JP2015081858A - レーザ超音波検査装置及び方法 - Google Patents
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Abstract
Description
図1は本発明に係るレーザ超音波検査装置の第1実施形態を示すブロック図である。
図6は本発明に係るレーザ超音波検査装置の第2実施形態を示すブロック図である。なお、前記第1実施形態と同一の部分には、同一の符号を付して異なる構成及び作用について説明する。
本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更、組み合わせを行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれると同様に、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれるものである。
Claims (9)
- 検査対象に送信レーザ光を照射して超音波を励起させるための送信レーザ光源と、
前記検査対象に励起された超音波を受信するために受信レーザ光を前記検査対象に照射する受信レーザ光源と、
前記受信レーザ光を干渉計測して超音波信号を得る受信干渉計と、
予め記憶しておいた横波の指向角度を用いて前記超音波信号から前記横波の超音波信号を解析して前記検査対象の内部欠陥のサイズ及び位置を同定する解析装置と、
前記解析装置から得られた前記検査対象の内部欠陥のデータを表示する表示装置と、
を備えることを特徴とするレーザ超音波検査装置。 - 前記解析装置は、前記超音波信号から縦波の超音波信号を解析して前記検査対象の内部欠陥の有無を同定することを特徴とする請求項1に記載のレーザ超音波検査装置。
- 前記検査対象を溶接施工中の溶接部の欠陥としたことを特徴とする請求項2に記載のレーザ超音波検査装置。
- 前記検査対象の所定位置に前記送信レーザ光を照射させる送信用光学機構と、
前記送信用光学機構に取り付けられ、前記検査対象に対して前記送信レーザ光を走査する送信用走査機構と、
をさらに備えることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載のレーザ超音波検査装置。 - 前記送信用光学機構に取り付けられ、レーザ送信条件を調整する送信レーザ照射条件調整機構をさらに備えることを特徴とする請求項4に記載のレーザ超音波検査装置。
- 前記検査対象の所定位置に前記受信レーザ光を照射させる受信用光学機構と、
前記受信用光学機構及び前記受信干渉計にそれぞれ取り付けられ、レーザ受信条件を調整する受信条件調整機構と、
をさらに備えることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか一項に記載のレーザ超音波検査装置。 - 超音波を発生させるための送信レーザ光を発生させて、検査対象の所定位置に前記送信レーザ光を照射させる送信レーザ光照射工程と、
前記送信レーザ光照射工程によって励起させた反射超音波を検出するための受信レーザ光を発生させて、前記検査対象の所定位置に照射する受信レーザ光照射工程と、
前記受信レーザ光を干渉計測して超音波信号を得る干渉計測工程と、
予め記憶しておいた横波の指向角度を用いて前記干渉計測工程で得られた超音波信号のうち、前記横波の超音波信号を解析して前記検査対象の内部欠陥のサイズ及び位置を同定する解析工程と、
を有することを特徴とするレーザ超音波検査方法。 - 前記検査対象を溶接施工中の溶接部の欠陥とした場合、前記解析工程は、前記内部欠陥のサイズ及び位置を同定する前に、前記溶接部の内部欠陥の有無を同定することを特徴とする請求項7に記載のレーザ超音波検査方法。
- 前記送信レーザ光照射工程は、前記検査対象に対して前記送信レーザ光を走査する工程を含むことを特徴とする請求項7又は8に記載のレーザ超音波検査方法。
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Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105136069A (zh) * | 2015-07-28 | 2015-12-09 | 河海大学常州校区 | 一种激光超声波技术测量圆柱体内锥形锥尖角度的方法 |
JP2017116285A (ja) * | 2015-12-21 | 2017-06-29 | 株式会社東芝 | レーザ超音波検査方法、接合方法、レーザ超音波検査装置、および接合装置 |
JP6506886B1 (ja) * | 2017-12-07 | 2019-04-24 | 三菱電機株式会社 | 表示データ生成装置および表示データ生成方法 |
WO2019181243A1 (ja) * | 2018-03-20 | 2019-09-26 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 超音波検査方法、超音波検査装置及び超音波検査方法を用いた高圧燃料供給ポンプの製造方法 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0933490A (ja) * | 1995-07-25 | 1997-02-07 | Agency Of Ind Science & Technol | 非接触非破壊材料評価方法及び装置 |
JPH0933493A (ja) * | 1995-07-21 | 1997-02-07 | Hitachi Ltd | L字型継手の超音波検査方法および装置 |
JPH09145696A (ja) * | 1995-11-21 | 1997-06-06 | Toshiba Corp | 欠陥深さ測定方法およびその装置 |
JP2000065803A (ja) * | 1998-08-26 | 2000-03-03 | Nippon Steel Corp | レーザー超音波検査装置及びレーザー超音波検査方法 |
US20070163352A1 (en) * | 2004-01-26 | 2007-07-19 | Nielsen Steen A | Detecting rail defects |
JP2012006078A (ja) * | 2010-05-21 | 2012-01-12 | Toshiba Corp | 溶接システムおよび溶接方法 |
JP2012137471A (ja) * | 2010-05-21 | 2012-07-19 | Toshiba Corp | 溶接検査方法および装置 |
-
2013
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Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0933493A (ja) * | 1995-07-21 | 1997-02-07 | Hitachi Ltd | L字型継手の超音波検査方法および装置 |
JPH0933490A (ja) * | 1995-07-25 | 1997-02-07 | Agency Of Ind Science & Technol | 非接触非破壊材料評価方法及び装置 |
JPH09145696A (ja) * | 1995-11-21 | 1997-06-06 | Toshiba Corp | 欠陥深さ測定方法およびその装置 |
JP2000065803A (ja) * | 1998-08-26 | 2000-03-03 | Nippon Steel Corp | レーザー超音波検査装置及びレーザー超音波検査方法 |
US20070163352A1 (en) * | 2004-01-26 | 2007-07-19 | Nielsen Steen A | Detecting rail defects |
JP2012006078A (ja) * | 2010-05-21 | 2012-01-12 | Toshiba Corp | 溶接システムおよび溶接方法 |
JP2012137471A (ja) * | 2010-05-21 | 2012-07-19 | Toshiba Corp | 溶接検査方法および装置 |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105136069A (zh) * | 2015-07-28 | 2015-12-09 | 河海大学常州校区 | 一种激光超声波技术测量圆柱体内锥形锥尖角度的方法 |
JP2017116285A (ja) * | 2015-12-21 | 2017-06-29 | 株式会社東芝 | レーザ超音波検査方法、接合方法、レーザ超音波検査装置、および接合装置 |
JP6506886B1 (ja) * | 2017-12-07 | 2019-04-24 | 三菱電機株式会社 | 表示データ生成装置および表示データ生成方法 |
WO2019111391A1 (ja) * | 2017-12-07 | 2019-06-13 | 三菱電機株式会社 | 表示データ生成装置、表示データ生成方法、および表示処理方法 |
WO2019181243A1 (ja) * | 2018-03-20 | 2019-09-26 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 超音波検査方法、超音波検査装置及び超音波検査方法を用いた高圧燃料供給ポンプの製造方法 |
JP2019164037A (ja) * | 2018-03-20 | 2019-09-26 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 超音波検査方法、超音波検査装置及び超音波検査方法を用いた高圧燃料供給ポンプの製造方法 |
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