JP2015099917A - 基板接合方法及び基板接合体 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】金属領域の表面に対して加熱還元処理を行って、金属領域の表面に金属微粒子を形成させ、金属微粒子が形成された金属領域の表面同士を接触させて加熱して、基板を接合させる。
【選択図】図2
Description
まず、本発明による方法を適用して接合をする接合対象について説明する。図1は、接合対象となる基板の構成の一例を示す概略断面図を示す。この例においては、基板1は、シリコン(Si)からなる母材2の表面上に、銅(Cu)からなる金属領域4と、酸化シリコン(SiO2)からなる非金属領域5を有して構成されている。この接合対象である一対の基板1を、接合面3を対向させて、接合することになる。
図2は、本発明の一実施形態を実施するための基板接合装置の概略構成を示す正面図である。
次に、図3を参照して、ガス照射源40の構造及び動作について説明する。図3は、図2に示す、ガス照射源40、基板1,1、上下基板支持板31,32及びガス管41を拡大した断面の正面概略図である。
次に、図4を参照して、図2及び図3に示す基板接合装置を用いた、図1に示す基板の表面処理及び基板の接合方法について説明する。図4では、図1に示した金属領域4の表面近傍のみが拡大して示されており、したがって、非金属領域5は示されていない。また、図4A及び図4Bには、簡便のため、一方の基板1の金属領域4(201)のみが示されているが、他方の基板1の金属領域4(金属領域204)についても同様の処理が行われる。
この酸化物層202は、例えば、金属領域4の表面に水蒸気が接触する状態で加熱をすることにより形成してもよい(以下、熱処理と称する)。一般的に、金属領域である銅の表面において、酸化物層は、再外層に形成されたCuOを主に含む層と、その下に形成されたCu2Oを主に含む層とから構成されると考えられる。熱処理により、酸化物層の厚さは増加するが、Cu2Oを主に含む層の厚さが増加することが主な要因であると考えられている。このような現象は、上記の熱処理で特に顕著である。Cu2Oを主に含む層の厚さが、熱処理によって増加することにより、後述する金属微粒子203が好ましく形成される。
→削除しました。
この真空(減圧)状態をバックグラウンド雰囲気として、ガス照射源40を作動させて、反応ガスを基板1,1に放射する。真空ポンプによる真空排気は、次に行う還元処理から接合工程に亘って、継続させることが好ましい。これにより、良好な接合界面が形成されるまで、基板周囲の真空(減圧)雰囲気を保ち、不純物等の基板表面や接合界面への酸化及び再酸化を低減することができる。
金属微粒子の形成は、次のような理由によるものと考えられる。例えば、Pt触媒を作用させたギ酸から生成した反応ガスを利用して銅の表面に形成された酸化物層を還元する場合、ギ酸はPt触媒によって分解され、水素ラジカルが発生する。銅の表面において、酸化物層は、再外層に形成されたCuOを主に含む層と、その下に形成されたCu2Oを主に含む層とから構成されるが、水素ラジカルによってCuOが減少する。そして、ギ酸基がCu2Oと反応して、銅のギ酸塩を形成する。この銅のギ酸塩が分解することにより、銅の微粒子が凝集(あるいは析出)する。なお、ギ酸がPt触媒によって分解されない場合には、水素ラジカルが発生せず、このような酸化物層における反応は進行しにくいと考えられる。これは、水素ラジカルによるCuOの除去が効率的に行われないためであると考えられる。この結果、金属微粒子が十分に形成されず、好ましい接合が得られなくなる。
表層のCuO膜が障害となり、ギ酸基とCu2Oが反応できないためだと考えられる。
これは、Pt触媒により分解したギ酸から発生した水素ラジカルが、ギ酸基による還元反応に先立ち、CuO膜を除去し、ギ酸による効率的な金属微粒子の形成が可能となったためであると考えられる。
先述のように、Pt触媒によって分解されたギ酸の還元作用によって、銅の表面において、銅のギ酸塩が形成される。この状態で金属領域の表面を接触させ、さらに金属領域の接合時に冷却段階を経ることにより、金属領域が接触した状態で金属微粒子の析出が起こる。金属領域の表面は完全な平面ではなく、表面同士を接触させた場合に空隙が生じると考えられるが、この空隙に銅の微粒子が析出すると考えられる。このような作用により、金属領域動詞が接合される。
このような構成とすることにより、金属微粒子が加圧、焼結されることに伴い、収縮するため、金属領域の全面が確実に接合され、より確実に電極の接合ができる。
以下、上記のように行った、銅の表面還元処理、銅同士の接合過程、及び接合界面の特性について、詳細に説明する。
図5は、本実施例で用いた銅の還元処理前の状態を示す走査型電子顕微鏡写真であり、この表面は平坦である。
上記図5、図6及び図7に示す銅表面の化学状態を、XPS(X−ray photoelectron spectroscopy, X線光電子分光)により調べた結果を、図8及び図9に示す。図8及び図9は、それぞれ、O1sレベル近傍の結合エネルギーでのスペクトル及びCuLMMレベル近傍の結合エネルギーでのスペクトルを示している。また、図8及び図9においては、図5、図6及び図7に示す銅表面から得られたデータを、それぞれ、「未処理」、「触媒無し」及び「白金触媒有り」として示している。
上記銅表面の還元処理を行った一対の銅表面を接触、加熱加圧して、接合を行った。接合界面の透過型電子顕微鏡写真による微細構造を示すのが図10と図11である。
なお、図10に示す接合界面近傍には、銅の微結晶粒の存在は確認されなかった。
図12に示す接触抵抗は、900μm2(30μm×30μm)の接合界面について測定された接触抵抗である。図12に示すように、触媒を用いずにギ酸ガスを直接照射して還元処理した表面を接合して形成された接合界面(図10の接合界面)は、比較的高い接触抵抗を示したのに対して、本発明の一実施例に係る接合方法により形成された接合界面(図11の接合界面)は、0.2mΩ以下であって、比較的小さい接触抵抗を示した。
このように、本発明の一実施例に係る接合方法によれば、電気的抵抗の比較的小さい接合界面を形成することができる。
図13に示すせん断強度は、図12と同様の900μm2(30μm×30μm)の接合界面について測定されたせん断強度ある。図13に示すように、触媒を用いずにギ酸ガスを直接照射して還元処理した表面を接合して形成された接合界面(図10の接合界面)は、比較的小さいせん断強度を示したのに対して、本発明の一実施例に係る接合方法により形成された接合界面(図11の接合界面)は、比較的大きいせん断強度を示した。破壊後の破面を観察すると(図示せず)、破壊が接合界面に沿って起きたのではなく、むしろ、銅のバルク内で破壊していることから、本接合界面は、バルクの破壊強度より高い接合強度を有しているといえる。
このように、本発明の一実施例に係る接合方法によれば、接合強度の比較的大きい接合界面を形成することができる。
なお、還元工程で、微粒子を形成する前に、金属領域の表面に酸化膜を形成するようにしてもよい。これにより、微粒子を形成する加熱還元処理の前に、意図的に酸化膜を形成することで、微粒子の形成前の酸化膜の状態を制御することができるので、微粒子の量を適切に制御し、微粒子形成を効率よく、均一にすることができる。
また、高速原子ビーム源(FAB)に代えて、IG(イオンガン)を使用してもよい。
この場合、例えば、高速原子ビーム源(FAB)によるエネルギー粒子の照射の後に、熱処理を行い、その後、高速原子ビーム源(FAB)によるエネルギー粒子の照射、又はPt触媒を作用させたギ酸から生成した反応ガスを利用した還元処理を工程に含む方法を採用することが好ましい。
4 金属領域
5 非金属領域
10 基板接合装置
20 筐体
24 開口
25 通気弁
31 上部基板支持板
32 上部基板支持板
34 基板昇降機構
40 ガス照射源
41 ガス管
48 貫通孔
50 ガス通路
55 触媒
56 触媒ヒータ
57,58 ガス放射口
61,62 加熱ヒータ
80 ガス照射源移動機構
90 有機酸ガス源
201,204 金属領域
202 酸化物層
203 金属微粒子
205 微結晶
220 基板接合体
Claims (20)
- 金属領域を有する一対の基板を接合する方法であって、
少なくとも一方の前記基板の前記金属領域の表面に対して加熱還元処理を行って、前記金属領域の表面に金属微粒子を形成させ、
前記金属微粒子が形成された金属領域の表面同士を接触させて加熱して、基板を接合させる、
基板接合方法。 - 前記金属領域の表面に金属微粒子を形成させることは、
有機酸ガスを前記金属領域の表面に対して放射して、金属領域の表面を還元することを含む、請求項1に記載の基板接合方法。 - 前記金属領域の表面に金属微粒子を形成させることは、
触媒を用いて有機酸ガスを分解して分解ガスを生成し、
前記分解ガスを前記金属領域の表面に対して放射して、金属領域の表面を還元することを含む、請求項2に記載の基板接合方法。 - 少なくとも一方の前記基板の前記金属領域の表面に、運動エネルギーを有する粒子を照射し、その後、前記加熱還元処理を行う、請求項1から3の何れかに記載の基板接合方法。
- 前記金属領域は銅で形成され、
前記有機酸ガスはギ酸を含み、
前記触媒は白金(Pt)からなる、
ことを特徴とする、請求項3又は4に記載の基板接合方法。 - 前記接合における加熱温度は摂氏250度以下である、請求項1から5のいずれか一項に記載の基板接合方法。
- 前記接合における加熱温度は摂氏220度以下である、請求項1から5のいずれか一項に記載の基板接合方法。
- 前記接合における加熱温度は摂氏200度以下である、請求項1から5のいずれか一項に記載の基板接合方法。
- 前記接合における加熱温度は摂氏150度以下である、請求項1から5のいずれか一項に記載の基板接合方法。
- 前記加熱還元処理における金属領域の温度は、前記接合での金属領域の加熱の温度よりも低い、請求項1から9のいずれか一項に記載の基板接合方法。
- 前記微粒子を形成する前に、前記金属領域の表面に酸化膜を形成する、請求項1から10のいずれか一項に記載の基板接合方法。
- 前記酸化膜を形成することは、
前記金属領域表面に対して、
酸素又は酸素を含む物質のプラズマを放射すること、
酸素又は酸素を含むガスのエネルギー粒子を放射すること、
水ガスを放射すること、及び
熱酸化処理を行うこと、
の少なくとも一つを含むことを含む、請求項11に記載の基板接合方法。 - 前記微粒子の直径又は最大幅の平均が、100nm以下である、請求項1から12のいずれか一項に記載の基板接合方法。
- 前記金属微粒子が形成された金属領域の表面の高さを、前記基板の表面より高く形成することを含む、請求項1から13のいずれか一項に記載の基板接合方法。
- 前記金属領域の表面同士を接触させるとき、前記金属領域以外の基板表面同士を接触させることを含む、請求項14に記載の基板接合方法。
- 金属からなる金属領域を表面に有する一対の基板の接合体において、
前記金属領域間の接合界面は、直径又は最大幅の平均が100nm以下の多結晶を含む、基板接合体。 - 前記金属は銅である、請求項16に記載の基板接合体。
- 前記金属領域間の接合界面の接合強度は、金属領域を形成する材料のバルク破壊強度とほぼ同一である、請求項16又は17に記載の基板接合体。
- 前記金属領域間の接合界面の接触抵抗は、一対の前記金属領域の表面に対して有機酸ガスを触媒を介さずに適用して還元処理を行った後に前記一対の金属領域の表面を接合することで形成された接合界面の接触抵抗と比較して、小さい、請求項16から18のいずれか一項に記載の基板接合体。
- 前記金属領域間の接合界面の接触抵抗は、900μm2の接合界面において0.2mΩ未満である、請求項16から19のいずれか一項に記載の基板接合体。
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