JP2015099019A

JP2015099019A - Scanner device and substrate inspection device

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Publication number: JP2015099019A
Application number: JP2013237535A
Authority: JP
Inventors: 真笠井; Makoto Kasai
Original assignee: Hioki EE Corp
Current assignee: Hioki EE Corp
Priority date: 2013-11-18
Filing date: 2013-11-18
Publication date: 2015-05-28
Anticipated expiration: 2033-11-18
Also published as: JP6165035B2

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To shorten the time required for assembly and the time required for fault repair.SOLUTION: A scanner device 3 is disposed between an inspection head unit 2 including a plurality of inspection contacts 22 which are to be brought into contact with a plurality of inspection points defined on an inspection object substrate 5, and a measurement instrument 4 and selectively connects arbitrary inspection contacts 22 out of the plurality of inspection contacts 22 to a pair of output terminals 4a and 4b and a pair of input terminals 4c and 4d of the measurement instrument 4 by switching. A plurality of scanner cards 31 including switching circuits are stored in a card rack storage unit 51 in a state where the same numbers of scanner cards are stored respectively in card racks 41 of the same constitution.

Description

本発明は、検査対象基板に接触して検査ポイントで発生している電気信号を検出する検査ヘッドユニットと、この電気信号に基づいて検査対象基板における検査ポイントに対応する部位についての被測定量（例えば抵抗値や電圧値や電流値など）を測定する測定部との間に配設されて、検査ヘッドユニットから出力される電気信号を入力すると共にこの電気信号のうちの指定された電気信号を選択的に測定部に出力するスキャナ装置、およびこのスキャナ装置を備えた基板検査装置に関するものである。 The present invention relates to an inspection head unit that detects an electrical signal generated at an inspection point in contact with an inspection target substrate, and a measured amount for a portion corresponding to the inspection point on the inspection target substrate based on the electrical signal ( For example, a resistance value, a voltage value, a current value, etc.) are disposed between the measuring unit and an electrical signal output from the inspection head unit. The present invention relates to a scanner device that selectively outputs to a measurement unit, and a substrate inspection device including the scanner device.

この種のスキャナ装置として、下記特許文献１に開示されたプリント基板検査装置に設けられているスキャナ装置が知られている。このスキャナ装置は、選択回路（切替回路）が設けられた複数のモジュール基板と、モジュール基板を所定の枚数ずつまとめて接続する複数のマザーボードとを備えて構成されて、絶縁物で構成されると共に被検査基板の測定点に対応する検査用接点が下面に格子状に取り付けられて被検査基板が加圧される基体（検査ヘッドユニットに対応するユニット）と、計測回路との間に配設されている。 As this type of scanner apparatus, a scanner apparatus provided in a printed circuit board inspection apparatus disclosed in Patent Document 1 below is known. The scanner device includes a plurality of module boards provided with a selection circuit (switching circuit) and a plurality of mother boards that collectively connect a predetermined number of module boards, and is configured of an insulator. Inspection contacts corresponding to the measurement points of the substrate to be inspected are arranged between the measurement circuit and the base (unit corresponding to the inspection head unit) on which the inspection substrate is pressed in a grid pattern on the lower surface and pressed. ing.

各モジュール基板は、選択回路を構成するＩＣが実装されると共に、４つの辺のうちの１つの辺に１つのコネクタ（以下、第１コネクタともいう）が接続され、この１つの辺に対向する他の１つの辺に他の１つのコネクタ（以下、第２コネクタともいう）が接続されている。各モジュール基板は、第１コネクタの各端子が基体の対応する接続用接点（検査用接点に一対一で接続されて基体の上面から突出する接点）に直接接続された状態で基体の上面に対してほぼ直角な状態で、かつ並列された状態で保持されている。具体的には、各モジュール基板は、第１コネクタの各端子が基体の対応する接続用接点に差し込まれることにより、接続用接点を介して対応する検査用接点に電気的に接続されると共に、基体の上面において機械的に保持される。また、各モジュール基板は、第２コネクタを介して相互接続基板であるマザーボード（デコード回路を有するボード）に所定の枚数（同公報では３２枚分）ずつ接続されることによってまとめられて、この単位で外部接続線を介して計測回路に接続される。 Each module board is mounted with an IC constituting a selection circuit, and one connector (hereinafter also referred to as a first connector) is connected to one of the four sides, and faces this one side. Another one connector (hereinafter also referred to as a second connector) is connected to the other one side. Each module substrate is connected to the upper surface of the substrate in a state where each terminal of the first connector is directly connected to a corresponding connection contact of the substrate (a contact that is connected one-to-one with the contact for inspection and protrudes from the upper surface of the substrate). Are held at a right angle and in parallel. Specifically, each module board is electrically connected to a corresponding inspection contact through a connection contact by inserting each terminal of the first connector into a corresponding connection contact of the base, It is mechanically held on the upper surface of the substrate. Further, each module board is gathered by connecting a predetermined number (32 boards in the same publication) to a mother board (board having a decoding circuit) as an interconnection board via a second connector. And connected to the measurement circuit via an external connection line.

このような構成を備えたスキャナ装置によれば、基体に配設されている複数の検査用接点のうちからモジュール基板の選択回路で選択された検査用接点のみを外部接続線に接続することができるため、外部接続線の組み立てに要する時間、および不具合の修理に要する時間を短縮し得る本数を著しく低減することが可能になっている。 According to the scanner apparatus having such a configuration, it is possible to connect only the inspection contact selected by the selection circuit of the module substrate from the plurality of inspection contacts arranged on the base to the external connection line. Therefore, the number of wires that can shorten the time required for assembling the external connection line and the time required for repairing the defect can be significantly reduced.

特公平７−７０３８号公報（第２−３頁、第１−５図）Japanese Examined Patent Publication No. 7-7038 (page 2-3, FIG. 1-5)

ところが、上記のスキャナ装置には、以下のような解決すべき課題が存在している。すなわち、このスキャナ装置では、すべてのモジュール基板は、第１コネクタの各端子が基体の対応する接続用接点に個々に差し込まれることにより、基体の上面に機械的に保持されている。したがって、このスキャナ装置には、基体にモジュール基板を一枚ずつ接続しなければならないため、モジュール基板の基体への接続（つまり、スキャナ装置の組み立て）に時間がかかるという課題が存在している。また、モジュール基板に不具合が発生した場合において、この不具合の発生したモジュール基板を正常なモジュール基板と交換する際に、モジュール基板を一枚ずつ基体から取り外す作業が必要になるため、修理に時間がかかるという課題も存在している。 However, the above-described scanner device has the following problems to be solved. That is, in this scanner device, all the module boards are mechanically held on the upper surface of the base body by inserting each terminal of the first connector into a corresponding connection contact of the base body. Therefore, this scanner device has a problem that it takes time to connect the module substrate to the substrate (that is, assembling the scanner device) because the module substrate must be connected to the substrate one by one. In addition, when a fault occurs in a module board, it is necessary to remove the module board from the base body one by one when replacing the faulty module board with a normal module board. There is also a problem of this.

本発明は、かかる課題を解決すべくなされたものであり、組み立てに要する時間、および不具合の修理に要する時間を短縮し得るスキャナ装置、およびこのスキャナ装置を備えた基板検査装置を提供することを主目的とする。 The present invention has been made to solve such a problem, and provides a scanner device capable of reducing the time required for assembly and the time required for repairing a defect, and a substrate inspection device including the scanner device. Main purpose.

上記目的を達成すべく請求項１記載のスキャナ装置は、検査対象基板に規定された複数の検査ポイントに接触させられる複数の検査用接点を有する検査ヘッドユニットと測定装置との間に配設されて、前記複数の検査用接点のうちの任意の検査用接点を前記測定装置の測定用端子に選択的に切り替えて接続するスキャナ装置であって、第１コネクタ、切替回路および第２コネクタを備え、当該切替回路を作動させることにより、当該第１コネクタの端子のうちから選択された端子を当該第２コネクタの端子のうちの予め規定された複数の端子のなかの任意の１つの端子に接続可能な複数のスキャナカードと、前記第２コネクタと接続可能な予め規定された数の第３コネクタが表面に並設されると共に第４コネクタが裏面に配設され、かつ当該第４コネクタの各端子と当該第４コネクタの当該各端子に対応するすべての当該第３コネクタの端子とを接続する配線パターンが形成された第１バックボードを有して、当該第２コネクタ側から挿入されて当該第２コネクタが当該第３コネクタに接続された前記スキャナカードを前記第１コネクタが並列する状態で収納する複数のカードラックと、前記第４コネクタと接続可能な予め規定された数の第５コネクタが表面に並設された第２バックボードを有して、当該第４コネクタ側から挿入されて当該第４コネクタが当該第５コネクタに接続された前記カードラックを着脱自在に収納するカードラック収納部とを備え、前記カードラック収納部に収納されている前記カードラック内の前記スキャナカードにおける前記第１コネクタの前記端子が前記検査ヘッドユニットの前記複数の検査用接点に一対一で接続されている状態において、前記複数のスキャナカードに供給される制御信号に基づいて前記切替回路が作動することにより、当該検査用接点のうちの任意の検査用接点を、当該スキャナカード、当該カードラックおよび当該カードラック収納部を介して当該測定装置の前記測定用端子に接続する。 In order to achieve the above object, a scanner device according to claim 1 is disposed between an inspection head unit having a plurality of inspection contacts that are brought into contact with a plurality of inspection points defined on a substrate to be inspected, and a measuring device. A scanner device for selectively switching and connecting an arbitrary inspection contact among the plurality of inspection contacts to a measurement terminal of the measurement device, comprising a first connector, a switching circuit, and a second connector. By operating the switching circuit, a terminal selected from the terminals of the first connector is connected to any one of a plurality of predetermined terminals of the terminals of the second connector. A plurality of possible scanner cards and a predetermined number of third connectors connectable to the second connector are arranged side by side and a fourth connector is arranged on the back surface; and A first backboard on which a wiring pattern for connecting each terminal of the four connectors and all the third connector terminals corresponding to the respective terminals of the fourth connector is formed, from the second connector side; A plurality of card racks for storing the scanner card inserted and the second connector connected to the third connector in a state where the first connector is arranged in parallel, and a predetermined number connectable to the fourth connector The fifth connector has a second backboard arranged side by side on the surface, and the card rack inserted from the fourth connector side and connected to the fifth connector is detachably stored. The terminal of the first connector in the scanner card in the card rack stored in the card rack storage unit. In a state where the plurality of inspection contacts of the inspection head unit are connected one-to-one, the switching circuit operates based on a control signal supplied to the plurality of scanner cards, thereby Any of the inspection contacts is connected to the measurement terminal of the measurement apparatus via the scanner card, the card rack, and the card rack storage unit.

また、請求項２記載の基板検査装置は、請求項１記載のスキャナ装置と、前記検査ヘッドユニットと、前記測定装置とを備えて、当該測定装置が、当該スキャナ装置によって切り替えられて前記測定用端子に接続された当該検査ヘッドユニットの前記検査用接点を介して接触させられている前記検査ポイントに発生する電気信号に基づいて前記検査対象基板の物理量を測定すると共に、当該測定された物理量に基づいて当該検査対象基板を検査する。 A substrate inspection apparatus according to a second aspect includes the scanner apparatus according to the first aspect, the inspection head unit, and the measurement apparatus, and the measurement apparatus is switched by the scanner apparatus for the measurement. Measure the physical quantity of the substrate to be inspected based on the electrical signal generated at the inspection point that is contacted via the inspection contact of the inspection head unit connected to the terminal, and to the measured physical quantity Based on the inspection target substrate.

請求項１記載のスキャナ装置および請求項２記載の基板検査装置では、スキャナカードは、同じ構成のカードラックの各々に同数ずつ収納された状態で、カードラック収納部に収納されている。したがって、このスキャナ装置および基板検査装置によれば、このようなカードラックを予め作製しておくことで、カードラック収納部にカードラック単位でスキャナカードを着脱自在に収納することができるため、カードラック収納部へのスキャナカードの収納作業に要する時間（カードラック収納部の組み立てに要する時間）を大幅に短縮することができる。また、スキャナ装置に不具合が発生したときも、カードラック単位で交換して対処できるため、修理に要する時間についても大幅に短縮することができる。 In the scanner device according to the first aspect and the board inspection device according to the second aspect, the scanner card is stored in the card rack storage portion in the same number of the card cards stored in each of the card racks having the same configuration. Therefore, according to the scanner device and the substrate inspection device, since such a card rack is prepared in advance, the scanner card can be detachably stored in the card rack storage unit in units of card racks. The time required for storing the scanner card in the rack storage unit (the time required for assembling the card rack storage unit) can be greatly reduced. Also, when a problem occurs in the scanner device, it can be dealt with by exchanging it in card rack units, so that the time required for repair can be greatly reduced.

検査ヘッドユニット２を分解した状態の基板検査装置１の斜視図である。1 is a perspective view of a substrate inspection apparatus 1 in a state where an inspection head unit 2 is disassembled. 図１のスキャナ装置３の平面図である。It is a top view of the scanner apparatus 3 of FIG. スキャナカード３１の収納状態でのカードラック４１の分解斜視図である。2 is an exploded perspective view of a card rack 41 in a state where a scanner card 31 is stored. FIG. スキャナカード３１の構成を説明するための構成図である。3 is a configuration diagram for explaining a configuration of a scanner card 31. FIG. スキャナカード３１の未収納状態でのカードラック４１の分解斜視図である。2 is an exploded perspective view of a card rack 41 in a state where a scanner card 31 is not stored. FIG. カードラック４１の未収納状態でのカードラック収納部５１の斜視図である。FIG. 6 is a perspective view of the card rack storage unit 51 when the card rack 41 is not stored. カードラック４１の未収納状態でのカードラック収納部５１の平面図である。FIG. 6 is a plan view of the card rack storage unit 51 when the card rack 41 is not stored. カードラック収納部５１内へのカードラック４１の収納手順を説明するためのカードラック収納部５１の斜視図である。FIG. 6 is a perspective view of the card rack storage unit 51 for explaining a procedure for storing the card rack 41 in the card rack storage unit 51. 検査ヘッドユニット２とスキャナ装置３を連結した状態での基板検査装置１の構成を説明するための構成図である。It is a block diagram for demonstrating the structure of the board | substrate inspection apparatus 1 in the state which connected the inspection head unit 2 and the scanner apparatus 3. FIG. 連結した状態での検査ヘッドユニット２とスキャナ装置３との関係を説明するための説明図である。It is explanatory drawing for demonstrating the relationship between the test | inspection head unit 2 and the scanner apparatus 3 in the connected state.

以下、スキャナ装置およびこのスキャナ装置を備えた基板検査装置の実施の形態について、添付図面を参照して説明する。 Hereinafter, embodiments of a scanner device and a substrate inspection device including the scanner device will be described with reference to the accompanying drawings.

最初に、基板検査装置の一例としての図１に示す基板検査装置１の構成について説明する。この基板検査装置１は、検査ヘッドユニット２、スキャナ装置３および測定装置４を備え、検査ヘッドユニット２に接触させられた検査対象基板５に対する電気的検査を実行可能に構成されている。 Initially, the structure of the board | substrate inspection apparatus 1 shown in FIG. 1 as an example of a board | substrate inspection apparatus is demonstrated. The substrate inspection apparatus 1 includes an inspection head unit 2, a scanner device 3, and a measurement device 4, and is configured to be able to perform an electrical inspection on the inspection target substrate 5 brought into contact with the inspection head unit 2.

検査ヘッドユニット２は、図１に示すように、検査ヘッド１１、カバー１２、複数の受けピンボード１３およびベース板１４を備えている。検査ヘッド１１は、一例として、検査対象基板５に対向する１つの壁部２１ａ（同図中では上壁部）が電気的絶縁性を有する材料（合成樹脂材料など）で形成された筒状体（本例では一例として四角筒状体）のヘッド本体２１と、この壁部２１ａの表面に互いに電気的に絶縁された状態で取り付けられて、検査対象基板５に規定された不図示の複数の検査ポイントに接触させられる複数の検査用接点２２とを有している。本例では一例として、複数の検査用接点２２は、ｘ方向に沿ってｍ個並び、かつｙ方向に沿ってｎ個並んで（つまり、ｍ×ｎの格子状に）配列されている。 As shown in FIG. 1, the inspection head unit 2 includes an inspection head 11, a cover 12, a plurality of receiving pin boards 13 and a base plate 14. As an example, the inspection head 11 has a cylindrical body in which one wall portion 21a (the upper wall portion in the figure) facing the inspection target substrate 5 is formed of an electrically insulating material (such as a synthetic resin material). A head body 21 (in this example, a rectangular tubular body as an example) and a plurality of unillustrated (not shown) defined on the inspection target substrate 5 are attached to the surface of the wall 21a in a state of being electrically insulated from each other. And a plurality of inspection contacts 22 brought into contact with the inspection point. In this example, as an example, a plurality of inspection contacts 22 are arranged along the x direction and n along the y direction (that is, in an m × n lattice shape).

カバー１２は、一例として、１つの壁部１２ａ（同図中では上壁部）に貫通孔１２ｂが形成されると共に、この壁部１２ａと対向する面側（同図中では下面側）がほぼ全域に亘って開口する筒状体（本例では一例として四角筒状体）に形成されて、ベース板１４に形成された後述の複数の連通孔１４ａをすべて覆う状態でベース板１４の一面に取り付けられている。また、カバー１２は、その壁部１２ａにおける貫通孔１２ｂの形成部位に、貫通孔１２ｂを覆うように検査ヘッド１１が取り付けられることで、検査ヘッド１１の取付台としても機能する。 As an example, the cover 12 has a through hole 12b formed in one wall portion 12a (upper wall portion in the figure), and a surface side (lower surface side in the drawing) facing the wall portion 12a is almost the same. It is formed in a cylindrical body that opens over the entire area (in this example, a rectangular cylindrical body as an example), and covers one surface of the base plate 14 so as to cover all of a plurality of communication holes 14a described later formed in the base plate 14. It is attached. The cover 12 also functions as a mounting base for the inspection head 11 by attaching the inspection head 11 to cover the through-hole 12b at a site where the through-hole 12b is formed in the wall portion 12a.

複数の受けピンボード１３は、電気的絶縁性を有する材料（合成樹脂材料など）を用いて、一例として平面視長方形（または平面視正方形）の同一形状に形成された平板体２３と、平板体２３の表裏（同図中の上面および下面）を貫通する状態で平板体２３に直角に配設された複数の受けピン２４とをそれぞれ備えている。各受けピンボード１３は、その周縁部がベース板１４に形成された連通孔１４ａの口縁部分に接触する状態で、連通孔１４ａを閉塞するようにしてベース板１４に取り付けられている。ベース板１４に取り付けられたすべての受けピンボード１３に配設された受けピン２４は、検査ヘッド１１の検査用接点２２に対応して、ｘ方向に沿ってｍ個並び、かつｙ方向に沿ってｎ個並んで（つまり、ｍ×ｎの格子状に）配列されている。また、各受けピン２４は、カバー１２の内部からカバー１２に形成された貫通孔１２ｂを経由してヘッド本体２１の内部に至る不図示の電線を介して、検査ヘッド１１の対応する検査用接点２２と一対一で接続されている。つまり、ｍ×ｎの格子状に配列されている複数の受けピン２４のうちのｉ×ｊ（ｉ：１〜ｍのうちの任意の数。ｊ：１〜ｎのうちの任意の数）の位置にある受けピン２４が、ｍ×ｎの格子状に配列されている複数の検査用接点２２のうちのｉ×ｊの位置にある検査用接点２２と接続されている。 The plurality of receiving pin boards 13 are made of, for example, a flat plate body 23 having a rectangular shape in plan view (or a square shape in plan view) using an electrically insulating material (such as a synthetic resin material), and a flat plate body. And a plurality of receiving pins 24 arranged at right angles to the flat plate 23 in a state of penetrating through the front and back surfaces (upper surface and lower surface in the figure). Each receiving pin board 13 is attached to the base plate 14 so as to close the communication hole 14 a in a state in which the peripheral edge portion is in contact with the edge portion of the communication hole 14 a formed in the base plate 14. The receiving pins 24 arranged on all the receiving pin boards 13 attached to the base plate 14 are arranged along the x direction and correspond to the inspection contact 22 of the inspection head 11 along the y direction. Are arranged side by side (that is, in an m × n lattice pattern). Each receiving pin 24 is connected to the corresponding inspection contact of the inspection head 11 via an electric wire (not shown) that extends from the inside of the cover 12 to the inside of the head main body 21 through the through hole 12b formed in the cover 12. 22 and one-to-one connection. That is, i × j (i: any number from 1 to m; j: any number from 1 to n) out of the plurality of receiving pins 24 arranged in an m × n lattice shape. The receiving pin 24 at the position is connected to the inspection contact 22 at the position i × j among the plurality of inspection contacts 22 arranged in an m × n grid.

本例では一例として、図１に示すように、受けピンボード１３は、ｘ方向に沿って３つ並べられ、ｙ方向に沿って２つ並べられて、合計６つ使用されている。したがって、１つの受けピンボード１３には、受けピン２４が、ｘ方向に沿って（ｍ／３）個並べられ、ｙ方向に沿って（ｎ／２）個並べられて、（ｍ／３）×（ｎ／２）の格子状に配列されている。 In this example, as an example, as shown in FIG. 1, three receiving pin boards 13 are arranged along the x direction and two along the y direction, and a total of six are used. Accordingly, (m / 3) receiving pins 24 are arranged on the one receiving pin board 13 along the x direction and (n / 2) are arranged along the y direction. They are arranged in a lattice pattern of × (n / 2).

スキャナ装置３は、図１，２に示すように、複数のスキャナカード３１、複数のカードラック４１および１つのカードラック収納部５１を備え、同じ数ずつ分けて複数のカードラック４１に装着された複数のスキャナカード３１が、カードラック４１単位で１つのカードラック収納部５１に収容されて構成されている。 As shown in FIGS. 1 and 2, the scanner device 3 includes a plurality of scanner cards 31, a plurality of card racks 41, and a card rack storage unit 51, and the same number of units are mounted on the plurality of card racks 41. A plurality of scanner cards 31 are accommodated in one card rack storage unit 51 in units of card racks 41.

各スキャナカード３１は、図３，４に示すように、平面視方形に形成されると共に４つの辺のうちの１つの辺（同図中の下辺。下縁部）の一部が第２コネクタとしてのカードエッジコネクタ３３に形成されたカード本体３２、およびカード本体３２におけるカードエッジコネクタ３３に形成された辺に対向する他の辺（同図中の上辺。上縁部）に取り付けられた第１コネクタ３４を備えて、同一に構成されている。また、スキャナカード３１のカード本体３２には、図４に示すように、複数のスイッチＳＷ（ＳＷａ，ＳＷｂ，ＳＷｃ，ＳＷｄ，ＳＷ１_１〜ＳＷ１_ｋ，ＳＷ２_１〜ＳＷ２_ｋ，ＳＷ３_１〜ＳＷ３_ｋ，ＳＷ４_１〜ＳＷ４_ｋ）、および複数のスイッチＳＷと共に切替回路を構成して複数のスイッチＳＷのオン・オフ状態を制御する切替制御回路ＣＮＴが実装されている。 As shown in FIGS. 3 and 4, each scanner card 31 is formed in a square shape in plan view, and a part of one of the four sides (the lower side or the lower edge in the figure) is the second connector. The card body 32 formed in the card edge connector 33 as the first and the other side (upper side in the figure, upper edge part) opposite to the side formed in the card edge connector 33 in the card body 32. One connector 34 is provided and is configured identically. As shown in FIG. 4, the card body 32 of the scanner card 31 includes a plurality of switches SW (SWa, SWb, SWc, SWd, SW1 _{1 to} SW1 _k , SW2 _{1 to} SW2 _k , SW3 _{1 to} SW3 _k , SW4 _{1 to} SW4 _k ) and a plurality of switches SW constitute a switching circuit, and a switching control circuit CNT that controls on / off states of the plurality of switches SW is mounted.

また、本例のスキャナカード３１では、一例として、カードエッジコネクタ３３の複数の端子のうちの一対の端子は、測定装置４における検査信号Ｓ１（例えば定電流信号）を出力する測定用端子としての一対の出力端子４ａ，４ｂのうちの第１出力端子４ａに接続される検査信号第１入力端子Ｐｉ１、および第２出力端子４ｂに接続される検査信号第２入力端子Ｐｉ２として規定されている。また、カードエッジコネクタ３３の複数の端子のうちの別の一対の端子は、測定装置４における検出信号Ｓ２（例えば電圧信号）を入力する測定用端子としての一対の入力端子４ｃ，４ｄのうちの第１入力端子４ｃに接続される検出信号第１出力端子Ｐｏ１、および第２入力端子４ｄに接続される検出信号第２出力端子Ｐｏ２として規定されている。 Further, in the scanner card 31 of this example, as an example, a pair of terminals of the plurality of terminals of the card edge connector 33 are used as measurement terminals that output an inspection signal S1 (for example, a constant current signal) in the measurement device 4. The test signal is defined as a test signal first input terminal Pi1 connected to the first output terminal 4a of the pair of output terminals 4a and 4b, and a test signal second input terminal Pi2 connected to the second output terminal 4b. Further, another pair of terminals of the plurality of terminals of the card edge connector 33 is one of the pair of input terminals 4c and 4d as measurement terminals for inputting the detection signal S2 (for example, voltage signal) in the measurement device 4. It is defined as a detection signal first output terminal Po1 connected to the first input terminal 4c and a detection signal second output terminal Po2 connected to the second input terminal 4d.

スイッチＳＷ１_１〜ＳＷ１_ｋ（ＳＷ１_１，ＳＷ１_２，ＳＷ１_３，・・・，ＳＷ１_ｋ）は、第１コネクタ３４の各端子３５のうちの任意の１つをスイッチＳＷａを介して検査信号第１入力端子Ｐｉ１に接続するためのスイッチであり、スイッチＳＷ２_１〜ＳＷ２_ｋ（ＳＷ２_１，ＳＷ２_２，ＳＷ２_３，・・・，ＳＷ２_ｋ）は、第１コネクタ３４の各端子３５のうちの任意の１つをスイッチＳＷｂを介して検査信号第２入力端子Ｐｉ２に接続するためのスイッチである。また、スイッチＳＷ３_１〜ＳＷ３_ｋ（ＳＷ３_１，ＳＷ３_２，ＳＷ３_３，・・・，ＳＷ３_ｋ）は、第１コネクタ３４の各端子３５のうちの任意の１つをスイッチＳＷｃを介して検出信号第１出力端子Ｐｏ１に接続するためのスイッチであり、スイッチＳＷ４_１〜ＳＷ４_ｋ（ＳＷ４_１，ＳＷ４_２，ＳＷ４_３，・・・，ＳＷ４_ｋ）は、第１コネクタ３４の各端子３５のうちの任意の１つをスイッチＳＷｄを介して検出信号第２出力端子Ｐｏ２に接続するためのスイッチである。 The switches SW1 _{1 to} SW1 _k (SW1 ₁ , SW1 ₂ , SW1 ₃ ,..., SW1 _k ) are connected to any one of the terminals 35 of the first connector 34 via the switch SWa. Switches SW2 _{1 to} SW2 _k (SW2 ₁ , SW2 ₂ , SW2 ₃ ,..., SW2 _k ) are arbitrary switches among the terminals 35 of the first connector 34. This is a switch for connecting one to the inspection signal second input terminal Pi2 via the switch SWb. Further, the switches SW3 _{1 to} SW3 _k (SW3 ₁ , SW3 ₂ , SW3 ₃ ,..., SW3 _k ) detect any one of the terminals 35 of the first connector 34 via the switch SWc. The switches SW4 _{1 to} SW4 _k (SW4 ₁ , SW4 ₂ , SW4 ₃ ,..., SW4 _k ) are switches for connecting to the first output terminal Po ₁ , and are among the terminals 35 of the first connector 34. This is a switch for connecting an arbitrary one to the detection signal second output terminal Po2 via the switch SWd.

また、カードエッジコネクタ３３の複数の端子のうちの残りの端子は、測定装置４から出力される各種の制御信号Ｓｃｎｔを入力する制御端子Ｐｃｎｔとして規定されている。制御端子Ｐｃｎｔには、一例として、リセット信号を入力する１つのリセット端子、セット信号を入力する１つのセット端子、カードラック収納部５１に収容可能なスキャナカード３１の最大数と同数（またはそれ以上）のアドレスを指定可能なアドレスデータを入力するアドレス端子、スイッチＳＷａ〜ＳＷｄのうちのオン状態に移行させるスイッチを特定するための第１データを入力する第１データ端子、および第１コネクタ３４の各端子３５のうちの任意の１つを特定するための第２データを入力する第２データ端子が含まれている。 The remaining terminals of the plurality of terminals of the card edge connector 33 are defined as control terminals Pcnt for inputting various control signals Scnt output from the measuring device 4. As an example, the control terminal Pcnt has one reset terminal for inputting a reset signal, one set terminal for inputting a set signal, and the same number (or more) as the maximum number of scanner cards 31 that can be stored in the card rack storage unit 51. Of the first connector for specifying the switch to be turned on among the switches SWa to SWd, and the first connector 34. A second data terminal for inputting second data for specifying any one of the terminals 35 is included.

この場合、カードラック収納部５１に収容されたすべてのスキャナカード３１のリセット端子には、カードラック収納部５１の後述する第２バックボード５３などや、カードラック４１の第１バックボード４２などを介して制御信号Ｓｃｎｔとしての共通のリセット信号が測定装置４から供給されて、このリセット信号は切替制御回路ＣＮＴに入力される。また、すべてのスキャナカード３１のセット端子にも、リセット信号と同様にして測定装置４から制御信号Ｓｃｎｔとしての共通のセット信号が供給されて、このセット信号は切替制御回路ＣＮＴに入力される。また、すべてのスキャナカード３１のアドレス端子にも、リセット信号と同様にして測定装置４から制御信号Ｓｃｎｔとしての共通のアドレスデータが供給されて、このアドレスデータは切替制御回路ＣＮＴに入力される。また、すべての第１データ端子にも、リセット信号と同様にして測定装置４から制御信号Ｓｃｎｔとしての共通の第１データが供給され、またすべての第２データ入力端子にも、リセット信号と同様にして測定装置４から制御信号Ｓｃｎｔとしての共通の第２データが供給されて、この第１データおよび第２データは切替制御回路ＣＮＴに入力される。 In this case, the reset terminals of all the scanner cards 31 stored in the card rack storage unit 51 include second backboards 53 described later of the card rack storage unit 51 and the first backboards 42 of the card rack 41. A common reset signal as the control signal Scnt is supplied from the measurement device 4 via the control signal Scnt, and this reset signal is input to the switching control circuit CNT. Further, a common set signal as the control signal Scnt is supplied from the measuring apparatus 4 to the set terminals of all the scanner cards 31 in the same manner as the reset signal, and this set signal is input to the switching control circuit CNT. Also, common address data as the control signal Scnt is supplied from the measuring device 4 to the address terminals of all the scanner cards 31 in the same manner as the reset signal, and this address data is input to the switching control circuit CNT. Further, common first data as the control signal Scnt is supplied from the measuring device 4 to all the first data terminals in the same manner as the reset signal, and all the second data input terminals are also the same as the reset signal. Thus, the common second data as the control signal Scnt is supplied from the measuring device 4, and the first data and the second data are input to the switching control circuit CNT.

一例として、測定装置４は、スイッチＳＷａ，ＳＷｂ，ＳＷｃ，ＳＷｄを示す４つの第１データを一定時間間隔で順次出力すると共に、スイッチＳＷａ，ＳＷｂ，ＳＷｃ，ＳＷｄにそれぞれ接続する第１コネクタ３４の各端子３５を示す第２データを対応する第１データに同期して順次出力し、かつスイッチＳＷａ，ＳＷｂ，ＳＷｃ，ＳＷｄをオン状態に移行させるスキャナカード３１を特定するためのアドレスデータについても対応する第１データに同期して順次出力する。 As an example, the measuring device 4 sequentially outputs four first data indicating the switches SWa, SWb, SWc, and SWd at regular time intervals, and includes the first connector 34 that is connected to each of the switches SWa, SWb, SWc, and SWd. Address data for specifying the scanner card 31 that sequentially outputs the second data indicating each terminal 35 in synchronization with the corresponding first data and switches the switches SWa, SWb, SWc, and SWd to the ON state is also supported. Sequentially output in synchronization with the first data.

各スキャナカード３１では、切替制御回路ＣＮＴが、第１データの出力タイミングに同期して入力するアドレスデータで示されるアドレスが例えばディップスイッチなどで予め指定された自カードのアドレスと一致するか否かを検出して、一致するアドレスを検出したときには、そのタイミングで出力されている第１データおよび第２データをアドレスデータに同期して入力するセット信号のタイミングで取得し、取得した第１データに基づいてスイッチＳＷａ〜ＳＷｄに対するオン・オフ制御を実行すると共に、取得した第２データに基づいてスイッチＳＷ１_１〜ＳＷ１_ｋ，ＳＷ２_１〜ＳＷ２_ｋ，ＳＷ３_１〜ＳＷ３_ｋ，ＳＷ４_１〜ＳＷ４_ｋのオン・オフ状態を制御する。 In each scanner card 31, whether or not the address indicated by the address data input by the switching control circuit CNT in synchronization with the output timing of the first data coincides with the address of the own card specified in advance by a dip switch or the like, for example. When the matching address is detected, the first data and the second data output at that timing are acquired at the timing of the set signal input in synchronization with the address data, and the acquired first data Based on the on / off control for the switches SWa to SWd, the switches SW1 ₁ to SW1 _k , SW2 _{1 to} SW2 _k , SW3 _{1 to} SW3 _k , SW4 _{1 to} SW4 _k are turned on based on the acquired second data. -Control off state.

この切替制御回路ＣＮＴの動作について、例えば、測定装置４が、各スキャナカード３１のうちの１つのスキャナカード３１（この動作についての説明において「第１のスキャナカード３１」ともいう）に配設された第１コネクタ３４の各端子３５のうちの２つの端子３５を自らの第１出力端子４ａおよび第２入力端子４ｄにそれぞれ接続する端子として選択し、別の１つのスキャナカード３１に配設された第１コネクタ３４の各端子３５のうちの１つの端子３５を自らの第２出力端子４ｂに接続する端子として選択し、さらに別の１つのスキャナカード３１に配設された第１コネクタ３４の各端子３５のうちの１つの端子３５を自らの第１入力端子４ｃに接続する端子として選択して、第１データ、第２データおよびアドレスデータを出力したときの第１のスキャナカード３１での切替制御回路ＣＮＴの動作を例に挙げて説明する。 Regarding the operation of the switching control circuit CNT, for example, the measuring device 4 is disposed on one of the scanner cards 31 (also referred to as “first scanner card 31” in the description of this operation). Of the terminals 35 of the first connector 34, two terminals 35 are selected as terminals to be connected to the first output terminal 4a and the second input terminal 4d of the first connector 34, respectively, and arranged on another scanner card 31. One of the terminals 35 of the first connector 34 is selected as a terminal to be connected to the second output terminal 4b of the first connector 34, and the first connector 34 disposed on another scanner card 31 is selected. One of the terminals 35 is selected as a terminal to be connected to its own first input terminal 4c, and the first data, the second data, and the address data are output. The operation of the switching control circuit CNT in the first scanner card 31 will be described as an example in the.

この第１のスキャナカード３１では、切替制御回路ＣＮＴは、スイッチＳＷａ，ＳＷｄを示す２つの第１データの出力タイミングに同期して入力したアドレスデータで示されるアドレスが自カードのアドレスと一致していることを検出して、セット信号の入力タイミングで第１データおよび第２データを取得したときには、スイッチＳＷａを示す第１データに基づいてスイッチＳＷａをオン状態に移行させ、かつこの第１データに対応する第２データに基づいてスイッチＳＷ１_１〜ＳＷ１_ｋ，ＳＷ２_１〜ＳＷ２_ｋ，ＳＷ３_１〜ＳＷ３_ｋ，ＳＷ４_１〜ＳＷ４_ｋのオン・オフ状態を制御することにより、第１コネクタ３４の各端子３５のうちのこの第２データで特定される１つの端子３５をスイッチＳＷａに接続する（すなわち、オン状態のスイッチＳＷａを介して検査信号第１入力端子Ｐｉ１に接続する）。また、切替制御回路ＣＮＴは、スイッチＳＷｄを示す第１データに基づいてスイッチＳＷｄをオン状態に移行させ、かつこの第１データに対応する第２データに基づいてスイッチＳＷ１_１〜ＳＷ１_ｋ，ＳＷ２_１〜ＳＷ２_ｋ，ＳＷ３_１〜ＳＷ３_ｋ，ＳＷ４_１〜ＳＷ４_ｋのオン・オフ状態を制御することにより、第１コネクタ３４の各端子３５のうちのこの第２データで特定される他の１つの端子３５をスイッチＳＷｄに接続する（すなわち、オン状態のスイッチＳＷｄを介して検出信号第２出力端子Ｐｏ２に接続する）。 In the first scanner card 31, the switching control circuit CNT determines that the address indicated by the address data input in synchronization with the output timing of the two first data indicating the switches SWa and SWd matches the address of the own card. When the first data and the second data are acquired at the input timing of the set signal, the switch SWa is turned on based on the first data indicating the switch SWa, and the first data by controlling the on and off states of the switches _{_{_{SW1 1 ~SW1 k, SW2 1 ~SW2}}} k, SW3 1 ~SW3 k, SW4 1 ~SW4 k based on the corresponding second data, the terminals of the first connector 34 35, one terminal 35 specified by this second data is connected to the switch SWa (that is, turned on). Through the switch SWa of the state connected to the test signal first input terminal Pi1). The switching control circuit CNT shifts the switch SWd to the on state based on the first data indicating the switch SWd, and switches SW1 ₁ to SW1 _k , SW2 ₁ based on the second data corresponding to the first data. by controlling the on and off states of _{_{_{~SW2 k, SW3 1 ~SW3 k,}}} SW4 1 ~SW4 k, one other terminal specified by the second data out of the terminals 35 of the first connector 34 35 is connected to the switch SWd (that is, connected to the detection signal second output terminal Po2 via the switch SWd in the ON state).

また、切替制御回路ＣＮＴは、リセット信号を入力したときには、取得した第１データおよび第２データをクリアすると共に、すべてのスイッチＳＷａ〜ＳＷｄ、スイッチＳＷ１_１〜ＳＷ１_ｋ，ＳＷ２_１〜ＳＷ２_ｋ，ＳＷ３_１〜ＳＷ３_ｋ，ＳＷ４_１〜ＳＷ４_ｋをオフ状態に制御する。 In addition, when the reset signal is input, the switching control circuit CNT clears the acquired first data and second data, and all the switches SWa to SWd, switches SW1 _{1 to} SW1 _k , SW2 _{1 to} SW2 _k , SW3. _{1 to} SW3 _k and SW4 _{1 to} SW4 _k are controlled to be in an off state.

各スキャナカード３１の切替制御回路ＣＮＴが上記したように動作するため、測定装置４は、上記したように第１データ、第２データ、アドレスデータおよびセット信号をすべてのスキャナカード３１に出力することで、１つのカードラック収納部５１に収容されている複数のスキャナカード３１に設けられた第１コネクタ３４のすべての端子３５のうちの任意の１つを検査信号第１入力端子Ｐｉ１に接続し、他の任意の１つを検査信号第２入力端子Ｐｉ２に接続し、他の任意の１つを検出信号第１出力端子Ｐｏ１に接続し、かつ他の任意の１つを検出信号第２出力端子Ｐｏ２に接続することが可能になっている。また、測定装置４は、上記したようにリセット信号をすべてのスキャナカード３１に出力して、各スキャナカード３１内のすべてのスイッチＳＷａ〜ＳＷｄ、スイッチＳＷ１_１〜ＳＷ１_ｋ，ＳＷ２_１〜ＳＷ２_ｋ，ＳＷ３_１〜ＳＷ３_ｋ，ＳＷ４_１〜ＳＷ４_ｋをオフ状態に制御することで、検査ヘッドユニット２と測定装置４とを切り離すことが可能になっている。 Since the switching control circuit CNT of each scanner card 31 operates as described above, the measuring device 4 outputs the first data, the second data, the address data, and the set signal to all the scanner cards 31 as described above. Thus, any one of all the terminals 35 of the first connector 34 provided in the plurality of scanner cards 31 accommodated in one card rack accommodating portion 51 is connected to the inspection signal first input terminal Pi1. The other arbitrary one is connected to the inspection signal second input terminal Pi2, the other arbitrary one is connected to the detection signal first output terminal Po1, and the other arbitrary one is detected signal second output. It is possible to connect to the terminal Po2. The measuring device 4 may output all of the scanner card 31 a reset signal as described above, all of the switches SWa~SWd in each scanner card 31, the switch _{_{_{SW1 1 ~SW1 k, SW2 1 ~SW2}}} k, By controlling SW3 _{1 to} SW3 _k and SW4 _{1 to} SW4 _k to the off state, the inspection head unit 2 and the measuring device 4 can be separated.

各カードラック４１は、一例として、図３，５に示すように、第１バックボード４２、４本の支柱４３、平面視方形に形成された枠体４４および一対のカード押さえ板４５を備えて、同一に構成されている。第１バックボード４２は、一例として、平面視方形に形成された回路基板４２ａ、回路基板４２ａの一方の面（同図中の上面）に複数並設されてスキャナカード３１のカードエッジコネクタ３３が挿入される第３コネクタ４２ｂ、および回路基板４２ａの他方の面（同図中の下面）に設けられた第４コネクタ４２ｃを備えている。また、回路基板４２ａには、各第３コネクタ４２ｂの検査信号第１入力端子Ｐｉ１、検査信号第２入力端子Ｐｉ２、検出信号第１出力端子Ｐｏ１、検出信号第２出力端子Ｐｏ２および各制御端子Ｐｃｎｔと、第４コネクタ４２ｃの対応する端子とを接続する不図示の配線パターンが形成されている。 As shown in FIGS. 3 and 5, each card rack 41 includes, for example, a first backboard 42, four columns 43, a frame body 44 formed in a plan view square shape, and a pair of card pressing plates 45. Are configured identically. As an example, the first backboard 42 has a circuit board 42a formed in a square shape in plan view, and a plurality of the first backboards 42 are arranged in parallel on one surface (the upper surface in the figure) of the circuit board 42a. A third connector 42b to be inserted and a fourth connector 42c provided on the other surface (the lower surface in the figure) of the circuit board 42a are provided. Further, the circuit board 42a includes a test signal first input terminal Pi1, a test signal second input terminal Pi2, a detection signal first output terminal Po1, a detection signal second output terminal Po2, and each control terminal Pcnt of each third connector 42b. And a wiring pattern (not shown) that connects the corresponding terminals of the fourth connector 42c.

４本の支柱４３は、回路基板４２ａの一方の面における四隅に、回路基板４２ａに対して直角に立設されている。枠体４４は、四隅が４本の支柱４３の上端に連結されることで、支柱４３を介して回路基板４２ａに平行な状態で取り付けられている。また、枠体４４を構成する４つの縁材４４ａ，４４ｂ，４４ｃ，４４ｄのうちの第４コネクタ４２ｃの長さ方向（ｘ方向）と直交する一対の縁材４４ｃ，４４ｄは、上面が他の一対の縁材４４ａ，４４ｂの上面に対して凹むように形成されて、この凹んだ上面には、スキャナカード３１の第１コネクタ３４に形成された位置決め孔３４ａに挿入される位置決めピン４６が１列に並んで突設されている。 The four support columns 43 are erected at right angles to the circuit board 42a at four corners on one surface of the circuit board 42a. The frame body 44 is attached in a state parallel to the circuit board 42 a via the support columns 43 by connecting the four corners to the upper ends of the four support columns 43. The pair of edge members 44c, 44d orthogonal to the length direction (x direction) of the fourth connector 42c among the four edge members 44a, 44b, 44c, 44d constituting the frame body 44 have other upper surfaces. A pair of edge members 44a and 44b are formed so as to be recessed with respect to the upper surface of the pair of edge members 44a and 44b. One positioning pin 46 is inserted into the positioning hole 34a formed in the first connector 34 of the scanner card 31 on the recessed upper surface. Projected side by side.

また、縁材４４ｂを除く他の縁材４４ａ，４４ｃ，４４ｄは、図２に示すように、平面視した状態での外縁が直線状に形成されている。一方、縁材４４ｂは、同図に示すように、平面視した状態での外縁が凸凹する形状に形成されている。また、この凸凹の形状は、同図に示すように、２つのカードラック４１をそれぞれの縁材４４ｂを対向させて並設したときに、一方のカードラック４１の縁材４４ｃ，４４ｄが他方のカードラック４１の縁材４４ｄ，４４ｃとそれぞれ一直線上に並んだ状態で、各縁材４４ｂの凸凹が互いに嵌まり合うと共に、各縁材４４ｂに形成された後述の各貫通孔４７および各位置決め孔４８がほぼ一直線上に並ぶように形成されている。なお、本例では、縁材４４ｂの平面視したときの外縁の形状を上記のよう凸凹形状とすることで、カードラック４１をカードラック収納部５１内に枠体４４の縁材４４ｂ同士を接触させて並列して収納したときの幅（２つのカードラック４１の縁材４４ｃ，４４ｄに沿った方向の幅）を狭し得ると共に、カードラック４１を収納する際に向きを間違えないようにし得るように構成しているが、この構成に限定されるものではなく、縁材４４ｂについても他の縁材４４ａ，４４ｃ，４４ｄのように外縁を直線状に形成してもよいのは勿論である。 Further, as shown in FIG. 2, the other edge members 44a, 44c, and 44d other than the edge member 44b have outer edges formed in a straight line shape in a plan view. On the other hand, as shown in the figure, the edge member 44b is formed in a shape in which the outer edge in a plan view is uneven. In addition, as shown in the figure, when the two card racks 41 are arranged side by side with the respective edge members 44b facing each other, the edge members 44c and 44d of one card rack 41 are connected to the other. The protrusions and recesses of the edge members 44b fit into each other in a state of being aligned with the edge members 44d and 44c of the card rack 41, and each through-hole 47 and each positioning hole to be described later formed in each edge member 44b. 48 are formed so as to be substantially aligned. In this example, the edge of the frame member 44b is brought into contact with the edge of the frame 44 in the card rack storage portion 51 by making the shape of the outer edge of the edge member 44b in a plan view as shown in FIG. Thus, the width when stored in parallel (the width in the direction along the edge members 44c and 44d of the two card racks 41) can be narrowed, and the direction can be prevented from being mistaken when storing the card rack 41. However, the present invention is not limited to this configuration, and it is needless to say that the outer edge of the edge member 44b may be formed in a straight line like the other edge members 44a, 44c, 44d.

また、縁材４４ａ，４４ｂには、図２，３，５に示すように、固定用のネジが挿入される貫通孔４７が２つずつ設けられている。また、縁材４４ｂには、カードラック４１をカードラック収納部５１に収納する際に使用される位置決め孔４８が一例として２つ形成されている（本例では、一方の位置決め孔４８は楕円形状に形成されているが、双方とも円形に形成することもできる）。 Further, as shown in FIGS. 2, 3, and 5, the edge members 44 a and 44 b are provided with two through holes 47 into which fixing screws are inserted. In addition, two positioning holes 48 used as an example when the card rack 41 is stored in the card rack storage portion 51 are formed in the edge member 44b (in this example, one positioning hole 48 has an elliptical shape). But both can be circular).

以上のように構成されたカードラック４１には、図３に示すように、第３コネクタ４２ｂと同数のスキャナカード３１がカードエッジコネクタ３３側から挿入されて、各スキャナカード３１は、カードエッジコネクタ３３が第３コネクタ４２ｂに挿入され、かつ第１コネクタ３４の各位置決め孔３４ａ内に位置決めピン４６が挿入されて、ｙ方向に並列する状態で収納（装着）される。これにより、同図に示すように、スキャナカード３１の第１コネクタ３４は、高さが揃えられ、かつ並列した状態で枠体４４内に配設される。このようにしてカードラック４１に収納された各スキャナカード３１は、同図に示すように、カードラック４１の縁材４４ｃ，４４ｄに固定ネジ６１によってカード押さえ４５を取り付けることにより、第１コネクタ３４の一端部が縁材４４ｃおよびカード押さえ４５で挟持され、かつ第１コネクタ３４の他端部が縁材４４ｄおよびカード押さえ４５で挟持される。 As shown in FIG. 3, the same number of scanner cards 31 as the third connectors 42b are inserted into the card rack 41 configured as described above from the card edge connector 33 side. 33 is inserted into the third connector 42b, and the positioning pins 46 are inserted into the positioning holes 34a of the first connector 34, and are accommodated (mounted) in parallel with each other in the y direction. As a result, as shown in the figure, the first connector 34 of the scanner card 31 is arranged in the frame 44 with the same height and in parallel. Each scanner card 31 housed in the card rack 41 in this way is attached to the first connector 34 by attaching a card retainer 45 to the edge members 44c and 44d of the card rack 41 with fixing screws 61, as shown in FIG. One end of the first connector 34 is sandwiched between the edge member 44 c and the card retainer 45, and the other end of the first connector 34 is sandwiched between the edge member 44 d and the card retainer 45.

このようにして、スキャナカード３１がフル実装されたカードラック４１では、上記したように枠体４４内に並列されたすべての第１コネクタ３４から突出する各端子は、受けピンボード１３の受けピン２４に一対一で対応するように、受けピン２４の配列と同一に配列されている。つまり、カードラック４１に収納されたスキャナカード３１の第１コネクタ３４から突出する各端子は、図３に示すように、ｘ方向に沿って（ｍ／３）個並べられ、ｙ方向に沿って（ｎ／２）個並べられて、（ｍ／３）×（ｎ／２）の格子状に配列されている。また、本例では、図３に示すように、１つの第１コネクタ３４から突出する各端子は、一例として、第１コネクタ３４の幅方向（ｙ方向）に２列で配設されている。このため、カードラック４１に収納されるスキャナカード３１の数は、本例では（ｎ／４）個に規定されている。 In this way, in the card rack 41 in which the scanner card 31 is fully mounted, as described above, the terminals protruding from all the first connectors 34 arranged in parallel in the frame 44 are the receiving pins of the receiving pin board 13. The receiving pins 24 are arranged in the same arrangement as the receiving pins 24 in a one-to-one correspondence. That is, as shown in FIG. 3, the terminals protruding from the first connector 34 of the scanner card 31 stored in the card rack 41 are arranged along the x direction (m / 3), and along the y direction. (N / 2) pieces are arranged and arranged in a (m / 3) × (n / 2) lattice pattern. In this example, as shown in FIG. 3, each terminal protruding from one first connector 34 is arranged in two rows in the width direction (y direction) of the first connector 34 as an example. For this reason, the number of scanner cards 31 stored in the card rack 41 is defined as (n / 4) in this example.

カードラック収納部５１は、図６，７に示すように、少なくとも一方の面（同図中の上面）が開口するケース５２（本例では平面視方形に形成された底壁５２ａの４つの縁部に４つの側壁５２ｂ，５２ｃ，５２ｄ，５２ｅが直角に立設されて構成された直方体状のケース）、ケース５２の内底面に取り付けられた第２バックボード５３、ケース５２内に配設されて（本例では一例として側壁５２ｂ，５２ｃと平行な状態で配設されて）ケース５２の内部領域を２分割する区画壁５４、および一例として各側壁５２ｂ，５２ｃの上面に配設されて、検査ヘッドユニット２のベース板１４と接触させられる受け台５５を備えている。 As shown in FIGS. 6 and 7, the card rack storage portion 51 includes a case 52 (in this example, four edges of a bottom wall 52 a formed in a square in a plan view) in which at least one surface (the upper surface in the drawing) is open. A rectangular parallelepiped case in which four side walls 52b, 52c, 52d, and 52e are erected at right angles to each other), a second backboard 53 attached to the inner bottom surface of the case 52, and the case 52. (In this example, disposed in a state parallel to the side walls 52b, 52c as an example) a partition wall 54 that divides the internal region of the case 52 into two parts, and as an example, disposed on the upper surfaces of the side walls 52b, 52c, A cradle 55 that is brought into contact with the base plate 14 of the inspection head unit 2 is provided.

ケース５２の受け台５５は、図９，１０に示すように、検査ヘッドユニット２を、そのベース板１４を受け台５５に接触させた状態で不図示の固定具を用いてスキャナ装置３に連結したときに、図１０に示すように、カードラック４１に装着された各スキャナカード３１の第１コネクタ３４の各端子３５がベース板１４に装着された受けピンボード１３の受けピン２４のうちの対向する受けピン２４と直接一対一で電気的に接触するように、その厚みが調整されている。このため、本例では一例として、受け台５５は、積層された厚みの異なる２つの板体で構成されているが、この厚みを確保できる限り、板体の数は２つに限定されるものではなく、１つでもよいし、３つ以上であってもよい。 As shown in FIGS. 9 and 10, the cradle 55 of the case 52 is connected to the scanner device 3 using a fixture (not shown) in a state where the inspection head unit 2 is in contact with the cradle 55. 10, each terminal 35 of the first connector 34 of each scanner card 31 mounted on the card rack 41 is out of the receiving pins 24 of the receiving pin board 13 mounted on the base plate 14 as shown in FIG. The thickness is adjusted so as to be in direct one-to-one electrical contact with the opposing receiving pin 24. For this reason, as an example in this example, the pedestal 55 is composed of two stacked plates having different thicknesses, but the number of plates is limited to two as long as this thickness can be secured. Instead, it may be one or three or more.

また、図６，７，８に示すように、側壁５２ｂ，５２ｃの上面における受け台５５の配設部位の内側の部位Ａであって、カードラック収納部５１内に装着されたカードラック４１の枠体４４における下面（本例では一例として図８に示すように縁材４４ａの下面）と当接する部位には、縁材４４ａに形成されている２つの貫通孔４７に対応してネジ孔５６が２つ形成されている。本例では一例として、カードラック収納部５１内における区画壁５４で分割された側壁５２ｂ側の領域内に、側壁５２ｂに沿ってカードラック４１が３つ収納されると共に、側壁５２ｃ側の領域内に、側壁５２ｃに沿ってカードラック４１が３つ収納される。このため、側壁５２ｂ，５２ｃの部位Ａには、ネジ孔５６が６つずつ形成されている。 As shown in FIGS. 6, 7, and 8, the card rack 41 is mounted in the card rack storage portion 51, which is a part A inside the mounting part of the cradle 55 on the upper surface of the side walls 52 b and 52 c. A screw hole 56 corresponding to the two through-holes 47 formed in the edge member 44a is provided in a portion that contacts the lower surface of the frame body 44 (in this example, the lower surface of the edge member 44a as shown in FIG. 8). Two are formed. In this example, as an example, three card racks 41 are stored along the side wall 52b in the region on the side wall 52b divided by the partition wall 54 in the card rack storage unit 51, and in the region on the side wall 52c side. In addition, three card racks 41 are accommodated along the side wall 52c. For this reason, six screw holes 56 are formed in the part A of the side walls 52b and 52c.

また、カードラック収納部５１内に装着されたカードラック４１の枠体４４における下面（本例では一例として図６に示すように縁材４４ｂの下面）と当接する区画壁５４の上面には、縁材４４ｂに形成されている２つの貫通孔４７に対応してネジ孔５７が２つ形成されていると共に、縁材４４ｂに形成されている２つの位置決め孔４８に対応して位置決めピン５８が２つ突設されている。本例では上記したように、カードラック収納部５１内における区画壁５４で分割された側壁５２ｂ側の領域内および側壁５２ｃ側の領域内に、カードラック４１が３つずつ合計６つ収納される。このため、区画壁５４の上面には、ネジ孔５７が全部で１２個形成されると共に、位置決めピン５８が全部で１２個突設されている。また、本例では、上記したように、カードラック収納部５１内にカードラック４１が、各縁材４４ｂの凸凹が互いに嵌まり合う状態で収納されて、各縁材４４ｂに形成された各貫通孔４７および各位置決め孔４８がほぼ一直線上に並ぶように形成されているため、これに合わせて、区画壁５４の上面に形成されたすべてのネジ孔５７およびすべての位置決めピン５８がほぼ一直線上に並ぶように配設されている。 Further, on the upper surface of the partition wall 54 that abuts the lower surface of the frame body 44 of the card rack 41 mounted in the card rack storage portion 51 (in this example, the lower surface of the edge member 44b as shown in FIG. 6), Two screw holes 57 are formed corresponding to the two through holes 47 formed in the edge member 44b, and positioning pins 58 are provided corresponding to the two positioning holes 48 formed in the edge member 44b. There are two protruding. In this example, as described above, a total of six card racks 41 are stored in each of the side wall 52b side area and the side wall 52c side area divided by the partition wall 54 in the card rack storage section 51. . For this reason, a total of 12 screw holes 57 are formed on the upper surface of the partition wall 54 and a total of 12 positioning pins 58 project. Further, in this example, as described above, the card rack 41 is stored in the card rack storage portion 51 in a state where the irregularities of the edge members 44b are fitted to each other, and each penetration formed in each edge member 44b. Since the holes 47 and the positioning holes 48 are formed so as to be substantially aligned with each other, all the screw holes 57 and all the positioning pins 58 formed on the upper surface of the partition wall 54 are aligned with each other. Are arranged in a row.

第２バックボード５３は、一例として、平面視方形に形成された回路基板５３ａ、回路基板５３ａにおけるカードラック収納部５１の内部領域に臨む内底面に設けられた第５コネクタ５３ｂ、および回路基板５３ａのこの面に設けられたインターフェース用コネクタ５３ｃ，５３ｄを備えている。各第５コネクタ５３ｂは、カードラック収納部５１内に装着されるカードラック４１の最大数と同数設けられて、装着されたカードラック４１の第１バックボード４２に設けられた第４コネクタ４２ｃに接続される。 As an example, the second backboard 53 includes a circuit board 53a formed in a square shape in plan view, a fifth connector 53b provided on an inner bottom surface of the circuit board 53a facing an inner area of the card rack storage portion 51, and a circuit board 53a. Interface connectors 53c and 53d provided on this surface. Each fifth connector 53b is provided in the same number as the maximum number of card racks 41 installed in the card rack storage unit 51, and is connected to a fourth connector 42c provided on the first backboard 42 of the installed card rack 41. Connected.

この構成により、図８に示すように、カードラック４１を第１バックボード４２側からカードラック収納部５１内に挿入する際に、カードラック４１における枠体４４の縁材４４ａをケース５２の側壁５２ｂ，５２ｃのうちのいずれかの側壁の部位Ａ側に位置させ、かつ枠体４４の縁材４４ｂを区画壁５４側に位置させて、縁材４４ｂに形成されている一対の位置決め孔４８を区画壁５４に形成されている対応する一対の位置決めピン５８に挿入することで、カードラック収納部５１に対するカードラック４１の位置決めが行われて、縁材４４ａに形成されている貫通孔４７がケース５２の部位Ａに形成されているネジ孔５６に一致させられ、縁材４４ｂに形成されている貫通孔４７が区画壁５４に形成されているネジ孔５７に一致させられ、かつ第１バックボード４２に形成されている第４コネクタ４２ｃが第２バックボード５３に形成されている第５コネクタ５３ｂに正常に接続されることが可能になっている。また、カードラック収納部５１に収納された各カードラック４１は、図８に示すように、固定ネジ６２を枠体４４に形成された貫通孔４７に挿通させてカードラック収納部５１側のネジ孔５７に螺合させることで、カードラック収納部５１に固定される。また、各カードラック４１は、固定ネジ６２を緩めて取り外すことで、カードラック収納部５１から取り外すことが可能である。これにより、各カードラック４１は、カードラック収納部５１に着脱自在に収納可能になっている。 With this configuration, as shown in FIG. 8, when the card rack 41 is inserted into the card rack storage portion 51 from the first backboard 42 side, the edge member 44 a of the frame body 44 in the card rack 41 is used as the side wall of the case 52. A pair of positioning holes 48 formed in the edge member 44b are formed by positioning the side wall 52b or 52c on the site A side and positioning the edge member 44b of the frame 44 on the partition wall 54 side. The card rack 41 is positioned with respect to the card rack storage portion 51 by being inserted into a corresponding pair of positioning pins 58 formed on the partition wall 54, and the through hole 47 formed in the edge member 44a is formed in the case. The through hole 47 formed in the edge member 44 b is made to coincide with the screw hole 57 formed in the partition wall 54. And a fourth connector 42c which is formed on the first backboard 42 is enabled to be successfully connected to the fifth connector 53b formed in the second backboard 53. Further, as shown in FIG. 8, each card rack 41 stored in the card rack storage section 51 is inserted into a through hole 47 formed in the frame body 44 so that a screw on the card rack storage section 51 side is inserted. By being screwed into the hole 57, the card rack storage unit 51 is fixed. Each card rack 41 can be removed from the card rack storage 51 by loosening and removing the fixing screw 62. Thereby, each card rack 41 can be detachably stored in the card rack storage section 51.

また、カードラック収納部５１にカードラック４１が収納された状態において、第５コネクタ５３ｂでは、各端子が、カードラック４１の第１バックボード４２に設けられた第４コネクタ４２ｃ、第１バックボード４２を構成する回路基板４２ａの配線パターン、および第１バックボード４２を構成する第３コネクタ４２ｂを介して、スキャナカード３１のカードエッジコネクタ３３における対応する端子（検査信号第１入力端子Ｐｉ１、検査信号第２入力端子Ｐｉ２、検出信号第１出力端子Ｐｏ１、検出信号第２出力端子Ｐｏ２および各制御端子Ｐｃｎｔ）と一対一で接続される。 Further, in a state where the card rack 41 is stored in the card rack storage portion 51, each terminal of the fifth connector 53b is a fourth connector 42c provided on the first backboard 42 of the card rack 41, the first backboard. 42 corresponding to the card edge connector 33 of the scanner card 31 (the inspection signal first input terminal Pi1, the inspection) via the wiring pattern of the circuit board 42a constituting the 42 and the third connector 42b constituting the first backboard 42. The signal second input terminal Pi2, the detection signal first output terminal Po1, the detection signal second output terminal Po2, and each control terminal Pcnt) are connected on a one-to-one basis.

また、第２バックボード５３には、各第５コネクタ５３ｂの端子のうちのスキャナカード３１の各制御端子Ｐｃｎｔに接続される各端子をインターフェース用コネクタ５３ｃの各制御信号Ｓｃｎｔに対応する端子に接続するための配線パターンが形成されている。また、第２バックボード５３には、各第５コネクタ５３ｂの端子のうちのスキャナカード３１の検査信号第１入力端子Ｐｉ１、検査信号第２入力端子Ｐｉ２、検出信号第１出力端子Ｐｏ１および検出信号第２出力端子Ｐｏ２に接続される各端子をインターフェース用コネクタ５３ｄの各検査信号Ｓ１および各検出信号Ｓ２に対応する端子に接続するための配線パターンが形成されている。 Further, in the second backboard 53, the terminals connected to the control terminals Pcnt of the scanner card 31 among the terminals of the fifth connectors 53b are connected to the terminals corresponding to the control signals Scnt of the interface connector 53c. A wiring pattern for this purpose is formed. The second backboard 53 includes an inspection signal first input terminal Pi1, an inspection signal second input terminal Pi2, a detection signal first output terminal Po1, and a detection signal of the scanner card 31 among the terminals of the fifth connectors 53b. A wiring pattern for connecting each terminal connected to the second output terminal Po2 to a terminal corresponding to each inspection signal S1 and each detection signal S2 of the interface connector 53d is formed.

この基板検査装置１は、図９に示すように、上記のようにベース板１４のすべての連通孔１４ａに受けピンボード１３が装着された検査ヘッドユニット２を、この連通孔１４ａへの受けピンボード１３の装着状態に対応してカードラック４１がフル実装されたカードラック収納部５１上に連結し、かつカードラック収納部５１の各インターフェース用コネクタ５３ｃ，５３ｄに接続された各接続ケーブルＣＢ１（制御信号Ｓｃｎｔ用の接続ケーブル）および接続ケーブルＣＢ２（検査信号Ｓ１および検出信号Ｓ２用の接続ケーブル）を介してカードラック収納部５１と測定装置４とを接続して構成されている。 As shown in FIG. 9, the board inspection apparatus 1 includes the inspection head unit 2 in which the receiving pin boards 13 are mounted in all the communication holes 14a of the base plate 14 as described above, and the receiving pins to the communication holes 14a. Corresponding to the mounting state of the board 13, each connection cable CB 1 (connected to each interface connector 53 c, 53 d of the card rack storage section 51 is connected to the card rack storage section 51 in which the card rack 41 is fully mounted. The card rack storage unit 51 and the measuring device 4 are connected via a connection cable for the control signal Scnt) and a connection cable CB2 (connection cable for the inspection signal S1 and the detection signal S2).

このように構成された基板検査装置１では、図９に示すように、検査ヘッド１１の検査用接点２２が検査対象基板５に規定された不図示の検査ポイントに接触させられている状態において、測定装置４が、例えば４端子法により、特定の一対の検査ポイント間の抵抗値を測定してこの特定の一対の検査ポイント間の検査を実行するときには、まず、制御信号Ｓｃｎｔとしてのリセット信号を接続ケーブルＣＢ１を介してカードラック収納部５１に出力する。このリセット信号は、カードラック収納部５１内の第２バックボード５３、各カードラック４１の第１バックボード４２を介してすべてのスキャナカード３１に供給される。これにより、すべてのスキャナカード３１では、切替制御回路ＣＮＴが、リセット信号を入力して、第１データおよび第２データをクリアすると共に、すべてのスイッチＳＷａ〜ＳＷｄ、スイッチＳＷ１_１〜ＳＷ１_ｋ，ＳＷ２_１〜ＳＷ２_ｋ，ＳＷ３_１〜ＳＷ３_ｋ，ＳＷ４_１〜ＳＷ４_ｋをオフ状態に制御する。 In the substrate inspection apparatus 1 configured in this way, as shown in FIG. 9, in a state where the inspection contact 22 of the inspection head 11 is in contact with an inspection point (not shown) defined on the inspection target substrate 5. When the measuring device 4 measures the resistance value between a specific pair of inspection points by, for example, the four-terminal method and executes the inspection between the specific pair of inspection points, first, a reset signal as the control signal Scnt is supplied. The data is output to the card rack storage unit 51 via the connection cable CB1. This reset signal is supplied to all the scanner cards 31 via the second backboard 53 in the card rack storage unit 51 and the first backboard 42 of each card rack 41. Thereby, in all the scanner cards 31, the switching control circuit CNT inputs the reset signal to clear the first data and the second data, and all the switches SWa to SWd and the switches SW1 _{1 to} SW1 _k and SW2 _{1 to} SW2 _k , SW3 _{1 to} SW3 _k , and SW4 _{1 to} SW4 _k are controlled to be in an off state.

次いで、測定装置４が、検査ヘッド１１の検査用接点２２および受けピン２４を介して一対の特定の検査ポイントのうちの一方の特定の検査ポイントに接続されているいずれかのスキャナカード３１の第１コネクタ３４における端子３５が測定装置４の第１入力端子４ｃに接続され、他方の特定の検査ポイントに接続されているいずれかのスキャナカード３１の第１コネクタ３４における端子３５が測定装置４の第２入力端子４ｄに接続され、この特定の検査ポイント間に検査信号Ｓ１を供給し得る一対の検査ポイント（特定の一対の検査ポイントでもよい）のうちの一方の検査ポイントに接続されているいずれかのスキャナカード３１の第１コネクタ３４における端子３５が測定装置４の第１出力端子４ａに接続され、かつこの一対の検査ポイントのうちの他方の検査ポイントに接続されているいずれかのスキャナカード３１の第１コネクタ３４における端子３５が測定装置４の第２出力端子４ｂに接続されるように、制御信号Ｓｃｎｔとしての第１データ、第２データ、アドレスデータおよびセット信号を接続ケーブルＣＢ１を介してカードラック収納部５１に出力する。 Next, the measuring device 4 is connected to a specific inspection point of one of the pair of specific inspection points via the inspection contact 22 and the receiving pin 24 of the inspection head 11. The terminal 35 in one connector 34 is connected to the first input terminal 4 c of the measuring device 4, and the terminal 35 in the first connector 34 of one of the scanner cards 31 connected to the other specific inspection point is the measuring device 4. Any one of the pair of inspection points (which may be a specific pair of inspection points) connected to the second input terminal 4d and capable of supplying the inspection signal S1 between the specific inspection points. The terminal 35 of the first connector 34 of the scanner card 31 is connected to the first output terminal 4a of the measuring device 4, and this pair of inspections The control signal Scnt is used as the control signal Scnt so that the terminal 35 of the first connector 34 of any one of the scanner cards 31 connected to the other inspection point is connected to the second output terminal 4b of the measuring device 4. 1 data, 2nd data, address data, and a set signal are output to the card rack accommodating part 51 via the connection cable CB1.

これにより、受けピン２４を介して一対の特定の検査ポイントのうちの一方の特定の検査ポイントに第１コネクタ３４の端子３５を接続するようにアドレスデータのアドレスで指定されたスキャナカード３１では、切替制御回路ＣＮＴが、セット信号に同期して取得した第１データおよび第２データに基づいて、スイッチＳＷｃをオン状態に制御すると共に、各スイッチＳＷ１_１〜ＳＷ１_ｋ，ＳＷ２_１〜ＳＷ２_ｋ，ＳＷ３_１〜ＳＷ３_ｋ，ＳＷ４_１〜ＳＷ４_ｋのオン・オフ状態を制御することで、この指定された端子３５をオン状態に制御されたスイッチＳＷｃに接続する。また、受けピン２４を介して一対の特定の検査ポイントのうちの他方の特定の検査ポイントに第１コネクタ３４の端子３５を接続するようにアドレスデータのアドレスで指定されたスキャナカード３１では、切替制御回路ＣＮＴが、セット信号に同期して取得した第１データおよび第２データに基づいて、スイッチＳＷｄをオン状態に制御すると共に、各スイッチＳＷ１_１〜ＳＷ１_ｋ，ＳＷ２_１〜ＳＷ２_ｋ，ＳＷ３_１〜ＳＷ３_ｋ，ＳＷ４_１〜ＳＷ４_ｋのオン・オフ状態を制御することで、この指定された端子３５をオン状態に制御されたスイッチＳＷｄに接続する。 Thus, in the scanner card 31 designated by the address data address so as to connect the terminal 35 of the first connector 34 to one specific inspection point of the pair of specific inspection points via the receiving pin 24, The switch control circuit CNT controls the switch SWc to be on based on the first data and the second data acquired in synchronization with the set signal, and switches SW1 _{1 to} SW1 _k , SW2 _{1 to} SW2 _k , SW3. _{1 ~SW3} _k, _SW4 ₁ by controlling the ～SW4 _k on or off state, connects the specified terminal 35 to a controlled switch SWc oN state. Further, in the scanner card 31 designated by the address of the address data so as to connect the terminal 35 of the first connector 34 to the other specific inspection point of the pair of specific inspection points via the receiving pin 24, switching is performed. The control circuit CNT controls the switch SWd to be on based on the first data and the second data acquired in synchronization with the set signal, and switches SW1 _{1 to} SW1 _k , SW2 _{1 to} SW2 _k , SW3 ₁ Sw3 _k, _SW4 1 by controlling the ～SW4 _k on or off state, connects the specified terminal 35 to a controlled switch SWd oN state.

また、受けピン２４を介して検査信号Ｓ１を供給する一対の検査ポイントのうちの一方の検査ポイントに第１コネクタ３４の端子３５を接続するようにアドレスデータのアドレスで指定されたスキャナカード３１では、切替制御回路ＣＮＴが、セット信号に同期して取得した第１データおよび第２データに基づいて、スイッチＳＷａをオン状態に制御すると共に、各スイッチＳＷ１_１〜ＳＷ１_ｋ，ＳＷ２_１〜ＳＷ２_ｋ，ＳＷ３_１〜ＳＷ３_ｋ，ＳＷ４_１〜ＳＷ４_ｋのオン・オフ状態を制御することで、この指定された端子３５をオン状態に制御されたスイッチＳＷａに接続する。また、受けピン２４を介してこの一対の検査ポイントのうちの他方の特定の検査ポイントに第１コネクタ３４の端子３５を接続するようにアドレスデータのアドレスで指定されたスキャナカード３１では、切替制御回路ＣＮＴが、セット信号に同期して取得した第１データおよび第２データに基づいて、スイッチＳＷｂをオン状態に制御すると共に、各スイッチＳＷ１_１〜ＳＷ１_ｋ，ＳＷ２_１〜ＳＷ２_ｋ，ＳＷ３_１〜ＳＷ３_ｋ，ＳＷ４_１〜ＳＷ４_ｋのオン・オフ状態を制御することで、この指定された端子３５をオン状態に制御されたスイッチＳＷｂに接続する。 In the scanner card 31 designated by the address of the address data so as to connect the terminal 35 of the first connector 34 to one of the pair of inspection points that supply the inspection signal S1 via the receiving pin 24. The switch control circuit CNT controls the switch SWa to be on based on the first data and the second data acquired in synchronization with the set signal, and switches SW1 _{1 to} SW1 _k , SW2 _{1 to} SW2 _k , SW3 ₁ ~SW3 _k, _SW4 ₁ by controlling the ～SW4 _k on or off state, connects the specified terminal 35 to a controlled switch SWa to the oN state. In the scanner card 31 specified by the address of the address data so as to connect the terminal 35 of the first connector 34 to the other specific inspection point of the pair of inspection points via the receiving pin 24, the switching control is performed. The circuit CNT controls the switch SWb to the on state based on the first data and the second data acquired in synchronization with the set signal, and switches SW1 _{1 to} SW1 _k , SW2 _{1 to} SW2 _k , SW3 ₁ to SW3 _k, _SW4 1 by controlling the ～SW4 _k on or off state, connects the specified terminal 35 to a controlled switches SWb oN state.

これにより、一対の特定の検査ポイントに接触している検査ヘッド１１の２つの検査用接点２２は、検査ヘッドユニット２、スキャナ装置３および接続ケーブルＣＢ２を介して測定装置４の一対の入力端子４ｃ，４ｄに接続され、この一対の特定の検査ポイント間に検査信号Ｓ１を供給する一対の検査ポイントに接触している検査ヘッド１１の２つの検査用接点２２は、検査ヘッドユニット２、スキャナ装置３および接続ケーブルＣＢ２を介して測定装置４の一対の出力端子４ａ，４ｂに接続される。測定装置４は、一対の出力端子４ａ，４ｂに検査信号Ｓ１（定電流信号）を出力しているときに、一対の入力端子４ｃ，４ｄ間で検出される検出信号Ｓ２（検査ポイント間に発生する電気信号としての電圧信号）を測定し、測定した検出信号Ｓ２の電圧値と、検査信号Ｓ１の電流値とに基づいて、検査対象基板５における一対の特定の検査ポイント間の抵抗値を測定し、かつ測定した抵抗値と予め規定された基準抵抗値とに基づいて、一対の特定の検査ポイント間の検査を実行する。 Thus, the two inspection contacts 22 of the inspection head 11 that are in contact with a pair of specific inspection points are connected to the pair of input terminals 4c of the measuring device 4 via the inspection head unit 2, the scanner device 3, and the connection cable CB2. , 4d, the two inspection contacts 22 of the inspection head 11 contacting the pair of inspection points that supply the inspection signal S1 between the pair of specific inspection points are the inspection head unit 2 and the scanner device 3. And a pair of output terminals 4a, 4b of the measuring device 4 via the connection cable CB2. When the measuring device 4 outputs the inspection signal S1 (constant current signal) to the pair of output terminals 4a and 4b, the detection signal S2 (generated between the inspection points) detected between the pair of input terminals 4c and 4d. And a resistance value between a pair of specific inspection points on the inspection target substrate 5 is measured based on the measured voltage value of the detection signal S2 and the current value of the inspection signal S1. In addition, an inspection between a pair of specific inspection points is executed based on the measured resistance value and a predetermined reference resistance value.

測定装置４は、上記したリセット信号の出力処理と、第１データ、第２データ、アドレスデータおよびセット信号の出力処理と、抵抗値の測定処理およびこの測定した抵抗値に基づく検査処理を、第１データ、第２データおよびアドレスデータで示されるアドレスを変更しつつ実行することで、検査対象基板５に規定されたすべての検査ポイント間の検査を実行する。 The measurement device 4 performs the above-described reset signal output processing, first data, second data, address data and set signal output processing, resistance value measurement processing, and inspection processing based on the measured resistance value. By executing while changing the address indicated by the 1 data, the second data, and the address data, the inspection between all the inspection points defined on the inspection target substrate 5 is executed.

このように、このスキャナ装置３、およびこのスキャナ装置３を備えた基板検査装置１では、同じ構成のスキャナカード３１は、同じ構成のカードラック４１の各々に同数ずつ収納された状態で、カードラック収納部５１に収納されている。したがって、このスキャナ装置３および基板検査装置１によれば、このようなカードラック４１を予め作製しておくことで、カードラック収納部５１にカードラック４１単位でスキャナカード３１を着脱自在に収納することができるため、カードラック収納部５１へのスキャナカード３１の収納作業に要する時間（カードラック収納部５１の組み立てに要する時間）を大幅に短縮することができる。また、スキャナ装置３に不具合が発生したときも、カードラック４１単位で交換して対処できるため、修理に要する時間についても大幅に短縮することができる。 As described above, in the scanner device 3 and the board inspection apparatus 1 including the scanner device 3, the same number of scanner cards 31 are stored in the same number of card racks 41 in the card rack 41. It is stored in the storage unit 51. Therefore, according to the scanner device 3 and the substrate inspection device 1, by preparing such a card rack 41 in advance, the scanner card 31 is detachably stored in the card rack storage unit 51 in units of the card rack 41. Therefore, the time required for storing the scanner card 31 in the card rack storage unit 51 (the time required for assembling the card rack storage unit 51) can be greatly shortened. Further, when a problem occurs in the scanner device 3, the card rack 41 can be replaced and dealt with, so that the time required for repair can be greatly reduced.

なお、上記の例では、検査ヘッド１１に設けられている検査用接点２２の数（ｍ×ｎ個）に対応させて、ベース板１４のすべての連通孔１４ａに受けピンボード１３を装着する（受けピンボード１３を６つ装着する）と共に、この受けピンボード１３の装着状態に対応して、カードラック４１をカードラック収納部５１にフル実装（６つ実装）する構成を採用しているが、検査ヘッド１１に設けられている検査用接点２２の数が少ない場合には、この数に対応させて、ベース板１４の一部の連通孔１４ａにのみ受けピンボード１３を装着すると共に、カードラック収納部５１におけるこの受けピンボード１３の装着位置に対応する位置にのみカードラック４１を収納（装着）する構成を採用することもできる。 In the above example, the receiving pin boards 13 are mounted in all the communication holes 14a of the base plate 14 in correspondence with the number (m × n) of the inspection contacts 22 provided in the inspection head 11 ( In addition, a configuration in which the card rack 41 is fully mounted (six mounted) in the card rack storage portion 51 in accordance with the mounting state of the receiving pin board 13 is adopted. When the number of inspection contacts 22 provided on the inspection head 11 is small, the receiving pin board 13 is attached only to a part of the communication holes 14a of the base plate 14 in correspondence with this number, and the card A configuration in which the card rack 41 is stored (mounted) only at a position corresponding to the mounting position of the receiving pin board 13 in the rack storage unit 51 may be employed.

また、上記のスキャナ装置３では、カードラック４１を２列に収納する構成とするため、カードラック収納部５１のケース５２内に区画壁５４を設ける構成を採用しているが、カードラック４１を１列で収納する構成のときには、区画壁５４を設けずに、ケース５２の側壁５２ｂ，５２ｃのうちの一方の上面における部位Ａにネジ孔５６を設けると共に、他方の上面における部位Ａにネジ孔５７および位置決めピン５８を設ける構成を採用することもできる。 Further, in the scanner device 3 described above, since the card racks 41 are stored in two rows, a configuration in which the partition wall 54 is provided in the case 52 of the card rack storage unit 51 is adopted. In the case of the configuration of storing in one row, without providing the partition wall 54, the screw hole 56 is provided in the part A on one upper surface of the side walls 52b and 52c of the case 52, and the screw hole is provided in the part A on the other upper surface. A configuration in which 57 and a positioning pin 58 are provided can also be adopted.

また、上記の基板検査装置１では、４端子法に基づいて一対の検査ポイント間の抵抗値を測定し得るように、スキャナ装置３が測定装置４の一対の出力端子４ａ，４ｂおよび一対の入力端子４ｃ，４ｄに接続されるスキャナカード３１の第１コネクタ３４における端子３５を切り替えているが、２端子法に基づいて一対の検査ポイント間の抵抗値を測定し得るように、スキャナ装置３が測定装置４の一対の出力端子４ａ，４ｂおよび一対の入力端子４ｃ，４ｄに接続されるスキャナカード３１における第１コネクタ３４の端子３５を切り替えるようにすることもできる。 In the substrate inspection apparatus 1 described above, the scanner device 3 can measure the pair of output terminals 4a and 4b and the pair of inputs so that the resistance value between the pair of inspection points can be measured based on the four-terminal method. Although the terminal 35 in the first connector 34 of the scanner card 31 connected to the terminals 4c and 4d is switched, the scanner device 3 is configured so that the resistance value between the pair of inspection points can be measured based on the two-terminal method. The terminals 35 of the first connector 34 in the scanner card 31 connected to the pair of output terminals 4a and 4b and the pair of input terminals 4c and 4d of the measuring device 4 can also be switched.

また、スキャナ装置３を検査対象基板５の一対の検査ポイント間の物理量としての抵抗値を測定することで、この検査ポイント間の検査を実行する基板検査装置１に適用しているが、抵抗値に代えて、容量値やインダクタンス値を物理量として測定して検査を実行する基板検査装置に適用してもよいのは勿論である。 In addition, the scanner device 3 is applied to the substrate inspection apparatus 1 that performs an inspection between inspection points by measuring a resistance value as a physical quantity between a pair of inspection points of the inspection target substrate 5. Of course, the present invention may be applied to a substrate inspection apparatus that performs an inspection by measuring a capacitance value or an inductance value as a physical quantity.

また、上記の基板検査装置１では、すべてのカードラック４１が１つの測定装置４に接続される構成を採用しているが、２以上の測定装置に接続される構成を採用することもできる。また、測定装置４から出力される各種の制御信号Ｓｃｎｔについては、接続ケーブルＣＢ１を介してスキャナ装置３に供給する構成に代えて、光信号などを用いて他の経路からスキャナ装置３に供給する構成を採用することもできる。 Moreover, in the said board | substrate test | inspection apparatus 1, although the structure with which all the card racks 41 are connected to the one measuring apparatus 4 is employ | adopted, the structure connected to two or more measuring apparatuses is also employable. In addition, various control signals Scnt output from the measuring device 4 are supplied to the scanner device 3 from other paths using optical signals or the like instead of being supplied to the scanner device 3 via the connection cable CB1. A configuration can also be adopted.

また、上記のカードラック４１では、支柱４３を一定長の１本の棒で構成しているが、伸縮可能な構造として、スキャナカード３１の長さや、カードラック収納部５１の高さに合わせてカードラック４１の高さを変更し得るように構成することもできる。この場合、スキャナカード３１はフレキシブル基板であることが好ましい。 In the above-described card rack 41, the support column 43 is formed of a single rod having a predetermined length. However, the post 43 has a structure that can be expanded and contracted according to the length of the scanner card 31 and the height of the card rack storage unit 51. It is also possible to configure so that the height of the card rack 41 can be changed. In this case, the scanner card 31 is preferably a flexible substrate.

１基板検査装置
２検査ヘッドユニット
３スキャナ装置
４測定装置
４ａ，４ｂ出力端子
４ｃ，４ｄ入力端子
２２検査用接点
３１スキャナカード
３３カードエッジコネクタ
３４第１コネクタ
４１カードラック
４２第１バックボード
４２ｂ第３コネクタ
４２ｃ第４コネクタ
５１カードラック収納部
５３第２バックボード
５３ｂ第５コネクタ
５３ｃ，５３ｄインターフェース用コネクタ DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Board | substrate inspection apparatus 2 Inspection head unit 3 Scanner apparatus 4 Measuring apparatus 4a, 4b Output terminal 4c, 4d Input terminal 22 Inspection contact 31 Scanner card 33 Card edge connector 34 1st connector 41 Card rack 42 1st backboard 42b 3rd Connector 42c 4th connector 51 Card rack storage part 53 2nd backboard 53b 5th connector 53c, 53d Interface connector

Claims

Arranged between an inspection head unit having a plurality of inspection contacts that are brought into contact with a plurality of inspection points defined on a substrate to be inspected and a measuring device, and for any inspection among the plurality of inspection contacts A scanner device for selectively switching and connecting a contact to a measurement terminal of the measurement device,
A first connector, a switching circuit, and a second connector are provided, and by operating the switching circuit, a plurality of terminals selected from the terminals of the first connector are defined in advance. A plurality of scanner cards connectable to any one of the terminals;
A predetermined number of third connectors connectable to the second connector are arranged in parallel on the front surface, and a fourth connector is disposed on the rear surface, and each terminal of the fourth connector and the fourth connector A first backboard on which wiring patterns for connecting all the third connector terminals corresponding to the respective terminals are formed; the second connector inserted from the second connector side; A plurality of card racks for storing the scanner card connected to the first card in a state where the first connectors are arranged in parallel;
A predetermined number of fifth connectors connectable to the fourth connector have a second backboard arranged in parallel on the surface, and are inserted from the fourth connector side so that the fourth connector is the fifth connector. A card rack storage section for detachably storing the card rack connected to the connector;
In a state where the terminals of the first connector in the scanner card in the card rack stored in the card rack storage unit are connected to the plurality of inspection contacts of the inspection head unit on a one-to-one basis, By operating the switching circuit based on a control signal supplied to a plurality of scanner cards, any inspection contact among the inspection contacts can be connected to the scanner card, the card rack, and the card rack storage unit. A scanner device connected to the measurement terminal of the measurement device via

The inspection of the inspection head unit comprising the scanner device according to claim 1, the inspection head unit, and the measurement device, wherein the measurement device is switched by the scanner device and connected to the measurement terminal. A substrate inspection apparatus that measures a physical quantity of the substrate to be inspected based on an electrical signal generated at the inspection point that is contacted via a contact for inspection, and inspects the substrate to be inspected based on the measured physical quantity .