導電性があり、板バネ状の可撓性があるベリリウム銅を使用している。 There is a first contact and a conductive similarly uses a beryllium copper is flexible like a leaf spring.

【0015】第1の接触子、第2の接触子とも、これを接合する方法としては、ロウ付け、半田付け、レーザー溶接等により中心導体、外部導体に電気的に接続固定することができる。 The first contact elements, with the second contact child, as a method of joining this, brazing, soldering, the central conductor by laser welding or the like, can be electrically connected and fixed to the outer conductor. 本実施例においては、中心導体に第1 In the present embodiment, first the center conductor
の接触子を設置し、外部導体に2本の第2の接触子を配置し、他方にコネクタを配した同軸型コンタクトプローブである。 Of established the contact, placing the second contacts of the two outer conductor, a coaxial contact probe arranged a connector at the other. 以上を図1の(A)、(B)及び図3に示す。 More in FIG. 1 (A), shown in (B) and FIG.

【0016】以上のように、第1の接触子と第2の接触子を接合するのにあたり、接触子の長さを0.5〜1. [0016] As described above, when bond the first contact and the second contact, the length of the contact 0.5-1.
0mmにした。 It was 0mm. 接触子の先端に位置する接触用パッドは、Auにより作製したが、Ag、NiCr、Cu等によっても作製することが出来る。 Contact pads located at the top of the contactor has been prepared by Au, Ag, NiCr, it can also be produced by Cu.

【0017】また、第1の接触子を使用せず、中心導体そのものを加工し、接触子として使用しても良い。 Further, without using the first contact, by processing the central conductor itself it may be used as a contactor. 但し、中心導体そのものがバネ状の可撓性を持っていることが望ましい。 However, it is desirable that the center conductor itself has a spring-like flexible. 本実施例は、図2へ示す。 This example illustrates the FIG.

【0018】以上、本発明の同軸型コンタクトプローブを好ましい実施例に基づき説明したが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。 The invention has been described based on the coaxial contact probe of the present invention a preferred embodiment, the present invention is not limited to these examples. 使用する材料は例示であり、適切な各種の材料を使用することができる。 Materials used are exemplary and can use the appropriate variety of materials.
また、第1の接触子、第2の接触子の先端形状、取付方法を適宜変更することができる。 Further, it is possible to first contact elements, the second contact end shape, to change the mounting method appropriate. 第2の接触子の本数、 The number of the second contact,
配置状態、接触子の突出長さ等は、同軸型コンタクトプローブに要求される諸元に基づき適宜設計変更され供給することができる。 Arrangement, the projecting length, etc. of the contact can be supplied is suitably modified on the basis of the specifications required for the coaxial contact probe.

【0019】 [0019]

【発明の効果】本発明の同軸型コンタクトプローブにおいては、各種電子部品等が実装されたプリント配線板等のインサーキット検査を行うときに、第1、第2の接触子の間隔が狭く、接触子の先端における検査ポイントとの接触面積も小さいので、高密度実装プリント配線板等に対しても効果的なインサーキット検査を行うことができる。 In the coaxial type contact probe of the present invention, when various electronic parts and the like to perform in-circuit testing of printed circuit boards or the like which is mounted a first spacing of the second contact is narrow, the contact the contact area between the test point at the tip of the child is small, it is possible to perform an effective in-circuit test with respect to high-density mounting printed wiring board or the like. 更に、素材を生かした接触子を適宜、湾曲させることにより高い自由度で電気的に接続することができる。 Furthermore, the contacts utilizing the material as appropriate, may be electrically connected with a high degree of freedom by bending. 本発明の同軸型コンタクトプローブは、完全同軸ではないが、接触子の突出長さを短くすることができるので、測定ロスも軽減され、10数GHz程度の高周波信号を検査信号として対応することが可能となる。 Coaxial contact probe of the present invention include, but are not completely coaxial, it is possible to shorten the protruding length of the contact, the measured loss is also reduced, that a high frequency signal of about 10 several GHz corresponding as a test signal It can become.

【図面の簡単な説明】 BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS

【図1】本発明の同軸型コンタクトプローブの好ましい一実施例を示す。 1 shows a preferred embodiment of the coaxial contact probe of the present invention.

【図2】本発明の別の同軸型コンタクトプローブの好ましい一実施例を示す。 2 shows a preferred embodiment of another coaxial contact probe of the present invention.

【図3】本発明の好ましい同軸型コンタクトプローブの一実施例の他端にコネクタを配置した一実施例である。 3 is a preferred embodiment of arranging the connector at the other end of one embodiment of a coaxial contact probe of the present invention.

【図4】従来の同軸型コンタクトプローブの一例を示す図である。 4 is a diagram showing an example of a conventional coaxial type contact probe.

【図5】従来のコプレーナ型の高周波用プローブの一例を示す図である。 5 is a diagram showing an example of a high-frequency probe of a conventional coplanar.

【符号の説明】 DESCRIPTION OF SYMBOLS

1 同軸型コンタクトプローブ 2 中心導体 3 第1の接触子 3a 信号用接触パッド 4 第2の接触子 4a アース用接触パッド 5 絶縁体 6 外部導体 7 コネクタ 8 板状誘電体 9 膜状信号用導体 10 接続金具 10a 膜状アース用導体 20 第2のコンタクトピン 30 第1のコンタクトピン 1 coaxial contact probe 2 central conductor 3 first contact elements 3a signal contact pads 4 second contactor 4a earth contact pads 5 insulation 6 outer conductor 7 connector 8 plate dielectric 9 filmy signal conductor 10 fittings 10a membranous grounding conductor 20 and the second contact pins 30 first contact pin

Claims (2)

    【特許請求の範囲】 [The claims]
  1. 【請求項1】中心導体と、外部導体と、これらの間に介在する絶縁体からなる同軸型コンタクトプローブであって、少なくとも一方の端部に(イ)中心導体に電気的に接続されたカンチレバー状の第1の接触子と、 (ロ)外部導体に電気的に接続された突出した第2の接触子を具備し、第1の接触子、第2の接触子の先端に接触用のパッドを設けたことを特徴とする同軸型コンタクトプローブ And 1. A center conductor, an outer conductor, a coaxial contact probe made of an insulating material interposed therebetween, the cantilever that is electrically connected to at least one end (a) center conductor a first contact of Jo, (b) comprises a second contact protruding electrically connected to the outer conductor, the first contact pad for contacting the tip of the second contact coaxial contact probe, characterized in that the provided
  2. 【請求項2】中心導体の先端に剣先加工を施し、接触子とした請求項1の同軸型コンタクトプローブ Wherein subjecting the hook point processing at the tip of the center conductor, the coaxial contact probe according to claim 1 in which the contacts
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19832021A1 (en) * 1998-07-16 2000-01-27 Bosch Gmbh Robert Probe or scanning head for microwave circuit measurements inside planar conductor
US6281691B1 (en) 1998-06-09 2001-08-28 Nec Corporation Tip portion structure of high-frequency probe and method for fabrication probe tip portion composed by coaxial cable
JP2015102435A (en) * 2013-11-26 2015-06-04 株式会社村田製作所 Inspection device

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6281691B1 (en) 1998-06-09 2001-08-28 Nec Corporation Tip portion structure of high-frequency probe and method for fabrication probe tip portion composed by coaxial cable
US6400168B2 (en) 1998-06-09 2002-06-04 Nec Corporation Method for fabricating probe tip portion composed by coaxial cable
DE19832021A1 (en) * 1998-07-16 2000-01-27 Bosch Gmbh Robert Probe or scanning head for microwave circuit measurements inside planar conductor
DE19832021C2 (en) * 1998-07-16 2000-05-11 Bosch Gmbh Robert probe
JP2015102435A (en) * 2013-11-26 2015-06-04 株式会社村田製作所 Inspection device

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