JP2015090387A - Optical image forming member, glass laminate for the same, and manufacturing methods for both - Google Patents

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隆 村田
Takashi Murata
隆 村田
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an optical image forming member capable of forming high-resolution images without increasing cost; a glass laminate for producing the same; and manufacturing methods for both.SOLUTION: An optical image forming member is produced by bonding glass laminates for an optical image forming member, in which the glass laminate is obtained by alternately laminating glass films and reflective films. The glass films constituting the glass laminate for the optical image forming member are produced by drawing molten glass into plate shape. The glass laminate for the optical image forming member has at least one glass film laminated such that a drawing direction thereof is perpendicular to the drawing direction of other glass films.

Description

本発明は、光学結像部材、光学結像用ガラス積層体及びそれらの製造方法に関し、例えば、液晶ディスプレイ、有機ELディスプレイ等のフラットパネルディスプレイから発生される光を中空に結像するためのガラス積層体、光学結像部材及び光学結像部材の製造方法に関する。   The present invention relates to an optical imaging member, a glass laminate for optical imaging, and a method for manufacturing the same, and, for example, glass for forming a hollow image of light generated from a flat panel display such as a liquid crystal display or an organic EL display. The present invention relates to a laminate, an optical imaging member, and an optical imaging member manufacturing method.

周知の通り、省スペース化の観点から、液晶ディスプレイ、プラズマディスプレイ、有機ELディスプレイ等のフラットパネルディスプレイが普及している。   As is well known, from the viewpoint of space saving, flat panel displays such as liquid crystal displays, plasma displays, and organic EL displays are widely used.

また、フラットパネルディスプレイから発生される光を中空に結像する技術開発が進んでいる。特許文献1には、隣接する反射面が互いに向かい合うように、複数本の両面反射帯を一定間隔で配置してなる光学結像部材が提案されている。しかし、特許文献1に記載の光学結像部材には、散乱光が通過した後は、必ずしも一点に収束しないという問題がある。   In addition, technology development is progressing to form a hollow image of light generated from a flat panel display. Patent Document 1 proposes an optical imaging member in which a plurality of double-sided reflection bands are arranged at regular intervals so that adjacent reflecting surfaces face each other. However, the optical imaging member described in Patent Document 1 has a problem that it does not necessarily converge to one point after scattered light has passed.

特開昭58−21702号公報JP 58-21702 A

上記問題を解決するために、一方の表面が反射面である透明板を数百〜数千枚積層した後、各反射面に対して垂直な切断面が形成されるように切断して、一対の積層体を作製した上で、一方の積層体の反射膜面と、他方の積層体の反射膜面とが互いに直交するように積層体同士を向かい合わせに配置し、密着させた光学結像部材が検討されている。この光学結像部材では、透明板の厚みが反射面の間隔に相当する。   In order to solve the above problems, after laminating hundreds to thousands of transparent plates whose one surface is a reflection surface, the transparent plates are cut so that a cut surface perpendicular to each reflection surface is formed. After forming the laminated body, the laminated bodies are placed facing each other so that the reflective film surface of one laminated body and the reflective film surface of the other laminated body are orthogonal to each other, and are in close contact with each other. Members are being considered. In this optical imaging member, the thickness of the transparent plate corresponds to the interval between the reflecting surfaces.

上記の光学結像部材の場合、高解像度の結像を得るためには、厚みの薄い透明板を採用するとともに、すべての反射面の面間隔が均一となるように透明板が平行な状態で積層されていることが重要である。   In the case of the above optical imaging member, in order to obtain high-resolution imaging, a thin transparent plate is adopted, and the transparent plate is in a parallel state so that the spacing between all reflecting surfaces is uniform. It is important that they are laminated.

ところが透明板に偏肉(板厚公差)があると、その偏肉が積層枚数分だけ累積されることになり、反射面の面間隔の均一性に大きな影響を与えるおそれがある。   However, if there is uneven thickness (thickness tolerance) in the transparent plate, the uneven thickness is accumulated by the number of laminated sheets, which may greatly affect the uniformity of the surface spacing of the reflecting surfaces.

本発明は、上記事情に鑑みなされたものであり、コストアップを招来させることなく、高解像度の結像を得ることが可能な光学結像部材、これを作製するためのガラス積層体及びそれらの製造方法を得ることである。   The present invention has been made in view of the above circumstances, an optical imaging member capable of obtaining high-resolution imaging without incurring an increase in cost, a glass laminate for producing the optical imaging member, and those It is to obtain a manufacturing method.

本発明者は、鋭意努力の結果、透明板としてガラスフィルムを使用し、ガラスフィルム間に反射膜を介在させて、これを積層一体化させたガラス積層体を光学結像部材に適用することにより、反射面の間隔を狭小化しやすくできること、及びガラスフィルムを板引き法で成形すると、板引き方向と直交する方向に偏肉(肉厚分布)が生じ、板引き方向に沿って筋状の厚肉部が生じ易いが、ガラスフィルムの積層方向を変更することにより、この偏肉の累積による反射面の面間隔への悪影響を軽減できることを見出し、本発明として提案するものである。   As a result of diligent efforts, the present inventor uses a glass film as a transparent plate, interposes a reflective film between the glass films, and applies a laminated glass integrated body to the optical imaging member. The distance between the reflective surfaces can be easily reduced, and when a glass film is formed by the plate drawing method, uneven thickness (thickness distribution) is generated in the direction orthogonal to the plate drawing direction, and the thickness of the streaks along the plate drawing direction is increased. Although it is easy to produce a meat | flesh part, it discovers that the bad influence to the surface interval of the reflective surface by accumulation of this uneven thickness can be reduced by changing the lamination direction of a glass film, and proposes as this invention.

本発明の光学結像部材用ガラス積層体は、ガラスフィルムと反射膜とが交互に積層された光学結像部材用ガラス積層体であって、ガラスフィルムは、溶融ガラスを板引き成形して作製されたものであり、ガラス積層体は、少なくとも1枚のガラスフィルムが、他のガラスフィルムと板引き方向が直交する状態で積層されてなることを特徴とする。ここで「ガラスフィルムと反射膜とが交互に積層された」とは、ガラスフィルムと反射膜とが接する状態で交互積層されている場合に限定されるものではなく、両者の間に1層以上の他の材料を介在させた状態で交互に積層している場合も含む。   The glass laminate for an optical imaging member of the present invention is a glass laminate for an optical imaging member in which glass films and reflective films are alternately laminated, and the glass film is produced by drawing a molten glass into a plate. The glass laminate is characterized in that at least one glass film is laminated in a state in which the drawing direction is orthogonal to other glass films. Here, “the glass film and the reflective film are alternately laminated” is not limited to the case where the glass film and the reflective film are alternately laminated, and one or more layers are provided therebetween. It also includes the case where the other materials are alternately stacked in the state of interposing.

この構成によれば、薄肉で大量生産可能なガラスフィルムを透明板として使用することから、部材コストの上昇を抑えながら、積層体の反射面間隔を狭小化することが可能になる。さらに積層体を構成するガラスフィルムが、板引き方向が同一とならないように積層されていることから、偏肉の影響を軽減し、反射面の面間隔を均一にすることが可能になる。よってこのガラス積層体を使用すれば、高解像度の結像が形成可能な光学結像部材を得ることができる。   According to this configuration, since a thin glass film that can be mass-produced is used as a transparent plate, it is possible to reduce the interval between the reflecting surfaces of the laminate while suppressing an increase in member cost. Furthermore, since the glass films constituting the laminated body are laminated so that the drawing direction is not the same, it is possible to reduce the influence of uneven thickness and make the surface spacing of the reflecting surfaces uniform. Therefore, if this glass laminate is used, an optical imaging member capable of forming a high-resolution image can be obtained.

上記光学結像部材用ガラス積層体において、ガラス積層体を構成する各ガラスフィルムが短冊状であることが好ましい。   In the glass laminate for an optical imaging member, each glass film constituting the glass laminate is preferably strip-shaped.

上記光学結像部材用ガラス積層体において、ガラスフィルムは、厚さが3000μm以下であることが好ましい。   In the glass laminated body for an optical imaging member, the glass film preferably has a thickness of 3000 μm or less.

本発明の光学結像部材は、上記した一対の光学結像部材用ガラス積層体が、一方のガラス積層体の反射膜面と他方のガラス積層体の反射膜面とが互いに直交するように、配置されてなることを特徴とする。ここで「反射膜面」とは反射膜が形成された面を意味する。   In the optical imaging member of the present invention, the pair of glass laminates for an optical imaging member described above are arranged so that the reflective film surface of one glass laminate and the reflective film surface of the other glass laminate are orthogonal to each other. It is characterized by being arranged. Here, the “reflection film surface” means a surface on which a reflection film is formed.

この構成によれば、薄肉で大量生産可能なガラスフィルムを透明板として使用することから、部材コストの上昇を抑えながら、積層体の反射面間隔を狭小化することが可能になる。さらに積層体を構成するガラスフィルムが、板引き方向が同一とならないように積層されていることから、偏肉の影響を軽減し、反射面の面間隔を均一にすることが可能になる。よって高解像度の結像を得ることができる。   According to this configuration, since a thin glass film that can be mass-produced is used as a transparent plate, it is possible to reduce the interval between the reflecting surfaces of the laminate while suppressing an increase in member cost. Furthermore, since the glass films constituting the laminated body are laminated so that the drawing direction is not the same, it is possible to reduce the influence of uneven thickness and make the surface spacing of the reflecting surfaces uniform. Therefore, high resolution imaging can be obtained.

本発明の光学結像部材用ガラス積層体の製造方法は、反射膜とガラスフィルムとが交互に積層されるように反射膜付きガラスフィルムを積層する光学結像部材用ガラス積層体の製造方法であって、
ガラスフィルムが溶融ガラスを板引き成形して作製されたものであるとともに、少なくとも1枚のガラスフィルムが、他のガラスフィルムと板引き方向が直交するように反射膜付きガラスフィルムを積層することを特徴とする。
The manufacturing method of the glass laminated body for optical imaging members of this invention is a manufacturing method of the glass laminated body for optical imaging members which laminates | stacks a glass film with a reflecting film so that a reflecting film and a glass film may be laminated | stacked alternately. There,
The glass film is made by drawing a molten glass, and at least one glass film is laminated with a glass film with a reflective film so that the drawing direction is perpendicular to other glass films. Features.

この方法によれば、部材コストの上昇を抑えながら、反射面間隔を狭小化した積層体を形成することができる。しかも偏肉の影響を軽減し、反射面の面間隔を均一にすることが可能になる。   According to this method, it is possible to form a laminate in which the interval between the reflecting surfaces is reduced while suppressing an increase in member cost. In addition, it is possible to reduce the influence of uneven thickness and make the spacing between the reflecting surfaces uniform.

上記光学結像部材用ガラス積層体の製造方法において、反射膜付きガラスフィルムを積層した後、さらに反射膜面と直交する方向に切断して短冊状ガラスフィルムで構成されるガラス積層体とすることが好ましい。なお以降の説明では、短冊状ガラスフィルムで構成されるガラス積層体を単に短冊状ガラス積層体と称す。   In the above method for producing a glass laminate for an optical imaging member, after laminating a glass film with a reflective film, it is further cut into a direction perpendicular to the reflective film surface to form a glass laminate composed of strip-shaped glass films. Is preferred. In the following description, a glass laminate composed of strip glass films is simply referred to as a strip glass laminate.

上記光学結像部材用ガラス積層体の製造方法において、厚さが3000μm以下のガラスフィルムを用いてガラス積層体を作製することが好ましい。   In the method for producing a glass laminate for an optical imaging member, it is preferable to produce a glass laminate using a glass film having a thickness of 3000 μm or less.

上記光学結像部材用ガラス積層体の製造方法において、縦横比が1.3以下のガラスフィルムを用いてガラス積層体を作製することが好ましい。   In the method for producing a glass laminate for an optical imaging member, it is preferable to produce a glass laminate using a glass film having an aspect ratio of 1.3 or less.

本発明の光学結像部材用ガラス積層体は、上記した光学結像部材用ガラス積層体の製造方法によって作製されてなることを特徴とする。   The glass laminate for an optical imaging member of the present invention is produced by the above-described method for producing a glass laminate for an optical imaging member.

本発明の光学結像部材の製造方法は、上記した一対のガラス積層体を、一方のガラス積層体の反射膜面と他方のガラス積層体の反射膜面とが互いに直交するようにガラス積層体同士を配置して、光学結像部材を得る工程と、を備えることを特徴とする。   The method for producing an optical imaging member according to the present invention includes the above-described pair of glass laminates, the glass laminate so that the reflective film surface of one glass laminate and the reflective film surface of the other glass laminate are orthogonal to each other. And arranging them to obtain an optical imaging member.

この方法によれば、高解像度の結像が形成可能な光学結像部材を容易に作製することができる。   According to this method, an optical imaging member capable of forming a high-resolution image can be easily manufactured.

また本発明の光学結像部材の製造方法は、上記光学結像部材用ガラス積層体の製造方法によって作製された一対のガラス積層体を、一方のガラス積層体の反射膜面と他方のガラス積層体の反射膜面とが互いに直交するように配置して、光学結像部材を得る工程と、を備えることを特徴とする。   The method for producing an optical imaging member of the present invention comprises a pair of glass laminates produced by the above-described method for producing a glass laminate for an optical imaging member, the reflective film surface of one glass laminate and the other glass laminate. And a step of obtaining an optical imaging member by arranging so that the reflecting film surfaces of the body are orthogonal to each other.

この方法によれば、高解像度の結像が形成可能な光学結像部材を容易に作製することができる。   According to this method, an optical imaging member capable of forming a high-resolution image can be easily manufactured.

本発明の光学結像部材は、上記した光学結像部材の製造方法によって作製されてなることを特徴とする。   The optical imaging member of the present invention is manufactured by the above-described optical imaging member manufacturing method.

本発明のガラスフィルムは、光学結合部材用ガラス積層体に使用されるガラスフィルムであって、ガラスフィルムの縦横比が1.3以下であることを特徴とする。   The glass film of this invention is a glass film used for the glass laminated body for optical coupling members, Comprising: The aspect ratio of a glass film is 1.3 or less, It is characterized by the above-mentioned.

上記ガラスフィルムは、厚さが3000μm以下であることが好ましい。   The glass film preferably has a thickness of 3000 μm or less.

本発明のガラス積層体の一例を示す概念斜視図である。It is a conceptual perspective view which shows an example of the glass laminated body of this invention. ガラスフィルムの積層方法の一例を示す概念斜視図である。It is a conceptual perspective view which shows an example of the lamination | stacking method of a glass film. 本発明の短冊状ガラス積層体の一例を示す概念斜視図である。It is a conceptual perspective view which shows an example of the strip-shaped glass laminated body of this invention. 本発明の光学結像部材の一例を示す概念斜視図である。It is a conceptual perspective view which shows an example of the optical image formation member of this invention. 本発明の光学結像部材の一例を示す概念斜視図である。It is a conceptual perspective view which shows an example of the optical image formation member of this invention.

以下、本発明を詳述する。   The present invention is described in detail below.

本発明のガラス積層体は、その主要な構成材料としてガラスフィルムを含む。ガラスフィルムは、溶融ガラスを板引き成形して作製されたものである。板引き成形の方法に制限はないが、オーバーフローダウンドロー法で成形されてなることが好ましい。この方法で作製されたガラスフィルムは、表面品位に優れており、研磨を必要としない。オーバーフローダウンドロー法で成形されたガラスフィルムが表面品位に優れる理由は、ガラスフィルムの表面となるべき面が樋状耐火物に接触せず、自由表面の状態で成形されるからである。ここで、オーバーフローダウンドロー法は、溶融ガラスを耐熱性の樋状構造物の両側から溢れさせて、溢れた溶融ガラスを樋状構造物の下端で合流させながら、下方に延伸成形してガラスフィルムを製造する方法である。樋状構造物の構造や材質は、ガラスフィルムの寸法や表面精度を所望の状態とし、ガラスフィルムに使用できる品位を実現できるものであれば、特に限定されない。また、下方への延伸成形を行うために、ガラスに対してどのような方法で力を印加するものであってもよい。例えば、充分に大きい幅を有する耐熱性ロールをガラスに接触させた状態で回転させて延伸する方法を採用してもよいし、複数の対になった耐熱性ロールをガラスの端面近傍のみに接触させて延伸する方法を採用してもよい。なお、オーバーフローダウンドロー法以外にも、例えば、スロットダウンドロー法、リドロー法等の成形方法を採用することもできる。   The glass laminate of the present invention includes a glass film as its main constituent material. The glass film is produced by drawing a molten glass. Although there is no restriction | limiting in the method of plate drawing, It is preferable to shape | mold by the overflow downdraw method. The glass film produced by this method has excellent surface quality and does not require polishing. The reason why the glass film formed by the overflow down draw method is excellent in surface quality is that the surface to be the surface of the glass film is not in contact with the bowl-shaped refractory and is formed in a free surface state. Here, the overflow down draw method is a glass film in which the molten glass overflows from both sides of the heat-resistant bowl-shaped structure, and the overflowed molten glass is stretched and formed downward at the lower end of the bowl-shaped structure. It is a method of manufacturing. The structure and material of the bowl-shaped structure are not particularly limited as long as the dimensions and surface accuracy of the glass film are set to a desired state and the quality usable for the glass film can be realized. Moreover, in order to perform the downward stretch molding, any force may be applied to the glass. For example, a method may be adopted in which a heat-resistant roll having a sufficiently large width is rotated and stretched in contact with glass, or a plurality of pairs of heat-resistant rolls are contacted only near the end face of the glass. It is also possible to adopt a method of stretching by stretching. In addition to the overflow downdraw method, for example, a molding method such as a slot downdraw method or a redraw method may be employed.

ガラスフィルムの厚みは3000μm以下であることが好ましく、特に2800μm以下、2000μm以下、1800μm以下、1500μm以下、1200μm以下、1000μm以下、800μm以下、700μm以下、500μm以下、300μm以下、200μm以下、100μm以下、90μm以下、80μm以下、70μm以下、60μm以下、50μm以下、40μm以下、30μm以下、20μm以下、特に10μm以下であることが望ましい。ガラスフィルムの厚みが薄い程、反射膜の間隔が狭小化されるため、高解像度の結像を得易くなる。   The thickness of the glass film is preferably 3000 μm or less, particularly 2800 μm or less, 2000 μm or less, 1800 μm or less, 1500 μm or less, 1200 μm or less, 1000 μm or less, 800 μm or less, 700 μm or less, 500 μm or less, 300 μm or less, 200 μm or less, 100 μm or less, 90 μm or less, 80 μm or less, 70 μm or less, 60 μm or less, 50 μm or less, 40 μm or less, 30 μm or less, 20 μm or less, and particularly preferably 10 μm or less. The thinner the glass film is, the narrower the interval between the reflecting films, so that it becomes easier to obtain a high-resolution image.

ガラスフィルムの表面の表面粗さRaは、好ましくは100Å以下、50Å以下、10Å以下、8Å以下、4Å以下、3Å以下、特に2Å以下である。ガラスフィルムの表面の表面粗さRaが大き過ぎると、反射膜の間隔がばらつき易くなり、高解像度の結像を得難くなる。更に、ガラスフィルムを積層する際に、空気を巻き込み易くなったり、オプティカルボンディングし難くなる。   The surface roughness Ra of the surface of the glass film is preferably 100 mm or less, 50 mm or less, 10 mm or less, 8 mm or less, 4 mm or less, 3 mm or less, particularly 2 mm or less. If the surface roughness Ra of the surface of the glass film is too large, the interval between the reflective films tends to vary, making it difficult to obtain a high-resolution image. Furthermore, when laminating a glass film, it becomes easy to entrain air and it is difficult to carry out optical carboxylation.

ガラスフィルムの端面の表面粗さRaは、好ましくは100Å以下、50Å以下、10Å以下、8Å以下、4Å以下、3Å以下、特に2Å以下である。ガラスフィルムの端面の表面粗さRaが大き過ぎると、ガラス積層体が破損し易くなる。   The surface roughness Ra of the end face of the glass film is preferably 100 mm or less, 50 mm or less, 10 mm or less, 8 mm or less, 4 mm or less, 3 mm or less, particularly 2 mm or less. If the surface roughness Ra of the end face of the glass film is too large, the glass laminate is easily damaged.

ガラスフィルムのうねりは、好ましくは1μm以下、0.08μm以下、0.05μm以下、0.03μm以下、0.02μm以下、特に0.01μm以下である。ガラスフィルムのうねりが大き過ぎると、反射膜の間隔がばらつき易くなり、高解像度の結像を得難くなる。更に、ガラスフィルムを積層する際に、空気を巻き込み易くなったり、オプティカルボンディングし難くなる。   The waviness of the glass film is preferably 1 μm or less, 0.08 μm or less, 0.05 μm or less, 0.03 μm or less, 0.02 μm or less, particularly 0.01 μm or less. If the waviness of the glass film is too large, the distance between the reflective films tends to vary, making it difficult to obtain a high-resolution image. Furthermore, when laminating a glass film, it becomes easy to entrain air and it is difficult to carry out optical carboxylation.

ガラスフィルムの最大厚みと最小厚みの差は、好ましくは10μm以下、5μm以下、2μm以下、特に1μm以下である。この差が大き過ぎると、反射膜の間隔がばらつき易くなり、高解像度の結像を得難くなる。更に、ガラスフィルムを積層する際に、空気を巻き込み易くなったり、オプティカルボンディングし難くなる。   The difference between the maximum thickness and the minimum thickness of the glass film is preferably 10 μm or less, 5 μm or less, 2 μm or less, particularly 1 μm or less. If this difference is too large, the interval between the reflective films tends to vary, making it difficult to obtain high-resolution imaging. Furthermore, when laminating a glass film, it becomes easy to entrain air and it is difficult to carry out optical carboxylation.

ガラスフィルムは、未研磨の表面を有することが好ましい。ガラスの理論強度は、本来、非常に高いが、理論強度よりも遥かに低い応力でも破壊に至ることが多い。これは、ガラスフィルムの表面にグリフィスフローと呼ばれる小さな欠陥がガラスの成形後の工程、例えば研磨工程等で生じるからである。よって、ガラスフィルムの表面を未研磨とすれば、本来の機械的強度を損ない難くなり、ガラスフィルムが破壊し難くなる。また、研磨工程を省略し得るため、ガラスフィルムの製造コストを低廉化することができる。なお、両表面の有効面全体を未研磨の表面とすれば、ガラスフィルムが更に破壊し難くなる。   The glass film preferably has an unpolished surface. The theoretical strength of glass is inherently very high, but breakage is often caused even by a stress much lower than the theoretical strength. This is because a small defect called Griffith Flow is generated on the surface of the glass film in a process after glass molding, such as a polishing process. Therefore, if the surface of the glass film is unpolished, the original mechanical strength is hardly impaired, and the glass film is difficult to break. Moreover, since a grinding | polishing process can be skipped, the manufacturing cost of a glass film can be reduced. If the entire effective surface of both surfaces is an unpolished surface, the glass film is more difficult to break.

ガラスフィルムの幅寸法は、好ましくは500mm以上、600mm以上、800mm以上、1000mm以上、1200mm以上、1500mm以上、特に2000mm以上である。このようにすれば、光学結像部材を大型化し易くなる。一方、ガラスフィルムの幅寸法が大き過ぎると、反射膜が形成された面に直交する方向にガラス積層体を切断し難くなる。よって、ガラスフィルムの幅寸法は、好ましくは3500mm以下、3200mm以下、特に3000mm以下である。   The width dimension of the glass film is preferably 500 mm or more, 600 mm or more, 800 mm or more, 1000 mm or more, 1200 mm or more, 1500 mm or more, particularly 2000 mm or more. If it does in this way, it will become easy to enlarge an optical image formation member. On the other hand, if the width dimension of the glass film is too large, it is difficult to cut the glass laminate in a direction perpendicular to the surface on which the reflective film is formed. Therefore, the width dimension of the glass film is preferably 3500 mm or less, 3200 mm or less, particularly 3000 mm or less.

ガラスフィルムの形状は、正方形に近いほど好ましい。この理由は、少なくとも1枚のガラスフィルムが、他のガラスフィルムと板引き方向が直交するように反射膜付きガラスフィルムを積層する際に、ガラスフィルムが正方形に近いほど廃棄する部分が少なくなり、歩留まりが良くなるためである。ガラスフィルムの形状は、具体的には縦横比(L/W)が1.3以下、1.27以下、1.25以下、1.2以下、1.15以下、1.10以下、1.05以下、特に1.03以下とすることが好ましい。   The shape of the glass film is preferably as close to a square as possible. The reason for this is that when laminating a glass film with a reflective film so that at least one glass film and the other glass film are perpendicular to the drawing direction, the closer the glass film is to a square, the fewer parts to be discarded, This is because the yield is improved. Specifically, the glass film has an aspect ratio (L / W) of 1.3 or less, 1.27 or less, 1.25 or less, 1.2 or less, 1.15 or less, 1.10 or less. It is preferably set to 05 or less, particularly 1.03 or less.

ガラスフィルムのクラック発生率は、好ましくは70%以下、50%以下、40%以下、30%以下、特に20%以下である。このようにすれば、ガラス積層体が破損し難くなる。ここで、「クラック発生率」は、湿度30%、温度25℃に保持された恒温恒湿槽内において、荷重1000gに設定したビッカース圧子をガラス表面(光学研磨相当面)に15秒間打ち込み、その15秒後に圧痕の4隅から発生するクラックの数をカウント(1つの圧痕につき最大4とする)し、この操作を20回繰り返し(即ち、圧子を20回打ち込み)、総クラック数を計数した後、総クラック発生数/80にて得られた値を指す。   The crack occurrence rate of the glass film is preferably 70% or less, 50% or less, 40% or less, 30% or less, particularly 20% or less. If it does in this way, it will become difficult to break a glass layered product. Here, the “crack occurrence rate” is a constant temperature and humidity chamber maintained at a humidity of 30% and a temperature of 25 ° C., and a Vickers indenter set at a load of 1000 g is driven into the glass surface (optical polishing equivalent surface) for 15 seconds. After counting the number of cracks generated from the four corners of the indentation after 15 seconds (maximum 4 per indentation), this operation was repeated 20 times (that is, the indenter was driven 20 times), and the total number of cracks was counted The value obtained by the total number of cracks / 80.

ガラスフィルムの液相温度は、好ましくは1200℃以下、1150℃以下、1130℃以下、1110℃以下、1090℃以下、特に1070℃以下である。ガラスフィルムの液相粘度は、好ましくは105.0dPa・s以上、105.6dPa・s以上、105.8dPa・s以上、特に106.0dPa・s以上である。このようにすれば、成形時にガラスが失透し難くなる。なお、「液相温度」は、標準篩30メッシュ(500μm)を通過し、50メッシュ(300μm)に残るガラス粉末を白金ボートに入れ、温度勾配炉中に24時間保持して、結晶の析出する温度を測定した値を指す。「液相粘度」は、液相温度におけるガラスの粘度を白金球引き上げ法で測定した値を指す。 The liquidus temperature of the glass film is preferably 1200 ° C. or lower, 1150 ° C. or lower, 1130 ° C. or lower, 1110 ° C. or lower, 1090 ° C. or lower, particularly 1070 ° C. or lower. The liquid phase viscosity of the glass film is preferably 10 5.0 dPa · s or more, 10 5.6 dPa · s or more, 10 5.8 dPa · s or more, particularly 10 6.0 dPa · s or more. If it does in this way, it will become difficult to devitrify glass at the time of fabrication. The “liquid phase temperature” is obtained by passing the standard sieve 30 mesh (500 μm) and putting the glass powder remaining in 50 mesh (300 μm) into a platinum boat and holding it in a temperature gradient furnace for 24 hours to precipitate crystals. Refers to the value measured temperature. “Liquid phase viscosity” refers to a value obtained by measuring the viscosity of glass at the liquid phase temperature by a platinum ball pulling method.

ガラスフィルムのヤング率は、好ましくは65GPa以上、67GPa以上、68GPa以上、69GPa以上、70GPa以上、71GPa以上、72GPa以上、特に75GPa以上である。このようにすれば、ガラスフィルムの表面に反射膜を形成した後に、ガラスフィルムが反り難くなり、結果として、反射膜の間隔がばらつき難くなり、高解像度の結像を得易くなる。なお、「ヤング率」は、共振法により測定した値を指す。   The Young's modulus of the glass film is preferably 65 GPa or more, 67 GPa or more, 68 GPa or more, 69 GPa or more, 70 GPa or more, 71 GPa or more, 72 GPa or more, particularly 75 GPa or more. If it does in this way, after forming a reflecting film in the surface of a glass film, a glass film becomes difficult to warp, As a result, the space | interval of a reflecting film becomes difficult to fluctuate and it becomes easy to obtain high-resolution imaging. “Young's modulus” refers to a value measured by a resonance method.

ガラスフィルムの密度は、好ましくは2.7g/cm以下、2.6g/cm以下、2.5g/cm以下、特に2.4g/cm以下である。このようにすれば、光学結像部材の軽量化を図り易くなる。 The density of the glass film is preferably 2.7 g / cm 3 or less, 2.6 g / cm 3 or less, 2.5 g / cm 3 or less, particularly 2.4 g / cm 3 or less. In this way, it becomes easy to reduce the weight of the optical imaging member.

ガラスフィルムの熱膨張係数は、好ましくは25〜100×10−7/℃、30〜90×10−7/℃、30〜60×10−7/℃、30〜45×10−7/℃、特に30〜40×10−7/℃である。このようにすれば、各種機能膜の熱膨張係数に整合させ易くなる。なお、「熱膨張係数」は、ディラトメーターを用いて、30〜380℃における平均熱膨張係数を測定した値を指し、熱膨張係数の測定用試料として、端面にR加工を施したφ5mm×20mmの円柱状の試料を用いる。 The thermal expansion coefficient of the glass film is preferably 25 to 100 × 10 −7 / ° C., 30 to 90 × 10 −7 / ° C., 30 to 60 × 10 −7 / ° C., 30 to 45 × 10 −7 / ° C., In particular, it is 30 to 40 × 10 −7 / ° C. If it does in this way, it will become easy to match with the thermal expansion coefficient of various functional films. “Thermal expansion coefficient” refers to a value obtained by measuring an average thermal expansion coefficient at 30 to 380 ° C. using a dilatometer. As a sample for measuring the thermal expansion coefficient, φ5 mm × with end-face processed R A 20 mm cylindrical sample is used.

ガラスフィルムの歪点は、好ましくは600℃以上、特に630℃以上である。このようにすれば、耐熱性を高め易くなる。なお、「歪点」は、ASTM C336−71の方法に基づいて測定した値を指す。   The strain point of the glass film is preferably 600 ° C. or higher, particularly 630 ° C. or higher. If it does in this way, it will become easy to improve heat resistance. The “strain point” refers to a value measured based on the method of ASTM C336-71.

ガラスフィルムの厚み500μm換算、波長300nmにおける透過率は、好ましくは30%以上、50%以上、70%以上、80%以上、85%以上、特に89%以上である。また厚み500μm換算、波長350nmにおける透過率は、好ましくは50%以上、70%以上、80%以上、85%以上、89%以上、90%以上、特に91%以上である。また厚み500μm換算、波長550nmにおける透過率は、85%以上、89%以上、90%以上、特に91%以上である。このようにすれば、光学結合部材等に適用した場合、光が反射を繰り返しながら透過する際に、光の損失が低減されて、高解像度の結像を得易くなる。   The transmittance of the glass film in terms of a thickness of 500 μm and a wavelength of 300 nm is preferably 30% or more, 50% or more, 70% or more, 80% or more, 85% or more, particularly 89% or more. The transmittance at a thickness of 500 μm and a wavelength of 350 nm is preferably 50% or more, 70% or more, 80% or more, 85% or more, 89% or more, 90% or more, particularly 91% or more. Moreover, the transmittance | permeability in thickness 500micrometer conversion and wavelength 550nm is 85% or more, 89% or more, 90% or more, especially 91% or more. In this way, when applied to an optical coupling member or the like, when light is transmitted while being repeatedly reflected, the loss of light is reduced, and high-resolution imaging is easily obtained.

ガラスフィルムのHazeは、好ましくは10%以下、5%以下、3%以下、1%以下、0.5%以下、特に0.3%以下である。このようにすれば、表面での拡散反射を低減することが可能になり、光学結合部材等に適用した場合、光が反射を繰り返しながら透過する際に、光の損失が低減されて、高解像度の結像を得易くなる。なお、「Haze」は、市販のHazeメーターで測定可能である。   The haze of the glass film is preferably 10% or less, 5% or less, 3% or less, 1% or less, 0.5% or less, particularly 0.3% or less. In this way, it becomes possible to reduce the diffuse reflection on the surface, and when applied to an optical coupling member or the like, the light loss is reduced when light is transmitted while repeating reflection, and high resolution is achieved. This makes it easy to obtain the image. Note that “Haze” can be measured with a commercially available Haze meter.

ガラスフィルムは、ガラス組成として、質量%で、SiO 35〜80%、Al 0〜20%、B 0〜17%、MgO 0〜10%、CaO 0〜15%、SrO 0〜15%、BaO 0〜30%を含有することが好ましい。上記のように、各成分の含有範囲を限定した理由を下記に示す。なお、ガラス組成に関する説明において、%表示は、質量%を指す。 Glass films, as a glass composition, in mass%, SiO 2 35~80%, Al 2 O 3 0~20%, B 2 O 3 0~17%, 0~10% MgO, CaO 0~15%, SrO It is preferable to contain 0 to 15% and BaO 0 to 30%. The reason for limiting the content range of each component as described above is shown below. In addition, in description regarding a glass composition,% display points out the mass%.

SiOの含有量は35〜80%が好ましい。SiOの含有量が多過ぎると、溶融性、成形性が低下し易くなる。よって、SiOの含有量は、好ましくは75%以下、64%以下、62%以下、特に61%以下である。一方、SiOの含有量が少な過ぎると、ガラス網目構造を形成し難くなって、ガラス化が困難になったり、クラックの発生率が高くなったり、耐酸性が低下し易くなる。よって、SiOの含有量は、好ましくは40%以上、50%以上、55%以上、特に57%以上である。 The content of SiO 2 is preferably 35 to 80%. When the content of SiO 2 is too large, the melting property, the moldability tends to decrease. Therefore, the content of SiO 2 is preferably 75% or less, 64% or less, 62% or less, and particularly 61% or less. On the other hand, if the content of SiO 2 is too small, it becomes difficult to form a glass network structure, and vitrification becomes difficult, the rate of occurrence of cracks increases, and acid resistance tends to decrease. Therefore, the content of SiO 2 is preferably 40% or more, 50% or more, 55% or more, particularly 57% or more.

Alの含有量は0〜20%が好ましい。Alの含有量が多過ぎると、ガラスに失透結晶が析出して、液相粘度が低下し易くなる。Alの含有量は、好ましくは18%以下、17.5%以下、特に17%以下である。一方、Alの含有量が少な過ぎると、歪点、ヤング率が低下し易くなる。よって、Alの含有量は、好ましくは3%以上、5%以上、8.5%以上、10%以上、12%以上、13%以上、13.5%以上、14%以上、特に14.5%以上である。 The content of Al 2 O 3 is preferably 0 to 20%. When the content of Al 2 O 3 is too large, devitrification crystal glass is precipitated, the liquid phase viscosity tends to decrease. The content of Al 2 O 3 is preferably 18% or less, 17.5% or less, particularly 17% or less. On the other hand, when the content of Al 2 O 3 is too small, the strain point, the Young's modulus tends to decrease. Therefore, the content of Al 2 O 3 is preferably 3% or more, 5% or more, 8.5% or more, 10% or more, 12% or more, 13% or more, 13.5% or more, 14% or more, particularly 14.5% or more.

の含有量は0〜17%が好ましい。Bの含有量が多過ぎると、歪点、ヤング率、耐酸性が低下し易くなる。よって、Bの含有量は、好ましくは15%以下、13%以下、12%以下、11%以下、特に10.4%以下である。一方、Bの含有量が少な過ぎると、高温粘度が高くなって、溶融性が低下したり、クラック発生率が上昇したり、液相温度が高くなったり、密度が高くなり易い。よって、Bの含有量は、好ましくは2%以上、3%以上、4%以上、5%以上、7%以上、8.5%以上、8.8%以上、特に9%以上である。 The content of B 2 O 3 is preferably 0 to 17%. When the content of B 2 O 3 is too large, the strain point, the Young's modulus, acid resistance tends to decrease. Therefore, the content of B 2 O 3 is preferably 15% or less, 13% or less, 12% or less, 11% or less, particularly 10.4% or less. On the other hand, when the content of B 2 O 3 is too small, the high-temperature viscosity becomes high, the meltability is lowered, the crack generation rate is increased, the liquidus temperature is increased, and the density is easily increased. Therefore, the content of B 2 O 3 is preferably 2% or more, 3% or more, 4% or more, 5% or more, 7% or more, 8.5% or more, 8.8% or more, particularly 9% or more. is there.

MgOは、ヤング率、歪点を高めると共に、高温粘度、クラック発生率を低下させる成分である。しかし、MgOの含有量が多過ぎると、液相温度が上昇して、耐失透性が低下し易くなることに加えて、耐BHF性が低下し易くなる。よって、MgOの含有量は、好ましくは10%以下、5%以下、3%以下、2%以下、1.5%以下、1%以下、特に0.5%以下である。   MgO is a component that increases the Young's modulus and strain point and decreases the high-temperature viscosity and crack generation rate. However, if the content of MgO is too large, the liquidus temperature rises and the devitrification resistance tends to decrease, and in addition, the BHF resistance tends to decrease. Therefore, the content of MgO is preferably 10% or less, 5% or less, 3% or less, 2% or less, 1.5% or less, 1% or less, particularly 0.5% or less.

CaOの含有量は0〜15%が好ましい。CaOの含有量が多過ぎると、密度、熱膨張係数が高くなり易い。よって、CaOの含有量は、好ましくは12%以下、10%以下、9%以下、特に8.5%以下である。一方、CaOの含有量が少な過ぎると、溶融性、ヤング率が低下し易くなる。よって、CaOの含有量は、好ましくは2%以上、3%以上、5%以上、6%以上、7%以上、特に7.5%以上である。   The content of CaO is preferably 0 to 15%. When there is too much content of CaO, a density and a thermal expansion coefficient will become high easily. Therefore, the content of CaO is preferably 12% or less, 10% or less, 9% or less, and particularly 8.5% or less. On the other hand, when there is too little content of CaO, a meltability and a Young's modulus will fall easily. Therefore, the CaO content is preferably 2% or more, 3% or more, 5% or more, 6% or more, 7% or more, particularly 7.5% or more.

SrOの含有量は0〜15%が好ましい。SrOの含有量が多過ぎると、密度、熱膨張係数が高くなり易い。よって、SrOの含有量は、好ましくは12%以下、10%以下、6%以下、5%以下、特に6.5%以下である。一方、SrOの含有量が少な過ぎると、溶融性、耐薬品性が低下し易くなる。よって、SrOの含有量は、好ましくは0.5%以上、1%以上、2%以上、3%以上、特に3.5%以上である。   The content of SrO is preferably 0 to 15%. When there is too much content of SrO, a density and a thermal expansion coefficient will become high easily. Therefore, the content of SrO is preferably 12% or less, 10% or less, 6% or less, 5% or less, and particularly 6.5% or less. On the other hand, when there is too little content of SrO, a meltability and chemical resistance will fall easily. Therefore, the content of SrO is preferably 0.5% or more, 1% or more, 2% or more, 3% or more, particularly 3.5% or more.

BaOの含有量が多過ぎると、密度、熱膨張係数が高くなり易い。よって、BaOの含有量は、好ましくは30%以下、25%以下、20%以下、15%以下、10%以下、5%以下、2%以下、1%以下、特に0.5%以下である。   When there is too much content of BaO, a density and a thermal expansion coefficient will become high easily. Therefore, the content of BaO is preferably 30% or less, 25% or less, 20% or less, 15% or less, 10% or less, 5% or less, 2% or less, 1% or less, particularly 0.5% or less. .

MgO、CaO、SrO、BaOの各成分を複数導入すると、液相温度が低下して、ガラス中に結晶異物が発生し難くなる。一方、これらの成分の合量が少な過ぎると、融剤としての働きを十分に発揮できず、溶融性が低下し易くなる。よって、これらの成分の合量は、好ましくは5%以上、8%以上、9%以上、11%以上、特に13%以上である。一方、これらの成分の合量が多過ぎると、密度が上昇し、ガラスの軽量化が図り難くなることに加えて、クラック発生率が高くなる傾向がある。よって、これらの成分の合量は、好ましくは30%以下、20%以下、18%以下、特に15%以下である。特に、ガラスフィルムの低密度化を優先したい場合、これらの成分の合量は、好ましくは5%以上、特に8%以上であり、また13%以下、11%以下、特に10%以下である。   When a plurality of MgO, CaO, SrO, and BaO components are introduced, the liquidus temperature is lowered, and it is difficult for crystal foreign matter to be generated in the glass. On the other hand, if the total amount of these components is too small, the function as a flux cannot be sufficiently exhibited, and the meltability tends to be lowered. Therefore, the total amount of these components is preferably 5% or more, 8% or more, 9% or more, 11% or more, particularly 13% or more. On the other hand, if the total amount of these components is too large, the density increases and it becomes difficult to reduce the weight of the glass, and the crack generation rate tends to increase. Therefore, the total amount of these components is preferably 30% or less, 20% or less, 18% or less, and particularly 15% or less. In particular, when priority is given to lowering the density of the glass film, the total amount of these components is preferably 5% or more, particularly 8% or more, and 13% or less, 11% or less, particularly 10% or less.

ZnOは、溶融性、ヤング率を高める成分である。しかし、ZnOの含有量が多過ぎると、ガラスが失透したり、歪点が低下したり、密度が上昇し易くなる。よって、ZnOの含有量は、好ましくは15%以下、10%以下、5%以下、3%以下、1%以下、特に0.5%以下である。   ZnO is a component that increases meltability and Young's modulus. However, when the content of ZnO is too large, the glass is devitrified, the strain point is lowered, and the density is easily increased. Therefore, the content of ZnO is preferably 15% or less, 10% or less, 5% or less, 3% or less, 1% or less, particularly 0.5% or less.

ZrOは、ヤング率を高める成分である。しかし、ZrOの含有量が多過ぎると、液相温度が上昇し、ジルコンの失透異物が発生し易くなる。よって、ZrOの含有量は、好ましくは3%以下、1%以下、0.5%以下、特に0.1%以下である。 ZrO 2 is a component that increases the Young's modulus. However, when the content of ZrO 2 is too large, the liquidus temperature rises and zircon devitrification foreign matter is likely to be generated. Therefore, the content of ZrO 2 is preferably 3% or less, 1% or less, 0.5% or less, particularly 0.1% or less.

Feの上限含有量は、好ましくは1000ppm(0.1%)以下、800ppm以下、300ppm以下、200ppm以下、130ppm以下、100ppm以下、80ppm以下、60ppm以下、40ppm以下、30ppm以下、20ppm以下、特に10ppm以下であり、下限含有量は、好ましくは1ppm以上、特に3ppm以上である。Feの含有量が少ない程、透過率が高くなるため、光学結合部材等に適用した場合、光が反射を繰り返しながら透過する際に、光の損失が低減されて、高解像度の結像を得易くなる。なお、Feの含有量を低減するためには、高純度の原料を使用することが好ましい。 The upper limit content of Fe 2 O 3 is preferably 1000 ppm (0.1%) or less, 800 ppm or less, 300 ppm or less, 200 ppm or less, 130 ppm or less, 100 ppm or less, 80 ppm or less, 60 ppm or less, 40 ppm or less, 30 ppm or less, 20 ppm or less The lower limit content is preferably 1 ppm or more, particularly 3 ppm or more. The lower the Fe 2 O 3 content, the higher the transmittance. Therefore, when it is applied to an optical coupling member or the like, the light loss is reduced when light is transmitted while repeating reflection, and high resolution results are obtained. It becomes easy to obtain an image. In order to reduce the content of Fe 2 O 3 , it is preferable to use a high-purity raw material.

、Nb、Laは、歪点、ヤング率等を高める成分である。しかし、これらの成分の含有量が多過ぎると、密度が高くなり易い。よって、Y、Nb、Laの含有量は、それぞれ3%以下が好ましい。 Y 2 O 3 , Nb 2 O 3 , and La 2 O 3 are components that increase the strain point, Young's modulus, and the like. However, if the content of these components is too large, the density tends to increase. Therefore, the content of Y 2 O 3 , Nb 2 O 3 and La 2 O 3 is preferably 3% or less.

清澄剤として、As、Sb、CeO、SnO、F、Cl、SOの群から選択された一種又は二種以上を0〜3%添加してもよい。但し、As、Sb及びF、特にAs及びSbは、環境的観点から、その使用を極力控えることが好ましく、各々の含有量を0.1%未満に制限することが好ましい。好ましい清澄剤は、SnO、SO及びClである。SnOの含有量は、好ましくは0〜1%、0.01〜0.5%、特に0.05〜0.4%である。また、SnO+SO+Cl(SnO、SO及びClの合量)の含有量は、好ましくは0.001〜1%、0.01〜0.5%、特に0.01〜0.3%である。 As a fining agent, As 2 O 3, Sb 2 O 3, CeO 2, SnO 2, F, Cl, selected from the group of SO 3 was one or two or more may be added 0-3%. However, As 2 O 3 , Sb 2 O 3 and F, especially As 2 O 3 and Sb 2 O 3 are preferably refrained from use as much as possible from an environmental point of view, and each content is less than 0.1%. It is preferable to limit to. Preferred fining agents are SnO 2, SO 3 and Cl. The content of SnO 2 is preferably 0 to 1%, 0.01 to 0.5%, particularly 0.05 to 0.4%. Further, the content of SnO 2 + SO 3 + Cl (total amount of SnO 2 , SO 3 and Cl) is preferably 0.001 to 1%, 0.01 to 0.5%, particularly 0.01 to 0.3. %.

上記成分以外にも、他の成分を添加してもよく、他の成分の含有量は10%以下、特に5%以下が好ましい。   In addition to the above components, other components may be added, and the content of other components is preferably 10% or less, particularly preferably 5% or less.

本発明のガラス積層体は、その主要な構成材料として反射膜を含む。反射膜は、ガラスフィルムの表面に形成される。   The glass laminate of the present invention includes a reflective film as its main constituent material. The reflective film is formed on the surface of the glass film.

反射膜は、種々の材料が使用可能であるが、その中でも、高解像度の結像を得る観点からAl又はAgが好ましい。   Various materials can be used for the reflective film, and among these, Al or Ag is preferable from the viewpoint of obtaining a high-resolution image.

ガラスフィルムの表面に反射膜を形成する方法として、種々の方法があり、例えば、蒸着、スパッタ、めっき等が挙げられる。特に、成膜効率の観点から、スパッタで反射膜を形成することが好ましい。   There are various methods for forming the reflective film on the surface of the glass film, and examples thereof include vapor deposition, sputtering, and plating. In particular, from the viewpoint of film formation efficiency, it is preferable to form the reflective film by sputtering.

スパッタ、蒸着により形成した反射膜(特にAlの反射膜)を電解研磨することが好ましい。このようにすれば、反射膜の正反射率が向上して、結像される像の画質を高めることができる。   It is preferable to electrolytically polish a reflective film (particularly an Al reflective film) formed by sputtering or vapor deposition. In this way, the regular reflectance of the reflective film is improved, and the image quality of the image formed can be improved.

ガラスフィルムの表面に反射膜を形成する他の方法として、反射膜付き樹脂フィルムを貼り付ける方法を採用することもできる。このようにすれば、反射膜の形成コストを低減することができる。   As another method of forming a reflective film on the surface of the glass film, a method of attaching a resin film with a reflective film can be employed. In this way, the formation cost of the reflective film can be reduced.

ガラスフィルムの表面に反射膜を形成する他の方法として、Alペースト、Agペースト等の金属ペーストを塗布、乾燥した後、得られたガラスフィルムを積層、焼成する方法を採用することもできる。この方法においては、金属ペーストにガラスフリットが含まれることが好ましい。このようにすれば、ガラスフィルム同士の固着と反射膜の形成を同時焼成によって行うことができる。   As another method of forming a reflective film on the surface of the glass film, a method of laminating and baking the obtained glass film after applying and drying a metal paste such as an Al paste or an Ag paste can be employed. In this method, the metal paste preferably contains glass frit. If it does in this way, fixation of glass films and formation of a reflecting film can be performed by simultaneous baking.

また上記各種の方法で形成した反射膜を保護する目的で、反射膜上にSiO膜等の保護膜を設けることができる。 Further, for the purpose of protecting the reflective film formed by the above various methods, a protective film such as a SiO 2 film can be provided on the reflective film.

本発明のガラス積層体は、ガラスフィルムと反射膜とが交互に積層されてなる。ガラスフィルムと反射膜とを交互に積層する方法としては、少なくとも一方の表面に反射膜が形成されたガラスフィルムを積層することが好ましい。このようにすれば、ガラス積層体の製造コストを低廉化し易くなる。特に成膜効率の観点から、一方の表面のみに反射膜が形成されたガラスフィルムを、ガラスフィルムと反射膜とが交互に配置されるように積層することが更に好ましい。なおこれ以外にも、両方の表面に反射膜が形成されたガラスフィルムと、反射膜が形成されていないガラスフィルムとを交互に積層する方法や、両方の表面に反射膜が形成されたガラスフィルムと、一方の面に反射膜が形成されたガラスフィルムと、反射膜が形成されていないガラスフィルムとを、ガラスフィルムと反射膜とが交互に配置されるように適宜組み合わせて積層する方法等を採用してもよい。   The glass laminate of the present invention is formed by alternately laminating glass films and reflection films. As a method of alternately laminating a glass film and a reflective film, it is preferable to laminate a glass film having a reflective film formed on at least one surface. If it does in this way, it will become easy to reduce the manufacturing cost of a glass laminated body. In particular, from the viewpoint of film formation efficiency, it is more preferable to laminate a glass film having a reflective film formed only on one surface so that the glass film and the reflective film are alternately arranged. In addition to this, a method of alternately laminating a glass film having a reflective film on both surfaces and a glass film having no reflective film, or a glass film having a reflective film formed on both surfaces And a method of laminating a glass film having a reflective film formed on one surface and a glass film having no reflective film in an appropriate combination so that the glass film and the reflective film are alternately arranged. It may be adopted.

本発明のガラス積層体は、少なくとも1枚のガラスフィルムが、他のガラスフィルムと板引き方向が直交する状態で積層されてなる。本発明のガラス積層体は、例えば複数枚毎に或いはランダムな枚数毎に、板引き方向が異なるように積層されていてもよいが、理想的には隣り合うガラスフィルム同士のすべてが、板引き方向が互いに直交するように積層されていることが望ましい。またガラス積層体は、板引き方向が同じ一群のガラスフィルムと、これとは板引き方向が異なる別の一群のガラスフィルムとの割合が枚数比で1:3〜3:1、特に1:2〜2:1であることが好ましい。この枚数比が1:1に近いほど、全てのガラスフィルムを互いに平行な状態で積層させることが容易になり、反射面の面間隔の均一性を高めることができる。   The glass laminate of the present invention is formed by laminating at least one glass film in a state in which the drawing direction is perpendicular to other glass films. The glass laminate of the present invention may be laminated so that the drawing direction is different, for example, every plurality or every random number, but ideally all adjacent glass films are drawn together. It is desirable that the layers are laminated so that the directions are orthogonal to each other. In the glass laminate, the ratio of a group of glass films having the same drawing direction to another group of glass films having a different drawing direction is 1: 3 to 3: 1, particularly 1: 2. It is preferably ˜2: 1. As this number ratio is closer to 1: 1, it becomes easier to laminate all the glass films in parallel with each other, and the uniformity of the spacing between the reflecting surfaces can be improved.

少なくとも1枚のガラスフィルムが、他のガラスフィルムと板引き方向が直交する状態となるように積層する方法としては、同一ロットから取り出した反射膜付きガラスフィルムを積層する場合、例えば所定の枚数毎にガラスフィルムの向きを90°回転させて積層すればよい。また板引き方向が互いに異なるロットを併用し、各ロットの反射膜付きガラスフィルムを交互に使用して積層する方法を採用することもできる。   As a method of laminating at least one glass film so that the drawing direction is orthogonal to other glass films, when laminating glass films with a reflective film taken out from the same lot, for example, every predetermined number of sheets The glass film may be laminated by rotating the direction of the glass film by 90 °. Moreover, it is also possible to employ a method in which lots having different drawing directions are used in combination, and the glass films with reflection films of each lot are alternately used for lamination.

本発明のガラス積層体は、ガラスフィルムの積層数が好ましくは100層以上、200層以上、300層以上、400層以上、500層以上、600層以上、特に700層以上であることが好ましい。ガラスフィルムの層数が多いほど、大型の光学結像部材を作製し易くなる。またガラスフィルム間に配置される反射膜の層数は、実質的にガラスフィルムの積層数と実質的に同じである。なお積層体の両最外層が反射膜となるようにすれば、反射膜の層数はガラスフィルムの層数より1層多くなり、反対に積層体の両最外層がガラスフィルムとなるようにすれば、反射膜の層数はガラスフィルムの層数より1層少なくなる。   In the glass laminate of the present invention, the number of laminated glass films is preferably 100 or more, 200 or more, 300 or more, 400 or more, 500 or more, 600 or more, particularly 700 or more. The larger the number of glass film layers, the easier it is to produce a large optical imaging member. Further, the number of layers of the reflective film disposed between the glass films is substantially the same as the number of laminated glass films. If both outermost layers of the laminate are made to be reflective films, the number of layers of the reflective film is one more than the number of layers of the glass film, and conversely, both outermost layers of the laminate are made to be glass films. For example, the number of layers of the reflective film is one less than the number of layers of the glass film.

本発明のガラス積層体は、反射膜付きガラスフィルム同士、或いは反射膜付きガラスフィルムと反射膜のないガラスフィルムとが接着剤により積層一体化されていることが好ましい。つまりガラス積層体は、積層一体化のための接着層を有していることが好ましい。このようにすれば、反射膜付きガラスフィルム同士、或いは反射膜付きガラスフィルムとガラスフィルムとを強固に積層一体化することができる。また、接着層の厚みは、好ましくは100μm以下、70μm以下、50μm以下、40μm以下、特に30μm以下である。このようにすれば、反射膜の間隔を狭小化し易くなる。なお、接着剤として、種々の材料が使用可能であるが、OCA、セメダイン等の透明接着剤が好ましい。   In the glass laminate of the present invention, it is preferable that glass films with a reflective film or glass films with a reflective film and a glass film without a reflective film are laminated and integrated with an adhesive. That is, the glass laminate preferably has an adhesive layer for stacking integration. If it does in this way, glass films with a reflecting film or a glass film with a reflecting film and a glass film can be firmly laminated and integrated. Further, the thickness of the adhesive layer is preferably 100 μm or less, 70 μm or less, 50 μm or less, 40 μm or less, particularly 30 μm or less. If it does in this way, it will become easy to narrow the space | interval of a reflecting film. Although various materials can be used as the adhesive, transparent adhesives such as OCA and cemedine are preferred.

接着層の屈折率ndは、ガラス積層体中のガラスフィルムの屈折率と整合していることが好ましい。ガラスフィルムと接着層の屈折率nd差は、好ましくは0.2以下、0.15以下、0.12以下、0.1以下、0.08以下、0.05以下、0.02以下、0.01以下、0.008以下、特に0.005以下である。これにより、ガラス積層体の接着層側の表面を研磨しなくても、ガラス積層体と接着層の界面での拡散反射を低減することができる。結果として、光学結像部材の製造コストを大幅に低減することができる。なお、屈折率ndは、精密屈折率計により測定可能である。   The refractive index nd of the adhesive layer is preferably matched with the refractive index of the glass film in the glass laminate. The refractive index nd difference between the glass film and the adhesive layer is preferably 0.2 or less, 0.15 or less, 0.12 or less, 0.1 or less, 0.08 or less, 0.05 or less, 0.02 or less, 0 .01 or less, 0.008 or less, and particularly 0.005 or less. Thereby, the diffuse reflection at the interface between the glass laminate and the adhesive layer can be reduced without polishing the surface of the glass laminate on the adhesive layer side. As a result, the manufacturing cost of the optical imaging member can be significantly reduced. The refractive index nd can be measured with a precision refractometer.

接着層を構成する接着剤として、EVA樹脂(エチレン−酢酸ビニル共重合樹脂)が好ましい。接着層は、ガラスフィルムの表面に反射膜を形成した後に接着剤を塗布することによって形成することが好ましい。接着層の厚みは、好ましくは0.5mm以下、0.4mm以下、0.3mm以下、0.2mm以下、0.1mm以下、0.05mm以下、特に0.03mm以下である。これにより、高解像度の結像を得易くなる。   As an adhesive constituting the adhesive layer, EVA resin (ethylene-vinyl acetate copolymer resin) is preferable. The adhesive layer is preferably formed by applying an adhesive after forming a reflective film on the surface of the glass film. The thickness of the adhesive layer is preferably 0.5 mm or less, 0.4 mm or less, 0.3 mm or less, 0.2 mm or less, 0.1 mm or less, 0.05 mm or less, particularly 0.03 mm or less. This makes it easy to obtain high resolution imaging.

EVA樹脂層等の接着層を形成するに際し、加熱することが好ましく、加熱温度は、好ましくは50℃以上、70℃以上、90℃以上、100℃以上、特に110〜250℃である。これにより、EVA樹脂層の形成時間を短縮することができる。また、加熱時の圧力は、好ましくは700torr以下、70torr以下、10torr以下、1torr以下、0.1torr以下、特に0.01torr以下である。これにより、EVA接着層の界面での発泡を抑制することができる。   In forming an adhesive layer such as an EVA resin layer, heating is preferably performed, and the heating temperature is preferably 50 ° C. or higher, 70 ° C. or higher, 90 ° C. or higher, 100 ° C. or higher, particularly 110 to 250 ° C. Thereby, the formation time of the EVA resin layer can be shortened. The heating pressure is preferably 700 torr or less, 70 torr or less, 10 torr or less, 1 torr or less, 0.1 torr or less, particularly 0.01 torr or less. Thereby, foaming at the interface of the EVA adhesive layer can be suppressed.

ガラス積層体を一体化する方法として、接着層を設けることなくガラス積層体を作製する方法を採用することもできる。例えばガラスフィルム等を重ね合わせた状態で熱処理する方法が考えられる。この方法では、接着層が不要になるため、反射膜の間隔を狭小化し易くなる。なお、隣り合う表面同士が平滑であれば、低温(250℃程度)で積層一体化を行うことができる。   As a method for integrating the glass laminate, a method for producing a glass laminate without providing an adhesive layer may be employed. For example, a method in which heat treatment is performed in a state where glass films or the like are superposed is conceivable. This method eliminates the need for an adhesive layer, so that it is easy to reduce the interval between the reflective films. If adjacent surfaces are smooth, stacking and integration can be performed at a low temperature (about 250 ° C.).

ガラス積層体は短冊状であることが好ましい。短冊状のガラス積層体を作製する方法として、例えばより大きなガラス積層体(ガラス積層体母材)から、反射膜面と直交する方向に切断する方法を採用することが好ましい。この方法によれば、多数の短冊状ガラス積層体を効率良く作製することができる。切断方法は、種々の方法を使用可能であるが、作業性の点でワイヤーを用いて切断する方法を採用することが好ましく、例えば、直径100μm程度のワイヤーに研磨砥粒を混ぜて切断することが好ましい。なお、光学結像部材の作製に必要な一対の短冊状ガラス積層体を同一のガラス積層体母材から採取してもよいが、それぞれ別のガラス積層体母材から作製しても差し支えない。   The glass laminate is preferably strip-shaped. As a method for producing a strip-shaped glass laminate, it is preferable to employ a method of cutting, for example, from a larger glass laminate (glass laminate base material) in a direction perpendicular to the reflective film surface. According to this method, a large number of strip-shaped glass laminates can be produced efficiently. Although various methods can be used as the cutting method, it is preferable to adopt a method of cutting using a wire from the viewpoint of workability. For example, a wire having a diameter of about 100 μm is mixed with abrasive grains and cut. Is preferred. In addition, although a pair of strip glass laminated body required for preparation of an optical image formation member may be extract | collected from the same glass laminated body base material, it does not interfere even if it produces from a different glass laminated body base material, respectively.

本発明の光学結像部材は、一対のガラス積層体を備える光学結像部材であって、一対のガラス積層体のそれぞれが、上記のガラス積層体であり、且つ一対のガラス積層体が、一方のガラス積層体の反射膜面と他方のガラス積層体の反射膜面とが互いに直交するように配置されていることを特徴とする。ここで光学結像部材を構成するガラス積層体は、短冊状ガラス積層体であることが好ましい。このような構成を有する光学結像部材は、一方のガラス積層体の外側面が光の入射面となり、他方のガラス積層体の外側面が光の出射面となる。入射面から入射した光は、入射面側のガラス積層体に設けられた反射膜で反射して進行方向を変え、続いて出射面側のガラス積層体内に進入、反射してさらに進行方向を変える。しかも本発明の光学結像部材は、ガラス積層体同士が直交した状態で配置された2面直交レフレクター構造となっていることから、1度目の入射角と2度目の出射角それぞれの反射角度が等しくなる。このため、本発明の光学結合部材を対象軸として、入射面側の像を出射面側の空間に結像させることができる。   The optical imaging member of the present invention is an optical imaging member comprising a pair of glass laminates, each of the pair of glass laminates being the above glass laminate, and the pair of glass laminates being one The reflective film surface of the glass laminate and the reflective film surface of the other glass laminate are arranged so as to be orthogonal to each other. Here, the glass laminate constituting the optical imaging member is preferably a strip-like glass laminate. In the optical imaging member having such a configuration, the outer surface of one glass laminate is a light incident surface, and the outer surface of the other glass laminate is a light exit surface. Light incident from the incident surface is reflected by the reflecting film provided on the glass laminate on the incident surface side to change the traveling direction, and then enters and reflects in the glass laminate on the exit surface side to further change the traveling direction. . In addition, since the optical imaging member of the present invention has a two-surface orthogonal reflector structure in which the glass laminates are arranged in an orthogonal state, the reflection angles of the first incident angle and the second outgoing angle are respectively. Will be equal. For this reason, the image on the incident surface side can be formed in the space on the exit surface side with the optical coupling member of the present invention as the target axis.

光学結像部材を構成する一対のガラス積層体は、接着剤により接着固定されていることが好ましい。つまり、ガラス積層体間に接着層を有することが好ましい。このようにすれば、一対のガラス積層体を強固に接着固定することができる。また、接着層の厚みは、光学的な影響を最小化するために、好ましくは100μm以下、70μm以下、50μm以下、40μm以下、特に30μm以下である。なお、接着剤として、種々の材料が使用可能であるが、OCA等の透明接着剤が好ましい。   The pair of glass laminates constituting the optical imaging member is preferably bonded and fixed with an adhesive. That is, it is preferable to have an adhesive layer between the glass laminates. In this way, the pair of glass laminates can be firmly bonded and fixed. Further, the thickness of the adhesive layer is preferably 100 μm or less, 70 μm or less, 50 μm or less, 40 μm or less, particularly 30 μm or less in order to minimize the optical influence. In addition, although various materials can be used as the adhesive, a transparent adhesive such as OCA is preferable.

入射面或いは出射面となるガラス積層体の外側面には、さらにガラス板が配置されることが好ましく、ガラス板とガラス積層体とが接着層で接着固定されていることが好ましい。具体的には、ガラス板、接着層、ガラス積層体、接着層、ガラス積層体、接着層、ガラス板の順に積層配置されていることが好ましい。このようにすれば、ガラス積層体の外側面を高精度に研磨する必要がなくなり、光学結像部材の製造コストを大幅に低減することができる。特にガラス積層体をガラス積層体母材から切り出して作製した場合には、ガラス積層体の外側面が切断面となることから、製造コストの削減効果は非常に大きくなる。   It is preferable that a glass plate is further disposed on the outer surface of the glass laminate that becomes the incident surface or the exit surface, and the glass plate and the glass laminate are preferably bonded and fixed by an adhesive layer. Specifically, it is preferable that the glass plate, the adhesive layer, the glass laminate, the adhesive layer, the glass laminate, the adhesive layer, and the glass plate are laminated in this order. In this way, it is not necessary to polish the outer surface of the glass laminate with high accuracy, and the manufacturing cost of the optical imaging member can be greatly reduced. In particular, when the glass laminate is produced by cutting out from the glass laminate base material, the outer side surface of the glass laminate becomes a cut surface, so that the effect of reducing the manufacturing cost becomes very large.

ガラス積層体の外側面の表面粗さRaは、好ましくは0.01μm以上、0.05μm以上、0.1μm以上、0.2μm以上、0.4μm以上、特に0.7μm以上であり、好ましくは3μm以下、2μm以下、1.5μm以下、1.2μm以下、特に1μm以下である。一対のガラス積層体の表面の表面粗さRaが小さ過ぎる場合、この表面の研磨の必要性が高くなり、結果として、光学結像部材の製造コストが高騰する虞がある。一方、一対のガラス積層体の表面の表面粗さRaが大き過ぎると、接着層に空気が混入し易くなる。   The surface roughness Ra of the outer surface of the glass laminate is preferably 0.01 μm or more, 0.05 μm or more, 0.1 μm or more, 0.2 μm or more, 0.4 μm or more, particularly 0.7 μm or more, preferably 3 μm or less, 2 μm or less, 1.5 μm or less, 1.2 μm or less, particularly 1 μm or less. If the surface roughness Ra of the surfaces of the pair of glass laminates is too small, the necessity for polishing the surfaces increases, and as a result, the manufacturing cost of the optical imaging member may increase. On the other hand, if the surface roughness Ra of the surface of the pair of glass laminates is too large, air is easily mixed into the adhesive layer.

接着層の屈折率ndは、ガラス板の屈折率と整合していることが好ましい。ガラス板と接着層の屈折率nd差は、好ましくは0.2以下、0.15以下、0.12以下、0.1以下、0.08以下、0.05以下、0.02以下、0.01以下、0.008以下、特に0.005以下である。これにより、ガラス板と接着層の界面での拡散反射を低減することができる。   The refractive index nd of the adhesive layer is preferably matched with the refractive index of the glass plate. The refractive index nd difference between the glass plate and the adhesive layer is preferably 0.2 or less, 0.15 or less, 0.12 or less, 0.1 or less, 0.08 or less, 0.05 or less, 0.02 or less, 0 .01 or less, 0.008 or less, and particularly 0.005 or less. Thereby, diffuse reflection at the interface between the glass plate and the adhesive layer can be reduced.

接着層の屈折率ndは、好ましくは1.60以下、1.55以下、1.54以下、1.52以下、1.51以下、特に1.50以下であり、好ましくは1.45以上、1.48以上、特に1.49以上である。これにより、ガラスフィルムやガラス板の屈折率に整合させ易くなり、接着層の界面での拡散反射を抑制することができる。   The refractive index nd of the adhesive layer is preferably 1.60 or less, 1.55 or less, 1.54 or less, 1.52 or less, 1.51 or less, particularly 1.50 or less, preferably 1.45 or more, 1.48 or more, particularly 1.49 or more. Thereby, it becomes easy to match the refractive index of a glass film or a glass plate, and diffuse reflection at the interface of the adhesive layer can be suppressed.

ガラス板の表面粗さRaは、好ましくは1.0nm以下、0.8nm以下、0.6nm以下、0.5nm以下、0.4nm以下、0.3nm以下、0.2nm以下、特に0.1nm以下が好ましい。このようにすれば、光学結合部材の機械的強度を高めることができる。   The surface roughness Ra of the glass plate is preferably 1.0 nm or less, 0.8 nm or less, 0.6 nm or less, 0.5 nm or less, 0.4 nm or less, 0.3 nm or less, 0.2 nm or less, particularly 0.1 nm. The following is preferred. If it does in this way, the mechanical strength of an optical coupling member can be raised.

ガラス板は、オーバーフローダウンドロー法により成形されていることが好ましい。このようにすれば、ガラス板の表面精度が向上し、ガラス板の研磨工程を省略することが可能になる。   It is preferable that the glass plate is shape | molded by the overflow downdraw method. If it does in this way, the surface accuracy of a glass plate will improve and it will become possible to omit the grinding process of a glass plate.

ガラス板は、表面に圧縮応力層を有する強化ガラスからなることが好ましい。この場合、圧縮応力層の圧縮応力値は、好ましくは200MPa以上、400MPa以上、600MPa以上、特に800MPa以上であり、応力深さは、好ましくは10μm以上、20μm以上、30μm以上、特に40μm以上である。このようにすれば、光学結像部材の機械的強度を高めることができる。   The glass plate is preferably made of tempered glass having a compressive stress layer on the surface. In this case, the compressive stress value of the compressive stress layer is preferably 200 MPa or more, 400 MPa or more, 600 MPa or more, particularly 800 MPa or more, and the stress depth is preferably 10 μm or more, 20 μm or more, 30 μm or more, particularly 40 μm or more. . In this way, the mechanical strength of the optical imaging member can be increased.

ガラス板は、最外層側(ガラス積層体とは反対側)の表面に反射防止層(反射防止膜)を有することが好ましい。これにより、最外層側の表面の反射が抑制されて、高解像度の結像を得易くなる。   The glass plate preferably has an antireflection layer (antireflection film) on the outermost layer side (opposite side of the glass laminate). Thereby, reflection on the surface on the outermost layer side is suppressed, and it becomes easy to obtain high-resolution imaging.

本発明のガラスフィルムは、は縦横比(L/W)が1.3以下であることを特徴とする。また厚みが3000μm以下であることが好ましい。なお、本発明のガラスフィルムの好適な縦横比、厚み及びその他の技術的特徴は、既述の通りであり、ここでは詳細な説明を省略する。   The glass film of the present invention is characterized in that the aspect ratio (L / W) is 1.3 or less. Moreover, it is preferable that thickness is 3000 micrometers or less. The preferred aspect ratio, thickness and other technical features of the glass film of the present invention are as described above, and detailed description thereof is omitted here.

本発明のガラス積層体の製造方法を説明する。   The manufacturing method of the glass laminated body of this invention is demonstrated.

まず、反射膜とガラスフィルムとが交互に積層された状態となるように反射膜付きガラスフィルムを積層する。積層するに際しては、少なくとも1枚のガラスフィルムが他のガラスフィルムと板引き方向が直交するように反射膜付きガラスフィルムを配置する。ここで使用するガラスフィルムは、厚さが3000μm以下、縦横比が1.3以下であることが好ましい。反射膜付きガラスを積層する方法の詳細は既述の通りであり、ここでは説明を省略する。同様に使用するガラスフィルムの好適な縦横比、厚み及びその他の技術的特徴は既述の通りであり、ここでは詳細な説明を省略する。   First, a glass film with a reflective film is laminated so that the reflective film and the glass film are alternately laminated. When laminating, the glass film with a reflective film is disposed so that at least one glass film is perpendicular to the other glass film in the drawing direction. The glass film used here preferably has a thickness of 3000 μm or less and an aspect ratio of 1.3 or less. The details of the method of laminating the glass with a reflective film are as described above, and the description thereof is omitted here. Similarly, the preferred aspect ratio, thickness and other technical features of the glass film to be used are as described above, and detailed description thereof is omitted here.

さらに反射膜面と直交する方向に切断して、ガラス積層体を短冊状とすることが好ましい。   Further, it is preferable to cut the glass laminate into a strip shape by cutting in a direction perpendicular to the reflective film surface.

このようにして本発明のガラス積層体を得ることができる。   Thus, the glass laminated body of this invention can be obtained.

本発明の光学結像部材の製造方法を説明する。   A method for manufacturing the optical imaging member of the present invention will be described.

まず、既述の方法で作製した一対のガラス積層体を用意する。   First, a pair of glass laminates prepared by the above-described method is prepared.

続いて一方のガラス積層体の反射膜面と他方のガラス積層体の反射膜面とが互いに直交するようにガラス積層体同士を配置し、接着固定等を行う。ガラス積層体同士を接合する方法等は記述の通りであり、ここでは説明を省略する。   Subsequently, the glass laminates are arranged so that the reflection film surface of one glass laminate and the reflection film surface of the other glass laminate are orthogonal to each other, and adhesion fixing or the like is performed. The method of joining the glass laminates is as described, and the description is omitted here.

さらに、ガラス積層体の外側面にガラス板を接着固定してもよい。   Further, a glass plate may be bonded and fixed to the outer surface of the glass laminate.

このようにして本発明の光学結像部材を得ることができる。   In this manner, the optical imaging member of the present invention can be obtained.

次に、本発明のガラス積層体及び光学結像部材の一例について、図面を参酌しながら説明する。図1は、本発明のガラス積層体1の一例を示す概念斜視図である。ガラス積層体1は、ガラスフィルム10と反射膜11が交互に積層一体化されている。ガラスフィルム10の厚みは3000μm以下である。ここで反射膜付きガラスフィルム同士は、図示しない接着層により積層一体化している。なお、図中において、反射膜11の厚みは、誇張して表示されている。   Next, an example of the glass laminate and the optical imaging member of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a conceptual perspective view showing an example of the glass laminate 1 of the present invention. In the glass laminate 1, glass films 10 and reflection films 11 are alternately laminated and integrated. The thickness of the glass film 10 is 3000 micrometers or less. Here, the glass films with reflective films are laminated and integrated by an adhesive layer (not shown). In the drawing, the thickness of the reflective film 11 is exaggerated.

このガラス積層体は、ガラスフィルム10の片面に反射膜11を形成した反射膜付きガラスフィルムを、ガラスフィルム10と反射膜11が交互に配置されるように積層一体化することにより作製される。また反射膜付きガラスフィルムを積層一体化するに際し、図2に示すように、少なくとも1枚のガラスフィルム10aの板引き方向Aが、他のガラスフィルム10bの板引き方向Bと直交する状態となるように積層する。なお、図2は反射膜を省略して図示している。   This glass laminate is produced by laminating and integrating a glass film with a reflective film in which a reflective film 11 is formed on one side of the glass film 10 so that the glass films 10 and the reflective films 11 are alternately arranged. When the glass film with a reflective film is laminated and integrated, as shown in FIG. 2, the drawing direction A of at least one glass film 10a is in a state orthogonal to the drawing direction B of the other glass film 10b. Laminate as follows. In FIG. 2, the reflective film is omitted.

図3は、本発明のガラス積層体2の一例を示す概念斜視図であり、図1に記載のガラス積層体1を反射膜が形成された面に直交する方向に切断して、短冊状のガラス積層体2としたものである。切断幅は、光学結像部材の寸法から適宜決定される。このようにすれば、短冊状ガラス積層体2を効率良く作製することができる。   FIG. 3 is a conceptual perspective view showing an example of the glass laminate 2 of the present invention. The glass laminate 1 shown in FIG. 1 is cut in a direction perpendicular to the surface on which the reflective film is formed, and is formed into a strip shape. This is a glass laminate 2. The cutting width is appropriately determined from the dimensions of the optical imaging member. If it does in this way, the strip-shaped glass laminated body 2 can be produced efficiently.

図4は、本発明の光学結像部材3の一例を示す概念斜視図である。光学結像部材3は、図3に記載の短冊状ガラス積層体2が一対使用されており、一対の短冊状ガラス積層体2は、反射膜13が形成された面同士が直交するように、ガラス積層体2の側面(切断面)同士が、図示しない接着層により接着固定されている。接着層の屈折率は、ガラスフィルム12と整合している。光学結像部材3は、ガラスフィルム12により、反射膜13の間隔が狭小化、且つ均一化されている。   FIG. 4 is a conceptual perspective view showing an example of the optical imaging member 3 of the present invention. The optical imaging member 3 uses a pair of strip-like glass laminates 2 shown in FIG. 3, and the pair of strip-like glass laminates 2 are formed so that the surfaces on which the reflection films 13 are formed are orthogonal to each other. The side surfaces (cut surfaces) of the glass laminate 2 are bonded and fixed by an adhesive layer (not shown). The refractive index of the adhesive layer is consistent with the glass film 12. In the optical imaging member 3, the interval between the reflection films 13 is narrowed and made uniform by the glass film 12.

図5は、本発明の光学結像部材4の一例を示す概念斜視図である。光学結像部材4は、図3に記載の短冊状ガラス積層体2が一対使用されており、一対のガラス積層体2は、一方のガラス積層体の反射膜面と他方のガラス積層体の反射膜面とが互いに直交するように、ガラス積層体2の側面(切断面)同士が、図示しない接着層により接着固定されている。光学結像部材4は、ガラスフィルム15により、反射膜14の間隔が狭小化、且つ均一化されている。ガラス積層体2の入射面側或いは出射面側の表面には、それぞれガラス板16が配置されており、図示しない接着層により接着固定されている。ここで、接着層の屈折率は、ガラスフィルム15と及びガラス板16の屈折率と整合している。   FIG. 5 is a conceptual perspective view showing an example of the optical imaging member 4 of the present invention. The optical imaging member 4 uses a pair of strip-like glass laminates 2 shown in FIG. 3, and the pair of glass laminates 2 is a reflection film surface of one glass laminate and a reflection of the other glass laminate. The side surfaces (cut surfaces) of the glass laminate 2 are bonded and fixed by an adhesive layer (not shown) so that the film surfaces are orthogonal to each other. In the optical imaging member 4, the interval between the reflective films 14 is narrowed and made uniform by the glass film 15. Glass plates 16 are respectively disposed on the surface of the glass laminate 2 on the incident surface side or the emission surface side, and are bonded and fixed by an adhesive layer (not shown). Here, the refractive index of the adhesive layer matches the refractive index of the glass film 15 and the glass plate 16.

以下に、本発明で使用するガラスフィルムの好適な例を説明する。但し、以下の例は単なる例示である。本発明で使用するガラスフィルムは、以下の例に何ら限定されない。   Below, the suitable example of the glass film used by this invention is demonstrated. However, the following examples are merely illustrative. The glass film used by this invention is not limited to the following examples at all.

表1は、ガラスフィルム(試料No.1〜7)のガラス組成と特性を示している。   Table 1 shows the glass composition and characteristics of the glass film (Sample Nos. 1 to 7).

まず表1に記載のガラス組成になるように、ガラス原料を調合し、得られたガラス原料をガラス溶融炉に供給して1500〜1600℃で溶融した。次いで、得られた溶融ガラスをオーバーフローダウンドロー法により、表中の厚みを有し、また幅寸法が1500mmになるように成形した。続いて、成形直後のガラスフィルムを徐冷エリアに移動させた。その際に、1012〜1014dPa・sにおける温度での冷却速度が20℃/分になるように、徐冷エリアの温度とフィルム引き出し速度を調整した。 First, glass raw materials were prepared so as to have the glass composition shown in Table 1, and the obtained glass raw materials were supplied to a glass melting furnace and melted at 1500 to 1600 ° C. Next, the obtained molten glass was molded by the overflow down draw method so as to have the thickness in the table and the width dimension of 1500 mm. Subsequently, the glass film immediately after molding was moved to the slow cooling area. At that time, the temperature of the slow cooling area and the film drawing speed were adjusted so that the cooling rate at a temperature of 10 12 to 10 14 dPa · s was 20 ° C./min.

密度は、周知のアルキメデス法により測定した値である。   The density is a value measured by a well-known Archimedes method.

歪点は、ASTM C336−71の方法に基づいて測定した値である。   The strain point is a value measured based on the method of ASTM C336-71.

ガラス転移温度は、熱膨張曲線からJIS R3103−3の方法に基づいて測定した値である。   The glass transition temperature is a value measured from the thermal expansion curve based on the method of JIS R3103-3.

軟化点は ASTM C338−93の方法に基づいて測定した値である。   The softening point is a value measured based on the method of ASTM C338-93.

104.0、103.0、102.5dPa・sにおける温度は、白金球引き上げ法で測定した値である。この温度が低い程、溶融性に優れていることになる。 The temperature at 10 4.0 , 10 3.0 , 10 2.5 dPa · s is a value measured by a platinum ball pulling method. The lower the temperature, the better the meltability.

ヤング率は、共振法により測定した値である。   The Young's modulus is a value measured by a resonance method.

熱膨張係数は、ディラトメーターを用いて、30〜380℃における平均熱膨張係数を測定したものである。熱膨張係数の測定用試料として、端面にR加工を施したφ5mm×20mmの円柱状の試料を用いた。   The thermal expansion coefficient is obtained by measuring an average thermal expansion coefficient at 30 to 380 ° C. using a dilatometer. As a sample for measuring the coefficient of thermal expansion, a cylindrical sample of φ5 mm × 20 mm whose end face was subjected to R processing was used.

液相温度は、標準篩30メッシュ(500μm)を通過し、50メッシュ(300μm)に残るガラス粉末を白金ボートに入れ、温度勾配炉中に24時間保持して、結晶の析出する温度を測定したものである。液相粘度は、液相温度におけるガラスの粘度を白金球引き上げ法で測定した値である。   The liquid phase temperature passed through a standard sieve 30 mesh (500 μm), the glass powder remaining in 50 mesh (300 μm) was placed in a platinum boat and held in a temperature gradient furnace for 24 hours, and the temperature at which crystals were precipitated was measured. Is. The liquid phase viscosity is a value obtained by measuring the viscosity of glass at the liquid phase temperature by a platinum ball pulling method.

下記の方法により、耐HCl性と耐BHF性を評価した。まず各試料の両表面を光学研磨した後、表面の一部をマスキングした。次に、所定の濃度に調合した薬液中で、所定の温度で所定の時間浸漬した。その後、マスクを外し、マスク部分と浸食部分の段差を表面粗さ計で測定し、その値を浸食量とした。また、各試料の両表面を光学研磨した後、所定の濃度に調合した薬液中で、所定の温度で所定の時間浸漬した。その後、試料の表面を目視で観察し、表面が白濁したり、荒れたり、クラックが入っているものを「×」、変化が全く無いものを「○」として評価した。   HCl resistance and BHF resistance were evaluated by the following methods. First, after optically polishing both surfaces of each sample, a part of the surface was masked. Next, it was immersed in a chemical solution prepared to a predetermined concentration at a predetermined temperature for a predetermined time. Then, the mask was removed, the level difference between the mask portion and the erosion portion was measured with a surface roughness meter, and the value was taken as the erosion amount. Further, both surfaces of each sample were optically polished, and then immersed in a chemical solution prepared to a predetermined concentration at a predetermined temperature for a predetermined time. Thereafter, the surface of the sample was visually observed and evaluated as “X” when the surface became cloudy, rough, or cracked, and “◯” when there was no change.

ここで、耐BHF性の浸食量は、130BHF溶液(NHHF:4.6質量%,NHF:36質量%)を用いて20℃、30分間の処理条件で測定した。外観評価は、63BHF溶液(HF:6質量%,NHF:30質量%)を用いて、20℃、30分間の処理条件で行った。また耐HCl性の浸食量は、10質量%塩酸水溶液を用いて80℃、24時間の処理条件で測定した。外観評価は、10質量%塩酸水溶液を用いて80℃、3時間の処理条件で行った。 Here, the amount of erosion of BHF resistance was measured using a 130 BHF solution (NH 4 HF: 4.6 mass%, NH 4 F: 36 mass%) at 20 ° C. for 30 minutes. Appearance evaluation was performed using a 63BHF solution (HF: 6% by mass, NH 4 F: 30% by mass) under treatment conditions at 20 ° C. for 30 minutes. Further, the erosion resistance of HCl resistance was measured using a 10% by mass hydrochloric acid aqueous solution at 80 ° C. for 24 hours. Appearance evaluation was performed under a treatment condition of 80 ° C. for 3 hours using a 10 mass% hydrochloric acid aqueous solution.

クラック発生率は、湿度30%、温度25℃に保持された恒温恒湿槽内において、荷重1000gに設定したビッカース圧子を試料表面(光学研磨面)に15秒間打ち込み、その15秒後に圧痕の4隅から発生するクラックの数をカウント(1つの圧痕につき最大4とする)する。20回圧子を打ち込み、総クラック発生数/80×100として評価した。   The crack occurrence rate was determined by placing a Vickers indenter set at a load of 1000 g on the sample surface (optical polishing surface) for 15 seconds in a constant temperature and humidity chamber maintained at a humidity of 30% and a temperature of 25 ° C. The number of cracks generated from the corner is counted (maximum 4 per indentation). The indenter was driven 20 times, and the total number of cracks generated / 80 × 100 was evaluated.

表面の表面粗さRaは、JIS B0601:2001に準拠した方法で測定した値である。   The surface roughness Ra of the surface is a value measured by a method based on JIS B0601: 2001.

端面の表面粗さRaは、JIS B0601:2001に準拠した方法で測定した値である。   The surface roughness Ra of the end face is a value measured by a method based on JIS B0601: 2001.

うねりは、触針式の表面形状測定装置を用いて、JIS B0601:2001に記載のWCA(ろ波中心線うねり)を測定した値であり、この測定は、SEMI STD D15−1296「FPDガラス板の表面うねりの測定方法」に準拠した方法で測定し、測定時のカットオフは0.8〜8mm、ガラスフィルムの引き出し方向に対して垂直な方向に300mmの長さで測定した値である。   The waviness is a value obtained by measuring the WCA (filtered center line waviness) described in JIS B0601: 2001 using a stylus type surface shape measuring device. This measurement is based on SEMI STD D15-1296 “FPD glass plate”. The measurement was performed by a method based on “Measurement method of surface waviness”, and the cut-off at the time of measurement was 0.8 to 8 mm, which was a value measured at a length of 300 mm in a direction perpendicular to the drawing direction of the glass film.

ガラスフィルムの最大厚みと最小厚みの差は、レーザー式厚み測定装置を用いて、ガラスフィルムの任意の一辺に厚み方向からレーザーを走査することにより、ガラスフィルムの最大厚みと最小厚みを測定した上で、最大厚みの値から最小厚みの値を減じた値である。   The difference between the maximum thickness and the minimum thickness of the glass film is determined by measuring the maximum thickness and the minimum thickness of the glass film by scanning a laser from one side of the glass film in the thickness direction using a laser thickness measuring device. The value obtained by subtracting the value of the minimum thickness from the value of the maximum thickness.

屈折率ndは、精密屈折率計(島津製作所社製KPR−2000)を用いて測定した値である。   The refractive index nd is a value measured using a precision refractometer (KPR-2000 manufactured by Shimadzu Corporation).

表1から明らかなように、試料No.1〜7は、厚みが小さく、表面精度が良好である。よって、試料No.1〜7の表面に反射膜を形成した上で、これを積層一体化すれば、コストアップを招来させることなく、ガラス積層体を作製することができる。なお各試料とも、板引き方向と直交する方向に偏肉(肉厚分布)が生じ、板引き方向に沿って筋状の厚肉部が認められた。このためガラスフィルムを積層一体化するに際し、少なくとも1枚のガラスフィルムが、他のガラスフィルムと板引き方向が直交する状態となるように積層すれば、反射面の面間隔を均一にすることが可能になる。そして、得られた一対のガラス積層体を、一方のガラス積層体の反射膜面と他方のガラス積層体の反射膜面とが互いに直交するように配置すれば、高解像に結像し得る光学結像部材を得ることができる。   As is clear from Table 1, sample No. 1-7 have a small thickness and good surface accuracy. Therefore, sample no. If a reflective film is formed on the surfaces of 1 to 7 and then laminated and integrated, a glass laminate can be produced without causing an increase in cost. In each sample, uneven thickness (thickness distribution) occurred in a direction perpendicular to the drawing direction, and a streaky thick portion was observed along the drawing direction. For this reason, when laminating and integrating the glass films, if at least one glass film is laminated so that the drawing direction of the other glass films is orthogonal, the spacing between the reflecting surfaces can be made uniform. It becomes possible. And if a pair of obtained glass laminated body is arrange | positioned so that the reflective film surface of one glass laminated body and the reflective film surface of the other glass laminated body may mutually orthogonally cross, it can form an image with high resolution. An optical imaging member can be obtained.

試料No.1〜6につき、表中の厚み、波長にて透過率を測定した。測定装置として、UV−3100PCを使用し、スリット幅:2.0nm、スキャン速度:中速、サンプリングピッチ:0.5nmの条件で測定した。その結果を表2に示す。   Sample No. About 1-6, the transmittance | permeability was measured with the thickness and wavelength in a table | surface. As a measuring apparatus, UV-3100PC was used, and measurement was performed under the conditions of slit width: 2.0 nm, scan speed: medium speed, and sampling pitch: 0.5 nm. The results are shown in Table 2.

表2から明らかなように、試料No.1〜6は、何れの厚み、波長でも透過率が高かった。   As apparent from Table 2, the sample No. Nos. 1 to 6 had high transmittance at any thickness and wavelength.

更に、各試料について、Hazeメーター(日本電飾工業社製Haze Meter NDH−5000)によりHazeを測定した。その結果を表2に示す。表2から明らかなように、試料No.1〜6は、何れもHazeが小さいため、表面での拡散反射を抑制することができる。   Furthermore, about each sample, Haze was measured with the Haze meter (Nippon Denka Kogyo Co., Ltd. Haze Meter NDH-5000). The results are shown in Table 2. As apparent from Table 2, the sample No. Since all of Nos. 1 to 6 have a small haze, diffuse reflection on the surface can be suppressed.

まず試料No.2のガラス組成を有するガラスフィルムを用意した。ガラスフィルムの厚みは0.25mmであり、屈折率ndは1.50である。次に、ガラスフィルムの一方の表面に対して、Al膜、SiO膜を順次形成した後、得られた反射膜付きガラスフィルム1600枚を、ガラスフィルムと反射膜が交互に配置されるように、LOCTITE454(ヘンケルジャパン株式会社製)を用いて積層一体化しガラス積層体を得た。なおガラス積層体を作製する際に、同一ロットから取り出した反射膜付きガラスフィルムを、一枚毎に向きを90°回転させて積層した。 First, sample no. A glass film having a glass composition of 2 was prepared. The glass film has a thickness of 0.25 mm and a refractive index nd of 1.50. Next, after sequentially forming an Al film and an SiO 2 film on one surface of the glass film, 1600 sheets of the obtained glass film with a reflective film are arranged so that the glass film and the reflective film are alternately arranged. , LOCITE 454 (manufactured by Henkel Japan KK) was laminated and integrated to obtain a glass laminate. In addition, when producing a glass laminated body, the glass film with a reflecting film taken out from the same lot was laminated | stacked by rotating 90 degrees for every sheet.

続いて、マルチワイヤーソー(砥粒#600)を用いて、ガラス積層体をガラスフィルムの厚み方向(反射膜面と直交する方向)に切断した後、砥粒等を除くために洗浄を行い、一対の短冊状ガラス積層体(400mm×400mm×0.75mm)を得た。短冊状ガラス積層体の切断面の表面粗さを測定したところ、Raは0.7μm、Rqは0.89μm、Rsmは63μmであった。更に、短冊状ガラス積層体の切断面にUV硬化樹脂(ヘンケルジャパン株式会社製Loctite3301)を滴下した後、一方の短冊状ガラス積層体の反射膜面と他方の短冊状ガラス積層体の反射膜面とが互いに直交するように、短冊状ガラス積層体同士を配置し、上方から365nmのUVランプ(30mW/cm)を100秒照射して、一対の短冊状ガラス積層体を接着固定した。また、試料No.2のガラス組成を有するガラス板を2枚用意した。このガラス板の厚みは0.3mmであり、オーバーフローダウンドロー法により成形したものである。 Subsequently, using a multi-wire saw (abrasive grain # 600), after cutting the glass laminate in the thickness direction of the glass film (direction perpendicular to the reflective film surface), washing is performed to remove the abrasive grains, A pair of strip-shaped glass laminates (400 mm × 400 mm × 0.75 mm) was obtained. When the surface roughness of the cut surface of the strip-shaped glass laminate was measured, Ra was 0.7 μm, Rq was 0.89 μm, and Rsm was 63 μm. Furthermore, after UV-curing resin (Loctite 3301 manufactured by Henkel Japan Co., Ltd.) is dropped on the cut surface of the strip-shaped glass laminate, the reflective film surface of one strip-shaped glass laminate and the reflective film surface of the other strip-shaped glass laminate A pair of strip glass laminates were bonded and fixed by irradiating with a 365 nm UV lamp (30 mW / cm 2 ) for 100 seconds from above. Sample No. Two glass plates having a glass composition of 2 were prepared. The glass plate has a thickness of 0.3 mm and is formed by the overflow down draw method.

最後に、一対の短冊状ガラス積層体の外側面(入射面側及び出射面側)にそれぞれガラス板を配置すると共に、上記と同様のUV硬化樹脂により接着固定して、光学結像部材を得た。   Finally, a glass plate is disposed on each of the outer surfaces (incident surface side and outgoing surface side) of the pair of strip-shaped glass laminates, and bonded and fixed with the same UV curable resin as described above to obtain an optical imaging member. It was.

1 ガラス積層体
2 短冊状ガラス積層体
3 光学結像部材
4 ガラス板付き光学結像部材
10 ガラスフィルム
10a ガラスフィルム
10b ガラスフィルム
11 反射膜
12 ガラスフィルム
13 反射膜
14 反射膜
15 ガラスフィルム
16 ガラス板
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Glass laminated body 2 Strip-shaped glass laminated body 3 Optical imaging member 4 Optical imaging member 10 with a glass plate Glass film 10a Glass film 10b Glass film 11 Reflective film 12 Glass film 13 Reflective film 14 Reflective film 15 Glass film 16 Glass plate

Claims (14)

ガラスフィルムと反射膜とが交互に積層された光学結像部材用ガラス積層体であって、ガラスフィルムは、溶融ガラスを板引き成形して作製されたものであり、ガラス積層体は、少なくとも1枚のガラスフィルムが、他のガラスフィルムと板引き方向が直交する状態で積層されてなることを特徴とする光学結像部材用ガラス積層体。   A glass laminate for an optical imaging member in which a glass film and a reflective film are alternately laminated, wherein the glass film is prepared by drawing a molten glass, and the glass laminate is at least 1 A glass laminate for an optical imaging member, characterized in that a sheet of glass film is laminated in a state in which the drawing direction is orthogonal to other glass films. ガラス積層体が短冊状であることを特徴とする請求項1に記載の光学結像部材用ガラス積層体。   The glass laminate for an optical imaging member according to claim 1, wherein the glass laminate is in a strip shape. ガラスフィルムは、厚さが3000μm以下であることを特徴とする請求項1又は2に記載の光学結像部材用ガラス積層体。   The glass laminate for an optical imaging member according to claim 1 or 2, wherein the glass film has a thickness of 3000 µm or less. 請求項1〜3の何れかに記載された一対のガラス積層体が、一方のガラス積層体の反射膜面と他方のガラス積層体の反射膜面とが互いに直交するように、配置されてなることを特徴とする光学結像部材。   A pair of glass laminated body as described in any one of Claims 1-3 is arrange | positioned so that the reflective film surface of one glass laminated body and the reflective film surface of the other glass laminated body may mutually orthogonally cross An optical imaging member. 反射膜とガラスフィルムとが交互に積層されるように反射膜付きガラスフィルムを積層する光学結像部材用ガラス積層体の製造方法であって、
ガラスフィルムが溶融ガラスを板引き成形して作製されたものであるとともに、少なくとも1枚のガラスフィルムが、他のガラスフィルムと板引き方向が直交するように反射膜付きガラスフィルムを積層することを特徴とする光学結像部材用ガラス積層体の製造方法。
A method for producing a glass laminate for an optical imaging member in which a glass film with a reflective film is laminated so that the reflective film and the glass film are alternately laminated,
The glass film is made by drawing a molten glass, and at least one glass film is laminated with a glass film with a reflective film so that the drawing direction is perpendicular to other glass films. A method for producing a glass laminate for an optical imaging member.
反射膜付きガラスフィルムを積層した後、さらに反射膜面と直交する方向に切断して短冊状のガラス積層体とすることを特徴とする請求項5に記載の光学結像部材用ガラス積層体の製造方法。   6. The glass laminate for an optical imaging member according to claim 5, wherein after laminating the glass film with a reflective film, the glass film is further cut into a rectangular glass laminate in a direction perpendicular to the reflective film surface. Production method. 厚さが3000μm以下のガラスフィルムを用いてガラス積層体を作製することを特徴とする請求項5又は6に記載の光学結像部材用ガラス積層体の製造方法。   The method for producing a glass laminate for an optical imaging member according to claim 5 or 6, wherein a glass laminate is produced using a glass film having a thickness of 3000 µm or less. 縦横比が1.3以下のガラスフィルムを用いてガラス積層体を作製することを特徴とする請求項5〜7の何れかに記載の光学結像部材用ガラス積層体の製造方法。   The method for producing a glass laminate for an optical imaging member according to any one of claims 5 to 7, wherein a glass laminate is produced using a glass film having an aspect ratio of 1.3 or less. 請求項5〜8の何れかの方法で作製されてなることを特徴とする光学結像部材用ガラス積層体。   A glass laminate for an optical imaging member produced by the method according to claim 5. 請求項1〜3の何れかに記載された一対のガラス積層体を、一方のガラス積層体の反射膜面と他方のガラス積層体の反射膜面とが互いに直交するようにガラス積層体同士を配置して、光学結像部材を得る工程と、を備えることを特徴とする光学結像部材の製造方法。   A pair of glass laminates according to any one of claims 1 to 3, wherein the glass laminates are arranged so that the reflective film surface of one glass laminate and the reflective film surface of the other glass laminate are orthogonal to each other. Arranging to obtain an optical imaging member, and a method for producing an optical imaging member. 請求項5〜8の何れかの方法で作製された一対のガラス積層体を、一方のガラス積層体の反射膜面と他方のガラス積層体の反射膜面とが互いに直交するように配置して、光学結像部材を得る工程と、を備えることを特徴とする光学結像部材の製造方法。   A pair of glass laminates produced by the method according to any one of claims 5 to 8 are arranged so that the reflection film surface of one glass laminate and the reflection film surface of the other glass laminate are orthogonal to each other. And a step of obtaining an optical imaging member. 請求項10又は11に記載の方法で作製されてなることを特徴とする光学結像部材。   An optical imaging member produced by the method according to claim 10 or 11. 光学結合部材用ガラス積層体に使用されるガラスフィルムであって、ガラスフィルムの縦横比が1.3以下であることを特徴とするガラスフィルム。   It is a glass film used for the glass laminated body for optical coupling members, Comprising: The aspect ratio of a glass film is 1.3 or less, The glass film characterized by the above-mentioned. 厚みが3000μm以下であることを特徴とする請求項13に記載のガラスフィルム。
The glass film according to claim 13, wherein the glass film has a thickness of 3000 μm or less.
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