JP2015088680A - 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 - Google Patents
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Abstract
Description
2 描画室
2a ステージ
3 光学鏡筒
4 ロボット室
4a ロボット装置
5 ロードロック室
6 制御装置
6a 描画制御部
6b システム制御部
11 ゲートバルブ
12 ゲートバルブ
21 ビーム出射部
22 照明レンズ
23 第1のアパーチャ
24 投影レンズ
25 成形偏向器
26 第2のアパーチャ
27 対物レンズ
28 副偏向器
29 主偏向器
31 ロボットハンド
32 ロボットアーム
41 帯電部材
42 帯電調整部
51 捕捉部材
A1 搬送経路
A2 アース体
B 電子ビーム
L 離間距離
W 試料
Claims (5)
- 描画対象となる試料を支持するステージを収容する描画室と、
前記ステージ上に前記試料を搬送する搬送装置を収容する搬送室と、
前記試料の搬送経路に沿って設けられ、その搬送経路を通過する試料に付着している異物を静電気により吸着する帯電部材と、
を備えることを特徴とする荷電粒子ビーム描画装置。 - 前記試料の搬送中、前記帯電部材を帯電状態に維持し、前記ステージ上の前記試料に対する荷電粒子ビームによる描画中、前記帯電部材を非帯電状態に維持する帯電調整部を備えることを特徴とする請求項1に記載の荷電粒子ビーム描画装置。
- 前記ステージ上の前記試料に対する荷電粒子ビームによる描画中、前記帯電部材を一定の帯電量に維持する帯電調整部を備えることを特徴とする請求項1に記載の荷電粒子ビーム描画装置。
- 前記搬送装置は、前記搬送経路を通過する前記試料と前記帯電部材との高さ方向の離間距離を変更することを特徴とする請求項1ないし請求項3のいずれか一項に記載の荷電粒子ビーム描画装置。
- ステージ上に試料を搬送装置により搬送し、その搬送途中の試料に付着している異物を帯電部材により吸着して除去する工程と、
前記ステージ上の試料に荷電粒子ビームによる描画を行う工程と、
描画後の前記ステージ上の試料を前記搬送装置により搬送し、その搬送途中の試料に付着している異物を帯電部材により吸着して除去する工程と、
を有することを特徴とする荷電粒子ビーム描画方法。
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JP2013227842A JP2015088680A (ja) | 2013-11-01 | 2013-11-01 | 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 |
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Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
2013
- 2013-11-01 JP JP2013227842A patent/JP2015088680A/ja active Pending
Patent Citations (6)
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